JPH05345160A - Adhesive coating aparatus - Google Patents
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- JPH05345160A JPH05345160A JP15519492A JP15519492A JPH05345160A JP H05345160 A JPH05345160 A JP H05345160A JP 15519492 A JP15519492 A JP 15519492A JP 15519492 A JP15519492 A JP 15519492A JP H05345160 A JPH05345160 A JP H05345160A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、液晶パネル
の製造工程において、ガラス基板上に液晶封止用のシ−
ル接着剤を塗布する接着剤塗布装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, a sealing liquid crystal sheet on a glass substrate in a liquid crystal panel manufacturing process.
The present invention relates to an adhesive application device that applies an adhesive.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶パネルの製造においては、電極ある
いは配向膜が形成された一対のガラス基板を互いに貼り
合わせ、液晶が封入される空間を区画する工程がある。
この工程では、まず、上記一対のガラス基板のどちらか
一方に、液晶シ−ル要の熱硬化性のシ−ル接着剤を塗布
する。2. Description of the Related Art In manufacturing a liquid crystal panel, there is a step of bonding a pair of glass substrates having electrodes or alignment films to each other to define a space in which a liquid crystal is sealed.
In this step, first, a thermosetting seal adhesive that requires a liquid crystal seal is applied to one of the pair of glass substrates.
【０００３】このシ−ル接着剤塗布工程は、図３に示す
ように、一般に吐出ノズル１を用い、このノズル１を上
記ガラス基板２上の所定の経路に沿って駆動しつつ、上
記シ−ル接着剤３を吐出することで行う。In this seal adhesive applying step, as shown in FIG. 3, a discharge nozzle 1 is generally used, and while the nozzle 1 is driven along a predetermined path on the glass substrate 2, the seal is applied. This is performed by discharging the adhesive 3.
【０００４】ついで、上記ガラス基板２の上記シ−ル接
着剤３で区画された部位Ａに、スペーサとしてのビ−ズ
などを散布する。そして、このガラス基板２に図示しな
い他方のガラス基板を位置決めし、貼り合わせた後、こ
れらガラス基板を接合方向に圧力をかけてつつ加熱して
上記接着剤３を硬化させる。Then, beads or the like as spacers are scattered on the portion A of the glass substrate 2 defined by the seal adhesive 3. Then, the other glass substrate (not shown) is positioned on the glass substrate 2 and bonded to each other, and then these glass substrates are heated while applying pressure in the bonding direction to cure the adhesive 3.
【０００５】ところで、上記シ−ル接着剤３は多すぎて
も少なすぎても上記液晶パネルの性能を低下させるた
め、上記シ−ル接着剤３の塗布工程においては、供給す
るシ−ル接着剤３の幅および塗布量が最も適当な値にな
るように制御することが重要である。By the way, since the performance of the liquid crystal panel is deteriorated if the amount of the seal adhesive 3 is too large or too small, the seal adhesive to be supplied in the process of applying the seal adhesive 3 is deteriorated. It is important to control the width and coating amount of the agent 3 to be the most appropriate values.
【０００６】一般に上記シ−ル接着剤３の塗布幅および
塗布量は、上記ノズル１の径、吐出圧力、塗布速度、上
記ノズル１とガラス基板２とのギャップＧ、シ−ル接着
剤３の粘性等の要因で定まる。このうち、特に上記ノズ
ル１とガラス基板２のギャップＧは５０±１０μｍと精
度良く決定しなければならない。Generally, the coating width and the coating amount of the seal adhesive 3 are the diameter of the nozzle 1, the discharge pressure, the coating speed, the gap G between the nozzle 1 and the glass substrate 2, and the seal adhesive 3. Determined by factors such as viscosity. Among them, especially the gap G between the nozzle 1 and the glass substrate 2 must be accurately determined to be 50 ± 10 μm.
