KR100960685B1 - cleaning apparatus for cassette - Google Patents

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    • B08—CLEANING
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    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • H—ELECTRICITY
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls

Abstract

본 발명은 정면에 개구부가 형성된 카세트를 세정하는 카세트세정장치로서, 상기 개구부가 일방향을 향하도록 상기 카세트를 수용하는 세정영역과; 상기 카세트를 타 방향에서 지지하는 턴테이블어셈블리와; 상기 카세트 개구부가 일방향을 향한 상태로 회전하도록 상기 턴테이블어셈블리를 회전시키는 구동수단과; 상기 개구부를 통해 상기 카세트 내로 인입/인출될 수 있도록 이동 가능하고, DI와 CDA를 분사하는 제 1 노즐장치와; 상기 타방향에서 상기 카세트 배면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치를 포함하는 카세트세정장치를 제공한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a cassette cleaning apparatus for cleaning a cassette having an opening formed at a front surface thereof, comprising: a cleaning area accommodating the cassette such that the opening faces one direction; A turntable assembly for supporting the cassette in another direction; Drive means for rotating the turntable assembly such that the cassette opening rotates in one direction; A first nozzle device which is movable to be pulled into / out of the cassette through the opening, and which injects DI and CDA; It provides a cassette cleaning device including a second nozzle device for injecting DI and CDA toward the cassette back in the other direction.

Description

카세트세정장치{cleaning apparatus for cassette} Cleaning apparatus for cassette             

도 1은 일반적인 기판저장용 카세트의 사시도1 is a perspective view of a typical substrate storage cassette

도 2는 일반적인 카세트세정장치의 단면도2 is a cross-sectional view of a typical cassette cleaning device

도 3은 일반적인 대면적 기판저장용 카세트의 사시도Figure 3 is a perspective view of a typical large area substrate storage cassette

도 4는 일반적인 대면적 기판저장용 카세트의 단면도Figure 4 is a cross-sectional view of a typical large area substrate storage cassette

도 5는 본 발명에 따른 대면적 기판저장용 카세트세정장치의 단면도
5 is a cross-sectional view of a cassette cleaning device for a large area substrate storage according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 카세트 120 : 카세트세정장치10: cassette 120: cassette cleaning device

152, 154, 156, 158 : 제 1 내지 제 4 노즐장치152, 154, 156, 158: first to fourth nozzle devices

130 : 턴테이블어셈블리 132 : 베이스플레이트130: turntable assembly 132: base plate

134 : 받침단 136 : 샤프트134: base 136: shaft

140 : 구동수단 142 : 동력발생장치140: driving means 142: power generating device

144 : 회전축 146 : 연결부재144: rotating shaft 146: connecting member

160 : 공급관 170 : 인라인히터160: supply pipe 170: inline heater

본 발명은 평판표시장치(flat panel display)의 제조장비에 관한 것으로, 좀더 자세하게는 다수의 기판(substrate)을 수용하여 운반 및 적재하는 하는 기판저장용 카세트의 세정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to manufacturing equipment for flat panel displays, and more particularly, to a cleaning apparatus for a substrate storage cassette for accommodating, transporting and stacking a plurality of substrates.

근래에 들어 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 액정표시장치(liquid crystal display), 플라즈마표시장치(plasma display panel), 전계방출표시장치(field emission display), 전기발광표시장치(electroluminescence display : ELD)와 같은 다양한 종류의 평판표시장치가 개발되었다. In recent years, as the information age moves into full swing, liquid crystal displays, plasma display panels, field emission displays, electroluminescence displays (ELDs), Various kinds of flat panel display devices have been developed.

이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 보유하고 있어 기존의 음극선관(Cathode Ray Tube: CRT)을 대체하는 새로운 디스플레이 장치(display device)의 주류를 형성하고 있는데, 특히 현재에는 화상표현 기본단위인 화소(pixel)를 매트릭스(matrix) 형상으로 배열하고, 스위칭소자를 사용하여 이들 각 화소를 독립적으로 제어하는 능동행렬방식(Active Matrix type)이 널리 사용된다.These flat panel display devices have excellent characteristics such as thinness, light weight, and low power consumption, thus forming a mainstream of new display devices that replace the existing cathode ray tube (CRT). For example, an active matrix type is widely used in which pixels, which are basic units of image expression, are arranged in a matrix, and each pixel is independently controlled by using a switching element.

이러한 평판표시장치의 제조공정은 기판을 대상으로 진행된다.The manufacturing process of such a flat panel display device is performed on a substrate.

일례로 액정표시장치의 경우, 유리등의 투명절연기판 상에 반도체, 유전체, 또는 전도체 물질막을 형성하는 박막형성공정과, 이 중 선택된 영역을 제거하여 패 터닝(patterning)하는 식각공정이 다수 반복하여 포함되고, 이를 통해 화소형성을 동반하며 박막트랜지스터(Thin-Film Transistor : TFT) 등의 스위칭소자가 구비된 제 1 기판, 그리고 액정층을 사이에 두고 이와 대향되고, 컬러필터층(color filter layer)을 포함하는 제 2 기판을 구현한다.For example, in the case of a liquid crystal display, a thin film forming process of forming a semiconductor, dielectric, or conductor material film on a transparent insulating substrate such as glass, and an etching process of removing and patterning selected regions thereof are repeatedly performed. And a first substrate having a switching element such as a thin-film transistor (TFT) and a liquid crystal layer interposed therebetween with a pixel formation therebetween, and facing a color filter layer. Implement a second substrate comprising.

