KR20080062723A - 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼의 건조방법 - Google Patents

웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼의 건조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 웨이퍼 건조 장치 및 이를 이용한 건조 방법은, 세정조와 건조부를 포함하는 챔버; 챔버 내에 배치되면서 웨이퍼 상에 기화된 이소프로필알코올또는 탈이온수를 공급하는 노즐; 챔버 내에 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급부; 탈이온수 공급부와 연결되어 챔버 내에 공급되는 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부; 챔버 내에 이소프로필알코올을 공급하는 이소프로필알코올 공급부; 챔버와 이소프로필알코올 공급부 사이에 배치되면서 이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분을 분리시키는 플래시 탱크; 플래시 탱크로 공급되는 이소프로필알코올의 온도를 조절하는 제1 히터; 및 챔버에 불활성 기체를 공급하여 챔버 내 압력을 높이는 불활성 기체 공급부를 포함한다.
리닝 현상, 플래시 탱크, 이소프로필알코올

Description

웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼의 건조방법{Dry for wafer and the method for drying of wafer}
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 건조장치를 설명하기 위해 나타내보인 도면이다.
본 발명은 반도체 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스토리지노드를 형성하는 과정에서 발생하는 스토리지노드 리닝 현상을 방지할 수 있는 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 건조방법에 관한 것이다.
메모리 소자, 예를 들어 디램(DRAM; Dynamic Random Access Memory) 소자를 제조하는 공정이 점점 고집적화, 미세화되고 있다. 이에 따라 스토리지노드전극(storage node)의 제조공정도 콘케이브(concave) 타입에서 실린더(cylinder) 타입으로 변화하고 있다. 실린더 타입의 스토리지노드전극을 형성하는 공정은 먼저 스토리지노드컨택 위에 증착된 희생절연막을 홀 타입으로 식각하고, 그 내부에 스토리지노드용 전극물질을 증착한다. 다음에 습식 식각공정을 진행해 희생절연막을 식 각하여 실린더를 형성한 다음, 스토리지노드용 전극물질 내외에 유전물질을 증착하여 스토리지노드전극을 형성한다.
한편, 실린더 타입의 스토리지노드 전극을 형성하기 위해 희생절연막을 식각하는 과정에서 인접한 실린더끼리 붙게 되는 스토리지노드 리닝(leaning) 현상이 발생할 수 있다. 이러한 스토리지노드 리닝 현상은 세정조(wet bath)에서 습식 공정을 진행한 다음 건조 챔버(dry chamber)로 이동할 때, 또는 건조 챔버로 이동한 다음 건조 공정을 진행하는 과정에서 마란고니 효과(marangoni force), 건조되지 않은 실린더 사이에 남아 있는 탈이온수(DIW; Deionized water) 또는 이소프로필알코올(IPA; Isopropyl alcohol) 등에 의해 발생할 수 있다.
예를 들어, 웨이퍼에 린스 공정을 진행한 후 건조 챔버로 이동하는 경우, 웨이퍼가 이소프로필알코올과 탈이온수층 사이를 통과시 마란고니 효과 또는 탈이온수의 표면장력에 의해 스토리지노드 리닝 현상이 발생할 수 있다. 또한, 웨이퍼가 건조 챔버로 이동한 다음 건조 공정을 진행하는 과정에서 스토리지노드 실린더 사이에 탈이온수 또는 미스트 형태의 이소프로필알코올이 남아 있을 수 있다. 이와 같이 스토리지노드 실린더 사이에 탈이온수 또는 미스트 형태의 이소프로필알코올이 남아 있는 경우, 표면장력이 발생하게 되고, 건조 공정이 느리게 진행되면서 잔여물의 부피가 감소함에 따라 스토리지노드 패턴은 점점 기울어진다.