【０００７】このため、従来、上記ガラス基板２の高さ
と上記ノズル１の高さを計測し、その計測値に基づい
て、上記ノズル１の高さを上記ガラス基板２とのギャッ
プが所定の値Ｇになるように制御することが行われてい
る。この制御方法として、従来、図４に示す方法があ
る。For this reason, conventionally, the height of the glass substrate 2 and the height of the nozzle 1 are measured, and the height of the nozzle 1 is set to a predetermined value based on the measured values. Control is performed so as to attain G. As this control method, there is a conventional method shown in FIG.
【０００８】この方法は、ガラス基板１の高さｔ
（ｔ1 、ｔ2 …）をレ−ザセンサ５で計測すると共に、
上記ノズル１を所定の高さｐで設けられたロ−ドセル６
に接触させて高さ設定する。このｐとｔとから、ガラス
基板２とノズル１のギャップが常に一定の値Ｇとなるよ
うに、上記ノズル１の下降量を算出する。そして、算出
値に基づいて上記ノズル１の高さを制御しつつ所定の駆
動経路（図３に示す）に沿ってこのノズル１を駆動す
る。In this method, the height t of the glass substrate 1 is
(T 1 , t 2 ...) Is measured by the laser sensor 5 and
A load cell 6 provided with the nozzle 1 at a predetermined height p.
Set the height by touching. From this p and t, the descending amount of the nozzle 1 is calculated so that the gap between the glass substrate 2 and the nozzle 1 is always a constant value G. Then, while controlling the height of the nozzle 1 based on the calculated value, the nozzle 1 is driven along a predetermined drive path (shown in FIG. 3).
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の装置
では、上記ガラス基板２の上面の高さをレ−ザセンサ５
で計測し、上記吸着ノズル１の高さをロ−ドセル６（荷
重センサ）で計測する。この場合、測定精度が異なる２
つの計測手段で上記ガラス基板２と上記ノズル１の先端
の高さを計測するため、測定値の精度のばらつきが問題
である。また、上記レ−ザセンサ５およびレ−ザ発振装
置は非常に高価であり、このレ−ザ機器のために接着剤
塗布装置全体が高価となる問題点があった。By the way, in the conventional device, the height of the upper surface of the glass substrate 2 is adjusted by the laser sensor 5.
And the height of the suction nozzle 1 is measured by the load cell 6 (load sensor). In this case, the measurement accuracy is different.
Since the heights of the glass substrate 2 and the tip of the nozzle 1 are measured by one measuring means, there is a problem in the accuracy of the measured values. Further, the laser sensor 5 and the laser oscillating device are very expensive, and there is a problem that the entire adhesive applying device is expensive due to the laser device.
【００１０】この発明は、このような事情に鑑みて成さ
れたもので、ガラス基板と上記塗布ノズルのギャップを
より容易かつ精度良く設定できかつ、安価な接着剤塗布
装置を提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an adhesive coating device which can set the gap between the glass substrate and the coating nozzle more easily and accurately and which is inexpensive. It is what
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この発明は、塗布シリン
ジに接続されたノズルを具備し、このノズルを、基板上
に接着剤を吐出させつつ所定経路に沿って駆動すること
で、上記基板上に接着剤を塗布する接着剤塗布装置にお
いて、上記ガラス基板を保持する保持テ−ブルと、上記
ノズルを上下駆動するノズル駆動手段と、上記ガラス基
板の所定の部位に接触することで上記ガラス基板の高さ
を検出すると共に、上記ノズルの先端に接触することで
上記所定部位に対向する上記ノズルの高さを検出する検
出素子と、上記ガラス基板と上記ノズルの高さの差から
上記ガラス基板の各部位においてこのガラス基板とノズ
ル先端のギャップが所定の値になるよう上記ノズルの下
降量を算出し、その算出値に基づいて上記ノズル駆動手
段を制御する制御部とを具備することを特徴とするもの
である。The present invention includes a nozzle connected to a coating syringe, and the nozzle is driven along a predetermined path while ejecting an adhesive agent onto the substrate, whereby In an adhesive application device for applying an adhesive to a glass substrate, a holding table for holding the glass substrate, a nozzle driving means for vertically driving the nozzle, and the glass substrate by contacting a predetermined portion of the glass substrate. And a detection element that detects the height of the nozzle facing the predetermined portion by contacting the tip of the nozzle, and the glass substrate from the difference in height between the glass substrate and the nozzle. Control for calculating the amount of lowering of the nozzle so that the gap between the glass substrate and the tip of the nozzle becomes a predetermined value in each part of It is characterized in that it comprises and.
