KR20090035876A - 웨이퍼 반송 로봇 - Google Patents

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KR20090035876A
KR20090035876A KR1020070100897A KR20070100897A KR20090035876A KR 20090035876 A KR20090035876 A KR 20090035876A KR 1020070100897 A KR1020070100897 A KR 1020070100897A KR 20070100897 A KR20070100897 A KR 20070100897A KR 20090035876 A KR20090035876 A KR 20090035876A
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홍상석
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세메스 주식회사
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Abstract

웨이퍼 반송 로봇이 개시된다. 이러한 웨이퍼 반송 로봇은 사각 프레임, 베이스 몸체, 높이조절 몸체 및 웨이퍼 이송부를 포함한다. 상기 베이스 몸체는 상기 사각 프레임 내부에서 상기 사각 프레임의 장변 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 사각 프레임에 결합된다. 상기 높이조절 몸체는 상기 몸체와 결합되고 그 자신의 높이가 조절될 수 있다. 상기 웨이퍼 이송부는 상기 높이조절몸체와 회전 가능하도록 결합된다. 또한 상기 웨이퍼 이송부는 다수의 웨이퍼 지지대를 포함한다. 상기 다수의 웨이퍼 지지대는 웨이퍼 이송부 프레임 및 수직으로 배열되고 상기 웨이퍼 이송부 프레임을 기준으로 수평으로 왕복운동한다. 따라서, 다수의 웨이퍼를 한번에 처리할 수 있도록 하여, 반도체 제조공정시간을 단축시킬 수 있으며, 또한 부품의 수명 및 안정성을 증가시키고, 제품의 가격을 감소시킬 수 있다.

Description

웨이퍼 반송 로봇{WAFER TRANSFERRING ROBOT}
본 발명은 웨이퍼 반송로봇에 관한 것으로, 보다 상세히 설명하면 반도체 제조공정에서 사용되는 반도체 제조장치에 웨이퍼들을 로딩하거나 언로딩하는 데 사용되는 웨이퍼 반송로봇에 관한 것이다.
반도체 소자는 웨이퍼 위에 물질막을 형성하는 증착공정, 증착된 물질막을 필요한 형태로 패터닝하는 패터닝 공정, 웨이퍼 상의 불필요한 잔류물질들을 제거하는 세정공정 등 여러 공정을 통해서 제조된다.
이러한 공정들을 진행하는 과정에서 웨이퍼에 대한 작업이 진행되는 프로세스 챔버 내부로 로딩하거나, 작업이 완료된 웨이퍼를 프로세스 챔버 내부에서 언로딩하는 과정이 여러 번 반복된다. 이러한 로딩 또는 언로딩하는 과정은 웨이퍼 이송로봇을 통해서 달성된다.
그런데, 종래 관절구동 방식의 웨이퍼 이송로봇의 경우, 하나의 팔만을 포함하여 생산성이 떨어질 뿐 만 아니라, 3단으로 구성되어 부품의 수명이 안정성이 떨어지며, 또한 고가의 리니어모터를 사용하여 생산된 웨이퍼 반송로봇의 가격이 높아지는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 다수의 웨이퍼를 한번에 처리할 수 있도록 하여, 반도체 제조공정 시간을 단축시킬 수 있으며, 또한 부품의 수명 및 안정성을 증가시키고, 제품의 가격을 감소시킬 수 있는 웨이퍼 반송로봇을 제공하는 것이다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 반송로봇은 사각 프레임, 베이스 몸체, 높이조절 몸체 및 웨이퍼 이송부를 포함한다. 상기 베이스 몸체는 상기 사각 프레임 내부에서 상기 사각 프레임의 장변 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 사각 프레임에 결합된다. 상기 높이조절 몸체는 상기 몸체와 결합되고 그 자신의 높이가 조절될 수 있다. 상기 웨이퍼 이송부는 상기 높이조절몸체와 회전 가능하도록 결합된다. 또한 상기 웨이퍼 이송부는 다수의 웨이퍼 지지대를 포함한다. 상기 다수의 웨이퍼 지지대는 웨이퍼 이송부 프레임 및 수직으로 배열되고 상기 웨이퍼 이송부 프레임을 기준으로 수평으로 왕복운동한다. 이러한 다수의 지지대는 다수의 웨이퍼를 취급할 수 있으므로, 반도체 제조공정 시간을 단축시킬 수 있다.
