JPH1133458A - Liquid body coating device - Google Patents
Liquid body coating deviceInfo
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- JPH1133458A JPH1133458A JP19573097A JP19573097A JPH1133458A JP H1133458 A JPH1133458 A JP H1133458A JP 19573097 A JP19573097 A JP 19573097A JP 19573097 A JP19573097 A JP 19573097A JP H1133458 A JPH1133458 A JP H1133458A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は液状体をディスペ
ンサのノズル体から吐出させて板状体に塗布するための
液状体の塗布装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid applying apparatus for discharging a liquid from a nozzle of a dispenser and applying the liquid to a plate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルは板状体である一対の液
晶用基板を液状体としてのシ−ル剤を介して所定の間隔
で貼り合わせ、これら液晶用基板の間の空間部に液晶を
充填することで構成されている。2. Description of the Related Art In a liquid crystal display panel, a pair of plate-like liquid crystal substrates are adhered at a predetermined interval via a liquid sealing material, and liquid crystal is filled in a space between the liquid crystal substrates. It is composed by filling.
【０００３】上記液晶用基板にシ−ル剤を塗布する方法
としては、パタ−ンが形成されたマスクを用い、このマ
スク上に供給されたシ−ル剤をスキ−ジで上記マスクの
パタ−ンを介して上記液晶用基板に塗布するスクリ−ン
法と、ディスペンサを用い、そのノズル体から吐出され
るシ−ル剤を上記液晶用基板に所定のパタ−ンで塗布す
るディスペンサ法とが知られている。As a method of applying a sealant to the liquid crystal substrate, a mask having a pattern formed thereon is used, and the sealant supplied on the mask is squeezed to pattern the mask. And a dispenser method in which a sealant discharged from a nozzle body is applied to the liquid crystal substrate with a predetermined pattern by using a dispenser. It has been known.
【０００４】スクリ−ン法は、マスクを液晶用基板に接
触させてシ−ル剤を塗布するため、上記液晶用基板の汚
れを招いたり、マスクをスキ−ジで擦ることで静電気の
発生を招くということがある。In the screen method, since a mask is brought into contact with a liquid crystal substrate to apply a sealant, the liquid crystal substrate is contaminated or static electricity is generated by rubbing the mask with a squeegee. It may be invited.
【０００５】それに対してディスペンサ法は、上記シ−
ル剤を液晶用基板に非接触で塗布することができるた
め、液晶用基板の汚れや静電気の発生を招くことがない
という利点に着目され、多用される傾向にある。上記デ
ィスペンサ法によってシ−ル剤を線引き塗布する場合、
塗布量が不均一にならないよう、精密に塗布することが
要求される。[0005] On the other hand, the dispenser method uses the above-described method.
Since the liquid crystal agent can be applied to the liquid crystal substrate in a non-contact manner, attention has been paid to the advantage that the liquid crystal substrate is not stained or static electricity is generated, and it tends to be used frequently. When the sealant is drawn and applied by the above dispenser method,
Precise application is required so that the application amount does not become uneven.
【０００６】上記ディスペンサは、周知のようにシ−ル
剤が充填されたバレルと、このバレルの先端に着脱自在
に取付けられるノズル体とからなる。バレルに充填され
たシ−ル剤を使い切ったなら、そのバレルからノズル体
を外し、新たなバレルに交換するということが行われて
いる。The dispenser includes a well-known barrel filled with a sealant and a nozzle body detachably attached to the tip of the barrel. When the sealant filled in the barrel is used up, the nozzle body is removed from the barrel and replaced with a new barrel.
【０００７】バレルを交換するときには、その先端に上
記ノズル体が着脱される。そのため、その都度、ノズル
体の先端のＸＹ方向およびＺ方向の位置を検出し、その
検出結果に応じてＸ、ＹおよびＺ方向の位置を補正する
ということが行われている。When the barrel is replaced, the nozzle body is attached to and detached from the tip. Therefore, each time, the position of the tip of the nozzle body in the XY direction and the Z direction is detected, and the position in the X, Y, and Z directions is corrected according to the detection result.
【０００８】ノズル体のＸ、Ｙ方向の位置が高精度に設
定されていなければ、シ−ル剤を所望の位置に高精度に
塗布することができず、またノズル体のＺ方向の位置が
高精度に設定されていないと、シ−ル剤の塗布量が一定
とならないということがあり、その位置決め精度は±１
μｍ程度が要求されている。If the position of the nozzle body in the X and Y directions is not set with high precision, the sealant cannot be applied to a desired position with high precision, and the position of the nozzle body in the Z direction cannot be adjusted. If the precision is not set, the application amount of the sealant may not be constant, and the positioning precision is ± 1.
About μm is required.
【０００９】従来、ノズル体のＸＹおよびＺ方向の位置
決めは別々に行われていた。つまり、ＸＹ方向の位置
は、シ−ル剤を液晶用基板に試し塗りし、そのシ−ル剤
の塗布状態からノズル体のＸＹ方向の位置を検出すると
いうことが行われていた。Conventionally, the positioning of the nozzle body in the XY and Z directions has been performed separately. In other words, the position in the XY direction is a test application of a sealant to the liquid crystal substrate, and the position of the nozzle body in the XY direction is detected from the application state of the sealant.
【００１０】また、Ｚ方向の位置は、ノズル体を固定部
に接触させ、接触したときの位置を電気抵抗値の変化な
どで検出することで行われていた。しかしながら、この
ようにしてノズル体のＸ、ＹおよびＺ方向の位置を検出
するようにすると、ＸＹ方向の場合にはシ−ル剤の試し
塗りを行わなければならないから、時間が掛かり、生産
性の低下を招くということがあるばかりか、高精度に検
出できないということがあり、またＺ方向の場合にはノ
ズル体を固定部に突き当てたときに、たわみなどの変形
が生じることが避けられないから、そのことによって検
出精度の低下やばらつきを招くばかりか、作業に熟練を
要するということもある。Further, the position in the Z direction has been performed by bringing the nozzle body into contact with the fixed portion and detecting the position at which the nozzle body comes into contact with the electric resistance value or the like. However, if the position of the nozzle body in the X, Y and Z directions is detected in this way, in the case of the XY direction, a trial coating of the sealant must be performed, which takes time and increases productivity. In addition to the fact that the nozzle body may be reduced, the detection may not be performed with high accuracy, and in the case of the Z direction, deformation such as deflection may be avoided when the nozzle body is abutted against the fixing portion. Therefore, this not only causes a decrease or variation in detection accuracy, but also requires skill in work.
