KR20090064643A - 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기시간 개선 방법 - Google Patents

파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기시간 개선 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 트랙장비에 구비된 웨이퍼 로딩용 포트에서의 웨이퍼의 로딩 여부를 감지하고 웨이퍼 로딩용 포트에서 웨이퍼의 언로딩 시간을 감지하여 언로딩 시간을 개선함으로서 트랙장비를 효율적으로 운용할 수 있는 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법에 관한 것이다. 본 발명의 트랙장비는 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)의 상부에 각각 설치되는 센서부(200), 상기 센서부(200)에 의해 감지된 신호를 기초로 웨이퍼의 로딩·언로딩을 판단하는 자동제어장치(300)를 포함하는 파드 대기 시간 개선 장치(2)가 구비는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법에 의하면 트랙장비에 구비된 다수의 웨이퍼 로딩용 포트에서 웨이퍼가 언로딩되는 시간을 실시간으로 측정하여 웨이퍼가 로딩되지 않고 일정시간을 경과한 웨이퍼 로딩용 포트를 실시간으로 감지함으로서 트랙장비의 운영상의 손실을 최소화할 수 있다.
포토리소그래피(Photo Lithography), 파드, 로딩, 언로딩, 감지

Description

파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법{Photo Lithography Apparatus Equipped with fitting for Improving Pod Idle Time and Method for Improving Pod Loading Time}
본 발명은 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 트랙장비에 구비된 웨이퍼 로딩용 포트에서의 웨이퍼의 로딩 여부를 감지하고 웨이퍼 로딩용 포트에서 웨이퍼의 언로딩(파드 로딩용 포트에 웨이퍼가 로딩되지 않은 상태를 의미) 시간을 감지하여 대기 시간을 개선함으로서 트랙장비를 효율적으로 운용할 수 있는 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법에 관한 것이다.
포토리소그래피 공정은 레티클을 웨이퍼의 표면에 전사하여 원하는 패터닝을 하는 공정이다.
포토리소그래피 공정을 세분하면 웨이퍼의 표면의 접착력을 좋게 하기 위한 표면처리공정인 HMDS(Hexa Methyl Di Silazane)도포 공정, 포토레지스트를 웨이퍼 에 증착하는 노광(coating) 공정, 노광전 웨이퍼상의 수분을 제거 또는 스탠딩 웨이브 효과를 제거하는 등의 목적으로 수행되는 베이크(bake) 공정, 빛의 노출에 의해 원하는 패턴을 형성하는 현상(developing) 공정으로 나눌 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 종래의 포토리소그래피 공정을 수행하는 트랙장비를 설명한다.
도 1은 종래의 트랙장비를 개략적으로 도시하고 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 트랙장비(1)는 HMDS 도포 유닛(10), 노광 공정 유닛(20), 베이크 공정 유닛(30), 현상 공정 유닛(40)을 구비하고 각각 HMDS 도포,노광 공정, 베이크 공정, 현상 공정을 수행한다.
그리고, 로봇암(미도시)를 구비하여 상기 HMDS 도포 유닛(10), 노광 공정 유닛(20), 베이크 공정 유닛(30), 현상 공정 유닛(40) 간에 웨이퍼를 이동시킨다.
또한, 일반적으로 상기 트랙장비(1)에는 3개의 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)가 구비된다.
다만, 종래에는 상기 3개의 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)에 로딩되는 웨이퍼에 대한 포토리소그래피 공정의 레시피(recipe)가 상이하여 동시에 다수의 웨이퍼에 대하여 상기 트랙장비(1)에서 포토리소그래피 공정을 수행할 수 있음에도 불구하고 상기 3개의 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3) 중 하나의 포트에 웨이퍼가 로딩이 되어 있다면 장비 운영에 있어 손실이 없다고 인식되었다.
따라서 고가의 장비의 운영상의 손실이 발생하는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 트랙장비에 구비된 다수의 웨이퍼 로딩용 포트에서 웨이퍼가 언로딩되는 시간을 실시간으로 측정하여 트랙장비의 운영상의 손실을 최소화하기 위한 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 트랙장비는
웨이퍼 로딩용 포트의 상부에 각각 설치되는 센서부, 상기 센서부에 의해 감지된 신호를 기초로 웨이퍼의 로딩·언로딩을 판단하는 자동제어장치를 포함하는 파드 대기 시간 개선 장치가 구비는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 센서부는 발광부와 수광부를 구비하는 광센서인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 파드 대기 시간 개선 장치는 카운터를 더 포함하고 상기 카운터는 상기 웨이퍼 로딩용 포트에서의 웨이퍼의 언로딩 시간을 계산하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 파드 대기 시간 개선 장치는 시간표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 트랙장비는 경보부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 자동제어장치는 상기 발광부를 제어하는 발광부제어부; 상기 수광부에서 감지한 광량을 전기적 신호로 변환하는 수광부제어부; 상기 전기적신호를 기초로 상기 웨이퍼 로딩용 포트에서의 웨이퍼 로딩·언로딩을 판단하는 중앙처리장치; 상기 웨이퍼 로딩용 포트가 포토리소그래피 공정에서 요구되는 최적의 언로딩 시간이 저장되는 데이터베이스; 상기 중앙처리장치에서의 판단을 기초로 카운터, 시간표시부 및 경보부를 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징한다.
