KR101840166B1 - Spraying module - Google Patents

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KR101840166B1
KR101840166B1 KR1020170079171A KR20170079171A KR101840166B1 KR 101840166 B1 KR101840166 B1 KR 101840166B1 KR 1020170079171 A KR1020170079171 A KR 1020170079171A KR 20170079171 A KR20170079171 A KR 20170079171A KR 101840166 B1 KR101840166 B1 KR 101840166B1
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최기영
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Abstract

According to one embodiment of the present invention, disclosed is a spraying module which comprises: a first body member having a first chamber in which air is stored and a first passage through which the air can be sprayed to the outside; and a second body member connected to the first body member to form one side wall of the first passage, and having a second chamber in which cleaning fluid is stored and a second passage connected to the first passage to enable the cleaning fluid to be sprayed. The second body member can be moved in the longitudinal direction of the first body member.

Description

분사모듈{SPRAYING MODULE}SPRAYING MODULE

본 발명은 세정공정에 이용되는 분사모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a spray module used in a cleaning process.

반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD)는 웨이퍼(Wafer) 또는 평판 글라스에 다양한 공정 처리를 통해 제조된다. 웨이퍼(Wafer) 또는 평판 글라스와 같은 기판은 유기물, 미립자 또는 금속/이온 오염으로 인한 성능 저하 또는 오류에 민감하므로 세정공정이 중요하다.Semiconductor devices or flat panel displays (FPDs) are manufactured through various processing processes on wafers or flat glass. Cleaning processes are important because substrates such as wafers or flat glass are sensitive to performance degradation or errors due to organic matter, particulate or metal / ion contamination.

일반적으로, 세정공정에 이용되는 모듈은 세정액과 에어를 혼합하여 이류체를 분사시켜, 기판 상부의 이물질을 제거한다. Generally, a module used in a cleaning process mixes a cleaning liquid and air to spray an air flow to remove foreign matter on the substrate.

또한, 세정력을 높이기 위하여 복수개의 모듈을 설치하여 세정력을 보완하기도 한다.Further, a plurality of modules may be provided to improve washing power to improve washing power.

이러한 방식의 모듈은 세정액과 에어가 단순 혼합 분사되는 것으로, 혼합된 이류체가 충분히 혼합되지 못하고, 균일하게 생성되지 못하여 세정력이 저하되는 문제가 있다.In this type of module, since the cleaning liquid and the air are simply mixed and injected, the mixed air entities can not be sufficiently mixed and are not uniformly produced, thus deteriorating the cleaning ability.

본 발명은 상기한 바와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 세정력이 뛰어난 분사모듈을 제공하고자 한다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention has been made in view of the above technical background, and an object of the present invention is to provide an injection module having excellent washing power.

본 발명의 분사모듈은 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버 및 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 형성된 제1 몸체부재, 상기 제1 몸체부재와 연결되어 상기 제1 통로의 일측벽을 형성하고, 내부에 세정액을 수용하는 제2 챔버 및 상기 제1 통로와 연결되어 상기 세정액이 분사되는 제2 통로가 형성된 제2 몸체부재를 포함하고, 상기 제2 몸체부재는, 상기 제1 몸체부재의 길이 방향을 따라 이동이 가능할 수 있다.The injection module of the present invention includes a first body member having a first chamber accommodating air therein and a first passage through which the air is injected to the outside and a second body member connected to the first body member to form a side wall of the first passage And a second body member having a second chamber accommodating therein a cleaning liquid therein and a second passage communicated with the first passage and through which the cleaning liquid is injected, wherein the second body member includes a first body member, It is possible to move along the longitudinal direction.

상기 제1 통로는, 상기 제2 통로와 연결되고, 상기 제2 몸체부재를 따라 신축될 수 있는 주름관을 더 포함할 수 있다.The first passage may further include a corrugated pipe connected to the second passage and extendable along the second body member.

상기 제2 통로는, 내부에 돌기가 형성될 수 있다.The second passage may have a protrusion formed therein.

상기 제1 몸체부재 및 상기 제2 몸체부재는, 바닥면에서 상기 제1 통로를 내부를 향하여 경사진 분사면이 형성될 수 있다.The first body member and the second body member may have a spray surface inclined from the bottom surface toward the inside of the first passage.

상기 제1 몸체부재는, 상기 제2 몸체부재와 마주보는 면에 레일이 부착되고, 상기 레일에 연결된 슬라이딩 부재가 상기 제2 몸체부재에 연결될 수 있다. A rail may be attached to the first body member on a surface facing the second body member, and a sliding member connected to the rail may be connected to the second body member.

