KR20090074882A - 플레이트용 리프트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플레이트용 리프트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼가 부착된 플레이트를 플레이트 적재함으로 이송하는 플레이트용 리프트에 관한 것이다. 본 발명에 따른 플레이트용 리프트는 복수의 웨이퍼를 함께 연마하기 위하여 복수의 웨이퍼가 부착되는 플레이트를 이송하기 위한 것으로서, 플레이트가 지지되며, 승강 가능하게 배치되는 지지부재와, 지지부재에 결합되며, 지지부재를 승강시키는 승강부와, 일측이 지지부재에 결합되는 케이블과, 지지부재의 상측에 배치되어 케이블을 지지하며, 지지부재의 승강시 케이블을 가이드 하는 가이드부재와, 케이블에 장력이 인가되도록 케이블의 타측에 결합되어 가이드부재의 하측에 배치되며, 지지부재의 승강시 지지부재의 이동방향과 반대방향으로 이동되는 무게추를 포함한다.
리프트, 플레이트, 케이블, 웨이퍼

Description

플레이트용 리프트{Lift for plate}
본 발명은 플레이트용 리프트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼가 부착된 플레이트를 플레이트 적재함으로 이송하는 플레이트용 리프트에 관한 것이다.
웨이퍼의 표면을 연마하는 과정 공정 중에는, 복수 개의 웨이퍼를 함께 연마하기 위하여 세라믹 플레이트 상에 복수 개의 웨이퍼를 왁스로 부착하는 웨이퍼 왁스 마운팅 공정이 포함되어 있다. 그리고, 이 공정을 통해 웨이퍼가 부착된 세라믹 플레이트는 플레이트 보관함에 적재된다. 이때, 플레이트가 적재되는 공간의 효율성을 높이기 위하여, 플레이트는 플레이트용 리프트에 의해 적재함에 적층된 상태로 적재되며, 이후 연마장치로 이송되어 연마된다. 도 1은 종래의 플레이트용 리프트의 개념도이다.
도 1을 참조하면, 플레이트용 리프트(9)는 지지판(1)과, 지지판에 결합되는 볼스크류(2)와, 볼스크류(2)의 상측에 결합되는 모터(3)와, 지지판(1)의 상측에 설치되며 세라믹 플레이트(P)를 이송하는 컨베이어벨트(4)를 포함한다.
플레이트용 리프트(9)를 이용하여 세라믹 플레이트(P)를 적재하는 과정은 다 음과 같다. 먼저, 웨이퍼(W)가 부착된 세라믹 플레이트(P)를 컨베이어벨트(4) 위로 이동시키고, 모터(3)를 구동하여 세라믹 플레이트(P)가 적재될 위치로 지지판(1)을 상승시킨다. 이후, 컨베이어벨트(4)를 가동하면, 도 1에 화살표(a)로 도시된 바와 같이 세라믹 플레이트(P)가 이동하여 플레이트 적재함(G)에 적재된다.
하지만, 상술한 바와 같이 종래 플레이트용 리프트(9)의 지지판(1)에는 컨베이어벨트(4)가 설치되어 있다. 따라서, 지지판(1)의 승강시 모터(3)에는 지지판(1), 컨베이어벨트(4) 및 세라믹 플레이트(P)의 무게를 더한 만큼의 큰 부하가 걸리게 된다. 그러므로, 지지판(1)의 승강 속도를 높이기 위하여 모터(3)의 회전속도를 상승시키는 경우, 승강의 시작 및 종료 시점에 발생되는 지지판(1), 컨베이어벨트(4) 및 세라믹 플레이트(P)의 관성에 의해 모터(3)에 과부하가 발생할 수 있으며, 또한 지지판(1)의 위치가 부정확하게 제어되는 문제점이 발생하게 된다. 따라서, 종래의 플레이트용 리프트(9)의 승강 속도는 모터(3)에 과부하가 발생 되지 않으며 지지판(9)의 위치를 제어할 수 있을 정도의 매우 낮은 속도로 제한되었으며, 그 결과 세라믹 플레이트(P)의 적재과정이 매우 느린 속도로 진행되었다. 그리고, 이로 인하여 웨이퍼 연마공정 전체가 지연되어 단위 시간당 웨이퍼의 연마량이 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 플레이트용 리프트(9)의 경우, 지지판(1), 컨베이어벨트(4) 및 세라믹 플레이트(P)의 무게를 합한 하중이 볼스크류(2)에 가해지게 되며, 이 하중에 의해 볼스크류(2)가 마모되어 볼스크류(2)의 수명이 단축되는 문제점도 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 빠른 속도로 플레이트를 적재할 수 있으며, 내구성이 향상되도록 구조가 개선된 플레이트용 리프트는 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 플레이트용 리프트는 복수의 웨이퍼를 함께 연마하기 위하여 상기 복수의 웨이퍼가 