KR20090054425A - Deformable gantry type working apparatus - Google Patents

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가즈마사 이쿠시마
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무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 이송(移送) 시에는 점유 스페이스가 작아지도록 변형시킬 수 있고 복원도 용이한 갠트리형(gantry type) 작업 장치를 제공한다. 베이스 유닛은, 제1 방향으로 병설되는 2개의 가대(架臺)와, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 설치되고, 그 하단부가 회전 수단을 통하여 2개의 가대에 접속되는 갠트리 프레임과, 갠트리 프레임에 설치되고, 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업부를 구비하고, 공작물 테이블 유닛은, 베이스 유닛이 가지는 2개의 가대 사이에 설치되고, 공작물을 지지하는 공작물 테이블과, 상기 공작물 테이블을 지지하는 테이블 가대를 구비하고, 작업부와 공작물의 상대 위치 관계를 변화시킴으로써, 공작물에 원하는 작업을 행할 수 있고, 비작업시에 있어서는, 공작물 테이블 유닛을 베이스 유닛으로부터 분리하는 것, 및 갠트리 프레임을 회동시키면서 2개의 가대의 간격을 좁힐 수 있는 것을 특징으로 하는 갠트리형 작업 장치이다.The present invention provides a gantry type work device that can be deformed so that the occupied space becomes small at the time of conveyance and is easy to recover. The base unit includes two mounts arranged in a first direction, a gantry frame provided in a second direction orthogonal to the first direction, and a lower end portion thereof connected to the two mounts via a rotating means, and a gantry It is provided in a frame and has a work part which works on a workpiece, The workpiece table unit is installed between two mounts which a base unit has, The workpiece table which supports a workpiece, and the table mount which supports the said workpiece table is provided. By changing the relative positional relationship between the work part and the work piece, a desired work can be performed on the work piece. In the case of non-working, the two table stands are separated from the work table unit from the base unit and the gantry frame is rotated. The gantry type work device, characterized in that to narrow the interval.

갠트리형 작업 장치, 베이스 유닛, 공작물 테이블 유닛, 작업부, 가대 Gantry Work Tool, Base Unit, Work Table Unit, Work Part, Stand

Description

변형 가능한 갠트리형 작업 장치{DEFORMABLE GANTRY TYPE WORKING APPARATUS}DEFORMABLE GANTRY TYPE WORKING APPARATUS}

본 발명은, 작업부와 상대 이동하는 공작물에 대하여 원하는 작업을 행하는 갠트리형(gantry type) 작업 장치에 있어서, 이송(移送) 시의 스페이스면에서의 문제를 해소할 수 있는 변형 가능한 갠트리형 작업 장치에 관한 것이다.The present invention is a gantry type work device that performs a desired work on a work part and a relatively moving workpiece, wherein the gantry type work device that can be deformed can solve the problem in space during transportation. It is about.

공작물이 탑재되는 공작물 테이블을 종단(縱斷)하는 빔(갠트리 프레임)을 가지는 구조를 가지는 작업 장치가 있고, 일반적으로 갠트리형 작업 장치라고 한다. 상대 이동하는 공작물에 대하여 원하는 작업을 행하기 위한 갠트리형의 작업 장치로서는, 예를 들면, 액정 표시 패널의 제조에 있어서의 시일제를 도포하는 장치, 태양 전지 패널의 패터닝 장치, 반도체 디바이스의 결함 검사 장치 등이 있다.There is a work device having a structure having a beam (gantry frame) terminating a work table on which a work is mounted, and is generally called a gantry type work device. Examples of the gantry type work device for performing a desired work on a relatively moving workpiece include, for example, a device for applying a sealing agent in the manufacture of a liquid crystal display panel, a patterning device for a solar cell panel, and defect inspection of a semiconductor device. Device and the like.

이 종류의 장치는, 공작물의 대형화에 따라 장치 본체 그 자체가 대형화되는 경향이 있고, 예를 들면, 제8 세대라는 액정 표시 패널용의 유리 기판의 사이즈는 2160mm×2400mm이며, 작업 장치는 이것을 탑재할 수 있는 공작물 테이블을 구비할 필요가 있다.The apparatus main body itself tends to be enlarged with the enlargement of a workpiece | work of this kind of apparatus, For example, the size of the glass substrate for liquid crystal display panels of the 8th generation is 2160 mm x 2400 mm, and a working apparatus mounts this. It is necessary to provide a work table which can be done.

액정용 기판에 시일제를 도포하기 위한 도포 장치로서는, 예를 들면, 액상체가 수용되는 배럴 및 이 배럴의 선단부에 장착 및 분리 가능하게 설치되어 선단으 로부터 상기 배럴 내의 액상체가 토출되는 노즐체를 가지는 디스펜서와, 상기 공작물에 대하여 상기 디스펜서를 상대적으로 X, Y 및 Z방향으로 이동시키는 구동 수단과, 상기 노즐체의 선단부를 촬상하고, 그 촬상 신호에 의해 상기 노즐체의 선단부의 위치를 검출하는 노즐 촬상 수단을 구비한 액상체의 도포 장치가 제안되어 있다(특허 문헌 1).As a coating device for applying a sealing agent to a liquid crystal substrate, for example, there is provided a barrel in which a liquid body is accommodated and a nozzle body which is installed to be detachable from the tip and discharges the liquid in the barrel from the tip. A dispenser, drive means for moving the dispenser in the X, Y, and Z directions relative to the workpiece, and a nozzle for imaging the tip of the nozzle body and detecting the position of the tip of the nozzle body by the imaging signal The coating device of the liquid body provided with the imaging means is proposed (patent document 1).

갠트리형의 페이스트 도포기로서는, 예를 들면, 공작물 테이블에 탑재된 기판에 대하여 노즐을 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동 수단을 가지는 갠트리 프레임(Y축 이동 테이블)을 구비하고, 갠트리 프레임을 X축 이동 테이블에 의해 X축 방향으로 이동시키는 구조를 가지는 것이 있다(특허 문헌 2).As a gantry type paste applicator, it is equipped with the gantry frame (Y-axis movement table) which has a Z-axis movement means which moves a nozzle to a Z-axis direction with respect to the board | substrate mounted in the workpiece table, for example, There exists a structure which moves to an X-axis direction by an axial movement table (patent document 2).

고정 테이블에 탑재한 공작물에 대하여 가공 헤드를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 제어 이동하여 가공을 행하는 갠트리형의 공작 기계로서는, 예를 들면, 특허 문헌 3에 개시된 장치가 있다.As a gantry type machine tool which performs a process by carrying out a control movement of a processing head to a X-axis, a Y-axis, and a Z-axis direction with respect to the workpiece mounted in the fixed table, the apparatus disclosed by patent document 3 is mentioned, for example.

[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 1999-033458호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Publication No. 1999-033458

[특허 문헌 2] 일본국 특허 제3520205호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent No. 3520205

[특허 문헌 3] 일본 특허출원 공개번호 2001-219325호 공보[Patent Document 3] Japanese Patent Application Publication No. 2001-219325

상기 종래의 작업 장치는, 공작물이 지지되는 공작물 테이블과, 공작물에 원하는 작업을 행하는 작업부가 일체적으로 구성되어 있으므로, 이전 설치가 곤란했었다. 구체적으로는, 한 번 설치한 작업 장치를 다른 장소에 이전 설치하는 경우나, 작업 장치를 조립하는 장소와 가동(可動)시키는 장소가 떨어져 있는 경우 등에 있어서, 좁은 반송로를 통과하거나, 트럭 등의 수송 수단에 적재할 때, 작업 장치를 부품 레벨로 분해할 필요가 생기는 경우가 있었다.In the conventional working apparatus, since the work table on which the work is supported and the work part for performing a desired work on the work are integrally formed, the previous installation was difficult. Specifically, when the work device once installed is transferred to another place, or when the work device is assembled and the place where the movable device is separated from each other, for example, passes through a narrow conveyance path, or a truck or the like. When loading on a transport means, it is sometimes necessary to disassemble the work device at the component level.

그러나, 작업 장치는 한 장소에서 이용하는 것이며, 분해하여 이동하는 것을 전제로 하는 것도가 아니고, 분해에는 매우 많은 시간과 노력이 필요했다.However, work equipment is used at one place, and it is not presupposed to disassemble and move, and disassembly required very much time and effort.

특히, 정밀한 작업을 행하는 장치에 있어서는, 그 조립 작업도 정밀하게 행하지 않으면 안되므로, 충분한 정밀도를 확보하기 위한 조정 작업에는 고도의 기술이 필요한 경우도 있었다.In particular, in the apparatus which performs a precise work, since the assembly work must also be performed precisely, the adjustment work for ensuring sufficient precision may require advanced technology.

또한, 대형화된 작업 장치는 중량도 커지게 되므로, 그 조립에는, 크레인 등의 중기를 필요로 하는 문제점이 있었다.In addition, since an enlarged working device becomes large in weight, there is a problem in that assembly requires heavy equipment such as a crane.

상기 문제점을 감안하여, 본 발명은, 이송 시에는 점유 스페이스가 작아지도록 변형시킬 수 있고, 복원도 용이한 갠트리형 작업 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a gantry type work device that can be deformed so that the occupied space becomes small during transportation and can be easily restored.

