KR20090064319A

KR20090064319A - Apparatus and method for detecting foreign material and defect of flat display panel

Info

Publication number: KR20090064319A
Application number: KR1020080125946A
Authority: KR
Inventors: 차상원
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2007-12-14
Filing date: 2008-12-11
Publication date: 2009-06-18
Also published as: KR101494466B1

Abstract

A device and a method for detecting a foreign material are provided to increase detection efficiency by discriminating the foreign material found in a flat display panel, the foreign material found in an optical table or a backlight, and defect. An optical table(110) includes a through hole(112) at the center. A clamping unit(120) clamps a panel loaded to an upper part of the optical table. A panel transfer unit(125) transfers the panel by horizontally moving the clamping unit. A backlight(114) provides a perpendicular light to the panel through the through hole at a lower end of the optical table. A camera(140) obtains an image of the panel at the upper part of the optical table. An image processor(150) compares and analyzes the obtained image.

Description

Foreign substance detection device and foreign substance detection method {APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATERIAL AND DEFECT OF FLAT DISPLAY PANEL}

본 발명은 이물질검출장치 및 이물질검출방법에 관한 것으로서, 특히 검사 대상인 패널에 존재하는 이물질 및 상기 패널의 결함 검출을 위해 구비되는 광학 테이블이나 백라이트 상에 존재하는 이물질과 검출하고자 하는 결함을 효율적으로 구분하여 상기 이물질들이 결함으로 오인됨으로써 발생하는 문제점을 해소함으로써 평판 디스플레이 패널의 결함검출공정에 있어서의 효율성을 향상시킬 수 있는 이물질검출장치 및 이물질검출방법에 관한 것이다.The present invention relates to a foreign matter detection apparatus and a foreign matter detection method, and in particular, to effectively distinguish between foreign matter present in a panel to be inspected and foreign matter present on an optical table or a backlight provided for detecting a defect of the panel and a defect to be detected. Therefore, the present invention relates to a foreign matter detection device and a foreign matter detection method capable of improving the efficiency in a defect detection process of a flat panel display panel by solving a problem caused by mistaken foreign matters as a defect.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Dispaly), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diode), OTFT(Organic Thin-Film Transister) 등과 같은 평판 디스플레이 패널(FDP: Flat Panel Display)에 대한 연구 개발이 활발히 이루어지고 있다. As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms. In recent years, research on flat panel displays (FDP) such as liquid crystal dispaly (LCD), plasma display panel (PDP), organic light emitting diode (OLED), and organic thin-film transister (OTFT) Development is active.

이러한 평판 디스플레이 패널이 표시장치로서 다양한 분야에 사용되기 위해 서는 경량, 박형, 저소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위화상을 얼마나 구현할 수 있는가가 관건이다. 또한, 이러한 평판 디스플레이 패널의 제작 공정 중 그 자체의 결함을 검사함으로써 상기 평판 디스플레이 패널이 제대로 제조되었는지를 검사하는 공정은 제품에 대한 신뢰도와 직결되므로 매우 중요하다. In order to use such a flat panel display panel in various fields as a display device, how much high quality images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. In addition, the process of inspecting whether the flat panel display panel is properly manufactured by inspecting defects of the flat panel display panel itself is very important because it directly relates to the reliability of the product.

그런데 이러한 결함 검사 공정에서 패널의 표면에 묻은 먼지 등의 이물질을 패턴 불량으로 판단할 가능성이 있다. 즉, 결함 검사 공정에서 검출된 패턴 결함이 사실이 아니고, 단지 패널에 묻은 이물질인 경우에는 정상 패널을 불량 패널로 판단함으로써 손실이 발생할 수 있다. 따라서 결함 검사 공정에서 이물질을 따로 검출하여 정상 패널을 불량 패널로 판단하지 않도록 하여야 한다. However, in such a defect inspection process, there is a possibility that foreign matter such as dust on the surface of the panel may be judged as a defective pattern. That is, in the case where the pattern defect detected in the defect inspection process is not true and is merely a foreign matter on the panel, a loss may occur by judging the normal panel as a defective panel. Therefore, foreign matter should be detected separately in the defect inspection process so that the normal panel is not judged as a defective panel.

이를 위한 종래의 결함 검출 장치의 경우, 테이블 상에 검사 대상인 패널을 안착하고, 패널의 상부에 카메라를 구비하여 패널의 표면 이미지로서 이미지1을 획득한다. 그 다음 이물질 제거 유닛을 이용하여 패널의 표면에 존재하는 이물질을 제거하고 다시 카메라로 패널의 표면 이미지를 재획득한다. 이때 이미지2가 획득된다. In the conventional defect detection apparatus for this purpose, a panel to be inspected is mounted on a table, and an image 1 is obtained as a surface image of the panel by having a camera on the top of the panel. The debris removal unit is then used to remove debris from the surface of the panel and reacquire the surface image of the panel with the camera. At this time, image 2 is obtained.

상기 과정을 통해 얻어진 이미지1과 이미지2를 비교하여 단순한 이물질과 패널의 결함을 구분함으로써 패널의 진정한 결함을 검출하게 된다. 즉, 이미지1과 이미지2를 비교하여 위치가 바뀐 것이나 없어진 것은 이물질이고, 위치가 바뀌지 않은 것을 결함으로 판단하는 것이다.By comparing the image 1 and the image 2 obtained through the above process to distinguish between simple foreign matter and the defect of the panel to detect the true defect of the panel. In other words, comparing the image 1 and the image 2, the change of position or disappearance is a foreign matter, and it is determined that the position does not change as a defect.

그러나 이와 같은 방법에 의하면, 패널의 상면 또는 하면에 부착된 이물질이 나 테이블의 상면에 존재하는 이물질을 패널의 결함과 구분할 수 없으므로, 상기 이물질들을 결함으로 오인하게 되는 문제점이 여전히 남는다.However, according to this method, foreign matters attached to the upper or lower surface of the panel or the foreign matter present on the upper surface of the table cannot be distinguished from the defects of the panel, and thus there is still a problem that the foreign substances are mistaken for defects.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 검사 대상인 패널에 존재하는 이물질 및 상기 패널의 결함 검출을 위해 구비되는 광학 테이블이나 백라이트 상에 존재하는 이물질과 검출하고자 하는 결함을 효율적으로 구분하여 상기 이물질들이 결함으로 오인됨으로써 발생하는 문제점을 해소함으로써 평판 디스플레이 패널의 결함검출공정에 있어서의 효율성을 향상시킬 수 있는 이물질검출장치 및 이물질검출방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to improve the above problems, the foreign matter present in the panel to be inspected and the foreign matter present on the optical table or backlight provided for detecting the defect of the panel and the defect to be detected efficiently It is an object of the present invention to provide a foreign matter detection device and a foreign matter detection method that can improve the efficiency in the defect detection process of a flat panel display panel by solving the problems caused by the foreign matters are mistaken for defects.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 이물질검출장치는 중앙에 관통공이 형성된 광학 테이블과; 상기 광학 테이블의 상부에 로딩되는 검사 대상인 패널을 클램핑하는 클램핑 유닛과; 상기 클램핑 유닛을 수평이동시켜 상기 패널을 수평이동시키는 패널 이동유닛과; 상기 광학 테이블의 하단에 마련되어 상기 관통공을 통해 상기 패널에 수직광을 제공하는 백라이트와; 상기 광학 테이블의 상부에 배치되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라; 및 상기 카메라를 통해 획득한 이미지를 비교·분석하는 이미지 처리부를 포함한다.The foreign matter detection apparatus according to the present invention for achieving the above technical problem is an optical table formed with a through hole in the center; A clamping unit for clamping a panel to be inspected loaded on an upper portion of the optical table; A panel moving unit which horizontally moves the panel by horizontally moving the clamping unit; A backlight provided at a lower end of the optical table to provide vertical light to the panel through the through hole; A camera disposed above the optical table to obtain an image of the panel; And an image processor for comparing and analyzing the images acquired through the camera.