【００１１】Ｘ、ＹおよびＺ方向に位置決めされたノズ
ル体によってシ−ル剤を塗布したとしても、シ−ル剤が
ノズル体で詰まったり、ノズル体の変形によってシ−ル
剤が確実に吐出されないということがあるため、シ−ル
剤の塗布状態を検査することが要求されている。Even if the sealant is applied by the nozzles positioned in the X, Y and Z directions, the sealant is clogged by the nozzles or the sealant is reliably discharged by deformation of the nozzles. In some cases, it is required that the state of application of the sealant be inspected.
【００１２】従来、シ−ル剤の塗布状態の検査は、液晶
用基板にシ−ル剤を塗布し終わってから行うようにして
いた。そのため、塗布工程と検査工程とが別工程となる
から、塗布状態の異常を発見するのに時間が掛かり、不
良品の発生を増大させてしまうということがあったり、
検査時間がタクトタイムに含まれてしまうために、生産
性が著しく低下するなどのことがあった。Conventionally, the inspection of the applied state of the sealant has been performed after the sealant has been applied to the liquid crystal substrate. Therefore, since the coating process and the inspection process are separate processes, it takes time to find an abnormality in the coating state, which may increase the occurrence of defective products,
Since the inspection time is included in the tact time, productivity may be significantly reduced.
【００１３】上記ディスペンサは、Ｘ、ＹおよびＺ方向
に駆動されるテ−ブルにホルダを介してＺ方向に弾性的
に変位自在に保持されている。それによって、誤操作な
どで上記ディスペンサのノズル体を固定部や液晶用基板
などに強くぶつけた際などの逃げるようにし、ノズル体
が損傷するのを防止している。The dispenser is held by a table driven in the X, Y and Z directions so as to be elastically displaceable in the Z direction via a holder. As a result, the nozzle body of the dispenser escapes when the nozzle body of the dispenser is strongly hit against the fixed portion, the liquid crystal substrate, or the like due to an erroneous operation or the like, thereby preventing the nozzle body from being damaged.
【００１４】しかしながら、ノズル体がＺ方向に弾性的
に変位自在に設けられていると、生産性の向上のために
塗布速度を高速化させたり、線引き塗布のコ−ナ部での
Ｒ形状を小さくすると、そのコ−ナ部の前後での加速度
が大きくなり、そのため、Ｚ方向に弾性変位自在に設け
られたディスペンサが振動し、Ｚ方向の位置精度が低下
するから、シ−ル剤の塗布量が一定とならないというこ
とがある。However, when the nozzle body is provided so as to be elastically displaceable in the Z direction, the coating speed can be increased to improve productivity, or the R-shape at the corner of the wire drawing coating can be reduced. If the distance is reduced, the acceleration before and after the corner increases, and the dispenser provided to be elastically displaceable in the Z direction vibrates, and the positional accuracy in the Z direction is reduced. Sometimes the amount is not constant.
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来はデ
ィスペンサのノズル体先端の位置を高精度に、しかも迅
速に検出することができないということがあったので、
生産性の低下を招いていた。As described above, conventionally, the position of the tip of the nozzle body of the dispenser cannot be detected with high precision and quickly.
This has led to a drop in productivity.
【００１６】また、シ−ル剤の塗布状態の検査を塗布工
程とは別工程で行っていたので、塗布状態の異常を発見
するのに時間が掛かり、不良品の発生を多くするという
ことがあったり、生産性の低下を招くということもあっ
た。Further, since the inspection of the application state of the sealant is performed in a step different from the application step, it takes time to find an abnormality in the application state, and this often increases the occurrence of defective products. In some cases, productivity was reduced.
【００１７】さらに、誤操作によるディスペンサの損傷
を防止するため、このディスペンサをＺ方向に弾性的に
変位自在に設けているので、ディスペンサが振動し、シ
−ル剤の塗布量が不安定になるなどのことがあった。Further, in order to prevent the dispenser from being damaged due to an erroneous operation, the dispenser is provided to be elastically displaceable in the Z direction. There was a thing.
【００１８】この発明の目的は、ノズル体の先端の位置
を精密に、しかも迅速に測定できるようにした液状体の
塗布装置を提供することにある。この発明の目的は、液
状体の塗布状態の検査を、塗布工程時に行えるようにし
た液状体の塗布装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an apparatus for applying a liquid material capable of accurately and quickly measuring the position of the tip of a nozzle body. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an apparatus for applying a liquid material, in which an inspection of the application state of the liquid material can be performed during an application step.
【００１９】この発明の目的は、液状体を塗布するとき
に、弾性的に変位自在に設けられたディスペンサのＺ方
向の動きを阻止できるようにした液状体の塗布装置を提
供することにある。An object of the present invention is to provide an apparatus for applying a liquid material in which a dispenser, which is elastically displaceable, can be prevented from moving in the Z direction when the liquid material is applied.
【００２０】[0020]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液状
体を板状体に塗布するための液状体の塗布装置におい
て、上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの
先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液
状体が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、
上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段と、上記ノズル体の
先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先
端部の位置を検出するノズル撮像手段とを具備したこと
を特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a liquid material applying apparatus for applying a liquid material to a plate-like body, comprising: a barrel accommodating the liquid material; A dispenser having a nozzle body freely provided and a nozzle body from which the liquid material in the barrel is discharged,
X, Y relative to the plate-shaped body
And a driving means for moving the nozzle body in the Z direction, and a nozzle imaging means for imaging the tip of the nozzle body and detecting the position of the tip of the nozzle body based on an image signal.
【００２１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記第１の撮像手段は、上記ノズル体の先端部をＸ
方向から撮像するＸ撮像カメラと、上記ノズル体の先端
部をＹ方向から撮像するＹ撮像カメラとを具備すること
を特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the first image pickup means sets the tip of the nozzle body to X.
It is characterized by comprising an X imaging camera for imaging from a direction and a Y imaging camera for imaging the tip of the nozzle body from a Y direction.
【００２２】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２の発明において、上記第１の撮像手段からの検出信号
に基づいて上記ノズル体の位置を補正する補正手段を備
えていることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, there is provided a correction means for correcting the position of the nozzle body based on a detection signal from the first imaging means. Features.
【００２３】請求項４の発明は、液状体を板状体に塗布
するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収
容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に
設けられ上記バレル内の液状体が先端から吐出されるノ
ズル体とを有するディスペンサと、上記板状体に対して
上記ディスペンサを相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移動
させる駆動手段と、上記ノズル体から吐出されて上記板
状体に塗布される上記液状体の塗布状態を撮像する塗布
状態撮像手段とを具備したことを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a liquid material applying apparatus for applying a liquid material to a plate-like body, wherein the barrel accommodating the liquid material and the barrel detachably provided at a tip portion of the barrel. A dispenser having a nozzle body from which the liquid material is discharged from the tip, a driving unit for moving the dispenser relatively in the X, Y, and Z directions with respect to the plate-like body; And a coating state imaging means for imaging the coating state of the liquid material applied to the plate-like body.
