KR20080062282A - 진자 센서 시스템 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 - Google Patents

진자 센서 시스템 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 Download PDF

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Abstract

진자 센서 시스템이 제공된다. 상기 진자 센서 시스템은 수평축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 수직 부재와, 수직 부재의 상단에 설치된 롤러와, 수직 부재의 하단에 설치된 다수의 자석과, 다수의 자석의 하부 각각에 수직 부재와 이격되어 설치된 다수의 자기 센서를 포함한다.
진자 센서 시스템, 신뢰성

Description

진자 센서 시스템 및 이를 포함하는 기판 이송 장치{Pendulum sensor system and glass substrate carrier comprising the same}
도 1은 종래의 진자 센서 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 진자 센서 시스템 및 이 시스템이 적용되는 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진자 센서 시스템을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 진자 센서 시스템의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100 : 기판 이송 장치 110 : 샤프트
120 : 풀리 130 : 벨트
140 : 구동 부재 200 : 진자 센서 시스템
210 : 수직 부재 220 : 수평축
222 : 롤러 224a, 224b : 자석
230a, 230b : 자기 센서 250 : 보호 튜브
본 발명은 진자 센서 시스템 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱 동작의 신뢰성이 높아진 진자 센서 시스템 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 세정, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 실행되어야 한다. 이와 같은 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정 챔버에서 이루어지며, 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 장치가 설치되어 있다.
구체적으로, 기판 이송 장치는 회전력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 부재에 의해 회전하고 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 샤프트를 포함한다. 특히, 다수의 샤프트 사이에는 기판의 위치를 센싱하는 진자 센서 시스템이 설치된다.
도 1은 종래의 진자 센서 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 진자 센서 시스템(1)은 2개의 진자 센서(2a, 2b)와, 진자 센서(2a, 2b)의 센싱 신호를 처리하는 제어부(60)를 포함한다.
진자 센서 시스템(1)은 기판의 이송 상태를 정확하게 판단하기 위하여, 2개의 샤프트(미도시) 사이에 2개의 진자 센서(2a, 2b)가 설치되는데, 각 진자 센서(2a, 2b)는 수평축(20a, 20b)을 중심으로 회전 가능하게 설치된 수직 부재(10a, 10b)와, 수직 부재(10a, 10b)의 상단과 하단에 각각 설치된 롤러(22a, 22b)와 자석(24a, 24b), 자석(24a, 24b)의 하부에, 수직 부재(10a, 10b)와 이격되어 설치된 자기 센서(30a, 30b)를 포함한다.
그런데, 종래의 진자 센서 시스템(1)은 2개의 진자 센서(2a, 2b)를 설치함으로써, 진자 센서(2a, 2b)의 오작동이 일어났을 경우, 진자 센서(2a, 2b)의 불량인지, 기판의 이송 상태가 불량인지 여부를 구분하기가 어렵다. 또한, 자석(24a, 24b)을 동일 선상에 맞추어야 정확한 센싱이 가능하기 때문에 2개의 진자 센서(2a, 2b)를 동일 선상으로 맞추어야 하는데, 이를 동일 선상에 맞추는 것이 어렵다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 센싱 동작의 신뢰성이 높아진 진자 센서 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 상기 진자 센서 시스템이 설치된 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 진자 센서 시스템은 수평축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 수직 부재와, 수직 부재의 상단에 설치된 롤러와, 수직 부재의 하단에 설치된 다수의 자석과, 다수의 자석의 하부 각각에 수직 부재와 이격되어 설치된 다수의 자기 센서를 포함한다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는 회전력을 제공하는 구동 부재와, 구동 부재에 의해 회전하고, 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 샤프트와, 다수의 샤프트 사이에 설치되어 이송되는 기판의 위치를 센싱하는 진자 센서 시스템으로, 수평축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 수직 부재와, 수직 부재의 상단에 설치된 롤러와, 수직 부재의 하단에 설치된 다수의 자석과, 다수의 자석의 하부 각각에 수직 부재와 이격되어 설치된 다수의 자기 센서를 포함하는 진자 센서 시스템을 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태 로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 진자 센서 시스템 및 이 시스템이 적용되는 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진자 센서 시스템을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 샤프트(110), 풀리(120), 벨트(130), 구동 부재(140), 진자 센서 시스템(200)을 포함한다.