【００１２】[0012]
【作用】このような構成によれば、検出プロ−ブを用い
てノズルとガラス基板の高さを検出し、その検出値の差
から、常に上記ノズルとガラス基板のギャップが等しく
なるように上記ノズルの下降量を算出し、その算出値に
基づいて上記ノズルを駆動することで上記ガラス基板上
に接着剤を塗布することができる。According to this structure, the height of the nozzle and the glass substrate is detected by using the detection probe, and the difference between the detected values is used so that the gap between the nozzle and the glass substrate is always equal. By calculating the descending amount of the nozzle and driving the nozzle based on the calculated value, the adhesive can be applied onto the glass substrate.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１、図２を参
照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１４】この接着剤塗布装置は、基台１０上に門型
のフレ−ム１１を有する。この門型フレ−ム１１の中央
部には、平行に配置された一対の第１、第２のＺ方向駆
動装置１２、１３が設けられている。This adhesive application device has a gate-shaped frame 11 on a base 10. A pair of first and second Z-direction driving devices 12 and 13 arranged in parallel are provided in the central portion of the portal frame 11.
【００１５】この第１のＺ方向駆動装置１２は、この発
明のノズル駆動手段として機能するもので、第１のガイ
ドレ−ル１２ａと、この第１のガイドレ−ル１２ａに沿
ってＺ方向にスライド自在に設けられた第１のスライダ
１２ｂとを有し、この第１のスライダ１２ｂには上記第
１のガイドレ−ル１２ａ内に設けられた図示しないボ−
ル捩子が回転自在に噛合している。The first Z-direction driving device 12 functions as the nozzle driving means of the present invention, and slides in the Z direction along the first guide rail 12a and the first guide rail 12a. The first slider 12b is provided freely, and the first slider 12b has a ball (not shown) provided in the first guide rail 12a.
Le screw is rotatably engaged.
【００１６】また、上記ボ−ル捩子は、この第１のＺ方
向駆動装置１２の上端部に取り付けられた第１のパルス
モ−タ１４によって回転駆動されるようになっている。
上記ボ−ル捩子のピッチは２ｍｍであり、上記第１のパ
ルスモ−タ１２は上記ボ−ル捩子の１ピッチを４０００
パルスに分割して駆動するようになっている。The ball screw is rotatably driven by a first pulse motor 14 attached to the upper end of the first Z-direction driving device 12.
The pitch of the ball screw is 2 mm, and the first pulse motor 12 has one pitch of the ball screw of 4000 mm.
It is designed to drive by dividing into pulses.
【００１７】そして、この第１のＺ方向駆動装置１２の
スライダ１２ｂには、塗布シリンジ１５が取り付けられ
ている。この塗布シリンジ１５は、下端部にノズル１５
ａが設けられ、上端はチュ−ブ１５ｂを介して図示しな
い接着剤供給部に接続されている。A coating syringe 15 is attached to the slider 12b of the first Z-direction driving device 12. This coating syringe 15 has a nozzle 15 at the lower end.
a is provided, and the upper end is connected to an adhesive supply unit (not shown) via a tube 15b.
