KR20080075283A - Cleaning apparatus for cassette - Google Patents

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KR20080075283A
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Abstract

An apparatus for cleaning a cassette is provided to minimize glass defects or pollutants in a clean room by removing metallic particles from a lower portion of the cassette. An apparatus for cleaning a cassette includes plural receiving units(102), the cassette(100), and at least one lower cleaner(120). The receiving units are arranged to be apart from each other. The cassette is received in the adjacent receiving unit. The lower cleaner is movably arranged between adjacent receiving units. The lower cleaner cleanses the cassette, while moving along a rear surface of the cassette. Each of the lower cleaners includes a moving block(126) having at least one cleaning water spray nozzle for spraying the cleaning water on the cassette.

Description

카세트 세정장치{CLEANING APPARATUS FOR CASSETTE}Cassette cleaning device {CLEANING APPARATUS FOR CASSETTE}

도 1은 본 발명의 카세트 세정장치를 개략적으로 나타낸 도면.1 schematically shows a cassette cleaning apparatus of the present invention.

도 2는 본 발명의 카세트 세정장치의 하부 세정부를 나타낸 도면.2 is a view showing a lower cleaning portion of the cassette cleaning apparatus of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>

100 : 카세트 102 : 안착부100: cassette 102: seating portion

104 : 상부 세정부 106 : 측부 세정부104: upper cleaning part 106: side cleaning part

108 : 가이드 레일 110 : 하부 세정부108: guide rail 110: lower cleaning part

112 : 제 1 분사노즐 114 : 제 1 메인배관112: first injection nozzle 114: first main piping

116 : 회전축 118 : 제 2 분사노즐116: rotating shaft 118: second injection nozzle

120 : 제 2 메인배관 122 : 제 3 분사노즐120: second main piping 122: third injection nozzle

124 : 이동 블록 126 : 제 3 메인배관124: moving block 126: third main piping

본 발명은 카세트 세정장치에 관한 것으로, 스토커 선반이나 적재기와 접촉하는 카세트 하부의 금속성 입자를 제거하기 위한 카세트 세정 장치를 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette cleaning apparatus, and more particularly, to a cassette cleaning apparatus for removing metallic particles under a cassette in contact with a stocker shelf or a stacker.

최근 정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.Recently, as the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent (VFD) Various flat panel display devices have been studied, and some are already used as display devices in various equipments.

그 중에 액정 표시장치는 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, liquid crystal displays are currently being used most frequently, replacing CRTs (Cathode Ray Tubes) for mobile image display devices because of their excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use, various developments have been made for televisions for receiving and displaying broadcast signals, and monitors for computers.

액정 표시장치의 액정 패널은 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소전극이 형성된 박막 트랜지스터 기판과, 칼라필터층과 공통전극이 형성된 컬러필터 기판, 그리고 두 기판 사이에 형성된 액정층으로 이루어진다. 이와 같이 구성된 액정패널은 각각의 제조공정을 수행하기 위해 다수의 기판을 수용할 수 있는 카세트에 적재된다.The liquid crystal panel of the liquid crystal display includes a thin film transistor substrate having a thin film transistor and a pixel electrode formed in a pixel region defined by a gate line and a data line, a color filter substrate having a color filter layer and a common electrode, and a liquid crystal layer formed between two substrates. Is done. The liquid crystal panel configured as described above is loaded in a cassette capable of accommodating a plurality of substrates to perform each manufacturing process.

이렇게 다수의 기판이 적재된 카세트는 자동반송대차(AGV)에 의해 임시 보관하거나 저장하는 스토커 선반(Stocker Shelf)이나 적재기(Loder)에 놓여 지게 된다.In this way, a plurality of substrate-loaded cassettes are placed on a stocker shelf or a loader that temporarily stores or stores them by an automatic transport cart (AGV).

이때, 스토커 선반이나 적재기와 접촉하는 카세트(Cassette)의 하부에는 금속성 입자(Particle)이 발생하게 된다.At this time, metallic particles are generated in the lower portion of the cassette in contact with the stocker shelf or the loader.

한편, 액정패널의 제조공정은 고온이나 고압 또는 진공 등의 환경을 요구하는 경우가 대부분이고, 특히 기판의 제조공정은 매우 청결한 작업환경에 놓여져야 한다.On the other hand, the manufacturing process of the liquid crystal panel in most cases require an environment such as high temperature, high pressure or vacuum, in particular the manufacturing process of the substrate should be placed in a very clean working environment.

