KR102554793B1

KR102554793B1 - Dual slit air knife

Info

Publication number: KR102554793B1
Application number: KR1020210105185A
Authority: KR
Inventors: 최기영; 김경표; 정종선
Original assignee: 주식회사 레드애로우
Priority date: 2021-08-10
Filing date: 2021-08-10
Publication date: 2023-07-12
Also published as: KR20230023239A

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 구비된 제1 몸체부재, 내부에 에어를 수용하는 제2 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제2 통로가 구비된 제2 몸체부재, 상기 제1 몸체부재와 제2 몸체부재 사이에 위치하는 중심몸체 및 상기 제1 몸체부재의 상면에 위치하며, 상기 제1 몸체부재의 상면과 평행한 제1 방향으로 수평 이동하는 이동부재를 포함할 수 있다.A dual slit air knife according to an embodiment of the present invention includes a first body member having a first chamber accommodating air therein, a first passage through which the air is ejected to the outside, and a second chamber accommodating air therein. And a second body member provided with a second passage through which the air is injected to the outside, a central body located between the first body member and the second body member, and located on an upper surface of the first body member, the first body member It may include a moving member that moves horizontally in a first direction parallel to the upper surface of the body member.

Description

Dual slit air knife {DUAL SLIT AIR KNIFE}

본 발명은 듀얼 슬릿 에어나이프에 관한 것이다.The present invention relates to a dual slit air knife.

반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD)는 웨이퍼(Wafer) 또는 평판 글라스에 다양한 공정 처리를 통해 제조된다. 웨이퍼(Wafer) 또는 평판 글라스와 같은 기판은 유기물, 미립자 또는 금속/이온 오염으로 인한 성능 저하 또는 오류에 민감하므로 세정공정이 중요하다.A semiconductor device or flat panel display (FPD) is manufactured through various processes on a wafer or flat glass. A substrate such as a wafer or flat glass is sensitive to performance degradation or failure due to organic matter, particulate matter, or metal/ion contamination, so a cleaning process is important.

최근에는 이들 중에서 전력 소모와 부피가 적고, 저전력 구동이 가능한 액정 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있다. 액정 디스플레이 장치는 실질적으로 영상을 표시하기 위한 디스플레이 패널을 포함한다. 디스플레이 패널은 통상 유리 재질의 대면적 기판을 이용하여 상기 기판상에 회로 패턴을 형성하기 위한 다양한 단위 공정들 예를 들어, 증착 공정, 포토 공정, 식각 공정, 에칭 공정 등을 반복적으로 수행하여 제조된다.Recently, among them, a liquid crystal display device having low power consumption and volume and capable of being driven with low power has been widely used. A liquid crystal display device substantially includes a display panel for displaying an image. A display panel is typically manufactured by repeatedly performing various unit processes for forming a circuit pattern on the substrate using a large-area substrate made of glass, for example, a deposition process, a photo process, an etching process, an etching process, and the like. .

단위 공정들을 진행한 후에는 세정 공정이 수반된다. 세정 공정은 일반적으로 기판상에 붙어 있는 먼지나 유기물 등을 제거하는 공정으로 DI water(deionized water) 등의 세정액을 이용한 수세 단계와, 상기 수세 공정 이후에 건조 기체(예컨대 에어) 등을 분사하여 기판에 잔류하는 세정액을 제거 및 건조시키는 건조 단계를 포함한다. After the unit processes are performed, a cleaning process is followed. The cleaning process is generally a process of removing dust or organic substances attached to the substrate, and includes a washing step using a cleaning solution such as DI water (deionized water), and spraying a dry gas (eg air) to the substrate after the washing process. and a drying step of removing and drying the cleaning solution remaining on the surface.

건조 단계에서는 기판 표면에 고압으로 건조 공기를 분사하여 기판 표면에 잔류하는 수분이나 세정액을 제거하게 된다. 이러한 건조 공정에는 외부로부터 건조 공기를 공급받아 가압 분사하는 에어나이프가 이용된다.In the drying step, dry air is blown to the surface of the substrate at high pressure to remove moisture or cleaning liquid remaining on the surface of the substrate. In this drying process, an air knife that receives dry air from the outside and pressurizes it is used.

일반적으로, 에어나이프는 약액처리 공정과 린스 공정을 마치고 이송되는 기판의 상측과 하측에 각각 기판의 폭방향과 평행하게 배치되며, 기판의 표면에 공기를 고압으로 분사하여 기판 표면에 잔류하는 수분이나 세정액을 제거하게 된다.In general, air knives are disposed parallel to the width direction of the substrate on the upper and lower sides of the substrate transferred after the chemical treatment process and the rinse process, respectively, and spray air at high pressure on the surface of the substrate to remove moisture or moisture remaining on the surface of the substrate. This will remove the cleaning solution.

최근, 평판 디스플레이에 이용되는 기판의 크기가 커지면서 에어나이프가 공기를 분사해야 할 영역의 크기가 커지면서 한 번의 건조 공기 분사를 통해서 기판 표면을 완전히 건조시키지 못하는 문제가 발생하고 있다. 기판 표면에서 수분이나 세정액이 완전히 제거되지 못한 상태에서 기판이 건조되면, 기판 표면에 얼룩이 남아 추가적인 세정 작업이 필요하다.Recently, as the size of a substrate used in a flat panel display increases, the size of an area to be blown by an air knife increases, resulting in a problem in that the surface of the substrate cannot be completely dried through one blow of dry air. If the substrate is dried while moisture or cleaning solution is not completely removed from the surface of the substrate, stains remain on the surface of the substrate, requiring additional cleaning.

또한, 크기가 큰 기판을 건조하기 위해서는 에어나이프의 길이도 이에 맞춰 길어져야 하는데, 에어나이프의 길이가 길어지면 에어나이프가 휘어지기 쉽고, 에어나이프가 휘어진 상태로 건조 공기를 분사하면 기판 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하지 못하여 건조 효율이 떨어지는 문제가 발생하게 된다.In addition, in order to dry a large-sized substrate, the length of the air knife must be lengthened accordingly. If the length of the air knife is long, the air knife is easy to bend, and if the dry air is sprayed while the air knife is bent, the entire substrate is uniformly dried. Since drying air cannot be sprayed properly, a problem in which drying efficiency is lowered occurs.

상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중 분사하는 방식으로 기판의 표면에 묻어있는 세정액을 안정적으로 제거할 수 있는 듀얼 슬릿 에어나이프를 제공하고자 한다.Based on the above technical background, one embodiment of the present invention is a method of double spraying air on the surface of a substrate transferred after a cleaning process, which can stably remove the cleaning liquid on the surface of the substrate. It is intended to provide a dual slit air knife.