상기 제2 몸체부재 일측에 연결되며, 내부에 에어를 수용하는 에어챔버 및 상기 에어가 분사되는 에어통로가 형성된 제3 몸체부재를 더 포함할 수 있다.And a third body member connected to one side of the second body member and having an air chamber for receiving air therein and an air passage through which the air is injected.

상기 제2 몸체부재는, 상기 에어통로와 연결되어, 상기 세정액이 분사되는 제3 통로가 더 형성될 수 있다.The second body member may further include a third passage connected to the air passage, through which the cleaning liquid is injected.

상기 제2 몸체부재는, 상기 제3 몸체부재의 길이방향을 따라 이동이 가능할 수 있다.The second body member may be movable along the longitudinal direction of the third body member.

내부에 에어를 수용하는 제1 챔버 및 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 형성된 제1 몸체부재 및 상기 제1 몸체부재와 연결되어 상기 제1 통로의 일측벽을 형성하고, 내부에 세정액을 수용하는 제2 챔버 및 상기 제2 챔버와 연결되어, 상기 세정액을 상기 제1 통로에 분사시키는 제2 통로가 형성된 이동부재를 가지는 제2 몸체부재를 포함하고, 상기 이동부재는, 상기 제1 몸체부재로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.A first body member having a first chamber accommodating air therein and a first passage through which the air is injected to the outside and a first body member connected to the first body member to form a side wall of the first passage, And a second body member having a second chamber accommodated in the first chamber and a moving member connected to the second chamber and having a second passage for spraying the cleaning liquid into the first passage, It can move in a direction away from the member.

상기 제2 챔버는, 상기 이동부재와 마주보는 면에 레일이 부착되고, 상기 레일에 연결된 슬라이딩 부재가 상기 이동부재에 연결될 수 있다.In the second chamber, a rail is attached to a surface facing the moving member, and a sliding member connected to the rail may be connected to the moving member.

본 발명의 실시예에 따른 분사모듈은, 세정공정 시에 보다 뛰어난 세정력을 발생시킬 수 있다.The injection module according to the embodiment of the present invention can generate a better cleaning force in the cleaning process.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 분사모듈과 기판의 배치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 나타낸 분사모듈의 분해사시도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라서 잘라서 본 단면도로써, 분사모듈의 변형예를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 나타낸 제1 통로에 주름관이 구비된 도면이다.
도 5는 도 1에 나타낸 분사모듈의 제1 실시예를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 1에 나타낸 분사모듈의 제2 실시예를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 1에 나타낸 분사모듈의 제3 실시예를 나타낸 도면이다.
도 8은 도 1의 나타낸 분사모듈의 제4 실시예를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 분사모듈을 나타낸 도면이다.1 is a view showing an arrangement of a spray module and a substrate according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the injection module shown in Fig.
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 1, showing a modified example of the injection module.
Fig. 4 is a view showing a corrugated pipe provided in the first passage shown in Fig. 3;
FIG. 5 is a view showing a first embodiment of the injection module shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 6 is a view showing a second embodiment of the injection module shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 7 is a view showing a third embodiment of the injection module shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 8 is a view showing a fourth embodiment of the injection module shown in FIG. 1;
9 is a view illustrating an injection module according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification. In addition, since the sizes and thicknesses of the respective components shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

본 발명에 있어서 "~상에"라 함은 대상부재의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력방향을 기준으로 상부에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다. 또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the present invention, the term " on " means to be located above or below the object member, and does not necessarily mean that the object is located on the upper side with respect to the gravitational direction. Also, throughout the specification, when an element is referred to as "including" an element, it is understood that the element may include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 분사모듈에 관한 실시예를 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, embodiments of the injection module of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 분사모듈과 기판의 배치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing an arrangement of a spray module and a substrate according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 분사모듈(1)은 내부에 각각 에어와 세정액을 수용하는 챔버(20)를 포함할 수 있다. 분사모듈(1)은 챔버(20)로부터 에어와 세정액이 혼합되어 외부로 분사되는 통로(30)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 1, the injection module 1 may include a chamber 20 for receiving air and a cleaning liquid, respectively, therein. The injection module 1 may be formed with a passage 30 through which the air and the cleaning liquid are mixed and injected from the chamber 20 to the outside.