【００２４】請求項５の発明は、請求項４の発明におい
て、上記塗布状態撮像手段は、上記ディスペンサと一体
的に設けられるとともに上記ノズル体の先端部を斜め上
方から撮像するθ撮像カメラであることを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect of the present invention, the application state imaging means is a θ imaging camera which is provided integrally with the dispenser and takes an image of the tip of the nozzle body from obliquely above. It is characterized by the following.
【００２５】請求項６の発明は、請求項４の発明におい
て、上記塗布状態撮像手段は、上記ノズル体の外周全長
にわたって設けられたラインセンサであることを特徴と
する。According to a sixth aspect of the present invention, in the fourth aspect of the present invention, the application state imaging means is a line sensor provided over the entire outer circumference of the nozzle body.
【００２６】請求項７の発明は、液状体を板状体に塗布
するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収
容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に
設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノ
ズル体とを有するディスペンサと、このディスペンサを
Ｚ方向に弾性的に変位自在に保持した弾性保持手段と、
この弾性保持手段による上記ディスペンサのＺ方向の弾
性変位を適宜に阻止する阻止手段と、上記ディスペンサ
を上記板状体に対して相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移
動させる駆動手段とを具備したことを特徴とする。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a liquid material applying apparatus for applying a liquid material to a plate-like body, wherein a barrel accommodating the liquid material and a detachably provided at a tip end of the barrel are provided. A dispenser having a nozzle body from which the liquid material in the barrel is discharged, and elastic holding means for holding the dispenser elastically displaceable in the Z direction;
Blocking means for appropriately preventing elastic displacement of the dispenser in the Z direction by the elastic holding means, and driving means for moving the dispenser in the X, Y and Z directions relative to the plate-like body are provided. It is characterized by the following.
【００２７】請求項１と請求項２の発明によれば、第１
の撮像手段によってノズル体の先端部を撮像し、その撮
像信号によって位置を検出するため、ノズル体の先端部
の位置検出を非接触で、高精度に行うことができる。According to the first and second aspects of the present invention, the first
The tip of the nozzle body is imaged by the imaging means, and the position is detected by the image signal, so that the position of the tip of the nozzle body can be detected in a non-contact and highly accurate manner.
【００２８】請求項３の発明によれば、第１の撮像手段
からの検出信号に基づいてノズル体の位置補正が行われ
るため、その位置決めを高精度に行うことができる。請
求項４、請求項５および請求項６の発明によれば、液状
体の塗布時にその塗布状態を第２の撮像手段によって撮
像するため、液状体の塗布工程と検査工程とを同時に行
うことができる。According to the third aspect of the present invention, since the position of the nozzle body is corrected based on the detection signal from the first imaging means, the positioning can be performed with high accuracy. According to the fourth, fifth and sixth aspects of the present invention, the application state of the liquid material is imaged by the second imaging means when the liquid material is applied, so that the liquid material application step and the inspection step can be performed simultaneously. it can.
【００２９】請求項７の発明によれば、ノズル体の損傷
を防止するためにディスペンサがＺ方向に弾性的に変位
自在に設けられていても、そのディスペンサのＺ方向の
弾性的な動きを適宜に阻止できるため、液状体の塗布速
度を高速化した場合などにディスペンサがＺ方向に振動
するのを防止できる。According to the seventh aspect of the present invention, even if the dispenser is provided so as to be elastically displaceable in the Z direction in order to prevent damage to the nozzle body, the dispenser elastically moves in the Z direction appropriately. Therefore, it is possible to prevent the dispenser from vibrating in the Z direction when the application speed of the liquid material is increased.
【００３０】[0030]
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面を参照して説明する。図１は液晶表示装置の製造工
程に用いられる、液状体であるシ−ル剤Ｓの塗布装置を
示す。この塗布装置は架台１を有する。この架台１の上
面にはテ−ブル装置２が設けられている。このテ−ブル
装置２はＸテ−ブルユニット３とＹテ−ブルユニット４
からなる。Ｘテ−ブルユニット３はＸ方向に沿うＸガイ
ド面３ａを有し、このＸガイド面３ａにはＸ駆動源５に
よってこのＸガイド面３ａに沿って駆動されるＸ可動体
６が設けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an apparatus for applying a liquid sealant S used in a manufacturing process of a liquid crystal display device. This coating apparatus has a gantry 1. A table device 2 is provided on the upper surface of the gantry 1. The table device 2 comprises an X table unit 3 and a Y table unit 4
Consists of The X table unit 3 has an X guide surface 3a along the X direction, and the X guide surface 3a is provided with an X movable body 6 driven along the X guide surface 3a by an X drive source 5. I have.
【００３１】上記Ｘ可動体６には上記Ｙテ−ブルユニッ
ト４がＹガイド面４ａをＹ方向に沿わせて設けられてい
る。このＹガイド面４ａにはＹ可動体７がスライド自在
に設けられ、このＹ可動体７がＹ駆動源４ｂによってＹ
方向に駆動されるようになっている。The X movable body 6 is provided with the Y table unit 4 with the Y guide surface 4a along the Y direction. A Y movable body 7 is slidably provided on the Y guide surface 4a.
It is driven in the direction.
【００３２】上記Ｙ可動体７には基板テ−ブル８が設け
られている。この基板テ−ブル８は上記Ｘ可動体６とＹ
可動体７とによってＸＹ方向に駆動されるようになって
いて、その上面には板状体としての液晶用基板９が載置
され、たとえば真空吸着などの手段で保持固定されるよ
うになっている。The Y movable body 7 is provided with a substrate table 8. The substrate table 8 is composed of the X movable body 6 and the Y movable body 6.
The liquid crystal substrate 9 as a plate-like body is placed on the upper surface thereof and is held and fixed by means such as vacuum suction. I have.
【００３３】液晶基板の位置決めは、ヘッドに取付けた
カメラユニット２０によって液晶基板の位置決め用マ−
クを画像処理で位置検出し、Ｘテ−ブルユニット３およ
びＹテ−ブルユニット４と、基板テ−ブル８と、Ｙテ−
ブルユニット４の間に設けたθテ−ブルユニット１０に
よって液晶基板を移動させて位置補正を行う。The positioning of the liquid crystal substrate is performed by a camera unit 20 mounted on the head.
The X table unit 3 and the Y table unit 4, the board table 8, and the Y table are detected by image processing.
The liquid crystal substrate is moved by the [theta] table unit 10 provided between the table units 4 to perform position correction.
