KR100853774B1 - Lcd, lcd inspection apparatus and lcd manufacturing method using it - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대면적 기판 상태에서 전기적 불량 검사를 수행할 수 있는 전극 구조를 갖는 액정표시장치, 액정표시장치의 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 서로 수직 교차되어 형성된 복수 개의 게이트 라인 및 데이터 라인을 포함하여 이루어지는 다수의 단위 패널 영역을 구비하는 기판과, 상기 기판의 가장자리 측부에 열과 행으로 형성된 제 1, 제 2 금속라인과, 상기 복수 개의 게이트 라인을 단락시키며, 상기 제 2 금속라인과 전기적으로 연결된 열쇼팅바와, 상기 복수 개의 데이터 라인을 단락시키며, 상기 제 1 금속라인과 전기적으로 연결된 행쇼팅바를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a liquid crystal display device having an electrode structure capable of performing an electrical defect inspection in the state of a large area substrate, an inspection apparatus for a liquid crystal display device, and a method of manufacturing a liquid crystal display device using the same, A plurality of gate lines, a plurality of gate lines, and a plurality of data lines; a first and a second metal lines formed in rows and columns on a side edge of the substrate; And a row shorting bar electrically short-circuited to the plurality of data lines and electrically connected to the first metal line.
검사장치, 대면적 기판, 열쇼팅바, 행쇼팅바, A/P 검사Inspection equipment, large-area PCB, thermostating bar, hangshitting bar, A / P inspection
Description
도 1은 종래의 진공 주입법을 적용한 액정표시장치의 제조공정도1 is a view illustrating a manufacturing process of a liquid crystal display device to which a conventional vacuum injection method is applied
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 예시도2 is an exemplary diagram of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 상세 예시도Figure 3 is a detailed illustration of Figure 2
도 4는 도 3의 A 부분을 확대 도시한 단면도.4 is an enlarged cross-sectional view of a portion A in Fig.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 제조공정도.5 is a manufacturing process diagram for explaining a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 사시도.6 is a perspective view of a testing apparatus according to an embodiment of the present invention;
도 7은 대면적 기판의 예시도.7 is an exemplary view of a large-area substrate;
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Description of the Related Art [0002]
50 : 게이트 라인 60 : 데이터 라인50: gate line 60: data line
70 : 화소 영역 80 : 표시영역70: pixel area 80: display area
90 : 게이트 패드부 100 : 제 1 기판90: gate pad part 100: first substrate
100a : 제 1 단위 패널 영역 110 : 데이터 패드부 100a: first unit panel area 110: data pad part
120 : 열쇼팅바 121 : 제 1 금속라인120: thermostating bar 121: first metal line
121a, 123a : 외부접속단자 122 : 행쇼팅바 121a, 123a: external connection terminal 122: hangshittingba
123 : 제 2 금속라인 130 : 씨일재123: second metal line 130:
200 : 제 2 단위 패널 영역 210 : 블랙 매트릭스 200: second unit panel area 210: black matrix
220 : 블랙 매트릭스 테두리부 300 : 스테이지220: black matrix frame part 300: stage
310 : 돌출부 320 : 회전축310: protrusion 320:
330 : 광원 400 : 검사장치330: Light source 400: Inspection device
500 : 제 2 기판500: second substrate
본 발명은 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 불량검사를 최소의 시간 내에 용이하게 수행할 수 있는 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus and a method of manufacturing a liquid crystal display using the same, and more particularly, to an inspection apparatus capable of easily performing defect inspection in a minimum amount of time and a method of manufacturing a liquid crystal display using the apparatus.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.(PDP), Electro Luminescent Display (ELD), Vacuum Fluorescent (VFD), and the like have been developed in recent years in response to the demand for display devices. Display) have been studied, and some of them have already been used as display devices in various devices.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 브라운관(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이 외에도 텔레비전 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is most widely used in place of CRT (Cathode Ray Tube) because of its excellent image quality, light weight, thin shape and low power consumption, and is used for a portable type such as a monitor of a notebook computer In addition, various monitors such as a television monitor are being developed.
LCD는 서로 마주 보도록 결합되어 있는 두 기판과 그 사이에 주입되어 온도의 변화나 농도의 변화에 따라 상 전이를 발생하는 액정 물질로 이루어져 있다. LCDs are composed of two substrates that are coupled to each other to face each other and a liquid crystal material which is injected therebetween and generates phase transition according to changes in temperature or concentration.
