KR20050066267A - Apparatus for cleaning in liquid crystal display device - Google Patents

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KR20050066267A KR1020030097531A KR20030097531A KR20050066267A KR 20050066267 A KR20050066267 A KR 20050066267A KR 1020030097531 A KR1020030097531 A KR 1020030097531A KR 20030097531 A KR20030097531 A KR 20030097531A KR 20050066267 A KR20050066267 A KR 20050066267A
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 그라인딩 후 패드부를 고압 처리하는 고압실과 패널 전면에 샤워링을 수행하는 최종 샤워실의 영역을 통합하여 장비를 간소화한 액정 표시 장치의 세정 장비에 관한 것으로, 패널의 그라인딩 후 패널 상에 남은 파티클을 제거하며 쓸어내는 브러슁 및 샤워를 수행하는 제 1 샤워실과, 상기 패널의 패드부의 고압 처리 및 상기 패널 전면에 샤워를 수행하는 제 2 샤워실과, 에어 나이프를 통해 상기 패널을 건조시키는 제 1 건조실과, 열풍 또는 적외선에 의해 건조시키는 제 2 건조실과, 이오나이저를 이용하여 상기 패널상의 정전기를 제거하는 정전기 제거실 및 상기 패널의 외관 검사를 수행하는 외관 검사실을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention relates to a cleaning apparatus of a liquid crystal display device in which a device is simplified by integrating an area of a high pressure chamber for high pressure treatment of a pad part after grinding and a final shower room for showering on the front of the panel, and remaining on the panel after grinding of the panel. A first shower room for brushing and removing particles by wiping off particles, a second shower room for performing a high pressure treatment on a pad portion of the panel and a shower on the front of the panel, and a first drying room for drying the panel through an air knife And a second drying chamber dried by hot air or infrared rays, an electrostatic removing chamber for removing static electricity on the panel using an ionizer, and an external inspection chamber for inspecting the appearance of the panel.

Description

액정 표시 장치의 세정 장비{Apparatus for Cleaning in Liquid Crystal Display Device}Apparatus for Cleaning in Liquid Crystal Display Device

본 발명은 액정 표시 장치의 제조에 관한 것으로 특히, 그라인딩(grinding) 후 패드부를 고압 처리하는 고압실(High pressure zone)과 패널 전면에 샤워링(showering)을 수행하는 최종 샤워실(Final showering zone)의 영역을 통합하여 장비를 간소화한 액정 표시 장치의 세정 장비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the manufacture of a liquid crystal display, and in particular, a high pressure zone for high pressure treatment of a pad portion after grinding and a final showering zone for showering the front of the panel. The cleaning apparatus of the liquid crystal display device which simplifies the equipment by integrating the area of the present invention.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELD), and vacuum fluorescent (VFD) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시 장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비젼 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as the substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display device because of its excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention has been developed in various ways such as a television and a computer monitor for receiving and displaying broadcast signals.

이와 같은 액정 표시 장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비 전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.In order to use such a liquid crystal display as a general screen display device in various parts, it is a matter of how high quality images such as high definition, high brightness and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness and low power consumption. Can be.

일반적인 액정 표시 장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 일정 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.A general liquid crystal display device may be largely divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel includes first and second glass substrates bonded to each other with a predetermined space; It consists of a liquid crystal layer injected between the said 1st, 2nd glass substrate.

여기서, 상기 제 1 유리 기판(TFT 어레이 기판)에는 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소 영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성된다.Here, the first glass substrate (TFT array substrate) has a plurality of gate lines arranged in one direction at regular intervals, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing a gate line and a data line, and a plurality of thin film transistors switched by signals of the gate line to transfer the signal of the data line to each pixel electrode. Is formed.

그리고, 제 2 유리 기판(칼라 필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 차광층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성된다.The second glass substrate (color filter substrate) includes a light shielding layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G, and B color filter layers for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed.

이와 같은 상기 제 1, 제 2 유리 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 액정 주입구를 갖는 실(seal)재에 의해 합착되어 상기 두 기판 사이에 액정이 주입된다.The first and second glass substrates are bonded to each other by a seal material having a predetermined space by a spacer and having a liquid crystal injection hole, so that the liquid crystal is injected between the two substrates.

여기서, 액정 주입 방법은 상기 실재에 의해 합착된 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 용기에 상기 액정 주입구가 잠기도록 하면 삼투압 현상에 의해 액정이 두 기판 사이에 주입된다. 이와 같이 액정이 주입되면 상기 액정 주입구를 밀봉재로 밀봉하게 된다.Here, in the liquid crystal injection method, the liquid crystal is injected between the two substrates by osmotic pressure when the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal container by maintaining the vacuum state between the two substrates bonded by the real material. When the liquid crystal is injected as described above, the liquid crystal injection hole is sealed with a sealing material.

상기 일반적인 액정 표시 장치의 구동 원리는 액정의 광학적 이방성과 분극 성질을 이용한다. 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 갖고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자 배열의 방향을 제어할 수 있다. 따라서, 상기 액정의 분자 배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자 배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 상기 액정의 분자 배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상 정보를 표현할 수 있다.The driving principle of the general liquid crystal display device uses the optical anisotropy and polarization property of the liquid crystal. Since the liquid crystal is thin and long in structure, the liquid crystal has directivity in the arrangement of molecules, and the direction of the arrangement of molecules can be controlled by artificially applying an electric field to the liquid crystal. Therefore, when the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light is refracted in the molecular arrangement direction of the liquid crystal by optical anisotropy, thereby representing image information.