한편, 평판표시장치의 제조에 있어서 각 공정 별 고온이나 고압 또는 진공 등의 고유한 환경을 요구하는 경우가 대부분이고, 특히 기판은 제조공정 중 매우 청결한 작업환경에 놓여져야 한다.On the other hand, in the manufacture of flat panel display devices, each process requires a unique environment such as high temperature, high pressure, or vacuum, and in particular, the substrate should be placed in a very clean working environment during the manufacturing process.

따라서 평판표시장치의 제조 시스템은 통상 무인화된 자동 방식으로 구축되는 것이 일반적이며, 기판의 직접적인 처리공정을 수행하는 프로세스모듈(process module)과, 이들 프로세스모듈 사이에서 기판을 운반하는 트랜스퍼모듈(transfer module)로 구분될 수 있다.Therefore, a manufacturing system of a flat panel display device is generally constructed in an unmanned automatic manner, a process module for performing a direct processing process of a substrate, and a transfer module for transporting a substrate between these process modules. ) Can be separated.

이때 기판은 수 내지 수십 장 단위로 적재되어 트랜스퍼모듈에 의해 각 프로세스모듈을 순회하게 되는데, 이와 같이 다수의 기판을 수납하는 장비가 카세트(cassette)이다.In this case, the substrate is loaded in units of several to several tens, and each process module is circulated by the transfer module. The equipment for storing a plurality of substrates is a cassette.

도 1 은 일반적인 기판저장용 카세트(10)의 사시도로서, 간단히 내부로 기판을 수용할 수 있도록 일면이 개구된 박스형상을 가진다.1 is a perspective view of a general substrate storage cassette 10, which has a box shape with one surface opened to simply accommodate a substrate therein.

좀더 자세히, 일반적인 기판저장용 카세트는 입방체 형상으로, 임의로 서로 대응되는 면을 정면(1)과 배면(2), 상면(3)과 하면(4), 그리고 양 옆면(5, 6)이라 지칭하면, 정면(1)은 개구되어 기판이 반입 반출될 수 있는 입구 역할을 하고, 양 옆면(5, 6)의 내측 서로 마주보는 방향으로는 높이를 달리하여 차례로 대응 돌출된 다수의 걸림단(12)이 형성되어 있다.In more detail, a general substrate storage cassette has a cubic shape, and arbitrarily referred to as a front surface (1) and a rear surface (2), an upper surface (3) and a lower surface (4), and both sides (5, 6). The front surface 1 is opened to serve as an entrance through which the substrate can be carried in and out, and the plurality of locking ends 12 protruding corresponding to each other at different heights in directions facing each other on the inner sides of the side surfaces 5 and 6, respectively. Is formed.

이에 정면(1)을 통해 카세트(10) 내로 인입된 기판은 한 쌍의 서로 대응되는 걸림단(12)에 의해 양 가장자리가 떠 받혀져 수평을 유지한 상태로 복층 수납된다.Accordingly, the substrate drawn into the cassette 10 through the front surface 1 is stored in a multi-layered state in which both edges are supported by a pair of engaging ends 12 corresponding to each other to keep the level.

상술한 구성의 카세트(10) 역시 기판의 청결을 유지하기 위해 세정될 필요가 있는데, 이를 위해 도 2에 도시한 바와 같은 카세트세정장치(20)가 사용되고 있다.The cassette 10 having the above-described configuration also needs to be cleaned in order to maintain the cleanliness of the substrate. For this purpose, the cassette cleaning device 20 as shown in FIG. 2 is used.

도 2는 일반적인 카세트세정장치(20)의 개략적인 구성을 도시한 단면도로서, 내부로 카세트(10)가 수용될 수 있는 세정영역(A)이 정의된 챔버형(chamber type) 장비이다.FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a general cassette cleaning apparatus 20, and is a chamber type equipment in which a cleaning area A in which a cassette 10 may be accommodated is defined.