부착되는 플레이트를 이송하기 위한 것으로서, 상기 플레이트가 지지되며, 승강 가능하게 배치되는 지지부재와, 상기 지지부재에 결합되며, 상기 지지부재를 승강시키는 승강부와, 일측이 상기 지지부재에 결합되는 케이블과, 상기 지지부재의 상측에 배치되어 상기 케이블을 지지하며, 상기 지지부재의 승강시 상기 케이블을 가이드 하는 가이드부재 및 상기 케이블에 장력이 인가되도록 상기 케이블의 타측에 결합되어 상기 가이드부재의 하측에 배치되며, 상기 지지부재의 승강시 상기 지지부재의 이동방향과 반대방향으로 이동되는 무게추를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기 가이드부재는 회전가능하게 설치되며, 상기 가이드부재의 외측면에는 상기 케이블이 끼워져 가이드 되는 가이드홈부가 마련되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 가이드부재는 복수 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 가이드부재는, 서로 평행한 두 개의 직선상에 각각 2개씩 동축적으로 배치되며, 상기 케이블은 두 개 구비되며, 상기 각 케이블은 상기 가이드부재 중 서로 다른 직선상에 배치된 2개의 가이드부재에 의해 가이드 되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따르면, 승강 가능하도록 상기 케이블의 타측에 결합되며, 그 내부에 공간부가 마련되어 있는 적재함을 더 포함하며, 상기 무게추는 상기 적재함의 공간부에 배치되는 것이 바람직하다.
상기한 구성의 본 발명에 따르면, 지지부재의 승강 속도가 향상되므로 빠른 속도로 플레이트를 적재할 수 있으며, 그 결과 웨이퍼 연마공정 전체의 진행속도가 향상되어 단위 시간당 더 많은 수의 웨이퍼를 연마할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 승강부에 인가되는 하중에 의해 승강부가 마모되는 것이 방지되므로, 승강부 및 플레이트용 리프트의 내구성이 향상된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트용 리프트에 관하여 설명하기로 한다. 다음에 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트용 리프트의 사시도이며, 도 3 은 도 2에 도시된 플레이트용 리프트를 화살표(A) 방향에서 바라본 정면도이며, 도 4는 도 2에 도시된 플레이트용 리프트의 우측면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 플레이트용 리프트(100)는 지지부재(11)와, 승강부(20)와, 가이드부재(30)와, 케이블(40)과, 적재함(51)과, 무게추(52)를 포함한다.
지지부재(11)는 웨이퍼(W)가 부착된 플레이트(P)가 지지되는 곳이다. 지지부재(11)는 판상으로 형성되며, 프레임(K)에 대하여 승강 가능하게 배치된다. 지지부재(11)의 상면에는 한 쌍의 케이블 고리(111)가 형성되어 있다. 그리고, 지지부재(11)의 상측에는 컨베이어벨트(12)가 설치되어 있다. 컨베이어벨트(12)의 상측에는 플레이트(P)가 놓여져 지지되며, 컨베이어벨트(12)의 구동시 플레이트(P)는 도 2의 화살표(B) 방향으로 이송된다.
승강부(20)는 지지부재(10)를 승강시키기 위한 것이다. 특히 본 실시예의 승강부는 스크류 커버(21)와, 볼스크류(Ballscrew)(22)와, 모터(23)를 포함한다. 스크류 커버(21) 중공의 직사각형 기둥 형상으로 형성되며, 프레임(K)에 고정된다. 스크류 커버(21)의 좌측면에는 세로 방향으로 길게 형성된 이동홈이 마련되어 있다. 볼스크류(22)는 공지의 구성요소로서, 스크류(221)와, 너트(222)와, 볼(미도시)을 포함한다. 스크류(221)는 스크류 커버(21) 내부에 삽입되며, 지지판(11)에 대하여 회전가능하게 설치된다. 너트(222)는 스크류(221)에 끼워지며, 스크류(221)의 회전시 스크류 커버(21) 내부에서 승강 가능하게 설치된다. 너트(222)는 지지판(11)과 결합되며, 너트(222)의 승강시 지지판(11)도 함께 승강된다. 볼 은 스크류(221)와 너트(222) 사이에 배치된다. 모터(23)는 스크류 커버(21)의 상단에 배치되며, 스크류(221)와 결합된다. 모터의 구동시 스크류(221)가 회전되며, 이에 따라 지지부재(11)가 승강된다.