상기 문제점을 해결하고 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 갠트리형 작업 장치는, 공작물 테이블 유닛과 베이스 유닛을 분리 가능하게 하고, 또한 점유 스페이스를 작게 하기 위해 베이스 유닛을 변형 가능하게 구성하였다. 또한, 갠트리 프레임과 가대(架臺)를 회동하는 구성으로 하고, 이송 시에 이들을 고정시키는 고정구나 조립을 용이하게 하는 조정구를 설치하는 등의 연구를 행함으로써, 이송 작업 및 이송 후의 조립 작업을 용이하고 안전하게 행하는 것을 가능하게 하였다.In order to solve the above problems and achieve the above object, the gantry type work device of the present invention is configured such that the work table unit and the base unit can be separated, and the base unit can be deformed in order to reduce the occupied space. In addition, the gantry frame and the mount are rotated, and researches such as the installation of a fixture for fixing them at the time of transport or an adjustment tool for assembling are facilitated, thereby facilitating the transport work and the assembly work after the transport. And safe to do.

즉, 본 발명의 갠트리형 작업 장치는 다음과 같이 구성되어 있다. That is, the gantry type work device of the present invention is configured as follows.

제1 발명은, 베이스 유닛과 공작물 테이블 유닛으로 구성되는 갠트리형 작업 장치로서, 상기 베이스 유닛은, 제1 방향으로 병설되는 2개의 가대와, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 설치되고, 그 하단부가 회전 수단을 통하여 2개의 가대에 접속되는 갠트리 프레임과, 갠트리 프레임에 설치되고, 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업부를 구비하고, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 베이스 유닛이 가지는 상기 2개의 가대 사이에 설치되고, 공작물을 지지하는 공작물 테이블과, 상기 공작물 테이블을 지지하는 테이블 가대를 구비하고, 상기 작업부와 상기 공작물의 상대 위치 관계를 변화시킴으로써, 공작물에 원하는 작업을 행할 수 있고, 비작업시에 있어서는, 상기 공작물 테이블 유닛을 상기 베이스 유닛으로부터 분리하는 것, 및 상기 갠트리 프레임을 회동시키면서 상기 2개의 가대의 간격을 좁힐 수 있는 것을 특징으로 하는 갠트리형 작업 장치이다.1st invention is a gantry-type work device comprised from a base unit and a workpiece table unit, The said base unit is provided in the two mounts parallel to a 1st direction, and in the 2nd direction orthogonal to a 1st direction, A gantry frame having a lower end connected to two mounts through a rotating means, and a work portion provided on the gantry frame and working on a workpiece, wherein the work table unit is provided between the two mounts of the base unit. And a work table for supporting the work and a table mount for supporting the work table. By changing the relative positional relationship between the work portion and the work, desired work can be performed on the work. In this case, separating the work table unit from the base unit, and the gantry frame While rotating a gantry-type work tool, characterized in that to narrow the distance between the two trestle.

제2 발명은, 제1 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임의 하단부 중 어느 하나가, 상기 가대 위를 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속되는 것을 특징으로 한다.According to a second invention, in the first invention, any one of lower ends of the gantry frame is connected to a slide base provided on an upper surface of the mount through a slider for moving the mount on the mount in the first direction.

제3 발명은, 제1 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임의 하단부의 양쪽이, 상기 가대 위를 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속되는 것을 특징으로 한다.According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, both ends of the lower end of the gantry frame are connected to a slide base provided on an upper surface of the mount through a slider for moving the mount on the mount in the first direction.

제4 발명은, 제2 또는 제3의 발명에 있어서, 상기 슬라이더는, 리니어 모터 구동인 것을 특징으로 한다.In 4th invention, in the 2nd or 3rd invention, the said slider is a linear motor drive, It is characterized by the above-mentioned.

제5 발명은, 제1 내지 제4의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 2개의 가대에 각각 연장 설치된 제1 장척(長尺) 부재와, 이들과 걸어맞추어지는 상기 테이블 가대에 연장 설치된 제2 장척 부재로 구성되는 가대 연결 가이드를 구비하고, 상기 테이블 유닛 및 상기 베이스 유닛이 가대 연결 가이드에 의해 연결되는 것을 특징으로 한다.In 5th invention, in any one of the 1st thru | or 4th invention, the 1st elongate member extended in each of the said two mounts, and the agent provided extended in the said table mount engaged with these, And a mount connecting guide composed of two elongated members, wherein the table unit and the base unit are connected by a mount connecting guide.

제6 발명은, 제5 발명에 있어서, 상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 V골 형상의 레일 부재와 2개의 V산 형상의 레일 부재의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.6th invention is a 5th invention WHEREIN: The 1st and 2nd long elongate member which comprises the said mount connecting guide consists of a combination of two V-shaped rail members and two V-shaped rail members. It is done.

제7 발명은, 제5 발명에 있어서, 상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 가이드 레일과 이들과 끼워장착되는 2개의 가이드 블록의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.7th invention is a 5th invention WHEREIN: The 1st and 2nd elongate member which comprises the said mount connecting guide consists of a combination of two guide rails and two guide blocks fitted with these, It is characterized by the above-mentioned.

제8 발명은, 제5 내지 제7의 발명에 있어서, 상기 2개의 가대는 L자 형상이며, 그 고위치의 상면에 상기 갠트리 프레임의 하단부가 접속되고, 그 저위치의 상면에 상기 제1 장척 부재가 연장 설치되는 것을 특징으로 한다.In the eighth to seventh inventions, in the fifth to seventh inventions, the two mounts are L-shaped, and a lower end portion of the gantry frame is connected to an upper surface of the high position, and the first long length is on an upper surface of the lower position. A member is extended and installed.

제9 발명은, 제1 내지 제8의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대와 상기 갠트리 프레임이 구성하는 각도를 계측하고, 기억하는 인코더를 구비한 것을 특징으로 한다.9th invention is an invention in any one of the 1st-8th invention WHEREIN: The said base unit is equipped with the encoder which measures and memorizes the angle comprised by the said two mounts and the said gantry frame, It is characterized by the above-mentioned. do.

제10 발명은, 제1 내지 제9의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.In a tenth aspect of the invention, in any one of the first to ninth inventions, the work table unit includes a work table moving unit that enables the work table to move in the first direction. .

제11 발명은, 제1 내지 제9의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.In the eleventh invention, in any one of the first to ninth inventions, the work table unit includes a work table moving unit that enables the work table to be movable in the first direction and the second direction. Characterized in that.

제12 발명은, 제10 또는 제11의 발명에 있어서, 상기 공작물 테이블 이동 수단은, 리니어 모터 구동인 것을 특징으로 한다.12th invention is a 10th or 11th invention, WHEREIN: The said workpiece table moving means is a linear motor drive, It is characterized by the above-mentioned.

제13 발명은, 제1 내지 제12의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임은, 상기 작업부를 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.13th invention is an invention in any one of the 1st-12th invention WHEREIN: The said gantry frame is provided with the work part movement means which enables the said work part to move to a 2nd direction.

제14 발명은, 제1 내지 제13의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임은, 상기 작업부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.14th invention is an invention in any one of the 1st thru | or 13th invention WHEREIN: The said gantry frame is provided with the work part movement means which enables the said work part to move to an up-down direction.

제15 발명은, 제1 내지 제14의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대를 비작업시의 간격으로 지지하는 고정구를 구비한 것을 특징으로 한다.In a fifteenth aspect of the invention, in any one of the first to fourteenth aspects of the invention, the base unit includes a fastener for supporting the two mounts at intervals during non-working.

제16 발명은, 제15의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 고정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한 것을 특징으로 한다.In a fifteenth invention, in the fifteenth invention, the base unit includes a fastening hole for fastening the fastener.

제17 발명은, 제1 내지 제16의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대의 간격을 작업시의 간격으로 조정하여, 지지하는 조정구를 구비하는 것을 특징으로 한다.In the seventeenth invention, in any one of the first to sixteenth inventions, the base unit is provided with an adjusting tool for adjusting and supporting the intervals between the two mounts at intervals during work. .

제18 발명은, 제17의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 고정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한 것을 특징으로 한다.In the eighteenth invention, in the seventeenth invention, the base unit includes a fastening hole for fastening the fastener.

제19 발명은, 제1 내지 제18의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 복수개의 갠트리 프레임을 구비한 것을 특징으로 한다.19th invention is an invention in any one of the 1st-18th invention, Comprising: The said base unit was equipped with the some gantry frame. It is characterized by the above-mentioned.

본 발명에 의하면, 공작물 테이블 유닛과 베이스 유닛을 분리할 수 있고, 또한 베이스 유닛을 점유 스페이스가 작아지도록 변형시킬 수 있으므로, 이송이 용이하다.According to the present invention, since the work table unit and the base unit can be separated, and the base unit can be deformed so that the occupied space becomes small, the conveyance is easy.

또한, 이송에 따른 분해 및 조립 작업이나 이송 작업을 용이하고 안전하게 행할 수 있고, 이송에 따른 작업 공정수를 대폭 감소시킬 수 있다.In addition, the disassembly and assembly work or the transfer work according to the transfer can be easily and safely performed, and the number of work steps due to the transfer can be greatly reduced.

또한, 작업 장치를 장기간에 걸쳐 사용하지 않을 때의 장치 보관 스페이스를 작게 할 수 있고, 또한 공작물 테이블 유닛과 베이스 유닛을 별개의 장소에 보관할 수도 있다.In addition, the device storage space when the working device is not used for a long time can be made small, and the work table unit and the base unit can be stored in separate places.

도 1은 본 발명의 작업 장치의 정면도이다.1 is a front view of the working apparatus of the present invention.

도 2는 본 발명의 작업 장치의 평면도이다.2 is a plan view of the working apparatus of the present invention.

도 3a는 본 발명의 작업 장치의 변형 수순을 설명하는 평면도이다(1/3).It is a top view explaining the modification procedure of the working apparatus of this invention (1/3).

도 3b는 본 발명의 작업 장치의 변형 수순을 설명하는 평면도이다(2/3).It is a top view explaining the modification procedure of the working apparatus of this invention (2/3).