각각의 챔버(20)는 세정액과 에어의 분사량과 분사압을 조절할 수 있고, 에어와 세정액이 혼합되어 이류체가 기판(100)에 균일하게 분사될 수 있다.Each of the chambers 20 can adjust the injection amount and the injection pressure of the cleaning liquid and the air, and the air and the cleaning liquid can be mixed to uniformly spray the airflow to the substrate 100.

예를 들면, 기판(100)은 이송부(200)의 상단에 놓여 롤러(210)의 구동에 의해 이송부(200)와 함께 이동될 수 있다.For example, the substrate 100 may be placed on top of the transfer unit 200 and moved together with the transfer unit 200 by driving the rollers 210.

또 다른 예로, 이송부(200)는 전자석으로 구현되고, 전원 공급부(미도시)와 연결될 수 있다. 또한, 분사모듈(1)의 외측에 UV 자외선 또는 초음파 진동 모듈(300)이 연결될 수 있다. 이는, 세정액과 에어를 보다 미세하게 혼합시킬 수 있다. As another example, the transfer unit 200 may be implemented as an electromagnet, and may be connected to a power supply unit (not shown). In addition, UV ultraviolet or ultrasonic vibration modules 300 may be connected to the outside of the injection module 1. This makes it possible to mix the cleaning liquid and the air finer.

도 2는 도 1에 나타낸 분사모듈의 분해사시도이다.2 is an exploded perspective view of the injection module shown in Fig.

도 2를 참고하면, 분사모듈(1)은 제1 몸체부재(10a) 및 제2 몸체부재(10b)로 이뤄진 몸체부(10)로 이뤄질 수 있다. 이러한 분사모듈(1)의 몸체부(10)는 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버(20a)와 제1 챔버(20a)로부터 에어가 외부로 분사되는 제1 통로(30a)가 형성된 제1 몸체부재(10a)를 포함할 수 있다. 또한, 몸체부(10)는 내부에 세정액을 수용하는 제2 챔버(20b)와 제2 챔버(20b)로부터 세정액이 외부로 분사되는 제2 통로(30b)가 형성된 제2 몸체부재(10b)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the injection module 1 may be formed as a body portion 10 composed of a first body member 10a and a second body member 10b. The body 10 of the injection module 1 includes a first chamber 20a for accommodating air therein and a first passage 30a for discharging air from the first chamber 20a to the outside, Member 10a. The body 10 includes a second chamber 20b for accommodating the cleaning liquid therein and a second body member 10b having a second passage 30b through which the cleaning liquid is ejected from the second chamber 20b. .

제1 통로(30a)는 제1 몸체부재(10a)의 바닥면(12a)을 향해 직선으로 형성될 수 있다.The first passage 30a may be formed straight toward the bottom surface 12a of the first body member 10a.

예를 들면, 제1 통로(30a)는 제1 챔버(20a)로부터 제1 몸체부재(10a)의 길이방향으로 연장 형성되어 제1 몸체부재(10a)의 외부까지 이어질 수 있다.For example, the first passage 30a may extend from the first chamber 20a in the longitudinal direction of the first body member 10a to the outside of the first body member 10a.

제2 통로(30b)는 제1 통로(30a) 측면에서 수직하게 연결될 수 있다.The second passage 30b may be vertically connected at the side of the first passage 30a.

예를 들면, 제1 통로(30a)와 제2 통로(30b)의 연결모양은 'L'자 형태일 수 있다. 이에 따라, 분사모듈(1)의 내부에서 세정액과 에어는 보다 효율적으로 혼합이 이뤄질 수 있다.For example, the connection shape of the first passage 30a and the second passage 30b may be an L shape. Accordingly, the cleaning liquid and the air can be mixed in the injection module 1 more efficiently.

도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라서 잘라서 본 단면도로써, 분사모듈의 변형예를 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3에 나타낸 제1 통로에 주름관이 구비된 도면이다.FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 1, showing a modified example of the injection module, and FIG. 4 is a view showing a corrugated pipe provided in the first passage shown in FIG.

도 3 및 도 4를 참고하면, 분사모듈(1)의 제2 몸체부재(10b)는 제1 몸체부재(10a)의 길이방향을 따라 상/하로 이동될 수 있다. 3 and 4, the second body member 10b of the injection module 1 can be moved up and down along the longitudinal direction of the first body member 10a.