상기 액정은 액체의 유동성과 고체의 장거리 질서(Long Range Order) 성질을 가지는 액체와 고체의 중간 성질을 갖는 물질이다. 즉, 고체인 결정이 녹아서 액체가 되기 전에 고체결정이나 액체가 아닌 중간 상태로 되는 것을 말하며, 빛을 쪼이거나 전계 또는 자계를 부가시키면 광학적인 이방성 결정에 특유한 복굴절성을 나타내고, 어떠한 온도 범위내에서는 액체와 결정의 쌍방의 성질을 나타낸다.The liquid crystal is a substance having intermediate properties between a liquid and a solid having liquid fluidity and long range order properties. That is, when a solid crystal is melted to become a liquid state, it is not a solid crystal or a liquid before it becomes a liquid state. When light is applied or an electric or magnetic field is added, birefringence characteristic to optical anisotropy crystals is exhibited. It shows the properties of both liquid and crystal.
이러한 LCD는 크게 어레이(Array) 공정, 컬러 필터(Color Filter) 공정, 액정 셀(Cell) 공정 및 모듈(Module) 공정을 거쳐 제조된다.Such an LCD is manufactured through an array process, a color filter process, a liquid crystal cell process, and a module process.
상기 어레이 공정은 증착(Deposition) 및 사진 석판인쇄술(Photolithography), 식각(Etching) 공정을 반복하여 제 1 기판(TFT 기판) 상에 박막 트랜지스터(TFT; Thin Film Transistor) 배열을 제작하는 공정이고, 컬러 필터 공정은 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 형성된 제 2 기판(컬러필터 기판) 상에 염료나 안료를 사용하여 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)의 컬러 필터를 제작한 후, 공통전극용 ITO(Indium Tin Oxide)막을 형성하는 공정이다.The array process is a process of fabricating a thin film transistor (TFT) array on a first substrate (TFT substrate) by repeating deposition, photolithography, and etching processes, In the filtering process, red, green, and blue color filters are formed on a second substrate (color filter substrate) on which a black matrix is formed using dyes or pigments, To form an ITO (Indium Tin Oxide) film for an electrode.
또한, 액정 셀 공정은 박막 트랜지스터 형성 공정이 완료된 제 1 기판과 컬러필터 공정이 완료된 제 2 기판 사이에 일정한 틈이 유지되도록 합착하여 빈 액정 셀을 만든 다음, 그 틈 사이로 액정을 주입하여 LCD 셀을 형성하는 공정이고, 상기 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고, 박막 트랜지스터 액정표시장치 의 패널과 신호처리회로부를 실장 기술을 통해 서로 연결한 후 기구물을 부착하여 모듈을 제작하는 공정이다.In addition, in the liquid crystal cell process, an empty liquid crystal cell is formed by adhering a first gap between the first substrate on which the thin film transistor forming process is completed and the second substrate on which the color filter process is completed to maintain a predetermined gap, In the module process, a circuit section for signal processing is manufactured, a panel of the thin film transistor liquid crystal display device and a signal processing circuit section are connected to each other through a mounting technique, and a module is manufactured by attaching an apparatus.
여기서, 종래의 액정 셀 공정을 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.Here, the conventional liquid crystal cell process will be described in more detail as follows.
먼저, 복수개의 제 1 기판이 적재된 카세트(Cassette;도시되지 않음)와 복수 개의 제 2 기판이 적재된 카세트(도시되지 않음)가 각각 로더(Loader;적재기)에 의해 각각의 포트(Port)에 안착된다.First, a cassette (not shown) on which a plurality of first substrates are stacked and a cassette (not shown) on which a plurality of second substrates are stacked are loaded on respective ports by a loader, Lt; / RTI >
여기서, 상기 제 1 기판의 각 패널 영역에는 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수개의 게이트 라인(Gate Line)과 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 라인(Data Line)과 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 매트릭스(Matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 형성되어 있다.Here, a plurality of gate lines (Gate lines) arranged in one direction at regular intervals and in each panel region of the first substrate, and a plurality of data lines Data (Data) arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines And a plurality of thin film transistors and pixel electrodes are formed in a matrix pixel region defined by the gate lines and the data lines.
또한, 상기 제 2 기판의 단위 패널 영역에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과 컬러 필터층 및 공통전극(IPS 모드의 경우는 제 1 기판에 형성됨) 등이 형성되어 있다.In addition, a black matrix layer, a color filter layer, and a common electrode (in the case of the IPS mode, formed on the first substrate) for blocking light in a portion excluding the pixel region are formed in the unit panel region of the second substrate Respectively.
다음, 상기 복수개의 제 1 기판 및 복수개의 제 2 기판을 각각 하나씩 선택하도록 프로그램(Program) 된 로봇 암(Robot Arm)을 이용하여 제 1 기판 및 제 2 기판을 선택한다. Next, the first substrate and the second substrate are selected using a robot arm programmed to select the plurality of first substrates and the plurality of second substrates one by one, respectively.