본 발명의 또 다른 측면으로서, 본 발명의 파드 대기 시간 개선 방법은, 포토리소그래피 공정 진행 중 웨이퍼 로딩용 포트에서 감지된 광량이 전기적 신호로 변환되는 1 단계; 상기 전기적 신호를 기초로 중앙처리장치가 웨이퍼의 로딩·언로딩을 판단하는 2 단계; 상기 판단 결과 웨이퍼가 언로딩 된 경우에는 제어부가 카운터를 제어하고 상기 카운터에 의해 언로딩 된 시점부터의 시간이 계산되는 3 단계; 상기 계산되는 시간이 시간표시부에 의해 출력되는 4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한,상기 4 단계 이 후에 상기 언로딩 시간이 데이터 베이스에 저장된 포토리소그래피 공정에서 요구되는 최적의 언로딩 시간을 초과하는 경우에는 경보부에 의해 알람이 발생하는 5 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비 및 파드 대기 시간 개선 방법에 의하면 트랙장비에 구비된 다수의 웨이퍼 로딩용 포트에서 웨이퍼가 언로딩되는 시간을 실시간으로 측정하여 웨이퍼가 로딩되지 않고 일정시간을 경과한 웨이퍼 로딩용 포트를 실시간으로 감지함으로서 트랙장비의 운영상의 손실을 최소화할 수 있다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비의 개략도, 도 3은 본 발명에 따른 파드 대기 시간 개선 장치의 동작순서도이다.
도 1에 도시된 종래의 트랙장비와 동일하게 본 발명에 따른 트랙장비(1)는 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3), 도포 유닛(10), 노광 공정 유닛(20), 베이크 공 정 유닛(30), 현상 공정 유닛(40)을 구비한다.
여기서 본 발명은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3) 중 언로딩 된 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)를 감지하여 트랙장비(1)의 장비 운영의 효율을 높히기 위해 파드 대기 시간 개선 장치(2)가 구비된다.
상기 파드 대기 시간 개선 장치(2)는 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)의 상부에 각각 설치되는 센서부(200), 상기 센서부(200)에 의해 감지된 신호를 기초로 웨이퍼의 로딩·언로딩을 판단하는 자동제어장치(300)를 포함한다.
여기서, 상기 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)에서의 웨이퍼의 로딩여부를 검출되는 광을 통하여 판단하기 위해 상기 센서부(200)는 발광부(210)와 수광부(220)를 구비하는 광센서인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 자동제어장치(300)는 상기 발광부(210)를 제어하는 발광부제어부(310); 상기 수광부(220)에서 감지한 광량을 전기적 신호로 변환하는 수광부제어부(320); 상기 전기적신호를 기초로 상기 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)에서의 웨이퍼 로딩·언로딩을 판단하는 중앙처리장치(330); 상기 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)가 포토리소그래피 공정에서 요구되는 최적의 언로딩 시간이 저장되는 데이터베이스(340); 상기 중앙처리장치(330)에서의 판단을 기초로 카운터(400), 시간표시부(500) 및 경보부(600)를 제어하는 제어부(350);를 구비한다.
상기 파드 대기 시간 개선 장치(2)는 카운터(400)를 더 포함하며 상기 카운 터(400)는 상기 제어부(350)의 제어에 의해 상기 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)에서의 웨이퍼의 언로딩 시간을 계산한다.
또한, 상기 파드 대기 시간 개선 장치(2)는 시간표시부(500) 및 경보부(600)를 더 포함한다.
상기 시간표시부(500)은 상기 카운터에서 계산되는 시간을 트랙장비의 운영자가 시각으로 확인을 가능하게 하도록 하며, 상기 경보부는 포토리소그래피 공정에서 요구되는 최적의 언로딩 시간을 초과하는 경우에는 알람을 발생하여 청각으로 언로딩으로 인한 트랙장비의 비효율적인 운용을 감지하도록 한다.
이하 첨부된 도 3을 참조하여 상기의 구성을 가지는 파드 대기 시간 개선 장치의 동작순서를 설명한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 가장 먼저 포토리소그래피 공정 진행 중 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)에서 감지된 광량이 전기적 신호로 변환하게 되고 그 다음에는 상기 전기적 신호를 기초로 중앙처리장치(330)가 웨이퍼의 로딩·언로딩을 판단을 한다.
여기서 광센서의 발광부(210)의 의해 발광된 광은 웨이퍼 후면에서 반사되어 수광부(220)에서 검출이 된다. 검출되는 광이 없는 경우에는 상기 웨이퍼 로딩용 포트(P1, P2, P3)에 웨이퍼가 없는 것을 의미한다.
상기 중앙처리장치(330)에서 판단한 결과 웨이퍼가 언로딩 된 경우에는 제어부(350)가 카운터(400)를 제어하고 상기 카운터(400)에 의해 언로딩 된 시점부터의 시간이 계산된다.
그리고 상기 계산되는 시간은 시간표시부(500)에 의해 실시간으로 출력되는 된다.
마지막으로, 상기 언로딩 시간이 데이터 베이스(340)에 저장된 포토리소그래피 공정에서 요구되는 최적의 언로딩 시간을 초과하는 경우에는 경보부(600)에 의해 알람이 발생하여 트랙장비(1)의 운영자가 상기 포토리소그래의 장비를 조정하여 다른 라트(lot)를 트랙장비(1)에 로딩하여 보다 효율적인 장비의 운용이 되도록 한다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정·변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
도 1은 종래의 트랙장비의 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비의 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 파드 대기 시간 개선 장치의 동작순서도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 트랙장비
P1, P2, P3 : 웨이퍼 로딩용 포트 10 : 도포 유닛
20 : 노광 공정 유닛 30 : 베이크 공정 유닛
40 : 현상 공정 유닛
2 : 파트 대기 시간 개선 장치
200 : 센서부 210 : 발광부
220 : 수광부
300 : 자동제어장치 310 : 발광부제어부
320 : 수광부제어부 330 : 중앙처리장치
340 : 데이터베이스 350 : 제어부
400 : 카운터 500 : 시간표시부
600 : 경보부