가이드부재(30)는 후술할 케이블(40)을 지지함과 동시에, 케이블(40)을 가이드하기 위한 것이다. 가이드부재(30)는 지지부재(10) 및 후술할 무게추(52)의 상측에 복수 개 설치된다. 특히, 본 실시예에서는 도 2에 도시된 바와 같이 4개의 가이드부재가 설치되는데, 이 4개의 가이드부재(30)는 서로 평행한 두 개의 직선(L1,L2) 상에 각각 2개씩 쌍을 이루어 동축적으로 배치된다. 각 가이드부재(30)는 원반 형상으로 형성되며, 회전가능하게 설치된다. 각 가이드부재(30)에는 그 외주면에 대하여 오목하게 형성된 가이드홈부(31)가 마련되어 있다.
케이블(40)은 2개 구비되며, 이동가능하게 설치된다. 각 케이블(40)은 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 다른 동축선상(L1,L2)에 배치된 2개의 가이드부재(30)에 의해 지지 및 가이드 된다. 각 케이블(40)의 일측은 지지부재(11)에 형성된 케이블 고리(111)에 결합되며, 지지부재(11)의 승강시 지지부재(11)과 함께 이동된다.
적재함(51)은 케이블(40)의 타측에 결합된다. 적재함(51)은 상하 방향으로 길게 형성되어 프레임(K)에 결합되어 있는 가이드레일(L)을 따라 승강 가능하게 배치된다. 도 3에 도시되어 실선 및 가상선으로 도시되어 있는 바와 같이, 적재함(51)은 지지부재(11)의 하강시 상승되며, 반대로 지지부재(11)의 상승시 하강된다. 적재함(51)은 직육면체 형상으로 형성되며, 그 내부에는 수용부(511)가 마련 되어 있다.
무게추(52)는 케이블(40)에 장력을 인가하기 위한 것이며, 복수 구비된다. 무게추(52)는 직사각형의 판상으로 형성되며, 적재함(51)의 수용부(511)에 배치된다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 플레이트용 리프트(100)의 사용방법 및 그 효과에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 적재함(51) 및 적재함에 적재된 무게추(52) 무게의 합이 컨베이어벨트(12) 및 지지부재(11) 무게의 합과 동일해지도록 적재함(51)에 무게추(52)를 적재한다. 이와 같이 무게추(52)를 적재하면, 적재함(51)과 무게추(52)의 무게를 합한 크기의 장력이 케이블(40)에 발생된다. 그리고, 이 장력은 케이블(40)을 통해 케이블 고리(111)에 전달되어 지지부재(111)를 상방향으로 당기게 된다. 따라서, 지지부재(11)에 하방향으로 작용되는 힘, 즉 지지부재(11)와 컨베이어벨트(12)의 하중과, 지지부재(11)에 상방향으로 작용되는 힘, 즉 케이블(40)의 장력이 서로 평형을 이루게 되며, 그 결과 지지부재에 결합된 너트(222)에 가해지는 힘은 0이 된다. 이 상태에서, 종래 기술에서 설명한 바와 같이 웨이퍼(W)가 접착된 플레이트(P)를 컨베이어벨트(12) 위로 이송하고, 이후 모터(23)를 구동하여 플레이트(P)를 적재 위치까지 승강한 다음, 컨베이어벨트(12)를 사용하여 플레이트(P)를 플레이트 적재함에 적재하면 된다.
