KR20080091696A - 진공흡착 이동장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 대형 판유리나 판재 등의 제품을 진공흡착하기 위한 진공흡착부와, 상기 진공흡착부의 위치를 상하로 변위시키기 위한 리프팅 실린더가 포함된 리프팅부와, 상기 진공흡착부와 리프팅부의 동작을 제어하기 위한 조작부를 포함하는 진공흡착 이동장치에 있어서, 상기 리프팅 실린더(180)는, 내부가 상하로 관통되도록 중공된 리프팅 샤프트(182)와, 상기 리프팅 샤프트(182)의 하단에 장착되는 리프팅 피스톤(184)과, 상기 리프팅 샤프트(182)의 중공부에 삽입되고 상단부에 외부의 공압을 공급받기 위해 연결되는 외부공압 연결부(186)가 형성되고 하단부에 상기 리프팅 피스톤(184)을 관통하는 공압공급호스(200)와, 상기 리프팅 피스톤(184)에 관통된 공압공급호스(200)와 연결되는 로터리 피팅(220)과, 상기 로터리 피팅(220)과 상단부로 연결되고 하단부로는 공압회로부에 공압을 공급하기 위한 공압회로 연결부(240)가 형성되면서 상기 리프팅 실린더(180)의 하부 내측에 다수회 감겨진 코일호스(230)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
진공흡착부, 틸팅실린더, 리프팅, 판유리, 진공흡착패드

Description

진공흡착 이동장치{MOVING APPARATUS USING VACUUM ABSORPTION}
본 발명은 진공흡착 이동장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 판유리나 판재 등의 제품을 보다 용이하게 반복적으로 이동하거나, 팔레트(Pallet)등의 적재장소로 이동하여 적재하기 위해 제품을 부착하거나 탈착시 제품이 항상 일정한 기울기를 유지하도록 하여 제품의 파손을 사전에 방지하면서 적재면적을 최소화하고, 미소 기울기의 조작이 필요 없이 이동 적재 작업을 용이하게 하여 작업의 효율성을 향상시킬 뿐만 아니라, 부품의 수를 감소시켜 생산비를 절감시킨 진공흡착 이동장치에 관한 것이다.
일반적으로 진공흡착 이동장치는 크레인 또는 호이스트의 후크에 걸쳐진 상태에서, 대형 판유리나 판재를 작업공정에 따라 이동하거나 적재하는데 사용되는 장치를 말한다.
이러한 진공흡착 이동장치로는 후크걸이부가 구비된 흡착부 프레임과, 흡착부 프레임의 일측에 장착된 다수개의 진공흡착패드와, 상기 흡착부 프레임의 타측 에 장착되어 진공흡착패드에 진공압을 걸어주는 진공모터 및 진공탱크와, 상기 진공탱크의 압력을 측정하여 진공펌프의 동작을 제어함으로써 진공흡착패드의 흡착력을 유지하도록 하는 압력조절부와, 상기 진공흡착패드의 흡탈착 동작을 제어하는 조작부와, 상기 진공흡착패드가 흡착 및 탈착되도록 진공펌프에 전원을 공급하는 전원장치 등을 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성된 종래의 진공흡착 이동장치는 진공흡착패드에 진공탱크의 진공압을 가하여 판유리와 같은 이송물을 진공흡착패드에 흡착되게 한 상태에서 크레인 또는 호이스트의 후크에 흡착부 프레임을 걸어서 이송물을 적재하거나 이송하는 등의 작업을 수행하게 된다.
상기와 같은 종래의 진공흡착 이동장치는, 통상 일정 높이로 고정된 전후레일이나 좌우레일에 장착되어 사용하기 때문에 상기 진공흡착 이동장치를 동작시키기 위한 공압호스가 빈번하게 꼬이게 된다. 다시 말해, 이송물의 종류나 위치에 따라 진공흡착패드의 부착위치를 변경하는 경우에, 외부의 진공모터와 진공탱크와 연결되는 공압호스가 흡착부 프레임의 회전에 따라 수회 꼬이게 되는 문제점이 있다.
또한, 상기와 같이 종래의 진공흡착 이동장치를 동작시키기 위한 공압호스가 외부로 노출되어 장착되기 때문에 외관이 복잡하여 제품의 가치를 떨어뜨리며, 노출된 공압호스가 손상될 수 있기 때문에 안전사고의 위험성이 항상 존재하는 문제점이 있다.