상기 사각 프레임은 상기 사각 프레임의 내측 장변에 형성된 랙(rack) 기어를 포함하고, 상기 베이스 몸체는 상기 사각 프레임 내측 장변에 대응하는 위치에, 베이스몸체 이송모터 및 상기 베이스 몸체 이송모터에 연결된 피니언(pinion)기어를 포함하여, 상기 베이스 몸체 이송모터의 회전에 의해서 상기 베이스 몸체가 상 기 사각 프레임의 장변을 따라 이송될 수 있다. 이렇게 랙/피니언 기어를 이용하면, 리니어모터를 사용하는 것에 비해서, 정밀도는 감소하지만, 웨이퍼 반송로봇이 요구되는 정밀도는 충족시킬 수 있으며 비용면에서 매우 저렴하다.
상기 웨이퍼 반송로봇은, 상기 사각 프레임을 따라 이송되는 베이스 몸체의 위치를 센싱하는 베이스몸체 센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 높이조절 몸체는 하우징, 제1 단 프레임 및 제2 단 프레임을 포함할 수 있다. 상기 제1 단 프레임은 상기 하우징과 망원경 결합되고, 상기 제2 단 프레임은 상기 제1 단 프레임과 망원경 결합될 수 있다. 상기 망원경 결합은 망원경에서 길이를 늘릴 수 있도록 다단으로 결합된 형상을 의미한다.
이때, 상기 제1 단 프레임은 상기 높이조절 몸체 구동모터와 연결된 제1 단 볼스크류를 포함하고, 상기 제2 단 프레임은 상기 제1단 볼스크류와 연결된 제2 단 볼스크류를 포함하여, 상기 높이조절 몸체 구동모터의 회전에 의해서, 상기 제1 단 프레임이 상기 베이스 몸체로부터 수직방향으로 움직이고, 동시에 상기 제2 단 프레임이 상기 제1단 프레임으로부터 수직방향으로 움직일 수 있다.
또한, 상기 제1 단 볼스크류 및 상기 제2 단 볼스크류는 서로 이웃하게 배치되고, 벨트로 연결되어 상기 제1 단 볼스크류 및 상기 상기 제2 단 볼스크류가 동시에 회전하여, 상기 하우징으로부터 상기 제1 단 프레임이 상승/하강하는 것과 상기 제1 단 프레임으로부터 상기 제2 단 프레임이 상승/하강하는 것이 동시에 진행될 수 있다. 이렇게 제1 단 프레임과 제2 단 프레임이 동시에 상승/하강하면, 개별적으로 상승/하강하는 것에 비해서, 웨이퍼 반송로봇이 웨이퍼를 로딩하거나 언 로딩하는 일련의 작업시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 하우징은 평면적으로 관찰할 때, 다각형 형상을 갖고, 상기 제1 단 프레임은 상기 하우징과 닮음꼴이며, 그 크기가 작은 다각형 형상을 갖고, 상기 제2 단 프레임은 상기 제1 단 프레임과 닮음꼴이며 그 크기가 작은 다각형 형상을 가질 수 있다. 이렇게 하우징, 제1 단 프레임 및 제2 단 프레임을 다각형 형상으로 하면, 상호간에 R축 방향, 달리 표현하면 상대적인 회전이 불가능하다. 따라서, 웨이퍼 이송부는 뒤에서 설명할 웨이퍼 이송부 회전모터에 의해서만 회전하므로 정밀하게 제어될 수 있다.
상기 웨이퍼 반송로봇은 상기 높이조절몸체의 높이를 센싱하는 높이센서를 더 포함할 수 있다.