이때, 상술한 바와 같이 지지부재(11) 및 컨베이어벨트(12)의 무게는 케이블(40)의 장력에 의해 상쇄되므로, 너트(222) 및 이에 연결된 스크류(221)에는 플 레이트(P) 무게에 해당하는 하중만이 작용하게 된다. 그러므로, 지지부재(11)가 승강되는 시점 및 승강이 종료되는 시점에서 발생되는 관성력이 종래에 비하여 현저하게 줄어들게 되므로, 종래에 비하여 빠른 속도로 모터(23)를 회전하여도 모터(23)에 과부하가 발생하지 않으며, 지지부재(11)의 위치를 정확하게 제어할 수 있다. 따라서, 종래보다 더 빠른 속도로 모터(23)를 회전할 수 있게 되며, 그 결과 지지부재(11)를 더 빠른 속도로 승강할 수 있게 되어 플레이트(P)의 적재 속도가 향상된다. 그리고, 이로 인해 웨이퍼 연마공정 전체의 속도가 향상되어 단위 시간당 더 많은 수의 웨이퍼를 연마할 수 있게 된다.
또한, 종래에 비하여 볼스크류(22)에 가해지는 하중이 감소되므로, 지지부재(11)의 승강시 볼스크류(22)에 발생되는 마모가 감소하게 되며, 그 결과 볼스크류(22) 및 플레이트용 리프트(100)의 내구성이 향상된다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이 각 케이블(40)이 두 개의 가이드부재(30)에 의해 가이드 됨과 동시에 적재함(51)이 가이드레일(L)에 의해 가이드 되면서 승강하므로, 지지부재(11)의 승강시 케이블(40) 및 이에 연결된 적재함(51)이 이탈되는 것이 방지되며, 적재함(51)에 적재되는 무게추(52)의 수를 조절함으로써 지지부재(11)에 가해지는 장력의 크기를 지지부재(11) 및 컨베이어벨트(22)의 하중에 따라 조절할 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 선형으로 형성된 케이블(40) 및 매끈한 표면을 가지는 가이드부재(30) 사용하여 발명을 구성하였으나, 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 가이드홈부의 외주면에 톱니가 형성되어 있는 가이드부재(30')와 체인 형상으로 이루어진 케이블(40')을 사용하여, 적재함의 승강시 케이블과 가이드부재가 맞물려 안정적으로 적재함이 승강되도록 발명을 구성할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
도 1은 종래의 플레이트용 리프트의 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트용 리프트의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 플레이트용 리프트를 화살표(A) 방향에서 바라본 정면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 플레이트용 리프트의 우측면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100...플레이트용 리프트 11...지지부재
12...컨베이어벨트 20...승강부
30,30'...가이드부재 40,40'...케이블
51...적재함 52...무게추
K...프레임 L...가이드레일

Claims (6)

  1. 복수의 웨이퍼를 함께 연마하기 위하여 상기 복수의 웨이퍼가 부착되는 플레이트를 이송하기 위한 것으로서,
    상기 플레이트가 지지되며, 승강 가능하게 배치되는 지지부재;
    상기 지지부재에 결합되며, 상기 지지부재를 승강시키는 승강부;
    일측이 상기 지지부재에 결합되는 케이블;
    상기 지지부재의 상측에 배치되어 상기 케이블을 지지하며, 상기 지지부재의 승강시 상기 케이블을 가이드 하는 가이드부재; 및
    상기 케이블에 장력이 인가되도록 상기 케이블의 타측에 결합되어 상기 가이드부재의 하측에 배치되며, 상기 지지부재의 승강시 상기 지지부재의 이동방향과 반대방향으로 이동되는 무게추;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플레이트용 리프트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부재는 회전가능하게 설치되며, 상기 가이드부재의 외측면에는 상기 케이블이 끼워져 가이드 되는 가이드홈부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 플레이트용 리프트.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가이드부재는, 복수 구비되는 것을 특징으로 하는 플레이트용 리프트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가이드부재는, 서로 평행한 두 개의 직선상에 각각 2개씩 동축적으로 배치되며,
    상기 케이블은 두 개 구비되며, 상기 각 케이블은 상기 가이드부재 중 서로 다른 직선상에 배치된 2개의 가이드부재에 의해 가이드 되는 것을 특징으로 하는 플레이트용 리프트.
  5. 제1항에 있어서,
    승강 가능하도록 상기 케이블의 타측에 결합되며, 그 내부에 공간부가 마련되어 있는 적재함;을 더 포함하며,
    상기 무게추는 상기 적재함의 공간부에 배치되는 것을 특징으로 하는 플레이트용 리프트.
  6. 제5항에 있어서,
    상하 방향으로 길게 형성되며, 상기 적재함의 승강시 상기 적재함을 가이드하는 가이드레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플레이트용 리프트.
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CN114751340A (zh) * 2022-04-18 2022-07-15 中广核全椒风力发电有限公司 一种移动式手动提升机

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