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 구비된 제1 몸체부재, 내부에 에어를 수용하는 제2 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제2 통로가 구비된 제2 몸체부재, 상기 제1 몸체부재와 제2 몸체부재 사이에 위치하는 중심몸체, 및 상기 제1 몸체부재의 상면에 위치하며, 상기 제1 몸체부재의 상면과 평행한 제1 방향으로 직선 이동하는 이동부재를 포함할 수 있다. A dual slit air knife according to an embodiment of the present invention includes a first body member having a first chamber accommodating air therein, a first passage through which the air is ejected to the outside, and a second chamber accommodating air therein. And a second body member provided with a second passage through which the air is sprayed to the outside, a central body located between the first body member and the second body member, and located on an upper surface of the first body member, 1 may include a movable member that linearly moves in a first direction parallel to the upper surface of the body member.

제1 몸체부재는 상면으로부터 돌출된 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부는 상기 상면으로부터 경사지게 연장되는 경사면을 포함할 수 있다.The first body member may include a protruding portion protruding from the upper surface, and the protruding portion may include an inclined surface extending obliquely from the upper surface.

이동부재 상에 위치하는 수납부재를 더 포함하고, 상기 수납부재는 상기 이동부재를 수납하는 안착부 및 상기 안착부의 일단으로부터 수직하게 연장되는 제1 측벽을 포함할 수 있다. The apparatus may further include a storage member positioned on the moving member, and the storage member may include a seating portion accommodating the moving member and a first sidewall extending vertically from one end of the seating portion.

제1 측벽의 내측면은 상기 돌출부의 외측면과 접할 수 있다.An inner surface of the first sidewall may contact an outer surface of the protrusion.

수납부재의 안착부와 상기 이동부재 사이에 위치하고, 상기 이동부재의 상면과 연결되어, 상기 이동부재를 상기 제1 방향으로 이동시키는 상부레일, 상기 이동부재의 하면과 상기 경사면 사이에 위치하여, 상기 이동부재의 이동에 따라 상기 제1 몸체부재를 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시키는 하부레일, 및 상기 중심몸체의 상부 일면에 구비되어, 상기 중심몸체의 상부 일면과 마주보는 상기 제1 몸채부재의 이동을 가이드하는 가이드레일을 더 포함할 수 있다. An upper rail located between the seating portion of the storage member and the movable member, connected to the upper surface of the movable member, and moving the movable member in the first direction, positioned between the lower surface of the movable member and the inclined surface, A lower rail for moving the first body member in a second direction perpendicular to the first direction according to the movement of the movable member, and provided on one upper surface of the central body and facing the upper surface of the central body. 1 may further include a guide rail for guiding the movement of the body member.

가이드레일은 상기 제1 몸체부제 방향으로 돌출된 걸림돌기를 포함할 수 있다. The guide rail may include a locking protrusion protruding in the direction of the first body member.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다. According to any one of the above-described problem solving means of the present invention, the dual slit air knife according to an embodiment of the present invention double-injects air on the surface of the substrate transferred after the cleaning process, regardless of the size of the substrate. Drying efficiency can be improved by uniformly spraying dry air.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 에어나이프 각각의 각도 조절을 용이하게 수행할 수 있으므로, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 효과적으로 제거할 수 있다. In addition, since the dual slit air knife according to an embodiment of the present invention can easily adjust the angle of each air knife, cleaning liquid and moisture on the surface of the substrate can be effectively removed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 포함하는 건조모듈의 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 듀얼 슬릿 에어나이프를 상세하게 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 I-I'의 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 이동부재의 이동에 따른 몸체부재의 이동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도3에 도시된 유압실린더부재에 의한 이동부재의 이동을 상세하게 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 설명하기 위한 단면도이다. 1 is a schematic diagram of a drying module including a dual slit air knife according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view for explaining in detail the dual slit air knife shown in FIG. 1;
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line II′ shown in FIG. 1 .
Figure 4 is a cross-sectional view for explaining the movement of the body member according to the movement of the moving member shown in Figure 3;
5 is an exemplary view for explaining in detail the movement of the moving member by the hydraulic cylinder member shown in FIG.
6 is a cross-sectional view for explaining a dual slit air knife according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참고부호를 붙였다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. This invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly describe the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are attached to the same or similar components throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In this specification, terms such as "include" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. In addition, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is said to be “on” another part, this includes not only the case where it is “directly on” the other part, but also the case where there is another part in the middle. Conversely, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is said to be "under" another part, this includes not only the case where it is "directly below" the other part, but also the case where another part exists in the middle.

본 명세서에서 사용되는 용어에 대해 간략히 설명하고, 본 발명에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.The terms used in this specification will be briefly described, and the present invention will be described in detail.

본 명세서에서 "기판(S)"은 반도체 제조 공정, LCD(Liquid crystal display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판표시장치(Flat panel display, FPD), 터치 패널(Touch Panel) 등을 제조하기 위해 특정 형상의 패턴(Pattern)이 형성된 ITO(Indium Tin Oxide) 필름 등의 투명 전도막과 이에 연결되는 배선이 형성된 PET(Polyethylene Terephthalate) 필름 또는 글래스(Glass) 등을 의미한다.In this specification, "substrate (S)" refers to a semiconductor manufacturing process, a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD), organic light emitting diodes (OLED), a touch panel, and the like. It means a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide) film on which a pattern of a specific shape is formed and PET (Polyethylene Terephthalate) film or glass on which wiring is formed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 포함하는 건조모듈의 개략도이다. 1 is a schematic diagram of a drying module including a dual slit air knife according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 건조모듈(1000)은 건조챔버(100), 기판이송부(200), 듀얼 슬릿 에어나이프(300), 제어부(400) 및 에어공급부(500)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the drying module 1000 according to an embodiment of the present invention includes a drying chamber 100, a substrate transfer unit 200, a dual slit air knife 300, a control unit 400, and an air supply unit 500. ) may be included.

건조챔버(100)는 기판(S)을 건조 처리하기 위한 공간을 제공할 수 있다. 건조챔버(100)는 건조공정이 수행되는 동안 기판(S)이 외부로부터의 오염물질에 노출되지 않도록 기판(S)을 보호하는 역할을 할 수 있다. 건조챔버(100)의 상부에는 필터유닛이 구비될 수 있다. 예를 들어, 필터유닛을 통해 건조챔버(100) 내부로 유입된 공기는 상부에서 하부로 이동하여 외부로 빠져나갈 수 있다. 이에 따라, 건조챔버(100) 내부는 오염물질이 최소화된 청정한 상태가 유지될 수 있다. The drying chamber 100 may provide a space for drying the substrate S. The drying chamber 100 may serve to protect the substrate S from being exposed to contaminants from the outside during the drying process. A filter unit may be provided above the drying chamber 100 . For example, air introduced into the drying chamber 100 through the filter unit may move from the top to the bottom and escape to the outside. Accordingly, the inside of the drying chamber 100 can be maintained in a clean state with minimized contaminants.

