KR20080067173A - 초해상 광기록 매체 - Google Patents
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Abstract
재생 신호의 열화를 방지한 초해상 광기록 매체가 개시되어 있다. 개시된 초해상 광기록 매체는 기판과; 기판 상에 마련되며, 입사된 광빔에 의해 입사된 광빔의 분해능 이하의 크기의 초해상 개구가 형성되는 초해상층과; 초해상층의 상부 또는 하부에 위치되는 기록층;을 포함하며, 기록층의 기록이 이루어지는 반응온도가 초해상층의 초해상 개구가 형성되는 융점보다 높은 것을 특징으로 한다. 이와 같은 구조에 의하여 재생 신호의 열화를 방지하여 재생 가능 횟수를 비약적으로 증가시킬 수 있다.
Description
도 1은 종래의 초해상 광기록 매체의 구성을 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 도 1의 초해상 광기록 매체의 재생 횟수 증가에 따른 재생 신호의 전압 레벨 저하를 보여주는 그래프이다.
도 3a 및 도 3b는 도 1의 초해상 광기록 매체의 재생 횟수 증가에 따른 재생 신호의 진폭 감소와 요동 증가를 보여주는 그래프이다.
도 4는 도 1의 초해상 광기록 매체의 기록 영역을 보여주는 TEM 사진이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 초해상 광기록 매체의 구성을 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 6은 도 5의 초해상 광기록 매체의 기록 영역의 단면을 보여주는 TEM 사진이다.
도 7은 도 5의 초해상 광기록 매체의 기록 영역의 비정질 클러스터를 보여주는 TEM 사진이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 초해상 광기록 매체의 구성을 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는 도 6의 초해상 광기록 매체의 재생 횟수 증가에 따른 재생 신호의 안정성을 보여주는 그래프이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
20,30...초해상 광기록 매체 21,31...기판
22,32...반사층 23,25,27,33,35,37...보호층
24,34...초해상층 26,36...기록층
28,38...커버층 31a...기판열화 보호층
34a,34b...확산 방지층
본 발명은 초해상 광기록 매체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 재생 신호의 열화를 방지하는 구조를 갖는 초해상 광기록 매체에 관한 것이다.
광기록 매체는 비접촉식으로 정보의 기록 재생을 수행하는 광픽업장치의 정보 저장매체로서 이용된다. 높은 기록밀도를 갖는 새로운 저장매체에 대한 수요가 증가함에 따라, 새로운 개념의 기술을 기반으로 한 차세대 광기록 매체의 개발이 시도되고 있다.
일반적으로, 광기록 매체의 정보를 재생하기 위한 광원의 파장이 λ이고, 대물렌즈의 개구수가 NA일 때, λ/4NA가 재생 분해능의 한계(Resolution Limit)가 된다. 이러한 재생 분해능의 한계로 인해 기록 마크를 극도로 작게 형성하는 것이 가능하다 하더라도 재생이 불가능하였다. 즉, 종래에는 광원으로부터 조사된 광은 λ/4NA보다 작은 크기를 갖는 기록 마크를 구분할 수 없기 때문에 정보 재생이 불 가능하였다.
최근에는 이러한 재생 분해능의 한계를 극복하기 위하여 초해상 근접장 구조(Super-Resolution Near-Field Structure:Super-RENS)의 광기록 매체(이하, 초해상 광기록 매체라 한다)가 연구되고 있다. 초해상 광기록 매체는, 분해능 한계를 넘는 작은 크기를 가지는 기록 마크에 대해서도 재생이 가능하기 때문에, 초해상 광기록 매체는 고밀도 및 고용량의 요구를 획기적으로 충족시킬 수 있다.
도 1은 최근 제시되고 있는 초해상 광기록 매체의 일 예를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 초해상 광기록 매체(10)는 기판(11)과, 이 기판(11) 상에 순차로 형성된 반사층(12), 제1 보호층(13), 초해상층(14), 제2 보호층(15), 기록층(16), 제3 보호층(17) 및 커버층(18)을 포함한다. 여기서, 초해상층(14)은 초해상 현상이 발생되는 층으로, 상기 기록층(16)에 대해 기록마크의 기록 및/또는 재생을 보조한다. 상기 기록층(16)은 금속 산화물로 구성된다. 예를 들어, 상기 기록층(16)은 AuOX, PdOX, PtOX 또는 AgOX 와 같은 금속 산화물로 이루어진다. 제1 내지 제3 보호층(13,15,17)은 히트 싱크의 역할을 하는 층으로 ZnS-SiO2 등의 재질로 형성된다.