【００１８】また、上記第２のＺ方向駆動装置１３も、
上記第１のＺ方向駆動装置１２と同様に構成され、第２
のパルスモ−タ１６により、第２のスライダ１３ｂを上
下駆動するようになっている。そして、この第２のスラ
イダ１３ｂには、Ｘ方向位置決め装置１７を介して検出
素子としての検出プロ−ブ１８が取り付けられている。The second Z-direction driving device 13 is also
It is configured similarly to the first Z-direction driving device 12, and the second
The pulse motor 16 drives the second slider 13b up and down. A detection probe 18 as a detection element is attached to the second slider 13b via an X-direction positioning device 17.
【００１９】この検出プロ−ブ１８は、図２に拡大して
示すように、軸線を垂直して下方に延出された第１の検
出レバ−１８ａと、軸線を略水平にして上記塗布シリン
ジ１５の方向（Ｘ方向）に延出された第２の検出レバ−
１８ｂとを有する。As shown in the enlarged view of FIG. 2, the detection probe 18 has a first detection lever 18a extending downward with its axis vertical and the coating syringe with its axis substantially horizontal. A second detection lever extending in 15 directions (X direction)
18b and.
【００２０】この検出プロ−ブ１８は、上記第１、第２
のレバ−１８ａ、１８ｂがＸＹＺ方向に一定量変位する
ことで、プロ−ブ信号を発生する。この検出プロ−ブ１
８は通常の３次元測定装置に使用されているもので、上
記第１、第２のレバ−１８ａ、１８ｂで検出した変位の
再現性の精度は２〜３μｍ（±１〜±１．５μｍ）であ
る。The detection probe 18 has the above-mentioned first and second parts.
When the levers 18a and 18b are displaced by a certain amount in the XYZ directions, a probe signal is generated. This detection probe 1
8 is used in an ordinary three-dimensional measuring device, and the accuracy of reproducibility of the displacement detected by the first and second levers 18a and 18b is 2 to 3 μm (± 1 to ± 1.5 μm). Is.
【００２１】また、上記塗布シリンジ１５および上記検
出プロ−ブ１８を保持する門型フレ−ム１１の下側に
は、上記ガラス基板２を保持する保持テ−ブル２０が上
面を水平にして設けられている。この保持テ−ブル２０
は、上記基台１０上に設けられたＸＹ駆動装置２１によ
りＸＹ方向に位置決め駆動されるようになっている。Below the portal frame 11 holding the coating syringe 15 and the detection probe 18, a holding table 20 holding the glass substrate 2 is provided with its upper surface horizontal. Has been. This holding table 20
Are positioned and driven in the XY directions by an XY drive device 21 provided on the base 10.
【００２２】なお、上記第１、第２のＺ駆動装置１２、
１３、検出プロ−ブ１８、接着剤供給装置（図示しな
い）、ＸＹ駆動装置２１は、制御部２３に接続されてい
る。この制御部２３は演算機能を備え、所定のプログラ
ムによって、上記第１、第２のＺ駆動装置１２、１３、
検出プロ−ブ１８、接着剤供給装置、ＸＹ駆動装置２１
を駆動制御するようになっている。次に、この接着剤塗
布装置の動作について説明する。The first and second Z drive devices 12,
The detection probe 13, the detection probe 18, the adhesive supply device (not shown), and the XY drive device 21 are connected to the control unit 23. The control unit 23 has an arithmetic function, and according to a predetermined program, the first and second Z drive devices 12, 13,
Detection probe 18, adhesive supply device, XY drive device 21
Drive control. Next, the operation of this adhesive application device will be described.
【００２３】まず、上記ＸＹ駆動装置２１を作動させ、
図２に示すように、上記ガラス基板２の任意の塗布位置
を上記検出プロ−ブ１８の第１の検出レバ−１８ａの先
端部と対向させる。ついで上記第２のＺ駆動装置１３を
作動させて上記検出プロ−ブ１８を下降させ、上記第１
の検出レバ−１８ａの先端を上記ガラス基板２に接触さ
せる。このことで、その位置での上記ガラス基板２の高
さを検出する。First, the XY drive device 21 is operated,
As shown in FIG. 2, an arbitrary coating position on the glass substrate 2 is opposed to the tip of the first detection lever 18a of the detection probe 18. Then, the second Z drive device 13 is operated to lower the detection probe 18, and
The tip of the detection lever 18a is brought into contact with the glass substrate 2. Thus, the height of the glass substrate 2 at that position is detected.