【００３４】上記架台１の上面には上記Ｙテ−ブルユニ
ット４を跨ぐ状態で門型の案内体１１が立設されてい
る。この案内体１１はＸ方向に沿う水平部１２ａを有
し、この水平部１２ａには一対の塗布ユニット１３がス
ライド自在に設けられている。各塗布ユニット１３は上
記水平部１２ａに沿ってスライド自在なスライダ１４を
有し、各スライダ１４は上記水平部１２ａの両端に設け
られたＸ駆動源１５によってＸ方向に沿って駆動される
ようになっている。On the upper surface of the gantry 1, a portal guide 11 is provided upright so as to straddle the Y table unit 4. The guide 11 has a horizontal portion 12a along the X direction, and a pair of coating units 13 are slidably provided on the horizontal portion 12a. Each coating unit 13 has a slider 14 slidable along the horizontal portion 12a, and each slider 14 is driven along the X direction by X driving sources 15 provided at both ends of the horizontal portion 12a. Has become.
【００３５】上記塗布ユニット１３のスライダ１４には
上記水平部１２ａと直交するＹ方向に沿ってスライド自
在なＹ可動体１６が設けられ、このＹ可動体１６はＹ駆
動源１７によってＹ方向に沿って駆動されるようになっ
ている。The slider 14 of the coating unit 13 is provided with a Y movable body 16 slidable in the Y direction orthogonal to the horizontal portion 12a, and the Y movable body 16 is moved in the Y direction by a Y drive source 17. It is designed to be driven.
【００３６】上記Ｙ可動体１６の先端には垂直部１６ａ
が設けられ、この垂直部１６ａには図２に示すようにＺ
プレ−ト１８ａを介してＺガイド体１８が設けられてい
る。このＺガイド体１８にはＺ駆動源１９によってＺ方
向に駆動されるＺ可動体２１がスライド自在に設けられ
ている。A vertical portion 16a is provided at the tip of the Y movable body 16.
The vertical portion 16a has a Z as shown in FIG.
The Z guide body 18 is provided via a plate 18a. The Z guide body 18 is provided with a Z movable body 21 slidably driven in a Z direction by a Z drive source 19.
【００３７】上記Ｚ可動体２１にはリニアガイド２２が
Ｚ方向に沿って設けられ、このリニアガイド２２にはホ
ルダ２３がスライド自在に設けられている。このホルダ
２３の上端と上記Ｚ可動体２１の上端との間には上記ホ
ルダ２３を弾性的に保持した圧縮ばね２４が設けられて
いる。A linear guide 22 is provided on the Z movable body 21 along the Z direction, and a holder 23 is slidably provided on the linear guide 22. A compression spring 24 that elastically holds the holder 23 is provided between the upper end of the holder 23 and the upper end of the Z movable body 21.
【００３８】上記ホルダ２３は、その下端面を上記Ｚ可
動体２１の下端に設けられたストッパ２５に当接させて
おり、それによってＺ方向の上方にだけ上記圧縮ばね２
４を変形させて弾性的に変位できるようになっている。The holder 23 has its lower end surface in contact with a stopper 25 provided at the lower end of the Z movable body 21, whereby the compression spring 2 is moved upward only in the Z direction.
4 can be deformed elastically.
【００３９】上記ホルダ２３には取付け部２６が設けら
れ、この取付け部２６にはシ−ル剤Ｓを上記液晶用基板
９に線引き塗布するためのディスペンサ２７が着脱自在
に保持されている。このディスペンサ２７はシ−ル剤Ｓ
が充填されたシリンジ状のバレル２７ａと、このバレル
２７ａの先端に着脱自在に取着されたノズル体２７ｂと
からなる。上記バレル２７ａには図示せぬ供給ホ−スに
よって所定圧力の加圧気体が供給される。それによっ
て、バレル２７ａの内部に充填されたシ−ル剤Ｓが加圧
されてノズル体２７ｂの先端から吐出されるようになっ
ている。The holder 23 is provided with a mounting portion 26, and a dispenser 27 for drawing and applying the sealant S to the liquid crystal substrate 9 is detachably held in the mounting portion 26. This dispenser 27 has a sealing agent S
And a nozzle 27b removably attached to the tip of the barrel 27a. A pressurized gas of a predetermined pressure is supplied to the barrel 27a by a supply hose (not shown). Thus, the sealant S filled in the barrel 27a is pressurized and discharged from the tip of the nozzle body 27b.
【００４０】上記ホルダ２３には上記ディスペンサ２７
の側方にレ−ザセンサ２８が設けられている。このレ−
ザセンサ２８は、シ−ル剤Ｓを塗布しているときの、上
記ノズル体２７ｂの先端と上記ＸＹテ−ブル８上に載置
された液晶用基板９との距離を測定する。The holder 23 has the dispenser 27
A laser sensor 28 is provided on the side of. This
The sensor 28 measures the distance between the tip of the nozzle body 27b and the liquid crystal substrate 9 placed on the XY table 8 when the sealant S is being applied.
【００４１】シ−ル剤Ｓの塗布時には、上記ディスペン
サ２７がＺ方向に弾性的に変位するのが阻止される。つ
まり、図４に示すように、上記Ｚプレ−ト１８ａの一側
には阻止手段を構成するソレノイドシリンダ３１が軸線
を水平にして設けられ、このソレノイドシリンダ３１の
ロッド３１ａには下端側に第１のテ−パ面３２ａが形成
された第１のストッパ３２が連結されている。When the sealant S is applied, the dispenser 27 is prevented from being elastically displaced in the Z direction. That is, as shown in FIG. 4, on one side of the Z plate 18a, a solenoid cylinder 31 constituting a blocking means is provided with its axis being horizontal, and a rod 31a of this solenoid cylinder 31 is provided with a A first stopper 32 having one tapered surface 32a is connected thereto.
【００４２】上記ホルダ２３の一側面には、上記第１の
ストッパ３２とほぼ同じ高さで第２のストッパ３３が設
けられている。この第２のストッパ３３の上端側には上
記第１のテ−パ面３２ａと対向する平行な角度の第２の
テ−パ面３３ａが形成されている。On one side surface of the holder 23, a second stopper 33 is provided at substantially the same height as the first stopper 32. On the upper end side of the second stopper 33, a second taper surface 33a having a parallel angle and facing the first taper surface 32a is formed.
【００４３】上記ソレノイドシリンダ３１が作動して第
１のストッパ３２が前進方向に駆動されると、その第１
のテ−パ面３２ａが第２のストッパ３３の第２のテ−パ
面３３ａに当接する。それによって、第２のストッパ３
３が設けられたホルダ２３は下端がストッパ２５に当接
した状態で下方へ押圧されるから、Ｚ方向に弾性的に変
位するのが阻止される。When the solenoid cylinder 31 is operated and the first stopper 32 is driven in the forward direction,
The second taper surface 32a of the second stopper 33 abuts on the second taper surface 33a. Thereby, the second stopper 3
Since the holder 23 provided with 3 is pressed downward with the lower end in contact with the stopper 25, it is prevented from being elastically displaced in the Z direction.