상기와 같은 구성을 갖는 초해상 광기록 매체는 커버층(18)을 통해 위쪽에서부터 대물렌즈를 통해 입사된 재생빔을 이용하여 데이터를 재생하게 된다. 이때, 재생빔은 기록층(16)과 초해상층(14)을 거쳐 반사층(12)에서 반사되게 된다. 재생빔이 초해상층(14)에 조사될 때, 초해상층(14)에 맺히는 광스폿의 중심 부분에는 초해상 개구가 형성되는 초해상 현상이 발생된다. 이 초해상 개구는 초해상층(14)의 광량이 집중되는 중심부근에서 광학적 특성이 변화됨으로써 발생되는 분해능 이하의 크기를 갖는 투명한 창(window)을 의미한다. 초해상층(14)을 투과하는 광은 초해상 현상에 의하여 분해능 이하의 사이즈를 갖게 되므로, 분해능 이하의 사이즈로 기록된 기록층(16)의 데이터가 재생될 수 있다.
이와 같이 초해상층(14)의 초해상 현상에 의하여 분해능 한계를 넘는 작은 사이즈의 기록 마크에 대해서도 재생을 가능하게 하므로, 고밀도 및 고용량의 요구를 획기적으로 충족시킬 수 있다.
그러나, 초해상층의 초해상 현상은 초해상층을 이루는 상변화 재료의 융점 부근에서 이루어지므로, 일반적인 광기록 매체에 비해 상대적으로 높은 파워의 재생빔을 사용한다. 이러한, 높은 파워의 재생빔에 의한 고온 재생은 초해상 광기록 매체의 재생 신호 안정성(Stability)을 상당히 취약하게 한다.
도 2a 및 도 2b는 종래의 초해상 광기록 매체에서의 재생 신호의 레벨 다운(level down)을 보여준다. 도 2a는 초해상 광기록 매체의 초기 상태에서의 재생 신호의 레벨을 보여주며, 도 2b는 초해상 광기록 매체가 대략 1000회 재생을 반복한 경우의 재생 신호의 레벨을 보여준다. 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 초기 재생시 약 1.6V의 전압 레벨을 보여주고 있으나, 대략 1000회의 재생을 반복한 후 약 1.4 V의 전압 레벨을 보여주고 있어, 대략 12.5%의 전압 레벨 저하가 있음을 알 수 있다. 또한, 도 3a 및 도 3b는 종래의 초해상 광기록 매체에서의 재생 신호의 진폭 변화와 요동(fluctuation) 증가를 보여준다. 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 초기 재 생시 진폭(Ai)은 대략 50mV이나, 대략 1000회의 재생을 반복한 경우의 진폭(Af)은 약 10mV가 되어 대략 80%의 진폭 감소가 있음을 알 수 있다. 또한, 초기 재생시나 대략 1000회의 재생을 반복한 후에도 재생 신호의 진폭 변화량(Fi,Ff)은 약 100mV로 거의 변화가 없으므로, 요동은 2에서 10으로 증가하고 있음을 알 수 있다. 이때, 요동은 재생 신호의 진폭 변화량에 진폭을 나눈 값으로 정의한다.
이러한 실험 데이터에 의하면, 종래의 초해상 광기록 매체는 1000회의 재생을 반복한 경우 10% 이상의 특성 열화를 보이고 있으며, 이러한 특성 열화는 초해상 광기록 매체의 실용화에 있어 큰 걸림돌이 되고 있다.
이러한 종래의 초해상 광기록 매체의 특성 열화의 원인의 한 가지로, 기록층에서의 기체 확산을 들 수 있다.