현재에는 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터에 연결된 화소 전극이 행렬 방식으로 배열된 능동 행렬 액정 표시 장치(Active Matrix LCD)가 해상도 및 동영상 구현 능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.Currently, an active matrix LCD, in which a thin film transistor and pixel electrodes connected to the thin film transistor are arranged in a matrix manner, is attracting the most attention due to its excellent resolution and ability to implement video.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 액정 표시 장치의 세정 장비에 대해 설명한다.Hereinafter, a cleaning apparatus of a conventional liquid crystal display device will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일반적인 액정 패널을 나타낸 평면도이다.1 is a plan view illustrating a general liquid crystal panel.

도 1과 같은 형상의 일반적인 액정 표시 장치의 액정 패널(10)은 각각 칼라 필터 어레이와 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 제 1, 제 2 원판 글래스(미도시)로부터 다음과 같은 공정을 통해 액정 표시 장치로 제조된다. The liquid crystal panel 10 of the general liquid crystal display device having the shape as shown in FIG. 1 is manufactured from the first and second disc glasses (not shown) in which the color filter array and the thin film transistor array are formed, respectively, through the following process. do.

즉, 먼저, 상부 기판(1)이 복수개 정의되는 제 1 원판 글래스와, 하부 기판(2)이 복수개 정의되는 제 2 원판 글래스(미도시)를 정확하게 대향시켜 합착한다.In other words, first, the first disc glass in which a plurality of upper substrates 1 are defined and the second disc glass (not shown) in which a plurality of lower substrates 2 are defined are opposed to each other and bonded together.

이어, 각 단위 패널을 구분하는 스크라이브 라인(scribe line)을 형성한다.Next, a scribe line is formed to distinguish each unit panel.

이어, 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이킹(breaking)하여 단위 패널을 형성한다. 이 때, 각 단위 패널별로 스크라이빙(scribing) 및 브레이킹(breaking)을 할 때는, 실제 액정 패널보다 다소 크게 절단한 후, 그라인딩(grinding)을 거쳐 액정 패널의 에지(edge)를 라운딩(rounding)시키도록 연마하여 액정 패널(1)의 실크기로 형성한다.Then, the unit panels are formed by breaking the scribe lines. At this time, when scribing and breaking each unit panel, the cutting is slightly larger than the actual liquid crystal panel, and then the edges of the liquid crystal panel are rounded through grinding. Polishing is carried out to form a silk machine of the liquid crystal panel 1.

이어, 각 단위 패널에 액정을 주입한다. Next, liquid crystal is injected into each unit panel.

이어, 상기 하부 기판 패드부에는 구동 드라이브 IC가 실장된 테이프 캐리어 패키지(TCP : Tape Carrier Package, 미도시) 및 구동 인쇄 회로기판(PCB :Printed Circuit Board, 미도시) 등을 연결하여, 액정 패널 어셈블리(Liquid Crystal Panel Assembly)를 제작한다. 이러한 LCD 패널 어셈블리는 백라이트 어셈블리(Backlight Assembly) 및 새시(sash)와 결합되어 LCD 모듈이 제작되고, LCD 모듈과 케이스(case)가 결합되어 액정 표시 장치가 제작된다.Subsequently, a liquid crystal panel assembly is connected to the lower substrate pad part by connecting a tape carrier package (TCP) and a driving printed circuit board (PCB) (not shown) on which a driving drive IC is mounted. Build a Liquid Crystal Panel Assembly. The LCD panel assembly is combined with a backlight assembly and a chassis to manufacture an LCD module, and the LCD module and a case are combined to produce a liquid crystal display device.

한편, 상기 복수개의 상부 기판(11) 각각에는 R, G, B 칼라 필터, 블랙 매트릭스가 어레이 형태로 형성되며, 전면에 공통 전극이 형성되어 있다.On the other hand, each of the plurality of upper substrates 11, R, G, B color filters, black matrix is formed in an array form, the common electrode is formed on the front surface.

그리고, 상기 복수개의 하부 기판(12) 각각에는 서로 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과, 데이터 라인과, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터 및 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극이 어레이 형태로 형성되어 있다. 여기서, 상기 하부 기판(12)이 상기 상부 기판(11)에 비해 크게 형성된 이유는 하부 기판(12)측에 게이트 라인과 데이터 라인에 구동 신호를 인가하는 게이트 패드부 및 데이터 패드부를 더 구성하기 때문에 마진을 두기 위해서이다.Each of the plurality of lower substrates 12 includes a gate line defining a pixel area vertically crossing each other, a data line, a thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line, and a pixel formed in the pixel area. The electrodes are formed in an array. The lower substrate 12 is formed larger than the upper substrate 11 because the lower substrate 12 further includes a gate pad portion and a data pad portion for applying driving signals to gate lines and data lines. To put a margin.

도 2는 종래의 액정 표시 장치의 세정 장비를 나타낸 개략도이다.2 is a schematic view showing cleaning equipment of a conventional liquid crystal display device.