예를 들면, 제1 몸체부재(10a)와 제2 몸체부재(10b)는 자성을 지닌 자성체로 이뤄질 수 있다. 즉, 제1 몸체부재(10a)와 제2 몸체부재(10b)가 자성에 의해 연결되면서 제1 챔버(20a)와 제2 챔버(20b)가 근접한 위치에 놓이게 되고, 제1 통로(30a)와 제2 통로(30b)가 연결된다.For example, the first body member 10a and the second body member 10b may be made of a magnetic substance having magnetism. That is, the first chamber 20a and the second chamber 20b are close to each other while the first body member 10a and the second body member 10b are magnetically connected to each other. And the second passage 30b is connected.

예를 들면, 제1 통로(30a)와 제2 통로(30b)는 'L'자 형태로 연결될 수 있다. 제2 통로(30b)의 단부가 제1 통로(30a)의 비어 있는 일측과 연결되고, 그 외의 제1 통로(30a)의 비어 있는 공간은 제2 몸체부재(10b)의 일측벽(11)에 의해 차단될 수 있다. 따라서, 분사모듈(1)의 내부에서 세정액이 에어가 분사되는 방향으로 합류되면서 이류체가 생성되고, 분사모듈(1)의 외부로 분사될 수 있다.For example, the first passage 30a and the second passage 30b may be connected in an L shape. The end of the second passage 30b is connected to an empty side of the first passage 30a and the other empty space of the first passage 30a is connected to one side wall 11 of the second body member 10b Lt; / RTI > Accordingly, the cleaning liquid is merged in the direction in which the air is injected from the inside of the injection module 1, and the air flow can be generated and injected to the outside of the injection module 1.

한편, 제2 몸체부재(10b)가 제1 몸체부재(10a)와 자성으로 밀착결합한 상태에서 제1 몸체부재(10a)의 길이방향을 중심으로 상/하로 이동이 가능할 수 있다.Meanwhile, the second body member 10b can be moved upward or downward about the longitudinal direction of the first body member 10a in a state in which the second body member 10b is in tight contact with the first body member 10a.

예를 들면, 제2 몸체부재(10b)에 자성이 강한 자석으로 전자기를 유도할 수 있다. 즉, 제1 몸체부재(10a)와 제2 몸체부재(10b)가 밀착결합한 상태에서 척력에 의하여 높이 변화가 생기도록 하기 위하여, 필요에 따라 자석의 극 또는 자석을 유도하는 방향을 바꿔 상반된 유도전류가 흐르도록 하여 분사모듈(1)의 제2 몸체부재(10b)가 제1 몸체부재(10a)를 중심으로 상/하로 이동될 수 있게 하고, 높이의 변화로 인해 분사 방향을 조절하는 별도의 구성 없이도 원하는 기판(100)의 위치에 이류체를 분사시킬 수 있다.For example, electromagnetic force can be induced in the second body member 10b by a magnet having a strong magnetism. That is, in order that the first body member 10a and the second body member 10b are in tight contact with each other and a height change is caused by the repulsive force, the directions of the poles or magnets of the magnets are changed as necessary, So that the second body member 10b of the injection module 1 can be moved upward or downward about the first body member 10a and the injection direction can be adjusted due to the change in height It is possible to inject the adiabatic body to the position of the desired substrate 100 without the need.

또 다른 예로, 분사모듈(1)의 전체높이가 조정될 수도 있다.As another example, the overall height of the injection module 1 may be adjusted.

예를 들면, 기판(100)을 이송하는 이송부(200)를 전자석으로 구현하고, 전원 공급부(미도시)와 연결시켜 전류를 인가시킬 수 있다. 즉, 전자석으로는 영구자석 또는 초전도 전자석을 사용할 수 있다. 이송부(200)에 전류를 인가하여 자기장이 발생하게 되면 자성체가 구비된 분사모듈(1)과 자기적으로 상호작용하게 되어 분사모듈(1)의 높이가 조절될 수 있다.For example, the transfer unit 200 for transferring the substrate 100 may be implemented as an electromagnet and connected to a power supply unit (not shown) to apply a current. That is, a permanent magnet or a superconducting electromagnet can be used as the electromagnet. When a magnetic field is generated by applying a current to the transfer unit 200, the magnetic member magnetically interacts with the injection module 1 equipped with the magnetic body, so that the height of the injection module 1 can be adjusted.