이어, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 선택된 제 1 기판과 제 2 기판 상에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정(1S)을 각각 진행한다. 상기 배향 공정(1S)은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 소성, 배향막 검사, 러빙 공정 순으로 진행된다.Next, as shown in FIG. 1, an alignment process (1S) is performed to apply the alignment material on the selected first substrate and the second substrate, and to make the liquid crystal molecules have a uniform directionality. The alignment step (1S) proceeds in the order of cleaning before the alignment film is applied, alignment film printing, alignment film firing, alignment film inspection, and rubbing process.
다음, 배향 공정(1S) 후 갭(Gap) 공정이 진행된다. 상기 갭 공정은 제 1 기판 및 제 2 기판을 각각 세정(2S)한 다음, 제 1 기판에 셀 갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포(3S)하고, 제 2 기판의 외곽부에 씨일(Seal)재를 도포(4S)한 후 상기 제 1 기판과 컬러필터기판에 압력을 가하여 합착한다(5S).Next, a gap process is performed after the alignment process (1S). In the gap process, the first substrate and the second substrate are cleaned (2S), respectively. Then, a
한편, 상기 제 1 기판과 제 2 기판은 대면적의 유리기판 상에 형성되어 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 단위기판 영역이 형성되고, 상기 단위 기판 영역 중 하부의 단위 기판(TFT 측) 영역 내에는 별도의 화소전극이 형성되어 있으며, 상기 화소전극과 더불어 액정을 구동시키는 공통전극은 대면적의 유리기판에 전면적으로 형성되어 있다. On the other hand, the first substrate and the second substrate are formed on a glass substrate having a large area. In other words, a plurality of unit substrate regions are formed on a large-area glass substrate, and a separate pixel electrode is formed in a lower unit substrate (TFT side) region of the unit substrate regions. In addition to the pixel electrodes, The common electrode to be driven is formed over the entire surface of the large-area glass substrate.
따라서, 각 단위패널의 화소전극에 해당하는 전압을 각각 인가하여 각 단위패널별로 그에 해당하는 투과율에 따른 각각의 단위액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(6S). Therefore, in order to manufacture each unit liquid crystal panel according to the transmittance corresponding to each unit panel by applying voltages corresponding to the pixel electrodes of each unit panel, the glass substrate must be cut and processed (6S).
이후, 상기와 같이 가공된 개개의 단위액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고, 상기 액정주입구를 봉지(7S)하여 액정층을 형성한 후 각 단위액정패널의 절단된 면을 연마하고, 외관 및 전기적 불량 검사(8S)를 진행함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다. Thereafter, the liquid crystal is injected into the individual unit liquid crystal panels processed as described above through the liquid crystal injection port, the liquid crystal injection hole is sealed (7S) to form the liquid crystal layer, the cut surface of each unit liquid crystal panel is polished, And an electrical defect inspection (8S) are carried out to manufacture a liquid crystal display element.
여기서, 상기 액정주입공정을 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, the liquid crystal injection process will be described.
먼저, 액정 물질을 주입할 때에는, 먼저 액정 물질을 용기에 담은 다음, 챔 버(Chamber) 속에 상기 용기 및 액정 주입하고자하는 패널을 집어 넣고, 챔버 안의 압력을 진공상태로 유지함으로써 액정 물질 속이나 용기 안벽에 붙어 있는 수분을 제거하고 기포를 탈포한다.First, when the liquid crystal material is injected, the liquid crystal material is first placed in a container, then the container and the panel to be injected with the liquid crystal are put into a chamber, and the pressure in the chamber is maintained in a vacuum state, Remove moisture from the wall and defoam the bubbles.
이어, 챔버 안의 압력을 진공 상태로 유지한 채로 빈 액정 셀의 액정 주입구를 액정 물질에 담그거나 접촉시킨 다음, 챔버 안의 압력을 진공 상태로부터 대기압 상태까지 높이면, 빈 액정 셀 안의 압력과 챔버의 압력 차이에 의하여 액정 주입구를 통하여 액정 물질이 주입된다.Then, when the pressure in the chamber is increased from the vacuum state to the atmospheric pressure state, the pressure inside the empty liquid crystal cell and the pressure difference between the chamber and the chamber are maintained The liquid crystal material is injected through the liquid crystal injection hole.
그러나, 이러한 종래의 액정 주입 방법에 의한 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional method of manufacturing a liquid crystal display device by the liquid crystal injection method has the following problems.
