KR20080090634A - 플라즈마 디스플레이의 다층전극 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이용 전극에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다층전극은 Al 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어진 제 1감광성 도전 페이스트와 Zn 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어지는 제 2 감광성 도전 페이스트를 글라스상에 형성하여 다층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, Al 또는 Zn을 도전성분말로 하는 감광성페이스트 조성물을 다층으로 형성하여 고가의 Silver전극을 대체하는 저렴한 전극을 형성함과 동시에 우수한 전기저항을 확보가 가능한 다층전극구조를 제공할 수 있는 효과가 있다.

플라즈마 디스플레이, 다층전극

Description

플라즈마 디스플레이의 다층전극 및 그 제조방법{ Mutiple layer electrode for plasma Display and Manufacturing method in Mutiple layer electrode }

도 1은 본 발명에 따른 다층전극의 제조공정을 도시한 흐름도이다.

도 2는 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도시한 도면이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

10: 글라스기판 20:제2감광성페이스트

30: 제1감광성페이스트 40:포토마스크

50: 자외선 조사

본 발명은 플라즈마 디스플레이의 전극에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 Al 또는 Zn을 도전성 분말로 하는 감광성페이스트 조성물을 다층으로 형성하여 고가의 Silver전극을 대체하는 저렴한 전극을 형성함과 동시에 우수한 전기저항을 확보가 가능한 다층전극에 관한 것이다.

평판표시장치에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; 이하 " LCD" 라 한 다), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display; 이하 " FED" 라 한다) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; 이하 " PDP" 라 한다)등이 있고, 이중 PDP는 전면기판과 후면기판 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온 및 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논(Xe)을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.

상술한데로 PDP는 박막화와 대형화가 용이할 뿐만 아니라 구조가 단순해짐으로 제작이 용이해지고 아울러 다른 평면 표시장치에 비하여 휘도 및 발광효율이 높다는 이점이 있다. 특히 플라즈마를 형성시키기 위한 방전전압의 형성에 관여하는 전극의 구조와 그 패턴은 디스플레이 장치의 박형화 및 휘도, 발광효율에 큰 영향을 미치는 구성요소인바, 이러한 전극을 보다 효율적인 방전효과를 가지면서도 박형화에 기여하며, 또한 제조비용을 저렴하게 하는 문제를 동시에 해결하려는 연구가 활발히 진행되고 있는 실정이다.

상기의 PDP 등의 디스플레이 패널, 또는 집적회로 등의 기판표면에 소정의 전극 패턴을 형성하는 방법으로는 일반적으로 스크린 인쇄법을 이용한 패터닝 방법이 사용되어 왔다. 그러나 종래의 스크린 인쇄법은 고도의 숙련도를 요하고 ,스크린에 대한 정밀도가 떨어지기 때문에 고정밀도의 대화면 패턴을 얻기가 힘들다는 단점이 있었으며, 인쇄시 스크린에 대한 단락 또는 단선이 발생할 수 있고, 해상도에 한계가 있어 미세전극을 형상하는데 제한을 받는다는 문제가 있었다.

따라서 최근에는 대면적에 적합한 고 정밀의 전극회로를 형성하기 위하여 감광성 페이스트를 이용한 포토리소그라피법이 개발되었다. 이는 감광성 페이스트를 유리기판등에 전면인쇄한 후 소정의 건조과정을 거치고 나서, 포토마스크가 부착된 자외선 노광장치를 이용하여 노광시킨 다음, 포토마스크로 차광되어 미경화된 부분을 소정의 현상액으로 현상하여 제거시키고, 이후 경화되어 남아있는 경화막을 소정의 온도로 소성시킴으로써, 패턴화된 전극을 형성하는 방법이다.

또한, 후면판 Address 전극에는 감광성 Silver Paste를 이용하여 인쇄, 소성 후 전극으로 사용하며, 전면판의 Bus 전극에는 감광성 Silver 페이스트를 사용하거나, 스퍼터링을 이용하여 Cr/Cu/Cr 형태의 박막을 증착하여 전극을 형성하기도 한다.

특히 상술한 감광성 Silver 페이스트의 경우, Silver를 주요 도전체로 하고, UV 패터닝이 가능한 유기 비이클, 그리고, 기판 Glass 와 밀착력을 향상시키기 위한 글라스 프릿트 분말로 구성되어 있다. 도전체로 사용하는 금속 분말로는 Ag, Au, Cu, Al, Ni, Pt 등을 들 수 있으나, 주로 은 분말이 많이 사용되고 있는데, 이는 도전성이 뛰어나며, 미세분말로 가공이 쉽고, 공기 중에서 소성 시 고온 산화가 발생하지 않는 장점이 있기 때문이다.