한편, 분사모듈(1)과 전자석 이송부(200)의 사이에 인력 또는 척력이 발생될 수 있도록 전류의 세기 및 전류의 방향을 변화시켜 전자석 이송부(200)에 인가할 수 있다.Meanwhile, the magnitude of the current and the direction of the current may be changed and applied to the electromagnet conveyance unit 200 so that attraction force or repulsive force may be generated between the injection module 1 and the electromagnet conveyance unit 200.

한편, 도 4를 참고하면, 제1 통로(30a)의 내부에 주름관(33)을 구비될 수 있다. 즉, 제1 통로(30a)의 내부에는 주름관(33)을 구비하고, 제2 통로(30b)의 내부에 파이프(34)를 구비하여 제2 몸체부재(10b)가 상/하로 이동될 때, 주름관(33)은 신축될 수 있다. 이를 통해, 제2 몸체부재(10b)의 상/하 이동에 따른 세정액 및 에어의 누수를 방지할 수 있다. Referring to FIG. 4, a corrugated pipe 33 may be provided in the first passage 30a. That is, when the second body member 10b is moved upward or downward with the pipe 34 in the second passage 30b, the corrugated pipe 33 is provided in the first passage 30a, The corrugated pipe 33 can be expanded and contracted. Accordingly, it is possible to prevent the leakage of the cleaning liquid and the air due to the upward / downward movement of the second body member 10b.

도 5는 도 1에 나타낸 분사모듈의 제1 실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a view showing a first embodiment of the injection module shown in FIG. 1. FIG.

도 5를 참고하면, 제2 통로(30b)의 내부에 돌기(31)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 5, the protrusion 31 may be formed inside the second passage 30b.

예를 들면, 돌기(31)의 형상은 반구형이 일반적일 수 있다. 이러한 돌기(31)가 제2 통로(30b)의 내부에 일부 또는 전체에 복수개가 형성될 수 있다.For example, the shape of the projection 31 may be hemispherical. A plurality of the protrusions 31 may be partially or entirely formed inside the second passage 30b.

또 다른 예로, 통로(30)의 내부에 파이프(34)를 구비하여 사용할 수 있다. 마찬가지로, 파이프(34)의 내부에 돌기(31)가 반구형으로 형성될 수 있고, 또는 파이프(34) 내벽에 스핀형태로 안내되는 돌기(31)가 형성될 수 있다.As another example, a pipe 34 may be provided in the passage 30. Likewise, the protrusion 31 may be hemispherically formed inside the pipe 34, or the protrusion 31 may be formed in the inner wall of the pipe 34 to be guided in the form of a spin.

따라서, 세정액은 제2 통로(30b)를 통해 안정적으로 분사될 수 있다. 또한, 세정액은 제1 통로(30a)로 원활하게 합류될 수 있고, 세정액이 제2 통로(30b)의 내부에 형성된 돌기(31)와 부딪혀 마찰에 의해 기포가 생긴 상태에서 에어가 분사되는 제1 통로(30a)로 합류되면서 좀 더 미세한 입자로 혼합될 수 있다.Therefore, the cleaning liquid can be stably injected through the second passage 30b. The cleaning liquid can be smoothly joined to the first passage 30a and the cleaning liquid can be prevented from entering the first passage 30a in which the air bubbles are generated in the state in which bubbles are generated by collision with the projections 31 formed in the inside of the second passage 30b, And can be mixed with finer particles while being merged into the passage 30a.

한편, 마찰하는 면적이 크면 클수록 기포의 크기는 줄어들고 기포의 수는 많아져서, 기포에 의한 열전달뿐만 아니라 제1 통로(30a)에서 분사되는 에어와 보다 원활하게 혼합될 수 있다.On the other hand, the larger the friction area, the smaller the size of the bubbles and the larger the number of bubbles, so that they can be mixed more smoothly with the air injected from the first passage 30a as well as the heat transfer by the bubbles.

또한, 유체의 온도가 높아지면 일부 구간이 기화되어 유체의 흐름을 방해하는 증기폐색 또는 충격과 소음으로 인한 케비네이션 현상이 발생하기 쉽다. 이에 따라, UV 자외선 또는 초음파 진동 모듈(300)을 제2 통로(30b)의 외측에 연결될 수 있다.Also, if the temperature of the fluid is increased, vaporization of a part of the fluid is likely to occur, resulting in vapor clogging or shock and noise. Accordingly, the UV ultraviolet or ultrasonic vibration module 300 can be connected to the outside of the second passage 30b.

