KR100766055B1 - A defect detecting apparatus and method of panel for flat display - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 중앙에 관통공(12)이 형성되고 상기 관통공(12)에 해당되는 위치에 검사대상 패널(3)이 안착되는 테이블(10)과, 상기 테이블(10)의 하부에 구비되고 상기 관통공(12)을 통해 패널(3)에 광을 선택적으로 제공하는 백라이트(14)와, 상기 테이블(10)의 관통공(12) 측면에 구비되어 상기 패널(3)의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원(20)과, 상기 테이블(10)의 상부에 구비되어 상기 패널(3)의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원(30)과, 상기 테이블(10)의 상부에 구비되어 상기 패널(2)의 이미지를 획득하는 카메라(40)를 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법을 사용하여 패널의 결함을 보다 정확하게 검출할 수 있게 되는 이점이 있다.The present invention relates to a defect detection apparatus and method for a flat panel display panel. The apparatus of the present invention includes a table 10 in which a through hole 12 is formed at a center thereof, and a panel to be inspected 3 is seated at a position corresponding to the through hole 12, and a lower portion of the table 10. And a backlight 14 selectively providing light to the panel 3 through the through hole 12 and a side surface of the through hole 12 of the table 10 so as to be inclined to the rear surface of the panel 3. A back side light source 20 for providing light to be irradiated, a front side light source 30 for providing light irradiated obliquely to the front of the panel 3, provided on an upper portion of the table 10, and the table ( It is configured to include a camera 40 provided on the upper portion 10 to obtain an image of the panel (2). The defect detection apparatus and method of the flat panel display panel by this invention which have such a structure have the advantage that a defect of a panel can be detected more correctly.

평판 디스플레이, 패널, 이물, 결함 Flat Panel Display, Panels, Foreign Objects, Defects

Description

평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법{A defect detecting apparatus and method of panel for flat display}A defect detecting apparatus and method of panel for flat display

도 1a는 종래 기술에 의한 결함검출장치의 구성을 보인 구성도.Figure 1a is a block diagram showing the configuration of a defect detection apparatus according to the prior art.

도 1b는 도 1a에 도시된 장치를 사용하여 결함을 검출하는 것을 보인 순서도.FIG. 1B is a flow chart showing detection of a defect using the apparatus shown in FIG. 1A. FIG.

도 2a는 다른 종래 기술에 의한 결함검출장치의 구성을 보인 구성도.Figure 2a is a block diagram showing the configuration of another defect detection apparatus according to the prior art.

도 2b는 도 2a에 도시된 장치를 사용하여 결함을 검출하는 것을 보인 순서도.FIG. 2B is a flow chart showing detection of a defect using the apparatus shown in FIG. 2A. FIG.

도 3은 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 바람직한 실시예를 보인 구성도.3 is a block diagram showing a preferred embodiment of a defect detection apparatus for a flat panel display panel according to the present invention.

도 4는 본 발명 실시예를 구성하는 테이블의 요부 구성을 보인 사시도.Figure 4 is a perspective view showing the main configuration of the table constituting the embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 다른 실시예를 보인 구성도.5 is a configuration diagram showing another embodiment of a defect detection apparatus for a flat panel display panel according to the present invention.

도 6은 도 5에 도시된 실시예를 구성하는 테이블의 요부 구성을 보인 사시도. FIG. 6 is a perspective view showing a main part configuration of a table constituting the embodiment shown in FIG. 5; FIG.

도 7은 본 발명 실시예에서 결함을 검출하는 것을 보인 순서도.7 is a flow chart showing detection of a defect in an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10: 테이블 12: 관통공10: Table 12: Through Hole

14: 백라이트 20: 후면 측광원14: backlight 20: rear light source

22: 확산시트 30: 전면 측광원22: diffusion sheet 30: front photometric source

32: 반사갓 40: 카메라32: reflection shade 40: camera

50: 이미지처리부50: image processing unit

본 발명은 평판 디스플레이용 패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패널의 검사공정에서 패널에 있는 결함을 검출하는 장치 및 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a panel for a flat panel display, and more particularly, to an apparatus and method for detecting a defect in a panel in a panel inspection process.

액정패널이나 플라즈마 디스플레이 패널을 제조함에 있어서, 패널이 제대로 제조되었는지를 검사하는 공정을 거치게 된다. 이와 같은 공정중 하나가 프로브검사공정이다.In manufacturing a liquid crystal panel or a plasma display panel, a process of inspecting whether the panel is properly manufactured is performed. One such process is the probe inspection process.

이와 같은 프로브검사공정에서는 패널의 표면에 묻은 먼지 등의 이물질을 패턴 불량으로 판단할 가능성이 있다. 이때, 검사공정에서 검출된 패턴 결함이 사실이 아니고, 단지 패널에 묻은 이물인 경우에는 정상 패널을 불량 패널로 판단하여 손실이 발생하는 문제점이 있다.In such a probe inspection process, there is a possibility that foreign matter such as dust on the surface of the panel may be judged as a defective pattern. At this time, if the pattern defect detected in the inspection process is not true, and only the foreign matter on the panel, there is a problem that a loss occurs by judging the normal panel as a defective panel.