기판이송부(200)는 건조챔버(100) 내부에 구비될 수 있다. 기판이송부(200)는 기판(S)이 건조되는 동안에 기판(S)을 일방향으로 이송할 수 있다. 예를 들어, 기판이송부(200)는 기판(S)의 이송경로를 따라 설치되는 복수 개의 롤러 또는 컨베이어벨트 등을 포함할 수 있으며, 그 상면으로 기판이 로딩(loading)될 수 있다. The substrate transfer unit 200 may be provided inside the drying chamber 100 . The substrate transfer unit 200 may transfer the substrate S in one direction while the substrate S is being dried. For example, the substrate transfer unit 200 may include a plurality of rollers or a conveyor belt installed along the transfer path of the substrate S, and the substrate may be loaded onto the upper surface thereof.

듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 건조챔버(100) 내부에 구비될 수 있다. 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 기판(S)의 상방 또는 상하방에서 기판(S)과 일정거리 이격되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 기판(S)에 적층된 배선들을 손상시키지 않으면서, 기판(S)을 건조할 수 있다. The dual slit air knife 300 may be provided inside the drying chamber 100 . The dual slit air knife 300 may be disposed above or below the substrate S to be spaced apart from the substrate S by a predetermined distance. Accordingly, the substrate S may be dried without damaging the wires stacked on the substrate S.

건조공정은 기판이송부(200) 상에서 일방향으로 이송되는 기판(S)에 고온 고압의 에어를 분사함으로써 수행될 수 있다. 예를 들어, 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 건조챔버(100)의 상측 또는 하측, 상측 및 하측에 배치되며 복수 개로 구성될 수 있다. 또한, 듀얼 슬릿 에어나이프(300)의 분사각은 건조 대상물의 종류에 따라 약 30도에서 90도 각도로 조절될 수 있다. 예를 들어, 듀얼 슬릿 에어나이프(300)의 분사각은 기판(S), 기판(S)에 형성된 패턴의 종류 및 두께 등을 고려하여 설정될 수 있다. The drying process may be performed by spraying high-temperature and high-pressure air to the substrate S being transferred in one direction on the substrate transfer unit 200 . For example, the dual slit air knives 300 are disposed on the upper or lower side, upper and lower sides of the drying chamber 100 and may be configured in plurality. In addition, the spray angle of the dual slit air knife 300 may be adjusted from about 30 degrees to about 90 degrees depending on the type of object to be dried. For example, the blowing angle of the dual slit air knife 300 may be set in consideration of the substrate S, the type and thickness of the pattern formed on the substrate S, and the like.

제어부(400)는 듀얼 슬릿 에어나이프(300)와 연결될 수 있다. 제어부(400)는 듀얼 슬릿 에어나이프(300)의 높이 및 각도를 조절할 수 있다. The controller 400 may be connected to the dual slit air knife 300 . The controller 400 may adjust the height and angle of the dual slit air knife 300 .

에어공급부(500)는 듀얼 슬릿 에어나이프(300)에 에어를 공급하기 위한 장치로서, 지속적으로 에어를 보충받을 수 있다. 예를 들어, 에어는 고순도의 질소(N2) 가스, CDA(clean dry air) 등일 수 있다. The air supply unit 500 is a device for supplying air to the dual slit air knife 300, and air can be continuously replenished. For example, the air may be high-purity nitrogen (N2) gas, clean dry air (CDA), or the like.

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다. The dual slit air knife 300 according to an embodiment of the present invention sprays dry air uniformly over the entire substrate regardless of the size of the substrate by doubly spraying air on the surface of the substrate being transported after the cleaning process, thereby increasing the drying efficiency. can improve

도 2는 도 1에 도시된 듀얼 슬릿 에어나이프를 상세하게 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 I-I'의 단면도이다. FIG. 2 is a perspective view for explaining the dual slit air knife shown in FIG. 1 in detail, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line II' shown in FIG.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 제1 몸체부재(310), 제2 몸체부재(320), 중심몸체(330), 이동부재(340), 수납부재(360), 유압실린더부재(370), 및 레일부재(380)를 포함할 수 있다. 2 and 3, the dual slit air knife 300 according to an embodiment of the present invention includes a first body member 310, a second body member 320, a central body 330, a moving member ( 340), a storage member 360, a hydraulic cylinder member 370, and a rail member 380.

제1 몸체부재(310)는 중심몸체(330)의 일면에 구비될 수 있다. 제1 몸체부재(310)는 제1 챔버(311), 제1 통로(312), 돌출부(313) 및 제1 발열부재(317)를 포함할 수 있다. The first body member 310 may be provided on one surface of the central body 330 . The first body member 310 may include a first chamber 311 , a first passage 312 , a protrusion 313 and a first heating member 317 .

제1 챔버(311)는 중심몸체(330) 일면과 마주보는 제1 몸체부재(310)의 일면에 구비될 수 있다. 제1 챔버(311)는 내부에 에어를 수용할 수 있다. 제1 챔버(311)는 에어를 공급받기 위하여, 외부의 공기공급장치(미도시)와 연결될 수 있다. The first chamber 311 may be provided on one side of the first body member 310 facing the one side of the central body 330 . The first chamber 311 may contain air therein. The first chamber 311 may be connected to an external air supply device (not shown) in order to receive air.

제1 통로(312)는 중심몸체(330) 일면과 마주보는 제1 몸체부재(310)의 일면에 구비될 수 있다. 제1 통로(312)는 제1 챔버(311)와 연결될 수 있다. 제1 통로(312)는 제1 챔버(311)로부터 유입된 공기를 외부로 분사할 수 있다.The first passage 312 may be provided on one side of the first body member 310 facing the one side of the central body 330 . The first passage 312 may be connected to the first chamber 311 . The first passage 312 may eject air introduced from the first chamber 311 to the outside.

돌출부(313)는 제1 몸체부재(310)의 상면으로부터 수직한 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 돌출부(313)는 상면으로부터 경사지게 연장되는 경사면(313a) 및 제1 몸체부재(310)의 외측면으로부터 수직하게 연장되는 돌출부외측면(313b)을 포함할 수 있다. The protruding portion 313 may be formed to protrude in a vertical direction from the upper surface of the first body member 310 . The protrusion 313 may include an inclined surface 313a extending obliquely from the upper surface and an outer surface 313b extending perpendicularly from the outer surface of the first body member 310 .

