KR20080071899A - 적어도 하나의 전기 소비자에 대한 전압 공급 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 챔버에 위치되는 전기 장치로의 케이블에 의한 전원 공급 장치에 관한 것이다. 이러한 전원 공급 장치는 절연 유극 - 본질적으로 케이블 및 전기 장치로부터의 천이 영역에서 뿐만 아니라 케이블 코어와 그것의 차폐물 사이의 공간 - 을 따라 케이블내에서 방전이 절연물 손상을 유도하도록 형성되는 것을 방지하도록 의도된다. 이것이 획득되어 절연 유극이 대기압하에서 유지된다. 이를 위하여 케이블 단부와 전기 장치 사이의 접속을 달성하는 특별한 커플링이 이용된다. 케이블들에는 또한 부가적인 공기 채널들이 제공될 수 있다.

Description

적어도 하나의 전기 소비자에 대한 전압 공급 장치{VOLTAGE FEED TO AT LEAST ONE ELECTRIC CONSUMER}

본 발명은 특허 청구항 제1항의 전문에 따른 전압 공급 장치를 개시한다.

진공에서 챔버들은 종종 고전위 또는 고주파수 전압이 공급되어야만 하는 전기 소비자에게 제공된다. 그러한 소비자들의 예로는 이온 또는 전자 소스들을 들 수 있다. 코팅될 막 또는 포일이 먼저 전자가 실린더상에 더 잘 부착되도록 정전기적으로 전자들로 충전되고, 이어서 포지티브 이온들에 의해 다시 방전된다면, 그러한 두 개 소비자 모두는 때때로 하나의 진공 챔버내에 동시에 위치된다.

그러한 소비자들이 케이블을 통해 전기 에너지를 공급받을 때, 특히 0.01mbar 내지 0.1mbar의 압력 범위에서, 플라즈마 또는 글로우 방전(glow discharge)이 케이블을 파괴하는 절연 유극(insulation clearance)을 따라 전개되는 것이 가능하다. 절연 유극에 의해 케이블 단부와 전기 소비자 사이의 천이(transition) 및/또는 케이블에 제공되는 차폐물과 케이블의 코어 사이의 간격이 하기에서 이해될 수 있다.

DC 또는 AC가 진공 내에서(in vacuo) 전송될 수 있는 동축 케이블이 이미 공 지되어 있다(US 5 154 635). 이러한 케이블은 중앙 관통-구경(through-bore)들을 갖는 복수의 전기 절연 렌즈형 디스크들 뿐만 아니라 내부 전기 도전 와이어를 포함하며, 전기 도전 와이어는 이러한 관통-구경들을 통해 유도된다.

고주파수 신호가 디바이스에 공급될 수 있는 동축 케이블이 또한 공지되어 있으며, 이러한 디바이스는 초고진공에 위치된다(JP 06007664 A). 이러한 동축 케이블은 진공 플랜지를 통해 진공관으로 유입된다. 플렉서블한 배관이 플랜지와 접속되며, 케이블이 이러한 배관에 의해 삽입된다. 배관은 실린더를 통해 디바이스와 접속되며, 케이블은 입력 포트를 통해 디바이스로 삽입된다. 입력포트에는 외부에 대하여 진공 밀봉하는 세라믹 절연체가 제공된다. 진공 측면은 외부로부터 - 즉, 대기압측으로부터 - 밀봉되기 때문에, 통상적인 동축 케이블은 장치 측면상에 이용될 수 있다.

본 발명은 진공 챔버에서 전기 소비자에게 방전이 일어나지 않는 전기 접속을 제공하는 문제점을 처리한다.

이러한 문제점은 특허 청구항 제1항의 특징부에 의해 해결된다.

