KR20080078380A - 크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로어 어셈블리 - Google Patents

Abstract

크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로어 어셈블리가 제공된다. 상기 크린룸용 플로어 패널은 중앙부에 커버끼움홀이 형성되고 상기 커버끼움홀 주변부에 지지턱이 형성된 프레임 및, 상기 커버끼움홀에 끼워지되 가장자리부에 상기 지지턱에 걸리도록 걸림턱이 형성된 커버를 포함한다.

Description

크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로어 어셈블리{Floor panel for clean room and floor assembly having the same}

도 1은 종래 크린룸의 일예를 도시한 사시도이다.

도 2는 도 1의 A 부분을 확대도시한 사시도이다.

도 3은 종래 플로어 패널이 크린 서브 팹 영역으로 떨어지고 있는 상태를 도시한 사시도이다.

도 4는 종래 크린룸에 사용되는 플로어 어셈블리의 다른 예를 도시한 사시도이다.

도 5는 본 발명에 따른 크린룸의 일실시예를 도시한 사시도이다.

도 6은 도 5의 B 부분을 확대도시한 사시도이다.

도 7과 도 8은 본 발명에 따른 플로어 패널의 일실시예들을 도시한 분해사시도이다.

도 9는 본 발명에 따른 플로어 패널이 크린 서브 팹 영역으로 떨어지지 않고 있는 상태를 도시한 사시도이다.

본 발명은 반도체 소자가 제조되는 크린룸에서 사용되는 크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로어 어셈블리에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자는 많은 공정을 거쳐 제조되고, 제조과정 중 주변 환경에 의한 오염의 침투는 품질 및 수율에 큰 영향을 미치게 되므로 일정 청정도가 유지된 크린룸 내에서 공정이 수행되어진다.

도 1은 종래 크린룸의 일예를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대도시한 사시도이며, 도 3은 종래 플로어 패널이 크린 서브 팹 영역으로 떨어지고 있는 상태를 도시한 사시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래 크린룸(100)은 플로어 어셈블리(160)에 의해 크린 팹 영역(120)과 상기 크린 팹 영역(120)의 하부에 마련되는 크린 서브 팹 영역(140)으로 구획된다.

상기 크린 팹 영역(120)에는 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 장비(124) 등이 설치되어 반도체 소자의 제조공정이 직접 진행되는 영역으로, 다시 격벽(125) 등에 의해 반도체 장비(124)가 설치되는 작업영역(123)과 웨이퍼의 입출 등이 이루어지는 서비스 영역(122)으로 나누어진다. 그리고, 상기 크린 서브 팹 영역(140)에는 상기 반도체 장비(124)를 보조하는 여러가지 부수 설비 등이 설치된다.

한편, 상기 플로어 어셈블리(160)는 상기 크린룸(100)을 가로지르도록 설치된 다수의 크로스 빔들(162), 상기 크로스 빔들(162)의 상면에 연속적으로 이어지게 놓여지는 사각 형상의 다수의 플로어 패널들(170), 상기 크로스 빔들(162)의 하부에서 상기 크로스 빔들(162)을 지지하기 위한 다수의 기둥들(163) 및 상기 기둥 들(163)을 지지하도록 상기 크린룸(100)을 가로지르게 설치된 섹션 플레이트(161)로 구성된다.

이때, 상기 플로어 패널들(170)은 그 중앙부에 에어의 통풍을 위한 홀(175)이 형성되어 에어가 통풍되도록 하는 통풍형 플로어 패널(170b)과, 그 중앙부에 에어의 통풍을 위한 홀(175)이 전혀 형성되지 않은 밀폐형 플로어 패널(170a)을 포함한다.

따라서, 상기 크로스 빔들(162)의 상면에는 통풍형 플로어 패널(170b)과 밀폐형 플로어 패널(170a)이 순차적으로 놓여지되, 연속적으로 이어지게 놓여지며, 상기 반도체 장비(124) 등은 이러한 플로어 패널들(170)의 상부에 설치된다.

