KR20080085390A - 육불화황 가스를 이용한 누설가스 및 진공누설 측정장치 - Google Patents

육불화황 가스를 이용한 누설가스 및 진공누설 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 누설가스 및 진공을 측정하기 위한 장치로서, 특히 SF6 가스와 레이저가 반응시 팽창하는 성질을 이용하여 누설가스 또는 진공을 측정하는 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 누설가스 측정 장치는 내부 공기를 외부로 배출하는 진공펌프; 상기 진공펌프의 동작에 의해 외부 공기를 흡입하는 가스 흡입구; 상기 가스 흡입구와 연결되고 흡입된 공기 내에 존재하는 가스를 감지하는 가스 감지부; 상기 가스 감지부 내의 가스와 반응하도록 상기 가스 검출기로 레이저 빔을 발사하는 레이저 발생기; 상기 레이저빔과 가스의 반응으로 상기 가스감지기 내부의 압력변동을 감지하는 마이크로폰; 상기 가스 감지부를 통과한 레이저 빔을 측정하는 레이저 감지부; 상기 마이크로폰과 레이저 감지부의 감지 신호를 수신하여 감지된 가스량을 측정하고 측정값을 외부로 출력하는 제어부; 및 상기 제어부에서 출력된 신호를 인지할 수 있도록 출력하는 출력장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
SF6, 누설가스, 가스 감지기, 레이저 발생기

Description

육불화황 가스를 이용한 누설가스 및 진공누설 측정장치{Measuring Appratus for leaking gas and vacuum leak using SF6 gas}
도 1은 본 발명의 실시에 따른 누설가스 및 진공누설 측정장치의 구성도
도 2는 본 발명의 실시에 따른 누설가스 측정장치의 구성도
도 3은 본 발명의 실시에 따른 진공누설 측정장치의 구성도
도 4는 본 발명에 따른 장치를 이용하여 누설가스 또는 진공 누설을 측정하는 개념도
< 도면의 주요부에 대한 설명 >
110 : 가스 흡입/배출구 120 : 가스 저장부
130 : 밸브 140 : 진공 펌프
150 : 가스 감지부 151 : 마이크로 폰
152 : 레이저 감지부 160 : 레이저 발생기
170 : 제어부 180 : 출력부
본 발명은 누설가스 및 진공을 측정하기 위한 장치로서, 특히 SF6(육불화황) 가스와 레이저가 반응시 팽창하는 성질을 이용하여 누설가스 또는 진공을 측정하는 장치에 관한 것이다.
누설가스를 측정하는 방법으로는 종래 에어 차압식 또는 에어 감압식 누설 감지 방식 등이 실시되었고, 최근에는 헬륨가스를 이용한 방법이 사용되기도 한다.
그러나 이러한 방법은 주변 내의 온도 변화라든지 외부 환경에 따라 정확도가 떨어지고 정밀한 측정이 어려운 문제점이 있었다.
또한, 종래에는 누설가스를 측정하는 것에만 주안점을 두었고, 진공 파이프 등의 진공이 새는 곳을 측정하는 장치 및 방법이 없었다.
본 발명은 SF6 가스 또는 이와 유사한 주파수대를 가진 가스를 이용하여 누설가스를 측정할 뿐만 아니라 진공이 새는 곳을 측정하는 장치에 관한 것이다.
본 발명에서는 진공 파이프 등 진공인 곳에 흠이 생겨 진공인 곳을 외부의 공기가 흡입되는 것을 진공누설이라고 정의한다. 즉, 진공누설을 측정한다는 것은 진공 상태가 파괴되고 진공인 곳으로 외부의 공기가 들어갈 때, 흡입되는 공기량을 측정한다는 것이다.