제1 발열부재(317)는 제1 몸체부재(310)의 일측면에 설치되어 제1 챔버(311)에 열을 가할 수 있다. 예를 들어, 제1 발열부재(317)는 제1 챔버(311)와 인접한 제1 몸체부재(310)의 측면에 설치될 수 있다. 제1 발열부재(317)는 제1 몸체부재(310)의 내측에 매립되어 제1 챔버(311)와 인접하게 배치되거나, 제1 몸체부재(310)의 외측면에 제1 챔버(311) 방향으로 함입되는 홈(미도시)에 삽입되어 설치될 수 있다. 이러한 제1 발열부재(311)는 전열관 등의 발열체일 수 있으며, 제1 몸체부재(310)의 연장방향으로 연장 형성되어, 복수개가 상하방향으로 일렬로 배치될 수 있다. The first heating member 317 may be installed on one side of the first body member 310 to apply heat to the first chamber 311 . For example, the first heating member 317 may be installed on a side surface of the first body member 310 adjacent to the first chamber 311 . The first heating member 317 is buried inside the first body member 310 and disposed adjacent to the first chamber 311, or is disposed on the outer surface of the first body member 310 in the direction of the first chamber 311. It can be installed by being inserted into a groove (not shown) that is recessed into. The first heat generating member 311 may be a heating element such as a heat transfer pipe, extends in the extension direction of the first body member 310, and may be arranged in a plurality in a vertical direction.

제2 몸체부재(320)는 중심몸체(330) 타면에 구비될 수 있다. 제2 몸체부재(320)는 제2 챔버(321), 제2 통로(322) 및 제2 발열부재(327)를 포함할 수 있다. The second body member 320 may be provided on the other surface of the center body 330 . The second body member 320 may include a second chamber 321 , a second passage 322 and a second heating member 327 .

제2 챔버(321)는 중심몸체(330)의 타면과 마주보는 제2 몸체부재(320)의 일면에 구비될 수 있다. 제2 챔버(321)는 내부에 에어를 수용할 수 있다. 제2 챔버(321)는 에어를 공급받기 위하여, 외부의 공기공급장치(미도시)와 연결될 수 있다. The second chamber 321 may be provided on one surface of the second body member 320 facing the other surface of the central body 330 . The second chamber 321 may contain air therein. The second chamber 321 may be connected to an external air supply device (not shown) to receive air supply.

제2 통로(322)는 중심몸체(330) 타면과 마주보는 제2 몸체부재(310)의 일면에 구비될 수 있다. 제2 통로(322)는 제2 챔버(321)와 연결될 수 있다. 제2 통로(322)는 제2 챔버(321)로부터 유입된 공기를 외부로 분사할 수 있다.The second passage 322 may be provided on one surface of the second body member 310 facing the other surface of the central body 330 . The second passage 322 may be connected to the second chamber 321 . The second passage 322 may inject air introduced from the second chamber 321 to the outside.

제2 발열부재(327)는 제2 몸체부재(320)의 일측면에 설치되어 제2 챔버(321)에 열을 가할 수 있다. 예를 들어, 제2 발열부재(327)는 제2 챔버(321)와 인접한 제2 몸체부재(320)의 측면에 설치될 수 있다. 제2 발열부재(327)는 제2 몸체부재(320)의 내측에 매립되어 제2 챔버(321)와 인접하게 배치되거나, 제2 몸체부재(320)의 외측면에 제2 챔버(321) 방향으로 함입되는 홈(미도시)에 삽입되어 설치될 수 있다. 이러한 제2 발열부재(321)는 전열관 등의 발열체일 수 있으며, 제2 몸체부재(320)의 연장방향으로 연장 형성되어, 복수개가 상하방향으로 일렬로 배치될 수 있다. The second heating member 327 is installed on one side of the second body member 320 to apply heat to the second chamber 321 . For example, the second heating member 327 may be installed on a side surface of the second body member 320 adjacent to the second chamber 321 . The second heating member 327 is buried inside the second body member 320 and disposed adjacent to the second chamber 321, or is disposed adjacent to the second chamber 321 on the outer surface of the second body member 320 in the direction of the second chamber 321. It can be installed by being inserted into a groove (not shown) that is recessed into. The second heat generating member 321 may be a heat generating element such as a heat transfer pipe, extends in the extension direction of the second body member 320, and may be arranged in a plurality in a vertical direction.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 제1 및 제2 몸체부재(310, 320) 각각에 발열부재(317, 327)가 구비되기 때문에, 기판 상에 박리된 미세 이물이 재흡착되는 것을 방지함과 동시에, 기판의 건조 효율을 향상시킬 수 있다.Accordingly, in one embodiment of the present invention, since the heating members 317 and 327 are provided in each of the first and second body members 310 and 320, re-adsorption of fine foreign substances exfoliated on the substrate is prevented. At the same time, the drying efficiency of the substrate can be improved.

중심몸체(330)는 제1 몸체부재(310) 및 제2 몸체부재(320) 사이에 배치될 수 있다. 중심몸체(330)와 제1 몸체부재(310) 사이에는 제1 슬릿(315)이 구비될 수 있다. 제1 챔버(311)로부터 제1 통로(312)로 유입된 공기는 제1 슬릿(315)을 통하여 외부로 분사될 수 있다. 또한, 중심몸체(330)와 제2 몸체부재(320) 사이에는 제2 슬릿(325)이 구비될 수 있다. 제2 챔버(321)로부터 제2 통로(322)로 유입된 공기는 제2 슬릿(325)을 통하여 외부로 분사될 수 있다. The central body 330 may be disposed between the first body member 310 and the second body member 320 . A first slit 315 may be provided between the central body 330 and the first body member 310 . Air introduced into the first passage 312 from the first chamber 311 may be injected to the outside through the first slit 315 . In addition, a second slit 325 may be provided between the central body 330 and the second body member 320 . Air introduced into the second passage 322 from the second chamber 321 may be injected to the outside through the second slit 325 .

이동부재(340)는 제1 몸체부재(310)에 상에 위치할 수 있다. 이동부재(340)는 제1 몸체부재(310)의 상면과 평행한 제1 방향으로 수평 이동할 수 있다. 예를 들어, 이동부재(340)의 상면은 상부레일(381)과 연결되고, 하면은 하부레일(382)과 연결될 수 있다. 이동부재(340)의 하면은 제1 몸체부재(310)의 상면과 맞닿는 제1 하면 및 상기 제1 하면으로부터 경사지게 연장되어 돌출부의 경사면과 마주보는 가이드경사면을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 가이드 경사면에 하부레일(382)이 연결될 수 있다. The moving member 340 may be located on the first body member 310 . The movable member 340 may move horizontally in a first direction parallel to the upper surface of the first body member 310 . For example, the upper surface of the movable member 340 may be connected to the upper rail 381 and the lower surface may be connected to the lower rail 382 . The lower surface of the movable member 340 may include a first lower surface in contact with the upper surface of the first body member 310 and a guide inclined surface extending obliquely from the first lower surface and facing the inclined surface of the protrusion. In this case, the lower rail 382 may be connected to the inclined surface of the guide.