【００２４】ついで、上記検出プロ−ブ１８をＸ方向に
移動させ、上記第２の検出レバ−１８ｂの先端部で上記
塗布シリンジ１５のノズル１５ａの先端の高さを検知す
る。そして、上記ガラス基板２の高さと上記ノズル１５
の高さの差を演算する。Then, the detection probe 18 is moved in the X direction, and the height of the tip of the nozzle 15a of the coating syringe 15 is detected by the tip of the second detection lever 18b. The height of the glass substrate 2 and the nozzle 15
Calculate the difference in height.
【００２５】この作業を図３を引用して示す上記シ−ル
接着剤３の塗布経路の近傍約１０か所で行う。このため
には、上記ＸＹ駆動装置２１を作動させ、上記ガラス基
板２の各測定箇所を上記検出プロ−ブ１８に対向する位
置に位置決めする。This work is carried out at about 10 points in the vicinity of the application route of the seal adhesive 3 shown in FIG. For this purpose, the XY drive device 21 is operated to position each measurement point on the glass substrate 2 at a position facing the detection probe 18.
【００２６】各測定箇所での上記ガラス基板２と上記ノ
ズル１５ａの高さの差を検出したならば、上記制御部２
３は、上記ノズル１５とガラス基板２とのギャップＧが
各測定点で等しくなるように、上記ノズル１５の下降量
を塗布経路にそって演算し、記憶する。次に、この接着
剤塗布装置の塗布精度について考察する。When the difference in height between the glass substrate 2 and the nozzle 15a at each measurement point is detected, the control unit 2 is operated.
3 calculates and stores the descending amount of the nozzle 15 along the coating path so that the gap G between the nozzle 15 and the glass substrate 2 becomes equal at each measurement point. Next, the coating accuracy of this adhesive coating device will be considered.
【００２７】一般に、上記ギャップの値Ｇは５０±１０
μｍ（４０〜６０μｍ）が許容される範囲であるといわ
れている。すなわち、この±１０μｍの範囲内であれ
ば、上記接着剤３を液晶封止用のシ−ル材として機能す
る幅および量で供給することができるのである。Generally, the value G of the gap is 50 ± 10.
It is said that μm (40 to 60 μm) is an allowable range. That is, within the range of ± 10 μm, the adhesive 3 can be supplied in a width and an amount that functions as a sealant for liquid crystal sealing.
【００２８】この接着剤塗布装置では、第１、第２のＺ
方向駆動装置１２、１３のボ−ル捩子の１ピッチ（２ｍ
ｍ）を４０００パルスに分割しているので、最小０．５
μｍ／１パルスの精度で上記プロ−ブ１８および塗布シ
リンジ１５を駆動することができる。またこの位置決め
に、最大５パルスの誤差があるとすると上記プロ−ブ１
８および塗布シリンジ１５の位置決め誤差は±２．５μ
ｍとなる。In this adhesive application device, the first and second Z
One pitch of ball screw of directional drive device 12, 13 (2 m
Since m) is divided into 4000 pulses, a minimum of 0.5
The probe 18 and the coating syringe 15 can be driven with an accuracy of μm / 1 pulse. If there is a maximum error of 5 pulses in this positioning, the above probe 1
8 and application syringe 15 positioning error is ± 2.5μ
m.
【００２９】また、上記検出プロ−ブ１８と塗布シリン
ジ１５の駆動を別々のＺ方向駆動装置（第１、第２のＺ
方向駆動装置１２、１３）で行うため、上記検出プロ−
ブ１８と塗布シリンジ１５相互間の位置決め誤差は２．
５μｍ×２＝５μｍとなる。Further, the detection probe 18 and the coating syringe 15 are separately driven in the Z direction (first and second Z directions).