예를 들면, 제2 통로(30b)의 외주면을 따라 초음파 진동 모듈(300)이 복수개 설치될 수 있다.For example, a plurality of ultrasonic vibration modules 300 may be installed along the outer circumferential surface of the second passage 30b.

도 6은 도 1에 나타낸 분사모듈의 제2 실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 6 is a view showing a second embodiment of the injection module shown in FIG. 1. FIG.

도 6을 참고하면, 제1 몸체부재(10a)의 바닥면(12a)과 제2 몸체부재(10b)의 바닥면(12b)에 각각 제1 통로(30a)의 내부를 향하여 경사진 분사면(32a, 32b)이 형성될 수 있다.6, the bottom surface 12a of the first body member 10a and the bottom surface 12b of the second body member 10b are inclined toward the inside of the first passage 30a 32a, 32b may be formed.

예를 들면, 분사면(32)은 45도 각도로 형성되고 각이 형성된 모서리는 만곡진 형태일 수 있다. 이를 통해, 분사모듈(1)의 분사 방향을 조절하기 위한 별도의 구성 없이도 이류체의 분사범위를 확장시킬 수 있는 것이다.For example, the spray surface 32 may be formed at a 45 degree angle and the angled edges may be curved. Accordingly, the injection range of the airflow can be extended without any additional configuration for adjusting the injection direction of the injection module 1.

도 7은 도 1에 나타낸 분사모듈의 제3 실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a view showing a third embodiment of the injection module shown in FIG. 1. FIG.

도 7을 참고하면, 제1 몸체부재(10a)와 제2 몸체부재(10b)가 마주보는 면에 레일(50)과 슬라이딩 부재(51)를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 7, the rail 50 and the sliding member 51 may be provided on a surface of the first body member 10a and the second body member 10b facing each other.

예를 들면, 제1 몸체부재(10a)에는 제2 몸체부재(10b)와 마주보는 면에 레일(50)을 부착하고, 레일(50)에 연결되는 슬라이딩 부재(51)를 제2 몸체부재(10b)에 연결하여 레일의 길이범위 내에서 제2 몸체부재(10b)가 상/하로 이동시켜 이류체의 분사 방향을 조절할 수 있다. 또한, 레일(50)과 슬라이딩 부재(51)가 구비된 제1 몸체부재(10a)와 제2 몸체부재(10b)의 사이에 밀봉부재(40)가 개재될 수 있다. 이를 통해, 세정액 또는 에어가 누설되는 것을 방지할 수 있다.For example, a rail 50 is attached to a surface of the first body member 10a facing the second body member 10b, and a sliding member 51 connected to the rail 50 is attached to the second body member 10b 10b to move the second body member 10b upward or downward within the range of the length of the rail to adjust the direction of the airflow. The sealing member 40 may be interposed between the first body member 10a and the second body member 10b provided with the rail 50 and the sliding member 51. Thereby, leakage of the cleaning liquid or air can be prevented.

도 8은 도 1의 나타낸 분사모듈의 제4 실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 8 is a view showing a fourth embodiment of the injection module shown in FIG. 1;

도 8을 참고하면, 분사모듈(1)은 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버(20a) 및 에어가 외부로 분사되는 제1 통로(30a)가 형성된 제1 몸체부재(10a)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 몸체부재(10a)와 연결되어 제1 통로(30a)의 일측벽(11)을 형성하고 내부에 세정액을 수용하는 제2 챔버(20b) 및 상기 제2 챔버(20b)와 연결되어 상기 세정액을 상기 제1 통로(30a)에 분사시키는 제2 통로(30b)가 형성된 이동부재(10d)를 가지는 제2 몸체부재(10b)를 포함할 수 있다. 이동부재(10d)가 제1 몸체부재(10a)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있도록 제2 챔버(20b)는 이동부재(10d)와 마주보는 면에 레일(50)이 부착되고, 레일(50)에 연결된 슬라이딩 부재(51)가 이동부재(10d)에 연결될 수 있다.8, the injection module 1 may include a first body member 10a having a first chamber 20a for receiving air therein and a first passage 30a through which air is injected to the outside have. The second chamber 20b is connected to the first body member 10a to form a side wall 11 of the first passage 30a and receives the cleaning liquid therein. The second chamber 20b is connected to the second chamber 20b. And a second body member 10b having a moving member 10d having a second passage 30b for spraying the washing liquid onto the first passage 30a. The second chamber 20b is attached to the rail 50 on the side facing the moving member 10d so that the movable member 10d can move in the direction away from the first body member 10a, The connected sliding member 51 can be connected to the moving member 10d.