본 발명에 따른 이물질검출방법은 광학 테이블의 상부에 검사 대상인 패널을 로딩하는 단계와; 상기 패널을 클램핑하여 위치정렬하는 단계와; 상기 광학 테이블의 하단에 마련되는 백라이트를 이용하여 상기 패널로 수직광을 조사하는 단계와; 상기 광학 테이블의 상부에 배치되는 카메라를 통해 상기 패널의 이미지1을 획득하는 단계와; 상기 패널 또는 상기 광학 테이블 중 어느 하나를 수평이동시킨 후, 상기 카메라를 통해 상기 패널의 이미지2를 획득하는 단계; 및 상기 이미지1 및 이미지2를 비교·분석하여 상기 백라이트에 존재하는 이물질을 검출하는 단계를 포함한다.The foreign material detection method according to the present invention includes the steps of loading the panel to be inspected on the upper portion of the optical table; Clamping and aligning the panel; Irradiating vertical light onto the panel using a backlight provided at a lower end of the optical table; Acquiring an image 1 of the panel through a camera disposed above the optical table; Horizontally moving either the panel or the optical table, and acquiring an image 2 of the panel through the camera; And comparing and analyzing the image 1 and the image 2 to detect foreign substances present in the backlight.

일 실시예로서, 본 발명의 이물질검출장치는, 검사 대상인 패널이 클램핑되는 클램핑 유닛; 상기 패널의 하부에 배치되며 편광판 이동유닛에 연결되어 이동 가능한 편광판; 상기 편광판의 하부에 배치되며 확산시트 이동유닛에 연결되어 이동 가능한 확산시트; 상기 확산시트의 하부에 배치되며 백라이트 이동유닛에 연결되어 이동 가능한 것으로, 상기 확산시트, 상기 편광판 및 상기 패널에 광을 조사하는 백라이트; 상기 패널의 상부에 배치된 카메라를 통해 획득한 이미지를 비교 분석하는 이미지 처리부; 를 포함한다.In one embodiment, the foreign matter detection apparatus of the present invention, the clamping unit is clamped the panel to be inspected; A polarizing plate disposed under the panel and connected to the polarizing plate moving unit and movable; A diffusion sheet disposed below the polarizing plate and connected to the diffusion sheet moving unit and movable; A backlight disposed below the diffusion sheet and connected to a backlight moving unit to move the backlight, wherein the backlight irradiates light to the diffusion sheet, the polarizing plate, and the panel; An image processor configured to compare and analyze an image acquired through a camera disposed on the panel; It includes.

일 실시예로서, 본 발명의 이물질검출방법은, 검사 대상인 패널의 하부에 편광판, 확산시트 및 백라이트를 각각 이동 가능하게 배치하고, 상기 패널의 상부에 카메라를 배치하며, 상기 패널을 클램핑 유닛에 안착하여 위치 정렬하는 단계; 상기 백라이트로 상기 패널에 광을 조사하는 단계; 상기 카메라를 통해 상기 패널의 이미지1을 획득하는 단계; 상기 패널을 이동시키거나, 상기 패널을 고정하고 상기 편광판, 상기 확산시트 및 상기 백라이트 중 적어도 하나를 이동시킨 후, 상기 카메라를 통해 상기 패널의 이미지2를 획득하는 단계; 상기 이미지1 및 이미지2를 비교·분석함으로써, 상기 편광판, 상기 확산시트 및 상기 백라이트에 묻은 이물질과 상기 패널의 결함을 구분하여 검출하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the foreign matter detection method of the present invention, the polarizing plate, the diffusion sheet and the backlight is disposed on the lower portion of the panel to be inspected, respectively, the camera is placed on top of the panel, the panel is mounted on the clamping unit Aligning the position; Illuminating the panel with the backlight; Acquiring an image 1 of the panel through the camera; Moving the panel or fixing the panel and moving at least one of the polarizer, the diffusion sheet, and the backlight, and then acquiring an image 2 of the panel through the camera; Comparing and analyzing the image 1 and the image 2 to discriminate and detect foreign substances on the polarizing plate, the diffusion sheet, and the backlight and defects of the panel; Characterized in that it comprises a.

본 발명에 따른 이물질검출장치 및 이물질검출방법에 의하면, 검사 대상인 패널에 존재하는 이물질 및 상기 패널의 결함 검출을 위해 구비되는 광학 테이블의 백라이트 상에 존재하는 이물질과 검출하고자 하는 결함을 효율적으로 구분하여 상기 이물질들이 결함으로 오인됨으로써 발생하는 문제점을 해소함으로써 결함검출공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.According to the foreign matter detection apparatus and the foreign matter detection method according to the present invention, by separating the foreign matter present in the panel to be inspected and the foreign matter present on the backlight of the optical table provided for detecting the defect of the panel efficiently by There is an advantage that the efficiency of the defect detection process can be improved by solving the problem caused by the foreign matters are mistaken as a defect.

이하에서는 도 1을 참조하여 본 발명에 따른 이물질검출장치의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 이물질검출장치의 구성도이다.Hereinafter, with reference to Figure 1 will be described in detail a preferred embodiment of the foreign matter detection apparatus according to the present invention. 1 is a block diagram of a foreign substance detection apparatus according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 이물질검출장치(100)는 중앙에 패널(3)의 면적보다 약간 큰 단면적을 갖는 관통공(112)이 형성된 광학 테이블(110)을 구비한다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 광학 테이블(110)은 대략 사각형상이고, 상기 관통공(112) 역시 사각형상으로 구성된다. 그러나 상기 광학 테이블(110)은 반드시 사각형상일 필요는 없고, 상기 관통공(112) 역시 상기 패널(3)의 형상과 대응되는 형상이면 족하다.As illustrated in FIG. 1, the foreign matter detection apparatus 100 according to the present invention includes an optical table 110 having a through hole 112 having a cross-sectional area slightly larger than the area of the panel 3 in the center. In one embodiment of the present invention, the optical table 110 is substantially rectangular in shape, and the through hole 112 is also configured in a rectangular shape. However, the optical table 110 does not necessarily need to have a quadrangular shape, and the through hole 112 may be a shape corresponding to the shape of the panel 3.