그러나, 이상과 같은 종래 크린룸(100)은 다수의 플로어 패널들(170)이 단순히 크로스 빔들(162)의 상면에 놓여지기 때문에, 지진 등의 진동이 발생될 경우에는 이러한 플로어 패널들(170)이 도 3에 도시된 바와 같이 그 하부로 떨어지게 되어 그 하부에 배치되는 배관(145)이나 여러 장치 등을 파손시키거나 그 하부에서 작업하는 작업자에게 상해를 입히게 되는 문제를 초래한다.

또한, 종래 크린룸(100)의 플로어 패널들(170)은 사각 형상으로 형성되기 때문에, 플로어 패널들(170)을 들어올리고 작업하는 경우 또는 밀폐형 플로어 패널(170a)과 통풍형 플로어 패널(170b)을 교체해야할 경우 등에 있어서, 작업자의 실수가 발생되면 사각 형상의 플로어 패널(170)이 크로스 빔들(162)의 사이로 떨어지게 되는 문제가 발생되며, 이는 전술한 바와 같이 그 하부에 배치되는 배관(145)이나 여러 장치 등을 파손시키거나 그 하부에서 작업하는 작업자에게 상해를 입히 게 되는 문제를 초래한다.

따라서, 최근에는 도 4에 도시된 바와 같이, 크린룸(100) 내부에 배치되는 플로어 패널들(170)을 앙카볼트와 같은 고정부재(174)를 이용하여 크로스 빔들(162)에 고정하고 있다.

하지만, 이와 같은 경우, 상기 플로어 패널들(170)이 크로스 빔들(162)에 고정되기 때문에, 지진 등의 진동이 발생되는 경우에도 그 플로어 패널들(170)이 크로스 빔들(162)로부터 떨어지게 되는 문제는 발생되지 않지만, 플로어 패널들(170)을 들어올리고 작업해야 하는 경우 또는 밀폐형 플로어 패널(170a)과 통풍형 플로어 패널(170b)을 교체해야할 경우 등에 있어서는 크로스 빔들(162)에 고정된 플로어 패널들(170)을 하나하나 풀어주어야 하는 문제가 발생된다. 즉, 상기 플로어 패널들(170)을 상기 크로스 빔들(162)에 고정시킬 경우, 진동 등에 대한 안전도는 뛰어나지만, 플로어 패널(170)의 하부 작업이나 교체 작업 등에 대해서는 유연성(flexibility)이 현저하게 떨어지게 되는 문제가 있다. 참조번호 121은 크린 팹 영역의 상부에 설치되는 팬 필터 유닛이다

따라서, 본 발명은 이상과 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로써, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 지진 등의 진동에 대해서도 안전도가 뛰어난 크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로어 어셈블리를 제공하는데 있다.

그리고, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 작업자의 실수가 발생될 경우에도 그 하부로 떨어지지 않는 크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로 어 어셈블리를 제공하는데 있다.

이와 같은 기술적 과제를 구현하기 위한 본 발명의 제 1관점에 따르면, 중앙부에 커버끼움홀이 형성되고, 상기 커버끼움홀 주변부에 지지턱이 형성된 프레임 및, 상기 커버끼움홀에 끼워지되, 가장자리부에 상기 지지턱에 걸리도록 걸림턱이 형성된 커버를 포함하는 크린룸용 플로어 패널이 제공된다.

다른 실시예에 있어서, 상기 프레임의 가장자리에는 상기 프레임을 고정하기 위한 고정부재가 끼워지도록 결합홀이 형성될 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 커버의 중앙부에는 에어의 통풍을 위한 에어홀이 형성될 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 프레임은 사각 형상으로 형성될 수 있고, 상기 커버끼움홀 및 상기 커버는 원 형상으로 형성될 수 있다.