레일(50)의 길이범위 내에서 이동부재(10d)가 제1 몸체부재(10a)로부터 멀어지는 방향으로 이동되도록 함으로써 세정액이 분사되는 제2 통로(30b)의 폭과 제1 통로(30a)의 폭이 동시에 확장되어 이류체의 분사량을 증가시킬 수 있다. 한편, 레일(50)과 슬라이딩 부재(51)가 구비된 제2 챔버(20b)와 이동부재(10d)의 사이에 밀봉부재(40)가 개재될 수 있다. 이를 통해, 세정액이 누설되는 것을 방지할 수 있다.The movable member 10d is moved in a direction away from the first body member 10a within the range of the length of the rail 50 so that the width of the second passage 30b in which the cleaning liquid is sprayed and the width of the first passage 30a Can be expanded at the same time to increase the injection amount of the adiabatic body. A sealing member 40 may be interposed between the second chamber 20b having the rail 50 and the sliding member 51 and the moving member 10d. Thus, leakage of the cleaning liquid can be prevented.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 분사모듈을 나타낸 도면이다.9 is a view illustrating an injection module according to a second embodiment of the present invention.

도 9를 참고하면, 제2 몸체부재(10b)의 일측에는 제3 몸체부재(10c)가 연결될 수 있다. 제3 몸체부재(10c)는 내부에 에어를 수용하는 에어챔버(20c)와 에어챔버(20c)로부터 에어가 외부로 분사되는 에어통로(30c)를 포함한다. 에어통로(30c)는 제3 몸체부재(10c)의 바닥면(12c)을 향해 직선으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 9, a third body member 10c may be connected to one side of the second body member 10b. The third body member 10c includes an air chamber 20c for accommodating air therein and an air passage 30c for ejecting air from the air chamber 20c to the outside. The air passage 30c may be formed in a straight line toward the bottom surface 12c of the third body member 10c.

예를 들면, 에어통로(30c)는 에어챔버(20c)로부터 제3 몸체부재(10c)의 길이방향으로 연장 형성되어 제3 몸체부재(10c)의 외부까지 이어질 수 있다. 한편, 제2 몸체부재(10b)는 제3 몸체부재(10c)의 에어통로(30c)와 수직하게 연결될 수 있도록 'L'자 형태의 제3 통로(30d)가 더 형성될 수 있다. 또한, 제2 몸체부재(10b)와 제3 몸체부재(10c)는 자성을 지닌 자성체로 이뤄질 수 있다. 따라서, 제2 몸체부재(10b)는 제3 몸체부재(10c)와 자성에 의해 연결되어 에어통로(30c)의 일측벽(11)을 형성하고, 제3 통로(30d)가 에어통로(30c)와 수직하게 연결될 수 있다. For example, the air passage 30c may extend from the air chamber 20c in the longitudinal direction of the third body member 10c to the outside of the third body member 10c. The second body member 10b may further include an L-shaped third passage 30d so as to be perpendicularly connected to the air passage 30c of the third body member 10c. In addition, the second body member 10b and the third body member 10c may be made of a magnetic material having magnetism. The second body member 10b is magnetically connected to the third body member 10c to form a side wall 11 of the air passage 30c and the third passage 30d is connected to the air passage 30c, As shown in FIG.

예를 들면, 제3 통로(30d)의 내부에도 돌기가 형성될 수 있다. 또한, 제3 통로(30d)의 내부에는 파이프(34)를, 에어통로(30c)의 내부에는 주름관(33)을 구비할 수 있다. 또한, 제3 몸체부재(10c)의 바닥면(12c)은 에어통로(30c)의 내부를 향하여 경사진 분사면(32c)이 형성될 수 있다.For example, a protrusion may also be formed in the interior of the third passage 30d. A pipe 34 may be provided in the third passage 30d and a corrugated pipe 33 may be provided in the air passage 30c. The bottom surface 12c of the third body member 10c may be formed with a spray surface 32c inclined toward the inside of the air passage 30c.

따라서, 제3 통로(30d)로부터 분사되는 세정액이 에어가 분사되는 에어통로(30c)로 합류되면서 이류체가 생성되고, 하나의 분사모듈(1) 내부에서 양쪽으로 생성되는 이류체가 분사모듈(1)의 외부로 분사될 수 있다. Therefore, the cleaning liquid injected from the third passage 30d is merged into the air passage 30c through which the air is injected, so that an adiabatic body is generated, and the advection module 1, which is produced on both sides inside the single injection module 1, As shown in FIG.