액정 패널의 에지(edge)를 라운딩시키는 그라인딩 후에는 패널 상에 그라인딩시 발생한 파티클 및 그라인딩을 위한 분사 물질의 찌거기가 남게 되어, 이를 제거하는 세정 공정이 필요하다.After grinding to round the edges of the liquid crystal panel, particles generated during grinding on the panel and residues of the spraying material for grinding remain, and a cleaning process is required to remove them.

도 2에서는 이러한 그라인딩 후의 패널을 세정하는 종래의 액정 표시 장치의 세정 장비를 나타낸 것으로, 패널의 그라인딩 후 패널 상에 남은 파티클을 제거하며 쓸어내는 브러슁(brushing) 및 샤워링(showering)을 수행하는 제 1 샤워실(11)과, 상기 패널의 패드부를 고압 처리하는 고압 처리실(12)과, 상기 패널 전면에 샤워를 수행하는 제 2 샤워실(13)과, 에어 나이프(air knife)를 통해 상기 패널을 건조시키는 제 1 건조실(14)과, 열풍 또는 적외선(Infrared rays)에 의해 건조시키는 제 2 건조실(15)과, 이오나이저(ionizer)를 이용하여 상기 패널상의 정전기를 제거하는 정전기 제거실(16) 및 상기 패널의 외관 검사를 수행하는 외관 검사실(17)을 포함하여 이루어지며, 상기 제 1 샤워실(11)의 일측과, 상기 외관 검사실(17)의 일측에 각각 로딩부(18a), 언로딩부(18b)가 구비되어 있다.FIG. 2 shows a cleaning apparatus of a conventional liquid crystal display device for cleaning such a panel after grinding. The apparatus for cleaning and removing particles remaining on the panel after grinding the panel is performed by brushing and showering. 1 the shower chamber 11, the high pressure processing chamber 12 for high pressure treatment of the pad portion of the panel, the second shower chamber 13 for showering the front of the panel, and the panel through an air knife A first drying chamber 14 for drying the dust, a second drying chamber 15 for drying by hot air or infrared rays, and an electrostatic removing chamber 16 for removing static electricity on the panel using an ionizer. And an exterior inspection room 17 which performs an exterior inspection of the panel, and each of the loading unit 18a and the side of the first shower room 11 and one side of the exterior inspection room 17 is mounted. The loading section 18b is provided. All.

이하, 도면을 참조하여 종래의 액정 표시 장치의 세정 장비의 각 실의 기능을 살펴본다.Hereinafter, with reference to the drawings looks at the function of each chamber of the cleaning equipment of the conventional liquid crystal display device.

도 3은 도 2의 브로슁 및 샤워링을 행하는 제 1 실을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 2의 고압 처리를 행하는 제 2 실을 나타낸 도면이며, 도 5는 도 2의 최종 샤워링을 행하는 제 3 실을 나타낸 도면이다.3 is a view showing a first chamber for performing the broaching and showering of FIG. 2, FIG. 4 is a view showing a second chamber for performing the high pressure treatment of FIG. 2, and FIG. 5 is a view for performing the final showering of FIG. 2. It is a figure which shows a 3rd room.

로딩부(18a)에 의해 유입된 패널은 도 3과 같이, 상기 상하부 기판(1, 2)의 배면에 대응되어 상기 제 1 샤워실(11)에 구비된 브러쉬(brush)(22a, 22b)에 의해 그라인딩시 발생한 파티클 등이 브러슁되며, 상기 제 1 샤워실(11)의 상하내벽에 장착된 제 1 상하부 샤워기(21a, 21b)에 의해 노출된 상하부 기판(1, 2)의 전면이 샤워링(showering)된다. 이 때, 브러쉬(22a, 22b)에 의해 쓸려진 파티클들이 상기 제 1 상하부 샤워기(21a, 21b)에 의해 공급받는 초순수(DI Water : De-Ionized Water)에 의해 씻겨져 흘러내린다. As shown in FIG. 3, the panel introduced by the loading unit 18a corresponds to the rear surfaces of the upper and lower substrates 1 and 2 and is attached to the brushes 22a and 22b provided in the first shower room 11. Particles generated during grinding are brushed, and front surfaces of the upper and lower substrates 1 and 2 exposed by the first upper and lower showers 21a and 21b mounted on the upper and lower inner walls of the first shower room 11 are shower rings ( showering). At this time, the particles washed by the brushes 22a and 22b are washed off by the ultra pure water (DI water: De-Ionized Water) supplied by the first upper and lower showers 21a and 21b.

상기 패널(10)의 게이트 패드부 및 데이터 패드부는, 액정의 주입 후 구동 인쇄 회로기판(PCB)과 연결되는 부위로 외부에 노출되어 있어, 상기 제 1 샤워실(11)을 거친 후, 도 4와 같이, 고압 처리실(12)에 의해 별도의 고압 처리를 통해 분사되는 초순수에 의해 초정세 세정되어야 한다. After the liquid crystal injection is performed, the gate pad portion and the data pad portion of the panel 10 are exposed to the outside as a portion connected to the driving printed circuit board (PCB), and after passing through the first shower room 11, FIG. 4. As described above, the ultrafine water must be cleaned by ultrapure water sprayed through a separate high pressure treatment by the high pressure treatment chamber 12.