첫째, 단위 패널로 컷팅한 후, 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 주입구를 액정액에 담가 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다.First, after cutting into a unit panel, the liquid crystal is injected by immersing the liquid crystal injection hole into the liquid crystal injection hole by maintaining the vacuum state between the two substrates, so that it takes much time to inject the liquid crystal, and productivity is lowered.
둘째, 대면적의 액정표시장치를 제조할 경우, 액정 주입식으로 액정을 주입하면 패널내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 된다.Secondly, when a liquid crystal display device with a large area is manufactured, if liquid crystal is injected into the liquid crystal injection type, the liquid crystal is not completely injected into the panel, which causes a defect.
셋째, 상기와 같이 공정이 복잡하고 시간이 많이 소요되므로 여러개의 액정 주입 장비가 요구되어 많은 공간을 요구하게 된다. Third, since the process is complicated and time consuming as described above, a plurality of liquid crystal injection devices are required, requiring a large space.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 공정 시간을 단축시키고 대면적의 액정표시장치에 유리하며 대면적 기판 상태에서 전기적 불량 검사를 수행할 수 있는 전극 구조를 갖는 액정표시장치, 액정표시장치의 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device having an electrode structure capable of shortening a process time and being advantageous for a large area liquid crystal display device, And an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device using the same.
상기 목적 달성을 위한 본 발명의 액정표시장치는, 서로 수직 교차되어 형성된 복수 개의 게이트 라인 및 데이터 라인을 포함하여 이루어지는 다수의 단위 패널 영역을 구비하는 기판과, 상기 기판의 가장자리 측부에 열과 행으로 형성된 제 1, 제 2 금속라인과, 상기 복수 개의 게이트 라인을 단락시키며, 상기 제 2 금속라인과 전기적으로 연결된 열쇼팅바와, 상기 복수 개의 데이터 라인을 단락시키며, 상기 제 1 금속라인과 전기적으로 연결된 행쇼팅바를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device including a substrate having a plurality of unit panel regions including a plurality of gate lines and data lines crossing each other at right angles, A semiconductor device comprising: first and second metal lines; a shorting bar electrically short-circuiting the plurality of gate lines and electrically connected to the second metal lines; shorting the plurality of data lines; And a shorting bar.
또한, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 제 1, 제 2 기판을 제공하는 단계; 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하여 다수의 단위 패널 영역을 구비하는 대면적 기판을 형성하는 단계; 및 상기 대면적 기판의 전기적 불량 검사를 수행하는 A/P 검사를 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, including: providing first and second substrates; Attaching the first and second substrates together to form a large-area substrate having a plurality of unit panel regions; And performing an A / P inspection for performing an electrical defect inspection on the large area substrate.
또한, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 제 1, 제 2 기판을 제공하는 단계; 상기 제 1, 제 2 기판 중 어느 하나의 기판 상에 씨일재를 도포하는 단계; 상기 씨일재 안쪽 영역의 상기 제 1, 제 2 기판 중 어느 하나의 기판 상에 액정을 적하하는 단계; 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하여 다수의 단위 패널 영역을 구비하는 대면적 기판을 형성하는 단계; 상기 대면적 기판의 전기적 불량 검사를 수행하는 A/P 검사를 진행하는 단계; 상기 대면적 기판을 절단하여 다수의 단위 패널을 형성하는 단계; 상기 단위 패널의 면을 연마하는 단계를 포함하는 것을 특징 으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, including: providing first and second substrates; Applying a sealant onto any one of the first and second substrates; Dropping liquid crystal on any one of the first and second substrates in the inner region of the seal member; Attaching the first and second substrates together to form a large-area substrate having a plurality of unit panel regions; Conducting an A / P inspection for performing an electrical defect inspection on the large area substrate; Forming a plurality of unit panels by cutting the large-area substrate; And polishing the surface of the unit panel.