따라서, 프로브검사공정에서 이물을 따로 검출하여 정상패널을 불량패널로 판단하지 않도록 하여야 한다. 이를 위해 도 1a에 개략적으로 도시된 바와 같은 장치가 제공되었다.Therefore, in the probe inspection process, foreign matter should be separately detected so that the normal panel is not judged as a defective panel. For this purpose an apparatus as shown schematically in FIG. 1A is provided.

즉, 테이블(1)상에는 검사대상인 패널(3)이 안착되고 상기 패널(3)의 상부에는 카메라(5)가 구비되어 패널(3) 표면의 이미지를 획득한다. 이물제거유니트(7)는 패널(3) 표면 상의 이물을 제거하는 역할을 한다. 상기 이물제거유니트(7)는 고압의 에어를 불어내는 것이거나, 이온나이징 방식으로 이물을 제거하는 것이다.That is, the panel 3 to be inspected is mounted on the table 1, and the camera 5 is provided on the panel 3 to acquire an image of the surface of the panel 3. The foreign material removal unit 7 serves to remove foreign matter on the surface of the panel 3. The foreign material removal unit 7 is to blow out the high pressure air, or to remove the foreign material by ionizing.

이와 같은 구성을 가지는 종래 기술에서 패널(3)의 결함을 검출하는 것을 도 1b를 참고하여 설명한다. 먼저, 이물제거유니트(7)를 사용하여 패널(3) 표면의 이물을 제거한다. 하지만, 상기 패널(3)의 표면에서 이물이 완전히 제거되지는 않는다. 이와 같은 상태에서 상기 카메라(5)가 패널(3) 표면의 이미지1을 획득한다.In the prior art having such a configuration, detecting the defect of the panel 3 will be described with reference to FIG. 1B. First, the foreign substance on the surface of the panel 3 is removed using the foreign substance removal unit 7. However, foreign matter is not completely removed from the surface of the panel 3. In this state, the camera 5 acquires an image 1 of the surface of the panel 3.

다음으로, 다시 상기 이물제거유니트(7)를 사용하여 패널(3) 표면의 이물질 제거하고 다시 상기 카메라(5)가 패널(3) 표면의 이미지2를 획득한다. 이와 같이 얻어진 이미지1과 이미지2를 비교하여 이물과 결함을 구분하여 결함을 검출하게 된다. 이때, 이미지1과 이미지2를 비교하여 위치가 바뀐 것이나 없어진 것은 이물이고 위치가 바뀌지 않은 것은 결함이다.Next, the foreign material on the surface of the panel 3 is removed again using the foreign material removal unit 7, and the camera 5 acquires an image 2 of the surface of the panel 3 again. By comparing the image 1 and the image 2 obtained in this way, the foreign material and the defect is distinguished to detect the defect. At this time, comparing the image 1 and the image 2, the position is changed or missing is foreign matter, and the position is not changed is a defect.

도 2a에는 다른 방식으로 결함을 검출하는 장치가 도시되어 있다. 이에 따르면, 패널(3)이 안착되는 테이블(1)의 상부에는 측광원(9)이 구비된다. 상기 측광원(9)은 상기 패널(3)의 상부에서 경사지게 광을 패널(3)의 상면으로 조사하는 것이다. 상기 측광원(9)은 반사갓(9')을 구비하여 보다 많은 양의 광을 상기 패널(3)로 전달할 수 있다.2A shows an apparatus for detecting a defect in another manner. According to this, the photometric source 9 is provided at the top of the table 1 on which the panel 3 is seated. The photometric source 9 irradiates the light to the upper surface of the panel 3 obliquely from the top of the panel 3. The photometric source 9 may include a reflector 9 'to transmit a greater amount of light to the panel 3.

이와 같은 장치를 사용하여 패널(3)의 결함을 찾는 과정을, 도 2b를 참고하여, 설명하기로 한다. 먼저, 상기 측광원(9)을 켜서, 광이 상기 패널(3)의 표면에 경사지게 조사되도록 한다. 이와 같이 광이 패널(3)에 경사지게 조사되면 이물에 경사지게 입사한 것만이 난반사에 의해 상기 카메라(5)에 이미지1로 획득된다. 즉, 측광원(9)을 패널(3)에 경사지게 조사하면 광이 패널(3)상에 경사지게 조사되고, 패널(3) 표면의 먼지에 의해 광이 반사되어 카메라에 이물만이 찍히게 된다. 따라서, 일단 이물이 검출되었다.The process of finding the defect of the panel 3 using such an apparatus is demonstrated with reference to FIG. 2B. First, the photometric source 9 is turned on so that light is inclined to the surface of the panel 3. When the light is irradiated obliquely to the panel 3 in this way, only the incident light obliquely to the foreign material is obtained by the diffuse reflection as the image 1 to the camera (5). That is, when the side light source 9 is irradiated obliquely to the panel 3, the light is obliquely irradiated onto the panel 3, the light is reflected by the dust on the surface of the panel 3, and only the foreign material is taken by the camera. Thus, foreign matter was once detected.

다음으로, 측광원을 오프하고 이미지2를 획득한다. 상기 이미지2에는 이물과 결함이 함께 찍히게 된다. 따라서 상기 이미지1과 이미지2를 비교하여 동시에 나타나지 않은 점을 결함으로 검출하는 것이다.Next, the photometric source is turned off and image 2 is acquired. The foreign material and the defect are taken together in the image 2. Therefore, the image 1 and the image 2 are compared and detected as defects that do not appear at the same time.

