KR20180043027A - 기판 처리 장치 및 약액 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치 및 약액 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 혼합 약액을 통해 기판을 처리하는 약액 처리 장치; 및 상기 약액 처리 장치로 상기 혼합 약액을 공급하는 약액 공급 장치; 및 제어기를 포함하되, 상기 약액 공급 장치는, 배관을 통해 상기 약액 처리 장치에 연결되는 하우징; 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 무게를 감지하는 계측기를 포함하고, 상기 제어기는 상기 혼합 약액의 무게를 통해 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 양을 감지한다.

Description

기판 처리 장치 및 약액 공급 장치{Substrate treating apparatus and chemical supplying apparatus}
본 발명은 기판 처리 장치 및 약액 공급 장치에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 이온주입, 박막 증착, 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이 중 식각 공정은 기판 상에 형성된 박막 중 불필요한 영역을 제거하는 공정으로, 박막에 대한 높은 선택비 및 고 식각률이 요구된다.
일반적으로 기판의 식각 공정 또는 세정 공정은 크게 케미칼 처리 단계, 린스 처리 단계, 그리고 건조 처리 단계가 순차적으로 수행된다. 케미칼 처리 단계에는 기판 상에 형성된 박막을 식각 처리하거나 기판 상의 이물을 제거 하기 위한 케미칼을 기판으로 공급하고, 린스 처리 단계에는 기판 상에 순수와 같은 린스액이 공급된다.
본 발명은 기판을 효율적으로 처리하는 기판 처리 장치 및 약액 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 혼합 약액을 통해 기판을 처리하는 약액 처리 장치; 및 상기 약액 처리 장치로 상기 혼합 약액을 공급하는 약액 공급 장치; 및 제어기를 포함하되, 상기 약액 공급 장치는, 배관을 통해 상기 약액 처리 장치에 연결되는 하우징; 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 무게를 감지하는 계측기를 포함하고, 상기 제어기는 상기 혼합 약액의 무게를 통해 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 양을 감지하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 약액 공급 장치는, 상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제1유체를 공급하는 제1배관; 상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제2유체를 공급하는 제2배관을 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 계측기로 계측된 상기 혼합 약액의 무게에 기초하여, 상기 하우징으로 공급되는 상기 제1유체의 양 또는 상기 제2유체의 양을 조절할 수 있다.
또한, 상기 약액 공급 장치는, 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 농도를 감지하는 농도 센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 농도 센서는 상기 하우징의 내측에 위치될 수 있다.
또한, 상기 약액 공급 장치는 상기 하우징에서 배출된 상기 혼합 약액이 상기 하우징으로 다시 유입되게 하는 순환 라인을 더 포함하고, 상기 농도 센서는 상기 순환 라인에 위치될 수 있다.
또한, 상기 쿨러는 상기 순환 라인에서 상기 혼합 약액의 유동 방향을 기준으로 상기 농도 센서보다 상류에 위치될 수 있다.
또한, 상기 제어기는, 상기 계측기로 계측된 상기 혼합 약액의 무게와 상기 농도 센서로 감지된 상기 혼합 약액의 농도를 함께 고려하여 상기 혼합 약액의 양을 감지할 수 있다.
또한, 상기 제어기는 상기 혼합 약액의 농도를 보정할 필요가 있는 것으로 판단되면, 상기 농도 센서로 감지된 상기 혼합 약액의 농도와 상기 계측기로 계측된 혼합 약액의 무게를 고려하여 상기 혼합 약액의 농도 보정을 위해 필요한 상기 제1유체의 양 또는 상기 제2유체의 양을 산출할 수 있다.
또한, 상기 제어기는 상기 혼합 약액의 무게를 상기 혼합 약액의 비중에 관한 데이터와 비교하여 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 양을 산출할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 내측에 혼합 약액을 수용하는 하우징; 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 무게를 감지하는 계측기; 상기 혼합 약액의 무게를 통해 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 양을 감지하는 제어기를 포함하는 약액 공급 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제1유체를 공급하는 제1배관; 상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제2유체를 공급하는 제2배관을 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 계측기로 계측된 상기 혼합 약액의 무게에 기초하여, 상기 하우징으로 공급되는 상기 제1유체의 양 또는 상기 제2유체의 양을 조절할 수 있다.
또한, 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 농도를 감지하는 농도 센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 농도 센서는 상기 하우징의 내측에 위치될 수 있다.
또한, 상기 하우징에서 배출된 상기 혼합 약액이 상기 하우징으로 다시 유입되게 하는 순환 라인을 더 포함하고, 상기 농도 센서는 상기 순환 라인에 위치될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판을 효율적으로 처리할 수 있는 기판 처리 장치 및 약액 공급 장치가 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 평면도이다.