한편, 본 발명에 따른 액정표시장치의 검사 장치는, 스테이지와, 상기 스테이지에 틸트(tilt) 기능을 갖도록 하는 회전축과, 상기 스테이지 내부에 배치되어 일정 광을 조사시키는 광원과, 대면적 기판의 크기를 포함하며 상기 광원 상부에 배치된 제 1 편광판과, 일정 전압을 인가하는 적어도 2 이상의 전압단자부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a liquid crystal display device including a stage, a rotating shaft for tilting the stage, a light source disposed inside the stage for irradiating a predetermined light, A first polarizer disposed on the light source, and at least two voltage terminals for applying a constant voltage.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명 실시예에 따른 액정표시장치의 예시도이고, 도 3은 도 2의 상세한 예시도이며, 도 4는 도 3의 "A" 부분을 확대 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 제조공정도이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 대면적 기판의 예시도이다.FIG. 2 is an exemplary view of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a detailed illustration of FIG. 2, FIG. 4 is an enlarged cross- FIG. 6 is a perspective view of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an exemplary view of a large-area substrate according to the present invention.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 어레이 공정이 수행된 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(도시되지 않음)을 제공한다. 상기 제 1 기판(100)은 복수개의 제 1 단위패널 영역(100a)을 구비하고, 상기 제 2 기판은 복수개의 제 2 단위 패널 영역을 구비한다. 이러한 제 1 기판(100) 및 제 2 기판은 어레이 공정 완료 시, 각각 카세트에 적재되어 액정 셀 공정으로 진입하게 된다.As shown in FIGS. 2 and 3, a
상기 각 제 1 단위 패널 영역(100a)에는 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수개의 게이트 라인(50)과 상기 각 게이트 라인(Gate Line, 50)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 라인(Data Line, 60)이 형성되어 있다. 이러한 게이트 라인(50) 및 데이터 라인(60)에 의해 매트릭스(Matrix) 형태의 다수의 화소 영역(70)이 정의되며, 각각의 화소 영역(70)에는 복수개의 박막 트랜지스터(TFT) 및 화소 전극들이 형성되어 있다. 그리고, 복수의 화소 영역(70)으로 화상의 표시 영역(80)이 구성되어 있다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 각 화소 영역(70)의 박막 트랜지스터(TFT)의 게이트 전극은 게이트 라인(50)에 접속되어 있고, 소오스(Source) 전극은 데이터 라인(60)에 각각 접속되어 있다. 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인(Drain) 전극은 화소 영역(70)내에 형성된 화소 전극에 접속되어 있다. 또한, 상기 복수의 게이트 라인(50) 및 데이터 라인(60)은 제 1 단위 패널 영역(100a)의 주위에 형성된 게이트 패드(Gate Pad)부(90) 및 데이터 패드(Data Pad)부(110)에 각각 접속되어 있다.A plurality of
한편, 제 1 기판(100)의 가장자리 측부에 열과 행으로 형성된 제 1, 제 2 금속라인(121, 123)이 형성되어 있으며, 제 1 금속라인(121) 및 제 2 금속라인(123)의 일단부에는 외부접속단자(121a, 123a)가 형성되어 있다. 상기 제 1, 제 2 금속라인(121, 123)은 이하에서 설명되는 검사 공정에서 전기적 불량 패널의 검사를 위한 전도층으로 단위 액정 패널 형성시 제거된다.First and
게이트 라인(50)과 데이터 라인(60)의 끝에는 다수의 게이트 라인(50) 및 데이터 라인(60)을 각각 하나로 묶는 열쇼팅바(Shorting bar, 120) 및 행쇼팅바(122)가 제 1 기판(100)의 가장자리 안쪽으로 형성되어 있다. 그리고, 행쇼팅바(122)는 제 1 금속라인(121)과 연결되어 있으며, 열쇼팅바(120)는 제 2 금속라인(123)과 연결되어 있다. 결과적으로 모든 게이트 라인(50)이 하나로 연결되고, 또한 모든 데이터 라인(60)이 하나로 연결되어 있어서, 게이트 및 데이터 패드부(90, 110)로부터 정전기가 발생하면 이 쇼팅바(120, 122)를 경로로 하여 정전기가 방전이 된다.At the ends of the
또한, 도 3을 참조하면, 제 1 기판(100)과 대향하는 제 2 기판(도시되지 않음)에 형성되는 복수개의 제 2 단위 패널 영역(200)은 거의 제 1 단위 패널 영역(100a)의 각각의 패드부(90, 110) 영역만큼 작게 형성된다. 이러한 컬러필터 단위기판 영역(200)에는 화소 영역(70)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)층(210), 삼원색으로 이루어진 컬러 필터층, 상기 제 2 기판 전면에 걸쳐 형성된 공통 전극 및 액정표시장치의 대면적화에 유리한 컬럼(Column) 형상의 스페이서(Spacer) 등이 형성되어 있다. 상기 컬럼 형상의 스페이서는 대향하는 제 1 기판(100)상의 게이트 라인(50) 및 데이터 라인(60)에 대응되게 형성되어 있다.3, a plurality of second