본 발명은 SF6 가스량을 측정하여 H2 또는 N2 가스 등의 누설가스량을 측정할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 SF6 가스나 이와 파장대가 유사한 가스를 이용하여 진공 파이프 등의 진공이 누설되는 것을 측정할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 가스누설과 진공누설을 동시에 측정할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 휴대가 간편한 누설가스 측정장치 및 진공누설 측정장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 누설가스 측정 장치는 내부 공기를 외부로 배출하는 진공펌프; 상기 진공펌프의 동작에 의해 외부 공기를 흡입하는 가스 흡입구; 상기 가스 흡입구와 연결되고 흡입된 공기 내에 존재하는 가스를 감지하는 가스 감지부; 상기 가스 감지부 내의 가스와 반응하도록 상기 가스 검출기로 레이저 빔을 발사하는 레이저 발생기; 상기 레이저빔과 가스의 반응으로 상기 가스감지기 내부의 압력변동을 감지하는 마이크로폰; 상기 가스 감지부를 통과한 레이저 빔을 측정하는 레이저 감지부; 상기 마이크로폰과 레이저 감지부의 감지 신호를 수신하여 감지된 가스량을 측정하고 측정값을 외부로 출력하는 제어부; 및 상기 제어부에서 출력된 신호를 인지할 수 있도록 출력하는 출력장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공누설 측정장치는 외부의 진공파이프에 연결되고 공기가 배출되는 공기 배출구; 진공측정을 위해 가스를 저장하고 있는 가스 저장부; 상기 가스 저장부와 연결되어 있고, 상기 공기 배출구를 통해 공기가 외부로 배출될 때 상기 저장장치에 있던 가스를 흡입하고 감지하는 가스 감지부; 상기 가스 감지부 내의 가스와 반응하도록 상기 가스 검출기로 레이저 빔을 발사하는 레이저 발생기; 상기 레이저빔과 가스의 반응으로 상기 가스 감지부 내부의 압력변동 을 감지하는 마이크로폰; 상기 가스 감지부를 통과한 레이저 빔을 측정하는 레이저 감지부; 상기 마이크로폰과 레이저 감지부의 감지 신호를 수신하여 감지된 가스량을 측정하고 측정값을 외부로 출력하는 제어부; 및 상기 제어부에서 출력된 신호를 인지할 수 있도록 출력하는 출력장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 누설가스 및 진공누설 측정장치는 누설가스 측정 또는 진공누설 모드를 선택하는 모드 선택부; 공기를 외부로 배출하는 진공펌프;
상기 진공펌프의 동작에 의해 외부 공기를 흡입 또는 배출하는 가스 흡입/배출구; 진공측정을 위해 가스를 저장하고 있는 가스 저장부; 상기 가스 흡입/배출구와 연결되고 흡입된 공기 내에 존재하는 가스를 감지하는 가스 감지부; 상기 가스 감지부 내의 가스와 반응하도록 상기 가스 검출기로 레이저 빔을 발사하는 레이저 발생기; 상기 레이저빔과 가스의 반응으로 상기 가스감지기 내부의 압력변동을 감지하는 마이크로폰; 상기 가스 감지부를 통과한 레이저 빔을 측정하는 레이저 감지부; 상기 모드 선택부에서 누설가스 측정 모드가 선택되는 경우에는 상기 진공펌퍼를 동작시키고, 상기 마이크로폰과 레이저 감지부의 감지 신호를 수신하여 감지된 가스량을 측정하고 측정값을 외부로 출력하는 제어부; 및 상기 제어부에서 출력된 신호를 인지할 수 있도록 출력하는 출력장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 살펴보도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시에 따른 가스 누설 및 진공 측정장치의 구성을 개략적으로 나타낸 것이다. 본 발명은 SF6 가스를 표준가스로 하여 SF6가스를 검출하는 것을 주된 내용으로 하는데, 도시한 바와 같이 가스 누설 및 진공 측정 장치는 크게 본체(100)와 본체에 착탈 가능한 외부 장치(110, 180)로 구성된다.
상기 외부장치는 본체에 부착되어 측정하고자 하는 가스를 흡입하는 가스 흡입부(110)와 본체에서 측정된 값을 사용자가 인지할 수 있도록 출력하는 출력부(180)로 구성된다. 상기 흡입부(110)는 휴대하기 간편한 형태로 이루어져 있고 본체와 연결관으로 연결되어 있다. 상기 출력부(180)는 사용자가 인식할 수 있는 것이면 가능하다. 스피커나 헤드셋이 될 수 있음은 물론이고 LED 조명장치가 될 수도 있다. 또한, USB 등의 인터페이스를 통해 컴퓨터로 연결하는 것도 가능하다.
