KR20090025569A - 약액 공급 장치 및 그의 약액 농도 보정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 실시간으로 약액량을 측정하는 약액 공급 장치 및 그의 농도 보정 방법에 관한 것이다. 반도체 제조 설비는 세정, 식각 공정을 처리하기 위하여 복수 개의 약액들을 공급받아서 혼합하고, 실시간으로 혼합액의 용량 및 농도를 측정하여 공정 레시피에 적합한 농도값으로 보정하여 처리조로 공급한다. 이를 위해 약액 공급 장치는 적어도 하나의 약액 탱크에 채워진 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 센서 예를 들어, 레이더 수위계를 구비한다. 본 발명에 의하면, 약액 공급 장치는 실시간으로 혼합액의 용량 및 농도값을 측정하여 공정 레시피에 적합한 목표 농도값으로 보정함으로써, 정확한 농도 조절이 가능하고, 이로 인해 약액 공급에 따른 공정 시간 단축 및 약액의 낭비를 방지할 수 있다.
반도체 제조 설비, 약액 공급 장치, 농도 보정, 레이더 수위계

Description

약액 공급 장치 및 그의 약액 농도 보정 방법{CHEMICAL SUPPLY APPARATUS AND METHOD FOR CORRECTING OF CHEMICAL CONCENTRATION THEREOF}
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 레이더 수위계를 이용하여 약액 탱크에 채워진 약액량 즉, 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하여 혼합액의 농도를 보정하는 약액 공급 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
웨트 스테이션(wet station) 등의 반도체 제조 설비는 다양한 약액들을 이용하여 세정 공정, 식각 공정 등을 처리한다. 이러한 반도체 제조 설비는 공정을 처리하는 처리조로부터 웨이퍼 반출, 약액의 증발 또는 약액의 라이프 타임 경과 등으로 약액이 감소하거나 약액의 농도가 변화된다. 이로 인해 일반적인 반도체 제조 설비는 정기적으로 약액을 보충하여 약액의 농도 및 용량을 유지할 필요가 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 반도체 제조 설비의 약액 공급 장치(10)는 복수 개의 약액들을 공급받아서 혼합하고, 공정을 처리하는 처리조(미도시됨)로 약액들의 혼합액을 공급하는 약액 탱크(2)를 포함한다.
약액 탱크(2)는 공급 라인과 연결되어 복수 개의 약액들을 각각 공급받는 약액 공급 포트(4)와 처리조(미도시됨)로 약액들의 혼합액을 공급하는 배출 포트(6) 및, 공정 레시피에 적합한 농도의 혼합액을 생성하기 위해, 혼합액을 순환하고 혼합액의 농도를 측정하는 농도계(20)가 설치되는 순환 라인(18)이 약액 탱크(2) 일측에 구비된다.
또 약액 공급 장치(10)는 약액 탱크(2)의 특정 위치에서 약액 탱크(2) 내부에 채워진 혼합액의 수위를 측정하는 복수 개의 위치 센서(14 : 14a ~ 14e)들을 구비한다. 예를 들어, 위치 센서(14)는 약액 탱크(2)에서 혼합액의 수위가 충만된 상태, 보충해야 할 상태인지 등을 감지하기 위하여, 약액 탱크(2)의 외측 상부 및 하부 사이에 노출되도록 연결되어 혼합액의 수위를 나타내는 레벨링 라인(leveling line)(16)에 복수 개(예를 들어, 5 개 정도)가 설치된다. 레벨링 라인(16)은 육안으로 혼합액의 개략적인 수위를 확인할 수 있는 투명(또는 반투명) 재질의 융착 배관으로 구비되며, 융착 배관(16)의 상하 및 중간 등의 복수 개의 위치에 위치 센서(14)가 배치된다. 이 때, 위치 센서(14)는 융착 배관(16)의 특정 위치에서만 혼합액의 수위를 측정할 수 있는 비선형적인 측정 구조를 갖는다.