상기 광학 테이블(110)의 상부에는 로딩되는 검사 대상인 상기 패널(3)을 클 램핑하는 클램핑 유닛(120)이 배치된다. 상기 클램핑 유닛(120)은 집계 형식의 기구적 구성을 갖는 것일 수도 있고, 진공펌프와 연결되어 그로부터 제공되는 진공흡입력을 통해 상기 패널(3)을 클램핑하는 것으로 구성될 수도 있다.A clamping unit 120 for clamping the panel 3, which is an inspection target to be loaded, is disposed above the optical table 110. The clamping unit 120 may have a mechanical configuration of an aggregate type, or may be configured to clamp the panel 3 through a vacuum suction input provided from and connected to a vacuum pump.

상기 클램핑 유닛(120)을 수평이동시킴으로써 상기 클램핑 유닛(120)에 클램핑된 상기 패널(3)을 수평이동시키는 패널 이동유닛(125)이 상기 클램핑 유닛(120)에 연결된다. 상기 패널 이동유닛(125)은 상기 클램핑 유닛(120)에 클램핑된 상기 패널(3)을 수평이동시켜 위치 정렬하는 역할을 수행할 뿐만 아니라, 상기 패널(3)을 상기 광학 테이블(110)에 대하여 상대적으로 수평이동시키는 역할을 수행한다. The panel moving unit 125 which horizontally moves the panel 3 clamped to the clamping unit 120 by horizontally moving the clamping unit 120 is connected to the clamping unit 120. The panel moving unit 125 serves to align and position the panel 3 clamped to the clamping unit 120 by horizontally moving the panel 3 with respect to the optical table 110. It performs relatively horizontal movement.

상기 패널 이동유닛(125)은 다양한 형태로 구성될 수 있는데, 그 일 예로는 볼스크류, 상기 볼스크류를 회전시키는 모터, 상기 볼스크류에 회전가능하게 삽입되어 상기 볼스크류의 회전에 따라 LM가이드의 안내를 받으면서 직선운동하는 이동블럭 등을 포함하여 구성되는 것일 수 있다. 그러나 이 외에도 다른 다양한 방식으로 구성될 수 있다. The panel moving unit 125 may be configured in various forms, for example, a ball screw, a motor for rotating the ball screw, rotatably inserted into the ball screw, and thus, the rotation of the LM guide according to the rotation of the ball screw. It may be configured to include a moving block, such as linear movement while receiving the guide. However, it can be configured in various other ways.

상기 광학 테이블(110)의 하단에는 백라이트(114)가 배치된다. 상기 백라이트(114)는 상기 광학 테이블(110)에 형성된 관통공(112)을 통해 상기 패널(3)에 수직광을 제공하는 역할을 수행한다. The backlight 114 is disposed at the lower end of the optical table 110. The backlight 114 serves to provide vertical light to the panel 3 through the through hole 112 formed in the optical table 110.

상기 광학 테이블(110)의 상부에는 카메라(140)가 배치된다. 상기 카메라(140)는 상기 패널(3)의 이미지를 획득하는 역할을 수행한다. 상기 카메라(140)는 이미지 처리부(150)와 연결된다. 상기 이미지 처리부(150)는 상기 카메라(140)를 통해 획득된 이미지를 비교·분석하여 상기 패널(3) 및 백라이트(114)에 존재하 는 이물질을 검출하고, 상기 이물질들을 결함 후보점에서 제외시킴으로써 상기 패널(3)에 발생된 결함만을 검출해 내는 역할을 수행한다. The camera 140 is disposed above the optical table 110. The camera 140 plays a role of acquiring an image of the panel 3. The camera 140 is connected to the image processor 150. The image processor 150 compares and analyzes the image acquired through the camera 140 to detect foreign substances present in the panel 3 and the backlight 114, and excludes the foreign substances from defect candidate points. It serves to detect only the defects generated in the panel (3).

한편, 상기 광학 테이블(110)의 하부에는 상기 광학 테이블(110)을 수평이동시키는 광학 테이블 이동유닛(130)이 더 구비될 수 있다. 상기 광학 테이블 이동유닛(130)은 상기 패널(3)에 대하여 상기 광학 테이블(110)을 상대적으로 수평이동시키는 역할을 수행한다. On the other hand, the lower portion of the optical table 110 may be further provided with an optical table moving unit 130 for horizontally moving the optical table 110. The optical table moving unit 130 plays a role of relatively horizontally moving the optical table 110 with respect to the panel 3.

따라서 상기 광학 테이블 이동유닛(130) 또는 전술한 패널 이동유닛(125) 중 어느 하나를 구동시킴으로써 상기 광학 테이블(110)에 대해 상기 패널(3)을 상대적으로 이동시킬 수 있다.Therefore, the panel 3 may be moved relative to the optical table 110 by driving either the optical table moving unit 130 or the panel moving unit 125 described above.

이하에서는 도 2 내지 도 4를 참조하여 전술한 이물질검출장치(100)를 이용한 본 발명에 따른 이물질검출방법에 대해 상세히 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 이물질검출방법의 순서도이고, 도 3 및 도 4는 이미지1 및 이미지2를 나타낸 도면이다.Hereinafter, a foreign matter detection method according to the present invention using the above-described foreign matter detection apparatus 100 will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4. 2 is a flowchart of a foreign material detection method according to the present invention, and FIGS. 3 and 4 are views showing images 1 and 2.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 광학 테이블(110)의 상부에 검사 대상인 패널(3)을 로딩한다. First, as shown in FIG. 2, the panel 3 to be inspected is loaded on the optical table 110.

이후, 클램핑 유닛(120)이 상기 패널(3)을 클램핑하고, 상기 클램핑 유닛(120)에 연결된 패널 이동유닛(125)이 구동하여 상기 패널(3)을 위치정렬한다. Thereafter, the clamping unit 120 clamps the panel 3, and the panel moving unit 125 connected to the clamping unit 120 drives to position the panel 3.

그 다음, 상기 광학 테이블(110)의 하단에 마련되는 백라이트(114)를 이용하여 상기 패널(3)로 수직광을 조사한다. Then, the vertical light is irradiated onto the panel 3 by using the backlight 114 provided at the lower end of the optical table 110.