한편, 종래의 진공흡착 이동장치는, 이송물을 탈착하는 경우에 상하버튼의 조작 미숙이나 과도한 배기 또는 흡입으로 인해 이송물이 탈거되면서 흡착장치 자체의 급격한 하중 변화로 진공흡착 이동장치가 급상승 또는 급하강하여 제품을 손상시킬 수 있는 등 안전하게 작업을 수행할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 작업자가 상기와 같이 진공흡착 이동장치를 정밀하게 조작하여야 하기 때문에 작업자에게 과도한 스트레스를 주는 등 생산성을 저하시키고, 이송물을 원하는 위치에 정밀하게 이동시키기 어려운 문제점이 있다. 다시 말해, 일정한 기울기로 적재되어 있는 대형 판유리를 다른 적재장소나 팔레트로 이동작업을 하는 경 우에 적재되는 하나의 제품과 다른 제품의 기울기를 일정하게 맞춰서 적재할 수 없기 때문에 적재된 제품들 사이에 공간이 형성되어 적재공간을 낭비하게 되거나, 적재된 제품과 이동되는 제품의 가장자리가 접촉됨으로써 제품이 파손되는 문제점이 있다. 즉, 제품과 제품 사이의 공간이 없도록 적재하기 위해 제품의 하단부를 적재된 제품과 인접되게 조작해야 하기 때문에 많은 적재작업 시간이 소요될 뿐만 아니라 숙련된 작업자를 요구하게 되고, 숙련된 작업자가 적재하지 않는 경우에는 제품의 하단부를 파손시켜 생산성을 감소시키게 된다. 또한, 상술한 문제점을 해결하기 위해 진공흡착 이동장치에 별도로 부착되는 제품의 기울기를 제어하기 위한 장치를 추가로 장착하는 경우에는 진공흡착 이동장치의 생산가격을 상승시키는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 이송물의 종류나 부착되는 위치에 관계없이 공압호스가 꼬이지 않으면서 흡착부 프레임을 자유롭게 회전시킬 수 있는 진공흡착 이동장치를 제공하는 것이다. 또한, 공압회로부를 동작시키기 위한 공압호스를 실린더 내부로 장착하여 공압호스의 손상 위험성을 제거하고, 장치의 외관을 미려하게 할 수 있는 진공흡착 이동장치를 제공하는 목적이 있다.
한편, 본 발명은 작업자가 대형 판유리나 판재 등의 제품을 다른 적재장소나 팔레트 등에 이동 적재하기 위해 제품을 흡착하는 경우에는 적재된 제품과 동일한 기울기로 흡착부가 기울어지고, 흡착부에 제품이 흡착된 상태에서는 자동으로 수직상태를 유지하면서 이동되도록 하며, 이동된 제품을 적재하는 경우에는 제품의 하단부를 정확한 적재위치에 안착시킨 후 제품을 탈착시키게 되면 제품의 하중으로 자연스럽게 적재된 제품과 밀착되도록 기울기가 동일하게 적재되도록 하여, 일정한 공간에 최대한 많은 수의 제품을 신속하고 용이하게 적재시킬 수 있을 뿐만 아니라 이동 적재작업 도중에 제품의 파손을 효과적으로 방지하고 숙련공이 아니더라도 용이하게 제품을 이동 적재할 수 있는 진공흡착 이동장치를 제공하는 것이다.
본 발명은, 대형 판유리나 판재 등의 제품을 진공흡착하기 위한 진공흡착부와, 상기 진공흡착부의 위치를 상하로 변위시키기 위한 리프팅 실린더가 포함된 리프팅부와, 상기 진공흡착부와 리프팅부의 동작을 제어하기 위한 조작부를 포함하는 진공흡착 이동장치에 있어서, 상기 리프팅 실린더(180)는, 내부가 상하로 관통되도록 중공된 리프팅 샤프트(182)와, 상기 리프팅 샤프트(182)의 하단에 장착되는 리프팅 피스톤(184)과, 상기 리프팅 샤프트(182)의 중공부에 삽입되고 상단부에 외부의 공압을 공급받기 위해 연결되는 외부공압 연결부(186)가 형성되고 하단부에 상기 리프팅 피스톤(184)을 관통하는 공압공급호스(200)와, 상기 리프팅 피스톤(184)에 관통된 공압공급호스(200)와 연결되는 로터리 피팅(220)과, 상기 로터리 피팅(220)과 상단부로 연결되고 하단부로는 공압회로부에 공압을 공급하기 위한 공압회로 연결부(240)가 형성되면서 상기 리프팅 실린더(180)의 하부 내측에 다수회 감겨진 코일호스(230)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 리프팅부의 상단부에는 일정 높이를 갖거나 높이를 조절할 수 있 는 지주대와, 상기 지주대의 상단부에 회전가능하게 연결된 프레임과 좌우 이동가능하게 연결된 레일을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하며, 상기 공압회로부는, 상기 코일호스(200)로부터 공압을 공급받아 일정한 공압을 공급하기 위한 메인 레귤레이터(100)와, 상기 메인 레귤레이터(100)의 공압을 분배하여 공급하는 에어라인 분배기(105)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 연결되어 리프팅 실린더(180)의 공압을 일정하게 유지하기 위한 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 상기 리프팅 실린더(180)를 동작시키기 위한 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)과, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 진공흡착패드(158) 사이에 제품을 흡착시키기 위한 흡착버튼(170)과, 상기 흡착버튼(170)과 진공흡착패드(158) 사이에 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 제 2에어 오퍼레이터 밸브(154)와 진공이젝터(150)와, 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)에 리프팅과 밸런싱의 전환을 위해 연결되는 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상기 리프팅 실린더(180)의 리프팅을 위한 제 1급속배기밸브(174)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은 상기 진공흡착부의 기울기를 조절하기 위한 틸팅(tilting)부와, 상기 진공흡착부의 회전각도를 조절하기 위한 로테이션부와, 상기 제품을 흡착하는 경우에 상기 진공흡착부, 틸팅부, 리프팅부 및 로테이션부를 동작시키는 압력 중 어느 하나의 일정 압력을 틸팅부의 틸팅실린더에 공급하여 상기 틸팅실린더에 대하여 상기 진공흡착부를 수직상태로 이동시키는 이동준비설정부를 더 포함하 며, 상기 조작부는, 상기 틸팅부 및 로테이션부의 동작을 더 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 공압회로부는, 일정한 공압을 공급하기 위한 메인 레귤레이터(100)와, 상기 메인 레귤레이터(100)의 공압을 분배하여 공급하는 에어라인 분배기(105)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 