이 때, 상기 고압 처리실(12)에 의해 분사 장치(23)를 상기 게이트 패드부 및 데이터 패드부의 형성 방향에만 구비하여 국부적인 세정을 실시한다.At this time, the high pressure processing chamber 12 is provided with the injection device 23 only in the formation direction of the gate pad part and the data pad part to perform local cleaning.

이어, 도 5와 같이, 제 2 샤워실(13)로 상기 패널(10)을 이동시켜 상기 패널(10)의 전면에 최종 샤워링을 실시한다. 이 때, 최종 샤워링은 상기 제 2 샤워실(12) 내에는 제 2 상하부 샤워기(24a, 24b)가 구비되어, 상기 패널(10)의 상하부 기판(1, 2)의 배면으로 초순수를 샤워링 방식으로 공급하여 이루어진다.Subsequently, as shown in FIG. 5, the panel 10 is moved to the second shower room 13 to perform a final shower on the front surface of the panel 10. At this time, the final shower ring is provided with second upper and lower showers 24a and 24b in the second shower room 12, and showers ultrapure water to the back of the upper and lower substrates 1 and 2 of the panel 10. By feeding in a fashion.

이어, 제 1 건조실(14)에서는 에어 나이프(air knife)에 의해 공기를 분사하여 패널(10)의 표면, 즉, 상하부 기판(1, 2)의 배면을 건조시킨다.Next, in the first drying chamber 14, air is blown by an air knife to dry the surface of the panel 10, that is, the back surface of the upper and lower substrates 1 and 2.

이어, 제 2 건조실(15)에서 상기 패널(10)의 표면에 열풍 또는 적외선을 씌여 건조를 완료한다.Subsequently, hot air or infrared rays are applied to the surface of the panel 10 in the second drying chamber 15 to complete drying.

이어, 정전기 제거실(16)에서는 이오나이저(ionizer)를 통해 소정의 이온들 발생시켜 상기 패널(10)의 표면에 발생된 정전기와 반응시켜 중화시킨다.Subsequently, in the static elimination chamber 16, predetermined ions are generated through an ionizer to react with the static electricity generated on the surface of the panel 10 to neutralize them.

이어, 외관 검사실(17)에서 상기 패널(10)의 패드부에 형성된 배선을 검사하여 이후의 구동 회로 인쇄 기판과의 연결에 대비한다.Subsequently, the wiring formed in the pad portion of the panel 10 is inspected in the external inspection room 17 to prepare for the connection with the subsequent driving circuit printed board.

이어, 언로딩부(18b)에서 상기 패널(10)을 세정 장비 외부로 반출시킨다.Subsequently, the panel 10 is taken out of the cleaning equipment by the unloading part 18b.

여기서, 로딩부(18a)로부터 언로딩부(18b)까지의 패널의 이동은 롤러 등의 이송 장치 등에 이루어진다.Here, the movement of the panel from the loading part 18a to the unloading part 18b is made to a conveying apparatus such as a roller.

그러나, 상기와 같은 종래의 액정 표시 장치의 세정 장비는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the cleaning equipment of the conventional liquid crystal display device as described above has the following problems.

즉, 로딩부부터 언로딩부까지 세정 장비 내에 각 실이 차지하는 공간이 커 세정 장비의 길이가 길어져 공간 활용을 최대화하기 위해 세정 장비 길이의 축소가 요구되었다.That is, the space occupied by each seal in the cleaning equipment from the loading unit to the unloading unit is large, and thus the length of the cleaning equipment is increased, so that the length of the cleaning equipment is required to maximize the space utilization.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 그라인딩 후, 고압실(High Pressure Zone)과 샤워실(Shower Zone)의 영역을 통합하여 장비를 간소화한 액정 표시 장치의 세정 장비를 제공하는 데, 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and after grinding, to provide the cleaning equipment of the liquid crystal display device by simplifying the equipment by integrating the region of the High Pressure Zone and the Shower Zone. , Its purpose is.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비는 패널의 그라인딩 후 패널 상에 남은 파티클을 제거하며 쓸어내는 브러슁 및 샤워를 수행하는 제 1 샤워실과, 상기 패널의 패드부의 고압 처리 및 상기 패널 전면에 샤워를 수행하는 제 2 샤워실과, 에어 나이프를 통해 상기 패널을 건조시키는 제 1 건조실과, 열풍 또는 적외선에 의해 건조시키는 제 2 건조실과, 이오나이저를 이용하여 상기 패널상의 정전기를 제거하는 정전기 제거실 및 상기 패널의 외관 검사를 수행하는 외관 검사실을 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.Cleaning apparatus of the liquid crystal display device of the present invention for achieving the above object is a high pressure treatment of the first shower room for performing a brush and the brush to remove the particles remaining on the panel after grinding the panel and the shower, and the pad portion of the panel And a second shower room for showering the entire surface of the panel, a first drying room for drying the panel through an air knife, a second drying room for drying by hot air or infrared rays, and static electricity on the panel using an ionizer. It is characterized in that it comprises a static elimination chamber to remove and the appearance inspection chamber to perform the appearance inspection of the panel.

상기 제 1 샤워실 및 외관 검사실의 일측에 상기 패널의 로딩부/언로딩부를 구비한다.A loading part / unloading part of the panel is provided at one side of the first shower room and the external inspection room.