Since the direction driving device 12, 13) is used,
The positioning error between the block 18 and the coating syringe 15 is 2.
It becomes 5 μm × 2 = 5 μm.
【００３０】一方、上記検出プロ−ブ１８の第１、第２
の検出レバ−１８ａ、１８ｂは、それぞれ上述のように
最大±２μｍの誤差があるので、合わせて最大４μｍの
誤差となる。On the other hand, the first and second detection probes 18 are provided.
Since the detection levers 18a and 18b of (1) have an error of ± 2 μm at maximum as described above, the total error becomes 4 μm at maximum.
【００３１】したがって、上記第１、第２のＺ方向駆動
装置１２、１３と上記検出プロ−ブ１８の誤差の範囲は
最大でも±１０μｍ以内（５μｍ＋４μｍ＝９μｍ）に
おさめることができる。また、誤差の平均二乗根をとる
と、±（２．５2 ＋２．５2 ＋２2 ＋２2 ）1/2 ＝±
４．５μｍとなる。したがって、±５〜±１０μｍの精
度誤差は十分得ることができる。Therefore, the error range between the first and second Z-direction driving devices 12 and 13 and the detection probe 18 can be kept within ± 10 μm at the maximum (5 μm + 4 μm = 9 μm). In addition, when the mean square of the error is taken, ± (2.5 2 +2.5 2 +2 2 +2 2 ) 1/2 = ±
It becomes 4.5 μm. Therefore, a precision error of ± 5 to ± 10 μm can be sufficiently obtained.
【００３２】また、上記ガラス基板２の精度が良く、厚
さのばらつき（形状精度）が３〜５μｍである場合に
は、ロッド（圧延）の違いによる上記ガラス基板の厚さ
のばらつき（２０〜３０μｍ）のみを検出すれば上記ガ
ラス基板２の表面の２〜３点について計測するだけで、
所定の誤差範囲内で上記接着剤３の塗布を良好に行うこ
とができる。そして、上記ロッドの違いによる上記ガラ
ス基板２の厚さ（高さ）のばらつきは上記検出プロ−ブ
１８で容易に検出することができる。When the glass substrate 2 has high accuracy and the thickness variation (shape accuracy) is 3 to 5 μm, the variation in the thickness of the glass substrate due to the difference in rod (rolling) (20 to If only 30 μm) is detected, it is necessary to measure only a few points on the surface of the glass substrate 2,
The adhesive 3 can be applied well within a predetermined error range. The variation in the thickness (height) of the glass substrate 2 due to the difference in the rod can be easily detected by the detection probe 18.
【００３３】このような構成によれば、上記レ−ザ発振
機等の高価な装置を使用することなく、上記塗布シリン
ジ１５のノズル１５ａと上記ガラス基板２の高さの差を
検出できる。また、上記ノズル１５ａの高さと上記ガラ
ス基板２の高さを同一の検出プロ−ブ１８で計測するこ
とができるので精度のばらつきも少なくなる。このこと
によって、ガラス基板２と上記ノズル１５ａのギャップ
をより容易かつ精度良く設定できかつ、安価な接着剤塗
布装置を得ることができる。なお、この発明は上記一実
施例に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しな
い範囲で種々変形可能である。According to this structure, the height difference between the nozzle 15a of the coating syringe 15 and the glass substrate 2 can be detected without using an expensive device such as the laser oscillator. Further, since the height of the nozzle 15a and the height of the glass substrate 2 can be measured by the same detection probe 18, there is less variation in accuracy. As a result, the gap between the glass substrate 2 and the nozzle 15a can be set more easily and accurately, and an inexpensive adhesive coating device can be obtained. It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified without changing the gist of the invention.