상기 웨이퍼 반송로봇은 상기 높이조절몸체의 상기 제2 단 프레임 상부에 고정되고, 상기 웨이퍼 이송부를 회전시키는 웨이퍼 이송부 회전모터를 더 포함한다.
상기 웨이퍼 반송로봇은, 상기 웨이퍼 이송부의 회전에 따른 각도를 센싱하는 회전각센서를 더 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 웨이퍼 지지대의 수는 4개일 수 있으며, 상기 웨이퍼 지지대는 개별적으로 구동될 수 있다.
상기 웨이퍼 이송부는 상기 웨이퍼 지지대 각각에 대응하는 웨이퍼 지지대 구동모터, 내부 풀리앤밸트, 외부 풀리앤밸트, LM가이드 및 지지프레임을 포함한다. 상기 웨이퍼 지지대 구동모터는 웨이퍼 이송부 프레임 내부에 배치된다. 상기 내부 풀리앤밸트는 웨이퍼 이송부 프레임 내부에 배치되어 상기 웨이퍼 지지대 구동모터와 연결되는 제1 풀리, 내부 밸트 및 상기 내부 밸트를 지지하는 제2 풀리를 포함한다. 상기 외부 풀리앤밸트는 상기 웨이퍼 이송부 프레임 외부에 배치되어 상기 제2 풀리의 회전을 전달받아 회전하는 제3 풀리, 외부밸트 및 상기 외부밸트를 지지하는 제4 풀리를 포함한다. 상기 LM가이드는 상기 외부 풀리앤밸트의 외부밸트에 고정되어 외부밸트를 따라 선형 왕복운동한다. 상기 지지프레임은 상기 LM가이드에 고정되어 LM가이드를 따라 선형왕복운동하며 상기 웨이퍼 지지대를 지지한다.
상기 웨이퍼 반송로봇은 상기 지지프레임의 위치를 센싱하는 지지프레임 센서를 더 포함할 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 다수의 웨이퍼를 한번에 처리할 수 있도록 하여, 반도체 제조공정시간을 단축시킬 수 있으며, 또한 부품의 수명 및 안정성을 증가시키고, 제품의 가격을 감소시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였 다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 웨이퍼 반송로봇의 사시도이다. 도 2는 도 1에서 도시된 웨이퍼 반송로봇의 분해사시도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 반송로봇(100)은 사각 프레임(110), 베이스 몸체(120), 높이조절 몸체(130) 및 웨이퍼 이송부(140)을 포함한다.
상기 사각 프레임(110)은, 예컨대 장변과 단변을 갖는 직사각형의 프레임 형상을 갖는다. 상기 베이스 몸체(120)는 상기 사각 프레임(110)의 장변을 따라 움직일 수 있도록 상기 사각 프레임(110)과 결합된다. 상기 베이스 몸체(120)의 사각 프레임(110)에서의 동작은 도 3을 참조하여 자세히 설명될 것이다. 상기 베이스 몸체(120)는 상부에 높이조절 몸체(130)가 삽입되는 개구(123)를 갖는다.
상기 높이조절 몸체(130)는 상기 베이스 몸체(120)에 고정된다. 상기 높이조절 몸체(130)는 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)을 포함한다. 상기 하우징(133)이 상기 개구(123)에 삽입되고, 하우징 상부의 지지판(124)이 상기 베이스 몸체(120)에 의해 지지되어 높이조절 몸체(130)는 상기 베이스 몸체(120)에 고정된다.
상기 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)은 평면도로 관찰할 때 다각형 형상을 갖는다. 원형을 갖는 경우, 상호간에 회전할 수 있어, 웨이퍼 이송부(140)가 웨이퍼 이송부 회전모터(150)에 의하지 않고 회전될 수 있으므로, 정밀한 제어가 불가능하게 된다.