도 2는 약액 처리 장치에 연결된 약액 공급 장치를 나타내는 도면이다.
도 3은 혼합기를 나타내는 도면이다.
도 4는 제어기를 통한 제어 관계를 나타내는 도면이다.
도 5는 다른 실시 예에 따른 혼합기를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 평면도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(10)과 공정 처리 모듈(20)을 포함한다.
인덱스 모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 포함한다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)은 순차적으로 배열될 수 있다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)이 일렬로 배열된 방향을 제1방향(12)이라 한다. 그리고 상부에서 바라볼 때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하고, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 한다.
로드포트(120)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 놓인다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 1에서는 네 개의 로드포트(120)가 제공된 것으로 도시하였다. 그러나 로드포트(120)의 개수는 공정 처리 모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)의 가장자리를 지지하도록 제공된 슬롯(도시되지 않음)이 형성된다. 슬롯은 제3방향(16)으로 복수 개가 제공된다. 기판(W)은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 캐리어(130)내에 위치된다. 캐리어(130)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unified Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정 처리 모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 포함한다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 배치된다. 제2방향(14)를 따라 이송챔버(240)의 일측 및 타측에는 각각 공정챔버들(260)이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측에 위치한 공정챔버들(260)과 이송챔버(240)의 타측에 위치한 공정챔버들(260)은 이송챔버(240)를 기준으로 서로 대칭이 되도록 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B(A와 B는 각각 1이상의 자연수)의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)은 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다. 버퍼유닛(220)에서 이송프레임(140)과 마주보는 면과 이송챔버(240)와 마주보는 면 각각이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 바디(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 바디(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 바디(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 바디(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 바디(144b)에 결합되고, 바디(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정 처리 모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정 처리 모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 입자이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 바디(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 바디(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 바디(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 바디(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 바디(244b)에 결합되고, 이는 바디(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 버퍼유닛(220)에서 공정챔버(260)로 기판(W)을 반송할 때 사용되는 메인암(244c)과 공정챔버(260)에서 버퍼유닛(220)으로 기판(W)을 반송할 때 사용되는 메인암(244c)은 서로 상이할 수 있다.
공정챔버(260) 내에는 기판(W)을 약액으로 처리하는 약액 처리 장치(300)가 제공된다. 각각의 공정챔버(260) 내에 제공된 약액 처리 장치(300)는 수행하는 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 각각의 공정챔버(260) 내의 약액 처리 장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정챔버(260)에 제공된 약액 처리 장치(300)들은 서로 동일한 구조를 가지고, 상이한 그룹에 속하는 공정챔버(260)에 제공된 약액 처리 장치(300)들은 서로 상이한 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 공정챔버(260)가 2개의 그룹으로 나누어지는 경우, 이송챔버(240)의 일측에는 제1그룹의 공정챔버들(260)이 제공되고, 이송챔버(240)의 타측에는 제2그룹의 공정챔버들(260)이 제공될 수 있다. 선택적으로 이송챔버(240)의 일측 및 타측 각각에서 하층에는 제1그룹의 공정챔버(260)들이 제공되고, 상층에는 제2그룹의 공정챔버(260)들이 제공될 수 있다. 제1그룹의 공정챔버(260)와 제2그룹의 공정챔버(260)는 각각 사용되는 케미컬의 종류나, 세정 방식의 종류에 따라 구분될 수 있다. 또한, 공정챔버(260) 가운데 일부에는 기판을 약액에 의해 처리하는 약액 처리 장치(300)외에, 이와 상이한 구성이 제공될 수 있다.
도 2는 약액 처리 장치에 연결된 약액 공급 장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 약액 공급 장치(400)는 약액 처리 장치(300)에 기판의 처리에 사용되는 약액을 공급한다. 도 2에는 약액 공급 장치(400)에 하나의 약액 처리 장치(300)가 연결된 것으로 도시되었으나, 약액 공급 장치(400)에는 2개 이상의 약액 처리 장치(300)가 병렬 연결될 수 있다.
약액 공급 장치(400)는 제1유체 공급기(410), 제2유체 공급기(460), 가스 공급기(470) 및 혼합기(480)를 포함한다.