PtOX와 같은 금속 산화물로 형성된 기록층(16)에 기록용 파워의 레이저빔을 조사하면, 기록층(16)의 광스폿이 맺힌 영역에서는 열적 반응이 일어난다. 열적 반응에 의해 금속과 산소가 분리되면서, 산소에 의해 버블(rigid bubble) 형태로 부풀어 올라 광스폿이 맺힌 부분에 부피 팽창이 일어나 기록 마크(m)가 형성된다. 도 4는 이러한 열적 반응에 의한 기록 마크(m)의 형성을 보여준다. 도 4의 A영역에서 흰 부분은 분리된 산소가 퍼져 있는 버블 영역을 나타내며, 어두운 점들은 분리된 금속을 나타낸다.
한편, 초해상 현상이 일어나는 온도(이하, 초해상 온도)는 초해상층(도 1의 14)의 융점 부근으로, 가령, Sb-Te 합금이나, Ge-Sb-Te 합금의 경우 500~550℃ 정 도의 고온이다. 그런데, 확산 현상은 일반적으로 온도에 비례하므로, 이러한 고온 재생은 버블 형태의 기록 마크(m)에 존재하는 산소의 확산을 유발시킨다. 이러한 산소의 확산은 버블 형태의 변형을 초래하여 재생 신호의 열화를 가져오게 된다.
초해상 광기록 매체가 실용화되기 위해서는 적어도 수 만회 내지 십 만회의 재생에도 신호 열화가 없는 재생 안정성(stability)이 요구되나, 이와 같이 고온 재생에 의한 재생 신호의 열화는 초해상 광기록 매체의 실용화에 큰 장애가 되고 있다.
본 발명은, 상술한 종래의 초해상 광기록 매체의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 고온 재생에서도 재생 신호의 열화가 없는 기록층을 갖는 초해상 광기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 초해상 광기록 매체는, 기판과; 상기 기판 상에 마련되며, 입사된 광빔에 의해 입사된 광빔의 분해능 이하의 크기의 초해상 개구가 형성되는 초해상층과; 상기 초해상층의 상부 또는 하부에 위치되는 기록층;을 포함하며, 상기 기록층의 기록이 이루어지는 반응온도가 상기 초해상층의 초해상 개구가 형성되는 융점보다 높은 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기록층은, 기체 발생 없이 기록이 이루어지는 물질로 이루어진 것이 바람직하다.
상기 기록층의 기록이 이루어지는 반응온도는 상기 초해상층의 초해상 개구 가 형성되는 온도보다 적어도 200℃보다는 큰 것이 바람직하고, 나아가 1000℃ 큰 것이 보다 바람직하다.
상기 기록층은 BaTiO3, BaTiO3+Y0.02, Fe2O3, TiO2, BaO, CoO2를 포함하는 금속 산화물 그룹에서 적어도 어느 한 물질로 형성될 수 있다.
상기 초해상층은 Sb-Te계, Ge-Sb-Te계 및 Ag-In-Sb-Te계 합금 중 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 기판의 상면에는 기판 열화 방지층을 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 기판 열화 방지층은, ZnS-SiO2, GeN, SiN, 및 SiO2 중에서 선택된 적어도 어느 한 물질로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 초해상층의 상하면에는 확산 방지층이 마련되는 것이 바람직하다.
상기 확산 방지층은 GeN, SiN 및 SiO2 중 적어도 어느 한 물질로 형성되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 초해상 광기록 매체를 상세히 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명에 따른 제1 실시예의 초해상 광기록 매체를 보여준다.
도면을 참조하면, 본 실시예의 초해상 광기록 매체(20)는 기판(20)과, 이 기판(21) 상에 순차로 형성된 반사층(22), 제1 보호층(23), 초해상층(24), 제2 보호 층(25), 기록층(26), 제3 보호층(27) 및 커버층(28)을 포함한다.
상기 기판(21)은 폴리카보네이트, 폴리메틸메티아크릴레이트(PMMA), 비정질 폴리올레핀(APO) 및 글래스 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 형성된다.
상기 반사층(22)은 AgPdCu와 같은 Ag 합금으로 형성된다.
