KR20090032011A - 치수 변환차 예측 방법, 포토마스크의 제조 방법, 전자 부품의 제조 방법, 및 치수 변환차 예측 프로그램 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 변환차 예측점에서의 개구각을 설계 패턴 데이터에 기초하여 구하고, 상기 개구각과 치수 변환차의 실측값과의 상관 관계에 기초하여 치수 변환차를 예측하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제1항에 있어서,상기 개구각은, 상기 변환차 예측점을 중심으로 하여 나오는 반직선을 움직임으로써 형성되는 구면의 상기 반직선이 근접하는 패턴과 간섭하지 않는 부분에서의 각도인 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 변환차 예측점에서의 입사물의 입사량을 설계 데이터에 기초하여 구하고, 상기 입사량과 치수 변환차의 실측값과의 상관 관계에 기초하여 치수 변환차를 예측하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제3항에 있어서,상기 변환차 예측점에서의 입사각을 상기 설계 데이터에 기초하여 구하고, 상기 입사각에 기초하여 상기 입사량을 구하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제3항에 있어서,상기 입사물의 각도 분포를 상기 설계 데이터에 기초하여 구하고, 상기 입사물의 각도 분포에 기초하여 상기 입사량을 구하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제3항에 있어서,상기 입사물의 직접 입사 성분을 상기 설계 데이터에 기초하여 구하고, 상기 직접 입사 성분에 기초하여 상기 입사량을 구하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제3항에 있어서,상기 입사물의 직접 입사 성분과 N차 반사 성분을 상기 설계 데이터에 기초하여 구하고, 상기 직접 입사 성분과 상기 N차 반사 성분에 기초하여 상기 입사량을 구하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제3항에 있어서,래디컬과 이온의 비율을 상기 설계 데이터에 기초하여 구하고, 상기 래디컬과 이온의 비율에 기초하여 상기 입사량을 구하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제3항에 있어서,프로세스 조건에 기초하여 상기 입사량을 구하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제1항에 있어서,상기 상관 관계에 기초하여 다변량 해석법, 또는 응답 곡면법에 의해 상기 치수 변환차를 예측하는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 방법.
- 제1항의 치수 변환차 예측 방법에 의해 예측한 치수 변환차에 기초하여, 설계 패턴 데이터에 대한 프로세스 변환차 보정을 행하여, 노광 패턴 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 제조 방법.
- 제11항에 있어서,광 근접 효과 보정을 아울러 행하는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 제조 방법.
- 제3항의 치수 변환차 예측 방법에 의해 예측한 치수 변환차에 기초하여, 설계 패턴 데이터에 대한 프로세스 변환차 보정을 행하여, 노광 패턴 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 제조 방법.
- 제13항에 있어서,광 근접 효과 보정을 아울러 행하는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 제조 방법.
- 제11항의 포토마스크의 제조 방법에 의해 포토마스크를 작성하고, 상기 포토마스크를 이용하여 노광하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
- 제13항의 포토마스크의 제조 방법에 의해 포토마스크를 작성하고, 상기 포토마스크를 이용하여 노광하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
- 제1항의 치수 변환차 예측 방법에 의해 예측한 치수 변환차에 기초하여, 설계 패턴 데이터를 검증하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
- 제3항의 치수 변환차 예측 방법에 의해 예측한 치수 변환차에 기초하여, 설계 패턴 데이터를 검증하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
- 컴퓨터에,변환차 예측점에서의 개구각을 설계 패턴 데이터에 기초하여 연산시키고,상기 개구각과 치수 변환차의 실측값과의 상관 관계에 기초하여 치수 변환차의 예측을 실행시키는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 프로그램.
- 컴퓨터에,변환차 예측점에서의 입사물의 입사량을 설계 데이터에 기초하여 연산시키고,상기 입사량과 치수 변환차의 실측값과의 상관 관계에 기초하여 치수 변환차의 예측을 실행시키는 것을 특징으로 하는 치수 변환차 예측 프로그램.
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