리프팅 실린더(180) 사이에 연결되어 리프팅 실린더(180)의 공압을 일정하게 유지하기 위한 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 상기 리프팅 실린더(180)를 동작시키기 위한 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)과, 상기 에어라인 분배기(105)와 진공흡착패드(158) 사이에 제품을 흡착시키기 위한 흡착버튼(170)과, 상기 틸팅실린더(160)를 동작시키기 위해 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 수직틸팅스위치(140) 및 수평틸팅스위치(145)와, 상기 수직틸팅스위치(140)와 병렬연결되고 상기 수평틸팅스위치(145)와 직렬연결되어 상기 틸팅실린더(160)의 틸팅배기를 위한 파일럿 체크밸브(118)와, 상기 흡착버튼(170)과 진공흡착패드(158) 사이에 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 제 2오퍼레이터 밸브(154) 및 진공이젝터(150)와, 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)에 연결되어 리프팅과 밸런싱의 전환을 위한 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110) 사이에 연결되어 역류를 방지하는 체크밸브(115)와, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상기 리프팅 실린더(180)의 리프팅을 위해 연결되는 제 1급속배기밸브(174)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하며, 상기 이동준비설정부는, 진공흡착패드(158)를 동작시키기 위한 흡착버튼(170)이 턴온(turn on)동작됨과 동시에 자동으로 흡착부 프레임(164)을 틸팅실린더(160)에 대하여 수직상태로 이동시키는 동작을 하는 것으로, 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)와, 상기 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112) 및 상기 흡착버튼(170)과 연결되는 셔틀밸브(172)와, 상기 셔틀밸브(172)와 P포트가 연결되고 E포트는 제 1급속배기밸브(174) 및 파일럿 체크밸브(119)와 연결되며 A포트는 상기 틸팅실린더(160)와 연결되는 제 2급속배기밸브(176)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 진공흡착 이동장치를 동작시키기 위한 공압회로부에 공압을 공급하는 공압공급호스를 실린더 내부에 장착하여 외부 노출로 인한 안전사고의 발생을 제거하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 이송물의 종류나 부착되는 위치에 관계없이 흡착부 프레임을 자유롭게 회전할 수 있기 때문에 작업의 효율성을 향상시키는 효과가 있다.
한편, 작업자가 진공흡착패드의 기울기를 조작하지 않고서도 육안으로 확인하면서 유리판을 흡착하고, 지면과 수직된 상태에서 원하는 위치로 이동한 후 제품의 밑면과 적재장소의 적재면을 육안으로 보면서 유리판을 안전하게 탈착할 수 있기 때문에 유리판의 파손을 사전에 방지하고, 작업의 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.
또한 작업자가 원하는 기울기로 제품을 용이하게 적재할 수 있기 때문에 작 업의 효율성 및 생산성을 증대시킬 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 진공흡착 이동장치를 상세히 설명한다. 상기 도면의 구성 요소들에 인용부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있으며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 개략적인 종단면 구성도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일실시 예에 의한 진공흡착 이동장치에서 리프트 실린더의 개략적인 종단면 구성도이며, 도 4는 본 발명의 일실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 공압회로도이다.
또한, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 개략적인 종단면 구성도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 공압회로도이며, 도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 조작부이고, 도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 사용상태도이다.
본 발명의 바람직한 일실시 예에 의한 진공흡착 이동장치는, 상기 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 대형 판유리나 판재 등의 제품을 진공흡착하기 위한 진공흡착부와, 상기 진공흡착부의 위치를 상하로 조절하기 위한 리프팅부와, 상기 진 공흡착부와 리프팅부의 동작을 제어하기 위한 조작부를 포함하여 구성된다.
또한 상기 리프팅부의 상단부에는 일정 높이를 갖거나 높이를 조절할 수 있는 지주대와, 상기 지주대의 상단부에 회전가능하게 연결된 프레임과 좌우 이동가능하게 레일로 연결되어 구성할 수 있으며, 후술하는 본 발명의 다른 실시 예로, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 미리 장착된 레일을 타고 이동할 수 있도록 레일부가 장착되고, 상기 레일부와 리프팅부는 회전베어링으로 연결되어 상기 리프팅부를 용이하게 회전시킬 수 있도록 구성할 수 있다.
상기 진공흡착부는, 공지의 기술구성으로 도 8b에 도시된 바와 같이, 통상 사각형의 대각선처럼 서로 수직되게 형성된 흡착부 프레임(164)과, 상기 흡착부 프레임(164)의 선단부에 각각 연장 가능하게 장착되는 진공흡착패드(158)로 구성된다. 이때 상기 흡착부 프레임(164)의 형태는 대각선, 사각틀 등 다양한 형태로 구성할 수 있다.
상기 리프팅부는, 하단부에 이동손잡이가 돌출되어 형성되고, 상기 이동손잡이의 선단부에는 상기 각 부를 제어하도록 조작부(190)가 장착된다.
상기 조작부(190)는, 진공흡착패드의 진공 및 배기를 제어하기 위한 흡착버튼과, 리프팅부의 동작을 제어하기 위한 하강버튼 및 상승버튼을 포함하여 구성된다. 또한, 상기 리프팅부의 압력을 표시하는 압력계 등을 포함할 수 있다.