그러나, 제조공정시 카세트 하부에 발생하는 금속성 입자는 날아 흩어져 글래스(Glass) 손상 및 청정도 저하의 주원인이 된다.However, metallic particles generated at the bottom of the cassette during the manufacturing process are scattered and become a major cause of glass damage and deterioration of cleanliness.

따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 스토커 선반이나 적재기와 접촉하는 카세트 하부의 금속성 입자를 제거하기 위한 카세트 세정 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, in order to solve the above problems, the present invention is to provide a cassette cleaning apparatus for removing metallic particles in the lower cassette in contact with the stocker shelf or loader.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 카세트 세정 장치는 이격된 복수의 안착부; 상기 인접한 안착부에 안착되는 카세트; 상기 인접한 안착부 사이에 이동가능하게 설치되어 상기 카세트의 배면을 따라 이동하면서 상기 카세트를 세정하는 하나 이상의 하부 세정부를 포함하여 구성된다.Cassette cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above technical problem is a plurality of seating spaced apart; A cassette seated on the adjacent seating portion; And one or more lower cleaning portions movably installed between the adjacent seating portions to clean the cassette while moving along the rear surface of the cassette.

상기 하부 세정부 각각은 상기 카세트에 세정수를 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐이 설치된 이동 블록을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Each of the lower washing parts may include a moving block having one or more washing water spray nozzles for spraying washing water into the cassette.

상기 인접한 안착부 사이에 배치되어 상기 이동 블록 각각을 이동시키는 하나 이상의 레일을 더 포함하여 구성된다.And at least one rail disposed between the adjacent seating portions to move each of the moving blocks.

상기 하부 세정부 각각은; 상기 인접한 안착부 사이에 배치되어 하나 이상의 레일; 및 상기 레일을 따라 상기 이동 블록을 이동시키기 위한 실린더를 포함하여 구성된다.Each of the lower cleaning parts; One or more rails disposed between the adjacent seating portions; And a cylinder for moving the moving block along the rail.

상기 하부 세정부 각각은 상기 카세트를 세정함과 동시에 건조시키기 위한 가스를 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성된다.Each of the lower cleaners further includes one or more gas injection nozzles for injecting gas for cleaning and simultaneously drying the cassette.

상기 카세트의 상부에 대향되도록 설치되어 상기 카세트 쪽으로 세정수를 분사하는 상부 세정부를 더 포함하여 구성된다.It is installed to face the upper portion of the cassette further comprises an upper cleaning unit for spraying the washing water toward the cassette.

상기 상부 세정부는 회전 가능한 것을 특징으로 한다.The upper cleaning unit is rotatable.

상기 상부 세정부 각각은; 상기 세정수가 공급되는 세정수 공급배관; 및 상기 세정수 공급배관에 설치되어 상기 세정수를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐을 포함하여 구성된다.Each of the upper cleaning parts; A washing water supply pipe through which the washing water is supplied; And at least one washing water spray nozzle installed in the washing water supply pipe to spray the washing water to the cassette.

상기 상부 세정부 각각은; 상기 가스가 공급되는 가스 공급배관; 및 상기 가스 공급배관에 설치되어 상기 가스를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성된다.Each of the upper cleaning parts; A gas supply pipe to which the gas is supplied; And at least one gas injection nozzle installed in the gas supply pipe to inject the gas into the cassette.

상기 카세트의 적어도 한 측면에 대향되도록 설치되어 상기 카세트 쪽으로 세정수를 분사하는 측부 세정부를 더 포함하여 구성된다.And a side washing part installed to face at least one side of the cassette to spray washing water toward the cassette.

상기 측부 세정부 각각은; 상기 세정수가 공급되는 세정수 공급배관; 및 상기 세정수 공급배관에 설치되어 상기 세정수를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐을 포함하여 구성되나.Each of the side cleaners; A washing water supply pipe through which the washing water is supplied; And at least one washing water spray nozzle installed in the washing water supply pipe to spray the washing water to the cassette.

상기 측부 세정부 각각은; 상기 가스가 공급되는 가스 공급배관; 및 상기 가스 공급배관에 설치되어 상기 가스를 상기 카세트에 분사하느 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성된다.Each of the side cleaners; A gas supply pipe to which the gas is supplied; And at least one gas injection nozzle installed in the gas supply pipe to inject the gas into the cassette.