상기 본체는 SF6 가스나 알코올 등을 저장하는 가스 저장부(120)와, 상기 가스 저장부에서 불순물을 제거하는 전자밸브(EMV, 130)와, 외부 공기를 흡입 가능하도록 펌핑 작용을 진공 펌프(140)와, 상기 가스 흡입부(110) 및 가스 저장부(120)와 연결되어 있고 누설된 가스량 또는 진공누설을 측정하는 가스 감지부(150)와, 상기 가스 감지부에 레이저를 조사하는 레이저 발생기(160)와, 상기 레이저와 반응하여 상기 가스 감지부(150) 내부의 압력 변동을 감지하는 마이크로폰(151)과, 상기 가스 감지부(150)에 흡수되지 않고 통과한 레이저의 양을 감지하는 레이저 감지부(152)와, 상기 마이크로폰(151)과 레이저 감지부(152)의 값을 수신하고 어느 정도의 SF6 가스가 측정되었는지 계산하고 RF 신호를 통해 레이저 발생기(160)를 제어하는 제어부를 포함한다.
상기와 같이 SF6 가스의 양이 측정되면, 전체 가스에서 SF6가스가 포함되어 있는 비율을 측정하여 누설되는 가스의 양을 측정할 수 있다. 예를 들어 H2 가스에 0.1%의 SF6 가스가 포함되어 있다면, 측정된 SF6 가스의 양에 1000배를 하여 누설된 H2 가스의 양을 측정할 수 있다.
상기 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 누설가스 및 진공 측정장치는 모드 전환 스위치를 포함하고 있어, 모드 선택이 가능하다.
누설가스를 측정하고자 할 경우에는 상기 제어부(170)가 상기 진공 펌프(140)를 작동하여 외부의 공기가 흡입되도록 하여 누설가스를 측정하고, 진공누설을 측정하고자 하는 경우에는 진공 펌프를 작동시키지 않고 상기 흡입부(110)를 진공 측정부위에 접촉하면, 압력차에 의해 측정장치(100) 내부의 공기가 외부로 배출되고, 이때 가스저장부(120)에 저장되어 있던 가스가 연결관(141)을 통해 가스 감지부로 이동하게 된다.
가스 이동 후에는 누설가스 측정 때와 동일하게 가스의 양을 측정할 수 있다.
이하에서는 누설가스 측정 모드와 진공누설 측정 모드를 구분하여 살펴보기로 한다.
도 2는 누설가스 측정 모드시의 장치 구성도, 즉 누설가스 측정장치의 구성도를 나타낸 것이다.
예를 들어 H2 가스가 흐르고 있는 파이프에서 가스가 새고 이를 측정한다고 하자. 즉, 도2는 H2 (99%) 와 SF6 (0.1% ) 혼합 가스가 파이프류(200)의 틈으로부터 누설이 발생하였을 때의 측정 과정을 보여 주고 있다.
누설가스 측정 모드가 작동되면, 제어부(170)를 통해 RF 신호가 발생 될 뿐 만 아니라 진공 펌프(140)도 작동을 시작한다.
상기 진공펌프(140)의 작동에 의해 파이프(200)에서 누설된 가스가 흡입부(110)를 통해 가스 감지부(150) 내로 흡입되고, 흡입된 가스는 레이저와 반응하여 팽창하고 내부의 압력이 증가하게 된다. 상기 레이저 빔은 CO2 레이저인 것이 바람직하다.
마이크로폰(151)에서는 증가된 압력을 감지한다. 그리고 상기 반응하여 흡수된 레이저를 제외한 나머지는 레이저 감지부(152)를 통해 측정된다. 예를 들어 10%의 레이저만이 SF6 가스와 반응하였다면, 나머지 90%의 레이저는 상기 측정기(152)에 의해 측정된다. 반응하는 레이저의 양과 레이저 감지부에 의해 검출되는 레이저의 양은 SF6 가스의 양에 따라 달라지므로, 상기 마이크로폰의 값과 레이저 감지부의 값을 분석하여 SF6의 양을 측정할 수 있다.
제어부(170)는 상기 진공펌프나 레이저 발생기를 제어하는 외에도 측정값을 분석하여 SF6 양을 계산하는 기능도 하게 된다.
이러한 방식으로 측정된 값은 출력부를 통해 사람이 인식할 수 있도록 외부로 출력되는데 출력방식은 다양한 방식이 사용될 수 있다. 예를 들어 상기 흡입부(110)에 LED 등을 부착하여 표시할 수도 있으며, 헤드셋을 통해 간편하게 인식할 수도 있고, 컴퓨터 장치 등을 통해 표시할 수도 있다.
