KR20090004640U - Set plate for test handler - Google Patents

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Abstract

본 고안은 테스트핸들러용 셋플레이트에 관한 것으로, 탄성력을 이용하여 셋플레이트에 고객트레이가 적절히 안착된 상태에서 지지될 수 있도록 함으로써, 픽앤플레이스장치에 의해 고객트레이에 적재된 반도체소자를 픽킹할 시에 픽킹작업이 원활히 이루어질 수 있도록 하되 그 생산단가를 절감시킬 수 있는 기술이 개시된다.The present invention relates to a set plate for a test handler, by using the elastic force to be supported on the set plate with the customer tray properly seated, when picking the semiconductor element loaded on the customer tray by the pick and place device Disclosed is a technology that allows the picking operation to be performed smoothly but reduces the production cost.

테스트핸들러, 셋플레이트, 로딩 플레이트, 언로딩 플레이트 Test handler, set plate, loading plate, unloading plate

Description

테스트핸들러용 셋플레이트{SET PLATE FOR TEST HANDLER}Set plate for test handlers {SET PLATE FOR TEST HANDLER}

본 고안은 반도체소자의 검사를 지원하는 장비인 테스트핸들러에서 로딩(LOADING, 고객트레이의 반도체소자를 캐리어보드로 이동) 또는 언로딩(UNLOADING, 캐리어보드의 반도체소자를 고객트레이로 이동)공간에 위치된 고객트레이가 놓여지는 셋플레이트에 관한 것이다.The present invention is located in the loading (loading, moving the semiconductor device of the customer tray to the carrier board) or unloading (unloading, the semiconductor device of the carrier board to the customer tray) space in the test handler which is the equipment supporting the inspection of semiconductor devices. To a set plate on which a customer tray is placed.

생산된 반도체소자는 테스터에 의해 테스트된 후 양품과 불량품으로 나뉜 후 양품만이 출하되는데, 테스터에 의한 테스트공정을 지원하기 위해 테스트핸들러라 불리는 자동화 검사장비가 이용되고 있다. 이러한 테스트핸들러는 로딩공간상에서 고객트레이로부터 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시킨 후 테스트트레이에 적재된 상태로 반도체소자의 테스트를 지원한 다음 언로딩공간상에서 테스트트레이로부터 빈 고객트레이로 반도체소자들을 언로딩시킨다.The semiconductor device produced is tested by a tester and then divided into good and defective products, and only good products are shipped. An automated inspection apparatus called a test handler is used to support a test process by the tester. The test handler loads the semiconductor devices from the customer tray into the test tray in the loading space, supports the testing of the semiconductor devices in the loaded test tray, and then unloads the semiconductor devices from the test tray into the empty customer tray in the unloading space. Let's do it.

일반적으로 고객트레이는 로딩 플레이트 또는 언로딩 플레이트라는 셋플레이트에 안착된 상태로 로딩공간 또는 언로딩공간상에 위치된다. 이러한 셋플레이트는 승강 가능하게 구비되는데, 도1에 도시된 바와 같이, 셋플레이트(100)가 베이스 판(BP)으로부터 하강된 상태에서 트랜스퍼(TF, 대한민국 등록특허 제10-0715469 참조)에 의해 셋플레이트(100)에 안착된 고객트레이(미도시)의 교체가 이루어진다. 그리고 고객트레이의 교체가 완료되면 셋플레이트(100)가 상승하게 됨으로써 고객트레이를 로딩공간 또는 언로딩공간 상에 위치시킬 수 있게 된다.In general, the customer tray is positioned on the loading space or the unloading space while seated on a set plate called a loading plate or an unloading plate. The set plate is provided to be liftable. As shown in FIG. 1, the set plate 100 is set by a transfer (TF, see Korean Patent Registration No. 10-0715469) while the set plate 100 is lowered from the base plate BP. Replacement of the customer tray (not shown) seated on the plate 100 is made. When the replacement of the customer tray is completed, the set plate 100 is raised, so that the customer tray can be positioned on the loading space or the unloading space.

도2는 종래의 셋플레이트(100)에 대한 사시도이다.2 is a perspective view of a conventional set plate 100.