【００４４】上記案内体１１の一対の垂直部１２ｂの前
面にはそれぞれノズル撮像手段を構成する検出ユニット
３５が設けられている。この検出ユニット３５は、先端
に切欠部３６ａが直角に形成されたユニット板３６を有
し、このユニット板３６の切欠部３６ａのＸ方向と平行
な一辺にはＸ撮像カメラ３７が設けられ、Ｙ方向と平行
な他辺にはＹ撮像カメラ３８が設けられている。つま
り、各撮像カメラ３７、３８は光軸を直交させて配置さ
れている。On the front surfaces of the pair of vertical portions 12b of the guide 11, a detection unit 35 constituting nozzle image pickup means is provided. The detection unit 35 has a unit plate 36 having a cutout portion 36a formed at a right angle at a front end thereof. An X imaging camera 37 is provided on one side of the cutout portion 36a of the unit plate 36 parallel to the X direction. A Y imaging camera 38 is provided on the other side parallel to the direction. That is, the imaging cameras 37 and 38 are arranged with the optical axes orthogonal to each other.
【００４５】これら撮像カメラ３７、３８はこれらの光
軸Ｏ1 、Ｏ2 の交点に図３に示すようにディスペンサ２
７のノズル体２７ｂの先端部を位置させた状態で、その
ノズル体２７ｂを撮像する。Ｘ撮像カメラ３７の視野内
に上記ノズル体２７ｂのたとえば中心軸線を位置させた
ときのその位置座標からこのノズル体２７ｂのＸ方向の
位置を求めることができ、同様に、Ｙ撮像カメラ３８の
視野内に上記ノズル体２７ｂの中心軸線を位置させたと
きのその位置座標からＹ方向の位置を求めることができ
る。The imaging cameras 37 and 38 are connected to the dispenser 2 at the intersection of the optical axes O 1 and O 2 as shown in FIG.
With the tip of the nozzle body 27b of No. 7 positioned, an image of the nozzle body 27b is taken. For example, the position of the nozzle body 27b in the X direction can be obtained from the position coordinates when the center axis of the nozzle body 27b is positioned within the field of view of the X imaging camera 37, and similarly, the field of view of the Y imaging camera 38 The position in the Y direction can be obtained from the position coordinates when the central axis of the nozzle body 27b is positioned inside the nozzle body 27b.
【００４６】また、ノズル体２７ｂの下端面を、Ｘ撮像
カメラ３７の視野内あるいはＹ撮像カメラ３８の視野内
に位置させたときの座標から、上記ノズル体２７ｂの下
端面の位置、つまりＺ方向の位置を求めることができ
る。The position of the lower end surface of the nozzle body 27b, that is, the Z direction, is determined from the coordinates when the lower end surface of the nozzle body 27b is positioned within the visual field of the X imaging camera 37 or the visual field of the Y imaging camera 38. Can be obtained.
【００４７】上記ディスペンサ２７によるシ−ル剤Ｓの
塗布状態は、このディスペンサ２７と一体的に設けられ
た塗布状態撮像手段を構成するθ撮像カメラ４１によっ
て撮像される。このθ撮像カメラ４１は、たとえば上記
ホルダ２３に取付けられることで、ディスペンサ２７と
一体的に設けられている。The application state of the sealant S by the dispenser 27 is imaged by the θ imaging camera 41 constituting the application state imaging means provided integrally with the dispenser 27. The θ imaging camera 41 is provided integrally with the dispenser 27, for example, by being attached to the holder 23.
【００４８】つまり、図５（ａ）に示すようにθ撮像カ
メラ４１は、軸線Ｏ3 を上記ディスペンサ２７の軸線Ｏ
4 に対して４５度の角度で傾斜させ、上記ノズル体２７
ｂの先端、つまり液晶用基板９のシ−ル剤Ｓが塗布され
る部分を上方から撮像するようになっている。上記θ撮
像カメラ４１がノズル体２７ｂの先端に対して斜め上方
に配置されることで、このノズル体２７ｂがＸ方向およ
びＹ方向に移動しても、その移動方向に制限を受けるこ
となく、シ−ル剤Ｓの塗布状態を確実に撮像することが
できる。That is, as shown in FIG. 5A, the θ imaging camera 41 adjusts the axis O 3 to the axis O of the dispenser 27.
4 at an angle of 45 degrees with respect to the nozzle body 27
The tip of b, that is, the portion of the liquid crystal substrate 9 to which the sealing agent S is applied is imaged from above. Since the θ imaging camera 41 is disposed obliquely above the tip of the nozzle body 27b, even if the nozzle body 27b moves in the X direction and the Y direction, the movement direction is not restricted. -It is possible to reliably image the application state of the lubricant S.
【００４９】なお、第２の撮像手段は、上記θ撮像カメ
ラ４１に代わり、図５（ｂ）に示すようにノズル体２７
ｂの外周全体にわたってラインセンサ４２を設け、この
ラインセンサ４２でシ−ル剤Ｓの塗布状態を撮像するよ
うにしてもよい。この場合も、ノズル体２７ｂの移動方
向に制限を受けることなく、シ−ル剤Ｓの塗布状態を確
実に撮像することができる。The second image pickup means is replaced with the θ image pickup camera 41, as shown in FIG.
A line sensor 42 may be provided over the entire outer periphery of b, and the line sensor 42 may image the application state of the sealant S. Also in this case, the application state of the sealant S can be reliably imaged without being restricted by the moving direction of the nozzle body 27b.
【００５０】図６に示すように、上記Ｘ撮像カメラ３
７、Ｙ撮像カメラ３８およびＺ撮像カメラ４１からの撮
像信号は画像処理部４５に入力される。この画像処理部
４５に入力された画像信号は電気信号に変換されて制御
装置４６へ出力される。As shown in FIG. 6, the X imaging camera 3
7, imaging signals from the Y imaging camera 38 and the Z imaging camera 41 are input to the image processing unit 45. The image signal input to the image processing unit 45 is converted into an electric signal and output to the control device 46.