도 3c는 본 발명의 작업 장치의 변형 수순을 설명하는 평면도이다(3/3).It is a top view explaining the modification procedure of the working apparatus of this invention (3/3).

도 4는 본 발명의 작업 장치를 변형시키고, 고정구를 장착한 상태의 정면도이다.4 is a front view of a state in which the working apparatus of the present invention is deformed and the fixture is mounted.

도 5는 실시예 1에 관한 작업 장치의 사시도이다.5 is a perspective view of the work device according to the first embodiment.

도 6은 실시예 1에 관한 작업 장치의 회전 수단을 설명하는 단면 구성도이다.6 is a cross-sectional configuration diagram illustrating a rotation means of the working apparatus according to the first embodiment.

도 7은 실시예 1에 관한 작업 장치의 가대 연결 가이드를 설명하는 단면 구성도이다.7 is a cross-sectional configuration diagram illustrating a mount connecting guide of the working apparatus according to the first embodiment.

도 8은 실시예 2에 관한 작업 장치의 사시도이다.8 is a perspective view of a work device according to a second embodiment.

도 9는 실시예 2에 관한 작업 장치의 가대 연결 가이드를 설명하는 단면 구성도이다.9 is a cross-sectional configuration diagram illustrating a mount connecting guide of the working apparatus according to the second embodiment.

도 10은 실시예 3에 관한 작업 장치의 정면도이다.10 is a front view of the work device according to the third embodiment.

도 11은 실시예 1에 관한 작업 장치의 동작의 개요를 설명하는 제어 블록도이다.11 is a control block diagram for explaining an outline of the operation of the working apparatus according to the first embodiment.

도 12는 실시예 1에 관한 작업 장치에 조정구를 장착한 상태의 사시도이다.12 is a perspective view of a state in which an adjustment tool is attached to the working apparatus according to the first embodiment.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명] [Explanation of symbols on the main parts of the drawings]

(1) 가대 (1) trestle

(2) 갠트리 프레임(2) gantry frame

(3) 가동 캐리지(3) movable carriage

(7) 리니어 가이드(7) linear guide

(8) 작업 헤드(8) working head

(9) 공작물 테이블(9) workpiece table

(11) 고정구(11) fixture

(12) 베이스 유닛(12) Base Unit

(13) 테이블 유닛(13) table unit

(14) 회전 수단(14) rotating means

(15) 슬라이더15 slider

(16) 슬라이드 베이스(16) slide base

(18) 조정구(18) adjustment

(19) 테이블 유닛 지지부(19) Table unit support

(20) 도포 장치20. Applicator

(21) 판재(21) board

(22) 나사(22) screws

(24) 리니어 모터 고정자24 linear motor stator

(25) 리니어 모터 가동자25 linear motor mover

(26) 리니어 스케일(26) linear scale

(29) 도포 헤드29. Application head

(30) 노즐30 nozzles

(31) 테이블 가대31 table mount

(33) 가대 연결 가이드33 stand connection guide

(41) 축대41 headstock

(42) 회전축(42) axis of rotation

(43) 베어링43 bearings

(44) 절대값 인코더(44) absolute value encoder

(51) 가이드 레일51 guide rail

(52) 가이드 블록52 guide block

(62) 레벨 어저스터(62) Level Adjuster

(63) 리니어 가이드(63) linear guide

(65) 갠트리 베이스(65) gantry base

(69Y) 모터(69Y) motor

(70X) 모터(70X) motor

(81) 철형 레일(81) iron rail

(82) 요형 레일(82) concave rail

(100) 설정·표시기(100) setting / indicator

(101) 제어 장치101 control unit

(102) 센서102 sensors

(103) 전자 밸브103 solenoid valve

(104) CCD 카메라104 CCD camera

(105) θ모터(105) θ motor

(106) 모터 컨트롤러106 motor controller

(107) 모터 드라이버107 motor driver

(109) 리니어 스케일(109) linear scale

(110) Z모터(110) Z motor

(111) 디스펜스 컨트롤러(111) dispense controller

(181) 체결구멍(181) Fastening Hole

본 발명을 실시하기 위한 최선의 작업 장치의 일양태를 도면을 참조하면서 설명한다.One aspect of the best working apparatus for implementing this invention is demonstrated referring drawings.

도 1은 본 발명에 관한 작업 장치의 정면도이며, 도 2는 본 발명에 관한 작업 장치의 평면도이며, 도 3은 이송에 따른 변형 등을 설명하는 도면이며, 도 4는 고정구를 장착한 상태의 정면도이다. 그리고, 도 1은 도 2에 있어서의 아래쪽으로부터 장치를 관찰했을 때의 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The front view of the working apparatus which concerns on this invention, FIG. 2 is the top view of the working apparatus which concerns on this invention, FIG. 3 is a figure explaining the deformation | transformation by transfer, etc., FIG. to be. 1 is a figure when the apparatus is observed from the lower side in FIG.

≪구성≫≪Configuration≫

본 발명에 관한 작업 장치는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 문형(門型)으로 배치된 베이스 유닛(12)과, 상기 베이스 유닛(12)의 문(門)의 다리 사이에 설치된 테이블 유닛(13)으로 구성된다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the working device according to the present invention is provided between a base unit 12 arranged in a door shape and a leg of a door of the base unit 12. It consists of the table unit 13.

베이스 유닛(12)은, 제1 방향(도 2의 상하 방향)으로 연장 설치되는 2개의 가대(1a, 1b)와, 이들에 지지되는 제2 방향(도 2의 좌우 방향)으로 연장되는 갠트리 프레임(2)과, 갠트리 프레임(2)에 설치된 작업부를 주된 구성 요소로 한다.The base unit 12 includes two mounts 1a and 1b extending in a first direction (up and down direction in FIG. 2), and a gantry frame extending in a second direction (left and right direction in FIG. 2) supported thereon. (2) and the work part provided in the gantry frame 2 as a main component.

갠트리 프레임(2)은, 단수 또는 복수개의 작업 헤드(8)를 지지하고, 작업 헤드(8)와 공작물 테이블(9)을 상대 이동시킴으로써 공작물 상의 임의의 위치에서 원하는 작업을 행할 수 있다. 이와 같이 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업 헤드(8)와 같은 기기를 작업부라고 하기로 한다.The gantry frame 2 supports the singular or plural working heads 8 and can perform a desired work at any position on the work piece by relatively moving the work head 8 and the work table 9. In this manner, an apparatus such as a work head 8 that performs work on a workpiece will be referred to as a work part.

또한, 갠트리 프레임(2)은, 회전 수단(14a, 14b)을 통하여 가대(1a, 1b)에 접속되어 있다. 이로써, 가대(1a)에 접속된 갠트리 프레임(2)의 한쪽 하단이 회동 가능하게 지지되고, 가대(1b)에 접속된 갠트리 프레임(2)의 다른 쪽 하단이 회동 가능하게 지지된다.In addition, the gantry frame 2 is connected to the mounts 1a and 1b via the rotation means 14a and 14b. Thereby, one lower end of the gantry frame 2 connected to the mount 1a is rotatably supported, and the other lower end of the gantry frame 2 connected to the mount 1b is rotatably supported.

여기서, 가대(1b)는, 회전 수단(14b)을 제1 방향으로 이동 가능하게 하는 슬라이더(15)에 접합되어 있다. 즉, 가대(1b)의 상면에 설치된 슬라이드 베이스(16)와 슬라이드 베이스(16) 상을 제1 방향으로 이동 가능한 슬라이더(15)가 회전 수단(14b)과 접합되는 것에 의해, 회전 수단(14b)을 제1 방향으로 이동 가능하게 하고 있다.Here, the mount 1b is joined to the slider 15 which enables the rotation means 14b to move in a 1st direction. That is, the rotation means 14b is joined by the rotation means 14b by which the slide base 16 provided in the upper surface of the mount 1b, and the slider 15 which can move on the slide base 16 in a 1st direction are joined. It is possible to move in the first direction.

그리고, 도 2에서는, 슬라이드 베이스(16)를 가대(1b)의 상면에 설치하고 있지만, 가대(1a)의 상면에 설치하는 구성으로 해도 된다.In addition, although the slide base 16 is provided in the upper surface of the mount 1b in FIG. 2, you may make it the structure installed in the upper surface of the mount 1a.

테이블 유닛(13)은, 공작물을 지지하는 공작물 테이블(9)과, 이것을 지지하는 테이블 가대(31)를 주된 구성 요소로 한다. 본 장치에 의한 작업시에는, 테이블 유닛(13)은, 가대(1a, 1b) 사이에 설치될 필요가 있다.The table unit 13 has the work table 9 which supports a workpiece | work, and the table stand 31 which supports this as a main component. At the time of work by this apparatus, the table unit 13 needs to be provided between the mounts 1a and 1b.

≪이송에 따른 변형 등≫`` Deformation due to transfer, etc. ''

본 장치를 이송에 따라 변형 등하는 방법을 설명한다.The method of transforming the apparatus in accordance with the transfer will be described.

먼저, 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 테이블 유닛(13)을 베이스 유닛(12)의 바깥쪽(화살표 방향)으로 분리 이동하고, 가대(1a)와 가대(1b) 사이에 공간을 설치한다. 다음에, 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 좁히도록, 가대(1a) 및/또는 가대(1b)에 파워를 건다. 그러면, 가대(1a)에 설치되는 회전 수단(14a)과, 가대(1b)에 설치되는 회전 수단(14b)의 회전 작용에 의해, 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 갠트리 프레임(2)이 화살표 방향으로 회동하는 동시에, 슬라이더(15)가 슬라이드 베이스(16) 상을 제1 방향을 큰 화살표를 향해 직진 이동한다.First, as shown to Fig.3 (a), the table unit 13 is separated and moved to the outer side (arrow direction) of the base unit 12, and a space is provided between the mount 1a and the mount 1b. . Next, power is applied to the mount 1a and / or the mount 1b so as to narrow the gap between the mount 1a and the mount 1b. Then, as shown in FIG.3 (b), the gantry frame 2 is rotated by the rotation action of the rotating means 14a provided in the mount 1a, and the rotating means 14b provided in the mount 1b. While rotating in the direction of the arrow, the slider 15 moves straight on the slide base 16 in the first direction toward the large arrow.