이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 카세트 세정장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 하부 세정부를 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a cassette cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing a lower cleaning unit according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 카세트 세정장치는 이격된 복수의 안착부(102), 인접한 안착부(102)에 안착되는 카세트(100), 인접한 안착부(102) 사이에 이동가능하게 설치되어 카세트(100)의 배면을 따라 이동하면서 카세트(100)를 세정하는 하나 이상의 하부 세정부(120)를 포함하여 구성된다.1 and 2, a cassette cleaning apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a plurality of spaced-separated seating units 102, a cassette 100 seated on an adjacent seating unit 102, and an adjacent seating unit 102. It is configured to include one or more lower cleaning unit 120 that is installed to be movable between the cleaning the cassette 100 while moving along the back of the cassette (100).

카세트 안착부(102)는 카세트(100)가 안착될 수 있도록 도 2에 도시된 바와같이, 이격된 복수의 안착블록(102a 내지 102d)으로 형성된다.Cassette seating portion 102 is formed of a plurality of spaced apart seating blocks (102a to 102d), as shown in Figure 2 so that the cassette 100 can be seated.

카세트(100)는 다수의 기판이 적재할 수 있도록 형성된다. 이때, 카세트(100)는 강도가 높아 장기적인 사용에도 거의 변형되지 않으며, 내식성이 뛰어난 SUS 재질로 형성된다.The cassette 100 is formed so that a plurality of substrates can be loaded. At this time, the cassette 100 is high in strength and hardly deformed even in long-term use, and is formed of SUS material having excellent corrosion resistance.

여기서, 카세트를 세정하는 세정부는 상부 세정부(104), 측부 세정부(106), 하부 세정부(110)를 포함하여 구성된다.Here, the cleaning unit for cleaning the cassette includes an upper cleaning unit 104, a side cleaning unit 106, and a lower cleaning unit 110.

상부 세정부는(104)는 제 1 메인배관(114) ,하나 이상의 제1 분사노즐(112) 및 회전축(116)을 포함하여 구성된다.The upper cleaning part 104 includes a first main pipe 114, one or more first injection nozzles 112, and a rotation shaft 116.

제 1 메인배관(114)은 내부에 외부로부터 공급받은 세정수를 제1 분사노즐(112)로 공급하는 세정수 공급배관과 외부로부터 공급받은 가스를 제1 분사노즐(112)로 공급하는 가스 공급배관을 포함하여 형성된다.The first main pipe 114 has a washing water supply pipe for supplying the washing water supplied from the outside to the first injection nozzle 112 and a gas supply for supplying the gas supplied from the outside to the first injection nozzle 112. It is formed including a pipe.

제 1 분사노즐(112)은 카세트(100)의 상부에서 세정수를 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐과, 세정된 카세트(100)를 건조시키기 위한 가스를 분사하는 가스 분사노즐을 포함하여 구성된다. 이때, 제 1 분사노즐(112)은 카세트(100)를 세정하고, 건조하기 위해 탈이온수(Deionized Water) 및 청정건조공기(Clean Dry Air)를 분사한다.The first spray nozzle 112 includes one or more washing water spray nozzles for spraying the washing water from the upper portion of the cassette 100 and a gas spray nozzle for spraying the gas for drying the cleaned cassette 100. . In this case, the first injection nozzle 112 sprays deionized water and clean dry air to clean and dry the cassette 100.

회전축(116)은 제 1 메인배관(114)에 형성된 제 1 분사노즐(112)을 도시되지 않은 모터로 회전시켜 카세트(100)의 전면에 고루고루 세정물질이 분사될 수 있도록 형성된다.The rotating shaft 116 is formed to rotate the first injection nozzle 112 formed on the first main pipe 114 with a motor (not shown) so that the cleaning material is evenly sprayed on the front surface of the cassette 100.

측부 세정부(106)는 카세트(100)의 적어도 한 측면에 대향되도록 설치되어 카세트(100) 쪽으로 세정수를 분사하며, 제 2 메인배관(120) 및 하나 이상의 제 2 분사노즐(118)을 포함하여 구성된다.The side cleaner 106 is installed to face at least one side of the cassette 100 to inject cleaning water toward the cassette 100, and includes a second main pipe 120 and one or more second injection nozzles 118. It is configured by.