또 약액 공급 장치(10)는 약액 탱크(2)의 일측에 설치된 순환 라인(18)에 혼합액의 농도를 측정하기 위한 농도계(20)가 설치된다. 또 농도계(20)는 위치 센서(14)들에 의해 측정된 혼합액의 수위를 조절하기 위해 혼합액의 농도를 측정하고, 측정된 농도값을 제어부(12)로 전달한다.
약액 공급 장치(10)는 위치 센서(14)로부터 측정된 혼합액의 수위가 약액을 보충해야 할 경우이면, 복수 개의 약액들을 약액 탱크(2)로 공급하여 혼합하고, 순환 라인(18)을 통해 농도계(20)로부터 측정된 혼합액의 농도값이 목표값에 도달할 때까지 혼합액를 순환하여 약액들을 보충한다. 즉, 약액 공급 장치(10)는 농도계(20)로부터 측정된 혼합액의 농도가 공정 레시피에 따른 허용 농도 범위내에 있는지를 판별하고, 허용 농도 범위를 벗어나면, 약액의 공급량을 조절한다.
그러나 이러한 약액 공급 장치(10)는 복수 개의 위치 센서(14)가 특정 위치에서 혼합액의 수위를 측정하므로 실시간으로 혼합액의 용량을 정확하게 측정하기가 불가능하고, 이에 따라 정확한 농도 제어가 어렵게 되는 문제점이 있다. 그 결과, 혼합액의 수위를 측정하지 못하는 위치에 있을 경우에는 농도값을 보정할 수 없기 때문에, 현재 약액 탱크(2)에 공급된 혼합액을 배수시키고, 다시 약액들을 재공급해야만 하며, 이로 인해 공정 시간 및 약액의 낭비를 야기시킨다.
본 발명의 목적은 실시간으로 약액 탱크의 약액 용량을 측정하여 약액의 농도를 보정하는 약액 공급 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 실시간으로 약액의 공급량 및 농도를 관리하여 공정시간 및 약액의 낭비를 방지하기 위한 약액 공급 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 약액 공급 장치는 약액 탱크 내부에 레이더 수위계를 설치하여 약액 탱크의 혼합액의 수위를 실시간으로 측정하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 약액 공급 장치는 실시간으로 혼합액의 용량 및 농도값을 측정하여 공정 레시피에 적합한 범위의 농도값으로 실시간 보정이 가능하다.
본 발명의 약액 공급 장치는, 복수 개의 약액들을 받아들여서 혼합하고, 혼합액을 공정을 처리하는 처리조로 공급하는 적어도 하나의 약액 탱크와; 상기 약액 탱크로 약액들을 각각 공급하는 약액 공급 라인에 설치되는 복수 개의 밸브들과; 상기 약액 탱크의 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 센서와; 상기 약액 탱크의 혼합액을 순환하는 순환 라인에 설치되어 혼합액의 농도를 실시간으로 측정하는 농도계 및; 상기 센서로부터 측정된 혼합액의 용량 정보와, 상기 농도계로부터 측정된 혼합액 농도값을 실시간으로 받아서, 혼합액의 용량과 공정 레시피에 적합한 목 표 농도값과의 오차를 산출하고, 상기 오차에 대응하여 상기 밸브들을 조절하여 혼합액의 농도를 실시간으로 보정하는 제어부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 센서는; 상기 약액 탱크 상부에 설치되고 상기 약액 탱크 내부의 혼합액의 수위값을 측정하는 레이더 수위계로 구비된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 레이터 수위계로부터 측정된 혼합액의 수위를 받아서 상기 약액 탱크의 현재 혼합액의 상기 용량 정보를 산출한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 복수 개의 약액들을 받아들여서 혼합하고, 혼합액을 공정을 처리하는 처리조로 공급하는 약액 공급 장치의 농도 보정 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 적어도 하나의 약액 탱크로 복수 개의 약액들을 공급받아서 상기 약액들을 혼합한다. 상기 약액들의 혼합액의 용량을 실시간으로 측정한다. 상기 혼합액의 농도값을 실시간으로 측정한다. 상기 측정된 농도값이 상기 혼합액의 용량에 대응하여 공정 레시피에 적합한 범위의 농도값인지를 판별한다. 상기 측정된 농도값이 상기 공정 레시피에 적합한 범위의 농도값과 오차가 있으면, 상기 혼합액의 용량에 대응하여 보정될 농도값을 계산한다. 이어서 상기 보정될 농도값에 대응하여 상기 약액들을 공급량을 실시간으로 조절한다.