셋플레이트(100)는, 도2에 도시된 바와 같이 플레이트(110) 및 복수의 지지돌기(121 내지 128)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2, the set plate 100 includes a plate 110 and a plurality of support protrusions 121 to 128.

플레이트(100)는 고객트레이(CT)가 안착될 수 있도록 비교적 넓은 안착면적을 가진다.The plate 100 has a relatively large seating area so that the customer tray CT can be seated.

복수의 지지돌기(121 내지 128)는 플레이트(100) 상에 안착된 고객트레이(CT)의 측면을 지지함으로써 고객트레이(CT)의 적절한 안착상태를 유지시킨다. 이러한 복수의 지지돌기(121 내지 128)에는 고객트레이(CT)의 좌우 측면을 지지하기 위한 4개의 지지돌기(121 내지 124)와 고객트레이의 전후 측면을 지지하기 위한 4개의 지지돌기(125 내지 128)가 포함된다.The plurality of support protrusions 121 to 128 maintain the proper seating state of the customer tray CT by supporting the side of the customer tray CT seated on the plate 100. These support protrusions 121 to 128 have four support protrusions 121 to 124 for supporting the left and right sides of the customer tray CT and four support protrusions 125 to 128 for supporting the front and rear sides of the customer tray CT. ) Is included.

대개의 경우 지지돌기(121 내지 128)는 상방으로 뾰족한 원뿔형상인데, 이는 고객트레이(CT)가 상방에서 하방으로 놓여 질 때, 고객트레이(CT)가 플레이트(110) 상에 적절히 안착될 수 있도록 안내하기 위함이다.In most cases, the support protrusions 121 to 128 have a conical shape that is pointed upward, so that the customer tray CT can be properly seated on the plate 110 when the customer tray CT is placed from above to below. For guidance.

한편, 고객트레이(CT)는, 도3에 과장하여 도시한 바와 같이, 전후 및 좌우 길이에 편차(x, y)를 가지게 된다. 이러한 이유는, 고객트레이(CT)의 전후 및 좌우 길이는 표준화되어 있지만, 정확히 동일한 전후 및 좌우 길이를 가지는 고객트레이 를 제조한다는 것이 매우 곤란하기 때문이다.On the other hand, the customer tray CT has deviations (x, y) in the front, rear, left and right lengths, as shown in an exaggerated view in FIG. This is because the front, rear, left and right lengths of the customer tray CT are standardized, but it is very difficult to manufacture a customer tray having exactly the same front, rear, left and right lengths.

만일 서로 마주 대응하는 지지돌기(121 내지 128) 간의 간격이 임의의 고객트레이(도3의 CT1)의 좌우 길이(a) 및 전후 길이(c)에 맞추어진 상태로 위치되어 있다면, 좌우 길이 및 전후 길이가 각각 b 및 c인 고객트레이(도4의 CT2)가 적용된 경우에는, 개념적인 정단면을 과장되게 도시한 도4에서 참조되는 바와 같이, 안착간격이 확보되지 못하여 고객트레이(CT2)가 플레이트(110) 면에 적절히 밀착된 상태로 안착되지 못하고 기울어진 불량한 안착상태를 가지게 된다. 그리고 그 반대의 경우에는, 개념적인 정단면을 과장되게 도시한 도5에서 참조되는 바와 같이, 고객트레이(CT1)의 측면들이 서로 마주 대응하는 지지돌기(121, 122)들에 의해 적절히 지지되지 못하여 안착상태가 흐트러질 수 있게 된다. 이와 같은 예들이 발생하게 되면, 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)에 의해 고객트레이에 적재된 반도체소자를 픽킹(PICKING)하거나 고객트레이에 반도체소자를 적재시키는 작업이 원활히 이루어지지 않게 된다.If the distance between the support protrusions 121 to 128 corresponding to each other is positioned in a state where they are aligned with the left and right length a and the front and rear length c of an arbitrary customer tray (CT 1 in FIG. 3), the left and right length and If the longitudinal length applied to each b and c of the customer tray (CT 2 of Fig. 4), as a conceptual constant cross-section as referred to be shown in the Figure 4 section manager, mothayeo not ensure the seating gap customer tray (CT 2 ) Is not seated in a state of being in close contact with the surface of the plate 110 properly, and has an inclined seating state. And vice versa, the sides of the customer tray CT 1 are not adequately supported by the corresponding support protrusions 121, 122 facing each other, as referenced in FIG. 5, which exaggerates the conceptual front section. It may not be able to settle down. When such examples occur, the picking and placing of the semiconductor devices loaded in the customer tray by the pick and place device (PICK AND PLACE APPARATUS) or the operation of loading the semiconductor devices in the customer tray is not made smoothly.