수납부재(360)는 이동부재(340) 상에 구비되어, 이동부재(340), 유압실린더부재(370) 및 상부레일(381)을 수납하고, 돌출부(313)의 수평이동을 제어할 수 있다. 수납부재(360)는 안착면(361) 및 제1 측벽(362)을 포함할 수 있다. 안착면(361)은 상부레일(381)을 고정하고, 상부레일(381)과 연결된 이동부재(340)를 수납할 수 있다. 제1 측벽(362)은 안착면(361)의 끝단에서 안착면(361)으로부터 수직하게 돌출되도록 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 측벽(362)의 내측면은 돌출부의 외측면(313b)과 접할 수 있다. 즉, 제1 측벽(362)은 제1 몸체부재(310)의 외측면을 감싸도록 구비될 수 있다. The accommodating member 360 is provided on the movable member 340 to accommodate the movable member 340, the hydraulic cylinder member 370, and the upper rail 381, and control the horizontal movement of the protrusion 313. . The storage member 360 may include a seating surface 361 and a first sidewall 362 . The seating surface 361 may fix the upper rail 381 and accommodate the movable member 340 connected to the upper rail 381 . The first sidewall 362 may be formed to protrude vertically from the seating surface 361 at an end of the seating surface 361 . In this case, the inner surface of the first sidewall 362 may contact the outer surface 313b of the protrusion. That is, the first sidewall 362 may be provided to surround the outer surface of the first body member 310 .

본 발명의 일 실시예는 제1 측벽(362)이 구비됨으로써, 이동부재(340)의 이동에 따라, 제1 몸체부재(310)의 제1 방향으로 이동하는 것을 제어할 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310)는 안정적으로 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다. In one embodiment of the present invention, since the first sidewall 362 is provided, movement of the first body member 310 in the first direction according to the movement of the movable member 340 can be controlled. Accordingly, the first body member 310 can stably move in a second direction perpendicular to the first direction.

유압실린더부재(370)는 수납부재(360) 내에 구비되며, 이동부재(340)와 연결될 수 있다. 또한, 유압실린더부재(370)는 제어부와 연결되어 제어될 수 있다. 예를 들어, 유압실린더부재(370)는 제어부의 제어신호에 따라, 이동부재(340)를 제1 방향 또는 제1 방향과 반대방향인 제3 방향으로 이동시킬 수 있다. 이동부재(340)가 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동함에 따라, 하부레일(382)에 연결된 제1 몸체부재(310)는 제1 방향 및 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 수직이동 할 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310) 중심몸체(330)에 단차가 발생될 수 있어, 제1 슬릿(315)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다. The hydraulic cylinder member 370 is provided in the accommodating member 360 and may be connected to the moving member 340 . In addition, the hydraulic cylinder member 370 may be connected to and controlled by the control unit. For example, the hydraulic cylinder member 370 may move the movable member 340 in a first direction or in a third direction opposite to the first direction according to a control signal from the control unit. As the movable member 340 moves in the first or third direction, the first body member 310 connected to the lower rail 382 may vertically move in a second direction perpendicular to the first and third directions. can Accordingly, a level difference may be generated in the central body 330 of the first body member 310, so that the angle of the air injected into the first slit 315 can be easily controlled.

레일부재(380)는 이동부재(340) 및 제1 몸체부재(310)의 이동을 가이드할 수 있다. 레이부재(380)는 상부레일(381), 하부레일(382) 및 가이드레일(383)을 포함할 수 있다. The rail member 380 may guide the movement of the movable member 340 and the first body member 310 . The lay member 380 may include an upper rail 381 , a lower rail 382 and a guide rail 383 .

상부레일(381)은 수납부재(360)와 이동부재(340) 사이에 위치할 수 있다. 상부레일(381)은 수납부재(360)의 안착부(361)에 고정되고, 이동부재(340)의 상면과 연결될 수 있다. 상부레일(381)은 유압실린더부재(370)의 제어에 따라, 이동부재(340)를 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동시킬 수 있다. The upper rail 381 may be positioned between the storage member 360 and the movable member 340 . The upper rail 381 may be fixed to the seating portion 361 of the storage member 360 and connected to an upper surface of the movable member 340 . The upper rail 381 may move the movable member 340 in a first direction or a third direction under the control of the hydraulic cylinder member 370 .

하부레일(382)은 이동부재(340)의 하면과 돌출부(313)의 경사면(313a) 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 하부레일(390)은 돌출부의 경사면(313a)에 고정되고, 돌출부의 경사면(313a)과 마주보는 이동부재(340)의 가이드경사면에 연결될 수 있다. The lower rail 382 may be positioned between the lower surface of the movable member 340 and the inclined surface 313a of the protrusion 313 . For example, the lower rail 390 may be fixed to the inclined surface 313a of the protruding part and connected to the inclined surface of the guide of the movable member 340 facing the inclined surface 313a of the protruding part.

가이드레일(383)은 제1 몸체부재(310)와 중심몸체(330) 사이에 구비될 수 있다. 가이드레일(383)은 이동부재(340)의 이동에 따른 제1 몸체부재(310)의 수직운동을 가이드하고 제어하는 기능을 수행할 수 있다. 이를 위해, 가이드레일(383)은 중심몸체(330)의 상부 일면에 고정되고, 중심몸체(330)의 상부 일면과 마주보는 제1 몸채부재(310)에 연결될 수 있다. 또한, 가이드레일(383)은 제1 몸체부재(310) 방향으로 돌출된 걸림돌기(383a)를 포함할 수 있다. 걸림돌기(383a)는 제1 몸체부재(310)의 걸림홈에 맞물릴 수 있으며, 이에 따라, 제1 몸체부재(310)의 수직이동이 제어될 수 있다. The guide rail 383 may be provided between the first body member 310 and the central body 330 . The guide rail 383 may perform a function of guiding and controlling the vertical movement of the first body member 310 according to the movement of the movable member 340 . To this end, the guide rail 383 may be fixed to one upper surface of the central body 330 and connected to the first body member 310 facing the upper surface of the central body 330 . In addition, the guide rail 383 may include a protrusion 383a protruding toward the first body member 310 . The locking protrusion 383a may be engaged with the locking groove of the first body member 310, and thus, the vertical movement of the first body member 310 may be controlled.

본 발명의 일 실시예는 레일부재(380)가 구비됨에 따라, 이동부재(340)가 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동하는 경우, 제1 몸체부재(310)를 제1 방향 또는 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310)와 중심몸체(330) 사이에 단차를 발생시킬 있어, 제1 슬릿(315)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다. 이에 따라, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 더욱 효과적으로 제거할 수 있다. In one embodiment of the present invention, as the rail member 380 is provided, when the movable member 340 moves in the first direction or the third direction, the first body member 310 is moved in the first direction or the third direction. It can be moved in a second direction perpendicular to . Accordingly, a level difference can be generated between the first body member 310 and the central body 330, so that the angle of the air injected into the first slit 315 can be easily controlled. Accordingly, the cleaning liquid and moisture on the surface of the substrate can be more effectively removed.