상기 리프팅부는, 리프팅 실린더(180)와, 상기 리프팅 실린더(180)의 상부에 레일과 연결하기 위한 레일가이드(188)를 포함한다.
상기 리프팅 실린더(180)는, 공압 또는 유압실린더를 사용할 수 있지만, 본 발명에서는 공압실린더로 구성된 것을 실시 예로 설명한다. 상기 리프팅 실린더(180)는 리프팅 샤프트(182) 및 리프팅 피스톤(184)을 포함하여 구성되며, 상기 조작부(190)의 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)의 조작에 따라 상하로 이동한다. 또한, 상기 레일가이드(188)에는 회전이 용이하도록 회전베이링(186)이 장착되어 작업의 편리성을 제공하게 된다.
상기 도 2는 상기 리프팅부의 리프팅 실린더(180)가 신장된 상태의 측면구성도이고, 상기 도 3은 상기 리프팅 실린더(180)가 수축된 상태의 측면구성도이다.
상기 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 리프팅 실린더(180)의 리프팅 샤프트(182)는 내부가 상하로 중공되어 관통되어 형성된다. 상기 리프팅 샤프트(182)의 중공부에는 공압공급호스(200)가 삽입되며, 상기 공압공급호스(200)의 상단부로는 외부의 진공모터 및 진공탱크와 연결될 수 있도록 외부공압 연결부(186)가 구성되며, 하단부로는 리프팅 피스톤(184)을 관통하여 로터리 피팅(220)과 연결되도록 구성된다.
또한, 상기 리프팅 실린더(180)의 하부에는 상기 로터리 피팅(220)과 일단이 연결되면서 다수회 감긴 코일호스(230)가 내장되며, 상기 코일호스(230)의 타단은 본 발명의 진공흡착 이동장치를 동작시키기 위한 공압회로부에 공압을 공급하기 위한 공압회로 연결부(240)와 연결되어 구성된다.
따라서, 본 발명의 진공흡착 이동장치는, 상기 리프팅 실린더(180)와 연결된 상기 흡착부 프레임(164)을 다수회 회전시킬 경우에 상기 코일호스(230)가 실린더 내부에서 감기거나 풀어지면서 자유롭게 회전시킬 수 있게 된다.
상기 공압회로부는, 상기 도 4에 도시된 바와 같이 상기 코일호스(200)로부터 공압을 공급받아 일정한 공압을 공급하기 위한 메인 레귤레이터(100)와, 상기 메인 레귤레이터(100)의 공압을 분배하여 공급하는 에어라인 분배기(105)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 연결되어 리프팅 실린더(180)의 공압을 일정하게 유지하기 위한 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 상기 리프팅 실린더(180)를 동작시키기 위한 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)과, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 진공흡착패드(158) 사이에 제품을 흡착시키기 위한 흡착버튼(170)을 포함하여 구성된다. 또한, 상기 흡착버튼(170)과 진공흡착패드(158) 사이에는 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 제 2에어 오퍼레이터 밸브(154)와 진공이젝터(150)가 더 연결되어 구성되는데, 상기 제 2에어 오퍼레이터 밸브(154)는 상기 진공흡착패드(158)에 진공을 형성시키기 위한 진공이젝터(150)가 동작되도록 하기 위한 것이고, 바람직하게는 상기 제 2오퍼레이터 밸브(154)와 진공이젝터(150) 사이에 자동 드레인필터(156)가 더 연결되어 구성된다. 또한, 상기 진공이젝터(150)와 진공흡착패드(158) 사이에는 진공흡착패드(158)의 진공상태를 유지하기 위한 안전장치로써 체크밸브(117)가 더 연결되는 것이 바람직하다.
상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)는 리프팅과 밸런싱의 전환을 위한 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 연결되며, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110) 사이에는 체크밸브(115)가 연결되어 역류를 방지하게 된다. 또한 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)는 리프팅 실린더(180)의 리프팅을 위한 제 1급속배기밸브(174)와 연결되어 구성된다. 다시 말해, 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와 체크밸브(115)는 상기 에어라인 분배기(105)를 통한 공압을 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)에 의해 설정된 기준공압 만큼 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)에 공급하고, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)는 B포트와 연결된 체크밸브(116)를 통해 급속배기하거나, A포트를 통해 메인 기준압을 유지한다. 한편, 상기 제 1급속배기밸브(174)는 A포트로 상기 리프팅 실린더(180)와 연결되어 기준압을 유지하고, E포트를 통해 차압을 파일럿 체크밸브(119)에 공급하도록 연결된다. 한편, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)는 상기 진공흡착패드(158)와 연결된 제 2에어 오퍼레이터 밸브(154)와 연결되어 상기 진공흡착패드(158)의 부하에 대하여도 밸런싱을 유지하도록 한다.
또한, 상기 리프팅 실린더(180)를 하강시키기 위해 하강버튼(130)을 누르게 되면 리프팅 실린더(180) 내부로 공압이 유입되어 하강시키게 되며, 리프팅 실린더(180)를 상승시키기 위해 상승버튼(135)을 누르게 되면 상승버튼(135)과 연결된 감압기(132)를 통해 리프팅 실린더(180)가 감압되어 상승하게 된다.