따라서 종래에는 지지돌기를 이동가능하게 구비시키고 실린더를 이용하여 지지돌기를 이동시킬 수 있도록 하여 지지돌기들 간의 간격, 즉, 고객트레이가 안착될 수 있는 안착간격을 조절함으로써 다양한 규격의 고객트레이에 적절히 대응될 수 있도록 하고 있었다.Therefore, in the related art, the support protrusions are movable and the support protrusions can be moved by using a cylinder, thereby adjusting the distance between the support protrusions, that is, the seating interval at which the customer trays can be seated. We were able to correspond.

그러나 규격이 다른 고객트레이가 테스트핸들러로 공급되는 것은 빈번히 일어나는 일이 아닐뿐더러, 고객트레이들의 전후 및 좌우 길이에 대한 오차도 크지는 않기 때문에, 그러한 경우를 위해 실린더까지 적용하여 안착간격을 조절한다는 것은 셋플레이트의 제작단가를 상승시킨다는 점에서 무리가 있는 기술이다.However, it is not a frequent occurrence that customer trays of different sizes are supplied to test handlers, and the errors in the front, rear, left and right lengths of the customer trays are not so large. This technology is unreasonable in that it increases the manufacturing cost of the set plate.

본 고안의 목적은 탄성력을 이용하여 셋플레이트 상에 안착되는 고객트레이를 정렬시킬 수 있는 기술을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a technique that can be used to align the customer tray seated on the set plate using the elastic force.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 테스트핸들러용 셋플레이트는, 고객트레이가 안착될 수 있는 플레이트; 상기 플레이트에 고객트레이가 정렬된 상태로 안착될 수 있도록 지지하는 적어도 하나 이상의 지지부재; 및 상기 플레이트에 안착된 고객트레이에 상기 적어도 하나 이상의 지지부재 측으로 탄성력을 가함으로써 고객트레이가 상기 적어도 하나 이상의 지지부재 측으로 지지되며 정렬될 수 있도록 하는 적어도 하나 이상의 탄성부재; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Set plate for the test handler according to the present invention for achieving the above object, the plate on which the customer tray can be seated; At least one support member supporting the tray so that the customer tray can be seated in an aligned state; And at least one elastic member which allows the customer tray to be supported and aligned to the at least one support member side by applying an elastic force to the at least one support member side seated on the plate. Characterized in that it comprises a.

상기 탄성부재는 판스프링인 것을 더 구체적인 특징으로 한다.The elastic member is characterized in that the leaf spring is more specific.

상기 판스프링은, 상기 플레이트의 상면에 안착된 고객트레이의 측면을 상기 지지부재 측으로 가압하기 위한 수직가압단; 및 상기 수직가압단의 상단에서 상기 플레이트의 외측으로 경사지게 연장되어 고객트레이가 상기 플레이트에 적절히 안착될 수 있게 안내하는 경사안내단; 을 가지는 것을 또 하나의 특징으로 한다.The leaf spring may include a vertical pressing end for pressing the side of the customer tray seated on the upper surface of the plate toward the support member; And an inclined guide end extending from the upper end of the vertical pressing end to the outside of the plate to guide the customer tray to be properly seated on the plate. It is another feature to have a.

정면도 상에서 상기 지지부재와 상기 수직가압단 사이의 폭은 고객트레이의 표준길이보다 작은 것을 또 하나의 특징으로 한다.On the front view, the width between the support member and the vertical pressing end is characterized in that the smaller than the standard length of the customer tray.

상기 판스프링은 상기 수직가압단의 하단에서 상기 플레이트의 내측으로 연장되어 상기 플레이트에 고정되는 고정단; 을 더 가지는 것을 또 하나의 특징으로 한다.The leaf spring is fixed to the plate extending from the lower end of the vertical pressing end to the inner side of the plate; It is another feature to have more.