상기 제1 내지 제3 보호층(23,25,27)은 초해상층(24) 및 기록층(26)을 열적, 기계적으로 보호하는 유전체층으로, 산화물, 질화물, 탄화물, 불화물 중 적어도 하나의 물질로 이루어진다. 일 예로, 제1 내지 제3 보호층(23,25,27)은 SiOx, MgOx, AlOx, TiOx, VOx, CrOx, NiOx, ZrOx, GeOx, ZnOx, SiNx, AlNx, TiNx, ZrNx, GeNx, SiC, ZnS, ZnS-SiO2, MgF2 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진다. 제1 내지 제3 보호층(23,25,27)은 황(S)과 같은 확산성이 높은 물질을 포함하지 않는 유전체 재료로 형성되는 것이 보다 바람직하다. 이는 초해상 현상이 일어나는 고온에서 초해상층(24)이나 기록층(26)과 제1 내지 제3 보호층(23,25,27) 사이에 상호 확산되는 것을 최소화하기 위함이다.
상기 초해상층(24)은 상기 기록층(16)에 대해 기록마크의 기록 및/또는 재생을 보조하는 층으로 초해상을 일으키는 상변화 물질로 형성된다. 이러한 상변화 물질로는 Se-Te계 합금, Ge-Sb-Te계 합금, Ge-In-Sb-Te계 합금 등이 있다. 일례로, 초해상층(24)의 조성은 GST = Ge 6.5%/ Sb 72.5%/ Te 21 % 로 구성될 수 있다.
이 초해상층(24)에 소정 파워 이상의 레이저빔이 가해지는 경우, 광량이 집중된 광스폿의 중심부에서 상변화가 발생되는 융점 이상으로 상승되며, 이에 따라 광학적 특성이 변화하여 분해능이하 사이즈의 빔이 투과되는 초해상 현상이 발생한다. 이때, 상변화가 발생되는 융점은 초해상 온도가 된다. 즉, 레이저빔이 조사된 광스폿은 그 중앙부 온도가 가장 높고, 그 주변으로 갈수록 낮아지는 가우시안(Gaussian) 형태의 온도 분포를 갖는다. 이와 같은 온도 분포 차이로 인해 초해상 현상이 발생되는 초해상 온도를 넘어선 중심부에서는 광학적 특성 변화가 일어나게 되어 초해상 개구가 형성되며, 이러한 초해상 개구는 분해능 이하의 기록 마크의 재생을 가능하게 한다.
상기 기록층(26)은 기록이 이루어지는 반응온도가 상기 초해상층(24)의 초해상 개구가 형성되는 융점보다 높은 재질로 형성된다. 나아가, 기체 발생 없이 기록이 이루어질 수 있는 금속 산화물로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 기록층(26)은 BaTiO3, BaTiO3+Y0.02, Fe2O3, TiO2, BaO, CoO2 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.
본 실시예의 기록층(26)은 결정질 부분과 비정질 부분의 반사도 차이를 이용하여 정보를 기록한다. 도 6과 도 7은 BaTiO3로 형성된 기록층(26)의 기록 마크 부근의 단면을 보여준다. 도 6은 기록 마크가 형성된 부근(B 영역)에 외형적 변형이 나타나지 않고 있음을 보여주며, 도 7은 기록층(26)의 기록 마크에서의 비정질 클러스터를 보여준다. 이와 같은 기록층(26)의 비정질 클러스터는 레이저빔의 국소적 조사에 의한 부분적인 용융에 의해 형성될 수 있다.
종래의 초해상 광기록 매체에서 제안된 기록층은 기록 마크의 형성시 기체가 발생되어 버블 형태의 변형이 생기나, 본 실시예의 기록층(26)은 비정질 클러스터로 된 기록 마크의 형성시 기체가 발생되지 않아 외형에 변화가 없다. 이와 같이 본 실시예는 기록 마크 형성시 기체가 발생되지 않으므로, 고온 재생에 따른 기록층(26)의 기체 확산이 유발되지 않아, 신호 열화를 방지할 수 있게 된다.