이때 카세트(10)는 정면(1)을 위로 한 채 세정영역(A) 내로 수용되는데, 상기 세정영역(A)에는 카세트(10)를 자신의 상면에 안착시켜 지지하며, 특히 회전이 가능한 턴테이블어셈블리(30)와, 카세트(10) 정면(1)을 통해 카세트(10) 내외로 이동가능하고, 순수(純水, deionizer water, 이하 DI라 한다.) 및 청정건조공기(Clean Dry Air, 이하 CDA라 한다.)를 분사할 수 있는 제 1 노즐장치(52)와, 측방에서 카세트(10) 외면을 향해 DI 및 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치(54), 그리고 고온 가열된 열풍을 분사하는 제 3 노즐장치(56)를 포함한다.At this time, the cassette 10 is accommodated in the cleaning area A with the front surface 1 facing up. The cleaning area A is supported by seating the cassette 10 on its upper surface, and in particular, a turntable assembly which can be rotated. 30 and the cassette 10 can be moved into and out of the cassette 10 through the front surface 1 of the cassette 10, and are deionizer water (hereinafter referred to as DI) and clean dry air (hereinafter referred to as CDA). A first nozzle device 52 capable of injecting the second nozzle, a second nozzle device 54 for injecting DI and CDA from the side toward the outer surface of the cassette 10, and an agent for injecting hot heated hot air. Three nozzle apparatus 56 is included.

따라서 세정영역(A) 내로 카세트(10)가 인입되어 턴테이블어셈블리(30) 상에 안착되면 제 1 노즐장치(52)는 카세트(10) 내부로 인입되고, 제 1 및 제 2 노즐장치(52, 54)는 각각 DI를 분사하여 워싱(washing)한 후 CDA를 분사하여 건조시킨다.Therefore, when the cassette 10 is inserted into the cleaning area A and seated on the turntable assembly 30, the first nozzle device 52 is inserted into the cassette 10, and the first and second nozzle devices 52, 54) respectively sprays and washes DI and sprays CDA to dry.

이와 같은 과정에 있어서 턴테이블어셈블리(30)는 회전하여 카세트(10)가 구석구석 세정될 수 있도록 하고, 제 1 노즐장치(52)는 상, 하로 승강되면서 DI 및 CDA를 분사하며, 특히 제 1 및 제 2 노즐장치(52, 54)가 CDA를 분사할 때 제 3 노즐장치(56)는 열풍을 분사하여 건조효율을 향상시킨다. In this process, the turntable assembly 30 rotates to allow the cassette 10 to be cleaned every corner, and the first nozzle device 52 sprays DI and CDA while lifting up and down. When the second nozzle apparatus 52, 54 injects CDA, the third nozzle apparatus 56 injects hot air to improve drying efficiency.

이때 제 1 노즐장치(52)의 이동거리(L1)는 카세트(10) 정면(1) 상방에서부터 배면(2)에 근접한다.At this time, the moving distance L1 of the first nozzle device 52 is close to the rear surface 2 from above the front surface 1 of the cassette 10.

한편, 요사이 점차로 평판표시장치는 대면적화 되는 추세에 있는데, 이를 위해 기판 사이즈(size) 역시 대형화되고 있다. On the other hand, in recent years, the flat panel display device is gradually increasing in size, and for this purpose, the size of the substrate has also increased.

그러나 대면적 기판은 차체하중이 크기 때문에 일반적인 방식으로 카세트 내에 적재될 경우 가운데 부분이 아래로 처지게 되고, 이 상태에서 장시간 운반 또는 적재되면 기판 형태의 변형을 불러와 결국 평판표시장치의 신뢰성을 저하시키게 된다.However, since the large-area substrate has a large body load, when it is loaded in a cassette in a general manner, the center portion sags downward, and when it is transported or loaded for a long time in this state, it causes deformation of the substrate shape and ultimately degrades the reliability of the flat panel display. Let's go.

이에 카세트에 수납된 기판의 처짐을 방지할 수 있는 대면적 기판저장용 카세트가 소개된 바 있다.In this regard, a large-area substrate storage cassette capable of preventing sagging of a substrate housed in the cassette has been introduced.

도 3은 일반적인 대면적 기판저장용 카세트(10a)의 개략적인 사시도로서, 도 1에서 설명한 카세트(10)와 동일한 역할을 수행하는 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하여 중복된 설명을 생략한다.FIG. 3 is a schematic perspective view of a general large-area substrate storage cassette 10a, and the same reference numerals are used to designate parts performing the same role as the cassette 10 described with reference to FIG.

대면적 기판저장용 카세트(10a)는 그 구성에 있어서 도 1에서 설명한 일반적인 경우와 유사하지만, 배면(2) 내측으로부터 정면(1)을 향해 분기된 다수의 서포트바(14)가 설치되어 있는 것이 상이하다 할 수 있다.The large-area substrate storage cassette 10a is similar in structure to that of the general case described with reference to FIG. 1, but is provided with a plurality of support bars 14 branched from the inside of the rear surface 2 toward the front surface 1. It can be different.

이들 다수의 서포트바(14)는 걸림단(12)과 동수로 동일한 위치에 형성되는 있는데, 카세트(10) 내로 수용된 기판은 각각 한 쌍의 대응된 걸림단(12)에 양 가 장자리가 떠 받쳐져 지지됨과 동시에 각 서포트바(14)에 의해 가운데 부분이 떠받쳐져 하중이 분산될 수 잇다.The plurality of support bars 14 are formed at the same position in the same number as the end 12, the substrate accommodated in the cassette 10, each edge is floating on a pair of the corresponding end (12) At the same time as being supported and supported, the center portion is supported by each support bar 14 to distribute the load.