상기 고정단은 상기 플레이트의 저면에 고정되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.The fixed end is another feature that is fixed to the bottom of the plate.

위와 같은 본 고안에 따른 테스트핸들러용 셋플레이트에 의하면 탄성부재에 의해 고객트레이가 자동적으로 정렬될 수 있기 때문에 셋플레이트의 생산단가를 저감시킬 수 있게 된다.According to the test handler set plate according to the present invention as described above, since the customer tray can be automatically aligned by the elastic member, it is possible to reduce the production cost of the set plate.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 고안에 따른 테스트핸들러용 셋플레이트(이하 '셋플레이트'라 약칭함)에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the test handler set plate (hereinafter, abbreviated as 'set plate') according to the present invention as described above will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도6은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 셋플레이트(600)에 대한 일부 분해 사시도이다.6 is a partially exploded perspective view of the set plate 600 according to a preferred embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 셋플레이트(600)는, 도6에 도시된 바와 같이, 플레이트(610), 복수(8개)의 지지부재(621 내지 628), 복수(2개)의 판스프링(631 632) 등을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 6, the set plate 600 according to the present embodiment includes a plate 610, a plurality of (eight) support members 621 to 628, and a plurality of (two) leaf springs 631 632. ) And the like.

플레이트(610)는 고객트레이가 안착될 수 있게끔 비교적 넓은 안착면적을 가 진다.Plate 610 has a relatively large seating area so that the customer tray can be seated.

지지부재(621 내지 628)는 플레이트(610)에 안착된 고객트레이의 측면을 지지함으로써 고객트레이의 안착상태를 유지시키기 위해 구비된다. 참고로 복수의 지지부재(621 내지 628)에는, 고객트레이의 좌측면을 전후 측에서 각각 지지하기 위한 부호 621 및 623의 지지부재, 고객트레이의 우측면을 전후 측에서 각각 지지하기 위한 부호 622 및 624의 지지부재, 고객트레이의 전측면을 좌우 측에서 각각 지지하기 위한 부호 625 및 627의 지지부재, 고객트레이의 후측면을 좌우 측에서 각각 지지하기 위한 부호 626 및 628의 지지부재가 포함된다. 참고로 지지부재(621 내지 628)는 플레이트(610)에 탈착 가능하게 장착될 수도 있다.The support members 621 to 628 are provided to maintain the seating state of the customer tray by supporting the side of the customer tray seated on the plate 610. For reference, the plurality of support members 621 to 628 have support members 621 and 623 for supporting the left side of the customer tray from the front and back sides, and 622 and 624 for supporting the right side of the customer tray from the front and back sides, respectively. The support members of 625 and 627 for supporting the front side of the customer tray on the left and right sides, respectively, and the support members of 626 and 628 for supporting the rear side of the customer tray on the left and right sides, respectively. For reference, the support members 621 to 628 may be detachably mounted to the plate 610.