상기 제 2 샤워실은 상기 패널에 형성된 패드부에 대응되어 초순수(DI Water) 고압 분사를 실시하는 분사 장치와, 상기 패널 전면에 대응하여 초순수 세정을 실시하는 샤워기를 구비한다.The second shower room includes a spraying device for performing high pressure injection of ultra pure water corresponding to the pad portion formed on the panel, and a shower for ultrapure water cleaning corresponding to the entire surface of the panel.

상기 분사 장치는 상기 패널에 형성된 패드부 형성 전부위에 고압 분사하도록 복수개 구비된다.The injection device is provided with a plurality of high-pressure injection on all of the pad portion formed in the panel.

상기 분사 장치를 이용하여 상기 패널의 패드부에 초순수 고압 분사시 상기 패널은 정지 상태이다.When the ultrapure water is injected at the pad portion of the panel using the injection device, the panel is in a stopped state.

상기 분사 장치는 상기 패널에 형성된 게이트 패드부 및 데이터 패드부에 형성 방향에 따라 각각 구비된다. The injection device is provided in the gate pad portion and the data pad portion formed in the panel according to the forming direction, respectively.

상기 분사 장치는 상기 패널에 형성된 게이트 패드부 및 데이터 패드부의 형성 방향에 따라 직선 이동한다.The injection device linearly moves along the forming direction of the gate pad portion and the data pad portion formed in the panel.

상기 샤워기는 상기 패널의 이송과 함께 상기 패널에 초순수를 샤워링한다.The shower showers ultrapure water in the panel with the transfer of the panel.

상기 샤워기는 상기 패널의 상하부 전면에 초순수를 샤워링한다.The shower showers ultrapure water on the upper and lower surfaces of the panel.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the cleaning equipment of the liquid crystal display of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비를 나타낸 개략도이다.6 is a schematic view showing the cleaning equipment of the liquid crystal display device of the present invention.

도 6과 같이, 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비는 패널이 유입되는 로딩부(60)와, 그라인딩 후 패널 상에 남은 파티클을 제거하며 쓸어내는 브러슁 및 샤워를 수행하는 제 1 샤워실(61)과, 상기 패널의 패드부의 고압 처리 및 상기 패널 전면에 샤워를 수행하는 제 2 샤워실(62)과, 에어 나이프(air knife)를 통해 상기 패널을 건조시키는 제 1 건조실(63)과, 열풍 또는 적외선(Infrared Rays)에 의해 건조시키는 제 2 건조실(64)과, 이오나이저(Ionizer)를 이용하여 상기 패널상의 정전기를 제거하는 정전기 제거실(65) 및 상기 패널의 외관 검사를 수행하는 외관 검사실(66)을 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 6, the cleaning apparatus of the liquid crystal display according to the present invention includes a loading unit 60 into which a panel is introduced, a first shower room 61 which performs a brushing and a shower to remove particles remaining on the panel after grinding. ), A second shower chamber 62 for high pressure treatment of the pad portion of the panel and a shower on the front surface of the panel, a first drying chamber 63 for drying the panel through an air knife, and hot air. Or a second drying chamber 64 dried by infrared rays, an electrostatic eliminating chamber 65 for removing static electricity on the panel by using an ionizer, and an external inspection chamber which performs external appearance inspection of the panel. Including 66.

즉, 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비는 상기 제 2 샤워실(62)에 패널의 패드부의 고압 처리와 패널의 전면에 최종 샤워링을 동시에 수행하도록 고압 처리와 샤워링에 필요한 요소를 모두 구성하여 세정 장비 내 1실을 줄여 공간 활용을 향상시킨다.That is, the cleaning equipment of the liquid crystal display device according to the present invention configures both the high pressure treatment and the elements necessary for the showering to simultaneously perform the high pressure treatment on the pad portion of the panel and the final shower on the front surface of the panel in the second shower room 62. This reduces space in the cleaning equipment and improves space utilization.

또한, 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비의 각 실에서 패널의 이동은 각 실에 패널에 대응되는 위치에 구비된 롤러(roller) 등의 이송 장치 등을 통해 이루어진다.In addition, the movement of the panel in each chamber of the cleaning equipment of the liquid crystal display device of the present invention is performed through a transfer device such as a roller provided at a position corresponding to the panel in each chamber.

그리고, 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비에서 세정 처리가 이루어지는 패널은 칼라 필터 어레이가 형성된 상부 기판(41)과, 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 하부 기판(42) 및 두 기판(41, 42) 사이에 형성된 액정층(미도시)로 이루어진다.In the cleaning equipment of the liquid crystal display of the present invention, the panel in which the cleaning process is performed is provided between the upper substrate 41 on which the color filter array is formed, the lower substrate 42 on which the thin film transistor array is formed, and the two substrates 41 and 42. It is formed of a liquid crystal layer (not shown) formed.

상기 상부 기판(41) 각각에는 R, G, B 칼라 필터, 블랙 매트릭스가 어레이 형태로 형성되며, 전면에 공통 전극이 형성되어 있다.Each of the upper substrates 41 includes R, G, B color filters, and a black matrix in an array form, and a common electrode is formed on an entire surface of the upper substrate 41.