따라서 장시간 기판이 운반 및 적재되더라도 자체하중에 의한 형태변형을 방지할 수 있다.Therefore, even if the substrate is transported and loaded for a long time it is possible to prevent the deformation due to the self-load.

그러나 이러한 대면적 기판저장용 카세트(10a)는 세정에 있어 몇 가지 문제점을 보이는데, 즉, 도 4는 도 2의 일반적인 카세트세정장치(20)를 사용하여 도 3의 대면적 기판저장용 카세트(10a)를 세정하는 경우를 도시한 도면이다.However, such a large area substrate storage cassette 10a exhibits some problems in cleaning, that is, FIG. 4 uses the general cassette cleaning apparatus 20 of FIG. 2 to use the large area substrate storage cassette 10a of FIG. 3. Is a diagram showing a case of washing).

이 경우 도시한 바와 같이 제 1 노즐장치(52)의 이동거리(L2)는 서포트바(14)에 의해 대폭 제한될 수밖에 없는데, 이로 인해 제 1 노즐장치(52)로부터 분사된 DI가 배면(2) 내, 외측으로 도달되기 힘들어 구석진 부분의 이물질을 완전히 제거하기 힘들다.In this case, as shown in the drawing, the movement distance L2 of the first nozzle device 52 is inevitably limited by the support bar 14, which causes the DI injected from the first nozzle device 52 to have a rear surface (2). ) It is hard to reach inside and outside, so it is hard to completely remove foreign substances in the corners.

이는 CDA 분사의 경우에도 마찬가지로, 이 부분에 흘러 들어간 DI를 제거하기 위해서 장시간 건조시켜야 하므로 작업 수율을 크게 떨어뜨리는 문제점이 있다.
This is also the case of CDA injection, there is a problem that greatly reduces the work yield because it must be dried for a long time in order to remove the DI flowed into this portion.

이에 본 발명은 서포트바가 설치된 대면적 기판저장용 카세트 배면 내, 외측 등의 구석진 부분을 청결하게 세정할 수 있고, 건조시간을 단축하여 작업 수율을 향상시킬 수 있는 카세트세정장치를 제공하고자 한다.
Accordingly, the present invention is to provide a cassette cleaning apparatus capable of cleanly cleaning corners such as inside and outside of a large area substrate storage cassette provided with a support bar, and shortening drying time to improve work yield.

이를 위해 본 발명은 정면에 개구부가 형성된 카세트를 세정하는 카세트세정장치로서, 상기 정면에 개구부가 형성되며, 배면 내측으로부터 개구부를 향해 분기된 다수의 서포트바가 설치된 카세트를 세정하는 카세트세정장치로서, 상기 개구부가 일방향을 향하도록 상기 카세트를 수용하는 세정영역과; 상기 카세트를 상기 일방향의 반대방향인 타 방향에서 지지하는 턴테이블어셈블리와; 상기 카세트 개구부가 일방향을 향한 상태로 회전하도록 상기 턴테이블어셈블리를 회전시키는 구동수단과; 상기 개구부를 통해 상기 카세트 내로 인입/인출될 수 있도록 이동 가능하고, DI와 CDA를 분사하는 제 1 노즐장치와; 상기 타방향에서 상기 카세트 배면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치를 포함하는 카세트세정장치를 제공한다. 이때 상기 카세트세정장치는 상기 카세트 외측면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 3 노즐장치과; 상기 카세트 외측면을 향해 고온 가열된 열풍을 분사하는 제 4 노즐장치를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.To this end, the present invention provides a cassette cleaning apparatus for cleaning a cassette having an opening formed on its front surface, and a cassette cleaning device for cleaning a cassette having an opening formed on the front surface and having a plurality of support bars branched from an inner side to an opening. A cleaning area for accommodating the cassette such that an opening faces one direction; A turntable assembly for supporting the cassette in another direction opposite to the one direction; Drive means for rotating the turntable assembly such that the cassette opening rotates in one direction; A first nozzle device which is movable to be pulled into / out of the cassette through the opening, and which injects DI and CDA; It provides a cassette cleaning device including a second nozzle device for injecting DI and CDA toward the cassette back in the other direction. In this case, the cassette cleaning apparatus includes a third nozzle apparatus for injecting DI and CDA toward the cassette outer surface; And a fourth nozzle device for injecting hot air heated at a high temperature toward the cassette outer surface.

특히 상기 카세트는 상기 개구부가 상방을 향하도록 상기 세정영역에 수용되고, 상기 턴테이블어셈블리는, 상면이 상기 카세트 배면과 소정의 간격을 두고 대향하는 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트 상면에서 분기하여 상기 카세트 배면에 접촉되는 받침단과; 상기 베이스플레이트 저면으로부터 실질적으로 수직하게 분기한 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 한다.In particular, the cassette is accommodated in the cleaning area such that the opening faces upwards, and the turntable assembly includes: a base plate having an upper surface facing the cassette back at a predetermined distance; A support end branching from an upper surface of the base plate and contacting the rear surface of the cassette; And a shaft branching substantially perpendicularly from the bottom of the base plate.