그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the prior art as described above has the following problems.

먼저, 도 1에 도시된 방식에서는 패널(3)에 고정된 이물이나 패널(3)의 후면에 묻은 이물(즉 다시 말해 이물제거유니트(7)를 통해 이동시킬 수 없는 것)을 검출할 수 없는 문제점이 있다.First, in the method shown in FIG. 1, foreign matter fixed to the panel 3 or foreign matter on the rear surface of the panel 3 (that is, cannot be moved through the foreign material removal unit 7) cannot be detected. There is a problem.

다음으로, 도 2에 도시된 방식에서는 패널(3)의 후면에 있는 이물을 검출할 수 없다. 즉, 상기 패널(3)의 후면으로는 광을 조사할 수 없어 패널(3)의 후면에 있는 이물을 검출할 수 없다.Next, in the manner shown in Fig. 2, foreign matter on the rear surface of the panel 3 cannot be detected. That is, light cannot be irradiated to the rear surface of the panel 3 so that foreign substances on the rear surface of the panel 3 cannot be detected.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 패널에 형성된 불량을 보다 정확하게 검출하여 내는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and to more accurately detect a defect formed in a panel.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 중앙에 관통공이 형성되고 상기 관통공에 해당되는 위치에 검사대상 패널이 안착되는 테이블과, 상기 테이블의 하부에 구비되고 상기 관통공을 통해 패널에 광을 제공하는 백라이트와, 상기 테이블의 관통공 내측면에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과, 상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과, 상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하여 구성된다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the present invention is a table having a through-hole is formed in the center and the inspection target panel is seated at a position corresponding to the through-hole, and provided in the lower portion of the table A backlight for providing light to the panel through a through hole, a rear side light source provided at an inner side of the through hole of the table to provide light irradiated obliquely to the rear of the panel, and provided at an upper portion of the table It includes a front side light source for providing light irradiated obliquely to the front surface, and a camera provided on the top of the table to obtain an image of the panel.

상기 후면 측광원은 고휘도 LED가 사용되고, 그 전면에 확산시트가 구비된다.The rear side light source is a high-brightness LED is used, the front is provided with a diffusion sheet.

상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내측면을 따라 구비되고, 상기 후면 측광원에서 나오는 광을 확산시키는 확산시트에 의해 광이 확산되어 전달된다.The rear side light source is provided along the inner surface of the through hole of the table, and light is diffused and transmitted by a diffusion sheet for diffusing the light emitted from the rear side light source.

상기 후면 측광원은 상기 테이블의 외측면에서 관통공까지 관통되는 공간에 설치된다.The rear side light source is installed in a space penetrating from the outer surface of the table to the through hole.

상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내면에 형성된 설치요홈에 안착된다.The rear side light source is seated in an installation recess formed in the inner surface of the through hole of the table.

상기 전면 측광원은 상기 패널의 적어도 양측을 따라 길게 배치되는 냉음극관이나 고휘도 LED이다.The front side light source is a cold cathode tube or a high brightness LED disposed along at least both sides of the panel.

상기 전면 측광원은 반사갓을 구비하여 광을 패널의 전면에 경사지게 조사한다.The front side light source has a reflecting shade to irradiate light to the front side of the panel inclinedly.

상기 카메라에서 획득된 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부가 더 구비된다.An image processing unit for comparing and analyzing the image acquired by the camera is further provided.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 검사대상 패널의 하부에 구비되어 패널에 광을 제공하는 백라이트와, 상기 패널의 하부 가장자리에 대응되는 위치에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과, 상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과, 상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라와, 상기 카메라에서 획득한 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부를 포함하여 구성된다.According to another feature of the present invention, the present invention provides a backlight provided on the lower portion of the panel to be inspected to provide light to the panel, and a light provided at a position corresponding to the lower edge of the panel to be inclined to the rear surface of the panel. A rear side light source provided, a front side light source provided at an upper portion of the panel to provide light irradiated obliquely to the front surface of the panel, a camera provided at an upper portion of the panel to acquire an image of the panel, and the camera It is configured to include an image processing unit for comparing and analyzing the image obtained from.

상기 패널은 중앙을 관통하여 패널의 형상과 대응되는 형상의 관통공이 형성된 테이블 상에 안착된다.The panel penetrates the center and is seated on a table on which a through hole of a shape corresponding to the shape of the panel is formed.

상기 테이블의 관통공의 측벽을 둘러서 상기 관통공을 통해 패널에 광을 경사지게 조사하는 상기 후면 측광원이 배치된다.The rear side light source for illuminating the panel inclinedly to the panel through the through hole is disposed around the side wall of the through hole of the table.

상기 후면 측광원은 상기 관통공의 내측벽에 배치되고, 상기 후면 측광원에서 나온 광은 확산시트에 의해 확산되어 패널로 조사된다.The rear side light source is disposed on the inner wall of the through hole, and the light from the rear side light source is diffused by the diffusion sheet and irradiated to the panel.

상기 후면 측광원은 상기 관통공의 측벽에 형성된 설치요홈에 일렬로 연속되게 배치된다.The rear side light source is continuously arranged in a row in the installation recess formed in the side wall of the through hole.