위와 같은 지지부재(621 내지 628)는 원뿔형상으로 마련되며 플레이트(610)에 안착되는 고객트레이의 최대 안착면적을 결정한다. 예를 들어, 도7의 평면도에 도시된 바와 같이, 부호 621과 623의 지지부재의 하단(원뿔형상의 하단)을 잇는 선(L좌)과 부호 622와 624의 지지부재의 하단을 잇는 선(L우)의 최단 폭(W좌우)은 플레이트(610)에 안착되는 고객트레이의 좌우 최대 길이를 결정하고, 부호 625와 627의 지지부재의 하단을 잇는 선(L전)과 부호 626과 628의 지지부재의 하단을 잇는 선(L후)의 최단 폭(W전후)은 플레이트(610)에 안착되는 고객트레이의 전후 최대 길이를 결정한다. 일반적으로 고객트레이의 좌우 및 전후 표준길이는 135.9mm 및 315.0mm 이기 때문에, 그 오차범위를 감안하여, 본 실시예에서는 부호 621과 623의 지지부재의 하단(원뿔형상의 하단)을 잇는 선(L좌)과 부호 622와 624의 지지부재의 하단을 잇는 선(L우)의 최단 폭(W좌우)을 136.2mm로 하고, 부호 625와 627의 지지부재의 하단을 잇는 선(L전)과 부호 626과 628의 지지부재의 하단을 잇는 선(L후)의 최단 폭(W전후)을 315.6mm로 설계하였다.The support members 621 to 628 as described above are provided in a conical shape and determine the maximum seating area of the customer tray seated on the plate 610. For example, as shown in the plan view of FIG. 7, a line L left connecting the lower ends (conical lower ends) of the support members 621 and 623 and a line L connecting the lower ends of the support members 622 and 624 R) determines the smallest width (W right and left) are left up to the length of the customer tray to be secured to the plate 610 of, and the line connecting the bottom of the marks 625 and 627 supporting members of the (L I), and the support of the marks 626 and 628 The shortest width W before and after the line L after connecting the lower end of the member determines the maximum length before and after the customer tray seated on the plate 610. In general, the left and right and front and rear standard lengths of the customer tray are 135.9 mm and 315.0 mm. Therefore, in view of the error range, in this embodiment, a line connecting the lower ends (conical lower ends) of the supporting members of the reference numerals 621 and 623 (L left) ) And the shortest width (W right and left ) of the line (L right ) connecting the lower ends of the supporting members of 622 and 624 is 136.2 mm, and the line ( before L) and 626 connecting the lower ends of the supporting members of 625 and 627 The shortest width ( before and after W) of the line ( after L) connecting the lower end of the supporting member of 628 and 628 was designed to be 315.6 mm.

판스프링(631 / 632)은 플레이트(610)에 안착된 고객트레이에 맞은편의 지지부재(622, 624 / 626, 628) 측으로 탄성력을 가하여 고객트레이가 맞은편의 지지부재(622, 624 / 626, 628) 측을 기준으로 정렬될 수 있게 하기 위한 탄성부재로서 마련된다. The leaf springs 631/632 apply elastic force to the support members 622, 624/626, 628 opposite to the customer trays seated on the plate 610, and the support members 622, 624/626, 628 opposite the customer trays. It is provided as an elastic member for allowing to be aligned with respect to the side).

판스프링(631 / 632)은, 도6에서 참조되는 바와 같이, 플레이트(610)의 상면에 안착된 고객트레이의 측면을 맞은편의 지지부재(622, 624 / 626, 628) 측으로 가압하기 위한 수직가압단(631a / 632a)과, 수직가압단(631a / 632a)의 상단에서 플레이트(610)의 외측으로 경사지게 연장되어 고객트레이가 플레이트(610)에 적절히 안착될 수 있게 안내하는 경사안내단(631b / 632b)과, 수직가압단(631a / 632a)의 하단에서 플레이트(610)의 내측으로 직각되게 연장되어 볼트(V)에 의해 플레이트(610)의 저면에 고정되는 고정단(631c / 632c)을 가지도록 되어 있다.The leaf springs 631/632 are vertically pressurized to press the side of the customer tray seated on the upper surface of the plate 610 to the opposite support member 622, 624/626, 628, as shown in FIG. 6. The inclined guide end 631b / which extends inclined outward from the plate 610 at the upper end of the stage 631a / 632a and the vertical pressing stage 631a / 632a to guide the customer tray properly seated on the plate 610. 632b and a fixed end 631c / 632c extending perpendicularly from the lower end of the vertical pressing stage 631a / 632a to the inside of the plate 610 and fixed to the bottom of the plate 610 by a bolt (V). It is supposed to be.