그리고 상기 구동수단은 회전축을 가지는 모터 등의 동력발생장치와; 상기 회전축과 상기 샤프트를 연결하는 벨트 등의 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 제 2 노즐장치는 상기 베이스플레이트와 상기 카세트배면 사이에 위치하고, 상기 제 2 노즐장치로 DI 및 CDA를 공급하며, 상기 샤프트를 길이방향으로 관통하는 공급관을 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. The drive means includes a power generating device such as a motor having a rotating shaft; It characterized in that it comprises a connecting member such as a belt for connecting the rotating shaft and the shaft. In addition, the second nozzle device is located between the base plate and the cassette back, characterized in that it further comprises a supply pipe for supplying DI and CDA to the second nozzle device, and penetrates the shaft in the longitudinal direction.                     

특히 상기 공급관에 설치되어 상기 공급관을 흐르는 CDA를 가열하는 인라인 히터를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 바, 이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 올바른 실시예를 설명한다.In particular, it is characterized in that it further comprises an in-line heater is installed in the supply pipe for heating the CDA flowing through the supply pipe, the following describes the correct embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 카세트세정장치(120)를 간략하게 도시한 단면도로서, 내부로 카세트가 수용될 수 있는 세정영역(A)을 정의하는 챔버형상을 이룬다.5 is a cross-sectional view briefly showing the cassette cleaning apparatus 120 according to the present invention, forming a chamber shape defining a cleaning area A in which a cassette can be accommodated.

이때 세정영역(A) 내에 수용되는 카세트는 특히 도시한 바와 같이 다수의 서포트바(14)가 구비된 대면적 기판저장용 카세트(10a)인 것이 바람직한데, 이 대면적 기판저장용 카세트(10a : 이하 카세트라 약칭한다.)는 일반적인 경우와 다를 바 없으므로 앞서 설명한 도 3과 동일한 부호를 부여하였다.At this time, it is preferable that the cassette accommodated in the cleaning area A is a large-area substrate storage cassette 10a provided with a plurality of support bars 14, as shown in the drawing. Since the cassette is abbreviated), the same reference numerals as in FIG. 3 are given.

이에 도시한 바와 같이 개구부가 형성된 정면(1)과, 상기 정면(1)과 대향하며 마주보는 방향으로 다수의 서포트바(14)가 분기된 배면(2), 그리고 서로 대응되며 정면과 배면을 연결하는 상, 하면(3, 4)과, 단면도라 비록 도시되지는 않았지만 서로 대응되며 정면(1)과 배면(2)을 연결하는 양 옆면을 포함한다.(도 3 참조) 이때 양 옆면에는 상, 하면을 연결하는 방향으로 다수의 걸림단이 설치될 수 있을 것이다.As shown in the drawing, a front surface 1 having an opening formed therein, a rear surface 2 in which a plurality of support bars 14 are branched in a direction facing and facing the front surface 1, and correspond to each other and connect the front surface and the rear surface The upper and lower surfaces (3, 4) and cross-sectional views, although not shown, correspond to each other and include both side surfaces connecting the front surface (1) and the rear surface (see FIG. 3). A plurality of locking ends may be installed in a direction connecting the lower surface.

다시 카세트세정장치(120)에 대한 설명으로 돌아와서, 이때 카세트(10a)는 정면, 즉 개구부를 일 방향, 바람직하게는 상방으로 한 상태로 세정영역(A)에 수용되고, 세정영역(A)에는 카세트(10a)를 타방향, 바람직하게는 하방에서 지지하는 턴테이블어셈블리(130)가 설치되어 있다. Returning to the description of the cassette cleaning device 120 again, the cassette 10a is accommodated in the cleaning area A with the front face, i.e., with the opening in one direction, preferably upward, and the cleaning area A A turntable assembly 130 for supporting the cassette 10a in the other direction, preferably downward, is provided.                     

이때 턴테이블어셈블리(130)는 카세트(10a)를, 이의 개구부가 상방을 향한 상태로 회전시킬 수 있는 것이 바람직한데, 이를 위해 턴테이블어셈블리(130)를 회전시키는 구동수단(140)이 구비되어 있다.In this case, it is preferable that the turntable assembly 130 can rotate the cassette 10a with its opening facing upward. For this purpose, the turntable assembly 130 is provided with driving means 140 for rotating the turntable assembly 130.

일례로 턴테이블어셈블리(130)는 일면이 카세트(10a) 배면(2)과 소정간격을 유지하고 대면하는 베이스플레이트(base plate : 132)와, 베이스플레이트(132) 일면에서 상방으로 분기되어 직접 카세트(10a) 배면(2)을 떠받치는 받침단(134)과, 베이스플레이트(134) 타면으로부터 하방으로 분기된 샤프트(shaft : 136)를 포함할 수 있다. In one example, the turntable assembly 130 has a base plate 132 facing one side of the cassette 10a and maintaining a predetermined distance therebetween, and is branched upwardly from one surface of the base plate 132 to directly draw a cassette. 10a) may include a support end 134 supporting the rear surface 2 and a shaft 136 branching downwardly from the other surface of the base plate 134.

