KR20080056475A - 반도체용 진공펌프의 랙 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체용의 진공 펌프에 관한 것으로, 컨트롤 용의 파워박스를 포함하며, 여러 대의 진공펌프를 프레임에 설치를 위한 랙의 구조에 있어서, 상부에 상부 프레임(3)을 갖는 랙(1)과, 상기한 랙(1)의 상부프레임(3) 위에 전후 이동시켜 조립 가능한 가변 프레임(2)을 갖춘 것을 특징으로 하며, 상기한 가변 프레임(2)과 상부프레임(3) 사이에는 취부구(4)를 설치하여, 체결구(5)로 조립되게 구성하여, 가변프레임(2)을 전후로 위치 이동 시킨 후, 체결구(5)로 고정하는 것을 특징으로 하며, 상기한 가변프레임(2)은, 상부틀(12)과 하부틀(6)을 갖는 프레임 구조로 이루어지며, 상부틀(12)에는 좌우로 이동시켜 고정 가능한 이송구(11)를 설치한 것을 특징으로 하며, 상기한 이송구(11) 상부로는 브라켓(10)을 설치하고, 브라켓에는 홀더(9)를 설치하여, 홀더(9)가 진공펌프의 상배관(8)을 고정할 수 있게 구성하며, 이송구(11)의 하부로는 고정구(13)를 체결구(14)로 착탈 가능하게 체결하여, 진공펌프의 게이트밸브(16)를 고정할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하며, 진공 펌프의 컨트롤을 위한 파워 박스(23)는, 랙(1)의 프레임에 볼트(24)로 고정 및 분리 가능하게 구성하여, 랙의 전후, 좌우 원하는 위치에 취부할 수 있게 구성한 것을 특징으로 한다.

반도체용, 진공펌프, 랙

Description

반도체용 진공펌프의 랙 구조{vacuum-pump rack structure for semiconductor}

도 1 은 본 발명의 주요 부분에 대한 구성도

도 2 는 가변프레임(2)의 이동을 설명하기 위한 도면

도 3 은 본 발명에 따른 랙의 구조에 대한 구성 예시도

도 4 및 도 5 는 파워박스(23)의 설치 예를 보여 주는 도면

본 발명은 반도체 생산 라인에 설치하는 반도체용 진공펌프의 랙 구조에 관한 것이다.

반도체 생산 라인에서 웨이퍼 가공시 대부분 챔버 내에서 진공 상태에서 작업을 한다. 이때 챔버 내부를 진공 상태로 만들어 주기 위해 다수의 펌프가 소요된다. 이 진공펌프는 랙 내에 여러 대 설치된다.

진공 펌프의 작동으로 챔버 내부를 진공으로 만들어 주기 위는 랙은 챔버의 바닥면 아래에 설치되는데, 챔버와 진공 펌프와의 연결은, 펌프의 상부로 올라가는 배관을 통하여 공기를 흡입한다

종래의 랙은 그 진공펌프의 규격에 맞추어 제작되므로 펌프의 종류 및 크기 및 규격에 따라 항상 다르게 설계하여 랙을 제작하여야 하므로 매우 불편하고 비용도 많이 소요되는 단점이 있다

또한 종래의 랙은 그 구조가 견고하지 못한 단점도 있으며, 고정된 펌프의 교환 및 수리시에 그 작업이 매우 어렵고 불편한 단점이 있다

한가지 예를 들어, 진공 펌프에는 게이트 밸브가 설치되는데, 폄프 교체시 이 게이트 밸브를 닫고 펌프를 교체하는바, 종래 경우 이 게이트 밸브를 랙에 한번 고정 설치하면 교환 수리시 게이트 밸브의 탈부착이 매우 어렵고 시간이 많이 소요된다

또한 종래의 랙 구조는 그 프레임의 높이가 높아 이동 및 펌프 설치시 많은 제약을 받는다.