본 발명은 진공 챔버에 위치되는 전기 장치에 대한 케이블에 의한 전압 공급 장치에 관한 것이다. 이러한 전압 공급 장치는 절연 유극 - 본질적으로 케이블 및 전기 장치로부터의 천이 영역에서 뿐만 아니라 케이블의 코어와 케이블의 차폐물 사이의 공간 - 을 따르는 케이블 내에서, 방전이 전개되지 않아 절연 손상이 유도되는 것을 방지하기 위한 것이다. 따라서 절연 유극이 대기압하에서 유지되는 것이 달성된다. 이를 위하여 케이블 단부와 전기 장치 사이에 접속을 달성하는 특별한 커플링들이 이용된다. 또한, 케이블들에는 부가적인 공기 채널이 제공될 수 있다.

본 발명에 의해 달성되는 장점은 절연 유극을 따르는 섬광 등이 방지된다는 것과, 상업적으로 이용가능한 케이블들이 이용될 수 있다는 것을 포함한다. 본 발명이 적용되지 않는다면, 진공 챔버의 진공은 케이블의 내부에 악영향을 미칠 것이다.

본 발명의 예시적 실시예들이 도면에 도시되며, 하기에서 상세히 설명될 것이다.

도 1은 전자 소스(2) 및 이온 소스(3)를 포함하는 진공 챔버(1)를 개략적으로 보여준다. 전자 소스(2) 및 이온 소스(3)는 베이스(4, 5)상에 위치되거나, 또는 진공 챔버(1)에서 상이한 방식으로 고정된다.

이온 소스(3) 뿐만 아니라 전자 소스(2) 또한 선형 소스들이며, 이온들 또는 전자들은 슬롯(6, 7)으로부터 방출된다. 이러한 타입의 전자 소스는 유럽 특허 출원 EP 1 870 488 A1에 상세히 개시된다.

동작 중에, 코팅될 막 또는 포일(미도시)은 전자 소스(2) 및 이온 소스(3)의 정면으로 상부로부터 아래를 향해 이동하고, 막 또는 포일은 전자 소스에 의해 네거티브적으로 충전되고, 이어서 이온 소스(3)에 의해 전기적으로 중립화된다.

전자 소스(2)는 고전압 DC 발생기(8)로부터 공급되는 반면, 이온 소스(3)는 고주파수 발생기(9)로부터 공급된다. 두 개 발생기들(8, 9) 모두의 입력 포트들(10, 22)은 AC 전력 공급 시스템에 접속된다. 고전위 DC 전압 또는 고주파수 전압은 케이블들(12, 13) 및 피드스루(feedthrough)들(14, 15)을 통해 진공 챔버(1)로 유입된다. 피드스루(14)는 예를 들어, 스웨이지록(Swagelok) 스레딩(threaded) 접속에 의해 실현되는 고전압 진공 피드스루이다. 스레딩 접속은 표준 진공 배관상의 원뿔형 밀봉(conical sealing)으로 밀봉된다. 피드스루(15)는 실질적으로 피드스루(14)에 대응한다. 그러나, 피드스루(15)에서 밀봉은 고주파수 케이블(13)의 외장상에 직접적으로 발생한다. "스웨이지록"은 상표명이며, 수력학 및 진공 기술에서 이용되는 특정 밀봉 시스템을 나타낸다. 그러나, 이러한 타입의 밀봉을 반드시 이용할 필요는 없다. 다른 밀봉 또한 동일한 목적을 달성할 수 있다.

케이블들(12, 13)은 피드스루들(14, 15)로부터 전자 소스(2) 또는 이온 소스(3)에 이른다. 진공 챔버로 연장되는 케이블들(12, 13)의 부분들은 참조 번호 16, 17로 나타난다. 상기 부분들은 대기압하에서 동작하는 케이블들(12, 13)과 상이하게 구성된다.

이러한 케이블들(16, 17)이 차폐된다 하더라도, 케이블들(16, 17)의 절연 유극을 따라 진공 챔버(1)의 진공 상태에서 방전이 발생하는 위험성이 존재하며, 방전은 진공 챔버(1)에 위치되는 입자 소스들(2, 3)을 파괴할 수 있다. 따라서 전자 소스(2) 및 이온 소스(3)에 대한 전력 공급이 진공 챔버(1)내에서 발생하는 특별한 방식을 보장하는 것이 필요하다. 피드스루들(14, 15)은 빈틈 없는 진공(vaccum-tight) 배관의 외관에서 또는 HF 케이블의 외부 자켓에서 밀봉되도록 실행된다.