또한, 본 발명의 제 2관점에 따르면, 중앙부에 커버끼움홀이 형성되고, 상기 커버끼움홀 주변부에 지지턱이 형성된 프레임 및, 상기 커버끼움홀에 끼워지되, 중앙부에는 에어의 통풍을 위한 에어홀이 다수 형성되고, 가장자리부에는 상기 지지턱에 걸리도록 걸림턱이 형성된 커버를 포함하는 크린룸용 통풍형 플로어 패널이 제공된다.

다른 실시예에 있어서, 상기 프레임의 가장자리에는 상기 프레임을 고정하기 위한 고정부재가 끼워지도록 결합홀이 형성될 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 프레임은 사각 형상으로 형성될 수 있고, 상 기 커버끼움홀 및 상기 커버는 원 형상으로 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 제 3관점에 따르면, 크린룸을 가로지르도록 설치된 다수의 크로스 빔들 및 상기 크로스 빔들의 상면에 고정되되, 중앙부에 커버끼움홀이 형성되고 상기 커버끼움홀 주변부에 지지턱이 형성된 프레임과 상기 커버끼움홀에 끼워지며 가장자리부에 상기 지지턱에 걸리도록 걸림턱이 형성된 커버를 구비한 플로어 패널을 포함하는 플로어 어셈블리가 제공된다.

다른 실시예에 있어서, 상기 프레임의 가장자리에는 상기 프레임을 상기 크로스 빔에 고정하기 위한 고정부재가 끼워지도록 결합홀이 형성될 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 커버의 중앙부에는 에어의 통풍을 위한 에어홀이 형성될 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 프레임은 사각 형상으로 형성될 수 있고, 상기 커버끼움홀 및 상기 커버는 원 형상으로 형성될 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 5는 본 발명에 따른 크린룸의 일실시예를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 B 부분을 확대도시한 사시도이며, 도 7과 도 8은 본 발명에 따른 플로어 패널 의 일실시예들을 도시한 분해사시도이다. 그리고, 도 9는 본 발명에 따른 플로어 패널이 크린 서브 팹 영역으로 떨어지지 않고 있는 상태를 도시한 사시도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 크린룸(200)은 반도체 소자의 제조작업이 진행되는 크린 팹 영역(220), 상기 크린 팹 영역(220)의 하부에 마련되는 크린 서브 팹 영역(240)으로 구분된다. 그리고, 이들 크린 팹 영역(220)과 크린 서브 팹 영역(240)은 플로어 어셈블리(260)에 의해 구획된다. 다시 말하면, 크린 팹 영역(220)은 플로어 어셈블리(260)의 상부 영역을 말하고, 크린 서브 팹 영역(240)은 플로어 어셈블리(260)의 하부 영역을 말한다.

한편, 상기 크린 팹 영역(220)에는 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 장비(224) 등이 설치되어 반도체 소자의 제조공정이 직접 진행되는 영역으로, 다시 격벽(225) 등에 의해 반도체 장비(224)가 설치되는 작업영역(223)과 웨이퍼의 입출 등이 이루어지는 서비스 영역(222)으로 나누어진다. 그리고, 상기 크린 서브 팹 영역(240)에는 상기 반도체 장비(224)를 보조하는 여러가지 부수 설비 등이 설치된다.

또한, 상기 플로어 어셈블리(260)는 상기 크린룸(200)을 가로지르도록 설치된 다수의 크로스 빔들(262), 상기 크로스 빔들(262)의 상면에 연속적으로 이어지게 놓여지는 다수의 플로어 패널들(270), 상기 크로스 빔들(262)의 하부에서 상기 크로스 빔들(262)을 지지하기 위한 다수의 기둥들(263) 및 상기 기둥들(263)을 지지하도록 상기 기둥들(263)의 하부에서 상기 크린룸(200)을 가로지르게 설치된 섹션 플레이트(261)로 구성된다.

이때, 상기 플로어 패널들(270)은 그 중앙부에 에어의 통풍을 위한 홀(276)이 형성되어 에어가 그 상하부로 통풍되도록 하는 통풍형 플로어 패널(270b)과, 그 중앙부에 에어의 통풍을 위한 홀(276)이 전혀 형성되지 않은 밀폐형 플로어 패널(270a)로 구분된다.