그 다음, 상기 광학 테이블(110)의 상부에 배치되는 카메라(140)를 통해 상 기 패널(3)의 이미지1을 획득한다. 상기 이미지1의 일 예가 도 3에 도시되어 있다. 도 3을 참조하면, 상기 이미지1에는 상기 패널(3)에 발생된 결함과 상기 백라이트(114)에 존재하는 이물질들이 나타나 있다. 상기 패널(3)에 표시된 얼라인 마크(3a)는 카메라(140), 패널(3), 광학 테이블(110)을 정렬하는 기준이 되고, 이미지1 및 이미지2에 있어서 기준 원점이 된다.Next, an image 1 of the panel 3 is obtained through the camera 140 disposed on the optical table 110. An example of the image 1 is shown in FIG. 3. Referring to FIG. 3, the image 1 shows defects generated in the panel 3 and foreign substances present in the backlight 114. The alignment mark 3a displayed on the panel 3 serves as a reference for aligning the camera 140, the panel 3, and the optical table 110, and serves as a reference origin in the images 1 and 2.

그 다음, 상기 패널(3) 또는 상기 광학 테이블(110) 중 어느 하나를 수평이동시킨 후, 상기 카메라(140)를 통해 상기 패널(3)의 이미지2를 획득한다. 상기 이미지2의 일 예가 도 4에 도시되어 있다. 도 4를 참조하면, 상기 패널(3)에 발생된 결함은 그 위치에 변동이 없으나, 상기 백라이트(114)에 존재하는 이물질들은 상기 패널(3) 또는 광학 테이블(110)이 상대적으로 이동한 거리 만큼 이동되어 있음을 알 수 있다.Next, after horizontally moving either the panel 3 or the optical table 110, an image 2 of the panel 3 is obtained through the camera 140. An example of the image 2 is shown in FIG. 4. Referring to FIG. 4, the defect generated in the panel 3 does not change in its position, but the foreign substances present in the backlight 114 are relatively moved by the panel 3 or the optical table 110. You can see that it is moved.

그 다음, 이미지 처리부(150)가 상기 이미지1 및 이미지2를 비교·분석하여 상기 백라이트(114)에 존재하는 이물질들을 검출한다. 즉, 상기 이미지1 및 이미지2 모두에서 그 위치가 변동되지 않은 것이 결함이고, 그 위치가 변동된 것이 상기 백라이트(114)에 존재하는 이물질들인 것이다. 전술한 과정을 통해 검출된 상기 백라이트(114)에 존재하는 이물질들에 대한 정보를 바탕으로 추후 설명될 상기 패널(3)의 결함 검출시 상기 이물질들을 결함 후보점에서 제외함으로써 상기 이물질들이 결함으로 오인됨으로써 발생되는 결함검출과정에서의 제 문제를 효율적으로 해소한다.Next, the image processor 150 compares and analyzes the image 1 and the image 2 to detect foreign substances present in the backlight 114. That is, the defect is that the position does not change in both the image 1 and the image 2, the foreign matter existing in the backlight 114 is the position is changed. When the defect of the panel 3 to be described later is detected based on the information on the foreign substances present in the backlight 114 detected through the above-described process, the foreign substances are mistaken as defects by excluding the foreign substances from the defect candidate point. It effectively solves the problems in the defect detection process caused by this.

이하에서는 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 이물질검출장치의 다른 실시예 에 대해 상세히 설명한다. 도 5는 본 발명에 따른 이물질검출장치의 다른 실시예에 대한 구성도이다.Hereinafter, another embodiment of the foreign matter detection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 5. 5 is a block diagram of another embodiment of the foreign matter detection apparatus according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널의 이물질검출장치(200)는 중앙에 패널(3)의 면적보다 약간 큰 단면적을 갖는 관통공(212)이 형성된 광학 테이블(210)을 구비한다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 광학 테이블(210)은 대략 사각형상이고, 상기 관통공(212) 역시 사각형상으로 구성된다. 그러나 상기 광학 테이블(210)은 반드시 사각형상일 필요는 없고, 상기 관통공(212) 역시 상기 패널(3)의 형상과 대응되는 형상이면 족하다.As illustrated in FIG. 5, the foreign matter detection apparatus 200 of the flat panel display panel according to the present invention includes an optical table 210 having a through hole 212 having a cross-sectional area slightly larger than the area of the panel 3 in the center. Equipped. In an embodiment of the present invention, the optical table 210 has a substantially rectangular shape, and the through hole 212 also has a rectangular shape. However, the optical table 210 does not necessarily have to have a quadrangular shape, and the through hole 212 may also be a shape corresponding to the shape of the panel 3.

상기 광학 테이블(210)의 상부에는 로딩되는 검사 대상인 상기 패널(3)을 클램핑하는 클램핑 유닛(220)이 배치된다. 상기 클램핑 유닛(220)은 전술한 이물질검출장치(100)의 클램핑 유닛(120)과 마찬가지로 집계 형식의 기구적 구성을 갖는 것일 수도 있고, 진공펌프와 연결되어 그로부터 제공되는 진공흡입력을 통해 상기 패널(3)을 클램핑하는 것으로 구성될 수도 있다.A clamping unit 220 for clamping the panel 3, which is an inspection target to be loaded, is disposed above the optical table 210. The clamping unit 220 may have a mechanical configuration in the form of an aggregate like the clamping unit 120 of the foreign matter detection apparatus 100 described above, or may be connected to a vacuum pump and provided through the vacuum suction input provided therefrom. It may also consist of clamping 3).

상기 클램핑 유닛(220)을 수평이동시킴으로써 상기 클램핑 유닛(220)에 클램핑된 상기 패널(3)을 수평이동시키는 패널 이동유닛(225)이 상기 클램핑 유닛(220)에 연결된다. 상기 패널 이동유닛(225)은 상기 클램핑 유닛(220)에 클램핑된 상기 패널(3)을 수평이동시켜 위치정렬하는 역할을 수행할 뿐만 아니라, 상기 패널(3)을 상기 광학 테이블(210)에 대하여 상대적으로 수평이동시키는 역할을 수행한다. 상기 패널 이동유닛(225)은 다양한 방식으로 구성될 수 있다. A panel moving unit 225 for horizontally moving the panel 3 clamped to the clamping unit 220 by horizontally moving the clamping unit 220 is connected to the clamping unit 220. The panel moving unit 225 not only serves to horizontally align the panel 3 clamped to the clamping unit 220, but also positions the panel 3 with respect to the optical table 210. It performs relatively horizontal movement. The panel moving unit 225 may be configured in various ways.

상기 광학 테이블(210)의 상부에는 상부 측광원(260)이 배치된다. 상기 상부 측광원(260)은 상기 패널(3)의 상면에 경사광을 제공하기 위한 것으로서, 상기 패널(3)의 양단 가장자리를 따라 배치된다. 상기 상부 측광원(260)에는 반사판(262)이 더 구비될 수 있다. 상기 반사판(262)은 상기 상부 측광원(260)의 빛을 상기 패널(3)로 집중시키는 역할을 수행한다. An upper side light source 260 is disposed above the optical table 210. The upper side light source 260 is to provide oblique light to the upper surface of the panel 3, and is disposed along the edges of both ends of the panel 3. The upper side light source 260 may be further provided with a reflecting plate 262. The reflective plate 262 serves to concentrate the light of the upper photometric source 260 to the panel 3.