도 2는 확대된 스케일로 전자 소스(2)를, 특히, 고전압 DC에서의 커플링을 위한 커플러(20)를 도시한다. 도 1의 도면과 대조적으로, 본 명세서에서 고전압은 케이블(16)을 통해 전자 소스(2)의 중앙으로 유입된다.

커플러(20)는 확대된 크기로 도 3에서 다시 한번 도시되며, 특별히 전자 소스(2)의 방향으로부터 보여진다. 본 명세서에는 전자 소스에서 고전압 전극에 대한 소켓 콘택의 접속을 위한 원형 개구(opening)(21)가 나타난다. 하나가 다른 것의 위쪽에 배치되는 두 개의 너트(nut)들(23, 24)을 포함하는 소위 스웨이지록 스레딩 접속이 22로 표시된다. 개구(21)의 주변에는 4개의 구경들(25 내지 28)이 제공된다. 구경들(25...28 및 30...33)은 상이한 측면들로부터만 보여지는 동일한 피드스루 구경들이다. 본 명세서에서 구경(25)은 구경(32)에 대응하고, 구경(27)은 구경(30)에 대응하고, 구경(28)은 구경(31)에 대응하며, 구경(26)은 구경(33)에 대응한다.

도 4는 도 3과 비교하여 수직축 주변으로 180도만큼 회전된 커플러(20)를 도시한다. 개구(29)는 고전압 케이블의 코어에 대한 전자 소스(2)의 소켓 콘택상의 납땜 역할을 한다. 개구(29) 주변에는 4개 구경들(30 내지 33)이 위치된다. 개구(29)는 소켓 콘택상의 납땜을 위한 납땜 툴의 삽입을 가능하게 하기 위한 목적을 만족시킨다.

도 5는 전자 소스(2)상으로 나사고정될 수 있는 커플러(20)의 분해 조립도를 보여준다. 본 명세서에서는 절연 몸체(34), 밀봉 링(35), 폐쇄 부품(36), 4개의 고정 기계 나사들(37 내지 40), 소켓 콘택(41), 밀봉 링(42), 중공 스레딩-형태 절연 부분(43) 및 추가의 밀봉 링(44)이 나타난다. 절연 부분(43)은 전자 소스로 나사 고정된다. 나사 스레딩이 도 7에 도시된다. 부분들(43, 44)은 전자 소스(2)로 유도되어 거기에 나사고정되는 커플러의 단부를 나타낸다. 2개의 너트들(23, 24)을 갖는 스웨이지록 스레딩 접속(22)은 도 5에 도시되지 않는다. 개구(29)(도 4)는 소켓 콘택이 개구상에 납땜된 이후에 폐쇄 부품(36)(도 5)으로 폐쇄된다.

이러한 스웨이지록 스레딩 접속의 투시도가 도 6에 도시된다. 본 명세서에서는 너트(23)로부터 돌출하는 연장부(45)가 나타난다. 연장부(45)의 상부는 밀봉 링이다.