이와 같은 원인들로 인해 스토리지노드 리닝 현상이 발생하면 캐패시터 사이에 브릿지(bridge)가 발생하여 메모리 생산의 수율을 감소시키는 원인으로 작용한다. 이에 따라 스토리지노드 실린더 사이에 탈이온수 또는 이소프로필알코올이 남 아 있지 않도록 하는 방법이 요구된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 건조되지 않은 스토리지노드 실린더 사이에 남아 있는 탈이온수 또는 이소프로필 미스트에 의해 스토리지노드 리닝 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 세정장치를 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 건조장치는, 세정조와 건조부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 배치되면서 웨이퍼 상에 기화된 이소프로필알코올또는 탈이온수를 공급하는 노즐; 상기 챔버 내에 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급부; 상기 탈이온수 공급부와 연결되어 상기 챔버 내에 공급되는 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부; 상기 챔버 내에 이소프로필알코올을 공급하는 이소프로필알코올 공급부; 상기 챔버와 이소프로필알코올 공급부 사이에 배치되면서 이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분을 분리시키는 플래시 탱크; 상기 플래시 탱크로 공급되는 이소프로필알코올의 온도를 조절하는 제1 히터; 및 상기 챔버에 불활성 기체를 공급하여 챔버 내 압력을 높이는 불활성 기체 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 이소프로필알코올 공급부는 플래시 탱크와 연결되면서 이소프로필알코올의 순환을 조절하는 제1 펌프를 더 포함할 수 있다.
상기 플래시 탱크는, 플래시 탱크 내부에서 분리된 이소프로필알코올 액상 성분의 순환을 조절하는 제2 펌프; 및 상기 플래시 탱크로부터 분리된 이소프로필 알코올 액상 성분의 온도를 낮추는 쿨러를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 플래시 탱크는, 양 측면에 플래시 탱크 내부의 온도를 조절하는 제2 히터를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 건조방법은, 챔버, 플래시 탱크, 탈이온수 온도 제어부 및 이소프로필알코올 공급부를 포함하는 장치 내에 웨이퍼를 배치하는 단계; 상기 웨이퍼 상에 습식 공정을 진행하는 단계; 상기 웨이퍼의 표면 온도를 높이기 위해 냉각 탈이온수로 1차 린스 공정을 진행한 후, 고온 탈이온수로 2차 린스 공정을 진행하는 단계; 상기 이소프로필알코올 공급부로부터 플래시 탱크로 이소프로필알코올을 공급하여 이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분을 분리시키는 단계; 및 상기 분리된 이소프로필알코올의 기상 성분을 상기 챔버 내에 공급하여 웨이퍼를 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 2차 린스 공정은 상기 탈이온수 온도 제어부를 이용하여 70-90℃의 온도를 갖는 탈이온수를 공급하여 진행하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
마란고니 효과(Marangoni effect)는, 하나의 액 영역에 2개 이상의 다른 표면장력 영역이 존재할 경우, 표면장력이 작은 영역으로부터 표면장력이 큰 영역으로 액이 흐르는 원리이다. 이러한 마란고니 효과를 이용한 웨이퍼 건조 방법은 탈이온수(DIW; deionized water)보다 상대적으로 표면장력이 작은 이소프로필알코올(IPA; isopropyl alcohol) 미스트(mist)를 웨이퍼의 표면에 공급하여 웨이퍼의 상승시 농도차에 의해 발생하는 마란고니 효과를 이용하여 탈이온수를 제거하는 방법이다. 그런데 이러한 마란고니 효과를 이용하여 웨이퍼 상의 탈이온수를 제거하는 과정에서 스토리지노드 실린더 사이에 탈이온수 또는 미스트 형태의 이소프로필알코올이 남아 있을 수 있다. 이와 같이 스토리지노드 실린더 사이에 탈이온수 또는 미스트 형태의 이소프로필알코올이 남아 있는 경우, 표면장력이 발생하게 되고, 건조 공정이 느리게 진행되면서 잔여물의 부피가 감소함에 따라 스토리지노드 패턴은 점점 기울어지는 리닝 현상이 발생할 수 있다.