또한, 본 발명의 일 실시예는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다. In addition, according to an embodiment of the present invention, by spraying air twice on the surface of a substrate transferred after a cleaning process, drying air can be uniformly sprayed over the entire substrate regardless of the size to improve drying efficiency.

도 4는 도 3에 도시된 이동부재의 이동에 따른 몸체부재의 이동을 설명하기 위한 단면도이다. Figure 4 is a cross-sectional view for explaining the movement of the body member according to the movement of the moving member shown in Figure 3;

도 4를 참고하면, 이동부재(340)가 제1 방향으로 이동하는 경우, 이동부재(340)의 상면은 상부레일(381)을 따라 이동하고, 이동부재(340) 하면의 가이드경사면은 하부레일(382)을 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 이동부재(340)가 제1 방향으로 이동함에 따라, 제1 몸체부재(310)는 수납부재(360)의 제1 측벽(362)에 의해 제1 방향으로의 이동이 제어되고, 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310)의 끝단부와 중심몸체(330)의 끝단부에 단차를 조절할 수 있다. 즉, 제1 몸체부재(310)의 끝단부가 중심몸체(330)의 끝단부 보다 높게 위치하도록 이동부재(340)의 이동을 제어하는 경우, 제1 몸체부재(310)의 끝단부를 중심몸체(330)의 끝단부와 동일하게 위치하도록 이동부재(340)의 이동을 제어하는 경우, 제1 몸체부재(310)의 끝단부를 중심몸체(330)의 끝단부 보다 낮게 위치하도록 이동부재의 이동을 제어하는 경우 각각 다른 각도로 공기가 분사될 수 있다. Referring to FIG. 4 , when the movable member 340 moves in the first direction, the upper surface of the movable member 340 moves along the upper rail 381, and the guide inclined surface of the lower surface of the movable member 340 moves along the lower rail. You can move along (382). For example, as the movable member 340 moves in the first direction, the movement of the first body member 310 in the first direction is controlled by the first sidewall 362 of the storage member 360, It may move in a second direction perpendicular to the first direction. Accordingly, it is possible to adjust the step between the end of the first body member 310 and the end of the center body 330 . That is, when the movement of the movable member 340 is controlled such that the end of the first body member 310 is positioned higher than the end of the center body 330, the end of the first body member 310 is placed at the end of the center body 330. ) When controlling the movement of the movable member 340 to be positioned at the same position as the end of the first body member 310 to control the movement of the movable member to be located lower than the end of the center body 330 In this case, air may be injected at different angles.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 에어나이프 각각의 각도 조절을 용이하게 수행할 수 있으므로, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 효과적으로 제거할 수 있다. Accordingly, one embodiment of the present invention can easily adjust the angle of each air knife, so that the cleaning liquid and moisture on the surface of the substrate can be effectively removed.

도 5는 도3에 도시된 유압실린더부재에 의한 이동부재의 이동을 상세하게 설명하기 위한 예시도이다. 5 is an exemplary view for explaining in detail the movement of the moving member by the hydraulic cylinder member shown in FIG.

도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유압실린더부재(370)는 바디부(371), 제1 공기유입부(372), 제2 공기유입부(373), 피스톤부(374), 격벽부(375) 및 이동가이드부(376)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5, the hydraulic cylinder member 370 according to an embodiment of the present invention includes a body part 371, a first air inlet 372, a second air inlet 373, and a piston part 374. , a barrier rib portion 375 and a movement guide portion 376 may be included.

바디부(371)는 제1 공기유입부(372), 제2 공기유입부(373), 피스톤부(374)의 일측 및 격벽부(375)를 삽입할 수 있다. The body part 371 may insert the first air inlet part 372 , the second air inlet part 373 , one side of the piston part 374 and the partition wall part 375 .

제1 공기유입부(372) 및 제2 공기부입부(373)는 바디부(371) 상면에 구비될 수 있다. 제1 공기유입부(372) 및 제2 공기부입부(373)는 외부의 공기유입장치(미도시)와 연결될 수 있다. 제1 공기유입부(372) 및 제2 공기부입부(373)는 격벽부(375)를 사이에 두고 일정거리 이격 배치될 수 있다. The first air inlet 372 and the second air inlet 373 may be provided on an upper surface of the body 371 . The first air inlet 372 and the second air inlet 373 may be connected to an external air inlet device (not shown). The first air inlet 372 and the second air inlet 373 may be spaced apart from each other with the partition wall 375 interposed therebetween.

격벽부(375)는 바디부(371) 내에 배치되며, 피스톤부(374)와 연결될 수 있다. 격벽부(375)는 제1 공기유입부(372)에 공기가 유입되는 경우, 제2 공기부입부(373) 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 격벽부(375)는 제2 공기유입부(373)에 공기가 유입됨에 따라, 제1 공기유입부(372) 방향으로 직선운동 할 수 있다. The partition wall portion 375 is disposed within the body portion 371 and may be connected to the piston portion 374 . The partition wall portion 375 may move in the direction of the second air inlet 373 when air is introduced into the first air inlet 372 . In addition, the partition wall portion 375 may linearly move in the direction of the first air inlet 372 as air flows into the second air inlet 373 .

피스톤부(374)는 격벽부(375)와 연결될 수 있다. 격벽부(375)와 연결된 피스톤부(374)의 일측은 바디부(371)에 삽입될 수 있다. 피스톤부(374)의 타측은 이동가이드부(375)와 접촉할 수 있다. 이 경우, 피스톤부(374)의 타측면은 경사면(이하, 타측경사면)을 포함할 수 있다. 타측경사면(374a)은 이동가이드부(376)의 일면(376a)에 접촉할 수 있다. 예를 들어, 피스톤부(374)와 이동가이드부(376)는 자성체로 이루어질 수 있다. 피스톤부(374)와 이동가이드부(376)는 자성으로 밀착 결합한 상태에서 피스톤부(374)가 길이방향으로 이동함에 따라, 이동가이드부(376)는 길이방향과 수직한 폭방향(예를 들어, 제1 방향)으로 이동할 수 있다. The piston part 374 may be connected to the partition wall part 375 . One side of the piston part 374 connected to the partition wall part 375 may be inserted into the body part 371 . The other side of the piston unit 374 may contact the movement guide unit 375 . In this case, the other side surface of the piston unit 374 may include an inclined surface (hereinafter referred to as the other inclined surface). The other inclined surface 374a may contact one surface 376a of the movement guide unit 376 . For example, the piston unit 374 and the movement guide unit 376 may be made of a magnetic material. As the piston part 374 moves in the longitudinal direction while the piston part 374 and the movement guide part 376 are magnetically closely coupled, the movement guide part 376 moves in the width direction perpendicular to the longitudinal direction (for example, , the first direction).