제 2 메인배관(120)은 내부에 외부로부터 공급받은 세정수를 제 2 분사노즐(118)로 공급하는 세정수 공급배관과 외부로부터 공급받은 가스를 제 2 분사노즐(118)로 공급하는 가스 공급배관을 포함하여 형성된다.The second main pipe 120 supplies a washing water supply pipe for supplying the washing water supplied from the outside to the second injection nozzle 118 and a gas supply for supplying the gas supplied from the outside to the second injection nozzle 118. It is formed including a pipe.

제 2 분사노즐(118)은 카세트(100)의 양측에서 세정수를 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐과, 세정된 카세트(100)를 건조시키기 위한 가스를 분사하는 가스 분사노즐을 포함하여 구성된다. 이때, 제 2 분사노즐(118)은 카세트(100)를 세정하고, 건조하기 위해 탈이온수 및 청정건조공기를 분사한다.The second spray nozzle 118 includes one or more washing water spray nozzles for spraying washing water from both sides of the cassette 100, and a gas spray nozzle for spraying gas for drying the cleaned cassette 100. . At this time, the second injection nozzle 118 sprays deionized water and clean dry air to clean and dry the cassette 100.

하부 세정부(110)는 카세트(100)의 배면에서 세정수를 분사하도록 설치되어 카세트(100) 쪽으로 세정수를 분사하며, 제 3 메인배관(126) 및 하는 하나 이상의 제 3 분사노즐(122)을 포함하여 구성된다.The lower cleaning unit 110 is installed to spray the washing water from the rear surface of the cassette 100 to spray the washing water toward the cassette 100, and the third main pipe 126 and one or more third spray nozzles 122. It is configured to include.

제 3 메인배관(126)은 내부에 외부로부터 공급받은 세정수를 제 3 분사노즐(122)로 공급하는 세정수 공급배관과 외부로부터 공급받은 가스를 제 3 분사노즐(122)로 공급하는 가스 공급배관을 포함하여 형성된다.The third main pipe 126 has a washing water supply pipe for supplying the washing water supplied from the outside to the third injection nozzle 122 and a gas supply for supplying the gas supplied from the outside to the third injection nozzle 122. It is formed including a pipe.

제 3 분사노즐(122)은 카세트(100)의 하부에서 세정수를 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐과, 세정된 카세트(100)를 건조시키기 위한 가스를 분사하는 가스 분사노즐을 포함하여 구성된다. 이때, 제 3 분사노즐(122)은 카세트(100)를 세정하고, 건조하기 위해 탈이온수 및 청정건조공기를 분사한다.The third spray nozzle 122 includes one or more washing water spray nozzles for spraying the washing water from the lower portion of the cassette 100 and a gas spray nozzle for spraying the gas for drying the cleaned cassette 100. . At this time, the third injection nozzle 122 sprays deionized water and clean dry air to clean and dry the cassette 100.

이동 블록(126)은 카세트 안착부(102)에 안착된 카세트(100)의 하부에서 세정수을 분사하는 제 3 분사노즐(122)을 가이드 레일(108)을 따라 이동하도록 형성된다. 이때, 이동블록(126)은 도시되지 않은 리니어 모터 또는 실린더에 의해 이동할 수 있도록 형성된다.The moving block 126 is formed to move along the guide rail 108 the third spray nozzle 122 for spraying the washing water from the lower portion of the cassette 100 seated on the cassette seat 102. At this time, the moving block 126 is formed to be movable by a linear motor or cylinder (not shown).

가이드 레일(108)은 인접한 안착부(102) 사이에 배치되어 이동 블록(124)이 이동할 수 있도록 하나 이상 형성된다.One or more guide rails 108 are disposed between adjacent seating portions 102 to allow the moving block 124 to move.

이와 같은 발명의 실시 예에 따른 카세트 세정장치는 스토커 선반이나 적재기와 접촉하는 카세트(100) 하부의 금속성 입자를 제거하여 액정 표시장치 제조공정시 발생하는 글래스 불량 및 클린룸 내 이물질 발생을 최소화하여 공정 생산성 향상에 기여할 수 있다.The cassette cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention removes metallic particles in the lower portion of the cassette 100 in contact with the stocker shelf or the stacker to minimize glass defects and foreign substances in the clean room during the manufacturing process of the liquid crystal display. It can contribute to productivity improvement.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치 환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is a technology that the various substitutions, modifications and changes that can be made within the scope without departing from the spirit of the present invention It will be apparent to those skilled in the art.