탈이온수에 의한 리닝 현상을 방지하기 위해선 탈이온수가 자연건조되기 전에 다량의 이소프로필알코올 증기(IPA vapor)를 순간적으로 건조 챔버 내부로 공급해야 한다. 이에 따라 이소프로필알코올 증기의 발생량이 적은 질소(N2) 버블러는 적용될 수 없다. 질소(N2) 가압 또는 정량 펌프에 의한 공급방식의 경우, 액상의 이소프로필알코올을 튜브를 통해 이송하고 건조 챔버로 이송되기 전에 히터를 설치하여 이소프로필알코올 증기를 발생시킨다. 그런데 이와 같은 경우 좁은 튜브 주위로 히터가 장착되어 이소프로필알코올 증기를 형성하기 때문에 내부 압력에 의한 증기 발생량에 한계가 있다. 또한 좁은 관에서 이소프로필알코올 증기가 형성되기 때문에 건조 챔버 내부로 다량의 이소프로필알코올 증기를 공급하다 보면 이소프로필알코올의 포화 증기압에 따라 증기화(vaporization)되지 못하고 이소프로필알코올 미스트 형태로 분사된다.
챔버 내에 이소프로필알코올 미스트 형태로 분사되면 상술한 바와 같이, 이소프로필알코올의 표면장력에 의해 인접 스토리지노드 실린더간에 리닝 현상이 발생할 수 있다. 이에 따라 이소프로필알코올 미스트가 형성되지 않도록 챔버 내부로 공급되는 이소프로필알코올이 최대한 증기 상태로 유지할 수 있도록 해야 한다. 그러나 챔버 내부에 이소프로필알코올 증기가 미스트 없이 균일하게 형성되더라도 냉각 탈이온수에서 린스 공정을 진행한 후 챔버로 올라온 웨이퍼의 온도는 탈이온수의 온도와 동일한 20-23℃의 온도를 유지하게 된다. 따라서 82.4℃ 이상의 온도를 갖는 이소프로필알코올 증기와 웨이퍼의 온도차가 커지게 되고, 웨이퍼 표면에 이소프로필알코올 증기가 응축되면서 미스트가 형성된다. 이를 방지하기 위해서는 웨이퍼 표면의 온도와 이소프로필알코올 증기와의 온도차를 최소화해야 한다.
본 발명에서는 웨이퍼 표면의 온도와 이소프로필알코올 증기와의 온도 차이를 최소화시키면서 챔버 내로 공급되는 이소프로플알코올이 최대한 증기 상태를 유지하도록 하는 웨이퍼 건조장치를 제안하고자 한다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 건조장치를 설명하기 위하여 나타내 보인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 건조 장치는, 세정조(100)와 건조 부(105)를 포함하는 챔버(chamber, 110)와, 챔버(110) 내에 배치되면서 웨이퍼(w) 상에 기화된 이소프로필알코올(Isopropyl alcohol) 또는 탈이온수(DIW; Deionized water)를 공급하는 노즐(nozzle, 115)과, 챔버(110) 내에 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급부(120)와, 탈이온수 공급부(120)와 연결되어 챔버(110) 내에 공급되는 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부(125)와, 챔버(110) 내에 이소프로필알코올을 공급하는 이소프로필알코올 공급부(130)와, 불활성 기체 공급부(140)와, 챔버(110)와 이소프로필알코올 공급부(130) 사이에 배치되면서 이소프로필알코올 공급부(130)로부터 공급된 이소프로필알코올의 액상(mist) 성분과 기상(vapor) 성분을 분리시키는 플래시 탱크(130)를 포함하여 구성된다. 여기서 이소프로필알코올 공급부(130)는 이소프로필알코올 공급부(130)와 연결되어 이소프로필알코올의 순환을 조절하는 제1 펌프(170)를 포함하여 이루어진다.