상기 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)은 평면도로 관찰할 때 예컨대, 도시된 바와 같이 닮음꼴의 사각형을 가질 수 있다. 상기 제1 단 프레임(131)은 상기 하우징(133)에 비해 약간 작아서, 상기 하우징(133)의 내측면에 상기 제1 단 프레임(131)이 외측면이 거의 맞닿을 정도이고, 상기 제2 단 프레임(132)은 상기 제1 단 프레임(131)에 비해 약간 작아서, 상기 제1 단 프레임(131)의 내측면에 상기 제2 단 프레임(132)이 외측면이 거의 맞닿을 정도로 하는 것이 바람직하다.
따라서, 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)은 상호간에 회전할 수 없다. 상기 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)이 상호간에 회전할 수 없는 구조라면, 평면도로 관찰할 때 다각형이 아닌 어떠한 형상을 가질 수 있다. 예컨대 타원형상도 가능하다.
상기 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)은 망원경 구조를 갖는다. 즉, 상기 제1 단 프레임(131)은 상기 하우징(133)으로부터, 상기 제2 단 프레임(132)은 상기 제1 단 프레임(131)으로부터, 망원경에서의 길이조절과 같이 출입함으로써, 상기 높이조절 몸체(130)의 길이를 조절할 수 있다. 따라서, 높이조절 몸체(130) 상부에 배치되는 웨이퍼 이송부(140)의 높이를 조절한다. 상기 높이조절 몸체(130)의 상세한 동작은 도 4를 참조하여 자세히 설명될 것이다.
웨이퍼 이송부(140)는 상기 높이조절몸체(130)의 상부에 배치된다. 상기 웨이퍼 이송부(140)는 상기 웨이퍼 이송부 회전 모터(150)에 의해서 회전할 수 있다. 상기 웨이퍼 이송부(140)는 다수의 웨이퍼 지지대(141)을 포함할 수 있다. 상기 웨이퍼 지지대(141) 각각은 하나의 웨이퍼(W)를 지지한다. 상기 웨이퍼 지지 대(141)의 수직방향으로 배열되어 있으며, 각각 별도로 구동될 수 있다. 웨이퍼 이송부(140)의 동작은 도 5 내지 7을 참조로 상세히 설명될 것이다.
도 3은 도 1에서 도시된 베이스 몸체와 사각 프레임의 결합관계를 도시하는 사시도이다.
도 3을 참조하면, 사각 프레임(110)의 일측 장변에는 랙기어(111)가 형성되고, 상기 베이스 몸체(120)의 상기 랙 기어(111)에 대응하는 위치에 피니언 기어(122)가 형성된다. 상기 피니언 기어(122)는 베이스몸체 이송모터(121)에 연결된다. 따라서, 상기 베이스몸체 이송모터(121)가 회전하면, 상기 피니언 기어(122)가 회전하고, 상기 피니언 기어(122)의 회전에 의해서 상기 베이스 몸체(120)가 사각 프레임(110)의 장변을 따라서 움직이게 된다. 이때, LM 등을 적용할 수 있음은 당업자에 자명할 것이다.
베이스 몸체 센서(112)는 상기 베이스 몸체(120)의 움직임을 센싱하여 기준점에 배치시키거나, 정밀한 움직임을 보조할 수 있도록 사용될 수 있다.
도 4는 도 1에서 도시된 높이조절 몸체의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 4를 참조하면, 상기 제1 단 프레임(131)은 상기 높이조절 몸체 구동모터(134)와 연결된 제1 단 볼스크류(137)를 포함하고, 상기 제2 단 프레임은 상기 제1단 볼스크류와 연결된 제2 단 볼스크류(138)를 포함한다. 상기 제1 단 볼스크류(137) 및 제2 단 볼스크류(138)은 동일 축 상에 있지 않도록 이웃하게 배치되고, 상기 제1 단 볼스크류(137) 및 제2 단 볼스크류(138)는 밸트(135)에 의해 연결된다.
따라서, 상기 높이조절 몸체 구동모터(134)가 회전하면, 상기 제1 단 볼스크류(137)가 회전하면서 상기 하우징(133)으로부터 상기 제1 단 프레임(131)을 상승/하강시키며, 동시에 밸트(135)에 의해 제1 단 볼스크류(137)의 회전이 제2 단 볼스크류(138)에 전달되어 상기 제1 단 프레임(131)로부터 상기 제2 단 프레임(132)를 상승/하강시킨다.