이하에서는 흡입구와 표시장치가 부착된 통합 모듈을 휴대용 작동기라고 칭한다.
상기 휴대용 작동기에 있는 붉은 색의 막대 지시계는 가스 감지부(150)에서 의 회로가 정상적으로 작동되고 있음을 의미한다. 초기 스위치를 "누설가스 측정모드" 위치에 놓았을 때 붉은 색의 막대 지시계로 시작 하지만, 1 내지 2 분 정도 있으면 연녹색의 막대 지시계로 바뀌는 것을 알 수 있다. 연녹색의 막대 지시계로 바뀌기 전에 1 KHz 정도의 단순 음이 들리게 되는데 이는 레이저가 정상적으로 작동되고 있음을 의미한다.
연녹색의 막대 지시계로 바뀌었다는 것은 레이저가 정상적으로 작동되고 있음을 의미한다. 레이저 계측기(미도시)를 이용하여 레이저의 파워량을 알아볼 수도 있을 것이다. 파워량을 확인하고 레이저 파워가 충분하지 않을 것으로 판단될 때에는 배터리를 바꾸거나 전원 계통을 확인하여 보아야 할 것이다.
정상적으로 동작하고 SF6 가스가 측정된다면 상기 막대 지시계의 색깔이 점점 연녹색으로 변하게 되고 검출량에 따라 변화 정도가 심하게 된다.
상기 막대 지시계의 색깔은 다양하게 변경가능함은 물론이고 디지털 숫자로도 표시가능하다.
누설가스 측정 모드에서는 공기가 지속적으로 흡입되고 있으므로 휴대용 작동기를 옮겨 측정하고자 하는 위치로 옮기면 바로 다른 부위의 측정이 가능하다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예로서 진공 파이프 등에 틈이 생겨 진공이 새는 곳을 탐지하는 장치이다. 도 2의 누설가스 측정 장치와 거의 동일하나 진공펌프 대신에 가스 저장부(120)를 구비하고 있다는 것이 상이하다.
진공 측정 모드가 작동되면, 펌프가 작동되는 대신에 압력 차이에 의해 공기가 외부로 유출된다. 즉, 누설가스 측정시의 공기 흡입부(110)가 진공누설 측정시 에는 공기 유출부(110)로서의 기능을 한다. 하지만 공기의 흐름만이 바뀔 뿐 실질적인 구성은 동일하다.
진공파이프(300)에 상기 공기 유출부(110)를 접촉하면, 틈이 발생한 부위에서 진공파이프와 장치 간의 압력차가 발생하게 되고, 장치 내부의 공기가 파이프로 흡입되게 된다.
내부 공기가 진공 파이프(300)로 흡입됨에 따라 가스 저장부(120)에 저장되어 있던 가스가 가스 감지부(150)로 이동하게 된다.
상기 가스 저장부(120)에는 SF6 가스를 저장하고 이를 검출하는 것이 가장 정확하나, SF6 가스를 보관 및 휴대의 어려움이 있으므로 비슷한 파장대를 지닌 알코올이나 아세톤을 이용하는 것도 가능하다. 알코올을 묻힌 솜을 상기 가스 저장부에 넣어 두면, 공기가 상기 진공 파이프(300)로 흡입되면서 알코올 가스가 상기 가스 감지부(150)로 이동하게 된다.
이동 후에는 레이저와 반응하여 팽창하게 되고, 마이크로폰(151) 및 레이저 감지부(152)를 통해 반응 여부를 체크할 수 있으므로 진공이 새는 곳을 정확하게 찾을 수 있다.
이후의 절차는 상기 도 2에서 설명한 것과 동일하다.
다만, 차이점은 누설가스 검출의 경우에는 정확한 수치의 검출이 가능하지만, 진공누설의 경우에는 정확한 수치의 검출보다는 진공이 새는 장소만을 검출하기에 적합하다.
도 4는 본 발명에 따른 누설가스 및 진공누설 측정장치를 이용하여 누설가스 를 측정하는 모습은 나타낸 것이다.