이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분을 분리시키는 플래시 탱크(130)는, 이소프로필알코올 공급부(130) 및 불활성기체 공급부(140)와 연결되면서 이소프로필알코올의 온도를 제어하는 제1 히터(160), 플래시 탱크(130)로부터 분리된 이소프로필알코올 액상 성분의 순환을 조절하는 제2 펌프(180), 분리된 이소프로필알코올 액상 성분의 온도를 낮추는 쿨러(190)를 더 포함하는 구조로 이루어질 수 있다. 이때, 플래시 탱크(130)는 양 측면에 플래시 탱크(130) 내부의 온도를 조절하는 제2 히터(155)를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 건조 장치는 이소프로필알코올 공급부(130)로부터 공급되는 이소프로필알코올이 좁은 튜브 내부에서 제1 히터(160)에 의한 증기화 (vaporization)를 위해 이소프로필알코올 증기가 챔버(110) 내부로 공급되기 전 플래시 탱크(150)를 배치한다. 플래시 탱크(150)는 좁은 튜브에서 수송되는 유체를 갑자기 넓은 탱크 내부로 유입시켜 유체 내부의 압력이 순간적으로 떨어뜨림으로써 유체가 액상(mist)에서 기상(vapor)으로 휘발되는 장치이다. 튜브 내부를 흐르는 유체에 열을 가하면 유체 내부의 온도는 올라가고 압력은 증가한다. 따라서 일정량 이상의 유량이 흐를 때 튜브 내부에 열을 가해도 유체의 기화현상은 발생하지 않는다. 즉 유체는 고온 고압의 상태로 튜브를 따라 흐르게 된다. 이때 갑자기 넓은 플래시 탱크(150) 내부로 이 고온 고압 상태의 유체가 들어오면 순간적인 내부의 압력강하가 발생하고 기화가 일어난다. 플래시 탱크(150) 내부에 공급된 유체에 기화가 일어나면 유체는 액상 성분과 기상 성분으로 분리된다.
이소프로필알코올 공급부(130)와 챔버(110) 사이에 플래시 탱크(150)를 배치하면, 이러한 메커니즘에 의해 액상 상태의 이소프로필알코올이 좁은 튜브를 따라 흐르다가 플래시 탱크(150) 내부로 이동한 이소프로필알코올은 순간적인 내부의 압력강하에 의해 기화된다. 이에 따라 이소프로필알코올이 액상 성분, 즉, 이소프로필알코올 미스트와 기상 성분, 즉, 이소프로필알코올 증기로 분리되면서 이소프로필알코올 미스트는 플래시 탱크(150) 하부로 떨어지고, 이소프로필알코올 증기는 플래시 탱크(150) 상부에 위치한다. 따라서 이소프로필알코올 증기만을 챔버(110) 내부로 공급할 수 있다. 즉, 이소프로필알코올 미스트를 플래시 탱크(150)에서 걸러주는 것이다. 플래시 탱크(150)를 장착할 경우, 이소프로필알코올 미스트를 1차로 걸러주며, 종래 버블러 타입(bubbler type)의 이소프로필알코올 증기 생성장치 보다 많은 양의 이소프로필알코올 증기를 건조부(115) 내부로 공급할 수 있다. 이때, 플래시 탱크(150)로부터 분리된 이소프로필알코올 미스트는 순환을 조절하는 제2 펌프(180) 및 분리된 이소프로필알코올 액상 성분의 온도를 낮추는 쿨러(190)를 통해 다시 이소프로필알코올 공급부(130)로 순환시켜 재사용이 가능하다. 이때, 불활성 기체 공급부(140)로부터 챔버(110)에 불활성 기체, 예를 들어 질소(N2) 가스를 공급하여 챔버(110) 내 압력을 더 높일 수 있다.
이와 함께 탈이온수 공급부(120)와 챔버(110) 사이에 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부(125)를 배치한다. 이러한 탈이온수 온도 제어부(125)는 탈이온수 공급부(120)로부터 공급된 탈이온수의 온도를 상승시킨 다음에 챔버(110)의 세정조(wet bath, 100)로 공급하는 역할을 한다.