Claims (8)

  1. 트랙장비에 있어서,
    웨이퍼 로딩용 포트의 상부에 각각 설치되는 센서부,
    상기 센서부에 의해 감지된 신호를 기초로 웨이퍼의 로딩·언로딩을 판단하는 자동제어장치를 포함하는 파드 대기 시간 개선 장치가 구비된 트랙장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서부는 발광부와 수광부를 구비하는 광센서인 것을 특징으로 하는 트랙장비.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 파드 대기 시간 개선 장치는 카운터를 더 포함하고 상기 카운터는 상기 웨이퍼 로딩용 포트에서의 웨이퍼의 언로딩 시간을 계산하는 것을 특징으로 하는 트랙장비.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 파드 대기 시간 개선 장치는 시간표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트랙장비.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 트랙장비는 경보부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트랙장비.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 자동제어장치는 상기 발광부를 제어하는 발광부제어부; 상기 수광부에서 감지한 광량을 전기적 신호로 변환하는 수광부제어부; 상기 전기적신호를 기초로 상기 웨이퍼 로딩용 포트에서의 웨이퍼 로딩·언로딩을 판단하는 중앙처리장치; 상기 웨이퍼 로딩용 포트가 포토리소그래피 공정에서 요구되는 최적의 언로딩 시간이 저장되는 데이터베이스; 상기 중앙처리장치에서의 판단을 기초로 카운터, 시간표시부 및 경보부를 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 트랙장비.
  7. 포토리소그래피 공정 진행 중 웨이퍼 로딩용 포트에서 감지된 광량이 전기적 신호로 변환되는 1 단계;
    상기 전기적 신호를 기초로 중앙처리장치가 웨이퍼의 로딩·언로딩을 판단하는 2 단계;
    상기 판단 결과 웨이퍼가 언로딩 된 경우에는 제어부가 카운터를 제어하고 상기 카운터에 의해 언로딩 된 시점부터의 시간이 계산되는 3 단계;
    상기 계산되는 시간이 시간표시부에 의해 출력되는 4 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 대기 시간 개선 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 4 단계 이 후에 상기 언로딩 시간이 데이터 베이스에 저장된 포토리소그래피 공정에서 요구되는 최적의 언로딩 시간을 초과하는 경우에는 경보부에 의해 알람이 발생하는 5 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 대기 시간 개선 방법.
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