가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 더욱 좁히면, 도 3(c)에 나타낸 바와 같이, 갠트리 프레임(2)이 다시 회전하여, 베이스 유닛(12)이 접혀진 상태로 된다. If the distance between the mount 1a and the mount 1b is further narrowed, as shown in Fig. 3C, the gantry frame 2 is rotated again, and the base unit 12 is folded.

이상의 공정에 의해, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 분리하여 이송할 수 있고, 또한 베이스 유닛(12) 사이즈를 컴팩트하게 할 수 있다.By the above process, the base unit 12 and the table unit 13 can be separated and conveyed, and the base unit 12 can be made compact in size.

또한, 본 장치의 이송 시에는, 가대(1a)와 가대(1b)의 간격이 유지되도록, 가대(1a)와 가대(1b)를 고정시키는 것이 바람직하다. 도 4는, 판재(21)와 가대(1a, 1b)를, 나사(22)로 체결하는 고정구(11)를 예시하는 것이다. 단, 고정구는, 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 유지하는 작용을 가지고 있으면 되고, 도 4에 개시되는 것에 한정되지 않는다.In addition, it is preferable to fix the mount 1a and the mount 1b so that the space | interval of the mount 1a and the mount 1b may be maintained at the time of conveyance of this apparatus. 4 illustrates the fastener 11 for fastening the plate 21 and the mounts 1a and 1b with the screws 22. However, the fastener should just have the effect | action which maintains the space | interval of the mount 1a and the mount 1b, and is not limited to what is shown in FIG.

≪이송 후의 복원≫ ≪Restore after transfer≫

이송에 따라 변형된 본 장치를 복원하는 공정은, 전술한 수순을 역으로 행하면 된다.The process of restoring this apparatus deformed according to the transfer may be performed in reverse order.

먼저, 컴팩트하게 절첩된 베이스 유닛(12)의 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 넓히도록 파워를 건다. 그러면, 회전 수단(14a)과 회전 수단(14b)의 회전 작용에 의해, 갠트리 프레임(2)이 도 3(b)의 화살표 방향과 역으로 회동하는 동시에, 슬라이더(15)가 슬라이드 베이스(16) 상을 제1 방향을 도 3(b)의 큰 화살표와 역으로 향해 직진 이동한다.First, power is applied so as to widen the space between the mount 1a and the mount 1b of the base unit 12 which is compactly folded. Then, by the rotational action of the rotating means 14a and the rotating means 14b, the gantry frame 2 rotates in the reverse direction to the arrow direction in FIG. 3 (b) while the slider 15 moves the slide base 16. The image moves straight in the first direction in the reverse direction to the large arrow in Fig. 3 (b).

가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 보다 넓혀, 가대(1a)와 가대(1b)를 소정의 폭으로 한 위치로 된 곳에서 가대(1a)와 가대(1b)를 고정시킨다. 그리고, 2개의 가대와 갠트리 프레임(2)으로 구성되는 문형(門型)의 다리 사이에 테이블 유닛(13)을 설치하고, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 수평 방향 및 높이 방향의 상대 위치 조정을 행한 후에 베이스 유닛(12)의 위치를 고정한다.The space between the stand 1a and the stand 1b is further increased, and the stand 1a and the stand 1b are fixed at a position where the stand 1a and the stand 1b have a predetermined width. Then, the table unit 13 is installed between the two legs and the door-shaped legs composed of the gantry frame 2, and the base unit 12 and the table unit 13 are placed in the horizontal direction and the height direction. After the relative position adjustment is performed, the position of the base unit 12 is fixed.

그리고, 이상에서는, 갠트리 프레임이 단수의 작업 장치를 전제로 설명을 행하였으나, 갠트리 프레임을 복수개 구비하는 작업 장치에도 본 발명의 기술적 사상을 적용할 수 있는 것은 물론이다. 또한, 슬라이드 베이스를 설치하지 않고, 갠트리 프레임의 하단과 가대의 접속 위치를 고정으로 한 채, 변형시에 2개의 가대가 현격한 차이를 두고 접혀짐으로써 공간절약화를 도모하는 구성으로 해도 된다.In the above description, the gantry frame has been described on the premise of a single work device, but the technical idea of the present invention can be applied to the work device having a plurality of gantry frames. In addition, it is good also as a structure which saves space by folding two mounts at a significant difference at the time of deformation, without fixing the slide base and fixing the connection position of the lower end of a gantry frame.

이하에서는, 본 발명의 상세를 실시예에 의해 설명하지만, 본 발명은 어떤 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although an Example demonstrates the detail of this invention, this invention is not limited by an Example.

[실시예 1] Example 1

본 실시예의 작업 장치는, 액정 패널을 구성하는 유리 기판에 페이스트를 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.The working apparatus of this embodiment relates to a coating apparatus for applying paste to a glass substrate constituting a liquid crystal panel.

≪구성≫≪Configuration≫

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 문형으로 배치된 베이스 유닛(12)과, 베이스 유닛(12) 사이에 설치된 테이블 유닛(13)을 주된 구성 요소로 한다.As shown in FIG. 5, the coating apparatus 20 of this embodiment has the base unit 12 arrange | positioned at the door shape, and the table unit 13 provided between the base unit 12 as a main component.

베이스 유닛(12)은, 제1 방향(Y방향)으로 연장되는 가대(1a, 1b)와, 이들에 지지되는 갠트리 프레임(2)에 의해 구성된다. 갠트리 프레임(2)의 하단은, 회전 수단(14a, 14b)에 접합되어 있고, 이로써, 갠트리 프레임(2)은 가대(1a, 1b)와 회동 가능하게 지지되어 있다. 갠트리 프레임(2)에는, 작업부인 도포 헤드(29)가 복수개 설치된다.The base unit 12 is comprised by the mounts 1a and 1b extended in a 1st direction (Y direction), and the gantry frame 2 supported by these. The lower end of the gantry frame 2 is joined to the rotating means 14a and 14b, and the gantry frame 2 is supported by the mounts 1a and 1b so that rotation is possible. The gantry frame 2 is provided with a plurality of application heads 29 as work units.

가대(1a, 1b)는 L자 형상이며, 제1 방향을 따라 병설되고, 반대의 철홈(凸溝)을 구성한다. 테이블 유닛(13)은, 그 철홈에 끼워맞추어지도록 설치되고, 수평 방향으로 연장된 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)의 상면(낮은 위치에 있는 상면)에 의해 지지된다. The mounts 1a and 1b have an L shape, are arranged along the first direction, and constitute opposite iron grooves. The table unit 13 is provided to fit into the iron groove, and is supported by the upper surface (upper surface in the lower position) of the table unit support portions 19a and 19b extending in the horizontal direction.

가대(1a, 1b)는, 하면에 레벨 어저스터(62)를 가지고, 바닥면과 본 장치의 수평 레벨을 조정할 수 있다.The mounts 1a and 1b have a level adjuster 62 on the lower surface, and can adjust the horizontal level of the bottom surface and the apparatus.

가대(1a)의 높은 위치에 있는 상면에는 리니어 가이드(7a), 리니어 모터 고정자(24a), 및 리니어 스케일(26a)이 설치되어 있고, 가대(1b)의 높은 위치에 있는 상면에는 리니어 가이드(7b), 리니어 모터 고정자(24b), 및 리니어 스케일(26b)이 설치되어 있다.A linear guide 7a, a linear motor stator 24a, and a linear scale 26a are provided on the upper surface at the high position of the mount 1a, and a linear guide 7b on the upper surface of the mount 1b. ), A linear motor stator 24b, and a linear scale 26b are provided.

회전 수단(14a, 14b)의 하면은, 리니어 모터 가동자(25a, 25b)와 접합되어 있고, 리니어 가이드(7a, 7b), 및 리니어 모터 고정자(24a, 24b)와 협동하여 갠트리 프레임(2)을 제1 방향으로 이동가능하게 하고, 또한 리니어 스케일(26a, 26b)에 의해 갠트리 프레임(2)의 이동을 고정밀도로 하고 있다.The lower surfaces of the rotating means 14a and 14b are joined to the linear motor movers 25a and 25b, and cooperate with the linear guides 7a and 7b and the linear motor stators 24a and 24b to gantry frames 2. Is movable in the first direction, and the movement of the gantry frame 2 is made highly accurate by the linear scales 26a and 26b.

도 6은, 회전 수단(14a)의 단면 구성도이다.6 is a cross-sectional configuration diagram of the rotating means 14a.

회전 수단(14a)은, 축대(41a), 회전축(42a), 베어링(43a), 및 절대값 인코더(44a)로 구성된다. 회전축(42a)은, 베어링(43a)을 통하여 축대(軸臺)(41a)와 걸어맞추어져, 축대(41a)에 대하여 회동한다. 회전축(42a)의 상면은, 갠트리 프레임(2)에 의해 접합된다. 축대(41a)의 하면 중앙부에 리니어 모터 가동자(25a)가 설 치되고, 하면변 둘레부에 리니어 가이드(7a)가 위치하고, 리니어 모터 가동자(25a)의 양쪽에 리니어 모터 고정자(24a)가 위치한다.The rotating means 14a is comprised by the shaft 41a, the rotating shaft 42a, the bearing 43a, and the absolute value encoder 44a. The rotating shaft 42a is engaged with the shaft 41a via the bearing 43a, and rotates about the shaft 41a. The upper surface of the rotating shaft 42a is joined by the gantry frame 2. The linear motor mover 25a is installed at the center of the lower surface of the shaft 41a, the linear guide 7a is positioned at the periphery of the lower surface, and the linear motor stator 24a is provided at both sides of the linear motor mover 25a. Located.