제1유체 공급기(410)는 제1배관(510)을 통해 혼합기(480)에 연결되어, 혼합기(480)로 제1유체를 공급한다. 제1배관(510) 상에는 제1밸브(511)가 제공될 수 있다. 제2유체 공급기(460)는 제2배관(520)을 통해 혼합기(480)에 연결되어, 혼합기(480)로 제2유체를 공급한다. 제2배관(520) 상에는 제2밸브(521)가 제공될 수 있다. 혼합기(480)는 배관(530)을 통해 약액 처리 장치(300)에 연결된다. 혼합기(480)는 제1유체 및 제2유체를 혼합하여, 혼합 약액을 약액 처리 장치(300)로 공급한다.
가스 공급기(470)는 가스관(540)을 통해 혼합기(480)에 연결된다. 가스관(540)에는 가스 밸브(541)가 제공될 수 있다. 가스 공급기(470)가 제공하는 가스는 혼합기(480) 내부의 압력을 상승시켜, 혼합기(480) 내의 혼합 약액을 배출하는 압력을 제공한다. 가스관(540)은 단부는 혼합기(480)의 상부에 연결될 수 있다. 또한, 가스관(540)의 단부는 혼합 약액의 수면 아래쪽에 위치될 수도 있다. 따라서, 가스에 의해 제1유체 및 제2유체의 혼합이 촉진될 수 있다. 가스 공급기(470)가 제공하는 가스는 질소 등과 같은 불활성 가스일 수 있다.
도 3은 혼합기를 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 혼합기(480)는 하우징(4000), 계측기(4100) 및 농도 센서(4200)를 포함한다.
하우징(4000)의 내측에는 혼합 약액을 수용하는 설적 체적의 공간이 형성된다. 계측기(4100)는 하우징(4000)과 연결되어 하우징(4000)에 수용된 혼합 약액의 무게를 감지한다. 일 예로, 계측기(4100)는 하우징(4000)의 외측에 위치되어, 하우징(4000)과 하우징(4000)에 수행된 혼합 약액의 무게를 측정할 수 있도록 제공될 수 있다. 그리고 혼합 약액의 무게는 계측된 무게에서 하우징(4000)의 무게를 빼는 방식으로 산출될 수 있다.
농도 센서(4200)는 혼합 약액의 농도를 감지한다. 일 예로, 농도 센서(4200)는 혼합 약액에서 제1유체의 농도를 감지할 수 있다. 또한, 농도 센서(4200)는 혼합 약액에 포함된 2개 이상의 성분의 농도를 각각 감지 하도록 제공될 수 도 있다. 농도 센서(4200)는 하우징(4000)의 내측에 수용된 상태의 혼합 약액의 농도를 측정 가능하게 위치될 수 있다. 일 예로, 농도 센서(4200)는 하우징(4000)에 수용된 혼합 약액의 수면 아래에 위치되도록 하우징(4000)의 내측에 설치될 수 있다.
도 4는 제어기를 통한 제어 관계를 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 제어기(600)는 계측기(4100)를 통해 측정된 혼합 약액의 무게를 통해 혼합기(480)로 공급되는 유체의 양을 조절한다. 제어기(600)는 계측기(4100)가 제공하는 혼합 약액과 하우징(4000)의 무게, 또는 혼합 약액의 무게를 통해 혼합 약액의 양을 감지할 수 있다. 구체적으로, 제어기(600)는 혼합 약액의 비중에 관한 정보를 가지고 있다. 그리고 혼합 약액의 무게를 혼합 약액의 비중과 대비하여 하우징(4000)에 수용된 혼합 약액의 양을 산출할 수 있다. 그리고 감지된 혼합 약액의 양이 설정 범위를 벗어 나거나, 설정 값 이하로 내려 가는 등과 같이 혼합 약액을 보충할 필요가 있는 것으로 판단되면, 제어기(600)는 밸브(511, 521)를 개방하여 혼합기(480)로 제1유체와 제2유체를 공급한다. 이 때, 제어기(600)는 혼합 약액이 설정 농도가 되도록 혼합기(480)로 유입되는 제1유체와 제2유체의 공급량을 조절한다. 또한, 사용자를 제어기(600)의 설정값을 조절하여, 혼합기(480)로 공급되는 제1유체와 제2유체의 공급량을 변경할 수 도 있다.
