KR20080055176A - 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

액정 표시장치용 러빙 공정에서 글래스 기판의 틀어짐을 정밀하게 보정함으로써, 배향막의 광축 틀어짐을 방지하고, 대비비(CR) 저하에 의한 불량을 방지할 수 있는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법이 개시된다. 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치는, 글래스 기판에 러빙을 실시하기 위해, 글래스 기판을 안착 및 고정시키는 러빙 스테이지(Rubbing Stage); 러빙 스테이지 상에 안착되는 글래스 기판의 위치를 정렬하는 정렬 핀; 및 러빙 스테이지 하부에 설치되며, 정렬 핀과 결합하여 정렬 핀을 종방향 또는 횡방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함한다.
액정 표시장치, 러빙 스테이지, 정렬 핀, 글래스 기판, 실린더

Description

러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법{Apparatus for Aligning Glass Substrate of Rubbing Stage, and Method thereof}
도 1은 일반적인 액정 표시장치용 러빙 공정에서 글래스 기판의 이송 경로를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치를 나타내는 도면이다.
도 4는 러빙 방향 정렬을 위한 턴 정렬 유닛의 동작을 나타내는 도면이다.
도 5는 이송 로봇이 글래스 기판을 러빙 유닛으로 이동시키는 것을 나타내는 도면이다.
도 6은 글래스 기판에 러빙을 실시하기 위해서 리프트 핀을 이용하여 글래스 기판을 안착 및 고정시키는 동작을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀이 형성된 러빙 스테이지의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀이 형성된 러빙 스테이지의 정면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀의 구동을 나타내는 도 면이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
110: 글래스 기판 120: 턴 정렬 유닛의 정렬 핀
130: 로봇 팔 140: 러빙 스테이지
151, 152: 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 핀
160, 170: 구동 유닛
본 발명은 액정 표시장치용 제조 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 액정 표시장치용 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD)의 제조 방법은 LCD용 글래스 기판을 가공하기 위한 다수의 단위 공정을 포함한다. LCD용 글래스 기판의 단위 공정들은 LCD 장치의 생산성을 증대시키기 위하여 대부분 자동화 시스템으로 이루어지고 있다. 이에 따라, 특정 설비에서 특정 단위 공정으로 가공된 LCD용 글래스 기판은 카세트(cassette)에 보관된 상태로 이송 로봇에 의해서 다른 단위 공정을 위한 다른 설비로 이송시킨다.
LCD 제조 설비는 LCD용 글래스 기판에 소정의 단위 공정을 수행하는 다수의 인라인 설비를 포함한다. 이때, LCD용 글래스 기판은 다수의 인라인 설비 중에서, 예를 들어, 제1 인라인 설비에서 가공된 후 인접하는 제2 인라인 설비로 이송된다. 이후, LCD용 글래스 기판은 제2 인라인 설비에서 가공된 후, 인접하는 다른 인라인 설비로 이송되는데, 이러한 로드/언로드 과정이 계속 반복된다.
구체적으로, 제1 인라인 설비는 LCD용 글래스 기판을 소정의 단위 공정으로 가공하는 가공부, 상기 가공부로 LCD용 글래스 기판을 로딩하는 로더부, 및 가공부로부터 LCD용 글래스 기판을 언로딩하는 언로더부로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 가공부는 직렬 연결된 다수의 가공 챔버를 포함할 수 있다. 또한, 제1 인라인 설비에서 가공된 LCD용 글래스 기판을 제2 인라인 설비로 이송하기 이전에 언로더부에서는 LCD용 글래스 기판을 정렬하거나, 제2 인라인 설비로 이송된 후 로더부에 LCD용 기판을 정렬하게 된다.
한편, 액정 표시장치는 상부 및 하부 기판 상에 고분자 박막으로 이루어진 배향막을 인쇄하고, 인쇄된 배향막을 예비 건조기와 경화로를 거쳐 소성 처리하게 된다. 이후, 소성 처리된 배향막의 표면을 러빙(rubbing) 처리하게 된다. 이러한 러빙 처리 공정은, 액정의 초기 배향 상태를 결정하기 위해서, 러빙포를 이용하여 배향막을 일정한 방향으로 문질러주는 것으로, 러빙 방향에 따라 액정 분자들이 정렬하게 된다.