본 발명의 다른 실시 예로는 상기 도 5a 내지 도 8b에 도시된 바와 같이, 대형 판유리나 판재 등의 제품을 진공흡착하기 위한 진공흡착부와, 상기 진공흡착부의 기울기를 조절하기 위한 틸팅(tilting)부와, 상기 진공흡착부의 위치를 상하로 조절하기 위한 리프팅부와, 상기 진공흡착부의 회전각도를 조절하기 위한 로테이션부와, 상기 진공흡착부, 틸팅부, 리프팅부 및 로테이션부의 동작을 제어하기 위한 조작부를 포함하여 구성된다. 다시 말해, 본 발명의 다른 실시 예는 상기 일실시 예에서 상기 틸팅부, 로테이션부 및 다른 조작부를 더 포함하여 구성된다.
한편, 본 발명의 다른 실시 예는, 상기 진공흡착부를 통해 제품을 흡착하는 경우에 상기 리프팅부에 대하여 자동으로 상기 진공흡착부를 수평상태로 이동시키는 이동준비설정부를 포함하는 것을 기술적 특징으로 한다.
상기 틸팅부는, 상기 흡착부 프레임(164)의 기울기를 조절하기 위한 틸팅실린더(160)와, 상기 틸팅실린더(160)와 상기 흡착부 프레임(164)을 연결하는 틸팅샤프트(162) 등의 공지된 기술을 사용한다.
상기 로테이션부는, 상기 흡착부 프레임(164)을 일정한 각도로 회전시킬 수 있도록 로테이션 실린더(125)를 연결하여 구성하며, 상기 틸팅부와 마찬가지로 공지된 기술을 이용한다.
상기 진공흡착부와 로테이션부는 상기 흡착부 프레임(164)에 장착되고, 상기 틸팅부는 상기 리프팅부의 하단부에 장착되어 구성된다. 또한, 상기 리프팅부의 하단부에는 이동손잡이가 돌출되어 형성되고, 상기 이동손잡이의 선단부에는 상기 각 부를 제어하도록 조작부(190)가 장착된다.
이때 상기 리프팅부의 하단부에 연결되는 상기 흡착부 프레임(164)은 리프팅부에 대하여 수직 및 수평 회전이 가능하도록 연결되어 상기 틸팅부의 동작에 따라 진공흡착부의 기울기가 조절되며, 상기 로테이션부의 동작에 따라 상기 진공흡착부의 회전각도가 조절되게 된다.
상기 조작부(190)는, 상기 도 7에 도시된 바와 같이 상기 진공흡착패드(158)의 진공 및 배기를 제어하기 위한 흡착버튼(170)과, 상기 틸팅실린더(160)를 제어 하기 위한 틸팅스위치(195)와, 상기 로테이션 실린더(125)를 제어하기 위한 로테이션 스위치(120) 및 리프팅부의 동작을 제어하기 위한 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)을 포함하여 구성된다. 또한, 상기 리프팅부의 압력을 표시하는 압력계(192) 등을 포함할 수 있다. 한편, 상기 틸팅스위치(195)는 3방향 스위치로 후술하는 수직틸팅스위치(140)와 수평틸팅스위치(145)로 연결하여, 수직, 중립, 수평 상태를 작업자가 용이하게 설정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 다시 말해, 상기 틸팅스위치(195)는 항상 중립상태에 위치되어 있고, 작업자가 수직 또는 수평상태로 스위치를 회전시킨 상태로 유지하는 동안에만 설정되고, 스위치를 놓게 되면 자동적으로 중립상태로 돌아오는 동작을 하게 된다. 또한, 상기 조작부(190)는, 후술하는 본 발명의 진공흡착 이동장치를 동작시키기 위한 공압회로의 각 버튼을 포함하지만, 이러한 조작부의 구성은 필요에 따라 다양하게 구성할 수 있음은 당업자에게는 자명할 것이다. 다시 말해, 본 발명의 일실시 예에서는, 상기 흡착버튼(170), 하강버튼(130), 상승버튼(135), 압력계(135) 등을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 레일가이드(188)는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 작업장의 천정에 미리 설치된 전후레일(181) 및 좌우레일(183)에 장착되어 본 발명의 진공흡착 이동장치를 작업자가 용이하게 이동시킬 수 있도록 구성한다. 여기서 상기 도 8a는 작업자의 측면에서 본 사용상태도이고, 도 8b는 작업자를 평면상태에서 바라본 사용상태도이다.
상기 다른 실시 예의 공압회로는, 상기 도 6에 도시된 바와 같이, 일정한 공압을 공급하기 위한 메인 레귤레이터(100)와, 상기 메인 레귤레이터(100)의 공압을 분배하여 공급하는 에어라인 분배기(105)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 연결되어 리프팅 실린더(180)의 공압을 일정하게 유지하기 위한 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 상기 리프팅 실린더(180)를 동작시키기 위한 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)과, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 진공흡착패드(158) 사이에 제품을 흡착시키기 위한 흡착버튼(170)과, 상기 틸팅실린더(160)를 동작시키기 위해 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 수직틸팅스위치(140) 및 수평틸팅스위치(145)와, 틸팅배기를 위한 파일럿 체크밸브(118)를 포함하여 구성된다. 또한, 상기 로테이션 실린더(125)를 동작시키기 위해 상기 에어라인 분배기(105)에 연결되는 로테이션 스위치(120)를 포함하여 구성된다.