본 발명의 실시예에 따른 분사모듈(1)은 간단한 구성만으로도 기판(100) 세정공정 시에 보다 뛰어난 세정력을 발생시킬 수 있다.The injection module 1 according to the embodiment of the present invention can generate a better cleaning force in the cleaning process of the substrate 100 by a simple configuration.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of course.

1: 분사모듈 10: 몸체부
10a: 제1 몸체부재 10b: 제2 몸체부재
10c: 제3 몸체부재 10d: 이동부재
11: 일측벽 12, 12a, 12b, 12c: 바닥면
20: 챔버 20a: 제1 챔버
20b: 제2 챔버 20c: 에어챔버
30: 통로 30a: 제1 통로
30b: 제2 통로 30c: 에어통로
30d: 제3 통로 31: 돌기
32, 32a, 32b, 32c: 분사면 33: 주름관
34: 파이프 40: 밀봉부재
50: 레일 51: 슬라이딩 부재
100: 기판 200: 이송부
210: 롤러 300: 초음파 진동 모듈1: injection module 10: body part
10a: a first body member 10b: a second body member
10c: third body member 10d: moving member
11: one side wall 12, 12a, 12b, 12c: bottom wall
20: chamber 20a: first chamber
20b: second chamber 20c: air chamber
30: passage 30a: first passage
30b: second passage 30c: air passage
30d: third passage 31: projection
32, 32a, 32b, 32c: jetting surface 33:
34: pipe 40: sealing member
50: rail 51: sliding member
100: substrate 200:
210: roller 300: ultrasonic vibration module

Claims (10)

내부에 에어를 수용하는 제1 챔버, 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 형성된 제1 몸체부재; 및
상기 제1 몸체부재와 연결되어 상기 제1 통로의 일측벽을 형성하며 상기 제1 몸체부재의 길이 방향을 따라 이동이 가능하고, 내부에 세정액을 수용하는 제2 챔버, 상기 제1 통로와 연결되어 상기 세정액이 분사되는 제2 통로가 형성된 제2 몸체부재를 포함하고,
상기 제1 통로는,
상기 제2 몸체부재의 상/하 이동에 따라 신축될 수 있는 주름관을 더 포함하는 분사모듈.A first body member having a first chamber accommodating air therein and a first passage through which the air is injected to the outside; And
A second chamber connected to the first body member and forming a side wall of the first passage and being movable along the longitudinal direction of the first body member and containing a cleaning liquid therein, And a second body member having a second passage through which the cleaning liquid is injected,
The first passage
And a bellows pipe that can be expanded and contracted in accordance with the upward / downward movement of the second body member. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제2 통로는,
내부에 돌기가 형성된 분사모듈.The method according to claim 1,
Wherein the second passage
The injection module has projections formed therein. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 몸체부재 및 상기 제2 몸체부재는,
바닥면에서 상기 제1 통로를 내부를 향하여 경사진 분사면이 형성된 분사모듈.The method according to claim 1,
The first body member and the second body member may include a first body member,
And a spray surface inclined from the bottom surface toward the inside of the first passage. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 몸체부재는,
상기 제2 몸체부재와 마주보는 면에 레일이 부착되고, 상기 레일에 연결된 슬라이딩 부재가 상기 제2 몸체부재에 연결되는 분사모듈.The method according to claim 1,
Wherein the first body member comprises:
And a sliding member coupled to the rail is coupled to the second body member. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 몸체부재 일측에 연결되며, 내부에 에어를 수용하는 에어챔버 및 상기 에어가 분사되는 에어통로가 형성된 제3 몸체부재를 더 포함하는 분사모듈.The method according to claim 1,
And a third body member connected to one side of the second body member and having an air chamber accommodating air therein and an air passage through which the air is injected. 제 6 항에 있어서,
상기 제2 몸체부재는,
상기 에어통로와 연결되어, 상기 세정액이 분사되는 제3 통로가 더 형성된 분사모듈.The method according to claim 6,
And the second body member
And a third passage communicated with the air passage and through which the cleaning liquid is injected. 제 6 항에 있어서,
상기 제2 몸체부재는,
상기 제3 몸체부재의 길이방향을 따라 이동이 가능한 분사모듈.The method according to claim 6,
And the second body member
And is movable along the longitudinal direction of the third body member. 삭제delete 삭제delete
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