위와 같은 판스프링(631 / 632)은 고객트레이가 플레이트에 적절히 정렬된 상태로 안착될 수 있는 최소 안착면적을 결정한다. 예를 들어, 도7에서 참조되는 바와 같이, 부호 631의 판스프링의 수직가압단(631a)과 부호 622와 624의 지지부재의 하단을 잇는 선(L우)의 최단 폭(W1, A방향을 정방향으로 할 때 정면도 상에서의 폭)은 플레이트(610)에 적절히 정렬된 상태로 안착될 수 있는 고객트레이의 좌우 최소 길이를 결정하고, 부호 632의 판스프링의 수직가압단(632a)과 부호 626과 628의 지지부재의 하단을 잇는 선(L후)의 최단 폭(W2, B방향을 정방향으로 할 때 정면도 상에서의 폭)은 플레이트(610)에 적절히 정렬된 상태로 안착될 수 있는 고객트레이의 전후 최소 길이를 결정한다. 본 실시예에서는, 제작된 고객트레이의 오차범위를 감안하여 도7의 평면도에 과장되게 도시된 바와 같이, 부호 631의 판스프링의 수직가압단(631a)과 부호 622와 624의 지지부재의 하단을 잇는 선(L우)의 최단 폭(W1)을 135.4mm로 하고, 부호 632의 판스프링의 수직가압단(632a)과 부호 626과 628의 지지부재의 하단을 잇는 선(L후)의 최단 폭(W2)을 314.5mm로 설계하였다. 참고로, 고객트레이의 적절한 안착을 안내하기 위해, 부호 631의 판스프링의 경사안내단(631b)의 상단을 상하방향으로 지나는 수직선(P1, 도7에는 점으로 표현됨)과 부호 622와 624의 지지부재의 하단을 잇는 선(L우)의 최단 폭은 136.2mm를 넘도록 설계(W3 > 136.2mm)하였고, 부호 632의 판스프링의 경사안내단(632b)의 상단을 상하방향으로 지나는 수직선(P2, 도7에는 점으로 표현됨)과 부호 626과 628의 지지부재의 하단을 잇는 선(L후)의 최단 폭은 315.6mm를 넘도록 설계(W4 > 315.6mm)하였다.The leaf springs 631/632 above determine the minimum seating area that can be seated with the customer tray properly aligned with the plate. For example, as referred to in FIG. 7, the shortest width W 1 , A direction of the vertical pressing end 631 a of the leaf spring of 631 and the line L right connecting the lower ends of the supporting members of 622 and 624. The width on the front view in the forward direction) determines the minimum left and right lengths of the customer trays that can be seated in a properly aligned state with the plate 610, and the vertical pressing end 632a of the leaf spring of 632 and the sign 626 and connecting the lower end of the support member of the 628 lines smallest width of (L after), (W 2, a front view width on when the B direction in the normal direction) is to be seated in appropriately aligned to the plate 610 Determine the minimum length before and after the customer tray. In this embodiment, in consideration of the error range of the manufactured customer tray, as shown in the plan view of Figure 7 exaggerated, the vertical pressing end 631a of the leaf spring of 631 and the lower ends of the supporting members of 622 and 624 the shortest connecting line (L R) smallest width (W 1) a to 135.4mm, and the numeral 632 a vertical pressure leaf spring end (632a) and a line connecting the reference numeral 626 and the lower end of the support member 628 of the (L after) of The width W 2 was designed to be 314.5 mm. For reference, in order to guide the proper seating of the customer tray, the vertical line (P 1 , represented by a dot in FIG. 7) and the marks 622 and 624 passing through the upper end of the inclined guide end 631b of the leaf spring of 631. The shortest width of the line connecting the lower end of the supporting member ( right L) was designed to exceed 136.2 mm (W 3 > 136.2 mm), and a vertical line passing vertically through the top of the inclined guide end 632b of the leaf spring of 632 (632). The shortest width of the line ( after L) connecting the lower ends of the supporting members of P 2 and FIG. 7 and the supporting members 626 and 628 was designed to exceed 315.6 mm (W 4 > 315.6 mm).

위와 같은 셋플레이트(600)가 적용된 경우 고객트레이가 안착되는 상태를 도8이하를 참조하여 설명한다. 참고로 도8 이하는 도7의 I-I선을 잘라 A방향에서 바라본 것을 도시하고 있으므로, 이하의 설명에서는 부호 631의 판스프링의 작용을 중심으로 설명한다. 물론, 부호 632의 판스프링은 부호 631의 판스프링과 동일한 기능을 하기 때문에 별도로 설명한 필요가 없어 그에 대한 설명은 생략한다.When the set plate 600 is applied as described above, a state in which the customer tray is seated will be described with reference to FIG. 8 or below. For reference, the lower part of FIG. 8 shows a cut line I-I of FIG. 7 and viewed from the direction A. In the following description, the operation of the leaf spring of 631 will be described. Of course, since the leaf spring of 632 has the same function as the leaf spring of 631, it does not need to be described separately, and description thereof will be omitted.