그러나, 국제적으로 Silver의 가격이 상승하면서 전극용으로 사용되는 Silver 분말의 가격이 더불어 상승하게 되어, 전극 페이스트의 원재료비 상승을 가 져오게 되었고 , Silver를 전극으로 사용했을 경우, 발생하는 전극 마이그레이션(migration) 현상으로 인해, 플라즈마 디스플레이에서 고해상도의 이미지 구현에 한계를 보이고 있다. 따라서, 이러한 전극 비용상승 및 마이그레이션 현상을 방지하기 위해 전극 페이스트에서 도전 분말로서 귀금속인 Silver를 대체하고자 하는 개발이 활발히 이루어지고 있다.

Silver를 대체하고자 하는 노력은 Silver에 비해 상대적으로 저가인 "금속 파우더에 Silver를 코팅"하는 형태로 많이 이루어지고 있으며, 한편으로는 전극 페이스트의 저가격화 실현을 위한 방안으로 금속코팅 파우더를 활용하여 감광성 페이스트를 제조하는 방안을 제시하기도 하였다.

그러나, 상기의 코팅을 통하여 도전성페이스트를 조성하는 경우에는 , 현재 플라즈마 디스플레이 전극 형성방식인 공기 분위기에서 소성을 실시하는 경우, 코팅 코아(core)분말로 사용되는 Cu,Ni의 고온 산화로 인해 적절한 전기 전도도를 확보하기 어려우며, 상기 금속 코팅을 하기 위한 코팅공정을 도입함으로써, 공정비용의 상승으로 인하여 감광성 도전 페이스트의 제조에 있어서의 제조비용이 증가하는 문제도 발생하였다.

특히, 전극용 페이스트에서 고가의 sliver 전극 페이스트는 그 고가의 비용에도 불구하고 전극의 마이그레이션이 발생하며, 특히 Al을 대체하여 적용하여도 공기 중에서 Al이 노출되는 경우 표면에 Al₂0₃ 피막이 형성되어 소결성이 저해되어 고온 소성이 어려운 제조상의 문제점도 발생하였다.

뿐만 아니라, 공법변경방법을 통하여 전극을 형성하는 Off Set 방식의 경우에는 전극과 격벽의 Align의 안정성이 저하하는 문제가 발생하였다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, Al 또는 Zn을 도전성 분말로 하는 감광성 페이스트 조성물을 다층으로 형성하여 고가의 Silver전극을 대체하는 저렴한 전극을 형성함과 동시에 우수한 전기 저항을 확보 가능한 다층전극구조를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 플라즈마 디스프레이용 전극에 있어서, Al 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어진 제 1감광성 도전 페이스트와 Zn 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어지는 제 2 감광성 도전 페이스트를 글라스 상에 순차로 형성하여 다층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층전극을 제공하여, Silver와 동등한 수준의 전기저항을 확보하면서도 저렴한 비용으로 제조가능한 전극을 제공할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 상기 다층전극은 하층에 제1감광성 도전 페이스트가 형성되고, 상층에 제2감광성 도전 페이스트가 형성되는 2층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극을 제공하여, 다층전극의 효율적인 전기전도도와 제조방식의 편의성을 도 모할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 상기 다층전극은 하층에 제2감광성 도전 페이스트가 형성되고, 상층에 제1감광성 도전 페이스트가 형성되는 2층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극을 제공하여 다층전극의 효율적인 전기전도도와 제조방식의 편의성을 도모할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 상기 다층전극은 상층과 하층에는 제1감광성 도전 페이스트가 인쇄되고, 중간층에는 제2감광성 도전 페이스트가 인쇄되는 3층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극을 제공하여 복층구조의 전극 외에 제조방식의 다양성을 확대하고 보다 우수한 전기전도도를 확보할 수 있는 전극구조를 제공할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 상기 다층전극은 상층과 하층에는 제2감광성 도전 페이스트가 형성되고, 중간층에는 제1감광성 도전 페이스트가 형성되는 3층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극을 제공하여 제조공정의 다양성을 구현할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 상기 다층전극의 각각의 두께는 1~30um 인 것을 특징으로 하는 다층전극을 제공하여 전극구조의 효율성과 전기전도도의 우수성을 동시에 확보할 수 있도록 한다.