그리고 구동수단(140)은 회전축(144)을 가진 모터 등의 동력발생장치(142)와, 이 회전축(144)과 턴테이블어셈블리(130)의 샤프트(136)를 연결하는 연결부재(146)를 포함한다. 이때 이 연결부재는 도시한 바와 같이 벨트(belt) 등이 가능하다.The driving means 140 includes a power generating device 142 such as a motor having a rotating shaft 144, and a connecting member 146 connecting the rotating shaft 144 to the shaft 136 of the turntable assembly 130. do. At this time, the connecting member may be a belt or the like as shown.

이에 동력발생장치(142)의 구동으로 회전축(144)이 회전하고, 이 회전력은 벨트 등의 연결부재(146)에 의해 샤프트(136)로 전달되는 바, 결국 턴테이블어셈블리(130) 전체가 회전하여 카세트(10a)를 회전시킬 수 있다.The rotation shaft 144 is rotated by the drive of the power generator 142, this rotational force is transmitted to the shaft 136 by a connecting member 146, such as a belt, the turntable assembly 130 as a whole is rotated The cassette 10a can be rotated.

또한 본 발명에 따른 카세트세정장치(120)는 카세트(10a) 정면(1)을 통해 상방에서 내부로 인입/인출되도록 이동 가능한 제 1 노즐장치(1)와, 하방에서 상방으로 카세트(10a) 배면(2)을 향하는 제 2 노즐장치(154), 그리고 바람직하게는 측방에서 카세트(10a) 상, 하면 또는 양 옆면을 향하는 제 3 및 제 4 노즐장치(156, 158)를 포함한다. In addition, the cassette cleaning apparatus 120 according to the present invention includes a first nozzle device 1 which is movable to be pulled in and out from the upper side through the front side 1 of the cassette 10a, and the rear side of the cassette 10a from below. A second nozzle device 154 facing (2), and preferably third and fourth nozzle devices 156, 158 facing the cassette 10a on the side, on the lower surface, or on both sides.                     

따라서 제 1 및 제 2 노즐장치(152, 154), 그리고 제 3 및 제 4 노즐장치(156, 158)는 각각 서로 마주보는 방향을 향하고 있으며, 특히 제 3 및 제 4 노즐장치(156, 158)는 제 1 또는 제 2 노즐장치(152, 154)와 실질적으로 수직한 방향에 배열되는 것이 바람직하다. Accordingly, the first and second nozzle devices 152 and 154, and the third and fourth nozzle devices 156 and 158 respectively face in directions facing each other, particularly the third and fourth nozzle devices 156 and 158. Is preferably arranged in a direction substantially perpendicular to the first or second nozzle devices 152, 154.

그리고 제 1 노즐장치와 제 3 노즐장치(152, 156)는 각각 DI 및 CDA를 분사하고, 제 2 노즐장치(154)는 CDA를 분사하며, 제 4 노즐장치(158)는 고온 가열된 열풍을 분사하는 것이 바람직하다.The first nozzle device and the third nozzle device 152 and 156 respectively inject DI and CDA, the second nozzle device 154 injects CDA, and the fourth nozzle device 158 generates hot air heated at a high temperature. It is preferable to spray.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 카세트세정장치(120)의 동작을 설명하면, 최초 카세트(10a)는 정면(1)의 개구부가 상방을 향하게 하여 세정영역(A)으로 수용됨으로서 턴테이블어셈블리(130), 특히 다수의 받침단(134) 상에 안착된다.Referring to the operation of the cassette cleaning device 120 according to the present invention described above, the first cassette (10a) is accommodated in the cleaning area (A) with the opening of the front (1) facing upwards turntable assembly 130, In particular, it is seated on a plurality of support 134.

이어 제 1 및 제 3 노즐장치(152, 156)는 각각 해당방향에서 카세트(10a)를 향해 DI를 분사하는데, 특히 제 1 노즐장치(152)는 상, 하로 승강되면서 DI를 분사함으로서 카세트(10a) 내부 전면적에 걸쳐 DI를 분사한다. 이때 제 1 노즐장치(152)의 이동거리는 일반적인 경우와 동일하게 L2 정도가 된다.Subsequently, the first and third nozzle devices 152 and 156 respectively spray DI toward the cassette 10a in the corresponding direction. In particular, the first nozzle device 152 moves the cassette upwards and downwards to inject DI. ) Spray DI over the entire inside area. At this time, the moving distance of the first nozzle device 152 is about L2 as in the general case.

이후 충분한 양의 DI 분사가 완료되면 제 1 내지 제 3 노즐장치(152, 154, 156)에서 각각 카세트(10a)를 향해 CDA를 분사하고, 마찬가지로 제 1 노즐장치(152)는 상하 승강되면서 CDA를 분사할 수 있다. Thereafter, when a sufficient amount of DI injection is completed, the CDA is injected toward the cassette 10a from the first to third nozzle devices 152, 154, and 156, respectively. Similarly, the first nozzle device 152 is lifted up and down, Can spray

이때 특히 본 발명에 따른 카세트세정장치(120)는 카세트(10a) 하방에서 상방으로 배면(2)을 향해 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치(154)가 마련되어 있으므로 건조시간이 크게 단축될 수 있다. In this case, in particular, since the cassette cleaning device 120 according to the present invention is provided with a second nozzle device 154 for ejecting the CDA toward the rear surface 2 from below the cassette 10a, the drying time can be greatly shortened.                     