【００５１】この制御装置４６は、上記Ｘ撮像カメラ３
７とＹ撮像カメラ３８からの画像信号に基づいてノズル
体２７ｂのＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の位置を算出す
る。制御装置４６で算出されたＸ、ＹおよびＺ方向の座
標位置が予め設定された原点位置からずれている場合に
は、そのずれ量に応じた駆動信号でＸ駆動源１５、Ｙ駆
動源１７およびＺ駆動源１９が作動され、上記ノズル体
２７ｂのＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置が原点位置に補正される
ようになっている。The control device 46 controls the X imaging camera 3
7 and the position of the nozzle body 27b in the X, Y, and Z directions based on the image signal from the Y imaging camera 38. If the coordinate positions in the X, Y, and Z directions calculated by the control device 46 deviate from the preset origin position, the X drive source 15, the Y drive source 17, and the drive signal corresponding to the shift amount are used. The Z drive source 19 is operated, and the position of the nozzle body 27b in the X, Y, and Z directions is corrected to the origin position.
【００５２】他の制御方法としては、制御装置４６で算
出されたＸ、ＹおよびＺ方向の原点位置からのずれ量を
上記制御装置４６に記憶し、そのずれ量に基づく補正を
行いながらノズル体２７ｂをＸ、ＹおよびＺ方向に駆動
するようにしてもよい。As another control method, the amount of deviation from the origin position in the X, Y and Z directions calculated by the controller 46 is stored in the controller 46, and the nozzle body is corrected while performing correction based on the amount of deviation. 27b may be driven in the X, Y and Z directions.
【００５３】上記制御装置４６は、ソレノイドシリンダ
３１の駆動を制御し、Ｚ方向に弾性的に変位できるよう
に設けられたホルダ２３の動きを阻止するようになって
いる。さらに、制御装置４６にはレ−ザセンサ２８から
の検出信号が入力され、この検出信号に基づいて上記ノ
ズル体２７ｂのＺ方向の位置が補正される。つまり、液
晶用基板９の凹凸などによってノズル体２７ｂの先端面
と液晶用基板９との間隔が変化するから、その間隔が一
定になるよう上記ノズル体２７ｂのＺ方向の位置が補正
されるようになっている。The control device 46 controls the driving of the solenoid cylinder 31 and prevents the movement of the holder 23 provided so as to be elastically displaceable in the Z direction. Further, a detection signal from the laser sensor 28 is input to the control device 46, and the position of the nozzle body 27b in the Z direction is corrected based on the detection signal. That is, the distance between the tip surface of the nozzle body 27b and the liquid crystal substrate 9 changes due to unevenness of the liquid crystal substrate 9, and the like, so that the position of the nozzle body 27b in the Z direction is corrected so that the distance becomes constant. It has become.
【００５４】ノズル体２７ｂのＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置は
ＸＹテ−ブル８に設けられた液晶用基板９に対して相対
的に位置決めされるものである。したがって、ノズル体
２７ｂのＸ、Ｙ方向の位置はノズル体２７ｂをＸ、Ｙ方
向に駆動せずに、ＸＹテ−ブル８をＸ、Ｙ方向に駆動し
て両者の相対的なＸＹ方向の位置決めするようにしても
よい。The positions of the nozzle body 27b in the X, Y, and Z directions are relatively positioned with respect to the liquid crystal substrate 9 provided on the XY table 8. Therefore, the position of the nozzle body 27b in the X and Y directions does not drive the nozzle body 27b in the X and Y directions, but drives the XY table 8 in the X and Y directions to position the nozzle body 27b in the relative XY directions. You may make it.
【００５５】なお、この実施の形態ではＸＹテ−ブル８
はＺ方向に駆動できないため、Ｚ方向の位置補正はノズ
ル体２７ｂ側で行わなければならないが、ＸＹテ−ブル
８をＺ方向に駆動できるようにし、Ｚ方向の位置補正も
ＸＹテ−ブル８側で行うようにしてもよい。In this embodiment, the XY table 8 is used.
Cannot be driven in the Z direction, the position correction in the Z direction must be performed on the nozzle body 27b side. However, the XY table 8 can be driven in the Z direction, and the position correction in the Z direction can be performed on the XY table 8. It may be performed on the side.
【００５６】つぎに、上記構成の塗布装置によって液晶
用基板９にシ−ル剤Ｓを線引き塗布する場合について説
明する。まず、シ−ル剤Ｓを塗布するに先立ってディス
ペンサ２７のノズル体２７ｂの位置補正を行う。つま
り、ディスペンサ２７のノズル体２７ｂが検出ユニット
３５のＸ撮像カメラ３７とＹ撮像カメラ３８との光軸の
交点に位置するよう、上記ディスペンサ２７（塗布ユニ
ット１３）を移動させる。Next, a case where the sealant S is drawn and applied to the liquid crystal substrate 9 by the coating apparatus having the above configuration will be described. First, the position of the nozzle body 27b of the dispenser 27 is corrected before applying the sealant S. That is, the dispenser 27 (coating unit 13) is moved so that the nozzle body 27b of the dispenser 27 is located at the intersection of the optical axes of the X imaging camera 37 and the Y imaging camera 38 of the detection unit 35.
【００５７】つまり、各撮像カメラ３７、３８の視野内
に上記ノズル体２７ｂのたとえば中心軸線および下端面
を位置させ、そのときの塗布ユニット１３のＸ、Ｙ、Ｚ
方向の座標を検出する。That is, for example, the center axis and the lower end face of the nozzle body 27b are positioned within the field of view of each imaging camera 37, 38, and the X, Y, Z of the coating unit 13 at that time.
Detect the coordinates of the direction.
【００５８】上記撮像カメラ３７、３８で検出された座
標が制御装置４６に予め設定された原点座標と比較され
ることで、この原点座標に対する上記ノズル体２７ｂの
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向のずれ量が算出される。The coordinates detected by the imaging cameras 37 and 38 are compared with the origin coordinates preset in the control device 46, so that the amount of displacement of the nozzle body 27b in the X, Y, and Z directions with respect to the origin coordinates is determined. Is calculated.
【００５９】制御装置４６は上記撮像カメラ３７、３８
からの撮像信号によって求められたずれ量によってＺ方
向の位置を補正し、ノズル体２７ｂの先端面と液晶用基
板９との間隔を所定の値に設定する。ついで、Ｘ、Ｙ方
向の位置を補正しながら上記ディスペンサ２７をＸＹ方
向に駆動するとともに、ディスペンサ２７に加圧空気を
供給することで、上記液晶用基板９にシ−ル剤Ｓを線引
き塗布する。The control unit 46 is provided with the above-mentioned imaging cameras 37 and 38.
The position in the Z direction is corrected based on the shift amount obtained from the imaging signal from the camera, and the distance between the tip surface of the nozzle body 27b and the liquid crystal substrate 9 is set to a predetermined value. Next, the dispenser 27 is driven in the XY directions while correcting the position in the X and Y directions, and pressurized air is supplied to the dispenser 27 to draw and apply the sealant S on the liquid crystal substrate 9. .