먼저, 도8에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼(미도시)에 파지된 상태의 고객트레이(CT)가 셋플레이트(600)의 상방에서 하방으로 하강할 시에, 도9에서 참조되는 바와 같이, 고객트레이(CT)의 좌측단은 판스프링(631)의 경사안내단(631b)에 접촉된다. 계속된 트랜스퍼의 하강작동에 의해 고객트레이(CT)가 하강하면서 경사안내단(631b)의 경사에 따라 경사안내단(631b)의 경사면에 좌측방향으로 미는 힘을 가하기 때문에, 도10에 도시된 바와 같이, 판스프링(631)의 수직가압단(631a)의 상단이 좌측 방향으로 벌어지면서 고객트레이(CT)가 플레이트(610)의 안착면에 안착되게 되며, 고객트레이(CT)가 플레이트(610)에 안착된 상태에서 수직가압단(631a)이 고객트레이(CT)를 맞은편의 지지부재(628) 측으로 밀어서 고객트레이(CT)의 우측변이 맞은편의 지지부재(628) 측에 밀착 정렬되도록 한다. 이 때, 수직가압단(631a)의 상단이 좌측 방향으로 벌어지기 때문에 전체적으로 수직가압단(631a)이 좌측 방향으로 기울어지게 되는데, 그 기울어지는 각도를 최소로 하여야만 플레이트(610)에 안착된 상태의 고객트레이(CT)에 수직가압단(631a)이 가하는 힘의 수직성분(상방향으로 밀어 올리는 성분)을 최소화시킬 수 있게 된다. 이를 위해, 고정단(631c)이 수직가압단(631a)의 하단에서 플레이트(610)의 내측으로 직각되게 연장되도록 하여, 고정단(631c)을 플레이트(610)의 저면에 고정시키고 있는 것이며, 이러한 구성에 의해 플레이트(610)의 상하 두께만큼 더 확보된 수직가압단(631a)의 길이만큼 비례하여, 고객트레이(CT)가 플레이트(610)에 안착되었을 시에, 수직가압단(631a) 의 기울어짐 정도를 최소화시키고 있다.First, as shown in FIG. 8, when the customer tray CT held in the transfer (not shown) descends from above the set plate 600, as shown in FIG. 9, the customer The left end of the tray CT is in contact with the inclined guide end 631b of the leaf spring 631. As the customer tray CT descends due to the continuous lowering operation of the transfer, pushing force is applied to the inclined surface of the inclined guide end 631b to the left in accordance with the inclination of the inclined guide end 631b. Likewise, as the upper end of the vertical pressing end 631a of the leaf spring 631 opens in the left direction, the customer tray CT is seated on the seating surface of the plate 610, and the customer tray CT is the plate 610. The vertical pressing end 631a pushes the customer tray CT toward the support member 628 on the opposite side so that the right side of the customer tray CT is closely aligned with the support member 628 on the opposite side. At this time, since the upper end of the vertical pressing stage 631a is opened in the left direction, the vertical pressing stage 631a is inclined in the left direction as a whole, and only when the inclined angle is minimized, the vertical pressing stage 631a is placed on the plate 610. It is possible to minimize the vertical component (component pushing upward) of the force applied by the vertical pressing stage 631a to the customer tray CT. To this end, the fixed end 631c extends perpendicularly from the lower end of the vertical pressing end 631a to the inside of the plate 610, thereby fixing the fixed end 631c to the bottom of the plate 610. In proportion to the length of the vertical pressing stage 631a further secured by the upper and lower thicknesses of the plate 610 by the configuration, when the customer tray CT is seated on the plate 610, the vertical pressing stage 631a is inclined. Minimize the load.

상술한 바와 같은 본 고안에 대한 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 설명된 실시예는 본 고안의 바람직한 예시에 불과할 뿐이기 때문에, 본 고안이 설명된 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 고안의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.Although the description of the present invention as described above was made by the embodiments with reference to the accompanying drawings, it is understood that the present invention is limited only to the embodiments described, since the described embodiments are only preferred examples of the present invention. It should not be understood that the scope of the present invention should be understood as the claims and equivalent concepts described below.