이동가이드부(376)는 피스톤부(374)의 이동에 따른 이동가이드부(376)의 이동을 돕기 위한 도움부재(376b)를 더 포함할 수 있다. 도움부재(376b)는 금속볼 형상으로 이동가이드부(376)에 결합되어 회전할 수 있다. 이 경우, 피스톤부(374)의 타측경사면(374a)에는 도움부재(376b)가 삽입될 수 있도록 내측으로 오목하게 구비된 삽입홈(374b)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 피스톤부(374)가 길이방향으로 이동하는 경우, 도움부재(376b)는 피스톤부(374)의 삽입홈(374b)에 밀착 결합하여 회전할 수 있다. 이에 따라, 피스톤부(374)의 타측경사면(374a)을 중심으로 피스톤부는 길이방향(예를 들어, 제4 방향)으로 이동하고, 이동가이드부(376)는 피스톤부의 이동방향과 수직한 제1 방향으로 이동할 수 있다. The movement guide unit 376 may further include an assisting member 376b for assisting the movement of the movement guide unit 376 according to the movement of the piston unit 374 . The assisting member 376b has a metal ball shape and can rotate while being coupled to the moving guide part 376 . In this case, the other inclined surface 374a of the piston unit 374 may include an insertion groove 374b recessed inward so that the assisting member 376b can be inserted. For example, when the piston unit 374 moves in the longitudinal direction, the assisting member 376b may be closely coupled to the insertion groove 374b of the piston unit 374 to rotate. Accordingly, the piston unit moves in the longitudinal direction (eg, the fourth direction) around the other inclined surface 374a of the piston unit 374, and the movement guide unit 376 moves in a first direction perpendicular to the moving direction of the piston unit. can move in either direction.

이동가이드부가 제1 방향으로 이동함에 따라, 이동부재와 이동가이드부와 동일한 제1 방향으로 이동할 수 있다. As the moving guide unit moves in the first direction, it may move in the same first direction as the moving member and the moving guide unit.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 유압실린더부재(370)가 구비됨으로써, 이동부재(340)를 제1 또는 제3 방향으로 이동시키고, 이동부재(340)의 이동에 따라 제1 몸체부재(310)를 제1 또는 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 에어나이프 각각의 각도 조절을 용이하게 수행할 수 있으므로, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 효과적으로 제거할 수 있다. Accordingly, in one embodiment of the present invention, the hydraulic cylinder member 370 is provided to move the movable member 340 in the first or third direction, and according to the movement of the movable member 340, the first body member ( 310) may be moved in a second direction perpendicular to the first or third direction. Accordingly, one embodiment of the present invention can easily adjust the angle of each air knife, so that the cleaning liquid and moisture on the surface of the substrate can be effectively removed.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 설명하기 위한 단면도이다. 본 발명의 다른 실시예는 제2 몸체부재에 돌출부가 구비되고, 제2 몸체부재 상에 제2 이동부재, 제2 유압실린더부재가 추가로 구비되는 것을 제외하고는 본 발명의 일 실시예와 동일하다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 설명은 생략되고, 제2 몸체부재, 제2 이동부재, 제2 유압실린더부재 및 이와 관련된 구성에 대해서만 설명된다. 6 is a cross-sectional view for explaining a dual slit air knife according to another embodiment of the present invention. Another embodiment of the present invention is the same as one embodiment of the present invention except that the protrusion is provided on the second body member, and the second moving member and the second hydraulic cylinder member are additionally provided on the second body member. do. Therefore, in the following, description of the same configuration will be omitted, and only the second body member, the second movable member, the second hydraulic cylinder member, and related configurations will be described.

도 6을 참고하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 제2 몸체부재(320), 제2 이동부재(350), 제2 유압실린더(355), 제2 상부레일(385), 및 제2 하부레일(395)을 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 6 , the dual slit air knife 300 according to another embodiment of the present invention includes a second body member 320, a second moving member 350, a second hydraulic cylinder 355, and a second upper rail. 385, and a second lower rail 395 may be further included.

제2 몸체부재(320)는 중심몸체(330) 타면에 구비될 수 있다. 제2 몸체부재(320)는 제2 돌출부(323)를 포함할 수 있다. 제2 돌출부(323)는 제2 몸체부재(320)의 상면으로부터 수직한 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 제2 돌출부(323)는 상면으로부터 경사지게 연장되는 제2 경사면(323a) 및 제2 몸체부재(320)의 외측면으로부터 수직하게 연장되는 제2 돌출부외측면(323b)을 포함할 수 있다. The second body member 320 may be provided on the other surface of the center body 330 . The second body member 320 may include a second protrusion 323 . The second protrusion 323 may be formed to protrude in a vertical direction from the upper surface of the second body member 320 . The second protrusion 323 may include a second inclined surface 323a extending obliquely from the upper surface and an outer surface 323b extending perpendicularly from the outer surface of the second body member 320 .

제2 이동부재(350)는 제2 몸체부재(320)에 상에 위치할 수 있다. 제2 이동부재(350)는 제2 몸체부재(320)의 상면과 평행한 제1 또는 제3 방향으로 직선 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2 이동부재(350)의 상면은 제2 상부레일(385)과 연결되고, 하면은 제2 하부레일(386)과 연결될 수 있다. The second movable member 350 may be positioned on the second body member 320 . The second movable member 350 may linearly move in a first or third direction parallel to the upper surface of the second body member 320 . For example, the upper surface of the second movable member 350 may be connected to the second upper rail 385 and the lower surface may be connected to the second lower rail 386 .

수납부재(360)는 제2 이동부재(350) 상에 구비되어, 제2 이동부재(350), 제2 유압실린더부재(390) 및 제2 상부레일(385)을 수납하고, 제2 돌출부(323)의 수평이동을 제어할 수 있다. 수납부재(360)의 제2 측벽(363)의 내측면은 제2 돌출부의 외측면(323b)과 접할 수 있다. 즉, 제2 측벽(363)은 제2 몸체부재(320)의 외측면을 감싸도록 구비될 수 있다. The accommodating member 360 is provided on the second movable member 350 and accommodates the second movable member 350, the second hydraulic cylinder member 390 and the second upper rail 385, and the second protrusion ( 323) can be controlled. An inner surface of the second sidewall 363 of the accommodating member 360 may contact an outer surface 323b of the second protrusion. That is, the second sidewall 363 may be provided to surround the outer surface of the second body member 320 .

본 발명의 다른 실시예는 제2 측벽(363)이 구비됨으로써, 제2 이동부재(350)의 이동에 따라, 제2 몸체부재(320)가 제3 방향으로 이동하는 것을 제어할 수 있다. 이에 따라, 제2 몸체부재(320)는 안정적으로 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다. In another embodiment of the present invention, since the second sidewall 363 is provided, movement of the second body member 320 in the third direction according to the movement of the second moving member 350 can be controlled. Accordingly, the second body member 320 can stably move in a second direction perpendicular to the third direction.