먼저, 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 플로어 패널들(270) 중 밀폐형 플로어 패널(270a)에 대해 설명하면, 밀폐형 플로어 패널(270a)은 중앙부에 커버끼움홀(272)이 형성되고 상기 커버끼움홀(272) 주변부에 지지턱(273)이 형성된 프레임(271) 및 상기 커버끼움홀(272)에 끼워지되 가장자리부에 상기 지지턱(273)에 걸리도록 걸림턱(277)이 일체로 형성된 커버(275a)를 포함한다.

상기 프레임(271)은 상기 크로스 빔들(262)의 상면에 연속적으로 이어지게 놓여지도록 사각 형상으로 형성되고, 상기 프레임(271)의 가장자리에는 상기 프레임(271)을 상기 크로스 빔들(262)에 고정하기 위한 고정부재(274)가 끼워지도록 결합홀(279)이 형성된다. 따라서, 작업자는 이 결합홀(279)에 앙카볼트와 같은 고정부재(274)를 끼워넣어 이를 크로스 빔들(262)에 체결함으로써, 상기 프레임(271)을 상기 크로스 빔들(262)에 고정한다.

그리고, 상기 커버끼움홀(272)은 일정직경의 원형으로 형성되고, 상기 커버끼움홀(272) 주변부에 형성된 지지턱(273)은 상기 프레임(271)의 상면보다 다소 낮은 높이를 갖도록 형성된다. 즉, 상기 프레임(271)의 상면과 상기 지지턱(273)은 단턱을 형성한다.

또한, 상기 커버끼움홀(272)에 끼워지는 커버(275a)는 그 중앙부가 상기 커 버끼움홀(272)에 끼워질 수 있도록 상기 커버끼움홀(272)의 직경보다 다소 적은 크기의 직경을 갖는 원 형상으로 형성된다. 그리고, 상기 커버(275a)의 가장자리부에 형성된 걸림턱(277)은 상기 프레임(271)의 지지턱(273)에 걸리도록 상기 커버끼움홀(272)의 직경 보다 다소 큰 직경을 갖는 원형으로 형성되며, 상기 커버(275a)의 중앙부보다 얇은 두께로 형성된다. 즉, 상기 커버(275a)의 중앙부와 가장자리부의 걸림턱(277)은 상기 프레임(271)의 단턱에 대응되는 형태의 단턱을 형성한다. 따라서, 상기 커버(275a)는 그 중앙부가 상기 커버끼움홀(272)에 끼워지며, 그 가장자리부는 상기 걸림턱(277)으로 인하여 상기 지지턱(273)에 걸리게 된다.

한편, 본 발명에 따른 플로어 패널들(270) 중 통풍형 플로어 패널(270b)은 도 8에 도시된 바와 같이, 중앙부에 커버끼움홀(272)이 형성되고 상기 커버끼움홀(272) 주변부에 지지턱(273)이 형성된 프레임(271) 및 상기 커버끼움홀(272)에 끼워지되 중앙부에는 에어의 통풍을 위한 에어홀(276)이 다수 형성되고, 가장자리부에는 상기 지지턱(273)에 걸리도록 걸림턱(277)이 형성된 커버(275b)를 포함한다.

상기 프레임(271)은 상기 크로스 빔들(262)의 상면에 연속적으로 이어지게 놓여지도록 사각 형상으로 형성되고, 상기 프레임(271)의 가장자리에는 상기 프레임(271)을 상기 크로스 빔들(262)에 고정하기 위한 고정부재(274)가 끼워지도록 결합홀(279)이 형성된다. 따라서, 작업자는 이 결합홀(279)에 앙카볼트와 같은 고정부재(274)를 끼워넣어 이를 크로스 빔들(262)에 체결함으로써, 상기 프레임(271)을 상기 크로스 빔들(262)에 고정한다.