도 7은 도 3의 도면과 비교하여 그것의 가로 축 주변으로 180도만큼 회전되는 커플러(20)를 통한 단면을 보여주는데, 즉, 상기 도4에서 도시되는 이러한 엘리먼트들이 이제 하기에서 설명된다. 또한, 엘리먼트들은 자신의 수직축 주변으로 90만큼 회전된다. 본 명세서에서는 너트들(23, 24), 절연 몸체(34), 소켓 커넥터(41), 밀봉 링(42), 중공 스레딩-형태의 절연 부분(43) 및 밀봉 링(44)이 보여진다. 너트(23)에는 내부 스레딩이 제공된다. 추가로 고정 나사들(37, 39)의 단부 들이 보여진다. 너트(23)와 소켓 콘택(41) 사이에는 고전압을 운반하는 와이어(5)에 대한 와이어 피드스루(46)가 제공된다. 이러한 와이어(55)는 고전압 케이블(16)의 코어이다; 그것은 소켓 커넥터(41)에 납땜된다. 소켓 커넥터(41)는 후속하여 핀(82)상으로 배치된다. 절연체(80)는 이러한 핀(82)을 에워싼다. 그것이 장착된 이후, 절연체(80)의 부분(81)은 절연 부분(43)의 리세스(83)에 위치된다. 핀(82)을 갖는 절연체(80)는 전자 소스(2)의 부품이다. 따라서, 고전압 케이블(16)이 전자 소스(2)에 접속될 때, 커플러(20)는 절연체(80)상에 플러깅된다. 채널(51) 및 리세스들(90, 91, 83)에서 대기압이 획득된다. 이러한 영역들은 적절한 절연 유극을 형성한다. 장착 이후에, 대기압은 절연체의 부분(81)에서 정지한다. 전자 소스(2)의 바로 앞에서 대기압이 달성되어, 절연 유극이 섬광에 대하여 보호된다.

절연 부분(43)은 커플러를 통해서만 가이딩된다; 그러나, 커플링에 고정되지는 않는다. 커플러는 밀봉 링(42)을 지탱하는 절연 부분(43)위에 놓이고, 장치 나사들(37 내지 40)로 전자 소스상에 고정된다.

절연 부분(43)은 도 3에 도시되지 않는다. 도 3에는 절연 부분(43)이 고정되는 개구(21) 주변의 리세스만이 나타난다.

밀봉 링(48)이 절연 몸체(34)와 너트(23) 사이에 제공된다. 이미 도 5에서 도시된 폐쇄 부품(36)은 고전압 케이블의 코어(55)와 소켓 커넥터(41) 사이의 납땜을 통한 접속의 달성 이후에 개구(29)로 나사고정되며, 상기 개구는 도 4에 보여진다.

도 8a는 진공에서 동작하는 고전압 케이블(16)을 통한 단면을 보여준다. 고전압 케이블(16)의 분리층들은 일정한 비율로 그려지지는 않았으며 개략적으로 도시되었다. 이러한 고전압 케이블(16)은 고전압 절연체(56)에 의해 둘러싸지는 고전압 와이어(55) - 케이블(16)의 코어 - 를 포함한다. 이러한 고전압 절연체(56)는 차례로 주변에 합성 물질 절연층(58)이 위치되는 구리 차폐물(57)에 의해 둘러싸진다. 이는 대기와 커플러(20)의 콘택을 달성하는 공기 갭(51)에 의해 달성된다 외부 재킷은 빈틈 없는 진공 절연 배관(59)에 의해 형성된다. 이러한 배관은 스웨이징된(swaged) 접속(예를 들어, 스웨이지록)에 의해 피드스루(14)에서 진공으로 빈틈 없이 폐쇄된다. 구리 차폐물(57)은 접지 전위에 있다. 고전압 와이어(55)와 고전압 절연체(56) 사이에는 대기압하의 공간(76)이 위치된다. 따라서, 케이블(16)의 다른 층들 사이에는 진공 챔버(1)내의 고전압 와이어(55)가 대기압에 의해 둘러싸이도록 공기가 침투할 수 있다. 부품들(55 내지 58)은 상업적으로 이용가능한 고전압 케이블의 부품들이다. 또한 절연 배관일 수 있는, 합성 절연층(58)을 갖는 부가적인 절연 배관(59)은 공기 채널(51)을 형성한다. 이러한 공기 채널(51)은 또한 대기압의 공급을 확보한다.

도 8a에 따라, 대기압을 제공하는 공기 갭(51)은 코어(55)와 차폐물(57) 사이에 절연 배관으로 액세스하는 것으로 나타나지 않는다. 그러나, 이러한 액세스는 실현되어 공기가 먼저 커플러(20)에 다다르고, 그 후 차폐물(57)과 코어(55) 사이의 공간으로 다시 돌아간다. 대기압을 위한 다른 방법은 빈틈이 없는 진공으로 실행되지 않는 진공 컨테이너의 외부의 케이블 단자에서 유래한다.