기판 이송 장치(100)는 공정 챔버의 내부에 일정 간격으로 배치되는 다수의 샤프트(110)를 포함하는데, 다수의 샤프트(110)의 양 단부에는 각각 풀리(120)가 구비되며, 다수의 풀리(120)는 체인 또는 벨트(130)에 의해 상호 연결되어 있다. 다수의 풀리(120) 중 적어도 하나의 풀리(120)에는 회전력을 제공하는 구동 부재(예를 들어, 모터)(140)가 연결된다. 또한, 각 샤프트(110)에는 기판(S)을 지지하며 이를 이송하는 다수의 롤러(112)가 축방향을 따라 설치된다.
여기서, 진자 센서 시스템(200)은 2개의 샤프트(110) 사이에 설치되어 이송되는 기판(S)의 위치를 센싱한다.
이러한 진자 센서 시스템(200)은 수직 부재(210), 수평축(220), 롤러(222), 자석(224a, 224b), 자기 센서(magnetic sensor)(230a, 230b), 보호 튜브(250)를 포 함한다.
수직 부재(210)는 수평축(220)을 중심으로 회전 가능하게 설치된다. 여기서, 수직 부재(210)의 상단에는 롤러(222)가 설치되고, 하단에는 다수의 자석(224a, 224b)이 설치된다. 또한, 다수의 자석(224a, 224b)의 하부 각각에는 상기 다수의 수직 부재(210)와 이격되어 다수의 자기 센서(230a, 230b)가 설치되고, 다수의 수직 부재(210)와 자기 센서(230a, 230b)는 프레임(205)에 지지되어 있다.
도면에서는 다수의 자석(224a, 224b) 및 다수의 자기 센서(230a, 230b)는 2개씩인 것을 예로 들었으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
이하에서, 도 2 내지 도 5b를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 설명하도록 한다.
먼저, 모터와 같은 구동 부재(140)가 작동하면, 그 회전력이 벨트(130) 및 풀리(120)에 의해 다수의 샤프트(110)에 전달된다. 샤프트(110)가 회전하면서 기판(S)가 이송된다. 이 때, 기판(S)의 저면은 각각의 롤러(112)에 접촉된 상태를 유지하게 된다.
기판 이송 장치(100)를 따라 이송되는 기판(S)이 진자 센서 시스템(200)이 설치된 위치를 통과할 때, 기판(S)의 저면이 롤러(222)를 밀면서 통과한다. 이에 따라, 수직 부재(210)가 회전되고, 수직 부재(210)의 하단에 부착된 자석(224a, 224b)은 후측 상방으로 선회하게 된다. 자석(224a, 224b)이 후측 상방으로 선회됨에 따라 자기 센서(230a, 230b)에 자기장의 변화가 발생된다. 이러한 자기장의 변화(즉, 센싱 신호)는 전선을 통해서 원거리에 위치한 제어부로 전달하게 된다. 제 어부는 센싱 신호에 의해 기판(S)의 이송 상태를 파악하게 된다.
한편, 기판(S)이 진자센서를 통과하면, 기판(S)의 저면에 의해 롤러(222)에 가해지던 힘이 제거된다. 이에 따라, 수직 부재(210)는 자석(224a, 224b)의 무게에 의해 원래 상태로 복귀하게 되며, 이 때 자기 센서(230a, 230b)에 발생되는 자기장의 변화에 의해, 기판(S)이 진자 센서 시스템(200)을 통과한 것으로 파악된다.
그런데, 본 발명의 일 실시예에서는 종래와 달리 자기 센서(도 1의 2a, 2b)가 2개 설치되지 않고 1개만 설치되어 있으므로, 진자 센서의 오작동이 일어났을 경우, 진자 센서의 불량인지, 기판(P)의 이송 상태가 불량인지 여부를 명확하게 분별 가능하다. 따라서, 센싱 동작의 신뢰성이 높아진다. 또한, 2개의 자기 센서를 동일 선상에 정렬해야 하는 어려움이 없다.
또한, 다수의 자석(224a, 224b) 및 다수의 자기 센서(230a, 230b)는 다수개(예를 들어, 2개) 설치하였으므로, 센싱 동작이 이루어지는 부분이 다수개이므로 센싱의 정확성을 높일 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같은 진자 센서 시스템 및 이를 포함하는 기판 이송 장치는 진 자 센서의 오작동이 일어났을 경우, 진자 센서의 불량인지, 기판의 이송 상태가 불량인지 여부를 명확하게 분별 가능하다. 또한, 다수개의 진자 센서를 동일 선상에 정렬해야 하는 어려움이 없다. 또한, 다수의 자석 및 다수의 자기 센서는 다수개(예를 들어, 2개) 설치하였으므로, 센싱 동작이 이루어지는 부분이 다수개이므로 센싱의 정확성을 높일 수 있다.

Claims (4)

  1. 수평축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 수직 부재;
    상기 수직 부재의 상단에 설치된 롤러;
    상기 수직 부재의 하단에 설치된 다수의 자석; 및
    상기 다수의 자석의 하부 각각에 상기 수직 부재와 이격되어 설치된 다수의 자기 센서를 포함하는 진자 센서 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 다수의 자석 및 상기 다수의 자기 센서는 각각 2개인 진자 센서 시스템.
  3. 회전력을 제공하는 구동 부재;
    상기 구동 부재에 의해 회전하고, 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 샤프트; 및
    상기 다수의 샤프트 사이에 설치되어 상기 이송되는 기판의 위치를 센싱하는 진자 센서 시스템으로, 수평축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 수직 부재와, 상기 수직 부재의 상단에 설치된 롤러와, 상기 수직 부재의 하단에 설치된 다수의 자석과, 상기 다수의 자석의 하부 각각에 상기 수직 부재와 이격되어 설치된 다수의 자기 센서를 포함하는 진자 센서 시스템을 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 다수의 자석 및 상기 다수의 자기 센서는 각각 2개인 진자 센서 시스템.
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