그리고, 상기 하부 기판에는 서로 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과, 데이터 라인과, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터 및 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극이 어레이 형태로 형성되어 있다. In the lower substrate, a gate line defining a pixel area crossing each other perpendicularly to each other, a data line, a thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line, and a pixel electrode formed in the pixel area are formed in an array form. It is.

여기서, 상기 하부 기판(42)이 상기 상부 기판(41)에 비해 크게 형성된 이유는 하부 기판(42)측에 게이트 라인과 데이터 라인에 구동 신호를 인가하는 게이트 패드부 및 데이터 패드부를 더 구성하기 때문에 마진을 두기 위해서이다. The lower substrate 42 is formed larger than the upper substrate 41 because the lower substrate 42 further includes a gate pad portion and a data pad portion for applying driving signals to the gate lines and the data lines. To put a margin.

이하, 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비의 각 실의 기능을 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, the function of each chamber of the washing | cleaning apparatus of the liquid crystal display device of this invention is demonstrated with reference to drawings.

도 7은 도 6의 브로슁 및 샤워링을 행하는 제 1 실을 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a view showing a first chamber for performing the broaching and showering in FIG. 6.

도 7과 같이, 로딩부(60)에 의해 유입된 패널은 상하부 기판(41, 42)의 배면에 대응되어 상기 제 1 샤워실(61)에 구비된 브러쉬(brush)(72a, 72b)에 의해 그라인딩시 발생한 파티클 등이 브러슁되며, 상기 제 1 샤워실(61)의 상하내벽에 장착된 제 1 상하부 샤워기(21a, 21b)에 의해 노출된 상하부 기판(1, 2)의 전면이 샤워링(showering)된다. 이 때, 브러쉬(22a, 22b)에 의해 쓸려진 파티클들이 상기 제 1 상하부 샤워기(21a, 21b)에 의해 공급받는 초순수(DI Water : De-Ionized Water)에 의해 씻겨져 흘러내린다. As shown in FIG. 7, the panel introduced by the loading unit 60 is connected to the rear surfaces of the upper and lower substrates 41 and 42 by brushes 72a and 72b provided in the first shower room 61. Particles, etc., generated during grinding are brushed, and the front and bottom surfaces of the upper and lower substrates 1 and 2 exposed by the upper and lower showers 21a and 21b mounted on the upper and lower inner walls of the first shower chamber 61 are showering. )do. At this time, the particles washed by the brushes 22a and 22b are washed off by the ultra pure water (DI water: De-Ionized Water) supplied by the first upper and lower showers 21a and 21b.

도 8은 도 7의 고압 처리 및 최종 샤워링을 행하는 제 2 샤워실을 나타낸 도면이며, 도 9는 도 8의 제 2 샤워실에서 고압 처리 방향을 나타낸 도면이다.FIG. 8 is a view showing a second shower room that performs the high pressure treatment and final showering of FIG. 7, and FIG. 9 is a view showing the high pressure treatment direction in the second shower room of FIG. 8.

상기 패널(10)의 패드부, 즉, 게이트 패드부 및 데이터 패드부는, 구동 인쇄 회로기판(PCB)과 연결되는 부위로 외부에 노출되어 있어, 상기 제 1 샤워실(61)을 거친 후, 별도의 고압 처리를 통해 분사되는 초순수에 의해 초정세 세정되어야 한다. The pad portion of the panel 10, that is, the gate pad portion and the data pad portion is exposed to the outside as a portion connected to the driving printed circuit board (PCB), and passes through the first shower room 61, and then separately Should be cleaned by ultrapure water sprayed through high pressure treatment.

이러한 고압 처리를 수행하는 부위가 제 2 샤워실(62)인데, 상기 제 2 샤워실(62)에서는 상기 패널에 형성된 패드부에 대응되어 초순수(DI Water) 고압 분사를 실시하는 분사 장치(82a, 82b)와, 상기 패널 전면에 대응하여 초순수 세정을 실시하도록 제 2 샤워실 상하부 내측벽에 제 2 상하부 샤워기(81a, 81b)를 구비하여, 롤러 등에 이송 장치에 의해 제 2 샤워실(62)로 들어온 상기 패널(40)을 소정 시간 고정시켜 구비된 분사 장치(82a, 82b)에 의해 패널(40)의 패드부에 고압으로 초순수 세정을 실시할 뿐만 아니라, 제 2 상하부 샤워기(81a, 81b)를 통해 상기 패널(40)의 전면에 최종 샤워링을 실시한다.A part of performing the high pressure treatment is the second shower room 62. In the second shower room 62, the injection device 82a corresponding to the pad formed on the panel and performing ultra-high pressure (DI Water) injection is performed. 82b), and second upper and lower showerheads 81a and 81b are provided on the upper and lower inner walls of the second shower room so as to perform ultrapure water cleaning corresponding to the entire surface of the panel, and to the second shower room 62 by a roller or the like. Ultra-pure water is cleaned at a high pressure on the pad portion of the panel 40 by the injection apparatuses 82a and 82b provided by fixing the panel 40 that has been brought in for a predetermined time, and the second upper and lower showers 81a and 81b are provided. The final shower is performed on the front of the panel 40 through.