상기 후면 측광원에서 나온 광을 확산시켜 주는 확산시트가 더 구비된다.A diffusion sheet for diffusing the light emitted from the back side light source is further provided.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명은 전면 및 후면 측광원이 패널의 전면과 후면에 경사지게 광을 조사하고, 백라이트가 후면에 수직으로 광을 조사하며, 카메라가 상기 광을 이용하여 이미지를 획득하는 것에 있어서, 상기 전면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 전면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와, 상기 후면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널의 후면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와, 상기 백라이트만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 표면의 이물과 결함이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와, 상기 이미지들을 비교하여 결함만을 검출하는 단계를 포함하여 구성된다.According to another feature of the invention, the invention is that the front and rear side light sources irradiate the light inclined to the front and rear of the panel, the backlight irradiates light vertically to the rear, and the camera uses the light to In acquiring, turning on only the front side light source and using the camera to acquire an image in which a foreign material in front of the panel is displayed, and turning on only the rear side light source and using a camera to acquire an image in which a foreign material in the back of the panel is displayed. And only turning on the backlight and using the camera to obtain an image in which foreign objects and defects are displayed on the panel surface, and comparing the images to detect only the defect.

상기 이미지를 획득하는 단계 들은 그중 어느 하나가 먼저 수행되고 나머지가 순차적으로 진행될 수 있다.Acquiring the image may be any one of which is performed first, and the rest proceed sequentially.

상기 후면 측광원과 전면 측광원에서 나와 패널에 조사되는 광은 경사지게 패널에 조사된다.Light emitted from the rear side light source and the front side light source and irradiated to the panel is inclinedly irradiated to the panel.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법을 사용하여 패널의 결함을 보다 정확하게 검출할 수 있게 되는 이점이 있다.The defect detection apparatus and method of the flat panel display panel by this invention which have such a structure have the advantage that a defect of a panel can be detected more correctly.

이하 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a defect detecting apparatus and method for a flat panel display panel according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3에는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 바람직한 실시예가 개략구성도로 도시되어 있고, 도 4에는 본 발명 실시예를 구성하는 테이블의 요부 구성이 사시도로 도시되어 있다.Fig. 3 shows a preferred embodiment of a defect detection apparatus for a flat panel display panel according to the present invention, and Fig. 4 shows a main structure of a table constituting an embodiment of the present invention in a perspective view.

이에 도시된 바에 따르면, 테이블(10)의 중앙에는 패널(3)의 면적보다 약간 작은 단면적을 가지는 관통공(12)이 천공되어 있다. 상기 관통공(12)의 가장자리에 해당하는 테이블(10)의 상면에 상기 패널(3)이 안착된다. 본 실시예에서 상기 테이 블(10)은 대략 사각형상이고, 상기 관통공(12) 역시 사각형상이다. 하지만, 상기 테이블(10)이 반드시 사각형상일 필요는 없고, 상기 관통공(12)은 패널(3)의 형상과 대응되는 형상이면 된다.As shown therein, a through hole 12 having a cross-sectional area slightly smaller than the area of the panel 3 is drilled in the center of the table 10. The panel 3 is seated on an upper surface of the table 10 corresponding to the edge of the through hole 12. In the present embodiment, the table 10 is substantially rectangular, and the through hole 12 is also rectangular. However, the table 10 does not necessarily have to have a rectangular shape, and the through hole 12 may be a shape corresponding to the shape of the panel 3.

상기 테이블(10)의 하부에는 상기 관통공(12)을 통해 테이블(10)의 상부로 광을 전달할 수 있는 백라이트(14)가 구비된다. 상기 백라이트(14)의 광은 상기 패널(3)로 수직으로 조사된다.The lower portion of the table 10 is provided with a backlight 14 for transmitting light to the upper portion of the table 10 through the through hole 12. Light of the backlight 14 is irradiated vertically to the panel 3.

상기 관통공(12)의 측벽을 따라서는 후면 측광원(20)이 구비된다. 상기 후면 측광원(20)은 상기 패널(3)의 후면에 광을 경사지게 조사한다. 이를 위해 상기 후면 측광원(20)은 상기 관통공(12)의 측면에 소정의 간격을 두고 다수개가 설치된다. 상기 후면 측광원(20)은 상기 테이블(10)의 외측면에서 상기 관통공(12)으로 관통되는 통공이나 파이프의 선단에 설치되는 고휘도 LED이다. 상기 후면 측광원(20)의 전면에는 확산시트(22)가 구비된다. 상기 확산시트(22)는 소정의 간격을 두고 설치된 상기 후면 측광원(20)에서 나온 광을 확산시켜 주는 역할을 한다. 상기 후면 측광원(20)으로 반드시 LED만을 사용하여야 하는 것은 아니나, 고휘도 LED가 가장 바람직하다.A rear side light source 20 is provided along the sidewall of the through hole 12. The back side light source 20 irradiates the back side of the panel 3 inclinedly. To this end, a plurality of the rear side light source 20 is installed at predetermined intervals on the side surface of the through hole 12. The rear side light source 20 is a high-brightness LED installed at a tip of a through hole or a pipe that penetrates through the through hole 12 from an outer surface of the table 10. A diffusion sheet 22 is provided on the front side of the rear side light source 20. The diffusion sheet 22 serves to diffuse the light from the rear side light source 20 installed at predetermined intervals. It is not necessary to use only the LED as the back side light source 20, high brightness LED is most preferred.