제2 유압실린더부재(390)는 수납부재(360) 내에 구비되며, 제2 이동부재(350)와 연결될 수 있다. 예를 들어, 제2 유압실린더부재(390)는 제어부의 제어신호에 따라, 제2 이동부재(350)를 제3 방향 또는 제3 방향과 반대방향인 제1 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제2 몸체부재(320)는 제3 또는 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다. The second hydraulic cylinder member 390 is provided in the accommodating member 360 and may be connected to the second movable member 350 . For example, the second hydraulic cylinder member 390 may move the second moving member 350 in a third direction or in a first direction opposite to the third direction according to a control signal from the control unit. Accordingly, the second body member 320 may move in a second direction perpendicular to the third or first direction.

이에 따라, 제2 몸체부재(320)와 중심몸체(330)에 단차가 발생될 수 있어, 제2 슬릿(325)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다. Accordingly, a step difference may be generated between the second body member 320 and the central body 330, so that the angle of the air injected into the second slit 325 can be easily controlled.

레일부재(380)는 제2 이동부재(350) 및 제2 몸체부재(320)의 이동을 가이드할 수 있다. 제2 상부레일(385)은 제2 유압실린더부재(390)의 제어에 따라, 제2 이동부재(350)를 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동시킬 수 있다. 제2 하부레일(386)은 제2 돌출부(323)의 경사면(323a)에 고정되고, 제2 돌출부의 경사면(323a)과 마주보는 제2 이동부재(350)의 가이드경사면에 연결될 수 있다. 제2 가이드레일(387)은 제2 몸체부재(320)와 중심몸체(330) 사이에 구비되어, 제2 이동부재(350)의 이동에 따른 제2 몸체부재(320)의 수직운동을 가이드하고 제어하는 기능을 수행할 수 있다. 제2 가이드레일(387)은 제2 몸체부재(320) 방향으로 돌출된 제2 걸림돌기(387a)를 포함할 수 있다. 제2 걸림돌기(387a)는 제2 몸체부재(320)의 걸림홈에 맞물릴 수 있으며, 이에 따라, 제2 몸체부재(320)의 수직이동을 제어할 수 있다. The rail member 380 may guide the movement of the second movable member 350 and the second body member 320 . The second upper rail 385 may move the second movable member 350 in a first direction or a third direction under the control of the second hydraulic cylinder member 390 . The second lower rail 386 may be fixed to the inclined surface 323a of the second protruding part 323 and connected to the inclined surface of the guide of the second movable member 350 facing the inclined surface 323a of the second protruding part. The second guide rail 387 is provided between the second body member 320 and the central body 330 to guide the vertical movement of the second body member 320 according to the movement of the second moving member 350 and It can perform control functions. The second guide rail 387 may include a second protrusion 387a protruding toward the second body member 320 . The second locking protrusion 387a may be engaged with the locking groove of the second body member 320, and thus, the vertical movement of the second body member 320 may be controlled.

본 발명의 다른 실시예는 레일부재(380)가 구비됨에 따라, 제2 이동부재(350)가 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동하는 경우, 제2 몸체부재(320)를 제1 방향 또는 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제2 몸체부재(320)와 중심몸체(330) 사이에 단차를 발생시킬 있어, 제2 슬릿(325)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다. 이에 따라, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 더욱 효과적으로 제거할 수 있다. In another embodiment of the present invention, as the rail member 380 is provided, when the second movable member 350 moves in the first direction or the third direction, the second body member 320 is moved in the first direction or the second direction. It can be moved in a second direction perpendicular to the three directions. Accordingly, a level difference can be generated between the second body member 320 and the center body 330, so that the angle of the air injected into the second slit 325 can be easily controlled. Accordingly, the cleaning liquid and moisture on the surface of the substrate can be more effectively removed.

또한, 본 발명의 다른 실시예는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다. Further, in another embodiment of the present invention, air is double sprayed on the surface of a substrate transferred after a cleaning process, so that drying air can be uniformly sprayed over the entire substrate regardless of the size to improve drying efficiency.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although one embodiment of the present invention has been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented herein, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention may add elements within the scope of the same spirit. However, other embodiments can be easily proposed by means of changes, deletions, additions, etc., but these will also fall within the scope of the present invention.

1000: 건조모듈
100: 건조챔버 200: 기판이송부
300: 듀얼 슬릿 에어나이프
310: 제1 몸체부재 311: 제1 챔버
312: 제1 통로 313: 돌출부
320: 제2 몸체부재 321: 제2 챔버
322: 제2 통로 323: 제2 돌출부
330: 중심몸체 340: 이동부재
350: 제2 이동부재 360: 수납부재
370: 유압실린더부재
380: 레일부재 381: 상부레일
382: 하부레일 383: 가이드레일
385: 제2 상부레일 386: 제2 하부레일
387: 제2 가이드레일
390: 제2 유압실린더부재
400: 제어부 500: 에어공급부1000: drying module
100: drying chamber 200: substrate transfer unit
300: dual slit air knife
310: first body member 311: first chamber
312 first passage 313 protrusion
320: second body member 321: second chamber
322: second passage 323: second protrusion
330: central body 340: moving member
350: second moving member 360: storage member
370: hydraulic cylinder member
380: rail member 381: upper rail
382: lower rail 383: guide rail
385: second upper rail 386: second lower rail
387: second guide rail
390: second hydraulic cylinder member
400: control unit 500: air supply unit

Claims

a first body member having a first chamber accommodating air therein and a first passage through which the air is ejected to the outside;
a second body member having a second chamber accommodating air therein and a second passage through which the air is ejected to the outside;
a central body positioned between the first body member and the second body member; and
It is located on the upper surface of the first body member and includes a moving member that moves linearly in a first direction parallel to the upper surface of the first body member,
The first body member includes a protruding portion protruding from the upper surface, and the protruding portion includes an inclined surface extending obliquely from the upper surface,
Further comprising a storage member located on the moving member,
The accommodating member includes a seating portion accommodating the movable member; and
A dual slit air knife comprising a first side wall extending vertically to one end of the seating portion.

delete

According to claim 1,
The dual slit air knife wherein the inner surface of the first sidewall is in contact with the outer surface of the protrusion.

According to claim 1,
an upper rail positioned between the seating portion of the storage member and the movable member, connected to an upper surface of the movable member, and moving the movable member in the first direction;
a lower rail positioned between a lower surface of the movable member and the inclined surface and moving the first body member in a second direction perpendicular to the first direction according to the movement of the movable member; and
The dual slit air knife further comprising a guide rail provided on one upper surface of the central body and guiding movement of the first body member facing the upper surface of the central body.

According to claim 5,
The guide rail is a dual slit air knife including a locking protrusion protruding in the direction of the first body member.