또한, 본 발명은 1)Al 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어진 제1감광성 도전 페이스트와 Zn 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어지는 제 2 감광성 도전 페이스트를 글라스상에 형성하는 단계; 및 2)상기 1)단계에서 형성된 다층전극원형에 패턴을 전극의 패턴을 형성하는 단계를 포함하여 이루어 지는 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법을 제공하여 제조공정의 편의성을 도모한다.

또한, 본 발명은 상기 제2)단계는, 패턴의 형성은 포토리소그라피를 이용하는 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법을 제공하여 다층전극을 인쇄한 후 보다 편리하고 정밀한 방식으로 전극의 패턴을 형성할 수 있도록 한다.

또한, 본 발명은 상기 제1)단계는 제1감광성 도전 페이스트 및 제2감광성 도전 페이스트가 순차로 형성되는 2층 구조로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법을 제공하여 다층전극의 우수한 전기전도도와 제조방식의 편의성을 도모할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 상기 1)단계는 상,하층에 제1 감광성 도전 페이스트와 중간층에 제2 감광성 도전 페이스트의 3층 구조를 형성하도록 순차로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법을 제공하여 복층구조의 전극 외에 제조방식의 다양성을 확대하고 보다 우수한 전기전도도를 확보할 수 있는 전극구조를 제공할 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 상기 1)단계는 상,하층에 제2감광성 도전 페이스트와 중간층에 제1감광성 도전 페이스트의 3층 구조를 형성하도록 순차로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법을 제공한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

본 발명에서 전극을 형성하기 위해 사용하는 도전성 페이스트의 조성물은 기본적으로 도전성 분말, 무기질계 바인더, 그리고 유기 비히클(vehicle)로 구성된다. 특히 상기 도전성분말은 본 발명의 바람직한 실시예에서는 Al과 Zn을 도전성 분말로 이용하였다. 본 발명의 바람직한 실시예에서는 도전성 분말이 Al분말인 도전성 페이스트 조성물은 제1감광성 도전 페이스트, 도전성 분말이 Zn분말인 것은 제2감광성 페이스트로 구분하였다. 상기 도전성 분말은 그 크기가 1 ~ 10um의 구형의 미분을 사용함이 바람직하며, 상기 도전성 분말의 함량은 무게 비로 하여 Al,Zn 모두 30~80wt%로 함이 바람직하다.

상기 무기질 바인더 중 글라스 프릿트(Glass Frit)로는 PbO-SiO2 계, PbO-SiO2-B2O3 계, ZnO-SiO2 계, ZnO-B2O3-SiO2 계, Bi2O3-B2O3-ZnO-SiO2 계 중 어느 하나를 선택하여, 3~10wt%로 첨가하여 밀착력을 얻을 수 있도록 함이 바람직하다.

감광성 형태로 제조하기 위하여,유기 바인더 폴리머로는 아크릴계나 하이드록시프로필, 셀룰로오즈 등을 약 5~10wt%정도 사용할 수 있고, 모노머로는 카르복실기를 갖는 모노머를 사용할 수 있고, 그외 부가 모노머와의 공중합체로 사용할 수 있다. 그외 광 개시제, 솔벤트 등을 사용하여 유변 특성을 조절할 수 있다.

상기 조성물을 이용해, 바인더 폴리머와 솔벤트를 용해한 후, 모노머, 광개시제를 PreMixing하고, Al 및 Zn 파우더와 글라스 프릿트를 PLM (Planetary Mixer)을 통해 혼합한다. 이를 3Roll Mill을 통해 기계적 혼합하고, Filtering 및 탈포를 통해 도전성 페이스트를 제조하였다.

상기와 같이 제조된 Al, Zn 도전성 페이스트를 Al과 Zn을 번갈아 가며 전극 을 형성하여, 전기전도도가 우수한 도전체를 형성하였다.

도 1을 참조하면, 도 1은 본 발명에 따른 바람직한 일실시예로서 다층전극의 제조방법을 설명한 제조공정도이다. 상기 도면 1을 참조하여 본 발명의 구성 및 제조공정을 설명한다.