그리고 최종적으로 제 4 노즐장치(158)가 열풍을 분사함으로서 잔류된 DI를 건조시켜 공정을 완료하는 바, 이상에서 설명한 과정 중에 턴테이블어셈블리(130)가 회전함으로서 카세트(10a)를 회전시켜 DI, CDA, 열풍이 카세트(10a) 내 외부 전면에 걸쳐 골고루 분사되도록 할 수 있음은 당연하다.Finally, the fourth nozzle device 158 injects hot air to dry the remaining DI to complete the process. During the above-described process, the turntable assembly 130 rotates to rotate the cassette 10a so that the DI and CDA are rotated. Of course, it is natural that the hot air can be evenly distributed over the outer front surface of the cassette 10a.

정리하면, 본 발명에 따른 카세트세정장치(120)는 하방에서 카세트(10a) 배면(2)으로 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치(154)를 추가적으로 구비하여, 특히 다수의 서포트바(14)에 의해 구석져 잔류수분의 건조에 취약부분인 카세트(10a) 배면(2)으로 CDA를 집중 분사할 수 있는 것을 특징으로 하는 바, 이를 통해 건조효율을 크게 향상시키게 된다.In summary, the cassette cleaning device 120 according to the present invention further includes a second nozzle device 154 for injecting CDA from the lower side to the rear surface 2 of the cassette 10a, in particular in the plurality of support bars 14. It is characterized by being able to intensively spray the CDA to the back (2) of the cassette (10a) that is vulnerable to the drying of the residual moisture, thereby greatly improving the drying efficiency.

이때 특히 본 발명에 따른 카세트세정장치(120)는 제 2 노즐장치(154)을 통해 분사되는 CDA가 고온으로 가열된 상태인 유리한데, 이를 위해 제 2 노즐장치(154)로 CDA를 공급하는 공급관(160)에 인라인 히터(inline heater : 170)가 설치되는 것이 바람직하다.In this case, in particular, the cassette cleaning device 120 according to the present invention is advantageous in that the CDA injected through the second nozzle device 154 is heated to a high temperature, and for this purpose, a supply pipe for supplying the CDA to the second nozzle device 154. It is preferable that an inline heater 170 is installed at 160.

좀더 자세히, 앞서 언급한 제 2 노즐장치(154)는 베이스플레이트(132)와 카세트(10a) 사이에서 상기 카세트(10a)의 배면(2)을 향하고 있고, 외부에서 CDA를 공급하는 공급관(160)은 베이스플레이트(132)를 관통하여 제 2 노즐장치(154)에 연결되어 있다. More specifically, the aforementioned second nozzle device 154 faces the rear surface 2 of the cassette 10a between the base plate 132 and the cassette 10a, and supplies a supply pipe 160 to supply CDA from the outside. The silver penetrates through the base plate 132 and is connected to the second nozzle device 154.

이때 베이스플레이트(132)의 회전에 의해 공급관(160)이 꼬이지 않도록 하기 위해서는, 도시한 바와 같이 베이스플레이트(132)의 타면 실질적인 중심부분에서 수직하게 샤프트(136)가 분기되도록 하고, 공급관(160)은 이 샤프트(136)를 길이방 향으로 관통하여 제 2 노즐장치(154)에 연결되는 것이 바람직하다. In this case, in order to prevent the supply pipe 160 from being twisted by the rotation of the base plate 132, the shaft 136 is branched vertically at a substantially central portion of the other side of the base plate 132 as shown, and the supply pipe 160 is disposed. It is preferable that the shaft 136 penetrates in the longitudinal direction and is connected to the second nozzle device 154.

그리고 이 공급관(160) 적절한 위치에는 인라인 히터(170)가 구비되어 이를 흐르는 CDA를 가열할 수 있는데, 이 인라인 히터(170)는 상기한 역할을 하는 한 어떠한 구성도 가능하다.In addition, the inlet heater 170 is provided at a proper position of the supply pipe 160 to heat the CDA flowing therethrough. The inline heater 170 may have any configuration as long as it plays the above-described role.

따라서 제 2 노즐장치(154)로 공급되는 CDA를 고온으로 가열하여 분사함으로서, 카세트(10a) 배면(2)에 대한 건조능력을 보다 향상시킬 수 있다.
Therefore, by heating and injecting the CDA supplied to the second nozzle device 154 at a high temperature, it is possible to further improve the drying capacity of the back surface 2 of the cassette 10a.

본 발명은 카세트 배면에서 CDA를 분사하는 노즐장치가 포함된 카세트세정장치를 제공하는 바, 건조시간을 단축시켜 작업수율을 향상시키는 장점이 있다.The present invention provides a cassette cleaning apparatus including a nozzle apparatus for ejecting CDA from the rear of the cassette, which has an advantage of shortening the drying time and improving work yield.

