KR20090036365A - Lcd 검사장비의 스테이지 안전바 - Google Patents
Lcd 검사장비의 스테이지 안전바 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090036365A KR20090036365A KR1020070101513A KR20070101513A KR20090036365A KR 20090036365 A KR20090036365 A KR 20090036365A KR 1020070101513 A KR1020070101513 A KR 1020070101513A KR 20070101513 A KR20070101513 A KR 20070101513A KR 20090036365 A KR20090036365 A KR 20090036365A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- stage
- lcd
- bar member
- bar
- inspection
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
- G03F7/70725—Stages control
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
Abstract
Description
Claims (3)
- LCD가 놓여지는 스테이지(10), 현미경(11), 제어부/조작부(12), 테이블(13) 등을 포함하는 LCD 검사장비에 있어서,스테이지(10)의 측면부에 스프링(14)의 탄력지지를 받으면서 유동가능하게 설치되며 스테이지측의 마이크로 스위치(15)와 선택적으로 접속되어 컨트롤러측에 정지신호를 제공하는 바부재(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 검사장비의 스테이지 안전바.
- 청구항 1에 있어서, 상기 바부재(16)는 스테이지(10)측에 장착되는 가이드 링(17)에 슬라이드 구조로 조립되는 가이드 핀(18)에 의해 유동시 안내를 받을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 LCD 검사장비의 스테이지 안전바.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 바부재(16)는 스테이지(10)의 양측면부를 포함하는 적어도 2곳 이상에 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 검사장비의 스테이지 안전바.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070101513A KR100905903B1 (ko) | 2007-10-09 | 2007-10-09 | Lcd 검사장비의 스테이지 안전바 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070101513A KR100905903B1 (ko) | 2007-10-09 | 2007-10-09 | Lcd 검사장비의 스테이지 안전바 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090036365A true KR20090036365A (ko) | 2009-04-14 |
KR100905903B1 KR100905903B1 (ko) | 2009-07-02 |
Family
ID=40761378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070101513A KR100905903B1 (ko) | 2007-10-09 | 2007-10-09 | Lcd 검사장비의 스테이지 안전바 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100905903B1 (ko) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1477852A1 (en) * | 2003-05-16 | 2004-11-17 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
TWI236562B (en) * | 2002-11-21 | 2005-07-21 | Hitachi Int Electric Inc | A method of detecting a pattern and an apparatus thereof |
-
2007
- 2007-10-09 KR KR1020070101513A patent/KR100905903B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100905903B1 (ko) | 2009-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100835766B1 (ko) | 주문형 자동 광학 검사 서브 시스템을 이용하는 티에프티엘씨디 패널의 개선된 검사 | |
US7545162B2 (en) | Method and apparatus for inspecting and repairing liquid crystal display device | |
TWI743067B (zh) | 便於檢測包括複數個面板之受測試裝置之系統及方法 | |
KR20070062588A (ko) | 간섭 변조기의 동적 특징에 대한 측정 | |
JP4567594B2 (ja) | 顕微鏡、試料観察方法、及び半導体検査方法 | |
KR20100090037A (ko) | 블레이드 타입의 프로브 블록 | |
JP2013201390A (ja) | プローブ装置 | |
KR101593505B1 (ko) | 가변 엘시디/오엘이디 검사 장치 | |
KR100905903B1 (ko) | Lcd 검사장비의 스테이지 안전바 | |
KR20080014970A (ko) | 스트립 도체 구조물을 검사하는 방법 | |
KR102206767B1 (ko) | 엘이디 백라이트 유닛 테스트 장비 | |
JP5470456B2 (ja) | 点灯検査装置 | |
KR101416882B1 (ko) | 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템 | |
KR100756438B1 (ko) | 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치 | |
KR20080076152A (ko) | 평판 표시 장치의 검사시스템 및 검사방법 | |
KR101277205B1 (ko) | 핸드폰 카메라의 액츄에이터 검사장치 | |
KR101751801B1 (ko) | 기판 결함 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법 | |
JP2017518493A (ja) | 検査デバイスを用いてプローブカードを測定および評価する方法 | |
KR101055343B1 (ko) | 프로브 유닛 및 검사장치 | |
KR100837729B1 (ko) | Lcd 검사장비의 스테이지 정밀이동장치 | |
KR100837728B1 (ko) | Lcd 검사장비의 웨이트 밸런스 | |
JP2007271313A (ja) | 基板検査装置 | |
Leshem et al. | TFT array: inspection, testing, and repair | |
KR100663196B1 (ko) | 일체형 프로브 마운트 및 이를 포함하는 현미경 | |
TWI799217B (zh) | 晶圓卡盤控制方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130412 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140708 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150713 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170313 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180320 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190329 Year of fee payment: 11 |