도면에서 헤드 셋(401)은 출력 장치로서 가스가 누설되거나 진공이 새는 곳에서는 소리를 내게 된다. 또한 휴대용 작동기(402)에도 시각으로 식별 가능한 표시 장치가 설치될 수 있으며, 휴대용 작동기(402) 끝부분을 측정하고자 하는 곳에 접속하면 공기가 흡입 또는 배출된다. 흡입되는 경우에는 누설가스의 양을 측정하게 되고, 배출되는 경우에는 진공이 새는 곳으로 판단하게 된다. 상기 휴대용 작동기(402)는 가스 이동이 가능한 관으로 본체(403)와 연결되어 있다. 물론 제어신호 전송이 가능한 신호 전송선으로 본체(403)와 연결되어 있어야 함은 당연하다.
모드 선택부는 상기 휴대용 작동기(402)에 형성되는 것이 바람직하다. 그러나 이에 한정되지 않고 본체 등의 원하는 위치에 다양하게 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 가스 검출장치는 고감도의 SF6가스 검출기이므로 아주 소량, 즉 0.1% 정도의 SF6가스가 아주 미세하게 스며 나와도 표준가스의 확산에 대한 검출이 가능하다. 이를 이용하여 다른 가스들과 혼합하여 사용함으로써 다른 가스의 검출에 이용하는 것이 가능하다. 즉, 99%의 순도를 가지는 H2에 SF6가스 0.1% - 0.5% 만 혼합하여 사용하여도 H2 리크 측정이 가능하다. 이는 H2 리크 뿐만 아니라 다른 가스들의 리크 검출에도 사용이 가능하다.
또한, SF6 가스의 검출에 가장 민감하지만 레이저 흡수 주파수 대역이 유사한 아세톤(Aceton) 및 알코올(Alchole)의 검출도 측정이 가능하다.
또한, SF6, 아세톤 또는 알코올 등을 사용하여 진공누설 측정도 가능하도록 설계되었다.

Claims (22)

  1. 내부 공기를 외부로 배출하는 진공펌프;
    상기 진공펌프의 동작에 의해 외부 공기를 흡입하는 가스 흡입구;
    상기 가스 흡입구와 연결되고 흡입된 공기 내에 존재하는 가스를 감지하는 가스 감지부;
    상기 가스 감지부 내의 가스와 반응하도록 상기 가스 검출기로 레이저 빔을 발사하는 레이저 발생기;
    상기 레이저빔과 가스의 반응으로 상기 가스감지기 내부의 압력변동을 감지하는 마이크로폰;
    상기 가스 감지부를 통과한 레이저 빔을 측정하는 레이저 감지부;
    상기 마이크로폰과 레이저 감지부의 감지 신호를 수신하여 감지된 가스량을 측정하고 측정값을 외부로 출력하는 제어부;
    상기 제어부에서 출력된 신호를 인지할 수 있도록 출력하는 출력장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설가스 측정장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 레이저 발생기는 CO2레이저를 발생하는 것을 특징으로 하는 누설가스 측정장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제어부는 RF 신호를 통해 상기 레이저 발생기를 제어 하는 것을 특징으로 하는 누설가스 측정장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 가스 감지부는 광음향감지기(photo acoustic detector)인 것을 특징으로 하는 누설가스 측정장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 출력장치는 스피커 또는 헤드 셋을 통해 감지량에 따라 음의 강도를 조절하거나, 다수의 LED를 구비하고 감지량에 따라 온(on)되는 LED의 개수를 조절하거나, 측정량이 디지털 숫자로 표시되거나, 컴퓨터와 연결하여 감지량을 표시하는 것을 특징으로 하는 누설가스 측정장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 가스 감지부는 SF6가스를 감지하는 것을 특징으로 하는 누설 가스 측정장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 누설 가스 측정장치는 SF6가스, N2가스 또는 H2가스를 측정하는 것을 특징으로 하는 누설 가스 측정장치.
  8. 외부의 진공파이프에 연결되고 공기가 배출되는 공기 배출구;
    진공측정을 위해 가스를 저장하고 있는 가스 저장부;
    상기 가스 저장부와 연결되어 있고, 상기 공기 배출구를 통해 공기가 외부로 배출될 때 상기 저장장치에 있던 가스를 흡입하고 감지하는 가스 감지부;
    상기 가스 감지부 내의 가스와 반응하도록 상기 가스 검출기로 레이저 빔을 발사하는 레이저 발생기;
    상기 레이저빔과 가스의 반응으로 상기 가스 감지부 내부의 압력변동을 감지하는 마이크로폰;
    상기 가스 감지부를 통과한 레이저 빔을 측정하는 레이저 감지부;
    상기 마이크로폰과 레이저 감지부의 감지 신호를 수신하여 감지된 가스량을 측정하고 측정값을 외부로 출력하는 제어부;
    상기 제어부에서 출력된 신호를 인지할 수 있도록 출력하는 출력장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공누설 측정장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 가스 저장부에는 SF6 가스, 아세톤 또는 알코올 중 어느 하나가 저장된 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 진공누설 측정장치.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 가스 저장부에는 알코올을 적신 솜이 저장되는 것을 특징으로 하는 진공누설 측정장치.