도 8b는 대기압과 진공 사이의 천이 영역에서 케이블들(12 및 16)을 통한 수직 단면을 보여준다. 진공 챔버(1)의 벽은 75로 표시된다. 고전압 케이블(12)은 외부 영역에서 진공 영역에서 계속되는 고전압 케이블(16)과 상이하게 구성되는 것으로 나타난다. 진공에서 고전압 케이블(16)의 구성은 이미 도 8a에서 단면도로 도시되었다. 도 8b에서 나타나는 바와 같이, 빈틈 없는 진공 배관(59)은 피드스루(14)를 통과하여 단지 짧은 부분만 대기압으로 연장된다. 순차적으로 이러한 배관(59)은 배관(59)의 단부를 감싸는 금속 배관 또는 튜브(54)에 의해 외견상(quasi) 배치된다. 참조 번호들 76, 53은 대기가 진입할 수 있는 장소를 나타낸다. 그러나, 대기는 층들(58 및 59) 사이의 채널(51)에 의해 대량으로 운반된다. 그것은 층(58)과 배관(59) 사이 또는 층(58)과 고전압 절연체(56) 사이의 내부가 아닌, 배관(59)상의 외부에만 빈틈 없이 진공 접속된다.

도 9는 이온 소스(3)를 유도하는 케이블(17)에 대한 케이블 커플링(60)을 도시한다. 이러한 케이블 커플링으로, 고주파수 전압이 이온 소스(3)에 결합된다. 플러그 콘택(61)은 이온 소스(3)의 전극으로 삽입된다. 이러한 콘택은 도 9에 미도시된 고주파수 라인에 인접하는 금속 소켓(62)에 의해 둘러싸인다. 이러한 금속 소켓(62)은 합성 칼라(collar)(64)에 의해 둘러싸인다. 이러한 합성 칼라(64)는 개구(66)가 제공되는 절연 부분(65)으로 삽입된다. 케이블(17)의 개별층들(63, 74, 69) 사이의 공기 갭을 통한 대기압 공급이 충분하지 않다면, 이러한 개구를 통해 대기압 이상의 압력이 공급된다. 개구(66)를 통해 운반되는 대기는 예를 들어, 진공 챔버를 통해 연장되거나 외부로 유도되는 빈틈 없는 진공 배관에 의해 유입된 다. 절연 부분(65)은 이온 소스(3)를 위한 금속 차폐 단자(67)에 의해 접합된다. 예를 들어 폴리에틸렌을 포함하는 합성 칼라(68) 및 케이블 재킷(69)은 종단(termination)을 형성한다. 금속 차폐 단자(67)는 전류의 리턴 통로를 확보하기 위하여 접지 전위에 있다. 차폐 단자(67)에 또는 절연 부분(65)에는 스트레스를 완화시키거나 케이블을 고정시키는 역할을 하는 스레딩된 구경들이 제공될 수 있다. 본 명세서에서 HF 케이블을 갖는 전체 플러그 커넥터에 대한 스트레스 완화는 절연 부분(65)을 모서리용 까치발(angle bracket)에 나사 고정함으로써 이루어진다. 이러한 목적을 위하여 스레딩된 구경들이 이용된다.

개구(66)에 대응하는 개구가 도 3 내지 도 7에 따른 전자 소스(2)에 대한 커플링에 더 제공될 수 있다.

도 10은 수직 단면으로 도 9의 케이블 커플링(60)을 도시한다. 본 명세서에서 금속 소켓(62)으로 나사 고정된 플러스 콘택(61)이 다시 나타난다. 고주파수 라인(63)이 금속 소켓(62)으로 납땜된다. 개구(66)를 갖는 절연 부분이 밀봉 링(70)을 통해 금속 소켓(62)과 인접한다. 플러그 콘택(61)과 고주파수 라인(63) 사이의 전기 접속이 금속 소켓(62)을 통해 발생한다.