상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 카세트 세정장치는 카세트 하부의 금속성 입자를 제거하여 액정 표시장치 제조공정시 발생하는 글래스 불량 및 클린룸 내 이물질 발생을 최소화하여 공정 생산성 향상에 기여할 수 있다.The cassette cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention as described above can contribute to improving process productivity by minimizing glass defects and foreign substances generated in the liquid crystal display device by removing metallic particles under the cassette.

Claims (12)

이격된 복수의 안착부;A plurality of spaced seating portions; 상기 인접한 안착부에 안착되는 카세트;A cassette seated on the adjacent seating portion; 상기 인접한 안착부 사이에 이동가능하게 설치되어 상기 카세트의 배면을 따라 이동하면서 상기 카세트를 세정하는 하나 이상의 하부 세정부를 포함하여 구성되는 카세트 세정장치.And at least one lower cleaning part movably installed between the adjacent seating parts to clean the cassette while moving along the rear surface of the cassette. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하부 세정부 각각은 상기 카세트에 세정수를 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐이 설치된 이동 블록을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.Each of the lower cleaning parts comprises a moving block having one or more cleaning water spray nozzles for spraying the cleaning water onto the cassette. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인접한 안착부 사이에 배치되어 상기 이동 블록 각각을 이동시키는 하나 이상의 레일을 더 포함하여 구성하는 카세트 세정장치.And at least one rail disposed between the adjacent seating portions to move each of the moving blocks. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하부 세정부 각각은;Each of the lower cleaning parts; 상기 인접한 안착부 사이에 배치되어 하나 이상의 레일; 및One or more rails disposed between the adjacent seating portions; And 상기 레일을 따라 상기 이동 블록을 이동시키기 위한 실린더를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치And a cylinder for moving the moving block along the rail. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 하부 세정부 각각은 상기 카세트를 세정함과 동시에 건조시키기 위한 가스를 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치Each of the lower cleaners further comprises at least one gas injection nozzle for injecting a gas for drying and simultaneously cleaning the cassette. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카세트의 상부에 대향되도록 설치되어 상기 카세트 쪽으로 세정수를 분사하는 상부 세정부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.And an upper washing unit installed to face the upper portion of the cassette to spray washing water toward the cassette. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 상부 세정부는 회전 가능한 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.The upper cleaning unit is a cassette cleaning apparatus, characterized in that rotatable. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 상부 세정부 각각은;Each of the upper cleaning parts; 상기 세정수가 공급되는 세정수 공급배관; 및A washing water supply pipe through which the washing water is supplied; And 상기 세정수 공급배관에 설치되어 상기 세정수를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정 장치.And at least one washing water spray nozzle installed in the washing water supply pipe to spray the washing water to the cassette. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 상부 세정부 각각은;Each of the upper cleaning parts; 상기 가스가 공급되는 가스 공급배관; 및A gas supply pipe to which the gas is supplied; And 상기 가스 공급배관에 설치되어 상기 가스를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.And at least one gas injection nozzle installed in the gas supply pipe to inject the gas into the cassette. 제 1 및 제 5 항에 있어서,The method according to claim 1 and 5, 상기 카세트의 적어도 한 측면에 대향되도록 설치되어 상기 카세트 쪽으로 세정수를 분사하는 측부 세정부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.And a side washing unit installed to face at least one side of the cassette to spray washing water toward the cassette. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 측부 세정부 각각은;Each of the side cleaners; 상기 세정수가 공급되는 세정수 공급배관; 및A washing water supply pipe through which the washing water is supplied; And 상기 세정수 공급배관에 설치되어 상기 세정수를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.And at least one washing water spray nozzle which is installed in the washing water supply pipe and sprays the washing water to the cassette. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 측부 세정부 각각은;Each of the side cleaners; 상기 가스가 공급되는 가스 공급배관; 및 A gas supply pipe to which the gas is supplied; And 상기 가스 공급배관에 설치되어 상기 가스를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.And at least one gas injection nozzle installed in the gas supply pipe to inject the gas into the cassette.
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