상기 테이블(10)의 상면 상부에는 상기 패널(3)의 전면에 경사지게 광을 조사하는 전면 측광원(30)이 구비된다. 상기 전면 측광원(30)은 상기 후면 측광원(20)과 같이 상기 패널(3)의 양단을 따라 배치된다. 물론, 보다 균일하게 광을 조사하기 위해 패널(3)의 가장자리를 따라 전면 측광원(30)이 배치되도록 할 수도 있다. 상기 전면 측광원(30)으로는 냉음극관을 사용할 수 있다. 하지만, 상기 전면 측광원(30)의 다른 예로서 LED를 들 수 있다. 상기 전면 측광원(30)은 반사갓(32) 을 사용하여 패널(3)의 전면 전체로 광을 경사지게 조사한다. 물론 상기 반사갓(32)이 반드시 필요한 것은 아니다. 상기 전면 측광원(30)은 그 설치형태가 경사지든 수평이든 상관없이 적어도 그 광의 일부가 상기 패널(3)로 경사지게 입사되면 된다.The upper side of the upper surface of the table 10 is provided with a front side light source 30 for irradiating light obliquely to the front of the panel (3). The front side light source 30 is disposed along both ends of the panel 3 like the rear side light source 20. Of course, the front side light source 30 may be disposed along the edge of the panel 3 in order to irradiate light more uniformly. A cold cathode tube may be used as the front side light source 30. However, another example of the front side light source 30 may be an LED. The front side light source 30 irradiates the light obliquely to the entire front surface of the panel 3 using the reflection shade 32. Of course, the reflection shade 32 is not necessarily required. The front side light source 30 may be inclined at least a part of the light to the panel 3 regardless of whether the installation form is inclined or horizontal.

상기 테이블(10)의 중앙 상부에는 카메라(40)가 구비된다. 상기 카메라(40)는 상기 패널(3)의 이미지를 획득하는 역할을 한다. 상기 카메라(40)에서 획득된 이미지는 이미지처리부(50)에서 처리된다. 상기 이미지처리부(50)에서는 카메라(40)에서 획득된 이미지들을 비교 분석하여 결함을 찾아내는 작업을 한다.The camera 40 is provided at the center of the table 10. The camera 40 serves to acquire an image of the panel 3. The image acquired by the camera 40 is processed by the image processor 50. The image processor 50 compares and analyzes the images acquired by the camera 40 to find a defect.

다음으로, 도 5 및 도 6에는 본 발명의 다른 실시예가 도시되어 있다. 본 실시예에서는 위에서 설명된 실시예와 대응되는 구성에 100단위의 도면부호를 부여하여 설명한다.Next, another embodiment of the present invention is shown in FIGS. 5 and 6. In the present embodiment, a configuration corresponding to the embodiment described above will be described with reference numerals of 100 units.

도면에 따르면, 테이블(110)의 중앙에는 패널(3)의 면적보다 약간 작은 단면적을 가지는 관통공(112)이 천공되어 있다. 상기 관통공(112)의 가장자리에 해당하는 테이블(110)의 상면에 상기 패널(3)이 안착된다. 상기 관통공(112)은 패널(3)의 형상과 대응되는 형상으로 구성된다.According to the figure, a through hole 112 having a cross-sectional area slightly smaller than the area of the panel 3 is drilled in the center of the table 110. The panel 3 is seated on an upper surface of the table 110 corresponding to the edge of the through hole 112. The through hole 112 is configured in a shape corresponding to the shape of the panel 3.

상기 테이블(110)의 하부에는 상기 관통공(112)을 통해 테이블(110)의 상부로 광을 전달할 수 있는 백라이트(114)가 구비된다. 상기 백라이트(114)의 광은 상기 패널(3)로 수직으로 조사된다.The lower portion of the table 110 is provided with a backlight 114 for transmitting light to the upper portion of the table 110 through the through hole 112. Light of the backlight 114 is irradiated vertically to the panel 3.

상기 관통공(112)의 측벽을 따라서는 설치요홈(116)이 형성된다. 상기 설치요홈(116)에는 후면 측광원(120)이 구비된다. 상기 후면 측광원(120)은 상기 패널 (3)의 후면에 광을 경사지게 조사한다. 이를 위해 상기 후면 측광원(120)은 상기 관통공(112)의 측면에 설치된다. 상기 후면 측광원(120)은 상기 설치요홈(116)에 안착된 상태로 광을 조사한다. 상기 측광원(120)으로 전원을 공급하는 것은 테이블(110)의 외부와 설치요홈(116)을 연통하게 테이블(110)을 관통하는 통공(도시되지 않음)을 통해 이루어진다.An installation recess 116 is formed along the sidewall of the through hole 112. The installation recess 116 is provided with a rear side light source 120. The back side light source 120 irradiates the back side of the panel 3 inclinedly. To this end, the rear side light source 120 is installed at the side of the through hole 112. The rear side light source 120 irradiates light in a state seated in the installation recess 116. Supplying power to the photometric source 120 is made through a through hole (not shown) passing through the table 110 to communicate the outside of the table 110 and the installation recess 116.