상기 광학 테이블(210)의 관통공(212) 내측면에는 상기 패널(3)의 하면에 경사광을 제공하는 하부 측광원(270)이 내설되어 배치된다. 상기 하부 측광원(270)의 전면에는 확산시트(272)가 더 구비될 수 있다. 상기 확산시트(272)는 상기 하부 측광원(270)에서 나온 빛을 확산시켜주는 역할을 수행한다.The lower side light source 270 that provides oblique light on the lower surface of the panel 3 is disposed on the inner surface of the through hole 212 of the optical table 210. A diffusion sheet 272 may be further provided on the front surface of the lower side light source 270. The diffusion sheet 272 serves to diffuse light emitted from the lower side light source 270.

상기 광학 테이블(210)의 하단에는 백라이트(214)가 배치된다.상기 백라이트(214)는 상기 광학 테이블(210)에 형성된 관통공(212)을 통해 상기 패널(3)에 수직광을 제공하는 역할을 수행한다. A backlight 214 is disposed at a lower end of the optical table 210. The backlight 214 serves to provide vertical light to the panel 3 through the through holes 212 formed in the optical table 210. Do this.

상기 광학 테이블(210)의 상부에는 카메라(240)가 배치된다. 상기 카메라(240)는 상기 패널(3)의 이미지를 획득하는 역할을 수행한다. 상기 카메라(240)는 이미지 처리부(250)와 연결된다. 상기 이미지 처리부(250)는 상기 카메라(240)를 통해 획득된 이미지를 비교·분석하여 상기 패널(3) 및 백라이트(214)에 존재하는 이물질을 검출하고, 상기 이물질들을 결함 후보점에서 제외시킴으로써 상기 패널(3)에 발생된 결함만을 검출해 내는 역할을 수행한다. The camera 240 is disposed above the optical table 210. The camera 240 plays a role of acquiring an image of the panel 3. The camera 240 is connected to the image processor 250. The image processor 250 compares and analyzes an image obtained through the camera 240 to detect foreign substances present in the panel 3 and the backlight 214, and excludes the foreign substances from defect candidate points. It serves to detect only defects generated in the panel 3.

한편, 상기 광학 테이블(210)의 하부에는 상기 광학 테이블(210)을 수평이동시키는 광학 테이블 이동유닛(230)이 더 구비될 수 있다. 상기 광학 테이블 이동유닛(230)은 상기 패널(3)에 대하여 상기 광학 테이블(210)을 상대적으로 수평이동시 키는 역할을 수행한다. On the other hand, the lower portion of the optical table 210 may be further provided with an optical table moving unit 230 for horizontally moving the optical table 210. The optical table moving unit 230 plays a role of relatively horizontally moving the optical table 210 with respect to the panel 3.

따라서 상기 광학 테이블 이동유닛(230) 또는 전술한 패널 이동유닛(225) 중 어느 하나를 구동시킴으로써 상기 광학 테이블(210)에 대해 상기 패널(3)을 상대적으로 이동시킬 수 있다.Therefore, the panel 3 may be moved relative to the optical table 210 by driving either the optical table moving unit 230 or the panel moving unit 225 described above.

이하에서는 도 6을 참조하여 전술한 평판 디스플레이 패널의 이물질검출장치(200)를 이용한 이물질검출방법에 대해 상세히 설명한다. 도 6은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널의 이물질검출방법의 순서도이다.Hereinafter, a foreign matter detection method using the foreign matter detection apparatus 200 of the flat panel display panel described above will be described in detail with reference to FIG. 6. 6 is a flow chart of a foreign matter detection method of a flat panel display panel according to the present invention.

먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 광학 테이블(210)의 상부에 검사 대상인 패널(3)을 로딩한다. First, as shown in FIG. 6, the panel 3 to be inspected is loaded on the optical table 210.

이후, 클램핑 유닛(220)이 상기 패널(3)을 클램핑하고, 상기 클램핑 유닛(220)에 연결된 패널 이동유닛(225)이 구동하여 상기 패널(3)을 위치정렬한다. Thereafter, the clamping unit 220 clamps the panel 3, and the panel moving unit 225 connected to the clamping unit 220 drives to position the panel 3.

그 다음, 상기 광학 테이블(210)의 하단에 마련되는 백라이트(214)를 이용하여 상기 패널(3)로 수직광을 조사한다. Next, vertical light is irradiated onto the panel 3 using the backlight 214 provided at the lower end of the optical table 210.

그 다음, 상기 광학 테이블(210)의 상부에 배치되는 카메라(240)를 통해 상기 패널(3)의 이미지1을 획득한다. 상기 이미지1에는 상기 패널(3) 및 백라이트(214)에 존재하는 이물질들과 상기 패널(3)에 발생된 결함이 모두 나타나게 된다.Next, an image 1 of the panel 3 is obtained through the camera 240 disposed on the optical table 210. In the image 1, all foreign substances present in the panel 3 and the backlight 214 and defects generated in the panel 3 are displayed.

그 다음, 상기 패널(3) 또는 상기 광학 테이블(210) 중 어느 하나를 수평이동시킨 후, 상기 카메라(240)를 통해 상기 패널(3)의 이미지2를 획득한다. 상기 이미지2에 있어서, 상기 패널(3)에 존재하는 이물질들과 결함은 그 위치가 변동되지 않은 상태를 유지하나, 상기 백라이트(214)에 존재하는 이물질들의 경우에는 그 위치가 변동된 상태로 나타난다.Next, after horizontally moving either the panel 3 or the optical table 210, an image 2 of the panel 3 is obtained through the camera 240. In the image 2, foreign matters and defects existing in the panel 3 remain unchanged, but in the case of foreign matters present in the backlight 214, their position is changed. .

그 다음, 이미지 처리부(250)가 상기 이미지1 및 이미지2를 비교·분석하여 상기 백라이트(214)에 존재하는 이물질들을 검출한다. 즉, 상기 이미지1 및 이미지2 모두에서 그 위치가 변동되지 않은 것이 상기 패널(3)에 존재하는 이물질들 및 결함이고, 그 위치가 변동된 것이 상기 백라이트(214)에 존재하는 이물질들인 것이다. Next, the image processor 250 compares and analyzes the image 1 and the image 2 to detect foreign substances present in the backlight 214. That is, foreign matters and defects existing in the panel 3 are the positions of which are not changed in both the image 1 and the image 2, and foreign substances present in the backlight 214 are changed in the position thereof.