상기 분사 장치(82a, 82b)는 상기 패널에 형성된 패드부 형성 전부위에 고압 분사하도록 복수개 구비되거나, 혹은 도 9와 같이, 상기 분사 장치(82a, 82b)는 상기 패널에 형성된 게이트 패드부 및 데이터 패드부에 형성 방향에 따라 각각 하나씩 구비되며, 각각 게이트 패드부 및 데이터 패드부의 형성 방향에 따라 직선 이동하며, 각각의 패드부에 대해 고압 분사 처리를 완료할 수 있다.The injection apparatuses 82a and 82b may be provided in plural to spray high pressure on all of the pad portions formed in the panel, or as shown in FIG. 9, the injection apparatuses 82a and 82b may include gate pad portions and data pads formed in the panel. Each part is provided one by one according to the formation direction, and moves linearly according to the formation direction of the gate pad part and the data pad part, respectively, and the high pressure injection process can be completed for each pad part.

전자와 같이, 상기 분사 장치(82a, 82b)가 복수개 구비될 경우, 상기 분사 장치(82a, 82b)를 이용하여 상기 패널(40)의 패드부에 초순수 고압 분사시 상기 패널(40)은 정지 상태이다.Like the former, when a plurality of the injection device (82a, 82b) is provided, when the ultra-pure high pressure injection of the pad portion of the panel 40 by using the injection device (82a, 82b), the panel 40 is stopped to be.

여기서, 게이트 패드부 또는 데이터 패드부 중 일측 패드부만 직선 이동시키며, 타측 패드부는 패널(40)을 롤러 등의 이송 장치에 의해 이동시키며 상기 제 2 상하부 샤워기(81a, 81b)에 의해 상기 패널(40) 전면에 진행되는 샤워링과 함께 진행할 수도 있다. Here, only one pad portion of the gate pad portion or data pad portion is linearly moved, and the other pad portion moves the panel 40 by a transfer device such as a roller, and the second upper and lower showers 81a and 81b allow the panel ( 40) It can also proceed with the shower ring that goes on the front.

여기서, 상기 분사 장치(82a, 82b)를 통해서는 고압 분사되는 초순수가 나오고 상기 제 2 상하부 샤워기(81a, 81b)를 통해서는 일반적인 세정 공정시 사용하는 초순수(DI water)가 나온다.Here, the ultrapure water to be injected under high pressure is discharged through the injection devices 82a and 82b, and the ultrapure water (DI water) used in the general cleaning process is discharged through the second upper and lower showers 81a and 81b.

상기 제 2 상하부 샤워기(81a, 81b)는, 고압 분사시 정지해있던 상기 패널(40)의 이송과 함께 상기 패널(40)의 상하부 기판(41, 42) 배면에 초순수를 샤워링한다.The second upper and lower showers 81a and 81b shower ultrapure water on the back surface of the upper and lower substrates 41 and 42 of the panel 40 together with the transfer of the panel 40 which is stopped at the time of high pressure injection.

이와 같이, 제 2 샤워실(62)을 통해 고압 처리 및최종 샤워링을 완료한 후, 제 1 건조실(63)에서는 에어 나이프(air knife)에 의해 공기를 분사하여 패널(40)의 표면, 즉, 상하부 기판(41, 42)의 배면을 건조시킨다. As such, after the high pressure treatment and the final showering are completed through the second shower room 62, the air is blown by an air knife in the first drying room 63, that is, the surface of the panel 40, that is, The back surfaces of the upper and lower substrates 41 and 42 are dried.

이어, 제 2 건조실(64)에서 상기 패널(40)의 표면에 열풍 또는 적외선을 쐬어 건조를 완료한다.Subsequently, hot air or infrared rays are emitted to the surface of the panel 40 in the second drying chamber 64 to complete drying.

이어, 정전기 제거실(65)에서는 이오나이저(ionizer)를 통해 소정의 이온들 발생시켜 상기 패널(40)의 표면에 발생된 정전기와 반응시켜 중화시킨다.Subsequently, in the static elimination chamber 65, predetermined ions are generated through an ionizer to react with the static electricity generated on the surface of the panel 40 to neutralize them.

이어, 외관 검사실(66)에서 상기 패널(40)의 패드부에 형성된 배선을 검사하여 이후의 구동 회로 인쇄 기판과의 연결에 대비한다.Subsequently, the wiring formed in the pad portion of the panel 40 is inspected in the external inspection room 66 to prepare for the connection with the subsequent driving circuit printed board.

이어, 언로딩부(67)에서 상기 패널(40)을 세정 장비 외부로 반출시킨다.Subsequently, the panel 40 is taken out of the cleaning equipment by the unloading part 67.

상기와 같은 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비는 다음과 같은 효과가 있다.The cleaning equipment of the liquid crystal display device of the present invention as described above has the following effects.

그라인딩(grinding) 후 세정기의 고압 처리실(High Pressure zone)과 샤워실(Shower Zone)을 하나의 실로 통합하여 장비 크기를 줄일 수 있어, 공간 활용을 최대화할 수 있다.After grinding, the high pressure zone and shower zone of the scrubber can be combined into one chamber to reduce the size of the equipment, thereby maximizing space utilization.

또한, 장비의 크기 축소로 패널을 세정하는 데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.In addition, the reduced size of the equipment can reduce the time it takes to clean the panel.

