KR20090065193A - 마스터 기판 형성용 코어 및 이를 이용한 마스터 기판제조방법 - Google Patents

마스터 기판 형성용 코어 및 이를 이용한 마스터 기판제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 과도한 수지의 흐름에 의한 버(Burr)의 발생을 방지하기 위한 코어 및 이를 이용한 마스터 기판 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 마스터 기판 제조방법은, 중심부에 오목한 렌즈 형성부를 가지며, 상기 렌즈 형성부를 중심으로 외곽부에 절곡면을 갖도록 절단된 단차부가 형성된 코어를 준비하는 단계; 상기 코어의 상부에 수지를 도포하는 단계; 상기 수지가 도포된 코어 상에 기판을 위치시켜 상기 수지가 코어의 렌즈 형성부 및 단차부에 위치하도록 가압하는 단계; 상기 수지를 경화시키는 단계; 및 상기 코어를 기판으로부터 분리시켜 버(Burr)가 제거된 마스터 기판을 형성하는 단계;를 포함한다. 이에 따라, 본 발명은 수지의 흐름에 의해 발생되는 버(Burr)의 발생을 방지할 수 있어 레플리카 렌즈의 불량률을 줄일 수 있는 효과가 있다.
마스터 기판, 수지, 버(Burr), 레플리카 렌즈, 레플리케이션

Description

마스터 기판 형성용 코어 및 이를 이용한 마스터 기판 제조방법{Core to manufacture Master Substrate and Manufacturing Method using it}
본 발명은 마스터 기판 형성용 코어 및 이를 이용한 마스터 기판 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 코어의 상부 외측면에 단차부를 형성함으로써 마스터 기판 형성시 수지의 흐름에 의해 발생되는 버(Burr)의 발생을 방지할 수 있는 마스터 기판 형성용 코어 및 이를 이용한 마스터 기판 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 레플리케이션 방법(replication method)은 웨이퍼 단위로 렌즈를 제작하는 방법으로서, 이러한 레플리케이션 방법으로 제조된 레플리카 렌즈(replica lens)를 사용하는 경우에는 반도체 공정의 이용이 가능하게 되어 렌즈의 정렬, 배치를 기존 방식에 비해 용이하게 수행할 수 있고, 공차특성을 향상시킬 수 있으며, 렌즈 모듈의 부피를 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
상기의 레플리케이션 방법은 유리(glass) 등으로 이루어진 투명한 렌즈 기판에 폴리머(polymer) 등의 투명한 광학재료를 이용하여 얇은 레플리카 층을 형성함 으로써 레플리카 렌즈(replica lens)를 제조하는 방법이다.
이때, 레플리카 층을 형성하기 위하여 렌즈 형상을 갖는 마스터 기판을 가압함으로써 볼록 또는 오목한 형상으로 레플리카 렌즈를 형성하게 된다.
이하, 관련도면을 참조하여 상기 레플리케이션 방법을 이용하여 렌즈를 제조하기 위한 마스터 기판의 제조방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3은 종래 기술에 의한 마스터 기판 제조공정을 나타낸 공정 단면도이고, 도 4는 종래 기술에 의한 마스터 기판의 단면도이다.
먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, 종래 기술에 의한 마스터 기판의 제조방법은 레플리카 렌즈를 형성하기 위한 렌즈 형성부(11)가 구비된 코어(Core: 10)를 준비한다.
이때, 상기 코어(10)는 후술하는 수지에 의해 녹는 것을 방지하기 위해 상기 수지 보다 높은 녹는점을 갖는 물질로 이루어진 것이 바람직하다. 또한, 상기 코어(10)는 원기둥 형상으로 형성되고, 그 중심부에 반구 형상의 렌즈 형성부(11)가 형성된다. 또한, 상기 코어(10)는 상기 렌즈 형성부(11)의 외곽면 상부가 평면으로 이루어진다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 코어(10)를 준비한 후, 도 2에 도시한 바와 같이, 수지(Resin: 20)를 상기 코어(10) 상에 도포한다.
그런 다음, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 도포된 수지(20) 상에 기판(30)을 위치시키고, 상기 기판(30)에 코어(10) 방향으로 압력을 가하여 상기 수지(20) 를 압착시킨다.