나아가, 기록층(26)의 기록이 이루어지는 반응온도에 해당되는 용융 온도는 초해상층(24)의 초해상 개구가 형성되는 초해상 온도보다 적어도 200℃ 큰 것이 바람직하며, 기록층(26)의 융점이 1000℃보다 큰 것이 보다 바람직하다. 초해상층(24)에 사용되는 Sb-Te 합금이나, Ge-Sb-Te 합금 또는 Ge-In-Sb-Te계 합금의 초해상 온도는 500~550℃ 정도이므로, 기록층(26)의 기록 재료의 기록이 이루어지는 반응온도는 적어도 750℃ 보다는 커야 한다. 예를 들어, BaTiO3는, 그 융점이 1625℃로서, 초해상 온도보다 1000℃이상 차이가 있어, 기록층(26)의 재료로 사용되기에 적당하다. 이와 같이 기록층(26)의 융점이 초해상 온도에 비해 매우 큼에 따라, 초해상 온도에서 재생을 반복하더라도 기록층(26)의 기록 마크를 변형하지 않아, 재생 안정성을 향상시킨다.
도 8은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 초해상 광기록 매체의 구성을 보여주는 개략적인 단면도이다.
도면을 참조하면, 본 실시예의 초해상 광기록 매체(30)는 기판(30)과, 이 기판(31) 상에 순차로 형성된 기판 열화 방지층(31a), 반사층(32), 제1 보호층(33), 제1 확산 방지층(34a), 초해상층(34), 제2 확산 방지층(34b), 제2 보호층(35), 기 록층(36), 제3 보호층(37) 및 커버층(38)을 포함한다.
기판 열화 방지층(31a)과 제1 및 제2 확산 방지층(34b)을 제외한 본 실시예의 초해상 광기록 매체(30)의 나머지 구성 요소들은 도 5를 참조하여 설명한 제1 실시예의 초해상 광기록 매체(20)의 구성 요소들과 실질적으로 동일하므로, 그 차이점을 중심으로 설명하기로 한다.
상기 기판 열화 방지층(31a)는 ZnS-SiO2, GeN, SiN, 및 SiO2 중 적어도 어느 한 물질로 형성될 수 있다. 기판 열화 방지층(31a)의 두께는 0nm 보다 크고 20nm 보다 같거나 작은 것이 바람직하다. 초해상 광기록 매체(30)의 재생이 500~550℃ 정도의 고온에서 이루어짐에 따라, 폴리카보네이트와 같은 재질로 만들어진 기판(31)이 열화될 수 있는바, 이 기판 열화 방지층(31a)은 이러한 기판(31)의 열화를 방지한다.
상기 제1 및 제2 확산 방지층(34a,34b)은 초해상 온도 정도의 고온에서 반응성이 적은 유전체 물질로 형성된다. 예를 들어, 제1 및 제2 확산 방지층(34a,34b)은 GeN, SiN 및 SiO2 중 적어도 어느 한 물질로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 확산 방지층(34a,34b)의 두께는 0nm 보다 크고, 3nm 보다 같거나 작은 것이 바람직하다. 종래의 초해상 광기록 매체의 경우, 초해상층의 열화 방지를 위해 초해상층의 상하면에 ZnS-SiO2와 같은 보호층이 마련되어 있으나, 고온 재생시 초해상층과 보호층 사이의 상호 확산에 의해 열화 현상이 발생된다. 그러나, 본 실시예의 경우, 제1 및 제2 확산 방지층(34a,34b)에 의하여, 초해상층(23)과 제1 및 제2 보호층(33,35) 사이의 상호 확산을 방지하여, 상호 확산에 의한 열화 현상을 억제할 수 있다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명에 따른 초해상 광기록 매체의 재생 안정성을 보여주는 실험 데이터이다. 도9a는 재생 초기의 전압 레벨과, 진폭(Ai′) 및 진폭의 변화량(Fi′)을 보여주며, 도 9b는 재생을 100,000회를 반복한 후의 전압 레벨과, 진폭(Af′) 및 진폭의 변화량(Ff′)을 보여준다.
본 실험은 도 8을 참조하여 설명된 제2 실시예의 구성을 갖는 초해상 광기록 매체를 사용하였다. 구체적으로, 본 실험에 사용된 초해상 광기록 매체는 기판 / 기판 열화 방지층 / 반사층 / 제1 보호층 / 제1 확산 방지층 / 초해상층 / 제2 확산 방지층 / 제2 보호층 / 기록층 / 제3 보호층이 PC 320nm / ZnS-SiO2 0~20nm / AgPdCu 40 nm / ZnS-SiO2 15nm / GeN 3nm / GeSbTe 10nm / GeN 3nm / ZnS-SiO2 35nm / BaTiO2 10~15nm / ZnS-SiO2 110nm인 구조를 갖는다. 이러한 초해상 광기록 매체에 6mW의 파워의 레이저빔으로 기록한 뒤, 2mW의 파워의 레이저빔으로 재생하였다.