【００６０】つまり、ディスペンサ２７のバレル２７ａ
を交換した際などに、上記バレル２７ａに対してノズル
体２７ｂを着脱しても、そのノズル体２７ｂの先端部を
一対の撮像カメラ３７、３８で撮像することで、ノズル
体２７ｂ先端の三次元座標を検出できるから、その検出
作業を容易に、しかも非接触で精密に行うことができ
る。That is, the barrel 27a of the dispenser 27
Even when the nozzle body 27b is attached to or detached from the barrel 27a when the nozzle body 27b is replaced, for example, the tip of the nozzle body 27b is imaged by the pair of imaging cameras 37 and 38 so that the three-dimensional Since the coordinates can be detected, the detection operation can be performed easily and precisely without contact.
【００６１】また、Ｚ方向の位置が補正されることで、
シ−ル剤Ｓの塗布量を精密に設定することができ、さら
にＸ、Ｙ方向の位置が補正されることで、シ−ル剤Ｓを
所定の位置に精密に塗布することができる。Also, by correcting the position in the Z direction,
The application amount of the sealant S can be precisely set, and the position in the X and Y directions is corrected, so that the sealant S can be precisely applied to a predetermined position.
【００６２】シ−ル剤Ｓを塗布する際には、ソレノイド
シリンダ３１が駆動され、第１のストッパ３２が第２の
ストッパ３３に当接してディスペンサ２７が保持された
ホルダ２３がＺ方向に弾性的に変位するのが阻止され
る。When applying the sealant S, the solenoid cylinder 31 is driven, the first stopper 32 contacts the second stopper 33, and the holder 23 holding the dispenser 27 is elastically moved in the Z direction. Displacement is prevented.
【００６３】つまり、シ−ル剤Ｓを塗布する前は、上記
ホルダ２３をＺ方向に弾性的に変位できる状態としてお
くことで、ノズル体２７ｂを液晶用基板９やＸＹテ−ブ
ル８などに強くぶつけても、上記ノズル体２７ｂがＺ方
向上方へ弾性的に変位することで、ノズル体２７ｂが損
傷するのを防止できるようにしている。That is, before applying the sealant S, the nozzle body 27b is placed on the liquid crystal substrate 9 or the XY table 8 by setting the holder 23 in a state capable of elastic displacement in the Z direction. Even if the nozzle body 27b is strongly hit, the nozzle body 27b can be prevented from being damaged by being elastically displaced upward in the Z direction.
【００６４】それに対してシ−ル剤Ｓの塗布時には上記
ノズル体２７ｂがＺ方向上方へ弾性的に変位するのを阻
止することで、塗布速度を高速化しても、ノズル体２７
ｂが振動し、その位置決め精度が低下するのを防止でき
る。On the other hand, when the sealant S is applied, the nozzle body 27b is prevented from being elastically displaced upward in the Z direction, so that even if the coating speed is increased, the nozzle body 27b is prevented.
b can be prevented from vibrating and the positioning accuracy thereof being reduced.
【００６５】シ−ル剤Ｓを塗布しているときには、レ−
ザセンサ２８が液晶用基板９とノズル体２７ｂの下端面
との間隔を検出し、その検出信号に基づいてＺ駆動源１
９が駆動され、上記間隔が一定に維持される。そのた
め、液晶用基板９に凹凸があっても、ノズル体２７ｂと
液晶用基板９との間隔が変動するのが防止されるから、
シ−ル剤Ｓを一定の塗布量で塗布することが可能とな
る。When the sealant S is applied,
The sensor 28 detects the distance between the liquid crystal substrate 9 and the lower end surface of the nozzle body 27b, and detects the Z drive source 1 based on the detection signal.
9 is driven to maintain the above-mentioned interval constant. Therefore, even if the liquid crystal substrate 9 has irregularities, the distance between the nozzle body 27b and the liquid crystal substrate 9 is prevented from fluctuating.
It is possible to apply the sealant S at a constant application amount.
【００６６】一方、シ−ル剤Ｓの塗布時にはθ撮像カメ
ラ４１によって塗布状態が撮像される。そのため、ノズ
ル体２７ｂにシ−ル剤Ｓがつまったり、ノズル体２７ｂ
が変形するなどのことにより、シ−ル剤Ｓがかすれた
り、とぎれるなどのことが生じても、そのことがリアル
タイムで検出されるから、不良品が大量に発生するのを
未然に防止できる。On the other hand, when the sealant S is applied, the application state is imaged by the θ imaging camera 41. Therefore, the sealing agent S may be clogged in the nozzle body 27b, or the nozzle body 27b
Even if the sealant S is blurred or cut off due to deformation of the sealant S, it is detected in real time, so that it is possible to prevent a large number of defective products from occurring.
【００６７】この実施の形態の塗布装置は二面取りであ
るため、案内体１１に一対の塗布ユニット１３が設けら
れているが、一面取りの塗布装置においては案内体１１
に塗布ユニット１３を１つだけ設ければよい。Since the coating apparatus of this embodiment has two chamfers, the guide body 11 is provided with a pair of coating units 13.
Only one coating unit 13 may be provided.
【００６８】なお、上記一実施の形態では液晶用基板に
シ−ル剤を塗布する場合について説明したが、板状体は
液晶用基板に限られず、また液状体はシ−ル剤に限定さ
れるものでなく、要は板状体に対して精密な塗布が要求
される液状体の塗布であれば、この発明を適用すること
ができる。In the above-described embodiment, the case where the sealant is applied to the liquid crystal substrate has been described. However, the plate is not limited to the liquid crystal substrate, and the liquid is limited to the sealant. However, the present invention can be applied to any liquid material that requires precise application to a plate-like body.
【００６９】[0069]
【発明の効果】請求項１と請求項２の発明によれば、ノ
ズル撮像手段によってノズル体の先端部を撮像し、その
撮像信号によって上記ノズル体先端の位置を検出するた
め、ノズル体の先端部の位置検出を非接触で、しかも高
精度に行うことができる。According to the first and second aspects of the present invention, the tip of the nozzle body is imaged by the nozzle imaging means, and the position of the tip of the nozzle body is detected by the image signal. The position of the section can be detected in a non-contact manner and with high accuracy.
【００７０】請求項３の発明によれば、ノズル撮像手段
からの検出信号に基づいてノズル体の位置補正が行われ
るため、その位置決めを高精度に行うことができるか
ら、上記ノズル体による液状体の塗布精度を向上させる
ことができる。According to the third aspect of the present invention, since the position of the nozzle body is corrected based on the detection signal from the nozzle imaging means, the positioning can be performed with high accuracy. Coating accuracy can be improved.