상기 수지(20)를 압착시킨 후 소정의 시간 동안 상기 수지(20)를 경화시킨다. 상기 수지(20)가 경화된 후, 상기 코어(10)를 상기 기판(30)으로부터 분리시키면 도 4에 도시한 바와 같이, 코어(10)의 렌즈 형성부(11)에 의해 상기 기판(30) 상에 중심부가 볼록한 형상으로 이루어진 렌즈부(31)가 형성됨으로써, 상기 렌즈부(31)가 형성된 마스터 기판을 완성할 수 있다.
그러나, 상기와 같은 종래의 기술에 의한 마스터 기판 제조방법은 다음과 같은 문제점이 있었다.
종래 기술에 의한 마스터 기판 제조방법은, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 기판(30)을 코어(10) 방향으로 압착시켜 상기 수지(20)를 가압시키는 공정에서, 상기 수지(20)가 "A"와 같이 압력에 의해 상기 코어(10)의 외측부로 흘러나와 굳어버리게 됨으로써 버(Burr)가 발생되는 문제점이 있었다.
이때, 후술하는 레플리카 렌즈의 공정에서 하나의 레플리카 렌즈가 형성되는 구간은 도시한 "L"이므로 상기 버(A)가 발생될 경우 상기 버(A)에 의해 후속 공정에서 레플리카 렌즈의 변형이 발생된다. 이에 따라, 상기 버(A)에 의해 레플리카 렌즈의 불량률이 증가함으로써 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 코어의 상부 외측면에 단차부를 형성함으로써 마스터 기판 형성시 수지의 흐름에 의해 발생되는 버(Burr)의 발생을 방지할 수 있는 마스터 기판 형성용 코어 및 이를 이용한 마스터 기판 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마스터 기판 형성용 코어는, 레플리카 렌즈의 제조공정에 사용되는 마스터 기판을 제조하기 위한 코어에 있어서, 상기 코어는 중심부에 오목한 렌즈 형성부를 가지며, 상기 렌즈 형성부를 중심으로 외곽부에 절곡면을 갖도록 절단된 단차부가 형성된 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 코어의 단차부는 상부 외곽면이 평면으로 이루어진 것을 특징으로 하며, 상기 단차부의 상부 높이는 상기 렌즈 형성부의 중심 높이보다 높은 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마스터 기판 제조방법은, 중심부에 오목한 렌즈 형성부를 가지며, 상기 렌즈 형성부를 중심으로 외곽부에 절곡면을 갖도록 절단된 단차부가 형성된 코어를 준비하는 단계; 상기 코어의 상부에 수지를 도포하는 단계; 상기 수지가 도포된 코어 상에 기판을 위치시켜 상기 수지가 코어의 렌즈 형성부 및 단차부에 위치하도록 가압하는 단계; 상기 수지를 경화시키는 단계; 및 상기 코어를 기판으로부터 분리시켜 버(Burr)가 제거된 마스터 기판을 형성하는 단계;를 포함한다. 이에 따라, 본 발명은 수지의 흐름에 의해 발생되는 버(Burr)의 발생을 방지할 수 있어 레플리카 렌즈의 불량률을 줄일 수 있는 효과가 있다.
이때, 상기 코어의 단차부는 상부 외곽면이 평면으로 이루어진 것을 특징으로 하며, 상기 단차부의 상부 높이는 상기 렌즈 형성부의 중심 높이보다 높은 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수지는 열가소성 수지를 사용하는 것을 특징으로 하며, 상기 기판은 수지의 접합면에 홈이 형성될 수 있는데 상기 홈은 상기 코어의 렌즈 형성부의 외곽부와 마주하는 위치에 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스터 기판 형성용 코어 및 이를 이용한 마스터 기판 제조방법은, 코어의 상부 외측면에 단차부를 형성함으로써 마스터 기판 형성시 수지의 흐름에 의해 발생되는 버(Burr)의 발생을 방지할 수 있어 레플리카 렌즈의 불량률을 줄일 수 있으며, 이에 따라 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 마스터 기판 형성용 코어의 구조와 마스터 기판 제조방법 및 그 효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.
마스터 기판 형성용 코어
이하, 관련도면을 참조하여 본 발명에 따른 마스터 기판 형성용 코어에 대하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 따른 마스터 기판 형성용 코어의 단면도이다.
우선, 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스터 기판 형성용 코어(110)는 그 중심부에 오목한 렌즈 형성부(111)를 가지며, 상기 렌즈 형성부(111)를 중심으로 외곽부가 경사를 갖는 절곡면을 이루며 절단된 단차부(112)가 형성된다.