그 다음, 상기 백라이트(214)를 오프(Off)시키고, 상기 광학 테이블(210)의 상부에 배치되는 상부 측광원(260)을 온(On)시켜 상기 패널(3)의 상면에 경사광을 조사하고, 상기 카메라(240)를 통해 상기 패널(3)의 이미지3을 획득한다. 상기 이미지3에는 상기 패널(3)의 상면에 존재하는 이물질들만이 나타난다.Next, the backlight 214 is turned off, and the upper side light source 260 disposed above the optical table 210 is turned on to illuminate oblique light on the upper surface of the panel 3. In addition, an image 3 of the panel 3 is obtained through the camera 240. In the image 3, only foreign substances present on the upper surface of the panel 3 are shown.

그 다음, 상기 상부 측광원(260)을 오프(Off)시키고, 상기 광학 테이블(210)에 마련된 하부 측광원(270)을 온(On)시켜 상기 패널(3)의 하면에 경사광을 조사하고, 상기 카메라(240)를 통해 상기 패널(3)의 이미지4를 획득한다. 상기 이미지4에는 상기 패널(3)의 하면에 존재하는 이물질들만이 나타난다.Next, the upper side light source 260 is turned off, the lower side light source 270 provided on the optical table 210 is turned on, and the oblique light is irradiated onto the lower surface of the panel 3. Image 4 of panel 3 is acquired through camera 240. In the image 4, only foreign substances present on the lower surface of the panel 3 are shown.

그 다음, 상기 이미지1 내지 이미지4를 비교·분석하여 상기 패널(3)에 존재하는 결함을 검출한다. 즉, 상기 이미지1 및 이미지2에 대한 비교·분석을 통해 검출된 상기 백라이트(214)에 존재하는 이물질들을 결함 후보점에서 제외시키고, 상기 이미지1 내지 이미지4를 비교·분석하여 검출된 상기 패널(3)의 상면 및 하면에 존재하는 이물질들을 결함 후보점에서 제외시킴으로써 최종적으로 상기 패널(3)에 존재하는 결함만을 검출할 수 있다.Then, the images 1 to 4 are compared and analyzed to detect defects present in the panel 3. That is, the panel detected by excluding foreign substances present in the backlight 214 detected through comparison and analysis of the image 1 and image 2 from the defect candidate point and comparing and analyzing the images 1 to 4 ( By excluding foreign substances existing on the upper and lower surfaces of 3) from defect candidate points, only defects finally present in the panel 3 can be detected.

따라서 상기 패널(3) 및 백라이트(214)에 존재하는 이물질들을 결함으로 오인하여 상기 패널(3)을 폐기함으로써 발생하는 손실 또는 재검사를 진행함으로써 발생하는 결함검출공정의 비효율성을 방지할 수 있다. Therefore, it is possible to prevent the inefficiency of the defect detection process caused by the loss or re-inspection caused by discarding the panel 3 by mistaken the foreign substances present in the panel 3 and the backlight 214 as a defect.

이하, 본 발명의 또 다른 실시예로서, 이물질검출장치(300)를 설명한다. 도 7 내지 도 14는 본 발명의 이물질검출장치(300)의 또 다른 실시예에 대한 구성도이다. 도 15는 본 발명의 패널 이동유닛(325)의 일 실시예를 도시한 평면도이다. 도 16은 본 발명의 이물질검출방법의 또 다른 실시예에 대한 순서도이다. 도 7 내지 도 16을 함께 참조하며, 상기 이물질검출장치(300) 및 상기 이물질검출방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, as another embodiment of the present invention, a foreign substance detection apparatus 300 will be described. 7 to 14 is a block diagram of another embodiment of the foreign matter detection apparatus 300 of the present invention. 15 is a plan view showing an embodiment of the panel moving unit 325 of the present invention. 16 is a flowchart illustrating another embodiment of the foreign matter detection method of the present invention. 7 to 16, the foreign matter detection apparatus 300 and the foreign matter detection method will be described.

도시된 이물질검출장치(300)는 패널(3)에 검사 신호를 인가하는 컨택트 핀(301)(contact pin)과, 패널(3)을 안착시키는 클램핑 유닛(320)과, 클램핑 유닛(320)을 수평이동시키는 패널 이동유닛(325)과, 패널(3)의 하부에 순차적으로 배치되는 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)와, 이들을 각각 이동시키는 편광판 이동유닛(355), 확산시트 이동유닛(365), 백라이트 이동유닛(375)을 구비한다. 한편, 패널(3)의 상부에는 카메라(340)와, 카메라(340)를 통하여 획득한 이미지를 비교 분석하는 이미지 처리부(350)가 마련된다.The illustrated foreign matter detection device 300 includes a contact pin 301 for applying a test signal to the panel 3, a clamping unit 320 for mounting the panel 3, and a clamping unit 320. A panel moving unit 325 for horizontally moving, a polarizing plate 350, a diffusion sheet 360 and a backlight 370 sequentially disposed below the panel 3, and a polarizing plate moving unit 355 for moving them, respectively, The diffusion sheet moving unit 365 and the backlight moving unit 375 are provided. Meanwhile, an upper portion of the panel 3 is provided with a camera 340 and an image processor 350 for comparing and analyzing the images obtained through the camera 340.

일 실시예로서, 패널 이동유닛(325)은 도 15에 도시된 것과 같이 패널(3)의 일측에 연결되어 패널(3)을 이동시키고, LM가이드(324)가 이동되는 패널(3)을 안내한다. 도시된 실시예 이외에도 패널 이동유닛은 볼스크류, 상기 볼스크류를 회전시 키는 모터, 상기 볼스크류에 회전가능하게 삽입되어 상기 볼스크류의 회전에 따라 LM가이드의 안내를 받으면서 직선운동하는 이동블럭 등을 포함하여 구성되는 것일 수 있다. In one embodiment, the panel moving unit 325 is connected to one side of the panel 3 as shown in FIG. 15 to move the panel 3, and guide the panel 3 to which the LM guide 324 is moved. do. In addition to the illustrated embodiment, the panel moving unit includes a ball screw, a motor for rotating the ball screw, a rotatable block inserted into the ball screw rotatably and guided by the LM guide according to the rotation of the ball screw. It may be configured to include.

패널 이동유닛(325)을 위주로 설명하였지만, 편광판 이동유닛(355), 확산시트 이동유닛(365), 백라이트 이동유닛(375)도 상술한 패널 이동유닛(325)과 마찬가지로 다양한 구성으로 마련될 수 있다. Although the panel moving unit 325 has been described mainly, the polarizing plate moving unit 355, the diffusion sheet moving unit 365, and the backlight moving unit 375 may be provided in various configurations similar to the panel moving unit 325 described above. .