그리고, 상기 커버끼움홀(272)은 일정직경의 원형으로 형성되고, 상기 커버끼움홀(272) 주변부에 형성된 지지턱(273)은 상기 프레임(271)의 상면보다 다소 낮은 높이를 갖도록 형성된다. 즉, 상기 프레임(271)의 상면과 상기 지지턱(273)은 단턱을 형성한다.

또한, 상기 커버끼움홀(272)에 끼워지는 커버(275b)는 에어의 통풍을 위한 에어홀(276)이 다수 형성된 그 중앙부가 상기 커버끼움홀(272)에 끼워질 수 있도록 상기 커버끼움홀(272)의 직경보다 다소 적은 크기의 직경을 갖는 원 형상으로 형성된다. 그리고, 상기 커버(275b)의 가장자리부에 형성된 걸림턱(277)은 상기 프레임(271)의 지지턱(273)에 걸리도록 상기 커버끼움홀(272)의 직경 보다 다소 큰 직경을 갖는 원형으로 형성되며, 상기 커버(275b)의 중앙부보다 얇은 두께로 형성된다. 즉, 상기 커버(275b)의 중앙부와 가장자리부의 걸림턱(277)은 상기 프레임(271)의 단턱에 대응되는 형태의 단턱을 형성한다. 따라서, 상기 커버(275b)는 그 중앙부가 상기 커버끼움홀(272)에 끼워지며, 그 가장자리부는 상기 걸림턱(277)으로 인하여 상기 지지턱(273)에 걸리게 된다.

따라서, 이상과 같이 구성된 통풍형 플로어 패널(270b)과 밀폐형 플로어 패널(270a)은 상기 크로스 빔들(262)의 상면에 순차적으로 놓여지되, 연속적으로 이어지게 놓여지며, 상기 반도체 장비(224) 등은 이러한 플로어 패널들(270)의 상부에 설치된다.

한편, 종래의 경우, 다수의 플로어 패널들이 단순히 크로스 빔들의 상면에 놓여지기 때문에, 지진 등의 진동이 발생될 경우에는 이러한 플로어 패널들이 그 하부로 떨어지게 되어 그 하부에 배치되는 배관이나 여러 장치 등을 파손시키거나 그 하부에서 작업하는 작업자에게 상해를 입히게 되는 문제를 초래하였는데, 본 발명에 따른 플로어 패널들(270)은 모두 앙카볼트와 같은 고정부재(274)에 의해 크로스 빔들9262)에 각각 고정되기 때문에, 종래와 같은 하부 떨어짐 등의 문제는 모두 해소된다.

또한, 종래 크린룸의 플로어 패널들은 사각 형상으로 형성되기 때문에, 플로어 패널들을 들어올리고 작업하는 경우 또는 밀폐형 플로어 패널과 통풍형 플로어 패널을 교체해야할 경우 등에 있어서, 작업자의 실수가 발생되면 사각 형상의 플로어 패널이 크로스 빔들의 사이로 떨어지게 되어 그 하부에 배치되는 배관이나 여러 장치 등을 파손시키거나 그 하부에서 작업하는 작업자에게 상해를 입히게 되는 문제를 초래하였는데, 본 발명에 따른 플로어 패널들(270)은 이상과 같은 작업시 패널들9270) 전체를 가지고 작업하는 것이 아니라 그 패널들(270)의 구성요소 중 커버(275a,275b)만을 가지고 작업하면 되기 때문에, 종래와 같은 문제는 모두 해소된다.

다시 말하면, 본 발명에 따른 플로어 패널들(270)의 커버(275a,275b)에는 프레임(271)에 형성된 커버끼움홀(272)의 직경보다 더 큰 직경을 갖는 걸림턱(277)을 구비하고 있기 때문에, 이 커버(275a,275b)만을 가지고 작업할 경우, 작업자가 어떠한 실수를 할 경우에도 그 커버(275a,275b)는 도 9에 도시된 바와 같이, 프레임(271)에 형성된 커버끼움홀(272)을 통과하여 그 하부로 떨어지지 않게 되므로, 종래 패널이 그 하부로 떨어짐에 따라 발생되는 문제는 모두 해소된다.