【００３４】例えば上記検出プロ−ブ１８は上記第１、
第２の検出レバ−１８ａ、１８ｂを２本設けているが、
一本のレバ−を９０度回転させる方式の検出プロ−ブを
用いても同様の効果を得ることができる。For example, the detection probe 18 has the first and
Although two second detection levers 18a and 18b are provided,
The same effect can be obtained by using a detection probe in which one lever is rotated by 90 degrees.
【００３５】また、上記一実施例では、上記Ｚ方向駆動
装置を２つ（１２、１３）用いたが、これに限定される
ものではなく、上記塗布シリンジ１５を保持するＺ方向
駆動装置１２のみを設け、このＺ方向駆動装置１２に塗
布シリンジ１５と共に第１の検出プロ−ブを取り付け、
上記ガラス基板を保持するテ−ブル側に第２の検出プロ
−ブを取り付けるようにしても良い。。Further, in the above-mentioned embodiment, the two Z-direction driving devices (12, 13) are used, but the present invention is not limited to this, and only the Z-direction driving device 12 holding the coating syringe 15 is used. And a first detection probe is attached to the Z-direction drive device 12 together with the coating syringe 15.
A second detection probe may be attached to the table side holding the glass substrate. ..
【００３６】この場合には、上記第２の検出プロ−ブで
上記塗布シリンジ１５のノズル１５ａの先端の高さを検
出し、上記塗布シリンジ１５側に設けられた第１の検出
プロ−ブで上記ガラス基板２の高さを検出するようにす
れば良い。In this case, the height of the tip of the nozzle 15a of the coating syringe 15 is detected by the second detection probe, and the first detection probe provided on the coating syringe 15 side is used. The height of the glass substrate 2 may be detected.
【００３７】また、上記上述の方法において、上記塗布
シリンジ１５側には、検出プロ−ブの代わりに、電気マ
イクロメ−タなどの検出素子を用いても全く同様の効果
を得ることができる。Further, in the above-mentioned method, the same effect can be obtained by using a detection element such as an electric micrometer on the coating syringe 15 side instead of the detection probe.
【００３８】さらに、上記一実施例では、ガラス基板２
側をＸＹ方向に駆動したが、塗布シリンジ１５（ノズル
１５ａ）および検出プロ−ブ１８側をＸＹ方向に駆動す
るようにしても良い。Further, in the above embodiment, the glass substrate 2 is used.
Although the side is driven in the XY directions, the application syringe 15 (nozzle 15a) and the detection probe 18 side may be driven in the XY directions.
【００３９】一方、上記一実施例では、塗布シリンジ１
５とノズル１５ａは一体的に上下駆動されるよう設けら
れていたが、上記塗布シリンジ本体とノズル１５ａとを
可撓性のチュ−ブで接続し、上記ノズル１５ａのみを上
下駆動させるようにしても良い。On the other hand, in the above embodiment, the coating syringe 1
5 and the nozzle 15a were provided so as to be vertically driven integrally. However, by connecting the coating syringe body and the nozzle 15a with a flexible tube, only the nozzle 15a is vertically driven. Is also good.
【００４０】[0040]
【発明の効果】以上述べたように、この発明は、塗布シ
リンジに接続されたノズルを具備し、このノズルを、基
板上に接着剤を吐出させつつ所定経路に沿って駆動する
ことで、上記基板上に接着剤を塗布する接着剤塗布装置
において、上記ガラス基板を保持する保持テ−ブルと、
上記ノズルを上下駆動するノズル駆動手段と、上記ガラ
ス基板の所定の部位に接触することで上記ガラス基板の
高さを検出すると共に、上記ノズルの先端に接触するこ
とで上記所定部位に対向する上記ノズルの高さを検出す
る検出素子と、上記ガラス基板と上記ノズルの高さの差
から上記ガラス基板の各部位においてこのガラス基板と
ノズル先端のギャップが所定の値になるよう上記ノズル
の下降量を算出し、その算出値に基づいて上記ノズル駆
動手段を制御する制御部とを具備するものである。As described above, the present invention includes the nozzle connected to the coating syringe, and the nozzle is driven along a predetermined path while ejecting the adhesive onto the substrate, In an adhesive coating device for coating an adhesive on a substrate, a holding table for holding the glass substrate,
Nozzle driving means for driving the nozzle up and down, and detecting the height of the glass substrate by contacting a predetermined portion of the glass substrate, and contacting the tip of the nozzle to face the predetermined portion From the detection element that detects the height of the nozzle and the height difference between the glass substrate and the nozzle, the amount of lowering of the nozzle so that the gap between the glass substrate and the nozzle tip becomes a predetermined value in each part of the glass substrate. And a control unit for controlling the nozzle driving means based on the calculated value.