한 실시예에 있어서, 상기 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 것은; 상기 약액 탱크의 상부면 내부로부터 상기 혼합액의 표면으로 전자기 신호 발생시켜서 상기 혼합액의 수위를 실시간으로 측정한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 것은; 상 기 혼합액의 수위에 대응하여 상기 약액 탱크에 채워진 상기 혼합액의 용량을 산출한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액들을 공급량을 실시간으로 조절하는 것은; 상기 보정될 농도값에 대응하여 상기 약액들을 공급하는 공급 라인에 설치된 밸브들의 개폐량을 실시간으로 조절한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 약액 공급 장치는 레이더 수위계를 이용하여 실시간으로 약액의 용량을 측정함으로써, 실시간으로 약액의 농도를 보정할 수 있다.
이로 인해, 본 발명의 약액 공급 장치는 약액의 농도를 실시간으로 관리함으로써, 약액 공급에 따른 공정 시간 단축 및 불필요한 약액의 낭비를 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비를 위한 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 약액 공급 장치(100)는 반도체 제조 설비의 세정 공정, 식각 공정 등을 처리하기 위하여 복수 개의 약액들을 공급받아서, 이 약액들을 혼합하고, 그 혼합액(104)의 용량 및 농도를 실시간으로 측정하여 농도가 공정 레시피에 적합할 때, 반도체 제조 설비의 처리조(미도시됨)로 혼합액을 공급한다.
이를 위해 약액 공급 장치(100)는 복수 개의 약액들을 각각 공급받는 복수 개의 공급 포트(106)와 처리조로 약액들의 혼합액(104)을 배출하는 배출 포트(112)를 구비하는 약액 탱크(102)와, 약액 탱크(102) 상부에 설치되어 혼합액(104)의 표면으로 전자기 신호를 출력하여 혼합액(104)들의 수위를 측정하는 센서(110)와, 약액 탱크(102)의 순환 라인(132)에 배치되어 혼합액(104)의 농도를 실시간으로 측정하는 농도계(130) 및, 약액 탱크(102)로 약액들을 각각 공급하는 공급 라인들에 설치되어 각각 약액의 공급량을 조절하는 밸브(108)들을 포함한다.
그리고 약액 공급 장치(100)는 센서(110)로부터 측정된 혼합액(104)의 수위를 측정하여 약액 탱크(102)에 공급된 혼합액(104)의 용량을 실시간으로 산출하고, 농도계(130)로부터 측정된 혼합액(104)의 농도값이 공정 레시피에 적합한 목표 농도값과 비교하여, 농도값의 오차가 발생되면 오차에 대응하여 밸브(108)들의 개폐량을 제어하여 약액들의 공급량을 조절하는 제어부(120)를 포함한다.
구체적으로 센서(110)는 예컨대, 레이더 수위계로 구비되어, 약액 탱크(102) 상부에 설치되어 약액 탱크(102) 내부의 종방향 즉, 혼합액(104)의 표면으로 전자 기 신호를 출력하고 혼합액(104)의 표면으로부터 반사된 전자기 신호를 받아서 혼합액(104)의 수위를 실시간으로 측정하고, 측정된 혼합액(104)의 수위 정보(LEVEL)를 제어부(120)로 전송한다. 즉, 레이더 수위계(110)는 약액 탱크(102) 상부면과 혼합액(104)의 표면과의 측정 거리(D)를 감지하여 제어부(120)로 전송하고, 이를 통해 제어부(120)는 혼합액(104)의 용량을 산출한다.