그리고, 회전 수단(14b)도 동일한 구성이다.And the rotating means 14b is the same structure.

베어링(43a)의 위쪽에 설치되는 절대값 인코더(44a)는, 축대(41a)와 회전축(42a)의 상대 회전 각도를 검출하는 기기이며, 상대 회전 각도를 검출하여 제어 장치(101)에 기억할 수 있다. 즉, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 위치 조정 후, 절대값 인코더(44a)에 최적화된 상대 회전 각도를 기억하여 둠으로써, 이송에 따라 변형 등을 행한 작업 장치를 복원할 때의 조정 작업의 효율화 및 고정밀도화를 도모하는 것이 가능해진다.The absolute encoder 44a provided above the bearing 43a is a device that detects the relative rotation angle between the shaft 41a and the rotation shaft 42a, and can detect and store the relative rotation angle in the control device 101. have. That is, after the position adjustment of the base unit 12 and the table unit 13, the relative rotation angle optimized for the absolute encoder 44a is stored, thereby restoring the work device that has been deformed in accordance with the transfer. The adjustment work can be made more efficient and more accurate.

그리고, 절대값 인코더(44a)를 구비하는 것이 바람직하지만, 필수적인 구성 요소는 아니다.And although it is preferable to have the absolute value encoder 44a, it is not an essential component.

갠트리 프레임(2)에 복수개 설치되는 도포 헤드(29)는, 액체를 토출하는 노즐(30)을 가진다. 각 도포 헤드(29)는, 도시하지 않은 리니어 모터에 의해, 갠트리 프레임(2)의 연장 방향으로 이동 가능하다. 또한, 도포 헤드(29)는 각각 독립적으로 이동할 수 있다.The coating head 29 provided in plurality in the gantry frame 2 has the nozzle 30 which discharges a liquid. Each application head 29 is movable in the extending direction of the gantry frame 2 by the linear motor which is not shown in figure. In addition, the application heads 29 can move independently of each other.

갠트리 프레임(2)이 이동하는 제1 방향(Y방향)과, 도포 헤드(29)가 이동하는 제2 방향(X방향)은 서로 직교한다. 각 도포 헤드(29)는, 노즐(30)을 공작물에 가까워지는 방향 내지는 멀어지는 방향(Z방향)으로 이동시키는 승강 기구를 구비하고 있다. 즉, 도포 헤드(29)가 가지는 노즐(30)과 공작물을 XYZ방향으로 상대 이동시킬 수 있다.The first direction (Y direction) in which the gantry frame 2 moves and the second direction (X direction) in which the application head 29 moves are perpendicular to each other. Each coating head 29 is provided with the lifting mechanism which moves the nozzle 30 to the direction approaching a workpiece | work, or the direction away from (Z direction). That is, the nozzle 30 and the workpiece which the coating head 29 has can be moved relatively in the XYZ direction.

테이블 유닛(13)은, 테이블 가대(31)와 그 상부에 설치되는 공작물 테이블(9)로 구성되고, 테이블 가대(31)는 공작물 테이블(9)을 회전시키는 회전 기구를 가진다. 즉, 도시하지 않은 θ모터(105)의 동력에 의해 공작물 테이블(32)을 회전시킬 수 있다.The table unit 13 is comprised from the table stand 31 and the workpiece table 9 provided in the upper part, The table stand 31 has the rotating mechanism which rotates the workpiece table 9. That is, the workpiece table 32 can be rotated by the power of the (theta) motor 105 which is not shown in figure.

테이블 유닛(13)은, 가대(1a, 1b)로부터 연장되는 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)에 지지되고, 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 연결된다.The table unit 13 is supported by the table unit support parts 19a and 19b extending from the mounts 1a and 1b, and is connected by the mount connection guides 33a and 33b.

가대 연결 가이드(33a)의 구성을 설명한다.The structure of the mount connecting guide 33a is demonstrated.

도 7은, 상기 가대 연결 가이드(33a)의 단면 구성을 나타낸 도면이다.7 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of the mount connecting guide 33a.

가대 연결 가이드(33a)는, 가이드 레일(51a)과 가이드 블록(52a)과 베어링(53a)으로 구성된다.The mount connecting guide 33a is comprised from the guide rail 51a, the guide block 52a, and the bearing 53a.

가이드 레일(51a)은, 테이블 유닛 지지부(19a)의 상면에서 제1 방향(Y방향)으로 연장되는 장척 부재이다. 가이드 블록(52a)은, 테이블 가대(31) 하부에 접합되는 장척 부재로서, 가이드 레일(51)에 끼워장착할 수 있다.The guide rail 51a is a long member extended in a 1st direction (Y direction) from the upper surface of the table unit support part 19a. The guide block 52a is a long member joined to the lower part of the table mount 31, and can be attached to the guide rail 51. As shown in FIG.

베이스 유닛(12)에 테이블 유닛(13)을 연결할 때는, 베이스 유닛(12)의 측방으로부터 가이드 블록(52a)을 가이드 레일(51a)에 끼워장착하고, 제1 방향을 슬라이드함으로써, 테이블 유닛(13)을 장착할 수 있다. 테이블 유닛(13)을 분리할 때는, 베이스 유닛(12)의 외측을 향해 테이블 유닛(13)을 제1 방향을 슬라이드함으로써, 원활하고 또한 용이하게 분리할 수 있다.When connecting the table unit 13 to the base unit 12, the table unit 13 is mounted by fitting the guide block 52a to the guide rail 51a from the side of the base unit 12 and sliding the first direction. ) Can be installed. When the table unit 13 is separated, the table unit 13 can be smoothly and easily separated by sliding the first direction toward the outside of the base unit 12.

가이드 레일(51a)과 가이드 블록(52a)은, 일반적인 리니어 가이드와 같은 구성이며, 가이드 레일(51a) 상을 가이드 블록(52a)이 원활하게 슬라이드하고, 또한 슬라이드 방향에 대하여 직교하는 방향(즉 X방향 및 Z방향)의 반동(反動)이 작아지도록 구성되어 있다.The guide rail 51a and the guide block 52a have the same configuration as a general linear guide, and the guide block 52a smoothly slides on the guide rail 51a and is perpendicular to the slide direction (that is, X Direction and Z direction) is configured to be small.

그리고, 가대 연결 가이드(33b)도 동일한 구성이다.The mount connecting guide 33b has the same configuration.

베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 연결함으로써, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 상대 위치, 및 가대(1a)와 가대(1b)의 간격이 정해지고, 또한 가대(1a)와 가대(1b)가 서로 제1 방향을 향해 평행한 위치 관계로 조정된다.By connecting the base unit 12 and the table unit 13, the relative positions of the base unit 12 and the table unit 13 and the distance between the mount 1a and the mount 1b are determined, and the mount 1a is also provided. ) And mount 1b are adjusted in a positional relationship parallel to each other in the first direction.

≪이전 설치 스텝≫`` Previous Installation Steps ''

본 실시예의 도포 장치(20)의 이전 설치 작업에 있어서는, 먼저, 테이블 유닛(13)을 베이스 유닛(12)으로부터 분리한다. 분리 작업은, 테이블 가대(31)를 가대(1a, 1b)의 외측을 향해 제1 방향을 슬라이드시킴으로써 행할 수 있다.In the previous installation operation of the coating device 20 of the present embodiment, the table unit 13 is first separated from the base unit 12. The separation operation can be performed by sliding the table mount 31 in the first direction toward the outside of the mounts 1a and 1b.

이어서, 갠트리 프레임(2)을 회동시키면서 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 좁게 한다. 즉, 갠트리 프레임(2)을, θ방향 내지는 그 역방향으로 회전시키는 파워를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 리니어 모터 가동자(25a, 25b)가 슬라이드 이동함으로써, 갠트리 프레임(2)과 가대(1a, 1b)가 구성하는 각도가 직각으로부터 예각(銳角)으로 변화한다. 이로써, 베이스 유닛(12)은, 절첩하도록 되어 그 형태가 컴팩트하게 되므로, 이전 설치에 따른 운반 작업을 용이하게 행할 수 있다.Subsequently, the distance between the mount 1a and the mount 1b is narrowed while rotating the gantry frame 2. That is, when applying the power to rotate the gantry frame 2 in the θ direction or the reverse direction thereof, the rotation means 14a, 14b rotate, and the linear motor movers 25a, 25b slide to move the gantry frame ( The angle comprised by 2) and mounts 1a and 1b changes from a right angle to an acute angle. Thereby, since the base unit 12 is folded and the form becomes compact, the conveyance work by previous installation can be performed easily.

운반 작업 종료 후, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 조립하는데 있어서는, 먼저 컴팩트하게 변형된 베이스 유닛(12)을 원래의 형상으로 되돌리는 작업을 행한다. 즉, 갠트리 프레임(2)이 가대(1a, 1b)와 직교하는 위치로 되도록 파워 를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 리니어 모터 가동자(25a, 25b)가 슬라이드 이동되어, 가대(1a, 1b)와의 간격을 넓게 할 수 있다.After assembling the base unit 12 and the table unit 13, the carrying out of the conveyance work is performed to return the base unit 12 which has been deformed compactly to its original shape. That is, when power is applied so that the gantry frame 2 is in a position orthogonal to the mounts 1a and 1b, the rotating means 14a and 14b rotate, and the linear motor movers 25a and 25b slide. The distance from the mounts 1a and 1b can be widened.