얼라인 마크(3a)는 카메라(340), 패널(3), 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)를 정렬하는 기준이 되고, 후술할 이미지1 및 이미지2을 서로 비교 분석함에 있어서 기준 원점이 된다.The alignment mark 3a serves as a reference for aligning the camera 340, the panel 3, the polarizer 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370, and compares and analyzes the image 1 and the image 2 to be described later. It is a reference origin in the process.

패널(3)의 상부에 배치되는 카메라(340)는 도 7에 도시된 것과 같이 패널(3), 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)를 모두 고정하여 각각의 상대 이동량이 발생하지 않은 상태에서 이미지1을 획득한다. 이미지1은 앞에서 설명한 도 3을 예로 들 수 있다. 그러나, 도 3과 같은 이미지1을 분석하더라도 패널(3)의 결함(3d)을, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)에 묻은 이물질(350p,360p,370p)과 구분하는 것은 매우 곤란하다.As shown in FIG. 7, the camera 340 disposed on the panel 3 fixes the panel 3, the polarizing plate 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370 so that the relative movement amount of each of the cameras 340 is fixed. Acquire image 1 in the non-occurring state. Image 1 may be an example of FIG. 3 described above. However, even if the image 1 shown in FIG. 3 is analyzed, the defects 3d of the panel 3 are distinguished from the foreign substances 350p, 360p, and 370p deposited on the polarizer 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370. Is very difficult.

이때, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)를 모두 고정 상태로 그대로 두고 패널(3)을 이동시킨 후 카메라(340)를 통하여 도 4와 같은 이미지2를 획득하고, 이미지 처리부(350)에서 이미지1 및 이미지2를 비교하면 패널(3)의 결함(3d)을, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)에 묻은 이물질(350p,360p,370p)과 구분 검출할 수 있다. 패널(3)의 결함(3d)은 이미지1을 기준으로 할 때 이미지2에 서 위치 변동이 발생하나, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)에 묻은 이물질(350p,360p,370p)은 이미지1 및 이미지2에 있어서 위치 변동이 없기 때문이다.At this time, the polarizing plate 350, the diffusion sheet 360, the backlight 370 is left in a fixed state and the panel 3 is moved, and through the camera 340 to obtain an image 2 as shown in FIG. Comparing the image 1 and the image 2 at 350, the defect 3d of the panel 3 is distinguished from the foreign materials 350p, 360p, and 370p buried in the polarizer 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370. Can be detected. When the defect 3d of the panel 3 is based on the image 1, the position variation occurs in the image 2, but the foreign substances 350p, 360p, and the like deposited on the polarizing plate 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370, 370p) is because there is no positional variation in the image 1 and the image 2.

뿐만 아니라, 도 8과 같이 패널(3)을 그대로 두고, 패널(3)에 대하여 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)를 함께 이동하는 경우에도 도 4와 같은 이미지2를 획득할 수 있다. 이때, 패널(3)의 결함(3d)은 위치 변동되지 않고, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)에 묻은 이물질(350p,360p,370p)만 위치 변동되므로, 패널(3)의 결함(3d)을, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)에 묻은 이물질(350p,360p,370p)과 구분 검출할 수 있다.In addition, even when the panel 3 is left as shown in FIG. 8 and the polarizer 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370 are moved with respect to the panel 3, an image 2 as shown in FIG. 4 is obtained. can do. At this time, the defect 3d of the panel 3 does not vary in position, and only the foreign substances 350p, 360p, and 370p buried in the polarizing plate 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370 vary in position. ), The defect 3d can be detected separately from the foreign materials 350p, 360p, and 370p buried in the polarizing plate 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370.

따라서, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)에 묻은 이물질(350p,360p,370p)을 패널(3)의 결함(3d)으로 오인함으로써 양품인 패널(3)을 폐기할 때 발생하는 손실 또는 재검사시 발생하는 공정의 비효율성을 개선할 수 있다. 여기서, 편광판(350), 확산시트(360), 백라이트(370)에 묻은 이물질(350p,360p,370p)을 클리닝하여 그 다음의 검사 공정을 진행하게 된다. 한편, 패널(3)의 결함(3d)을 이물질(350p,360p,370p)과 구분 검출하는 외에, 이물질(350p,360p,370p)이 구체적으로 어느 위치에 묻은 것인지 알 수 있다면 그 부분만을 클리닝하거나 교체함으로써 검사 성능을 더욱 개선할 수 있다. Therefore, when discarding the good panel 3 by misunderstanding the foreign matter 350p, 360p, 370p buried in the polarizing plate 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370 as the defect 3d of the panel 3; You can improve the process inefficiencies that occur during loss or retest. Here, the foreign materials 350p, 360p, and 370p buried in the polarizing plate 350, the diffusion sheet 360, and the backlight 370 are cleaned, and the next inspection process is performed. On the other hand, in addition to detecting the defect (3d) of the panel 3 from the foreign matter (350p, 360p, 370p), if only to know where the foreign matter (350p, 360p, 370p) is specifically buried in the part or Replacement can further improve inspection performance.

이에 대한 실시예로서, 도 9는 편광판(350)만 이동하는 경우이며, 편광판(350)에 묻은 이물질(350p)만 이미지2에서 위치 변동이 발생하므로 편광판(350)에 묻은 이물질(350p)이 이미지2에서 어떠한 지점인지 정확하게 알 수 있다. As an exemplary embodiment of this, FIG. 9 illustrates a case in which only the polarizer 350 moves, and only the foreign material 350p buried in the polarizer 350 causes a positional shift in the image 2, so that the foreign material 350p buried in the polarizer 350 is an image. You can see exactly where it is at 2.

도 10은 확산시트(360)만 이동하는 경우이며 확산시트(360)에 묻은 이물 질(360p)을 정확하게 구분 검출할 수 있다. FIG. 10 illustrates a case in which only the diffusion sheet 360 is moved and the foreign matter 360p buried in the diffusion sheet 360 can be accurately detected.

이와 마찬가지로, 도 11은 백라이트(370)만 이동하는 경우이며, 도 12는 편광판(350)과 확산시트(360)를 함께 이동하는 경우이며, 도 13은 확산시트(360)와 백라이트(370)를 함께 이동하는 경우이고, 도 14는 편광판(350)과 백라이트(370)를 함께 이동하는 경우이다. 도 7 내지 도 14에 도시된 실시예에 의하면, 결함(3d) 및 이물질(350p,360p,370p)의 구분 검출과 함께 이물질(350p,360p,370p)의 부착 위치를 정확하게 파악할 수 있는 장점이 있다. Similarly, FIG. 11 illustrates a case in which only the backlight 370 moves, FIG. 12 illustrates a case in which the polarizer 350 and the diffusion sheet 360 move together, and FIG. 13 illustrates the diffusion sheet 360 and the backlight 370. In this case, the polarizer 350 and the backlight 370 are moved together. According to the embodiments shown in FIGS. 7 to 14, there is an advantage in that the attachment position of the foreign matters 350p, 360p, and 370p can be accurately determined along with the detection of the defects 3d and the foreign matters 350p, 360p, and 370p. .