비록 펌프의 설치가 완료되었다 하여도 펌프에서 연장되어 상부로 올라가는 배관의 위치가 일치 하지 않을 경우 그 위치 조절이 매우 힘들고, 이를 해결하기 위해, 별도의 배관을 제작하여 설치하여야 하는 등 여러 가지 어려움이 많다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 발명한 것으로, 펌프의 규격이나 사이즈 종류에 따라 가변적으로 장착할 수 있는 랙을 제공하는데 본 발명의 목적이 있다.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 주요 구성은, 컨트롤 용의 파워박스를 포함하며, 여러 대의 진공펌프를 프레임에 설치를 위한 랙의 구조에 있어서, 상부에 상부 프레임(3)을 갖는 랙(1)과, 상기한 랙(1)의 상부프레임(3) 위에 전후 이동시켜 조립 가능한 가변 프레임(2)을 갖춘 것을 특징으로 하며, 상기한 가변 프레임(2)과 상부프레임(3) 사이에는 취부구(4)를 설치하여, 체결구(5)로 조립되게 구성하여, 가변프레임(2)을 전후로 위치 이동 시킨 후, 체결구(5)로 고정하는 것을 특징으로 하며, 상기한 가변프레임(2)은, 상부틀(12)과 하부틀(6)을 갖는 프레임 구조로 이루어지며, 상부틀(12)에는 좌우로 이동시켜 고정 가능한 이송구(11)를 설치한 것을 특징으로 하며, 상기한 이송구(11) 상부로는 브라켓(10)을 설치하고, 브라켓에는 홀더(9)를 설치하여, 홀더(9)가 진공펌프의 상배관(8)을 고정할 수 있게 구성하며, 이송구(11)의 하부로는 고정구(13)를 체결구(14)로 착탈 가능하게 체결하여, 진공펌프의 게이트밸브(16)를 고정할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하며, 진공 펌프의 컨트롤을 위한 파워 박스(23)는, 랙(1)의 프레임에 볼트(24)로 고정 및 분리 가능하게 구성하여, 랙의 전후, 좌우 원하는 위치에 취부할 수 있게 구성한 것을 특징으로 한다.

상기한 특징 외의 다른 특징 및 구성에 대하여, 이하, 첨부 도면에 의거 추가로 상술한다

도 1 은 본 발명에 따른 장치의 주요 부분에 대한 도면이다

도시한 바와 같이, 본 발명에서는 랙(1) 위에 가변프레임(2)을 설치할 수 있게 하였다. 가변 프레임(2)은 랙(1)의 상부프레임(3) 상에 설치된다. 그 가변프레임(2)의 고정은 도 2 에서 보듯이, 가변프레임(2)의 하부틀(6)에 취부구(4)를 사용하여 체결구(5)로 체결하는 구조로 고정한다. 취부구(4)는 랙(1)의 상부프레임(3) 을 감싸는 형상으로 이루어진다.

만약 가변프레임(2)을 필요에 따라 상부프레임(3) 위에서 이동시키고자 할 경우, 체결구(5)를 풀어서 가변프레임(2)을 전후진 시켜 위치 변경한 후 고정 가능하다.

도 1 에서 보듯이, 진공펌프의 상부로 올라오는 상배관(8)은 가변프레임(2)의 상부틀(12)에 장착된 홀더(9)에 의해 고정된다. 상배관(8) 상부로는 도시하지 않은 다른 연결 배관이 연결되어, 그 상부의 천정을 뚫고 반도체 챔버와 연결된다

홀더(9)는 브라켓(10)에 연결되고 브라켓(10)은 이송구(11)와 연결된다. 이송구(11)는 상부틀(12)을 감싸는 식으로 구성되며 상하로 양분되어 있어 볼트 등의 체결구로 체결 및 해체가 가능하다. 이송구(11) 아래에는 고정구(13)가 체결구(14)에 의해 나사 체결 및 해체 가능하게 이루어진다. 이 고정구(13)에는 게이트밸브(16)가 고정될 수 있게 한다

이송구(11)는 상부틀(12)에서 좌우로 이송이 가능하다. 이송구(11)를 체결하는 볼트를 풀어서 상부틀(12)에서 좌 또는 우로 이송 시킨 후, 원하는 그 위치에 볼트로 체결하면 고정될 수 있다. 이와 같이하면, 펌프의 놓이는 위치에 따라 그 펌프와 연결된 상배관(8)의 위치도 변동되므로 그 변동되는 위치에 따라 이송구(11)를 이동시켜서 고정 가능하다.