여기서, 도 12에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 조정구(18)에 의하면, 가대(1a, 1b)를 작업에 적절한 간격으로 유지할 수 있다. 즉, 조정구(18)를, 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 통과시킴으로써, 리니어 가이드(7a, 7b) 사이의 평행 조정 및 높이 조정을 행할 수 있도록, 미리 소정 거리로 형성된 부재가 설치되어 있고, 조정 후에는 조정구(18)의 체결구멍(181a, 181b)과 가대(1a, 1b)를 나사 등에 의해 결합할 수 있다. 그리고, 도 12에서는, 조정구(18)를 가대 연결 가이드(33a, 33b)를 통하여 조정하고 있지만, 리니어 가이드(7a, 7b)를 통하여 조정하도록 해도 된다.Here, as shown in FIG. 12, according to the adjustment tool 18 of this embodiment, the mounts 1a and 1b can be hold | maintained at the space | interval suitable for an operation | work. That is, the member formed in advance by predetermined distance is provided so that the adjustment tool 18 can pass through the mount coupling guides 33a and 33b, and the parallel adjustment and height adjustment between linear guides 7a and 7b can be performed, After the adjustment, the fastening holes 181a and 181b of the adjusting tool 18 and the mounts 1a and 1b can be joined by screws or the like. In addition, in FIG. 12, although the adjusting tool 18 is adjusted through the mount coupling guides 33a and 33b, you may adjust it through the linear guides 7a and 7b.

이 때, 분리 전에 절대값 인코더(44a)에 의해 기억한 회전 각도의 값을 이용하여, 복원시의 회전 각도를 조정하면, 조정 작업을 정밀도 양호하고 간단하게 행할 수 있다.At this time, if the rotation angle at the time of restoration is adjusted by using the value of the rotation angle memorized by the absolute value encoder 44a before separation, the adjustment work can be performed with good accuracy and simplicity.

최후에, 테이블 가대(31)를 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 베이스 유닛(12)에 연결하고, 테이블 가대(31)를 소정의 위치에 세팅함으로써 이전 설치 작업이 완료된다.Finally, the previous installation work is completed by connecting the table mount 31 to the base unit 12 by the mount connecting guides 33a and 33b, and setting the table mount 31 to a predetermined position.

≪동작≫≪Motion≫

본 실시예의 도포 장치(20)의 동작을, 도 11에 나타낸 제어 블록도를 참조하면서 설명한다.The operation of the coating device 20 of the present embodiment will be described with reference to the control block diagram shown in FIG. 11.

본 실시예의 도포 장치(20)는, 설정·표시기·입력 수단(100)으로부터 제어 장치(101)에 보내진, 로봇 동작 스텝에 관한 프로그램 정보나, 도포에 필요한 각종 파라미터 정보에 따라 동작한다.The coating device 20 of this embodiment operates according to the program information about the robot operation step sent to the control apparatus 101 from the setting / display / input means 100, and various parameter information required for coating.

작업 대상이 되는 공작물인 유리 기판이 공작물 테이블(9)에 설치되면, 공작물 테이블(9)에 설치된 센서(102)가 유리 기판을 검출한 후, 제어 장치(101)가 전자 밸브(103)를 ON으로 하고, 공작물 테이블(9)에 유리 기판을 진공 흡착시켜 고정한다.When the glass substrate which is a workpiece | work which is a workpiece | work object is installed in the workpiece table 9, after the sensor 102 installed in the workpiece table 9 detects a glass substrate, the control apparatus 101 turns ON the solenoid valve 103. The glass substrate is vacuum-adsorbed to the work table 9 and fixed.

이어서, 도포 헤드(29)가 구비하는 CCD 카메라(104)에 의해 유리 기판 상에 인쇄된 기준 마크 위치를 검출하면, 갠트리 프레임(2)의 연장 방향 및 이동 방향으로 규정되는 X-Y축에 대한 유리 기판의 탑재 위치의 경사를 산출하고, θ모터(105)를 구동시켜 공작물 테이블(32)을 θ회전시킴으로써 유리 기판의 어긋남을 보정한다.Subsequently, when the position of the reference mark printed on the glass substrate is detected by the CCD camera 104 included in the application head 29, the X-Y axis defined in the extending direction and the moving direction of the gantry frame 2 is detected. The inclination of the mounting position of the glass substrate is calculated, and the shift of the glass substrate is corrected by driving the θ motor 105 to rotate the work table 32 by θ.

다음에, 복수개의 도포 헤드(29)를, 그 노즐(30)이 유리 기판 상의 XY 평면의 소정 위치로 되도록 이동시킨 후, 노즐(30)과 유리 기판의 클리어런스가 원하는 양으로 되도록 도포 헤드(29)를 Z방향으로 하강시킨다. 그리고, 도포 헤드(29)는, 미리 페이스트가 충전된 저류 용기를 구비하고 있다.Next, after moving the some coating head 29 so that the nozzle 30 may become a predetermined position of the XY plane on a glass substrate, the application head 29 so that clearance of the nozzle 30 and a glass substrate may become desired amount. ) In the Z direction. The application head 29 is provided with a storage container filled with a paste in advance.

도포 헤드(29)의 이동이 완료되면, 제어 장치(101)로부터 디스펜스 컨트롤러(111)에 토출 신호가 출력되고, 노즐(30)로부터 페이스트를 토출하면서 복수개의 도포 헤드(29)가 XY 이동한다. 이 동작에 의해, 유리 기판에 소정의 도포 형상이 형성된다. 여기서, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 복수개의 도포 헤드(29)를 가지므로, 복수개의 동일 도포 패턴을 동시에 묘화 형성할 수 있다.When the movement of the application head 29 is completed, a discharge signal is output from the control device 101 to the dispense controller 111, and the plurality of application heads 29 XY move while discharging the paste from the nozzle 30. By this operation, a predetermined coating shape is formed on the glass substrate. Here, since the coating device 20 of this embodiment has a some coating head 29, it can draw and form several same application pattern simultaneously.

Y모터(69) 및 X모터(70)에 대한 제어는, 모터 컨트롤러(106)가 각 모터의 위치 제어를 행하고, 모터 드라이버(107)가 각 모터에 통전하는 전류량을 제어함으로써 행한다.Control of the Y motor 69 and the X motor 70 is performed by the motor controller 106 controlling the position of each motor, and controlling the amount of current that the motor driver 107 energizes each motor.

도포 헤드(29)의 Y방향으로의 이동은, 갠트리 프레임(2)이 접속되는 복수개의 X모터(70)를, 리니어 스케일(109)의 위치 정보를 기초로 제어함으로써 행한다. 도포 헤드(29)의 Z방향으로의 이동은, 노즐(30)과 유리 기판의 간극을 검출하는 센서(102)의 위치 정보에 따라 Z모터(110)를 제어함으로써 행한다.Movement of the application head 29 in the Y direction is performed by controlling the plurality of X motors 70 to which the gantry frame 2 is connected based on the positional information of the linear scale 109. Movement of the coating head 29 in the Z direction is performed by controlling the Z motor 110 in accordance with the positional information of the sensor 102 that detects the gap between the nozzle 30 and the glass substrate.

이상의 동작을 행하는 본 실시예의 도포 장치(20)에 있어서, 도포 형상의 형성을 고정밀도로 행하기 위해서는, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 위치 관계가 고정밀도로 조정되어 있을 필요가 있다.In the coating device 20 of this embodiment which performs the above operation, in order to form a coating shape with high precision, the positional relationship of the base unit 12 and the table unit 13 needs to be adjusted with high precision.

여기서, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 이전 설치 시에 부품 레벨의 분해가 불필요하며, 또 분리 전의 회전 각도의 값을 절대값 인코더(44a)가 기억하고 있으므로, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 위치 관계의 조정을 용이하고 효율적으로 행할 수 있으므로, 이전 비용을 최소한으로 할 수 있다.Here, since the disassembly of the component level is unnecessary at the time of the previous installation, and the absolute value encoder 44a memorize | stores the value of the rotation angle before removal, the coating apparatus 20 of this embodiment has the base unit 12 and table Since the positional relationship of the unit 13 can be adjusted easily and efficiently, the transfer cost can be minimized.

[실시예 2]Example 2

본 실시예의 작업 장치는, 공작물에 접착제 등의 액재를 도포하는 도포 장치에 관한 것이며, 보다 구체적으로는, 공작물 상에 액재를 도포 형성하는 장치로서, 동일 형상의 묘화 패턴을 동시에 복수개 형성하는데 적절한 도포 장치이다. 즉, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 공작물 테이블(9) 상에 탑재된 공작물에 대하여, X모터(70)와 Y모터(69)의 작동에 의해, 도포 헤드(29)에 대하여 공작물 테이블(9)을 X -Y방향으로 이동시킴으로써 원하는 묘화 패턴을 형성하는 것이다.The working apparatus of this embodiment relates to a coating apparatus for applying a liquid material such as an adhesive to a workpiece, and more specifically, an apparatus for applying and forming a liquid material on a workpiece, which is suitable for simultaneously forming a plurality of drawing patterns of the same shape at the same time. Device. That is, the application apparatus 20 of this embodiment is a workpiece table with respect to the application | coating head 29 by operation | movement of the X motor 70 and the Y motor 69 with respect to the workpiece mounted on the workpiece table 9. The desired drawing pattern is formed by moving (9) in the X-Y direction.