상기 흡착버튼(170)과 진공흡착패드(158) 사이에는 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 제 2오퍼레이터 밸브(154)와 진공이젝터(150)가 더 연결되어 구성되는데, 상기 제 2오퍼레이터 밸브(154)는 상기 진공흡착패드(158)에 진공을 형성시키기 위한 진공이젝터(150)가 동작되도록 하기 위한 것이고, 바람직하게는 상기 제 2오퍼레이터 밸브(154)와 진공이젝터(150) 사이에 자동 드레인필터(156)가 더 연결되는 것이 좋다. 또한, 상기 진공이젝터(150)와 진공흡착패드(158) 사이에는 진공흡착패드(158)의 진공상태를 유지하기 위한 안전장치로써 체크밸브(117)가 더 연결되는 것이 바람직하다.
상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)는 리프팅과 밸런싱의 전환을 위한 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 연결되며, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상 기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110) 사이에는 체크밸브(115)가 연결되어 역류를 방지하게 된다. 또한 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)는 리프팅 실린더(180)의 리프팅을 위한 제 1급속배기밸브(174)와 연결되어 구성된다. 다시 말해, 상기 에어라인 분배기(105)를 통한 공압을 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)에 의해 설정된 기준공압 만큼 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)에 공급하고, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)는 B포트를 통해 상기 체크밸브(116)을 통해 배기하거나, 상기 제 1급속배기밸브(174)를 통해 기준압을 유지하게 된다.
한편, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)는 상기 진공흡착패드(158)와 연결된 제 2에어 오퍼레이터 밸브(154)와 연결되어 상기 진공흡착패드(158)의 부하에 대하여도 밸런싱을 유지하도록 한다.
또한, 상기 리프팅 실린더(180)를 하강시키기 위해 하강버튼(130)을 누르게 되면 리프팅 실린더(180) 내부로 공압이 유입되어 하강시키게 되며, 리프팅 실린더(180)를 상승시키기 위해 상승버튼(135)을 누르게 되면 상승버튼(135)과 연결된 감압기(132)를 통해 리프팅 실린더(180)가 감압되어 상승하게 된다.
상기 흡착부 프레임(164)의 틸팅은 상기 틸팅실린더(160)의 제어를 통해 동작되는데, 상기 틸팅실린더(160)는 상기 에어라인 분배기(105)의 공압을 병렬로 구성된 수직틸팅스위치(140)와 수평틸팅스위치(145)로 각각 연결하여 구성하며, 상기 수직틸팅스위치(140)의 출력단에는 스피드 콘트롤(142)이 연결되고, 상기 수평틸팅스위치(145)의 출력단에는 틸팅배기를 위한 파일럿 체크밸브(118)가 각각 연결되어 구성된다.
한편, 상기 이동준비설정부는, 상기 진공흡착패드(158)를 동작시키기 위한 흡착버튼(170)이 턴온(turn on)동작됨과 동시에 자동으로 상기 흡착부 프레임(164)을 틸팅실린더(160)에 대하여 수직상태로 이동시키는 동작을 하게 된다. 이러한 공압회로는, 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)와, 상기 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112) 및 상기 흡착버튼(170)과 연결되는 셔틀밸브(172)와, 상기 셔틀밸브(172)와 P포트가 연결되고 E포트는 상기 제 1급속배기밸브(174) 및 파일럿 체크밸브(119)와 연결되고 A포트는 상기 틸팅실린더(160)와 연결되는 제 2급속배기밸브(176)를 포함하여 구성된다. 따라서, 상기 흡착버튼(170)을 동작시킬 경우에는 진공이젝터(150)를 통해 흡착의 동작이 수행되고, 상기 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)에 미리 설정된 틸팅기준압력(리프팅 밸런싱 레귤레이터의 기준압력보다 약 1/10정도가 바람직함)이 셔틀밸브(172)와 제 2급속배기밸브(176)를 통해 틸팅실린더(160)로 공급되어 흡착부 프레임(164)이 틸팅실린더(160)에 대하여 수직상태로 이동하게 된다.
또한, 상기와 같이 제품을 부착하여 이송한 후, 적재장소에서 흡착버튼(170)을 턴오프(turn off)하게 되면, 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)의 틸팅기준압력보다 높은 압력은 제 2급속배기밸브(176)의 E포트와 진공흡착패드(158)를 통해 배기됨으로써 제품이 적재장소에 안착하게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 작용효과를 살펴보면, 먼저 진공흡착패드(158)에 부하가 없는 상태인 무부하상태에서 밸런싱을 하게 된다. 즉, 상기 메 인레귤레이터(100)를 통한 공압을 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)를 거쳐 리프팅 실린더(180)에 공급하여 밸런싱을 유지하게 된다.
그 후 대형 판유리나 판재 등의 제품 이동작업을 수행하게 된다. 이러한 이송작업은 상기 일실시 예의 구성으로 동작하거나, 상기 다른 실시 예의 구성으로 일정한 기울기로 기울어진 팔레트에 이동 적재하는 작업과, 일정한 기울기로 적재된 대형 판유리나 판재 등을 수평으로 변경시켜 이동시키는 작업으로 구분할 수 있다.
먼저, 상기 일실시 예의 구성으로 동작하는 경우에는 이송물의 종류나 상태에 관계없이, 작업자 리프팅 실린더(180)를 자유롭게 회전시키면서 작업을 할 수 있게 되어 작업의 효율성을 향상시키게 된다. 한편, 상기 이동작업을 위한 조작부의 동작은 다른 실시 예의 동작과 동시에 설명한다.