우선, 글라스기판(10)에 도전성 분말을 Zn 분말인 것을 주성분으로 하는 제2감광성 페이스트(20)를 형성한다(S1). 다층구조로 전극을 형성하기 위하여 상기 형성되는 제2감광성페이스트를 형성하는 과정은 인쇄, 스프레이, 증착 등 다양한 방법이 고려 될 수 있으며, 특히 상기 글라스 기판 위에 제2감광성 페이스트를 인쇄하는 방법으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 글라스 기판은 특정하게 유리에 한정되는 것은 아니며, 필름형태를 포함한 다양한 종류의 기판 중 어느 하나를 선택할 수 있다. 상기 제1감광성 도전 페이스트를 형성한 후에는 건조과정을 거치는 것이 바람직하다. 특히 건조의 온도는 150℃에서 10분간 건조를 실시함이 더욱 바람직하다.

다음으로 상기와 같이 건조 과정을 실시한 후에 그 위에 제1감광성 페이스트(30)을 형성한다(S2).이 경우 역시 형성하는 다층전극을 형성하는 방법은 여러 가지 방법이 고려 될 수 있으나, 본 실시예에서는 상기 글라스 기판위에 상기 감광성페이스트를 인쇄하는 방법을 사용함이 바람직하다. 역시 인쇄 후에는 건조과정을 거친다.

본 발명에 따른 2층 구조의 다층전극의 경우에는 상기 2층의 전극구조를 인 쇄한 후, 원하는 패턴으로 전극을 패터닝한다. 이와 같은 패터닝 방법은 다양한 방법을 고려할 수 있으나, 본 발명의 바람직한 일 실시예로는 포토리소그라피를 이용한다.

일단, 원하는 패턴이 형성된 포토마스크(40)를 상기 2층 구조의 전극 위에 놓고 노광을 실시한다(S3). 이 경우 자외선(50)을 이용함이 바람직하며, 특히 노광은 300~500mJ/cm2으로 실시함이 더욱 바람직하다.

패턴의 형성 후 Na2CO3 등의 현상액을 이용하여 현상을 실시한다(S4). 패터닝된 부분에서 자외선에 노출된 부분은 상기 현상액에 의해 식각된다.

상기 현상공정 후에 건조단계를 거치며, 형성된 전극은 580℃, 30분간 소성한다. 이와 같은 공정을 통하여 상층에는 Zn, 하층에는 Al으로된 2층 구조의 다층전극이 형성된다.

본 발명의 다른 실시예로서 도 2를 살펴보면, 상기와 동일한 과정을 거치되, 단지 상층과 하층의 배열이 상층이 Al, 하층이 Zn으로 되도록 제작할 수 있다.(도2-(a)).

또한, 본 발명의 또 다른 실시예로 상기 제1 및 제2 감광성 도전 페이스를 3층 구조로 형성하는 것도 생각할 수 있다. 즉, 도 2-(b)에 도시된 바와 같이 중간에 제2감광성 도전 페이스트인 Zn 전극층을 형성하고, 그 상하층에 제1감광성 페이스트인 Al전극이 형성되도록 순차적으로 인쇄한 후 상기 전극의 형성공정을 거쳐 다층전극을 형성할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 예로는 도 2-(c)에 도시된 바와 같이, 중간에 제1감광 성 도전 페이스트인 Al 전극층을 형성하고, 그 상하층에 제2감광성 도전 페이스트인 Zn전극이 형성되도록 순차적으로 인쇄한 후 상기 전극의 형성공정을 거쳐 다층전극을 형성할 수 있다. 즉, 상기 2개의 감광성 도전 페이스트를 다층으로 인쇄하여 다양한 다층구조의 전극의 실시예가 가능한 것이다.

상기와 같은 본 발명의 다층구조로 인한 전극구조는 기존의 값비싼 Silver전극을 대체함과 동시에 전기전도도도 우수한 저렴한 전극구조를 확보할 수 있는 장점이 있다. 이에 대한 본 발명에 따른 다층전극의 전기저항 특성의 일 실험례를 아래에서 구체적으로 설명한다.

{실험례 1-다층전극 형성을 통한 전기저항특성}

가.감광성 페이스트 조성물제조

금속 분말로는 Al과 Zn 파우더를 각각 사용하였고, 무게비로 하여 30~ 80wt%로 함유하고, 무기질 바인더 중 글라스 프릿으로는 입경이 약 1㎛, Bi2O3-B2O3-ZnO-SiO2, 중량 5wt%, 유기 비클로는 아크릴계 폴리머, Functional Monomer, 트리메틸 펜틸 포스핀 옥사이드 그리고 솔벤트로는 카비톨 에세테이트 및 기타 첨가제를 사용하였다.