도1은 일반적인 테스트핸들러에서 셋플레이트의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.1 is a reference diagram for explaining an operation of a set plate in a general test handler.

도2는 종래의 셋플레이트에 대한 사시도이다.2 is a perspective view of a conventional set plate.

도3은 서로 다른 규격을 가지는 고객트레이를 설명하기 위한 참조도이다.3 is a reference diagram for explaining a customer tray having different standards.

도4 및 도5는 종래의 셋플레이트에 대한 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.4 and 5 are reference diagrams for explaining a problem with a conventional set plate.

도6은 본 고안의 실시예에 따른 셋플레이트에 대한 사시도이다.6 is a perspective view of a set plate according to an embodiment of the present invention.

도7은 도6의 셋플레이트에 대한 평면도이다.7 is a plan view of the set plate of FIG.

도8 내지 도10은 도6의 셋플레이트에 대한 작동 상태도이다.8-10 are operational state diagrams for the set plate of FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

600 : 셋플레이트600: set plate

610 : 플레이트610: Plate

621, 622, 623, 624, 625, 626, 627, 628 : 지지부재621, 622, 623, 624, 625, 626, 627, 628: support member

631, 632 : 판스프링631, 632: leaf spring

631a, 632a : 수직가압단631a, 632a: Vertical compression stage

631b, 632b : 경사안내단631b, 632b: Incline Guide

631c, 632c : 고정단631c, 632c: fixed end

Claims (6)

고객트레이가 안착될 수 있는 플레이트;A plate on which the customer tray can be seated; 상기 플레이트에 고객트레이가 정렬된 상태로 안착될 수 있도록 지지하는 적어도 하나 이상의 지지부재; 및At least one support member supporting the tray so that the customer tray can be seated in an aligned state; And 상기 플레이트에 안착된 고객트레이에 상기 적어도 하나 이상의 지지부재 측으로 탄성력을 가함으로써 고객트레이가 상기 적어도 하나 이상의 지지부재 측으로 지지되며 정렬될 수 있도록 하는 적어도 하나 이상의 탄성부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는At least one elastic member allowing the customer tray to be supported and aligned to the at least one support member side by applying an elastic force to the at least one support member side seated on the plate; Characterized in that it comprises 테스트핸들러용 셋플레이트.Set plate for test handler. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성부재는 판스프링인 것을 특징으로 하는The elastic member is characterized in that the leaf spring 테스트핸들러용 셋플레이트.Set plate for test handler. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 판스프링은,The leaf spring is, 상기 플레이트의 상면에 안착된 고객트레이의 측면을 상기 지지부재 측으로 가압하기 위한 수직가압단; 및Vertical pressing stage for pressing the side of the customer tray seated on the upper surface of the plate toward the support member side; And 상기 수직가압단의 상단에서 상기 플레이트의 외측으로 경사지게 연장 되어 고객트레이가 상기 플레이트에 적절히 안착될 수 있게 안내하는 경사안내단; 을 가지는 것을 특징으로 하는An inclined guide end extending from the upper end of the vertical pressing end to the outside of the plate to guide the customer tray properly seated on the plate; Characterized in having 테스트핸들러용 셋플레이트.Set plate for test handler. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 정면도 상에서 상기 지지부재와 상기 수직가압단 사이의 폭은 고객트레이의 표준길이보다 작은 것을 특징으로 하는In the front view, the width between the support member and the vertical pressing end is characterized in that less than the standard length of the customer tray 테스트핸들러용 셋플레이트.Set plate for test handler. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 판스프링은 상기 수직가압단의 하단에서 상기 플레이트의 내측으로 연장되어 상기 플레이트에 고정되는 고정단; 을 더 가지는 것을 특징으로 하는The leaf spring is fixed to the plate extending from the lower end of the vertical pressing end to the inner side of the plate; Characterized by having more 테스트핸들러용 셋플레이트.Set plate for test handler. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 고정단은 상기 플레이트의 저면에 고정되는 것을 특징으로 하는The fixed end is fixed to the bottom surface of the plate 테스트핸들러용 셋플레이트.Set plate for test handler.
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