하우징(4000)에 수용된 혼합 약액은 약액 처리 장치(300)로 공급되어 사용된다. 하나 또는 복수의 약액 처리 장치(300)에 혼합 약액을 안정적으로 공급하기 위해서는 혼합기(480)에 수용된 혼합 약액의 양은 설정 범위로 위지 되거나, 설정 값 이하로 내려가는 것이 방지 되는 등의 방식으로 조절 될 필요가 있다. 그리고 이와 같이 혼합 약액의 양을 제어하기 위해서는 혼합 약액의 양이 모니터링 될 필 요가 있다. 레벨 센서가 하우징(4000)의 내측에 위치되는 경우, 혼합 약액의 침전물, 석출물 등과 같이 점도가 높은 성분이 레벨 센서에 부착될 수 있다. 이 경우, 혼합 약액의 수면이 레벨 센서 아래도 내려가도 레벨 센서는 그 외면에 부착된 물질로 인해 혼합 약액이 그 높이에 있는 것으로 감지한다. 반면, 본 발명에 따른 기판 처리 장치(1)는 혼합 약액의 무게를 통해 혼합 약액의 양을 감지하여, 위 같은 문제가 해결된다. 또한, 계측기(4100)는 하우징(4000)의 외측면 등과 같이 혼합 약액과 직접 접하지 않게 설치가 가능하여, 본 발명에 따른 기판 처리 장치(1)는 계측기(4100)가 혼합 약액과의 접촉으로 인해 손상되는 것이 방지될 수 있다.
혼합기(480)에 수용된 혼합 약액의 농도는 설정 값 또는 설정 범위로 관리될 필요가 있다. 따라서 제어기(600)는 농도 센서(4200)가 제공하는 데이터를 통해 혼합 약액의 농도를 모니터링 한다. 그리고 혼합 약액의 농도가 설정 값 또는 설정 범위를 벗어난 것으로 판단되면, 제1유체 또는 제2유체를 혼합기(480)로 공급하여 농도를 보정한다. 이 때, 농도 보정을 위해 필요한 제1유체 또는 제2유체의 양은 혼합기(480)에 수용된 혼합 약액의 양에 따라 달라진다. 따라서 제어기(600)는 농도에 관한 정보 및 계측기(4100)가 제공한 무게에 관한 정보를 통해 계산된 혼합 약액의 양에 관한 정보를 통해 농도 보정에 필요한 제1유체 또는 제2유체의 양을 산출하고, 해당 유체가 혼합기(480)로 공급되도록 할 수 있다. 또한, 혼합 약액의 농도 보정은 혼합 약액의 보충과 함께 수행 될 수 도 있다. 구체적으로, 전술한 바와 유사한 방식으로, 제어기(600)는 농도 보정을 위해 증가 또는 감소되어야 할 제1유체 또는 제2유체의 양을 산출할 수 있다. 그리고 제어기(600)는 혼합 약액의 보충 시 혼합 약액의 농도 보정에 필요한 제1유체의 양 또는 제2유체의 양을 반영하여 혼합기(480)로 제1유체와 제2유체가 공급되게 할 수 있다.
제어기(600)는 혼합기(480)에 수용된 혼합 약액의 양을 산출하는데 계측기(4100)가 제공하는 정보와 농도 센서(4200)가 제공하는 정보를 함께 고려할 수 도 있다. 제1유체와 제2유체의 비중이 다른 경우 등과 같이, 혼합 약액은 농도에 따라 비중이 달라 지게 제공될 수 있다. 따라서 제어기(600)는 혼합 약액의 무게와 농도를 함께 고려하여 혼합 약액의 양을 산출할 수 있다. 그리고 상술한 방식과 유사하게 혼합 약액을 보충할 필요가 있는 것으로 판단되면, 제어기(600)는 혼합기(480)로 제1유체와 제2유체가 공급되도록 할 수 있다. 또한, 혼합 약액의 농도를 보정할 필요가 있는 것으로 판단되면, 혼합 약액의 무게와 농도를 함께 고려하여 산출된 혼합 약액의 양, 혼합 약액의 농도를 고려하여 농도 보정을 위해 필요한 제1유체의 양 또는 제2유체의 양을 산출한 후, 혼합기(480)로 공급할 수 있다. 또한, 혼합 약액의 보충과 혼합 약액의 농도 보정은 함께 이루어 질 수 도 있다.
도 5는 다른 실시 예에 따른 혼합기를 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 혼합기(481)는 하우징(4001), 계측기(4101) 및 농도 센서(4202)를 포함한다.
하우징(4001) 및 계측기(4101)는 도 3의 혼합기(480)와 동일하므로 반복된 설명은 생략한다.
하우징(4001)에는 순환라인(4201)이 연결되어, 하우징(4001)에서 배출된 혼합 약액이 하우징(4001)으로 다시 유입되게 한다. 그리고 농도 센서(4202)는 순환라인(4201)에 위치된다. 도 5에는 순환라인(4201)의 양단이 하우징(4000)에 연결되는 것으로 도시하였다. 그러나, 순환라인(4201)은 일단은 배관(530)에 연결되고, 타단은 하우징(4001)에 연결되도록 제공될 수 도 있다.