상기 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)이 도1 또는 2에서 보이는 바와 같이 차폐된다. 도 4에서 도시된 바와같이, 개방되어 있는 경우, 내부에 여러가지 이물질이 쌓여 고장을 일으킬 수 있다. 그런데, 이렇게 하우징(133), 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)이 도1 또는 2에서 보이는 바와 같이 차폐되는 경우, 제1 단 프레임(131) 및 제2 단 프레임(132)가 상승 또는 하강하는 경우, 상기 높이조절 몸체(130)의 부피가 변하므로, 내부 공기압에 의해서 동작이 원할하게 이루어지지 않을 수 있다. 이를 방지하기 위해서, 하우징(133) 하부에는 배기용 팬(139)가 형성될 수 있다.
또한 높이조절몸체의 높이를 센싱하기 위한 높이센서(136)가 더 형성될 수 있다.
도 5는 도 1에서 도시된 웨이퍼 이송부를 도시한 사시도이다. 도 6은 도 5에서 도시된 웨이퍼 이송부의 내부를 도시한 사시도이다. 도 7은 웨이퍼 이송부의 동작을 설명하기 위하여 일부 구성요소만을 도시한 개략적인 평면도이다.
도 5 내지 7을 참조하면, 웨이퍼 이송부(140)는 다수의 웨이퍼 지지대(141)를 포함한다. 상기 웨이퍼 이송부(140)는 예컨대 4개의 웨이퍼 지지대(141)를 포 함한다. 다수의 웨이퍼 지지대(141)는 개별적으로 동작하며, 이를 위해서, 웨이퍼 이송부(140)는 웨이퍼 지지대(141) 각각에 대응하는 웨이퍼 지지대 구동모터(710), 내부 풀리앤밸트(720), 외부 풀리앤밸트(730), LM가이드(740) 및 지지프레임(750)을 포함한다. 따라서, 웨이퍼 이송부(140)가 4개의 웨이퍼 지지대(141)를 포함하는 경우, 각각 4개씩의 웨이퍼 지지대 구동모터(710), 내부 풀리앤밸트(720), 외부 풀리앤밸트(730), LM가이드(740) 및 지지프레임(750)을 포함한다.
상기 지지대 구동모터(710)는 웨이퍼 이송부 프레임(760) 내측에 배치된다. 상기 지지대 구동모터(710)는 내부 풀리앤밸트(720)의 제1 풀리(721)와 연결된다. 상기 내부 풀리앤밸트(720)는 상기 지지대 구동모터(720)와 연결된 제1 풀리(721), 상기 제1 풀리(721)와 대향하는 제2 풀리(723) 및 상기 제1 풀리(721) 및 제2 풀리(723)를 연결하는 내부 밸트(722)를 포함한다.
상기 제2 풀리(723)는 상기 웨이퍼 이송부 프레임(760) 외측에 배치된 상기 외부 풀리앤밸트(730)의 제3 풀리(731)와 연결된다. 상기 외부 풀리앤밸트(730)는 제3 풀리(731), 상기 제3 풀리(731)과 대향하는 제4 풀리(733) 및 상기 제3 풀리(731) 및 제4 풀리(733)를 연결하는 외부 밸트(732)를 포함한다.
상기 외부 밸트(732)에는 LM가이드(740)가 부착되고, 상기 LM가이드(740)에는 웨이퍼 지지대(141)와 연결된 지지프레임(750)이 고정된다.
지지대 구동모터(710)의 회전에 의해서 상기 제1 풀리(721)이 회전하게 되면, 상기 내부 밸트(722)를 통해서 상기 제2 풀리(723)가 회전하게 되고, 상기 제2 풀리(723)의 회전은 상기 제3 풀리(731)를 회전시킨다.
상기 제3 풀리(731)가 회전하게 되면, 상기 제3 풀리(731)의 회전에 의해 외부 밸트(732)가 회전하여, LM가이드(740)이 선형으로 왕복운동하게 된다.