농도계(130)는 약액 탱크(102)의 혼합액(104)을 순환하는 순환 라인(132)에 설치되고, 혼합액(104)의 농도를 실시간으로 측정하고, 측정된 농도값(CONCENTRATION)을 제어부(120)로 전송한다.
따라서 제어부(120)는 센서(110)로부터 실시간으로 측정된 혼합액(104)의 수위 정보(LEVEL)를 받아서 혼합액(104)의 용량을 산출하고, 농도계(130)로부터 측정된 혼합액(104)의 농도값을 받아서 공정 레시피에 적합한 범위의 목표 농도값과 비교하여 농도값의 오차를 산출한다. 그 결과, 제어부(120)는 오차값에 대응하여 실시간으로 농도값을 보정하도록 밸브(108)들을 제어(CONTROL)하여 약액들의 공급량을 조절한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 이 실시예의 약액 공급 장치(200)는 복수 개 즉, 제 1 및 제 2 약액 탱크(204, 206)들과, 제 1 및 제 2 약액 탱크(204, 206) 각각의 상부면에 설치되는 제 1 및 제 2 레이더 수위계(210, 212)와, 제 1 및 제 2 약액 탱크(204, 206)에 공유되도록 연결되어 제 1 또는 제 2 약액 탱크(204, 206)의 혼 합액의 농도 및 온도를 조절하기 위해 하부로부터 상부로 순환되는 순환 라인(236) 및, 약액 공급 장치(200)의 제반 동작을 제어하는 제어부(202)를 포함한다. 또 약액 공급 장치(200)는 복수 개의 약액들을 공급하는 공급 라인들 각각에 설치되는 복수 개의 밸브(220 ~ 226)들을 포함한다. 또 약액 공급 장치(200)는 순환 라인(236)에 설치되어 제 1 또는 제 2 약액 탱크(204, 206)로부터 순환되는 혼합액의 농도값을 측정하는 농도계(230)와, 혼합액의 온도를 조절하는 히터(232) 및, 혼합액을 순환시키는 펌프(234)를 포함한다. 따라서 제어부(202)는 제 1 및 제 2 레이더 수위계(210, 212)와, 농도계(230) 및 밸브(220 ~ 226)들과 전기적으로 연결된다.
제 1 및 제 2 레이터 수위계(210, 212)는 각각 제 1 및 제 2 약액 탱크(204, 206)로부터 순환되는 혼합액의 용량을 측정하기 위하여, 각각의 약액 탱크(204, 206) 상부면으로부터 혼합액의 표면으로 전자기 신호를 발생시켜서 약액 탱크(204, 206) 내부의 혼합액의 수위를 측정하고, 이를 제어부(202)로 전송한다.
순환 라인(236)은 제 1 또는 제 2 약액 탱크(204, 206)의 혼합액을 펌프(234)를 통해 순환시켜서, 히터(232)를 통해 공정 레시피에 적합하도록 혼합액의 온도를 조절하고, 이어서 농도계(230)를 통해 혼합액의 농도값을 실시간으로 측정하여 제어부(202)로 전송한다.
그리고 제어부(202)는 제 1 및 제 2 레이더 수위계(210, 212)로부터 측정된 제 1 및 제 2 약액 탱크(204, 206)의 혼합액의 수위 정보를 받아서 해당 탱크의 혼합액 용량을 산출하고, 농도계(230)로부터 측정된 혼합액의 농도값을 받아서 실시 간으로 농도를 보정하도록 제어한다. 즉, 제어부(202)는 산출된 혼합액 용량에 따른 농도값이 공정 레시피에 적합한 목표 농도값인지를 판별하고, 목표 농도값으로 조절하기 위하여 각각의 공급 라인의 밸브(220 ~ 226)들의 개폐량을 조절한다.