상기 다른 실시 예의 동작은, 먼저, 일정한 기울기로 기울어진 팔레트에 이동적재하기 위한 작업을 하는 경우를 살펴보면, 상기와 같이 무부하 밸런싱이 된 상태에서 조작부(190)의 상승버튼(135) 또는 하강버튼(130)을 조작하여 제품의 위치로 진공흡착 이동장치를 이동하게 된다.
그 후 진공흡착패드(158)를 제품에 밀착되게 이동한 후 흡착버튼(170)을 눌러 동작시킨다(턴온). 흡착버튼(170)이 작동하게 되면 이동준비설정부가 동작을 하게 된다. 즉, 흡착버튼(170)이 동작되면 진공이젝터(150)가 동작하고, 진공흡착패드(158)를 통해 제품을 진공 흡착하게 된다. 또한, 제품이 진공흡착패드(158)에 흡착되면 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)의 틸팅기준압력이 셔틀밸브(172)와 제 2급 속배기밸브(176)를 통해 틸팅실린더(160)에 공급되어 흡착부 프레임(164)이 틸팅실린더(160)에 대하여 수직상태로 이동하게 된다.
그리고 전후레일(181) 및 좌우레일(183)를 통해 제품을 적재장소로 이동한 후 상승버튼(135) 또는 하강버튼(130)을 통해 적재장소의 적재면에 제품의 하단부를 안착시킨다. 그 후 흡착버튼(170)을 조작하여 진공을 해제하게 되면, 진공흡착패드(158)의 진공압이 배기되어 제품이 탈착되고 일정한 기울기로 제품이 안전하게 적재된다.
이러한 동작은 종래의 기술로는 보통 스트로크 실린더를 별도로 부착하여 흡착부 프레임(164)을 틸팅실린더(160)에 수직하게 이동시킨 것에 비하여 본 발명의 진보된 기술적 특징이라 하겠다.
또한, 상기 제품이 적재되는 기울기는 6°정도가 바람직하며, 이러한 기울기는 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)의 설정 압력에 따라 조절할 수 있다.
상술한 바와 같이 일정한 기울기로 반복적인 적재작업을 하는 경우에 적재하는 기울기를 적재시마다 조정할 필요가 없기 때문에 숙련공이 아니더라도 매우 쉽고 신속하게 적재작업을 수행할 수 있게 된다.
한편, 제품을 수평으로 변동시키거나, 수평변동하여 이동시키는 경우에는 진공흡착패드(158)가 유리판과 평행이 되도록 틸팅실린더(158)를 틸팅스위치(195)를 통해 조작하여, 진공흡착패드(158)가 유리판에 인접되도록 한다. 인접된 진공흡착패드(158)를 진공이젝터(150)에서 진공상태를 생성하여 유리판을 흡착시킨다. 이 때 상기 진공상태는 체크밸브(117)에 의해 안전하게 진공상태로 되어 유리판의 탈거에 의해 파손되는 것을 방지하게 된다. 또한, 수평상태로 있기 때문에 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)와 셔틀밸브(172) 및 제 2급속배기밸브(176)가 동작하더라도 수평상태는 그대로 유지되게 된다. 다시 말해, 틸팅실린더(160)의 스트로크 상태는 변함이 없게 된다.
따라서, 수평상태로 제품을 이동시켜 제품을 탈착하여 제품의 이동 및 적재작업을 수행하게 된다.
한편, 상기 상승버튼(135) 및 하강버튼(130)이 동작하고 있는 상태에서는 상기 에어라인 분배기(105)를 통해 메인 레귤레이터(100)의 공압을 공급받고 있기 때문에 상기 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)로부터 틸팅실린더(160)는 거의 영향을 받지 않게 된다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 개략적인 종단면 구성도,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일실시 예에 의한 진공흡착 이동장치에서 리프트 실린더의 개략적인 종단면 구성도,
도 4는 본 발명의 일실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 공압회로도,
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 개략적인 종단면 구성도,
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 공압회로도,
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 조작부,
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시 예에 의한 진공흡착 이동장치의 사용상태도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 메인 레귤레이터 105: 에어라인 분배기
110: 리프팅 밸런싱 레귤레이터 112: 틸팅 밸런싱 레귤레이터
115, 116, 117: 체크밸브 118, 119: 파일럿 체크밸브
120: 로테이션 스위치 125: 로테이션 실린더
130: 하강버튼 132: 감압기
135: 상승버튼 140: 수직틸팅스위치
142: 스피드 콘트롤 145: 수평틸팅스위치
150: 진공이젝터 152: 제 1에어 오퍼레이터 밸브
154: 제 2에어 오퍼레이터 밸브 156: 자동 드레인필터
158: 진공흡착패드 160: 틸팅실린더
162: 틸팅샤프트 164: 흡착부 프레임
170: 흡착버튼 172: 셔틀밸브
174: 제 1급속배기밸브 176: 제 2급속배기밸브
180: 리프팅 실린더 181: 전후레일
182: 리프팅 샤프트 183: 좌우레일
184: 리프팅 피스톤 186: 회전베어링
188: 레일가이드 190: 조작부
192: 압력계 195: 틸팅스위치
200: 공압공급호스 210: 외부공압 연결부
220: 로터리 피팅(Rotary Fitting) 230: 코일호스
240: 공압회로 연결부

Claims (6)

  1. 대형 판유리나 판재 등의 제품을 진공흡착하기 위한 진공흡착부와, 상기 진공흡착부의 위치를 상하로 변위시키기 위한 리프팅 실린더가 포함된 리프팅부와, 상기 진공흡착부와 리프팅부의 동작을 제어하기 위한 조작부를 포함하는 진공흡착 이동장치에 있어서,