도 1은 일반적인 액정 패널을 나타낸 평면도1 is a plan view showing a typical liquid crystal panel

도 2는 종래의 액정 표시 장치의 세정 장비를 나타낸 개략도2 is a schematic view showing cleaning equipment of a conventional liquid crystal display device

도 3은 도 2의 브로슁 및 샤워링을 행하는 제 1 실을 나타낸 도면FIG. 3 shows a first chamber for broaching and showering in FIG. 2. FIG.

도 4는 도 2의 고압 처리를 행하는 제 2 실을 나타낸 도면4 shows a second chamber for performing the high pressure treatment of FIG.

도 5는 도 2의 최종 샤워링을 행하는 제 3 실을 나타낸 도면FIG. 5 shows a third chamber to perform the final showering of FIG.

도 6은 본 발명의 액정 표시 장치의 세정 장비를 나타낸 개략도6 is a schematic view showing cleaning equipment of the liquid crystal display device of the present invention.

도 7은 도 6의 브로슁 및 샤워링을 행하는 제 1 샤워실을 나타낸 도면FIG. 7 is a view illustrating a first shower room that performs the browsing and showering of FIG. 6.

도 8은 도 7의 고압 처리 및 최종 샤워링을 행하는 제 2 샤워실을 나타낸 도면FIG. 8 shows a second shower room for performing the high pressure treatment and final showering of FIG.

도 9는 도 8의 제 2 샤워실에서 고압 처리 방향을 나타낸 도면FIG. 9 is a view illustrating a high pressure treatment direction in the second shower room of FIG. 8.

*도면의 주요 부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *

40 : 액정 패널 41 : 상부 기판40 liquid crystal panel 41 upper substrate

42 : 하부 기판 60 : 로딩부42: lower substrate 60: loading portion

61 : 제 1 샤워실 62 : 제 2 샤워실61: the first shower room 62: the second shower room

63 : 제 1 건조실 64 : 제 2 건조실 63: first drying chamber 64: second drying chamber

65 : 정전기 제거실 66 : 외곽 검사실65: static electricity removing room 66: outer laboratory

67 : 언로딩부 71a, 71b : 샤워기67: unloading unit 71a, 71b: shower

72a, 72b : 브러쉬 81a, 81b : 샤워기72a, 72b: Brush 81a, 81b: Shower

82a, 82b : 고압 DI 분사기82a, 82b: High Pressure DI Injector

Claims (9)

패널의 그라인딩 후 패널 상에 남은 파티클을 제거하며 쓸어내는 브러슁 및 샤워를 수행하는 제 1 샤워실;A first shower room for wiping and removing the particles remaining on the panel after grinding the panel; 상기 패널의 패드부의 고압 처리 및 상기 패널 전면에 샤워를 수행하는 제 2 샤워실;A second shower room for performing high pressure treatment on the pad portion of the panel and showering the front of the panel; 에어 나이프를 통해 상기 패널을 건조시키는 제 1 건조실;A first drying chamber for drying the panel through an air knife; 열풍 또는 적외선에 의해 건조시키는 제 2 건조실;A second drying chamber dried by hot air or infrared rays; 이오나이저를 이용하여 상기 패널상의 정전기를 제거하는 정전기 제거실; 및A static electricity removing chamber for removing static electricity on the panel using an ionizer; And 상기 패널의 외관 검사를 수행하는 외관 검사실;을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.Cleaning equipment for a liquid crystal display device, comprising: an external inspection room for performing an external inspection of the panel. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 샤워실 및 외관 검사실의 일측에 상기 패널의 로딩부/언로딩부를 구비함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.And a loading part / unloading part of the panel on one side of the first shower room and the external inspection room. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 샤워실은 The second shower room 상기 패널에 형성된 패드부에 대응되어 초순수(DI Water) 고압 분사를 실시하는 분사 장치와, 상기 패널 전면에 대응하여 초순수 세정을 실시하는 샤워기를 구비함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.And a spraying device for performing ultra pure water (DI Water) high pressure injection corresponding to the pad portion formed on the panel, and a shower unit for ultrapure water cleaning corresponding to the entire surface of the panel. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 분사 장치는 상기 패널에 형성된 패드부 형성 전부위에 고압 분사하도록 복수개 구비됨을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.And a plurality of spraying apparatuses so as to spray at a high pressure on all of the pad portions formed in the panel. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 분사 장치를 이용하여 상기 패널의 패드부에 초순수 고압 분사시 상기 패널은 정지 상태임을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.And the panel is in a stop state when the ultrapure water is injected at a pad portion of the panel by using the injection device. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 분사 장치는 상기 패널에 형성된 게이트 패드부 및 데이터 패드부에 형성 방향에 따라 각각 구비됨을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.And the injection apparatuses are respectively provided in the gate pad portion and the data pad portion formed in the panel according to the forming direction. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 분사 장치는 상기 패널에 형성된 게이트 패드부 및 데이터 패드부의 형성 방향에 따라 직선 이동함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.And the spray device moves linearly along the forming direction of the gate pad portion and the data pad portion formed on the panel. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 샤워기는 상기 패널의 이송과 함께 상기 패널에 초순수를 샤워링함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.And the shower unit showers ultrapure water in the panel together with the transfer of the panel. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 샤워기는 상기 패널의 상하부 전면에 초순수를 샤워링함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 세정 장비.The shower device is a cleaning device of the liquid crystal display device, characterized in that for showering the ultrapure water on the upper and lower front surfaces of the panel.
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