도 3 은 가변 프레임(2)이 상부프레임(3) 위에서 2 개로 구분되어 전후방으로 각각 다른 위치에서 고정되는 것을 예시한 도면이다

도시하는 바와 같이, 펌프의 종류나 설치 위치 변동에 따라 가변프레임(2)을 위치 변동시켜서 상배관(8)과 게이트밸브(16)를 고정시킬 수 있다. 또한 종래의 파워 박스는 랙의 한쪽 측면에 용접된 고정형이어서 필요시 그 위치를 이동시킬 수 없었다

본 발명에서는 파워 박스를 세트로 제작하여 이를 이동 고정할 수 있게 하였다. 즉, 도 4 에서 보듯이, 파워박스(23)를 뒷쪽에 볼트(24)를 이용하여 고정한다. 도 5 는 도 4 의 상태를 파워박스(23)를 정면으로 놓고 본 도면이다

상기한 파워 박스(23)의 고정 위치는 단지 예시적인 것으로 그 외 측면에도 볼트로 고정할 수 있다.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 진공펌프의 종류 및 크기 및 규격에 따라 항상 다르게 설계하여 랙을 제작할 필요가 없어 설치 비용과 설치를 위한 공수를 획기적으로 절감할 수 있다

또한 착탈식의 구조와 위치 이동 가능한 구조로 인해, 펌프의 부품들을 교환 및 수리시에 그 작업이 매우 편리하다

예를 들어, 폄프 교체시 게이트 밸브를 닫고 펌프를 교체하는바, 종래 경우 이 게이트 밸브를 랙에 한번 고정 설치하면 교환 수리시 게이트 밸브의 탈부착이 시간이 많이 소요되고 지극히 어려우나, 본 발명에 의하면 고정구(13)의 탈부착으로 손쉽게 교환 가능하다

또한 가변프레임(2)의 상부틀(12)과 하부틀(6)은 종래 구조에서 발생되는 하중에 의한 처짐을 방지하여 준다.

또한 랙이 종래와 동일한 높이의 구조물이라 하여도, 본 발명에 따른 상부의 가변프레임(2)은 이동 및 분리가 가능하므로 필요시 위치 이동 및 분리로 랙의 높이를 낮출 수 있어 이동 및 설치에 있어서 매우 편리하다

Claims (5)

1. 컨트롤 용의 파워박스를 포함하며, 여러 대의 진공펌프를 프레임에 설치를 위한 랙의 구조에 있어서,

   상부에 상부 프레임(3)을 갖는 랙(1)과,

   상기한 랙(1)의 상부프레임(3) 위에 전후 이동시켜 조립 가능한 가변 프레임(2)을 갖춘 것을 특징으로 하는 반도체용 진공펌프의 랙 구조
2. 제 1 항에 있어서,

   상기한 가변 프레임(2)과 상부프레임(3) 사이에는 취부구(4)를 설치하여, 체결구(5)로 조립되게 구성하여, 가변프레임(2)을 전후로 위치 이동 시킨 후, 체결구(5)로 고정하는 것을 특징으로 하는 반도체용 진공펌프의 랙 구조
3. 제 1 항에 있어서,

   상기한 가변프레임(2)은, 상부틀(12)과 하부틀(6)을 갖는 프레임 구조로 이루어지며, 상부틀(12)에는 좌우로 이동시켜 고정 가능한 이송구(11)를 설치한 것을 특징으로 하는 반도체용 진공펌프의 랙 구조
4. 제 3 항에 있어서,

   상기한 이송구(11) 상부로는 브라켓(10)을 설치하고, 브라켓에는 홀더(9)를 설치하여, 홀더(9)가 진공펌프의 상배관(8)을 고정할 수 있게 구성하며, 이송구(11)의 하부로는 고정구(13)를 체결구(14)로 착탈 가능하게 체결하여, 진공펌프의 게이트밸브(16)를 고정할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하는 반도체용 진공펌프의 랙 구조
5. 제 1 항에 있어서,

   진공 펌프의 컨트롤을 위한 파워 박스(23)는, 랙(1)의 프레임에 볼트(24)로 고정 및 분리 가능하게 구성하여, 랙의 전후, 좌우 원하는 위치에 취부할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하는 반도체용 진공펌프의 랙 구조

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