도 8은, 제2 실시예에 관한 작업 장치의 사시도이다. 8 is a perspective view of the working device according to the second embodiment.

가대(1a)의 상면에는 리니어 가이드(63)가 연장 설치되어 있고, 갠트리 프레임(2)의 일단이 슬라이드 이동하는 것을 가능하게 하고 있다. The linear guide 63 is extended in the upper surface of the mount 1a, and one end of the gantry frame 2 is made to slide.

실시예 1과 마찬가지로, 가대(1a, 1b)는 L자 형상이며, 제1 방향을 따라 병설되어, 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)의 상면 테이블 유닛(13)을 지지한다. 또한, 가대(1a, 1b)는, 바닥면과 본 장치와의 수평 레벨을 조정하는 레벨 어저스터(62)를 하부에 가지고 있다.Similarly to the first embodiment, the mounts 1a and 1b have an L shape and are arranged along the first direction to support the upper surface table unit 13 of the table unit support portions 19a and 19b. In addition, the mounts 1a and 1b have the level adjuster 62 which adjusts the horizontal level of a bottom surface and this apparatus below.

갠트리 프레임(2)의 하단은, 회전 수단(14a, 14b)을 통하여 갠트리 베이스(65a, 65b)와 접속되어 있다. 갠트리 베이스(65a)는 리니어 가이드(63)의 연장 방향(Y방향)으로 가동할 수 있도록 설치되지만, 갠트리 베이스(65b)는 가대(1b)의 상면에 고정되어 접속되어 있다. The lower end of the gantry frame 2 is connected to the gantry bases 65a and 65b via the rotating means 14a and 14b. The gantry base 65a is provided to be movable in the extension direction (Y direction) of the linear guide 63, but the gantry base 65b is fixed to and connected to the upper surface of the mount 1b.

회전 수단(14a, 14b)은, 실시예 1과 같은 구성이며, 이로써, 갠트리 프레임(2)은 회동 가능하게 된다.The rotating means 14a and 14b are the structures similar to Example 1, and this makes the gantry frame 2 rotatable.

갠트리 프레임(2)에는, 액재를 수납하는 액재 저류 용기(도시하지 않음)를 구비하는 도포 헤드(29)가 복수개 탑재되고, 이들은 갠트리 프레임(2)이 가지는 도시하지 않은 모터에 의해, 각각 독립적으로 갠트리 프레임(2)의 연장 방향으로 가동 가능하다. 이러한 구성에 의해, 본 도포 장치의 복수개의 도포 헤드(29)는, 그 간격을 원하는 간격(즉, 묘화 패턴의 간격)으로 적당히 조정하는 것을 가능하게 하고 있다.The gantry frame 2 is equipped with a plurality of coating heads 29 including a liquid material storage container (not shown) for storing the liquid material, and these are each independently by a motor (not shown) that the gantry frame 2 has. It is movable in the extending direction of the gantry frame 2. By such a structure, the some application | coating head 29 of this application apparatus enables to adjust the space | interval suitably to a desired space | interval (namely, the space | interval of a drawing pattern).

묘화 패턴에 따라 복수개의 도포 헤드(29)의 간격을 원하는 간격으로 조정한 후, 노즐(30)로부터 도시하지 않은 토출 장치에 의해 액재를 토출시키는 동시에, 공작물 테이블(9)을 상대이동시킴으로써, 공작물 표면에 원하는 형상의 액재에 의한 도포 묘화를 행할 수 있다.After adjusting the space | interval of several application head 29 according to a drawing pattern to a desired space | interval, the liquid material is discharged from the nozzle 30 by the ejection apparatus which is not shown in figure, and the workpiece table 9 is moved relatively, and the workpiece Application drawing by the liquid material of a desired shape can be performed to the surface.

가대(1a, 1b)가 가지는 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)의 상면에는, 가대 연결 가이드(33a, 33b)를 구성하는 장척 부재가 설치되어 있다. On the upper surface of the table unit support parts 19a and 19b which the mounts 1a and 1b have, the elongate member which comprises the mount connection guides 33a and 33b is provided.

테이블 가대(31)를 가대(1a, 1b)의 연장 방향(즉 Y방향)으로 슬라이드시킴으로써, 가대 연결 가이드(33a, 33b)의 작용에 의해 테이블 가대(31)와 가대(1a, 1b)를 원활하고 또한 용이하게 접합 및 분리할 수 있다.By sliding the table mount 31 in the extending direction of the mounts 1a and 1b (that is, the Y direction), the table mount 31 and the mounts 1a and 1b are smoothly operated by the action of the mount connecting guides 33a and 33b. And can be easily bonded and separated.

도 9는, 가대 연결 가이드(33a)의 단면 구성을 나타낸 것이다.9 shows a cross-sectional structure of the mount connecting guide 33a.

가대 연결 가이드(33a)는, 철형(凸形) 블록(81)과 정밀도 양호하게 홈형으로 형성된 요형(凹形) 레일(82)로 구성된다. 철형 블록(81)은 가대(31)의 하면에 접합되어 있고, 철형 블록(81)이 요형 레일(82) 상을 슬라이드 이동함으로써, 가대(31)를 Y방향으로 슬라이드 가능하게 구성하고 있다. 그리고, 철형 블록(81)과 요형 레일(82)은 V홈 형상, U홈 형상 등 임의의 형상으로 할 수 있다.The mount connecting guide 33a is composed of an iron block 81 and a concave rail 82 formed in a groove shape with high precision. The convex block 81 is joined to the lower surface of the mount 31, and the convex block 81 slides on the concave rail 82 so that the mount 31 can be slidable in the Y direction. The convex block 81 and the concave rail 82 can be in any shape such as a V groove shape and a U groove shape.

그리고, 가대 연결 가이드(33b)도 동일한 구성이다.The mount connecting guide 33b has the same configuration.

또한, 가대 연결 가이드(33a, 33b)는, 테이블 가대(31)가 슬라이드하는 방향에 대하여 직교하는 방향(즉, X방향 및 Z방향)의 반동을 작게 하도록 구성되어 있고, 가대 연결 가이드(33a, 33b)와 가대(1a, 1b)를 정밀도 양호하게 연결시킬 수 있다.The mount connecting guides 33a and 33b are configured to reduce the recoil in a direction orthogonal to the direction in which the table mount 31 slides (that is, the X direction and the Z direction), and the mount connecting guides 33a, 33b) and mounts 1a and 1b can be connected with high precision.

가대 연결 가이드(33a, 33b)의 결합부는, 원활하게 슬라이드할 수 있도록 정밀도 양호하게 가공되어 있는 것은 물론이다.It goes without saying that the engaging portions of the mount connecting guides 33a and 33b are processed with high precision so as to slide smoothly.

≪이전 설치 스텝≫`` Previous Installation Steps ''

본 실시예의 도포 장치(20)의 이전 설치 작업에 있어서는, 먼저, 테이블 유닛(13)을 베이스 유닛(12)으로부터 분리한다. 분리 작업은, 테이블 가대(31)를 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 가대(1a, 1b)의 외측으로 이동시킴으로써 행할 수 있다.In the previous installation operation of the coating device 20 of the present embodiment, the table unit 13 is first separated from the base unit 12. The separation operation can be performed by moving the table mount 31 to the outside of the mounts 1a and 1b by the connection guides 33a and 33b.

이어서, 회전 수단(14b)을 회전 중심으로 하여, 갠트리 프레임(2)을 회동시키면서 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 좁게 한다. 즉, 갠트리 프레임(2)을, θ방향으로 회전시키는 파워를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 갠트리 베이스(65a)가 리니어 가이드(63) 상을 슬라이드 이동함으로써, 갠트리 프레임(2)과 가대(1a, 1b)가 구성하는 각도가 직각으로부터 예각으로 변화한다. 이로써, 베이스 유닛(12)은, 접도록 되어 그 형태가 컴팩트하게 되므로, 이전에 따른 운반 작업을 용이하게 행할 수 있다.Next, with the rotation means 14b as the rotation center, the space between the mount 1a and the mount 1b is narrowed while rotating the gantry frame 2. That is, when the power for rotating the gantry frame 2 in the θ direction is applied, the rotation means 14a and 14b rotate, and the gantry base 65a slides on the linear guide 63, thereby providing a gantry frame ( The angle comprised by 2) and mounts 1a and 1b changes from a right angle to an acute angle. Thereby, since the base unit 12 is folded and the form becomes compact, the conveyance operation | work according to the past can be performed easily.

운반 작업 종료 후, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 조립하는데 있어서는, 먼저 컴팩트하게 변형된 베이스 유닛(12)을 원래의 형상으로 되돌리는 작업을 행한다.After assembling the base unit 12 and the table unit 13, the carrying out of the conveyance work is performed to return the base unit 12 which has been deformed compactly to its original shape.

즉, 갠트리 프레임(2)이 가대(1a, 1b)와 직교하는 위치로 되도록 파워를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 갠트리 베이스(65a)가 슬라이드 이동하여, 가대(1a, 1b)와의 간격이 넓혀진다.That is, when power is applied so that the gantry frame 2 is in a position orthogonal to the mounts 1a and 1b, the rotating means 14a and 14b rotate, and the gantry base 65a slides to move the mounts 1a and 1b. The distance from 1b) is widened.

이 때, 분리 전에 절대값 인코더(44a)에 의해 기억한 회전 각도의 값을 이용하여, 복원시의 회전 각도를 조정하면, 조정 작업을 정밀도 양호하게 간단하게 행할 수 있다.At this time, if the rotation angle at the time of restoration is adjusted by using the value of the rotation angle memorized by the absolute value encoder 44a before separation, the adjustment work can be easily performed with high accuracy.