본 실시예에서 상기 후면 측광원(120)은 일렬로 연속적으로 구비된다. 상기 후면 측광원(120)이 일렬로 연속적으로 구비됨에 의해 보다 균일하게 광을 패널(3)에 조사할 수 있다. 본 실시예에서도 상기 후면 측광원(120)의 광을 확산시키기 위해 확산시트(122)를 설치한다. 하지만, 상기 확산시트(122)는 상기 후면 측광원(120)이 일렬로 연속적으로 배치되어 있는 경우에는 실제로 사용하지 않아도 상관없다. 상기 후면 측광원(120)으로 반드시 LED만을 사용하여야 하는 것은 아니나, 고휘도 LED가 가장 바람직하다.In the present embodiment, the rear side light source 120 is provided continuously in a row. Since the rear side light source 120 is continuously provided in a line, light may be more uniformly irradiated onto the panel 3. In this embodiment, the diffusion sheet 122 is installed to diffuse the light of the rear side light source 120. However, the diffusion sheet 122 may not be actually used when the rear side light source 120 is continuously arranged in a row. It is not necessary to use only the LED as the back side light source 120, a high-brightness LED is most preferred.

상기 테이블(110)의 상면 상부에는 상기 패널(3)의 전면에 경사지게 광을 조사하는 전면 측광원(130)이 구비된다. 상기 전면 측광원(130)은 상기 후면 측광원(120)과 같이 상기 패널(3)의 양단을 따라 배치된다. 물론, 상기 전면 측광원(130)은 상기 패널(3)의 가장자리를 따라 배치될 수 있다. 상기 전면 측광원(130)으로는 고휘도 LED를 사용할 수 있다. 하지만, 상기 전면 측광원(130)의 다른 예로서 냉음극관을 들 수 있다. 상기 전면 측광원(130)은 반사갓(132)을 사용하여 패널(3)의 전면 전체로 광을 경사지게 조사한다. 하지만 상기 반사갓(132)을 사용하지 않고도 원하는 방향으로 광을 보낼 수 있다면, 반사갓(132)을 사용하지 않아도 된다. 상기 전면 측광원(130)은 그 설치형태가 경사지든 수평이든 상관없이 적어도 그 광의 일부가 상기 패널(3)로 경사지게 입사되면 된다.The upper side of the upper surface of the table 110 is provided with a front side light source 130 for irradiating light to the front of the panel 3 inclined. The front side light source 130 is disposed along both ends of the panel 3 like the rear side light source 120. Of course, the front side light source 130 may be disposed along the edge of the panel (3). As the front side light source 130, a high brightness LED may be used. However, another example of the front side light source 130 may be a cold cathode tube. The front side light source 130 irradiates the light obliquely to the entire front surface of the panel 3 using the reflection shade 132. However, if the light can be sent in a desired direction without using the reflector 132, it is not necessary to use the reflector 132. The front side light source 130 may be incident to the panel 3 at least a part of the light regardless of whether the installation form is inclined or horizontal.

상기 테이블(110)의 중앙 상부에는 카메라(140)가 구비된다. 상기 카메라(140)는 상기 패널(3)의 이미지를 획득하는 역할을 한다. 상기 카메라(140)에서 획득된 이미지는 이미지처리부(150)에서 처리된다. 상기 이미지처리부(150)에서는 카메라(140)에서 획득된 이미지들을 비교 분석하여 결함을 찾아내는 작업을 한다.The camera 140 is provided at the center of the table 110. The camera 140 serves to acquire an image of the panel 3. The image acquired by the camera 140 is processed by the image processor 150. The image processor 150 compares and analyzes the images acquired by the camera 140 to find a defect.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the defect detection apparatus of the flat panel display panel according to the present invention having the above configuration will be described in detail.

먼저, 본 발명의 결함검출장치를 사용하여 패널의 결함을 찾아내는 것을 설명한다. 이와 같은 과정은 도 4에 순서도로 잘 도시되어 있다.First, finding the defect of a panel using the defect detection apparatus of this invention is demonstrated. This process is well illustrated in the flowchart in FIG.

먼저, 상기 테이블(10) 상에 패널(3)을 안착시킨다. 이때, 상기 패널(3)은 상기 관통공(12)상에 위치되어 그 가장자리가 상기 관통공(12)의 가장자리에 해당되는 테이블(10)의 상면에 안착된다.First, the panel 3 is seated on the table 10. In this case, the panel 3 is positioned on the through hole 12 and its edge is seated on the upper surface of the table 10 corresponding to the edge of the through hole 12.

이와 같은 상태에서 상기 전면 측광원(30)을 켜고, 상기 카메라(40)를 동작시켜 이미지1을 획득한다. 상기 이미지1은 상기 전면 측광원(30)의 광이 패널(3)에 경사지게 조사되므로, 패널(3)의 전면에 있는 이물만이 점으로 표시된다. 따라서, 이미지1을 확인하면 패널(3)의 전면에 있는 이물만이 검출된다.In this state, the front side light source 30 is turned on, and the camera 40 is operated to acquire the image 1. In the image 1, since the light of the front side light source 30 is irradiated obliquely to the panel 3, only the foreign material on the front of the panel 3 is displayed as a dot. Therefore, when confirming the image 1, only foreign matter in the front of the panel 3 is detected.

다음으로, 전면 측광원(30)을 끄고 후면 측광원(20)을 켠다. 상기 후면 측광원(20)을 켜면, 후면 측광원(20)에서 나온 광은 확산시트(22)를 통과하여 확산되어 패널(3)의 후면으로 경사지게 조사된다.Next, the front side light source 30 is turned off and the rear side light source 20 is turned on. When the rear side light source 20 is turned on, the light from the rear side light source 20 diffuses through the diffusion sheet 22 and is inclinedly irradiated to the rear side of the panel 3.