특히 본 발명에 따른 카세트세정장치는 다수의 서포트바가 형성된 대면적 기판저장용 카세트에 적용될 경우에 효과적인데, 다수의 서포트바로 인해 건조에 취약한 구조를 갖게 되는 카세트 배면부분으로 CDA를 집중 분사함으로서, 짧은 시간에 효과적인 건조를 가능하게 한다.In particular, the cassette cleaning apparatus according to the present invention is effective when applied to a large area substrate storage cassette in which a plurality of support bars are formed, and by injecting CDA into the cassette back portion having a structure vulnerable to drying due to the plurality of support bars, Enables effective drying in time.

그리고 특히 상기 CDA는 고온으로 가열된 상태일 수 있고, 건조효율 더욱 향상시켜 작업수율을 높이는 장점을 가지고 있다.In particular, the CDA may be heated to a high temperature, and has an advantage of further improving the drying efficiency to increase work yield.

Claims (9)

정면에 개구부가 형성되며, 배면 내측으로부터 개구부를 향해 분기된 다수의 서포트바가 설치된 카세트를 세정하는 카세트세정장치로서,An cassette cleaning apparatus for cleaning a cassette having an opening formed in the front side and having a plurality of support bars branched from the inside of the back toward the opening, 상기 개구부가 일방향을 향하도록 상기 카세트를 수용하는 세정영역과;A cleaning area for receiving the cassette such that the opening faces one direction; 상기 카세트를 상기 일방향의 반대방향인 타 방향에서 지지하는 턴테이블어셈블리와;A turntable assembly for supporting the cassette in another direction opposite to the one direction; 상기 카세트 개구부가 일방향을 향한 상태로 회전하도록 상기 턴테이블어셈블리를 회전시키는 구동수단과;Drive means for rotating the turntable assembly such that the cassette opening rotates in one direction; 상기 개구부를 통해 상기 카세트 내로 인입/인출될 수 있도록 이동 가능하고, DI와 CDA를 분사하는 제 1 노즐장치와;A first nozzle device which is movable to be pulled into / out of the cassette through the opening, and which injects DI and CDA; 상기 타방향에서 상기 카세트 배면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치A second nozzle device for injecting DI and CDA toward the cassette rear surface in the other direction 를 포함하는 카세트세정장치Cassette cleaning device comprising a 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 카세트세정장치는The cassette cleaning device 상기 카세트 외측면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 3 노즐장치과;A third nozzle device for injecting DI and CDA toward the cassette outer surface; 상기 카세트 외측면을 향해 고온 가열된 열풍을 분사하는 제 4 노즐장치A fourth nozzle device for injecting hot air heated at a high temperature toward the cassette outer surface 를 더욱 포함하는 카세트세정장치Cassette cleaning device further comprising 청구항 1 또는 2항 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 카세트는 상기 개구부가 상방을 향하도록 상기 세정영역에 수용되고,The cassette is accommodated in the cleaning area such that the opening faces upward; 상기 턴테이블어셈블리는,The turntable assembly is, 상면이 상기 카세트 배면과 소정의 간격을 두고 대향하는 베이스플레이트와;A base plate having an upper surface facing the cassette rear surface at a predetermined interval; 상기 베이스플레이트 상면에서 분기하여 상기 카세트 배면에 접촉되는 받침단과;A support end branching from an upper surface of the base plate and contacting the rear surface of the cassette; 상기 베이스플레이트 저면으로부터 실질적으로 수직하게 분기한 샤프트A shaft substantially vertically branching from the bottom of the base plate 를 포함하는 카세트세정장치Cassette cleaning device comprising a 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 구동수단은 The driving means 회전축을 가지는 동력발생장치와;A power generator having a rotating shaft; 상기 회전축과 상기 샤프트를 연결하는 연결부재A connecting member connecting the rotating shaft and the shaft 를 포함하는 카세트세정장치Cassette cleaning device comprising a 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 제 2 노즐장치는 상기 베이스플레이트와 상기 카세트배면 사이에 위치하고,The second nozzle device is located between the base plate and the back of the cassette, 상기 제 2 노즐장치로 DI 및 CDA를 공급하며, 상기 샤프트를 길이방향으로 관통하는 공급관Supply pipe for supplying DI and CDA to the second nozzle device, penetrating the shaft in the longitudinal direction 을 더욱 포함하는 카세트세정장치Cassette cleaning device further comprising 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 공급관에 설치되어 상기 공급관을 흐르는 CDA를 가열하는 인라인 히터An in-line heater installed in the supply pipe to heat the CDA flowing through the supply pipe 를 더욱 포함하는 카세트세정장치Cassette cleaning device further comprising 삭제delete 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 연결부재는 벨트인 카세트세정장치The connecting member is a belt cassette cleaning device 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 동력발생장치는 모터인 카세트세정장치The power generating device is a cassette cleaning device is a motor
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