그리고, 이렇게 배합된 감광성 페이스트를 3 Roll Mill을 통해 분산시킨 후, 필터링을 통해 큰 입자를 제거하고, 탈포를 통해 기포를 제거하였다.

나. 전극의 제조방식

전극 제조 방식은 기판으로는 PD200 Glass, 제판으로는 SUS325, 건조는 150℃ 20분, 노광은 100~500mJ/㎠, 현상은 0.4% Na2CO3 수용액, 그리고, 소성은 560℃ 30분을 실시하였다. 다층 전극을 형성하는 방식으로는 인쇄 후 건조 그리고 그 상부에 인쇄하는 형태로 진행하였다. 그리고, 각 인쇄 두께는 소성 후 5~6㎛으로 하였다. Zn의 경우, 융점이 약 420℃의 저융점 금속이므로 인쇄 후 소성 시 수축량이 커서 다층으로 하더라도 인쇄 두께는 크게 증가하지 않는다. 그리고, 면저항 값이 30 mΩ/□이하이면, 플라즈마 디스플레이용 하판 전극으로 사용할 수 있다.

이하의 표에서 다층형태항목에 Al/Zn은 상층에 제1감광성 도전 페이스트가, 하층에는 제2감광성페이스트가 형성된 2중구조를 나타내며, Al/Zn/Al은 중간층에 제2감광성 도전페이스트가 형성되고, 상하층에 제1감광성 도전 페이스트가 형성되는 구조의 다층전극을 나타낸다.

#3의 형태에서 전기 저항이 가장 낮은 값을 나타내었으며, 이는 소결이 미흡한 Al 파우더 사이를 Zn이 메움으로써 소결밀도를 좋게 하기 때문이다.

전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

본 발명에 따르면, Al 또는 Zn을 도전성 분말로 하는 감광성 페이스트 조성물을 다층으로 형성하여 고가의 Silver전극을 대체하는 저렴한 전극을 형성함과 동시에 우수한 전기저항을 확보가 가능한 다층전극구조를 제공할 수 있는 효과가 있다.

Claims (11)

1. 플라즈마디스프레이용 전극에 있어서,

   Al 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어진 제1감광성 도전 페이스트와

   Zn 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어지는 제2감광성 도전 페이스트를 글라스 상에 형성하여 다층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층전극.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 다층전극은 하층에 제1감광성 도전 페이스트가 형성되고, 상층에 제2감광성 도전 페이스트가 형성되는 2층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 다층전극은 하층에 제2감광성 도전 페이스트가 형성되고, 상층에 제1감광성 도전 페이스트가 형성되는 2층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 다층전극은 상층과 하층에는 제1감광성 도전 페이스트가 형성되고, 중간층에는 제2감광성 도전 페이스트가 형성되는 3층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극.
5. 청구항 1에 있어서,

   상기 다층전극은 상층과 하층에는 제2감광성 도전 페이스트가 형성되고, 중간층에는 제1감광성 도전 페이스트가 형성되는 3층 구조인 것을 특징으로 하는 다층전극.
6. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 다층전극의 각각의 두께는 1~30um 인 것을 특징으로 하는 다층전극.
7. 1)Al 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어진 제 1감광성 도전 페이스트와 Zn 분말로 이루어진 도전성 분말과 무기질계바인더 및 유기 비히클(vehicle)을 혼합하여 이루어지는 제 2 감광성 도전 페이스트를 글라스상에 형성하는 단계; 및

   2)상기 1)단계에서 인쇄된 다층전극원형에 패턴을 전극의 패턴을 형성하는 단계;

   를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 제2)단계는, 상기 패턴의 형성을 포토리소그라피를 이용하여 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법.
9. 청구항 8에 있어서,

   상기 제1)단계는 제1감광성 도전 페이스트 및 제2감광성 도전 페이스트가 순차로 형성되는 2층 구조로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법.
10. 청구항 8에 있어서,

    상기 1)단계는 상,하층에 제1감광성 도전 페이스트와 중간층에 제2감광성 도전 페이스트가 배치되는 3층 구조를 형성하도록 순차로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법.
11. 청구항 8에 있어서,

    상기 1)단계는 상,하층에 제2감광성 도전 페이스트와 중간층에 제1감광성 도전 페이스트가 배치되는 3층 구조를 형성하도록 순차로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다층전극의 형성방법.

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