또한, 블랙 매트릭스 테두리부(220)는 표시영역(80) 외부로부터의 불필요한 광을 차광하기 위해 설치되어 있다. 이러한 제 1 단위 패널 영역(100a)들과 제 2 단위 패널 영역(200)들을 구비하는 각각의 제 1 기판(100) 및 제 2 기판은 광 또는 열 경화성 수지로 구성되는 씨일(Seal)재(130)에 의해 접합되어 있다.The
도 4는 도 3의 "A" 부분을 확대 도시한 단면도로서, 제 1 기판(100) 상에 열쇼팅바(120) 및 행쇼팅바(122) 사이에 절연막(127)이 개재되어 서로 절연된 상태를 나타낸 도면이다.FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the portion "A" of FIG. 3, in which the insulating
이와 같이 구성되는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판은 도 5에 도시된 바와 같은 공정 흐름에 의해 액정단위패널로 제조된다.The
도 5을 참조하면, 복수개의 제 1 단위 패널 영역(100a)들을 포함하는 제 1 기판(100)과 제 2 단위 패널 영역(200)들을 포함하는 제 2 기판이 로더(Loader)에 의해 이송되어 액정 셀 공정에 진입하게 된다. 이러한 액정 셀 공정은 제 1 내지 제 3 단계(500, 600, 700)의 공정 단계로 진행된다.Referring to FIG. 5, a
제 1 단계(500)는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판상에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정으로 이루어진다. 배향 공정은 배향막 도포 전 세정(20S), 배향막 인쇄(21S), 배향막 소성(22S), 배향막 검사(23S), 러빙(24S) 순으로 진행된다.The
이러한 배향 공정을 간략히 설명하면, 제 1 기판(100) 및 제 2 기판에 이물질 및 입자(Particle)를 제거하기 위한 세정(20S) 공정을 진행한 다음, 배향막을 도포한다.This alignment process will be briefly described. After a cleaning (20S) process for removing foreign substances and particles is performed on the
상기 배향막 인쇄(21S)의 배향액은 디스펜서(Dispenser)에서 회전하고 있는 닥터 롤(Doctor Roll)과 아닐록스 롤(Anilox Roll) 사이에 적하 공급된다. 이 도포액은 2개의 롤 사이에서 아닐록스 롤 면에 액체 박막으로 되어 유지되고, 아닐록스 롤로부터 인쇄고무판이 부착된 인쇄롤로 전사된다. 그리고 도포 스테이지 위에 고정된 기판이 진행할 때에 이 도포액의 박막이 제 1 기판(100) 및 제 2 기판에 전사 도포된다.The alignment solution of the alignment film print 21S is dropped and supplied between a doctor roll and an anilox roll which are rotated by a dispenser. This coating liquid is held as a thin liquid film on the anilox roll surface between the two rolls, and transferred from the anilox roll to the printing roll with the printing rubber plate attached. When the substrate fixed on the application stage advances, the thin film of the application liquid is transferred and applied to the
다음, 상기 제 1 기판(100) 및 제 2 기판상에 인쇄된 배향막 내의 용매를 증발시키기 위한 소성(Baking) 공정(22S)을 수행하고, 배향막 상태의 검사(23S) 및 러빙 공정(24S)을 거쳐 배향 공정을 완료한다.Next, a
이어, 제 2 단계(600)는 다음과 같은 공정 순서로 진행된다.Next, the
상기 배향 공정이 수행된 제 1 기판(100)과 제 2 기판을 세정(25S)한 다음, 상기 제 2 기판의 각 제 2 단위 패널 영역 주변부에 프레임 형상으로 씨일재를 도포(26S)한다. 상기 씨일재는 제 1 단위 패널 영역(100a)의 화소 영역 외곽쪽으로 제 2 단위 패널 영역이 일정 간격을 갖고 합착되도록 하는 주입구가 없는 씨일재이다.The
다음, 제 1 기판(100) 상에 제 2 기판상의 공통전극과 전기적 연결을 위해 은(Ag)을 도트(dot) 형상으로 도포(27S)한다. 이어, 제 1 기판(100) 상에 상기 씨일재 안쪽의 대응 영역에 액정을 적하(29S)하는 공정을 실시한다. 다시 말해서, 제 1 단위 패널 영역(100a)의 화소 영역 내에 일정한 피치(Pitch)로 소정의 액정을 균일하게 도팅한다. Next, silver (Ag) is applied (27S) on the
상기 액정 적하는 액정을 진공하에서 탈포시킨 후, 액정적하장치를 조립 및 셋팅하여 액정 디스펜싱 장치에 장착한 다음, 제 1 기판(100)이 액정 디스펜싱 장치에 로딩되면, 액정적하장치를 이용하여 액정을 적하하는 단계로 공정이 진행된다. After the liquid crystal liquid crystal is defoamed under vacuum, the liquid crystal dropping device is assembled and set and mounted on the liquid crystal dispensing device. When the