따라서, 상기 LM가이드(740)와 부착된 지지프레임(750)이 선형으로 왕복운동하게 되고 결과적으로 웨이퍼 지지대(141)가 왕복운동한다.
본 발명은 반도체 제조공정에서 사용되는 반도체 제조장치에 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩 하는 웨이퍼 이송로봇에 적용되어 다수의 웨이퍼를 한번에 처리할 수 있도록 하여, 반도체 제조공정시간을 단축시킬 수 있으며, 또한 부품의 수명 및 안정성을 증가시키고, 제품의 가격을 감소시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 웨이퍼 반송로봇의 사시도이다.
도 2는 도 1에서 도시된 웨이퍼 반송로봇의 분해사시도이다.
도 3은 도 1에서 도시된 베이스 몸체와 사각 프레임의 결합관계를 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 1에서 도시된 높이조절몸체의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 1에서 도시된 웨이퍼 이송부를 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5에서 도시된 웨이퍼 이송부의 내부를 도시한 사시도이다.
도 7은 웨이퍼 이송부의 동작을 설명하기 위하여 일부 구성요소만을 도시한 개략적인 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 웨이퍼 반송로봇 110: 사각 프레임
111: 랙(rack) 기어 112: 베이스몸체 센서
120: 베이스 몸체 121: 베이스 몸체 이송모터
122: 피니언(pinion) 기어 123: 개구
130: 높이조절몸체 131: 제1 단 프레임
132: 제2 단 프레임 133: 하우징
134: 높이조절몸체 구동모터 135: 벨트
136: 높이센서 137: 제1 단 볼스크류
138: 제2 단 볼스크류 139: 배기용 팬
140: 웨이퍼 이송부 141: 웨이퍼 지지대
150: 웨이퍼 이송부 회전모터 710: 웨이퍼지지대 구동모터
720: 내부 풀리앤밸트 721: 제1 풀리
722: 내부 밸트 723: 제2 풀리
730: 외부 풀리앤밸트 731: 제3 풀리
732: 외부 밸트 733: 제4 풀리
740: LM가이드 750: 지지프레임
760: 웨이퍼 이송부 프레임

Claims (2)

  1. 사각 프레임;
    상기 사각 프레임 내부에서 상기 사각 프레임의 장변 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 사각 프레임에 결합된 베이스몸체;
    상기 몸체와 결합되고 높이가 조절되는 높이조절몸체; 및
    상기 높이조절몸체와 회전 가능하도록 결합되고, 웨이퍼 이송부 프레임 및 수직으로 배열되고 상기 웨이퍼 이송부 프레임을 기준으로 수평으로 왕복운동하는 다수의 웨이퍼 지지대를 포함하는 웨이퍼 이송부를 포함하는 웨이퍼 반송로봇.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 이송부는 상기 웨이퍼 지지대 각각에 대응하는,
    웨이퍼 이송부 프레임 내부에 배치되는 웨이퍼 지지대 구동모터;
    웨이퍼 이송부 프레임 내부에 배치되어 상기 웨이퍼 지지대 구동모터와 연결되는 제1 풀리, 내부 밸트 및 상기 내부 밸트를 지지하는 제2 풀리를 포함하는 내부 풀리앤밸트;
    상기 웨이퍼 이송부 프레임 외부에 배치되어 상기 제2 풀리의 회전을 전달받아 회전하는 제3 풀리, 외부밸트 및 상기 외부밸트를 지지하는 제4 풀리를 포함하는 외부 풀리앤밸트;
    상기 외부 풀리앤밸트의 외부밸트에 고정되어 외부밸트를 따라 선형 왕복운동하는 LM가이드; 및
    상기 LM가이드에 고정되어 LM가이드를 따라 선형왕복운동하며 상기 웨이퍼 지지대를 지지하는 지지프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송로봇.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105321861A (zh) * 2014-07-30 2016-02-10 三星电子株式会社 半导体晶片储料器设备和利用该设备传送晶片的方法

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