하우징(4001)에 수용된 혼합 약액은 고온일 수 있다. 일 예로, 하우징(4001)에 수용된 혼합 약액은 인산이고, 150℃이상으로 유지될 수 있다. 농도 센서(4202)는 고온의 혼합 약액과 접하는 경우, 파손 되거나 농도를 효과적으로 측정하지 못할 수 있다. 반면, 본 발명에 따른 기판 처리 장치(1)는 농도 센서(4202)가 순환 라인(4201)에 설치된다. 따라서, 혼합 약액은 순환 라인(4201)을 유동하면서 냉각된 후, 농도 센서(4200)로 공급될 수 있다. 또한, 순환 라인(4201)에는 쿨러(4203)가 위치될 수 있다. 쿨러(4203)는 순환 라인(4201)에서 혼합 약액의 유동 방향을 기준으로 농도 센서(4200)의 상류에 위치될 수 있다. 쿨러(4203)는 순환 라인(4201)을 유동하는 혼합 약액을 냉각시킨다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10: 인덱스 모듈 20: 공정 처리 모듈
120: 로드포트 140: 이송프레임
220: 버퍼유닛 260: 공정챔버
300: 약액 처리 장치 400: 약액 공급 장치

Claims (15)

  1. 혼합 약액을 통해 기판을 처리하는 약액 처리 장치; 및
    상기 약액 처리 장치로 상기 혼합 약액을 공급하는 약액 공급 장치; 및
    제어기를 포함하되,
    상기 약액 공급 장치는,
    배관을 통해 상기 약액 처리 장치에 연결되는 하우징;
    상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 무게를 감지하는 계측기를 포함하고,
    상기 제어기는 상기 혼합 약액의 무게를 통해 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 양을 감지하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는,
    상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제1유체를 공급하는 제1배관;
    상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제2유체를 공급하는 제2배관을 더 포함하고,
    상기 제어기는 상기 계측기로 계측된 상기 혼합 약액의 무게에 기초하여, 상기 하우징으로 공급되는 상기 제1유체의 양 또는 상기 제2유체의 양을 조절하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는,
    상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 농도를 감지하는 농도 센서를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 농도 센서는 상기 하우징의 내측에 위치되는 기판 처리 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는 상기 하우징에서 배출된 상기 혼합 약액이 상기 하우징으로 다시 유입되게 하는 순환 라인을 더 포함하고,
    상기 농도 센서는 상기 순환 라인에 위치되는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는 상기 순환 라인에 위치되는 쿨러를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 쿨러는 상기 순환 라인에서 상기 혼합 약액의 유동 방향을 기준으로 상기 농도 센서보다 상류에 위치되는 기판 처리 장치.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 제어기는, 상기 계측기로 계측된 상기 혼합 약액의 무게와 상기 농도 센서로 감지된 상기 혼합 약액의 농도를 함께 고려하여 상기 혼합 약액의 양을 감지하는 기판 처리 장치.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 혼합 약액의 농도를 보정할 필요가 있는 것으로 판단되면, 상기 농도 센서로 감지된 상기 혼합 약액의 농도와 상기 계측기로 계측된 혼합 약액의 무게를 고려하여 상기 혼합 약액의 농도 보정을 위해 필요한 상기 제1유체의 양 또는 상기 제2유체의 양을 산출하는 기판 처리 장치.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 혼합 약액의 무게를 상기 혼합 약액의 비중에 관한 데이터와 비교하여 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 양을 산출하는 기판 처리 장치.
  11. 내측에 혼합 약액을 수용하는 하우징;
    상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 무게를 감지하는 계측기;
    상기 혼합 약액의 무게를 통해 상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 양을 감지하는 제어기를 포함하는 약액 공급 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제1유체를 공급하는 제1배관;
    상기 하우징에 연결되어 상기 하우징으로 제2유체를 공급하는 제2배관을 더 포함하고,
    상기 제어기는 상기 계측기로 계측된 상기 혼합 약액의 무게에 기초하여, 상기 하우징으로 공급되는 상기 제1유체의 양 또는 상기 제2유체의 양을 조절하는 약액 공급 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 하우징에 수용된 상기 혼합 약액의 농도를 감지하는 농도 센서를 더 포함하는 약액 공급 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 농도 센서는 상기 하우징의 내측에 위치되는 약액 공급 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 하우징에서 배출된 상기 혼합 약액이 상기 하우징으로 다시 유입되게 하는 순환 라인을 더 포함하고,
    상기 농도 센서는 상기 순환 라인에 위치되는 약액 공급 장치.
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