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention, a preferred embodiment of the present invention has been described, but those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. Of course. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims below, but also by the equivalents of the claims.

도 1은 본 발명에 따른 이물질검출장치의 일 실시예에 대한 구성도이다.1 is a block diagram of an embodiment of a foreign matter detection apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 이물질검출방법의 일 실시예에 대한 순서도이다2 is a flow chart of an embodiment of a foreign matter detection method according to the present invention.

도 3 및 도 4는 본 발명에 의하여 획득한 이미지1 및 이미지2를 나타낸다.3 and 4 show the image 1 and the image 2 obtained by the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 이물질검출장치의 다른 실시예에 대한 구성도이다.5 is a block diagram of another embodiment of the foreign matter detection apparatus according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 이물질검출방법의 다른 실시예에 대한 구성도이다.6 is a block diagram of another embodiment of a foreign matter detection method according to the present invention.

도 7 내지 도 14는 본 발명의 이물질검출장치의 또 다른 실시예에 대한 구성도이다.7 to 14 is a block diagram of another embodiment of the foreign matter detection apparatus of the present invention.

도 15는 본 발명의 패널 이동유닛의 일 실시예를 도시한 평면도이다.15 is a plan view showing an embodiment of a panel moving unit of the present invention.

도 16은 본 발명의 이물질검출방법의 또 다른 실시예에 대한 순서도이다.16 is a flowchart illustrating another embodiment of the foreign matter detection method of the present invention.

<도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

3 : 패널 110, 210 : 광학 테이블3: panel 110, 210: optical table

112, 212 : 관통공 114, 214, 370 : 백라이트112, 212: through holes 114, 214, 370: backlight

120, 220, 320 : 클램핑 유닛 125, 225, 325 : 패널 이동유닛120, 220, 320: clamping unit 125, 225, 325: panel moving unit

130, 230 : 광학 테이블 이동유닛 140, 240, 340 : 카메라130, 230: optical table moving unit 140, 240, 340: camera

150, 250, 350 : 이미지 처리부 260 : 상부 측광원150, 250, 350: image processing unit 260: upper side light source

262 : 반사판 270 : 하부 측광원262: reflector 270: lower side light source

272, 360 : 확산시트 350 : 편광판272, 360: diffusion sheet 350: polarizing plate

355 : 편광판 이동유닛 365 : 확산시트 이동유닛355: polarizing plate moving unit 365: diffusion sheet moving unit

375 : 백라이트 이동 유닛375: backlight moving unit

Claims

An optical table having a through hole formed in the center thereof;

A clamping unit for clamping a panel to be inspected loaded on an upper portion of the optical table;

A panel moving unit for horizontally moving the panel by horizontally moving the clamping unit;

A backlight provided at a lower end of the optical table to provide vertical light to the panel through the through hole;

A camera disposed above the optical table to obtain an image of the panel;

An image processor for comparing and analyzing the images acquired through the camera; Foreign substance detection apparatus comprising a.

The method of claim 1,

The foreign matter detection apparatus further comprises an optical table moving unit for horizontally moving the optical table.

Loading a panel to be inspected on top of the optical table;

Clamping and aligning the panel;

Irradiating vertical light onto the panel using a backlight provided at a lower end of the optical table;

Acquiring an image 1 of the panel through a camera disposed on the optical table;

Horizontally moving either the panel or the optical table, and acquiring an image 2 of the panel through the camera;

Comparing and analyzing the image 1 and the image 2 to detect foreign substances present in the backlight; Foreign material detection method comprising a.

An optical table having a through hole formed in the center thereof;

An upper side light source disposed above the optical table to provide oblique light to an upper surface of the panel;

A lower side light source which is installed on an inner surface of a through hole of the optical table and provides oblique light to a lower surface of the panel;

A camera disposed above the optical table to obtain an image of the panel;

An image processor for comparing and analyzing the images acquired through the camera; Foreign substance detection device of a flat panel display panel comprising a.

The method of claim 4, wherein

And an optical table moving unit for horizontally moving the optical table.

The method of claim 4, wherein

The foreign material detecting device of the flat panel display panel, characterized in that the upper side light source further comprises a reflecting plate.

The method of claim 4, wherein

The foreign material detecting apparatus of the flat panel display panel, characterized in that the lower side light source further comprises a diffusion sheet.

Loading a panel to be inspected on top of the optical table;

Clamping and aligning the panel;

Irradiating vertical light onto the panel using a backlight provided at the bottom of the optical table;

Comparing and analyzing the image 1 and the image 2 to detect foreign substances present in the backlight;

Turning off the backlight and irradiating oblique light onto an upper surface of the panel through an upper side light source disposed above the optical table to obtain an image 3 of the panel through the camera;

Turning off the upper side light source, irradiating oblique light to a lower surface of the panel through a lower side light source provided in the optical table, and obtaining an image 4 of the panel through the camera; And

Comparing and analyzing the images 1 to 4 to detect a defect present in the panel; Foreign material detection method of a flat panel display panel comprising a.

A clamping unit to which the panel to be inspected is clamped;

A polarizing plate disposed under the panel and connected to the polarizing plate moving unit and movable;

A diffusion sheet disposed below the polarizing plate and connected to the diffusion sheet moving unit and movable;

A backlight disposed below the diffusion sheet and connected to a backlight moving unit to move the backlight, wherein the backlight irradiates light to the diffusion sheet, the polarizing plate, and the panel;

An image processor configured to compare and analyze an image acquired through a camera disposed on the panel; The foreign matter detection apparatus of the flat panel display panel comprising a.

The method of claim 9,

A panel moving unit for moving the clamping unit; The foreign matter detection apparatus of the flat panel display panel further comprising.

The method of claim 9 or 10,

The image processing unit,

When the panel is moved or the panel is fixed and at least one of the polarizing plate, the diffusion sheet, and the backlight is moved, the image before and after the movement is compared and analyzed to thereby detect foreign substances on the polarizing plate, the diffusion sheet, and the backlight. A foreign matter detection device for a flat panel display panel, characterized in that for detecting the defects of the panel.

Arranging a polarizing plate, a diffusion sheet, and a backlight in a lower portion of a panel to be inspected, respectively, disposing a camera on an upper portion of the panel, and positioning the panel on a clamping unit;

Illuminating the panel with the backlight;

Acquiring an image 1 of the panel through the camera;

Moving the panel or fixing the panel and moving at least one of the polarizer, the diffusion sheet, and the backlight, and then acquiring an image 2 of the panel through the camera;

Comparing and analyzing the image 1 and the image 2 to discriminate and detect foreign substances on the polarizing plate, the diffusion sheet, and the backlight and defects of the panel; The foreign matter detection method of the flat panel display panel comprising a.