또한, 이에 한정하지 않고, 상기 씨일재의 형성 및 액정의 적하는 제 1 단위패널 영역(100a) 및 제 2 단위 패널 영역(200) 중 다른 어느 한 기판 상에 형성할 수도 있고, IPS 모드에서는 제 1 기판(100) 상에 화소전극과 공통전극이 형성되므로 상기 은(Ag) 도트를 형성할 필요가 없다.In addition, the present invention is not limited thereto, and it may be formed on any one of the first
제 3 단계(700)는 다음과 같은 공정 순서로 진행된다.The
제 2 단계(600) 까지의 공정을 거친 제 1 기판(100)과 제 2 기판을 진공 합착기 내에서 합착한 후, 씨일재에 UV 광원을 조사하여 씨일재를 경화(30S)함으로써 대면적 기판을 형성한다. After the
도면에는 도시하지 않았지만, 상기 합착 공정은 먼저, 제 1 기판(100)을 수평방향으로 이동 가능한 진공 용기 내의 테이블 상에 탑재하고, 상기 제 1 기판(100)의 하부 표면 전면을 제 1 흡착기구로 진공 흡착하여 고정시킨다. 다음, 제 2 기판의 하부 표면 전면을 제 2 흡착기구로 진공 흡착하여 고정하고, 진공 챔버를 닫아 진공시킨다. 이어, 상기 제 2 흡착기구를 수직방향으로 하강시켜 상기 제 1 기판(100)과 제 2 기판의 간격을 소정 간격으로 두고, 상기 제 1 기판(100)을 탑재한 상기 테이블을 수평 방향으로 이동시켜 제 1 기판(100)과 제 2 기판을 위치 맞춤한다.Although not shown in the drawing, in the laminating step, the
그런 다음, 상기 제 2 흡착기구를 수직방향으로 하강시켜 제 2 기판을 상기 씨일재를 통해 제 1 기판(100)에 접합하고, 상기 적하된 액정이 제 1 기판(100) 및 제 2 기판에 소정 두께로 충진되도록 가압하여 복수개의 패널 영역을 포함하는 대면적 기판을 형성한다. Then, the second adsorption mechanism is vertically lowered to join the second substrate to the
이와 같이 형성된 대면적 기판은 각 단위 패널별로 절단공정을 진행하기 전, 먼저 대면적 기판 상태에서 전기적 점등 검사를 수행한다(40S).The large-area substrate thus formed is subjected to electrical lighting inspection in a large-area substrate state before the cutting process is performed for each unit panel (40S).
이러한 전기적 점등 검사는 다음과 같이 수행된다.This electrical lighting test is performed as follows.
먼저, 대면적 기판이 로봇 암(Robot Arm)에 의해 검사장치에 장착된다(41S). 상기 검사장치(400)는 도 6에 도시된 바와 같이, 스테이지(Stage, 300)와, 상기 대면적 기판이 로봇 암에 의해 놓여질 때 스테이지(300)와의 접촉 면적이 최소가 되도록 하기 위해 배치되는 적어도 3개 이상의 돌출부(310)와, 틸트(Tilt) 기능을 갖도록 하는 회전축(320)과, 스테이지(300) 내부에 일정 광을 조사시킬 수 있는 광원(330)과, 대면적 기판의 크기를 포함하며 상기 광원(330) 상부에 배치된 제 1 편광판(도시되지 않음)과, 상기 스테이지(300)가 회전할 때 대면적 기판을 고정하는 고정부(도시되지 않음)를 포함하여 이루어진다.First, the large area substrate is mounted on the inspection apparatus by a robot arm (41S). As shown in FIG. 6, the
또한, 도 3의 게이트 패드부(90) 및 데이터 패드부(110)와 전기적으로 각각 연결되는 외부접속단자에 인위적으로 전압을 인가하여 대면적 기판의 점등 상태를 검사할 수 있도록 하는 적어도 두 개 이상의 전압단자부(도시되지 않음)를 구비한다.In addition, at least two or more of the
상기 구성을 갖는 검사장치(400)는 도 5와 같이, 상기 로봇 암에 의해 대면적 기판이 장착(41S)되면, 검사장치(400)에 회전력을 주어 회전축(320)에 의해 소정 각도로 회전되도록 한다(42S).5, when the large-area substrate is mounted (41S) by the robot arm, the
다음, 관리자가 직접 소정 규격의 크기를 갖는 제 2 편광판을 이용하거나, 검사장치(400) 자체에 대면적 기판을 사이에 두고 결합하는 제 2 편광판을 이용하여 A/P 검사를 수행한다(44S).Next, the manager directly performs the A / P inspection using the second polarizing plate having a predetermined standard size or using the second polarizing plate for bonding the large-area substrate to the
도 7은 제 1 기판(100)과 제 2 기판이 합착된 패널을 나타낸 예로서, 제 1 금속라인(121) 일단부에 접속된 외부접속단자(121a) 및 제 2 금속라인(123) 일단부에 접속된 외부접속단자(123a)를 상기 전압단자부에 접속하여 외부전압을 인가하고, 제 2 기판(500) 전면에 형성된 공통전극에 일정 DC 전압을 인가함으로써, 대면적 기판 상태에서 A/P(Auto Probe) 검사를 수행할 수 있도록 한다(44S).7 shows an example of a panel in which a
또한, 관리자는 상기 제 2 편광판을 이용하여 배향 불량 등을 검사하는 외관 검사를 수행할 수도 있다. In addition, the manager may perform an appearance inspection for inspecting orientation defects or the like using the second polarizer plate.
