KR20090005396A - 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법 및 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (26)
- 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법에 있어서,증착 타겟이 사용되는 증착 시스템을 작동시키고;상기 증착 시스템에 있어서 전기적 아크들의 발생을 검출하고;상기 증착 시스템을 동작시키는 파워 서플라이의 출력 전류를 조정하고 각각의 아크에 실질적으로 동일한 에너지를 방출하도록 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌을 조정함으로써 증착 타겟을 컨디셔닝하는, 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법.
- 제1항에 있어서, 각 아크에 방출되는 에너지는, 증착 타겟이 훼손되지 않고 견딜 수 있는 최대 에너지와 거의 같은, 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 작동, 검출 및 컨디셔닝은, 측정된 아크 주파수가 소정 문턱치 아래로 떨어질 때까지 행해지는, 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 파워 서플라이는 아크가 검출되었을 때 정전류 모드로 전환되는, 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 출력 전류는, 측정된 아크 주파수가 소정 문턱치를 초 과했을 때 측정된 아크 주파수에 반비례하도록 레귤레이트되는, 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법.
- 제1항에 있어서, 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌을 조정하는 것은,아크 지연 시간 동안, 파워 서플라이의 출력 전류 및 출력 전압을 측정하고;그동안 각 아크에 방출될 실질적으로 동일한 에너지에 기초하여 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌, 상기 측정된 출력 전류 및 상기 측정된 출력 전압을 계산하는, 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법.
- 제6항에 있어서, 아크 지연 시간 동안, 상기 출력 전압은, 측정된, 각 아크에 방출될 실질적으로 동일한 에너지에 기초하여 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌, 측정된 출력 전류 및 근사적 출력 전압보다는, 소정 상수에 근사되는, 증착 타겟을 컨디셔닝하기 위한 방법.
- 사용자가 지정한 출력 파워로, 파워 서플라이에 의해 동작되는 증착 공정을 작동시키고;측정된 아크 주파수가 소정 문턱치를 초과할 때:상기 증착 공정을 타겟 컨디셔닝 모드로 전환하고;상기 증착 공정에 있어서 전기적 아크의 발생을 검출하고;파워 서플라이의 출력 전류를 조정하고 각각의 아크에 실질적으로 동 일한 에너지를 방출하도록 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌을 조정하고;측정된 아크 주파수가 소정 문턱치 아래로 떨어질 때까지 상기 검출과 조정을 반복하는 것을 포함하는, 증착 공정의 제어 방법.
- 제8항에 있어서, 각 아크에 방출되는 에너지는, 증착 공정에서 사용된 증착 타겟이 훼손되지 않고 견딜 수 있는 최대 에너지와 거의 같은, 증착 공정의 제어 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 측정된 아크 주파수가 소정 문턱치 아래로 떨어진 후, 사용자 지정 출력 파워로 증착 공정의 동작을 재개하는, 증착 공정의 제어 방법.
- 제8항에 있어서, 타겟 컨디셔닝 모드 동안, 파워 서플라이가, 아크가 존재하는지에 무관하게 파워 서플라이의 출력 전류가 소정 레벨로 실질적으로 일정하게 유지되는 전류 레귤레이션 모드로 전환되는, 증착 공정의 제어 방법.
- 증착 시스템용 파워 서플라이에 있어서,입력 파워를 받기 위한 입력단;출력 파워를 증착 공정에 공급하기 위한 출력단;입력 파워를 출력 파워로 변환하기 위한 파워 변환 서브시스템; 및상기 파워 변환 서브시스템에 접속된 콘트롤러를 포함하며, 상기 콘트롤러 는,타겟 컨디셔닝 모드 시,상기 증착 시스템에 있어서 전기적 아크의 발생을 검출하고;상기 파워 서플라이의 출력 전류를 조정하고 각각의 아크에 실질적으 로 동일한 에너지를 방출하도록 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌을 조정 하도록 구성되는, 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 제12항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 각 아크에 방출되는 에너지가, 증착 공정에서 사용된 증착 타겟이 훼손되지 않고 견딜 수 있는 최대 에너지와 거의 같도록 구성되는, 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 제12항에 있어서, 상기 파워 변환 서브시스템은 교류를 직류로 변환하는, 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 제12항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 측정된 아크 주파수가 소정 문턱치 아래로 떨어질 때까지 타겟 컨디셔닝 모드로 남도록 구성되는, 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 제12항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 아크의 검출 시 파워 서플라이를 정전류 모드로 전환하도록 구성되는, 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 제12항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 측정된 아크 주파수가 소정 쿤턱치를 초과할 때 측정된 아크 주파수에 반비례하여 출력 전류를 조정하도록 구성되는, 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 제12항에 있어서, 상기 콘트롤러는,아크 지연 시간 동안, 파워 서플라이의 출력 전류 및 출력 전압을 측정하고;각 아크에 방출될 실질적으로 동일한 에너지에 기초하여 에너지가, 각 아크에 방출되는 인터벌, 측정된 출력 전류 및 측정된 출력 전압을 계산하도록 구성되는. 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 제18항에 있어서, 상기 콘트롤러는,아크 지연 시간 동안, 출력 전압을 소정 상수로서 근사시키고;각 아크에 방출될 실질적으로 동일한 에너지에 기초하여 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌, 측정된 출력 전류 및 근사적 출력 전압을 계산하도록 구성되는, 증착 시스템용 파워 서플라이.
- 애노드 및 캐소드를 갖는 코팅 챔버;상기 코팅 챔버 내에 배치되고, 상기 에노드 및 캐소드의 하나로 기능하는 타겟; 및상기 에노드 및 캐소드와 접속된 파워 서플라이를 포함하고, 상기 파워 서플라이는,타겟 컨디셔닝 모드시,상기 증착 시스템에 있어서 전기적 아크의 발생을 검출하고;상기 파워 서플라이의 출력 전류를 조정하고 각각의 아크와 실질적으 로 동일한 에너지를 방출하도록 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌을 조정 하도록 구성되는. 증착 시스템.
- 제20항에 있어서, 상기 파워 서플라이는, 각 아크에 방출되는 에너지가 타겟이 훼손되지 않고 견딜 수 있는 최대 에너지와 거의 같도록 구성되는, 증착 시스템.
- 제20항에 있어서, 상기 파워 서플라이는, 측정된 아크 주파수가 소정 문턱치 아래로 떨어질 때까지 타겟 컨디셔닝 모드로 남도록 구성되는, 증착 시스템.
- 제20항에 있어서, 상기 파워 서플라이는, 아크가 검출되었을 때 파워 서플라이를 정전류 모드로 전환하도록 구성되는, 증착 시스템.
- 제20항에 있어서, 상기 파워 서플라이는, 측정된 아크 주파수가 소정 문턱치를 초과했을 때 측정된 아크 주파수에 반비례하여 출력 전류를 조정하도록 구성되 는, 증착 시스템.
- 제20항에 있어서, 상기 파워 서플라이는,아크 지연 시간 동안, 파워 서플라이의 출력 전류 및 출력 전압을 측정하고;각 아크에 방출될 실질적으로 동일한 에너지에 기초하여 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌, 측정된 출력 전류 및 측정된 출력 전압을 계산하도록 구성되는, 증착 시스템.
- 제25항에 있어서, 상기 파워 서플라이는,아크 지연 시간 동안, 출력 전압을 소정 출력 전류로서 근사시키고;각 아크에 방출될 실질적으로 동일한 에너지에 기초하여 에너지가 각 아크에 방출되는 인터벌, 측정된 출력 전류 및 근사적 출력 전압을 계산하도록 구성되는, 증착 시스템.
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