이에 따라 웨이퍼의 탈이온수 린스 공정은 냉각 탈이온수에서 1차 린스 공정을 진행한 후 고온의 탈이온수에서 2차 린스 공정을 진행한다. 탈이온수 온도 제어부(125)가 없는 종래의 세정 장치에서는 냉각 탈이온수에서의 린스 공정만 진행하였다. 이와 같이 냉각 탈이온수 린스 공정만이 진행된 경우, 웨이퍼(w) 표면 온도가 탈이온수의 온도와 동일한 20-23℃의 온도를 유지한다. 챔버 내부의 이소프로필알코올 증기의 경우 온도가 82.4℃(비점)-150℃의 온도를 유지하기 때문에 웨이퍼 표면과 이소프로필 증기와의 온도차가 크게 나타난다. 이러한 온도차에 의해 이소프로필알코올 미스트가 발생하게 된다. 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 건조 장치는 탈이온수 공급부(120)와 챔버(110) 사이에 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부(125)를 배치하고, 탈이온수 린스 공정을 냉각 및 고온의 두 단계로 진행함으로써 웨이퍼(w) 표면의 온도를 70-90℃의 온도까지 올릴 수 있고, 이에 따라 웨이퍼(w) 표면에서 응축되는 이소프로필알코올 미스트의 양을 현저하게 줄일 수 있다. 종래 마란고니 방식의 건조 장치는 탈이온수와 이소프로필알코올의 표면장력 차를 이용하기 때문에 웨이퍼의 표면 온도는 중요하지 않았다. 그러나 실린더 타입의 스토리지노드전극을 제조하는 과정에서 마란고지 방식의 건조 장치는 리닝 현상을 발생시켜 사용이 어려우며, 이소프로필알코올 증기를 건조 장치 내에 뿌려주는 방법을 이용하고 있다. 이때, 냉각 탈이온수를 이용한 린스 공정만 이용할 경우, 웨이퍼 표면 온도와 이소프로필알코올 증기의 온도차 때문에 이소프로필알코올 미스트가 발생하고 이는 스토리지노드전극 상에 워터마크와 리닝 현상을 발생시키는 원인이 된다.
이러한 웨이퍼 건조 장치를 이용한 웨이퍼의 건조 방법은, 먼저 상술한 챔버의 세정조(100) 내에 웨이퍼(w)를 배치한다. 다음에 웨이퍼(w)에 습식 공정을 진행한 다음에 탈이온수 공급부(120)으로부터 웨이퍼(w)에 냉각 탈이온수를 공급하여 1차 린스 공정을 진행한 다음 후, 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부(125)를 이용한 고온 탈이온수를 공급해 2차 린스 공정을 진행하여 웨이퍼(w) 표면의 온도를 70-90℃의 온도까지 높인다. 이와 같이 냉각 및 고온의 탈이온수를 이용한 린스 공정을 이용하여 이후 건조 공정에서 이소프로필알코올 증기와 비슷한 온도까지 웨이퍼 표면의 온도를 높임으로써 웨이퍼 표면에서 응축되는 이소프로필알코올 미스트의 양을 감소시킬 수 있다.
다음에 린스 공정을 마친 웨이퍼를 챔버 내 건조부(115)로 이동시킨다. 계속해서 이소프로필알코올 공급부(130) 및 제1 펌프(170)를 통해 이소프로필알코올을 공급한다. 이소프로필알코올이 튜브를 통해 이동하면서, 플래시 탱크(150)로 고온 고압의 이소프로필알코올이 공급되고, 플래시 탱크(150) 내부에서 이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분이 분리된다. 이렇게 분리된 이소프로필알코올의 액상 성분은 플래시 탱크(150) 하부로 떨어지면서 제2 펌프(180) 및 쿨러(190)를 통해 내부의 이소프로필알코올 공급부(130)로 순환되면서 재사용이 가능하다. 그리고 이소프로필알코올의 기상 성분은 플래시 탱크(150)의 상부로 상승하여 챔버(110) 내에 공급되어 웨이퍼(w)를 건조시킨다.