이때, 상기 코어(110)의 단차부(112)는 그 상부 외곽면이 평면으로 이루어져 있으며, 상기 단차부(112)의 평면으로 이루어진 외곽면의 상부 높이는 상기 렌즈 형성부(111)의 중심 높이보다 높게 형성된다.
이와 같은 구조로 형성된 이유는, 상기 코어(110) 상에 수지를 도포하고 기판에 압력을 가하여 수지를 가압할 경우 상기 압력에 의해 수지가 코어(110)의 상부 외측으로 흘러나가는 것을 방지하기 위하여 종래와 같이 상기 렌즈 형성부(111)의 외측부를 평면으로 형성하지 않고, 단차부를 갖도록 절단시켜 형성한 것이다.
즉, 상기 기판에 압력을 가하여 수지를 가압할 경우 상기 수지는 압력에 의해 외측으로 흘러나가는 것이 아니라 상기 단차부(112)에 모이게 되어 레플리카 렌즈가 형성될 영역을 벗어나지 않음으로써, 불량 발생률을 줄일 수 있는 효과가 있다.
마스터 기판 제조방법
이하, 관련도면을 참조하여 본 발명에 따른 코어를 이용한 마스터 기판 제조방법에 대하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명에 따른 코어를 이용한 마스터 기판 제조공정을 나타낸 단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 마스터 기판 제조공정에 의해 제조된 마스터 기판의 단면도이며, 도 8 내지 도 9는 도 6의 변형예를 나타낸 단면도이다.
우선, 도 6에 도시한 바와 같이, 상술한 마스터 기판 형성용 코어(110)를 준비한다.
그런 다음, 상기 준비된 코어(110) 상에 수지(120)를 도포한다. 이때, 상기 수지(120)는 열가소성 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 그 이유는, 상기 코어(110)의 렌즈 형성부(111)의 형상을 그대로 유지해야 하기 때문에 그 형상이 변할 수 있는 열가소성 수지를 사용하는 것이 바람직하다.
특히, 상기 코어(110)는 상기 수지(120)의 녹는점보다 녹는점이 높은 물질을 사용하는 것이 바람직하다. 그 이유는, 상기 수지(120) 도포 후 상기 수지(120)의 열에 의해 코어(110) 상부 형상이 변하면 후속 공정에 의해 형성되는 마스터 기판의 불량이 발생할 수 있기 때문이다.
상기 코어(110) 상에 수지(120)를 도포한 후, 기판(130)을 상기 수지(120) 상에 위치시킨다. 그런 다음, 상기 기판(130)에 소정의 압력을 가하여 상기 수지(120)가 코어(110)의 렌즈 형성부(111) 및 단차부(112)에 위치하도록 한다.
이때, 상기 압력 강도는 상기 기판(130)과 상기 코어(110)의 상부가 서로 맞닿아 접합되지 않을 정도인 것이 바람직하다. 또한, 상기 기판(130) 전면에 골고루 압력을 가하여 기판(130)이 어느 한 방향으로 기울어지지 않도록 하는 것이 바람직하다.
상기 수지(120)에 압력을 가한 후 소정 시간 동안 상기 가압단계를 유지시킴으로써 상기 수지(120)를 경화시킨다. 상기 수지(120)가 완전히 경화된 후 상기 코어(110)를 상기 기판(130)으로부터 불리시키면, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 기판(130) 하부에 상기 코어(110)의 렌즈 형성부(111)와 동일한 모양의 렌즈부(141)가 형성됨으로써, 레플리카 렌즈를 제조하기 위한 마스터 기판(140)을 완성할 수 있다.
이때, 상기 마스터 기판(140)의 렌즈부(141)는 레플리카 렌즈의 광 통과 영역인 L1 영역 내에 위치하며, 상기 코어(110)의 단차부(112)에 의해 형성된 돌출부(142)는 레플리카 렌즈의 지름인 L2 내에 위치하게 됨으로써 이에 의한 불량 발생을 방지할 수 있는 이점이 있다.
즉, 상기 마스터 기판(140)을 이용하여 형성되는 레플리카 렌즈는 상기 L1 영역에만 외부로부터 입사되는 광이 통과하게 되며, 상기 돌출부(142)가 형성된 영역에는 레플리카 렌즈 조립시 레플리카 렌즈를 고정시키는 역할을 하기 때문에 상기 돌출부(142)의 두께를 조절하여 레플리카 렌즈를 고정시키기 위한 스페이서(Spacer)로 사용가능하다.