상기 A/P 검사는 얼룩불량 및 전기적 점등 상태를 검사하기 위한 것으로, 예를 들면 바둑판 얼룩, 검정 얼룩, 컬러필터 돌기, 사선얼룩, 러빙줄무늬, 핀 홀(Pin Hole), 게이트 라인(50) 및 데이터 라인(60)의 단선 또는 합선 등을 검사한다. 상기 얼룩 불량은 육안 혹은 CCD 등의 고체 촬상 소자에 의한 자동 검출이 가능하다.The A / P inspection is for examining a defective stain and an electrical lighting state. For example, the A / P stain may be detected by a checkerboard stain, a black stain, a color filter protrusion, an oblique stain, a rubbing stripe, a pin hole, A short circuit or a short circuit of the
이어, A/P 검사가 완료되면, 상기 검사장치(400)를 원 위치로 회전(45S)시킨 다음, 로봇 암을 이용하여 대면적 기판을 카세트에 적재한다(46S).Then, when the A / P inspection is completed, the
이와 같이, 상기 A/P 검사를 IN-LINE 상의 대면적 기판 상태에서 수행할 수 있다.As described above, the A / P inspection can be performed on the large-area substrate on the IN-LINE.
다음, S/B(Scribe/Break) 공정을 진행한다(47S). 상기 S/B(Scribe/Break) 공정은 유리보다 경도가 높은 다이아몬드 재질의 펜(Pen)으로 유리 표면에 커팅 라인을 형성하는 스크라이브(Scribe) 공정과, 힘을 가하여 절단하는 브레이크(Break) 공정으로 이루어진 것으로, 상기 대면적 기판을 여러 장의 셀 단위의 액정 단위 패널로 형성하는 공정이다.Next, the S / B (Scribe / Break) process is performed (47S). In the S / B (Scribe / Break) process, a scribe process for forming a cutting line on a glass surface with a diamond pen having a hardness higher than that of glass, and a break process for cutting by applying a force Is a step of forming the large-area substrate by a plurality of unit cells of liquid crystal unit panels.
이어, 상기 액정 단위 패널의 면을 연마하는 그라인딩(Grinding) 공정(48S)을 수행하여 제 3 단계(700)의 공정을 완료한다.Next, a grinding
이후, 도면에는 도시하지 않았지만, 드라이버 IC의 부착이나 백 라이트 장착 등을 하는 모듈공정이 진행된다.Thereafter, although not shown in the drawings, a module process for attaching a driver IC, mounting a backlight, and the like proceeds.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자 에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents. Will be clear to those who have knowledge of.
상술한 본 발명의 액정표시장치의 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.The manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention described above has the following effects.
단위 패널 형성 전, 대면적 기판 상태에서 전기적 불량 검사를 수행할 수 있는 전극 구조를 형성함으로써, 각각의 단위 패널의 전기적 연결 상태를 검사할 때시간을 단축시킬 수 있다.It is possible to shorten the time for inspecting the electrical connection state of each unit panel by forming an electrode structure capable of performing an electrical defect inspection in the state of a large area substrate before forming the unit panel.
즉, 대면적 기판에서 한 번에 패널의 불량 상태를 확인함으로써, 검사 시간 및 작업자의 피로감을 상당히 줄일 수 있고, 그에 따른 공정시간을 상당히 단축할 수 있는 효과가 있다.That is, by confirming the defective state of the panel at a time on a large-area substrate, the inspection time and the fatigue of the operator can be considerably reduced, and the process time can be shortened accordingly.
또한, 대면적 기판 상태에서 A/P 검사를 조기 실시함으로써, 패널의 특성에 대한 정보를 신속히 피드백할 수 있고, 양산성에서도 효과적이다.Further, by performing the A / P inspection early in the state of a large area substrate, information on the characteristics of the panel can be quickly fed back, and it is also effective in mass production.
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