그러므로 약액 공급 장치(200)는 실시간으로 혼합액의 용량 및 농도를 측정하여, 혼합액의 용량에 대응하여 측정된 농도값과 목표 농도값을 비교하고 오차가 발생되면, 약액들의 공급량을 실시간으로 조절하여 공정 레시피에 적합한 농도값이 될 때, 공급 라인(208)으로 배출하여 반도체 제조 설비의 처리조로 혼합액을 공급한다.
또 이 실시예의 약액 공급 장치(200)는 제 1 및 제 2 약액 탱크(204, 206)들을 이용하여 안정적으로 혼합액을 공급하기 위하여, 반도체 제조 설비의 처리조로 혼합액을 교대로 또는 순차적으로 공급하도록 제어한다. 예를 들어, 약액 공급 장치(200)는 공정 진행시, 제 1 약액 탱크(204)로부터 처리조로 혼합액을 공급하면, 제 2 약액 탱크(206)는 제 1 약액 탱크(204)가 혼합액을 공급하는 동안에 복수 개의 약액들을 공급받아서 혼합하고, 혼합액을 순환 라인(236)을 통해 순환시킨다. 이 때, 혼합액의 농도값이 목표 농도값을 만족할 때까지 순환시켜서 혼합액의 농도를 조절한다. 그리고 혼합액의 농도가 만족하게 되면 제 2 약액 탱크(206)는 대기하게 된다.
그 후, 제 1 약액 탱크(204) 내의 혼합액의 수위가 기설정된 일정 수위 이하로 내려가면, 제 1 약액 탱크(204)로부터 혼합액의 공급을 중단하고, 제 2 약액 탱크(206)로부터 혼합액을 공급한다. 제 2 약액 탱크(206)의 혼합액의 공급이 이루어 지면, 제 1 약액 탱크(204) 내의 혼합액은 배수(drain)되고, 제 1 약액 탱크(204)는 제 2 약액 탱크(206)에서와 같은 방식으로 복수 개의 약액들을 공급받아서 기설정된 농도값을 만족하는 혼합액을 생성한 후 대기한다.
따라서 이 실시예의 약액 공급 장치(200)는 실시간으로 혼합액의 용량 및 농도를 측정하여 혼합액의 농도를 보정할 뿐만 아니라, 복수 개의 약액 탱크(204, 206)들을 이용함으로써, 약액 교체, 공급 등에 따른 소요 시간을 줄일 수 있다.
계속해서 도 5는 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 혼합액 농도 보정 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 약액 공급 장치(100 또는 200)는 단계 S300에서 적어도 하나의 약액 탱크로 복수 개의 공급 라인들을 통하여 복수 개의 약액들을 공급받아서 혼합한다. 단계 S302에서 순환 라인을 통해 혼합액을 순환시키며 레이더 수위계 및 농도계를 이용하여 실시간으로 혼합액의 용량 및 농도를 측정한다.
단계 S304에서 측정된 농도값이 현재 약액 탱크에 채워진 혼합액의 용량과, 측정된 농도값이 목표값과 오차가 발생하는지를 실시간으로 판별한다. 즉, 측정된 혼합액의 용량에 대응하여 측정된 혼합액의 농도값이 공정 레시피에 적합한 범위의 농도값인지를 판별한다. 판별 결과, 오차가 발생되면, 단계 S306으로 진행하여 혼합액의 용량에 대한 보정될 농도값을 계산하고, 단계 S308에서 농도 보정값에 대응하여 공급 라인의 밸브들의 개폐량을 각각 조절하여 약액 공급량을 조절한다. 이 때, 단계 S304 내지 단계 S308의 수순을 반복하여 현재 혼합액의 용량에 따른 측정된 농도값이 목표 농도값에 도달되면, 단계 S310으로 진행하여 혼합액을 처리조로 공급한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 약액 공급 장치(100 또는 200)는 적어도 하나의 약액 탱크에 채워진 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 센서를 구비함으로써, 반도체 제조 설비의 세정, 식각 공정 등을 처리하기 위하여 복수 개의 약액들을 공급받아서 혼합하고, 실시간으로 혼합액의 용량 및 농도값을 측정하여 공정 레시피에 적합한 농도값으로 실시간으로 보정하여 처리조로 공급한다.