【００４１】このような構成によれば、ガラス基板と上
記ノズルのギャップをより容易かつ精度良く設定できか
つ、安価な接着剤塗布装置を得ることができる効果があ
る。According to this structure, the gap between the glass substrate and the nozzle can be set more easily and accurately, and an inexpensive adhesive coating device can be obtained.
【図１】この発明の一実施例を示す概略斜視図。FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図２】同じく、検出プロ−ブを拡大して示す正面図。FIG. 2 is an enlarged front view of the detection probe.
【図３】接着剤の塗布経路を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing an application route of an adhesive.
【図４】従来例の接着剤塗布方法を示す概略図。FIG. 4 is a schematic view showing a conventional adhesive application method.
２…ガラス基板、３…接着剤、１２…第１のＺ駆動手段
（ノズル駆動手段）、１５…塗布シリンジ、１５ａ…ノ
ズル、１８…検出プロ−ブ、２０…保持テ−ブル、２３
…制御部。2 ... Glass substrate, 3 ... Adhesive agent, 12 ... 1st Z drive means (nozzle drive means), 15 ... Coating syringe, 15a ... Nozzle, 18 ... Detection probe, 20 ... Holding table, 23
… Control unit.
Claims (1)
し、このノズルを、基板上に接着剤を吐出させつつ所定
経路に沿って駆動することで、上記基板上に接着剤を塗
布する接着剤塗布装置において、 上記ガラス基板を保持する保持テ−ブルと、上記ノズル
を上下駆動するノズル駆動手段と、上記ガラス基板の所
定の部位に接触することで上記ガラス基板の高さを検出
すると共に、上記ノズルの先端に接触することで上記所
定部位に対向する上記ノズルの高さを検出する検出素子
と、上記ガラス基板と上記ノズルの高さの差から上記ガ
ラス基板の各部位においてこのガラス基板とノズル先端
のギャップが所定の値になるよう上記ノズルの下降量を
算出し、その算出値に基づいて上記ノズル駆動手段を制
御する制御部とを具備することを特徴とする接着剤塗布
装置。1. An adhesive which comprises a nozzle connected to an application syringe and which drives the nozzle along a predetermined path while ejecting the adhesive onto the substrate to apply the adhesive onto the substrate. In the coating device, a holding table for holding the glass substrate, a nozzle driving means for vertically driving the nozzle, and a height of the glass substrate are detected by contacting a predetermined portion of the glass substrate, A detection element that detects the height of the nozzle facing the predetermined portion by contacting the tip of the nozzle, and the glass substrate at each portion of the glass substrate due to the difference in height between the glass substrate and the nozzle. And a control unit that controls the nozzle driving means based on the calculated value of the descending amount of the nozzle so that the gap at the tip of the nozzle becomes a predetermined value. Adhesive coating apparatus that.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15519492A JPH05345160A (en) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | Adhesive coating aparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15519492A JPH05345160A (en) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | Adhesive coating aparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05345160A true JPH05345160A (en) | 1993-12-27 |
Family
ID=15600553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15519492A Pending JPH05345160A (en) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | Adhesive coating aparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05345160A (en) |
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-
1992
- 1992-06-15 JP JP15519492A patent/JPH05345160A/en active Pending
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