또한, 본 발명에 따른 마스터 기판(140)의 변형예를 나타낸 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 코어(110)의 단차부(112)와 마주하며 상기 수지(120)와 접합되는 기판(130)의 하부에 소정의 깊이를 갖는 홈(131)을 형성하여, 상기 수지(120)에 압력을 가할 경우 상기 수지(120)가 코어(110)의 외측으로 흐름으로써 발생되는 버의 발생을 방지할 수 있다.
이때, 본 발명에 따른 마스터 기판(140)의 변형예를 나타낸 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 홈(131)이 형성된 기판(130)을 이용할 경우 상기 코어(110)의 상부에는 단차부(112)가 형성되지 않고 그 상부면이 평평한 면으로 이루어진 코어(110)를 사용할 수도 있다.
상기와 같이 상부면이 평면으로 이루어진 코어(110)를 사용할 경우에는 상기 기판(130)에 형성된 홈(131)의 깊이를 더 깊게 형성하여 상기 수지(120)가 코어(110)의 외부로 흐르는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 코어(110) 및 상기 코어(110)를 이용한 마스터 기판(140) 제조방법은, 상기 코어(110)의 상부 외측면에 단차부(112)를 형성하여 상기 수지(120) 가압시 외부로 흘러나가는 수지(120)를 방지함으로써 버의 발생을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한, 상기 코어(110)의 단차부(112)에 의해 버의 발생을 방지할 수 있게 됨에 따라 후술하는 공정에 의해 제조되는 레플리카 렌즈의 불량률을 감소시킬 수 있게 되어 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이러한 치환, 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
도 1 내지 도 3은 종래 기술에 의한 마스터 기판 제조공정을 나타낸 공정 단면도.
도 4는 종래 기술에 의한 마스터 기판의 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 마스터 기판 형성용 코어의 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 코어를 이용한 마스터 기판 제조공정을 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 마스터 기판 제조공정에 의해 제조된 마스터 기판의 단면도.
도 8 내지 도 9는 도 6의 변형예를 나타낸 단면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 코어 111 : 렌즈 형성부
112 : 단차부 120 : 수지
130 : 기판 131 : 홈

Claims (9)

  1. 레플리카 렌즈의 제조공정에 사용되는 마스터 기판을 제조하기 위한 코어에 있어서,
    중심부에 오목한 렌즈 형성부를 가지며, 상기 렌즈 형성부를 중심으로 외곽부에 절곡면을 갖도록 절단된 단차부가 형성된 마스터 기판 형성용 코어.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 코어의 단차부는 상부 외곽면이 평면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스터 기판 형성용 코어.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 단차부의 상부 높이는 상기 렌즈 형성부의 중심 높이보다 높은 것을 특징으로 하는 마스터 기판 형성용 코어.
  4. 중심부에 오목한 렌즈 형성부를 가지며, 상기 렌즈 형성부를 중심으로 외곽부에 절곡면을 갖도록 절단된 단차부가 형성된 코어를 준비하는 단계;
    상기 코어의 상부에 수지를 도포하는 단계;
    상기 수지가 도포된 코어 상에 기판을 위치시켜 상기 수지가 코어의 렌즈 형성부 및 단차부에 위치하도록 가압하는 단계;
    상기 수지를 경화시키는 단계; 및
    상기 코어를 기판으로부터 분리시켜 버(Burr)가 제거된 마스터 기판을 형성하는 단계;
    를 포함하는 마스터 기판 제조방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 코어의 단차부는 상부 외곽면이 평면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스터 기판 제조방법.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 단차부의 상부 높이는 상기 렌즈 형성부의 중심 높이보다 높은 것을 특징으로 하는 마스터 기판 제조방법.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 수지는 열가소성 수지를 사용하는 것을 특징으로 하는 마스터 기판 제조방법.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 기판은 상기 수지의 접합면에 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 마스터 기판 제조방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기판의 홈은 상기 코어의 렌즈 형성부의 외곽부와 마주하는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2849299B2 (ja) * 1993-03-10 1999-01-20 キヤノン株式会社 複合型精密成形品の製造方法
JPH0857976A (ja) * 1994-08-19 1996-03-05 Olympus Optical Co Ltd 複合型光学素子の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022132038A1 (en) * 2020-12-15 2022-06-23 Ams Sensors Singapore Pte. Ltd. Manufacturing optical elements

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