그리고는 상기 카메라(40)를 조작하여 이미지2를 획득한다. 상기 이미지2는 상기 후면 측광원(20)이 패널(3)의 후면에 경사지게 조사되므로, 상기 패널(3)의 후면에 있는 이물만이 점으로 표시된다. 따라서, 이미지2를 확인하면 패널(3)의 후면에 있는 이물만이 검출된다.Then, the camera 40 is operated to acquire an image 2. In the image 2, since the rear side light source 20 is inclinedly irradiated to the rear side of the panel 3, only foreign substances on the rear side of the panel 3 are displayed as dots. Therefore, when confirming the image 2, only the foreign material on the back of the panel 3 is detected.

다음으로, 후면 측광원(20)을 끄고, 백라이트(14)를 켠다. 상기 백라이트(14)는 상기 관통공(12)을 통해 상기 패널(3)의 후면에 조사된다. 이와 같은 상태에서 상기 카메라(40)를 조작하여 이미지3을 획득한다. 상기 이미지3에는 패널(3)의 전면 및 후면에 있는 이물과 결함이 모두 표시된다.Next, the back side light source 20 is turned off and the backlight 14 is turned on. The backlight 14 is irradiated to the rear surface of the panel 3 through the through hole 12. In this state, the camera 40 is operated to acquire the image 3. Image 3 shows both foreign objects and defects on the front and back of the panel 3.

상기와 같이 카메라(40)에 의해 획득된 이미지1,2,3는 이미지처리부(50)로 전달되고, 상기 이미지처리부(50)에서는 이미지들을 비교하여 결함만을 검출하게 된다. 즉, 상기 이미지1과 2에 있는 것과 이미지3에 있는 것중 겹치는 것은 이물이고, 이미지1과 2에는 없고 이미지3에만 있는 것은 결함이다.As described above, the images 1, 2, and 3 acquired by the camera 40 are transferred to the image processor 50, and the image processor 50 compares the images to detect only defects. That is, the overlap between the ones in the image 1 and 2 and the one in the image 3 is a foreign material, and the defects exist only in the image 3 but not in the image 1 and 2.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. It is self-evident.

예를 들어, 도시된 실시예에서는 전면 측광원(30), 배면 측광원(20) 그리고 백라이트(14)를 순차적으로 사용하여 카메라(40)가 이미지를 획득했으나, 그 순서는 달리되어도 아무 상관이 없다.For example, in the illustrated embodiment, the camera 40 acquires an image using the front side light source 30, the rear side light source 20, and the backlight 14 in sequence, but the order may be different. none.

또한, 본 발명에서 예를 들어 실제로 패널(3)의 하면만을 검사하여도 되는 경우에는 상기 전면 측광원(30)을 사용하지 않을 수도 있다. 즉, 하면 측광원(20) 과 백라이트(14)를 사용하여 조명을 수행하여 이미지를 얻어 이물을 검출할 수도 있다.In the present invention, for example, when only the bottom surface of the panel 3 may be inspected, the front side light source 30 may not be used. That is, the foreign material may be detected by obtaining an image by performing illumination by using the lower side light source 20 and the backlight 14.

위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the defect detection apparatus and method of the flat panel display panel according to the present invention as described in detail above, the following effects can be obtained.

본 발명에서는 패널의 표면에 경사지게 광을 조사하여 카메라가 이물만을 감지하게 하는 측광원을 패널의 전면과 후면에 대응되게 각각 배치하였다. 따라서, 패널의 전면과 후면에 있는 이물이 카메라에 의해 모두 검출되고, 별도의 백라이트를 사용하여 조명하면 카메라에 의해 이물과 결함이 동시에 검출되므로, 검출된 이미지를 비교하여 결함만을 확실하게 찾을 수 있게 되는 효과가 있다.In the present invention, the light source is obliquely irradiated to the surface of the panel so that the camera detects only foreign objects, respectively, corresponding to the front and rear of the panel. Therefore, foreign matters on the front and rear of the panel are both detected by the camera, and when illuminated using a separate backlight, the foreign matter and defects are simultaneously detected by the camera, so that only the defects can be reliably found by comparing the detected images. It is effective.

Claims (17)