본 발명에 따른 웨이퍼 건조 장치는 플래시 탱크를 배치하여 플래시 탱크 내에서 이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분을 분리하여 기상 성분만 웨이퍼를 건조하기 위해 이용할 수 있다. 또한, 세정조에 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부를 배치함으로써 웨이퍼 표면의 온도와 이소프로필알코올의 온도 차를 최소화하여 웨이퍼 표면에서 응축되는 이소프로필알코올의 미스트 양을 감소시킬 수 있다.
지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 건조 장치 및 이를 이용한 웨이퍼의 건조방법에 의하면, 이소프로필알코올의 액상 성분 및 기상 성분을 분리하여 액상 성분은 걸러내고 기상 성분만 웨이퍼 건조에 이용할 수 있다. 또한, 탈이온수 온도를 조절하여 웨이퍼 표면의 온도와 이소프로필알코올의 온도 차를 최 소화하여 웨이퍼 표면에서 응축되는 이소프로필알코올의 미스트 양을 감소시킬 수 있다. 이에 따라 스토리지노드 실린더 사이에 탈이온수 또는 미스트 형태의 이소프로필알코올이 남아 있는 것을 억제하여 스토리지노드 패턴이 점점 기울어지는 리닝 현상을 억제할 수 있다.

Claims (6)

  1. 세정조와 건조부를 포함하는 챔버;
    상기 챔버 내에 배치되면서 웨이퍼 상에 기화된 이소프로필알코올또는 탈이온수를 공급하는 노즐;
    상기 챔버 내에 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급부;
    상기 탈이온수 공급부와 연결되어 상기 챔버 내에 공급되는 탈이온수의 온도를 높이는 탈이온수 온도 제어부;
    상기 챔버 내에 이소프로필알코올을 공급하는 이소프로필알코올 공급부;
    상기 챔버와 이소프로필알코올 공급부 사이에 배치되면서 이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분을 분리시키는 플래시 탱크;
    상기 플래시 탱크로 공급되는 이소프로필알코올의 온도를 조절하는 제1 히터; 및
    상기 챔버에 불활성 기체를 공급하여 챔버 내 압력을 높이는 불활성 기체 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이소프로필알코올 공급부는 플래시 탱크와 연결되면서 이소프로필알코올의 순환을 조절하는 제1 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 플래시 탱크는,
    플래시 탱크 내부에서 분리된 이소프로필알코올 액상 성분의 순환을 조절하는 제2 펌프; 및
    상기 플래시 탱크로부터 분리된 이소프로필알코올 액상 성분의 온도를 낮추는 쿨러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플래시 탱크는, 양 측면에 플래시 탱크 내부의 온도를 조절하는 제2 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 장치.
  5. 챔버, 플래시 탱크, 탈이온수 온도 제어부 및 이소프로필알코올 공급부를 포함하는 장치 내에 웨이퍼를 배치하는 단계;
    웨이퍼 상에 습식 공정을 진행하는 단계;
    상기 웨이퍼의 표면 온도를 높이기 위해 냉각 탈이온수로 1차 린스 공정을 진행한 후, 고온 탈이온수로 2차 린스 공정을 진행하는 단계;
    상기 이소프로필알코올 공급부로부터 플래시 탱크로 이소프로필알코올을 공급하여 이소프로필알코올의 액상 성분과 기상 성분을 분리시키는 단계; 및
    상기 분리된 이소프로필알코올의 기상 성분을 상기 챔버 내에 공급하여 웨이퍼를 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 건조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 2차 린스 공정은 상기 탈이온수 온도 제어부를 이용하여 70-90℃의 온도를 갖는 탈이온수를 공급하여 진행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 건조 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101336727B1 (ko) * 2012-05-23 2013-12-04 주식회사 케이씨텍 기판 건조 장치

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