차폐 단자(67)는 좌측에서는 밀봉 링(71)을 통해 절연 부분(65)과 접하고, 우측상에서는 합성 칼라(68)에 의해 둘러싸이는 절연 디스크(73)와 밀봉 링(72)을 통해 접한다. 이러한 합성 칼라(68)는 또한 차폐 단자(67)의 부분들을 감싼다.

고주파수 라인(63)은 결국 케이블 재킷(69)에 의해 둘러싸이는 절연물(74)에 의해 둘러싸인다. 케이블 커플링(60)의 외부에서, 케이블 재킷(69)은 미도시된 합 성 쉘(shell)에 의해 봉해진다. 도 10에서 보여지는 바와 같이, 대기압 이상의 압력은 개구(66)를 통해 본 명세서에서는 절연물(74) 주변의 중공 공간에 의해 형성되는 적절한 절연 유극에 도달한다.

전자 소스(2)에 전도되는 고전압은 실제적으로 5 내지 10 kV 사이이다. 대조적으로 고주파수 전압의 전압은 대략 1kV이다. 결과적으로 글로우 또는 플라즈마 방전의 위험은 고전압 케이블(16)에서보다 고주파수 케이블(17)에서 더 낮다. 그러나, 절연 유극 및 진공 챔버(1)에서 플라즈마 형성을 유도할 수 있는 약 10 내지 20 A 크기의 상대적으로 높은 전류가 고주파수 케이블(17)을 통해 흐른다. 이러한 플라즈마는 고주파수 케이블(17)의 외부 쉘을 녹일 수 있다.

진공이 절연 유극에 도달할 수 없는 것으로 나타날 수 있지만, 진공 챔버(10)가 아직 배기되지 않은 경우 케이블(17)과 이온 소스 사이의 접속이 달성된다. 순차적으로 진공 챔버(1)가 배기된다면, 진공은 더 이상 케이블로 침투할 수 없는 것으로 나타난다. 그러나 모든 접속들이 완벽하게 빈틈 없는 상태로 남아있는 것으로 간주할 수는 없다. 가장 적은 노출에서, 플러그 커넥터의 내부 압력은 감소할 것이고, 결국 방전이 이루어질 것이다. 내부에서 대기압을 확보하기 위하여, 플러그 콘택(61)이 제공된다. HF 케이블(17)은 특히 케이블 재킷(69)과 절연물(74) 사이에 차폐물을 포함한다. 이러한 차폐물은 슬리브(79)의 얇은 부분위로 돌출되고, 본 명세서에서는 슬리브(79)의 나사 조임을 통해 슬리브와 컨택을 형성한다. 차폐물은 도 10에 도시되지 않았다.

이온 소스(3)에 대한 고주파수 전압의 공급시(infeeding), 도 10 및 도 11에 도시된 커플링(60)보다는 중공 컨덕터가 이용되며, 이러한 중공 컨덕터는 바람직하게는 둥근 내부 컨덕터 및 내부 컨덕터를 둘러싸는 외부 컨덕터를 갖는 동축 중공 컨덕터이다. 이러한 경우, 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이에 대기압이 획득될 수 있다.

도 11에서는, 케이블 커플링(60)이 분해 조립도로 다시 한번 도시되며, 여기서 상부측은 도 9의 하부에 도시된다. 여기서 플러그 콘택(61), 합성 칼라(64), 금속 소켓(62), HF 라인(63), 절연물(74), 절연 부분(65), 밀봉 링(70), 밀봉 링(71), 슬리브(79), 케이블 재킷(69), 차폐 단자(67), 밀봉 링(72), 절연 디스크 부분(73) 및 합성 칼라(68)가 다시 도시된다. HF 전압과 이온 소스(3)의 접속은 미도시된 이온 소스(3)의 전극으로의 플러그 콘택(61)의 직접적인 플러깅(plugging)에 의해 발생한다.