이상에서, 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1 및 도 2는 일반적인 약액량을 측정하는 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면;
도 3은 본 발명에 따른 실시간으로 약액의 농도를 보정하기 위한 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면;
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치의 구성을 도시한 도면; 그리고
도 5는 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 약액 농도 보정 수순을 나타내는 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100, 200 : 약액 공급 장치 102, 204, 206 : 약액 탱크
104 : 혼합액 106 : 공급 포트
108, 220 ~ 226 : 밸브 110, 210, 212 : 레이더 수위계
112 : 배기 포트 120, 202 : 제어부
130, 230 : 농도계 132, 236 : 순환 라인

Claims (7)

  1. 약액 공급 장치에 있어서:
    복수 개의 약액들을 받아들여서 혼합하고, 혼합액을 공정 처리하는 처리조로 공급하는 적어도 하나의 약액 탱크와;
    상기 약액 탱크로 약액들을 각각 공급하는 약액 공급 라인에 설치되는 복수 개의 밸브들과;
    상기 약액 탱크의 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 센서와;
    상기 약액 탱크의 혼합액을 순환하는 순환 라인에 설치되어 혼합액의 농도를 실시간으로 측정하는 농도계 및;
    상기 센서로부터 측정된 혼합액의 용량 정보와, 상기 농도계로부터 측정된 혼합액 농도값을 실시간으로 받아서, 혼합액의 용량과 공정 레시피에 적합한 목표 농도값과의 오차를 산출하고, 상기 오차에 대응하여 상기 밸브들을 조절하여 혼합액의 농도를 실시간으로 보정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서는;
    상기 약액 탱크 상부에 설치되고 상기 약액 탱크 내부의 혼합액의 수위값을 측정하는 레이더 수위계로 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 레이터 수위계로부터 측정된 혼합액의 수위값을 받아서 상기 약액 탱크의 현재 혼합액의 상기 용량 정보를 산출하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  4. 약액 공급 장치의 농도 보정 방법에 있어서:
    적어도 하나의 약액 탱크로 복수 개의 약액들을 공급받아서 상기 약액들을 혼합하고;
    상기 약액들의 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하고;
    상기 혼합액의 농도값을 실시간으로 측정하고;
    상기 측정된 농도값이 상기 혼합액의 용량에 대응하여 공정 레시피에 적합한 범위의 농도값인지를 판별하고;
    상기 측정된 농도값이 상기 공정 레시피에 적합한 범위의 농도값과 오차가 있으면, 상기 혼합액의 용량에 대응하여 보정될 농도값을 계산하고; 이어서
    상기 보정될 농도값에 대응하여 상기 약액들을 공급량을 실시간으로 조절하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치의 농도 보정 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 것은;
    상기 약액 탱크의 상부면 내부로부터 상기 혼합액의 표면으로 전자기 신호를 발생시켜서 상기 혼합액의 수위를 실시간으로 측정하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치의 농도 보정 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 혼합액의 용량을 실시간으로 측정하는 것은;
    상기 혼합액의 수위에 대응하여 상기 약액 탱크에 채워진 상기 혼합액의 용량을 산출하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치의 농도 보정 방법.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 약액들을 공급량을 실시간으로 조절하는 것은;
    상기 보정될 농도값에 대응하여 상기 약액들을 공급하는 공급 라인에 설치된 밸브들의 개폐량을 실시간으로 조절하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치의 농도 보정 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20180043027A (ko) * 2016-10-19 2018-04-27 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 약액 공급 장치
KR20200077964A (ko) * 2018-12-21 2020-07-01 세메스 주식회사 약액 공급 장치 및 약액 농도 조정 방법

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