도 9a를 참조하면, 재생 초기전압 레벨이 대략 2.23V이며, 진폭(Ai′)은 85mV이고, 진폭의 변화량(Fi′)은 150mV이다. 재생 신호의 진폭 변화량에 진폭을 나눈 값으로 정의되는 요동은 대략 1.76으로 주어진다. 한편, 도 9b를 참조하면, 재생을 100,000회 반복한 후의 전압 레벨은 대략 2.23V이며, 진폭(Af′)은 85mV이며, 진폭의 변화량(Ff′)은 170mV이고, 요동은 2로 주어진다. 따라서, 재생을 100,000회 반복하더라도 본 발명에 의한 초해상 광기록 매체는 재생 신호의 전압 레벨이나 진폭에 실질적인 변화가 없으며, 다만 재생 신호의 요동이 1.76에서 2.00으로 12.6 증가되었음을 볼 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 초해상 광기록 매체는 기록이 이루어지는 반응온도가 상기 초해상층의 초해상 개구가 형성되는 융점보다 높은 물질로 기록층을 형성하고, 나아가 기판 열화 방지층이나 확산 방지층을 구비함으로써, 고온 재생에서의 안정성을 대폭 향상시킬 수 있다.
이러한 본원 발명인 초해상 광기록 매체는 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
Claims (15)
- 기판과;상기 기판 상에 마련되며, 입사된 광빔에 의해 입사된 광빔의 분해능 이하의 크기의 초해상 개구가 형성되는 초해상층과;상기 초해상층의 상부 또는 하부에 위치되는 기록층;을 포함하며,상기 기록층의 기록이 이루어지는 반응 온도가 상기 초해상층의 초해상 개구가 형성되는 융점보다 높은 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제1항에 있어서,상기 기록층은, 기체 발생 없이 기록이 이루어지는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제1항에 있어서,상기 기록층의 기록이 이루어지는 반응 온도는 상기 초해상층의 융점보다 적어도 200℃ 큰 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기록층은 BaTiO3, BaTiO3+Y0.02, Fe2O3, TiO2, BaO, CoO2 중 선택된 적어 도 어느 한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 초해상층은 Sb-Te계, Ge-Sb-Te계 및 Ag-In-Sb-Te계 합금 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 위에 형성되는 것으로, 상기 초해상층 및 기록층의 하부에 배치되는 반사층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제6항에 있어서,상기 기판과 반사층 사이에 개재되는 기판 열화 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제7항에 있어서,상기 기판 열화 방지층은, ZnS-SiO2, GeN, SiN, 및 SiO2 중에서 선택된 적어도 어느 한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제8항에 있어서,상기 기판 열화 방지층의 두께는 0nm 보다 크고 20nm 보다 같거나 작은 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 초해상층의 상하면 각각에 마련된 것으로, 산화물, 질화물, 탄화물, 불화물 중에서 적어도 하나의 물질로 형성된 제1 및 제2 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제10항에 있어서,상기 기록층의 상하면 각각에 마련된 것으로, 산화물, 질화물, 탄화물, 불화물 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성된 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제10항에 있어서,상기 제1 및 제2보호층은, SiOx, MgOx, AlOx, TiOx, VOx, CrOx, NiOx, ZrOx, GeOx, ZnOx, SiNx, AlNx, TiNx, ZrNx, GeNx, SiC, ZnS, ZnS-SiO2, MgF2 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제12항에 있어서,상기 초해상층과 제1 보호층 사이에 개재된 제1 확산 방지층과;상기 초해상층과 제2 보호층 사이에 개재된 제2 확산 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제14항에 있어서,상기 제1 및 제2 확산 방지층은 GeN, SiN 및 SiO2 중 적어도 어느 한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
- 제13항에 있어서,상기 제1 및 제2 확산 방지층의 두께는 0nm 보다 크고, 3nm 보다 같거나 작은 것을 특징으로 하는 초해상 광기록 매체.
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