도 1은 고전압 또는 고주파수 전압에서 작동하는 소비자를 갖는 진공 챔버의 개략도이다.

도 2는 전기 고전압 접속을 갖는 전자 소스이다.

도 3은 도 2에 도시된 고전압 접속의 측면도이다.

도 4는 도 3에 도시된 것의 위치와 비교하여 그것의 수직축 주변으로 180도만큼 회전되는 고전압 접속의 도면이다.

도 5는 고전압 접속의 분해 조립도이다.

도 6은 스웨이지록 스레딩 접속이다.

도 7은 고전압 접속을 통한 단면이다.

도 8a는 진공내의 고전압 케이블을 통한 단면이다.

도 8b는 기압으로부터 진공까지의 천이 영역에서 고전압 케이블을 통한 수직 단면이다.

도 9는 고주파수 접속의 측면도이다.

도 10은 도 9에 따른 고주파수 접속을 통한 단면이다.

도 11은 도 9에 따른 고주파수 접속의 분해 조립도이다.

Claims (19)

1. 진공 챔버(1)에 위치되는 적어도 하나의 전기 소비자(2, 3)로의 전압 공급 장치로서,

   전압-운반 코어(55) 및 상기 코어(55)를 감싸는 적어도 하나의 절연 몸체(59)를 포함하는 케이블(12, 16; 13, 17)을 가지며,

   상기 코어(55)와 상기 절연 몸체(59) 사이에서 상기 코어(55)의 단부와 상기 소비자(2, 3)의 전기 단자(80-82)의 접속 바로 앞까지는 대기압 또는 그 이상의 압력이 달성되는, 전압 공급 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 절연 몸체(59)는 빈틈 없는 진공 튜브인 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 절연 몸체는 빈틈 없는 진공 파이프인 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 케이블(12, 16)은 고전압 DC 케이블인 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 케이블(13, 17)은 고주파수 케이블인 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 케이블은 중공 컨덕터인 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
7. 제1항 또는 제4항에 있어서,

   상기 전기 소비자는 전자 소스(2)인 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
8. 제1항, 제5항 또는 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 전기 소비자는 이온 소스(3)인 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
9. 제1항에 있어서,

   상기 케이블은 진공 피드스루(feedthrough)들(14, 15)을 통해 상기 진공 챔버(1)로 유입되는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
10. 제4항에 있어서,

    상기 고전압 DC 케이블(16)의 한쪽 단부는 커플러(20)와 접속되고, 상기 커플러(20)는 고전압 플러그(82)의 피드스루를 위한 개구(21)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 커플러(20)는 납땜 툴의 도움으로, 고전압 플러그(82)가 상기 고전압 케이블(16)의 상기 코어(55)와 납땜될 수 있는 개구(29)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
12. 제1항에 있어서,

    상기 코어(55)와 상기 절연 몸체(59) 사이에는 고전압 절연체(56)가 제공되는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
13. 제12항에 있어서,

    상기 고전압 절연체(56)와 상기 절연 몸체(59) 사이에는 금속 차폐물(57)이 제공되는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
14. 제13항에 있어서,

    상기 금속 차폐물(57)과 상기 절연 몸체(59) 사이에는 합성 물질층(58)이 제공되는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
15. 제5항에 있어서,

    상기 고주파수 케이블은 절연물(74)에 의해 감싸지는 고주파수 라인(63)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
16. 제15항에 있어서,

    상기 절연물(74)은 케이블 재킷(69)에 의해 감싸지는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
17. 제5항에 있어서,

    상기 고주파수 케이블은 고주파수 소비자에 대한 접속을 위하여 플러그 콘택(61)을 포함하는 케이블 커플링(60)과 접속되는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
18. 제1항에 있어서,

    상기 케이블 커플링(20, 60)은 대기압 이상의 압력의 공급을 위하여 적어도 하나의 개구(66)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.
19. 제17항에 있어서,

    상기 플러그 콘택(61)은 금속 소켓(62)을 통해 상기 고주파수 라인과 접속되 는 것을 특징으로 하는 전압 공급 장치.

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