  11. 제 8항에 있어서, 상기 가스 저장부와 가스 감지부 사이에는 불순물이 흡입되는 것을 방지하는 밸브가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공누설 측정장치.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 레이저 발생기는 CO2레이저를 발생하는 것을 특징으 로 하는 진공누설 측정장치.
  13. 제 8항에 있어서, 상기 제어부는 RF 신호를 통해 상기 레이저 발생기를 제어하는 것을 특징으로 하는 진공누설 측정장치.
  14. 제 8항에 있어서, 상기 가스 감지부는 광음향감지기(photo acoustic detector)인 것을 특징으로 하는 진공누설 측정장치.
  15. 제 8항에 있어서, 상기 출력장치는 스피커 또는 헤드 셋을 통해 감지량에 따라 음의 강도를 조절하고나, 다수의 LED를 구비하고 감지량에 따라 LED의 개수를 조절하거나, 측정량이 디지털 숫자로 표시되거나, 컴퓨터와 연결되어 감지량을 표시하는 것을 특징으로 하는 진공누설 측정장치.
  16. 누설가스 측정 또는 진공누설 모드를 선택하는 모드 선택부;
    공기를 외부로 배출하는 진공펌프;
    상기 진공펌프의 동작에 의해 외부 공기를 흡입 또는 배출하는 가스 흡입/배출구;
    진공측정을 위해 가스를 저장하고 있는 가스 저장부;
    상기 가스 흡입/배출구와 연결되고 흡입된 공기 내에 존재하는 가스를 감지하는 가스 감지부;
    상기 가스 감지부 내의 가스와 반응하도록 상기 가스 검출기로 레이저 빔을 발사하는 레이저 발생기;
    상기 레이저빔과 가스의 반응으로 상기 가스감지기 내부의 압력변동을 감지하는 마이크로폰;
    상기 가스 감지부를 통과한 레이저 빔을 측정하는 레이저 감지부;
    상기 모드 선택부에서 누설가스 측정 모드가 선택되는 경우에는 상기 진공펌퍼를 동작시키고, 상기 마이크로폰과 레이저 감지부의 감지 신호를 수신하여 감지된 가스량을 측정하고 측정값을 외부로 출력하는 제어부;
    상기 제어부에서 출력된 신호를 인지할 수 있도록 출력하는 출력장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설가스 및 진공누설 측정장치.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 가스 저장부에는 SF6 가스, 아세톤 또는 알코올 중 어느 하나가 저장되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 누설가스 및 진공누설 측정장치.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 가스 저장부에는 알코올을 적신 솜이 저장되는 것을 특징으로 하는 누설가스 및 진공누설 측정장치.
  19. 제 16항에 있어서, 상기 가스 저장부와 가스 감지부 사이에는 불순물이 흡입되는 것을 방지하는 밸브가 형성되는 것을 특징으로 하는 누설가스 및 진공누설 측 정장치.
  20. 제 16항에 있어서, 상기 레이저 발생기는 CO2레이저를 발생하는 것을 특징으로 하는 누설가스 및 진공누설 측정장치.
  21. 제 16항에 있어서, 상기 가스 감지부는 광음향감지기(photo acoustic detector)인 것을 특징으로 하는 누설가스 및 진공누설 측정장치.
  22. 제 16항에 있어서, 상기 출력장치는 스피커 또는 헤드 셋을 통해 감지량에 따라 음의 강도를 조절하고나, 다수의 LED를 구비하고 감지량에 따라 LED의 개수를 조절하거나, 측정량이 디지털 숫자로 표시되거나, 컴퓨터와 연결되어 감지량을 표시하는 것을 특징으로 하는 누설가스 및 진공누설 측정장치.
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