중앙에 관통공이 형성되고 상기 관통공에 해당되는 위치에 검사대상 패널이 안착되는 테이블과,A through hole is formed in the center and the table to be inspected is seated at a position corresponding to the through hole; 상기 테이블의 하부에 구비되고 상기 관통공을 통해 패널에 광을 제공하는 백라이트와,A backlight provided under the table and providing light to the panel through the through hole; 상기 테이블의 관통공 내측면에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과,A rear side light source provided at an inner side surface of the through hole of the table to provide light irradiated obliquely to the rear side of the panel; 상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과,A front side light source provided at an upper portion of the table to provide light irradiated obliquely to the front surface of the panel; 상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.And a camera provided at an upper portion of the table to obtain an image of the panel. 제 1 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 고휘도 LED가 사용되고, 그 전면에 확산시트가 구비됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.The defect detection apparatus of claim 1, wherein a high-brightness LED is used and a diffusion sheet is provided on the front side of the back side light source. 제 2 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내측면을 따라 구비되고, 상기 후면 측광원에서 나오는 광을 확산시키는 확산시트에 의해 광이 확산되어 전달됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결람검출장치.The flat panel display panel of claim 2, wherein the rear side light source is provided along an inner side surface of the through hole of the table, and the light is diffused and transmitted by a diffusion sheet for diffusing light from the rear side light source. Device for detecting overshoot. 제 3 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 테이블의 외측면에서 관통공까지 관통되는 공간에 설치됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.4. The apparatus of claim 3, wherein the rear side light source is installed in a space penetrating from an outer surface of the table to a through hole. 제 3 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내면에 형성된 설치요홈에 안착됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.4. The apparatus of claim 3, wherein the rear side light source is seated in an installation recess formed in an inner surface of a through hole of the table. 제 1 항에 있어서, 상기 전면 측광원은 상기 패널의 적어도 양측을 따라 길게 배치되는 냉음극관이나 고휘도 LED임을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.The apparatus of claim 1, wherein the front side light source is a cold cathode tube or a high brightness LED disposed along at least both sides of the panel. 제 6 항에 있어서, 상기 전면 측광원은 반사갓을 구비하여 광을 패널의 전면에 경사지게 조사함을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.7. The defect detection apparatus of claim 6, wherein the front side light source is provided with a reflection shade to irradiate light to the front side of the panel inclinedly. 제 1 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 카메라에서 획득된 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.The apparatus of claim 1, further comprising an image processor configured to compare and analyze an image acquired by the camera. 9. 검사대상 패널의 하부에 구비되어 패널에 광을 제공하는 백라이트와,A backlight provided under the inspection panel to provide light to the panel; 상기 패널의 하부 가장자리에 대응되는 위치에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과,A rear side light source provided at a position corresponding to a lower edge of the panel to provide light irradiated obliquely to the rear of the panel; 상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과,A front side light source provided at an upper portion of the panel to provide light irradiated obliquely to the front surface of the panel; 상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라와,A camera provided on an upper portion of the panel to obtain an image of the panel; 상기 카메라에서 획득한 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.And an image processing unit for comparing and analyzing the images acquired by the camera. 제 9 항에 있어서, 상기 패널은 중앙을 관통하여 패널의 형상과 대응되는 형상의 관통공이 형성된 테이블 상에 안착됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.10. The apparatus of claim 9, wherein the panel is mounted on a table having a through hole having a shape penetrating through a center thereof to correspond to the shape of the panel. 제 10 항에 있어서, 상기 테이블의 관통공의 측벽을 둘러서 상기 관통공을 통해 패널에 광을 경사지게 조사하는 상기 후면 측광원이 배치됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.11. The defect detection apparatus of a flat panel display panel according to claim 10, wherein the rear side light source for illuminating the panel inclinedly to the panel through the through hole is formed around the side wall of the through hole of the table. 제 11 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 관통공의 내측벽에 간격을 두고 배치되고, 상기 후면 측광원에서 나온 광은 확산시트에 의해 확산되어 패널로 조사됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.12. The flat panel display panel of claim 11, wherein the rear side light source is disposed at intervals on an inner wall of the through hole, and the light from the rear side light source is diffused by a diffusion sheet and irradiated to the panel. Fault detection device. 제 11 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 관통공의 측벽에 형성된 설치요홈에 일렬로 연속되게 배치됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.12. The defect detection apparatus of a flat panel display panel according to claim 11, wherein the rear side light source is continuously arranged in a row in an installation recess formed in a side wall of the through hole. 제 13 항에 있어서, 상기 후면 측광원에서 나온 광을 확산시켜 주는 확산시트가 더 구비됨을 특징으로 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치. 14. The apparatus of claim 13, further comprising a diffusion sheet for diffusing the light from the rear side light source. 전면 및 후면 측광원이 패널의 전면과 후면에 경사지게 광을 조사하고, 백라이트가 후면에 수직으로 광을 조사하며, 카메라가 상기 광을 이용하여 이미지를 획득하는 것에 있어서,In the front and rear side light sources are inclined to the front and rear of the panel inclined, the backlight is irradiated vertically to the rear, the camera uses the light to obtain an image, 상기 전면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 전면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와,Acquiring an image in which a foreign material on the front of the panel is displayed by using only the front side light source and using a camera; 상기 후면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널의 후면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와,Acquiring an image of displaying a foreign object on the rear side of the panel using only the rear side light source and using a camera; 상기 백라이트만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 표면의 이물과 결함이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와,Turning on only the backlight and using the camera to obtain an image showing foreign objects and defects on the panel surface; 상기 이미지들을 비교하여 결함만을 검출하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출방법.And detecting only a defect by comparing the images, wherein the defect detection method of the flat panel display panel is configured. 제 15 항에 있어서, 상기 이미지를 획득하는 단계 들은 그 중 어느 하나가 먼저 수행되고 나머지가 순차적으로 진행될 수 있음을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출방법.The method of claim 15, wherein the acquiring of the image may include one of which may be performed first and the other of which may be sequentially performed. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 후면 측광원과 전면 측광원에서 나와 패널에 조사되는 광은 경사지게 패널에 조사됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출방법.The method of detecting a defect of a panel for a flat panel display according to claim 15 or 16, wherein the light emitted from the rear side light source and the front side light source and irradiated to the panel is inclinedly irradiated to the panel.
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