상술한 바와 같이 본 발명의 크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로어 어셈블리에 따르면, 그 플로어 패널들이 모두 앙카볼트와 같은 고정부재에 의해 크로스 빔들에 각각 고정되기 때문에, 종래와 같은 하부 떨어짐 등의 문제는 모두 해소된다.

또한, 본 발명의 크린룸용 플로어 패널 및 이를 구비한 플로어 어셈블리에 따르면, 패널의 작업이 필요할 경우, 그 패널의 구성요소 중 커버만을 가지고 작업하면 되기 때문에 이 커버만을 가지고 작업할 경우, 작업자가 어떠한 실수를 할 경우에도, 그 커버에는 프레임에 형성된 커버끼움홀의 직경보다 더 큰 직경을 갖는 걸림턱이 구비되어 있기 때문에, 그 커버는 프레임에 형성된 커버끼움홀을 통과하여 그 하부로 떨어지지 않게 되므로, 종래 패널이 그 하부로 떨어짐에 따라 발생되는 문제는 모두 해소된다.

Claims (11)

1. 중앙부에 커버끼움홀이 형성되고, 상기 커버끼움홀 주변부에 지지턱이 형성된 프레임; 및,

   상기 커버끼움홀에 끼워지되, 가장자리부에 상기 지지턱에 걸리도록 걸림턱이 형성된 커버를 포함하는 크린룸용 플로어 패널.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 프레임의 가장자리에는 상기 프레임을 고정하기 위한 고정부재가 끼워지도록 결합홀이 형성된 것을 특징으로 하는 크린룸용 플로어 패널.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 커버의 중앙부에는 에어의 통풍을 위한 에어홀이 형성된 것을 특징으로 하는 크린룸용 플로어 패널.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 프레임은 사각 형상으로 형성되고,

   상기 커버끼움홀 및 상기 커버는 원 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 크린룸용 플로어 패널.
5. 중앙부에 커버끼움홀이 형성되고, 상기 커버끼움홀 주변부에 지지턱이 형성된 프레임; 및,

   상기 커버끼움홀에 끼워지되, 중앙부에는 에어의 통풍을 위한 에어홀이 다수 형성되고, 가장자리부에는 상기 지지턱에 걸리도록 걸림턱이 형성된 커버를 포함하는 크린룸용 통풍형 플로어 패널.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 프레임의 가장자리에는 상기 프레임을 고정하기 위한 고정부재가 끼워지도록 결합홀이 형성된 것을 특징으로 하는 크린룸용 통풍형 플로어 패널.
7. 제 5항에 있어서,

   상기 프레임은 사각 형상으로 형성되고,

   상기 커버끼움홀 및 상기 커버는 원 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 크린룸용 통풍형 플로어 패널.
8. 크린룸을 가로지르도록 설치된 다수의 크로스 빔들; 및

   상기 크로스 빔들의 상면에 고정되되, 중앙부에 커버끼움홀이 형성되고 상기 커버끼움홀 주변부에 지지턱이 형성된 프레임과 상기 커버끼움홀에 끼워지며 가장자리부에 상기 지지턱에 걸리도록 걸림턱이 형성된 커버를 구비한 플로어 패널을 포함하는 플로어 어셈블리.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 프레임의 가장자리에는 상기 프레임을 상기 크로스 빔에 고정하기 위한 고정부재가 끼워지도록 결합홀이 형성된 것을 특징으로 하는 플로어 어셈블리.
10. 제 8항에 있어서,

    상기 커버의 중앙부에는 에어의 통풍을 위한 에어홀이 형성된 것을 특징으로 하는 플로어 어셈블리.
11. 제 8항에 있어서,

    상기 프레임은 사각 형상으로 형성되고,

    상기 커버끼움홀 및 상기 커버는 원 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 플로어 어셈블리.

Images