    상기 리프팅 실린더(180)는, 내부가 상하로 관통되도록 중공된 리프팅 샤프트(182)와, 상기 리프팅 샤프트(182)의 하단에 장착되는 리프팅 피스톤(184)과, 상기 리프팅 샤프트(182)의 중공부에 삽입되고 상단부에 외부의 공압을 공급받기 위해 연결되는 외부공압 연결부(186)가 형성되고 하단부에 상기 리프팅 피스톤(184)을 관통하는 공압공급호스(200)와, 상기 리프팅 피스톤(184)에 관통된 공압공급호스(200)와 연결되는 로터리 피팅(220)과, 상기 로터리 피팅(220)과 상단부로 연결되고 하단부로는 공압회로부에 공압을 공급하기 위한 공압회로 연결부(240)가 형성되면서 상기 리프팅 실린더(180)의 하부 내측에 다수회 감겨진 코일호스(230)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착 이동장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 리프팅부의 상단부에는 일정 높이를 갖거나 높이를 조절할 수 있는 지주대와, 상기 지주대의 상단부에 회전가능하게 연결된 프레임과 좌우 이동가능하게 연결된 레일을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착 이동장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 공압회로부는, 상기 코일호스(200)로부터 공압을 공급받아 일정한 공압을 공급하기 위한 메인 레귤레이터(100)와, 상기 메인 레귤레이터(100)의 공압을 분배하여 공급하는 에어라인 분배기(105)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 연결되어 리프팅 실린더(180)의 공압을 일정하게 유지하기 위한 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 상기 리프팅 실린더(180)를 동작시키기 위한 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)과, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 진공흡착패드(158) 사이에 제품을 흡착시키기 위한 흡착버튼(170)과, 상기 흡착버튼(170)과 진공흡착패드(158) 사이에 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 제 2에어 오퍼레이터 밸브(154)와 진공이젝터(150)와, 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)에 리프팅과 밸런싱의 전환을 위해 연결되는 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상기 리프팅 실린더(180)의 리프팅을 위한 제 1급속배기밸브(174)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착 이동장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 진공흡착부의 기울기를 조절하기 위한 틸팅(tilting)부와, 상기 진공흡착부의 회전각도를 조절하기 위한 로테이션부와, 상기 제품을 흡착하는 경우에 상기 진공흡착부, 틸팅부, 리프팅부 및 로테이션부를 동작시키는 압력 중 어느 하나의 일정 압력을 틸팅부의 틸팅실린더에 공급하여 상기 틸팅실린더에 대하여 상기 진공흡착부를 수직상태로 이동시키는 이동준비설정부를 더 포함하며,
    상기 조작부는, 상기 틸팅부 및 로테이션부의 동작을 더 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착 이동장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 공압회로부는, 일정한 공압을 공급하기 위한 메인 레귤레이터(100)와, 상기 메인 레귤레이터(100)의 공압을 분배하여 공급하는 에어라인 분배기(105)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 리프팅 실린더(180) 사이에 연결되어 리프팅 실린더(180)의 공압을 일정하게 유지하기 위한 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)와, 상기 에어라인 분배기(105)와 상기 리프팅 실린더(180) 사이에 상기 리프팅 실린더(180)를 동작시키기 위한 하강버튼(130) 및 상승버튼(135)과, 상기 에어라인 분배기(105)와 진공흡착패드(158) 사이에 제품을 흡착시키기 위한 흡착버튼(170)과, 상기 틸팅실린더(160)를 동작시키기 위해 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 수직틸팅스위치(140) 및 수평틸팅스위치(145)와, 상기 수직틸팅스위치(140)와 병렬연결되고 상기 수평틸팅스위치(145)와 직렬연결되어 상기 틸팅실린더(160)의 틸팅배 기를 위한 파일럿 체크밸브(118)와, 상기 흡착버튼(170)과 진공흡착패드(158) 사이에 상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 제 2오퍼레이터 밸브(154) 및 진공이젝터(150)와, 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110)에 연결되어 리프팅과 밸런싱의 전환을 위한 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상기 리프팅 밸런싱 레귤레이터(110) 사이에 연결되어 역류를 방지하는 체크밸브(115)와, 상기 제 1에어 오퍼레이터 밸브(152)와 상기 리프팅 실린더(180)의 리프팅을 위해 연결되는 제 1급속배기밸브(174)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착 이동장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 이동준비설정부는, 진공흡착패드(158)를 동작시키기 위한 흡착버튼(170)이 턴온(turn on)동작됨과 동시에 자동으로 흡착부 프레임(164)을 틸팅실린더(160)에 대하여 수직상태로 이동시키는 동작을 하는 것으로,
    상기 에어라인 분배기(105)와 연결되는 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112)와, 상기 틸팅 밸런싱 레귤레이터(112) 및 상기 흡착버튼(170)과 연결되는 셔틀밸브(172)와, 상기 셔틀밸브(172)와 P포트가 연결되고 E포트는 제 1급속배기밸브(174) 및 파일럿 체크밸브(119)와 연결되며 A포트는 상기 틸팅실린더(160)와 연결되는 제 2급속배기밸브(176)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착 이동장치.
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