【００７１】請求項４、請求項５および請求項６の発明
によれば、液状体の塗布時にその塗布状態を塗布状態撮
像手段によって撮像するため、液状体の塗布工程と検査
工程とを同時に行うことができる。According to the fourth, fifth and sixth aspects of the present invention, the application state of the liquid material is imaged by the application state imaging means when the liquid material is applied, so that the liquid material application step and the inspection step are performed simultaneously. be able to.
【００７２】請求項７の発明によれば、ノズル体の損傷
を防止するためにディスペンサがＺ方向に弾性的に変位
自在に設けられていても、そのディスペンサのＺ方向の
弾性的な動きを適宜に阻止できるため、液状体の塗布速
度を高速化した場合などにデ−ィスペンサがＺ方向に振
動して塗布精度が低下するのを防止できる。According to the seventh aspect of the present invention, even if the dispenser is provided so as to be elastically displaceable in the Z direction in order to prevent damage to the nozzle body, the dispenser can appropriately adjust the elastic movement in the Z direction. Therefore, it is possible to prevent the dispenser from vibrating in the Z direction and lowering the application accuracy when the application speed of the liquid material is increased.
【図１】この発明の一実施の形態の塗布装置の全体構成
図。FIG. 1 is an overall configuration diagram of a coating apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】同じくディスペンサの保持構造を示す側面図。FIG. 2 is a side view showing a holding structure of the dispenser.
【図３】同じくノズル体先端を撮像する状態を示した説
明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a state in which the tip of the nozzle body is imaged.
【図４】同じくノズル体のＺ方向の動きを阻止するため
の阻止手段の説明図。FIG. 4 is an explanatory view of a blocking means for blocking the movement of the nozzle body in the Z direction.
【図５】（ａ）は同じくシ−ル剤の塗布状態を撮像する
θ撮像カメラの説明図、（ｂ）は同じくシ−ル剤の塗布
状態を撮像するラインセンサの説明図。FIG. 5A is an explanatory view of a θ imaging camera for imaging the application state of the sealant, and FIG. 5B is an explanatory view of a line sensor for imaging the application state of the sealant.
【図６】同じく制御ブロック図。FIG. 6 is a control block diagram.
９…液晶用基板（板状体） １５…Ｘ駆動源 １７…Ｙ駆動源 １９…Ｚ駆動源 ２４…圧縮ばね（弾性保持手段） ２７…ディスペンサ ２７ａ…バレル ２７ｂ…ノズル体 ３２…第１のストッパ（阻止手段） ３３…第２のストッパ（阻止手段） ３７…Ｘ撮像カメラ ３８…Ｙ撮像カメラ ４１…θ撮像カメラ 9: Liquid crystal substrate (plate-like body) 15: X drive source 17: Y drive source 19: Z drive source 24: Compression spring (elastic holding means) 27: Dispenser 27a: Barrel 27b: Nozzle body 32: First stopper (Blocking means) 33: second stopper (blocking means) 37: X imaging camera 38: Y imaging camera 41: θ imaging camera
Claims (7)
の塗布装置において、 上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端
部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体
が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、 上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段と、 上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこ
のノズル体の先端部の位置を検出するノズル撮像手段と
を具備したことを特徴とする液状体の塗布装置。1. A liquid material applying apparatus for applying a liquid material to a plate-like body, comprising: a barrel accommodating the liquid material; and a removably provided liquid at a tip end of the barrel. A dispenser having a nozzle body from which a body is ejected, and the X, Y relative to the plate-shaped body.
And a driving means for moving the nozzle body in the Z direction, and nozzle imaging means for imaging the tip of the nozzle body and detecting the position of the tip of the nozzle body based on an image signal thereof. apparatus.
先端部をＸ方向から撮像するＸ撮像カメラと、上記ノズ
ル体の先端部をＹ方向から撮像するＹ撮像カメラとを具
備することを特徴とする請求項１記載の液状体の塗布装
置。2. The image pickup device according to claim 1, wherein the first image pickup means includes an X image pickup camera for picking up the tip of the nozzle body in the X direction, and a Y image pickup camera for picking up the tip of the nozzle body in the Y direction. The liquid material coating device according to claim 1, wherein:
づいて上記ノズル体の位置を補正する補正手段を備えて
いることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液
状体の塗布装置。3. The liquid material application according to claim 1, further comprising a correction unit configured to correct the position of the nozzle body based on a detection signal from the first imaging unit. apparatus.
の塗布装置において、 上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端
部に着脱自在に設けられ上記バレル内の液状体が先端か
ら吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、 上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段と、 上記ノズル体から吐出されて上記板状体に塗布される上
記液状体の塗布状態を撮像する塗布状態撮像手段とを具
備したことを特徴とする液状体の塗布装置。4. A liquid material applying apparatus for applying a liquid material to a plate-like body, comprising: a barrel accommodating the liquid material; and a liquid material removably provided at a tip end of the barrel. A dispenser having a nozzle body ejected from the tip, and X, Y relative to the plate-shaped body.
And a driving means for moving in the Z direction, and a coating state imaging means for imaging a coating state of the liquid material discharged from the nozzle body and applied to the plate-like body. Coating device.
ンサと一体的に設けられるとともに上記ノズル体の先端
部を斜め上方から撮像するθ撮像カメラであることを特
徴とする請求項４記載の液状体の塗布装置。5. The liquid material according to claim 4, wherein the application state imaging means is a θ imaging camera that is provided integrally with the dispenser and that captures an image of the tip of the nozzle body from obliquely above. Coating equipment.
の外周全長にわたって設けられたラインセンサであるこ
とを特徴とする請求項４記載の液状体の塗布装置。6. An apparatus for applying a liquid material according to claim 4, wherein said application state imaging means is a line sensor provided over the entire outer circumference of said nozzle body.
の塗布装置において、 上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端
部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体
が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、 このディスペンサをＺ方向に弾性的に変位自在に保持し
た弾性保持手段と、 この弾性保持手段による上記ディスペンサのＺ方向の弾
性変位を適宜に阻止する阻止手段と、 上記ディスペンサを上記板状体に対して相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段とを具備したことを
特徴とする液状体の塗布装置。7. A liquid material applying apparatus for applying a liquid material to a plate-like body, comprising: a barrel accommodating the liquid material; A dispenser having a nozzle body from which a body is discharged; elastic holding means for holding the dispenser elastically displaceable in the Z direction; and appropriately preventing elastic displacement of the dispenser in the Z direction by the elastic holding means. Blocking means, X and Y relative to the plate-like body with respect to the dispenser.
And a driving means for moving the liquid in the Z direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19573097A JPH1133458A (en) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | Liquid body coating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19573097A JPH1133458A (en) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | Liquid body coating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1133458A true JPH1133458A (en) | 1999-02-09 |
Family
ID=16346017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19573097A Pending JPH1133458A (en) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | Liquid body coating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1133458A (en) |
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