최후에, 테이블 가대(31)를 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 베이스 유닛(12)에 연결하고, 테이블 가대(31)를 소정의 위치에 세팅함으로써 이전 설치 작업이 완료된다.Finally, the previous installation work is completed by connecting the table mount 31 to the base unit 12 by the mount connecting guides 33a and 33b, and setting the table mount 31 to a predetermined position.

이상과 같이, 본 실시예의 장치는, 하나의 리니어 가이드에 의해 접는 것을 가능하게 하는 구성이므로, 실시예 1의 장치보다도 저비용으로 장치를 구성할 수 있다.As mentioned above, since the apparatus of this embodiment can be folded by one linear guide, an apparatus can be comprised at a lower cost than the apparatus of Example 1. As shown in FIG.

또한, 가대 연결 가이드를 간단한 홈 구조로 하고 있으므로, 실시예 1의 장치보다도 저비용으로 장치를 구성할 수 있다.Further, since the mount connecting guide has a simple groove structure, the device can be configured at a lower cost than the device of the first embodiment.

[실시예 3] Example 3

본 실시예의 작업 장치는, 공작물에 접착제 등의 액재를 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.The working device of the present embodiment relates to a coating device for applying a liquid material such as an adhesive to a workpiece.

본 실시예의 도포 장치(20)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 유닛 테이블 지지부(19a, 19b)의 상면에 형성된 V형상의 홈과, 테이블 유닛(13)의 하면에 형성된 V형상의 돌기에 의해 구성되는 가대 연결 가이드(33a, 33b)를 가지는 점에 특징이 있다.As shown in FIG. 10, the coating device 20 according to the present embodiment has a V-shaped groove formed on the upper surfaces of the unit table support portions 19a and 19b and a V-shaped protrusion formed on the lower surface of the table unit 13. It is characterized by having the mount connecting guides 33a and 33b constituted.

테이블 유닛(13)과 베이스 유닛(12)의 연결 작업은, 점선으로 나타낸 캐리지(3) 상에 테이블 가대(31)를 적재하여 행한다. 캐리지(3)를 사용함으로써, 테이 블 유닛(13)의 이동 및 위치 조정이 용이해져, 연결 작업에 걸리는 공정수를 단축할 수 있다. 그 효과는, 특히, 테이블 유닛(13) 사이즈가 커지게 될 수록 현저해진다.The work of connecting the table unit 13 and the base unit 12 is performed by loading the table mount 31 on the carriage 3 indicated by the dotted line. By using the carriage 3, the movement and position adjustment of the table unit 13 become easy, and the number of processes which apply to a connection work can be shortened. The effect is remarkable especially as the size of the table unit 13 becomes larger.

그리고, 테이블 유닛(13)과 베이스 유닛(12)을 연결한 후, 캐리지(3)를 테이블 유닛(13)으로부터 용이하게 이탈시킬 수 있도록, 높이 조절 기구를 구비하는 것이 바람직하다.And after connecting the table unit 13 and the base unit 12, it is preferable to provide a height adjustment mechanism so that the carriage 3 may be easily detached from the table unit 13.

본 발명의 기술 사상은, 액정 패널, 반도체, 프린트 기판 등의 전자 기기의 제조 및 검사에 사용되는 작업 장치에 적용할 수 있다. 예를 들면, 플랫 패널의 유리 기판에 원하는 형상의 페이스트 패턴을 도포하는 도포 장치나, 페이스트를 토출하는 도포 헤드를 탑재하는 갠트리 기구와, 유리 기판을 고정시키는 테이블의 기구에 바람직하다.The technical idea of this invention is applicable to the working apparatus used for manufacture and test of electronic devices, such as a liquid crystal panel, a semiconductor, and a printed circuit board. For example, it is preferable to the coating apparatus which apply | coats the paste pattern of a desired shape to the glass substrate of a flat panel, the gantry mechanism which mounts the application head which discharges a paste, and the mechanism of the table which fixes a glass substrate.

Claims (19)

베이스 유닛과 공작물 테이블 유닛으로 구성되는 갠트리형(gantry type) 작업 장치로서, A gantry type work device consisting of a base unit and a work table unit, 상기 베이스 유닛은, 제1 방향으로 병설되는 2개의 가대(架臺)와, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 설치되고, 그 하단부가 회전 수단을 통하여 2개의 가대에 접속되는 갠트리 프레임과, 상기 갠트리 프레임에 설치되고, 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업부를 구비하고, The base unit includes two mounts arranged in a first direction, a gantry frame provided in a second direction orthogonal to the first direction, and a lower end portion thereof connected to the two mounts via a rotation means; It is provided in the gantry frame, provided with a work portion for performing work on the workpiece, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 베이스 유닛이 가지는 상기 2개의 가대 사이에 설치되고, 상기 공작물을 지지하는 공작물 테이블과, 상기 공작물 테이블을 지지하는 테이블 가대를 구비하고, The work table unit is provided between the two mounts that the base unit has, a work table for supporting the work, and a table mount for supporting the work table, 상기 작업부와 상기 공작물의 상대 위치 관계를 변화시킴으로써, 상기 공작물에 원하는 작업을 행할 수 있고, By changing the relative positional relationship between the work part and the work piece, desired work can be performed on the work piece, 비작업시에 있어서는, 상기 공작물 테이블 유닛을 상기 베이스 유닛으로부터 분리하는 것, 및 상기 갠트리 프레임을 회동시키면서 상기 2개의 가대의 간격을 좁힐 수 있는, 갠트리형 작업 장치.In a non-working operation, the work table unit can be separated from the base unit, and the gap between the two mounts can be narrowed while rotating the gantry frame. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 갠트리 프레임의 하단부 중 어느 하나는, 상기 가대 상을 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속 되는, 갠트리형 작업 장치.Any one of the lower ends of the gantry frame is connected to the slide base provided on the upper surface of the mount through the slider for moving the mount on the first direction. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 갠트리 프레임의 하단부의 양쪽은, 상기 가대 상을 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속되는, 갠트리형 작업 장치.Both sides of the lower end of the gantry frame is connected to the slide base provided on the upper surface of the mount through a slider for moving the mount image in the first direction. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 슬라이더는 리니어 모터 구동인, 갠트리형 작업 장치.And the slider is a linear motor drive. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 2개의 가대에 각각 연장 설치된 제1 장척(長尺) 부재와, 이들과 걸어맞추어지는 상기 테이블 가대에 연장 설치된 제2 장척 부재로 구성되는 가대 연결 가이드를 구비하고, 상기 테이블 유닛 및 상기 베이스 유닛은 가대 연결 가이드에 의해 연결되는, 갠트리형 작업 장치.A table connecting guide comprising a first long member extending to the two mounts and a second long member extending to the table mount engaged with the table, wherein the table unit and the base unit are provided. The gantry type work device is connected by a mount connecting guide. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 V골 형상의 레일 부재와 2개의 V산 형상의 레일 부재의 조합으로 이루어지는, 갠트리형 작업 장치.The first and second long member constituting the mount connecting guide is a gantry type work device comprising a combination of two V-shaped rail members and two V-shaped rail members. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 가이드 레일과 이들과 끼워장착되는 2개의 가이드 블록의 조합으로 이루어지는, 갠트리형 작업 장치.The first and second elongate members constituting the mount connecting guide comprise a combination of two guide rails and two guide blocks fitted thereto. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 2개의 가대는 L자 형상이며, 그 고위치의 상면에 상기 갠트리 프레임의 하단부가 접속되고, 그 저위치의 상면에 상기 제1 장척 부재가 연장 설치되는, 갠트리형 작업 장치.The two mounts are L-shaped, the lower end of the gantry frame is connected to the upper surface of the high position, the gantry-type working device is provided with the first elongated member extending on the upper surface of the lower position. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대와 상기 갠트리 프레임이 구성하는 각도를 계측하고, 기억하는 인코더를 구비한, 갠트리형 작업 장치.The base unit is a gantry type work device provided with an encoder for measuring and storing an angle formed by the two mounts and the gantry frame. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.The work table unit is provided with a work table moving means for enabling the work table to move in the first direction. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.The work table unit is provided with a work table moving means for moving the work table in the first direction and the second direction. 제10항 또는 제11항에 있어서,The method according to claim 10 or 11, wherein 상기 공작물 테이블 이동 수단은 리니어 모터 구동인, 갠트리형 작업 장치.And the workpiece table moving means is a linear motor drive. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 갠트리 프레임은 상기 작업부를 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.And the gantry frame is provided with work moving means for moving the work in a second direction. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 갠트리 프레임은 상기 작업부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.The gantry frame is provided with a work unit moving means for enabling the work unit to move in the vertical direction. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 베이스 유닛은 상기 2개의 가대를 비작업시의 간격으로 유지하는 고정구를 구비한, 갠트리형 작업 장치.The base unit has a gantry-type working device having a fixture for maintaining the two mounts at non-working intervals. 제15항에 있어서,The method of claim 15, 상기 베이스 유닛은 상기 고정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한, 갠트리형 작업 장치.And the base unit has a fastening hole for fastening the fastener. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 베이스 유닛은 상기 2개의 가대의 간격을 작업시의 간격으로 조정하여, 지지하는 조정구를 구비하는, 갠트리형 작업 장치.The base unit has a gantry-type work device which is provided with an adjusting tool for adjusting and supporting the interval between the two mounts at the time of work. 제17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 베이스 유닛은 상기 고정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한, 작업 장치.And the base unit is provided with a fastening hole for fastening the fastener. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 베이스 유닛은 복수개의 갠트리 프레임을 구비한, 갠트리형 작업 장치.And the base unit is provided with a plurality of gantry frames.
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