그러나, 종래 기술에 따르면, 러빙 공정을 위해 러빙 스테이지로 글래스 기판을 로딩할 때, 글래스 기판 틀어짐이 발생할 수 있고, 즉, 러빙 유닛 로딩시, 글래스 기판 틀어짐에 의해 러빙 각도 틀어짐이 발생하고, 이에 따라 배향막 광 축이 틀어지게 되어 대비비(Contrast Ratio: CR)를 감소시킨다는 문제점이 있다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 액정 표시장치용 러빙 공정에서 글래스 기판의 틀어짐을 정밀하게 정렬함으로써, 배향막의 광축 틀어짐을 방지하고, 대비비(CR) 저하에 의한 불량을 방지할 수 있는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 액정 표시장치용 러빙 공정에서, 글래스 기판 정렬 오류를 방지함으로써 러빙 유닛의 가동률 및 생산성을 향상시킬 수 있는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치는, 글래스 기판에 러빙을 실시하기 위해, 상기 글래스 기판을 안착 및 고정시키는 러빙 스테이지(Rubbing Stage); 상기 러빙 스테이지 상에 안착되는 상기 글래스 기판의 위치를 정렬하는 정렬 핀; 및 상기 러빙 스테이지 하부에 설치되며, 상기 정렬 핀과 결합하여 상기 정렬 핀을 종방향 또는 횡방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 정렬 핀은 상기 러빙 스테이지 상에 형성된 홀을 통해 종방향으로 상승하거나 또는 횡방향으로 이동하여 상기 글래스 기판의 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 정렬 핀은 상기 글래스 기판의 위치를 보정한 후, 원래 위치로 복귀시키는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 구동 유닛은 상기 고정된 정렬 핀을 상기 러빙 스테이지를 따라 종방향 또는 횡방향으로 이동시키는 고정도 가이드 부착 실린더일 수 있다.
여기서, 상기 정렬 핀은, 상기 구동 유닛에 고정된 몸체, 및 상기 몸체 상에 형성되어 상기 글래스 기판에 접촉하는 베어링(Bearing)을 포함할 수 있고, 상기 정렬 핀의 몸체 및 베어링은 PEEK(PolyEtherEtherKetone) 재질인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 방법은, 글래스 기판의 러빙 방향을 맞추기 위해 글래스 기판을 정렬하는 단계; 상기 글래스 기판을 러빙 스테이지 상으로 이동시키는 단계; 상기 러빙 스테이지에 형성된 리프트 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 흡착시키는 단계; 및 상기 러빙 스테이지에 형성된 복수의 정렬 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 안착 및 고착시키는 단계를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 복수의 정렬 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 안착 및 고착시키는 단계는, 상기 글래스 기판의 틀어짐을 보정하도록 상기 정렬 핀을 종방향으로 상승시키거나 또는 횡방향으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 복수의 정렬 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 안착 및 고착시키는 단계는, 상기 글래스 기판의 위치를 보정한 후, 원래 위치로 복귀시키는 것 을 특징으로 한다.
여기서, 상기 종방향은 Z축으로 상승 및 하강하는 방향이고, 상기 횡방향은 X축 및 Y축으로 수평 이동하는 방향인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 정렬 핀은 고정도 가이드 부착 실린더와 결합하고, 상기 고정도 가이드 부착 실린더의 구동에 의해 종방향으로 상승하거나 횡방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법을 상세히 설명한다.
본 발명의 실시예로서, 러빙 스테이지부에 정밀 정렬 핀을 설치하여 글래스 기판 로딩시에 발생하는 틀어짐을 사전에 방지함으로써, 대비비(CR)를 향상시키기 위한 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치 및 그 방법이 개시된다. 즉, 러빙 진행 전에 러빙 스테이지에 형성된 정밀 정렬 핀을 이용하여 글래스 기판 정렬을 실시하고, 이를 통해 글래스 기판 틀어짐 보정하게 된다.
도 1은 일반적인 액정 표시장치용 러빙 공정에서 글래스 기판의 이송 경로를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 액정 표시장치용 러빙 공정의 글래스 기판의 이송 경로, 즉, 러빙 라인에서 글래스 기판 이송 경로는 턴(Turn) 정렬 유닛(20) -> 이송 로봇(Transfer Robot: 10) -> 러빙 유닛(30, 40)으로 향하게 된다.
먼저, 턴 정렬 유닛(20)은 러빙 방향을 맞추기 위하여 글래스 기판을 회전시키거나, 또는 정렬 핀을 이용하여 정렬을 실시하게 된다. 이러한 턴 정렬시 정렬 핀에 기인하여 글래스 기판의 틀어짐이 발생할 수 있다. 이때, 글래스 기판의 정렬 오차는 ±1.0mm 범위가 된다. 또한, 상기 턴 정렬 유닛(20)의 정렬 핀은 글래스 기판을 개략적으로 정렬하는데 사용된다.
다음으로, 이송 로봇(10)은 턴(Turn)한 글래스 기판을 러빙 유닛(30, 40)으로 이동시키게 되는데, 이송 로봇(10)의 반복 정도와 진공(Vacuum) 상태를 유지하는데 기인하여 ±0.2mm 정도의 오차가 발생할 수 있다.
또한, 러빙 유닛(30, 40)은 상기 글래스 기판에 러빙을 하기 위해 리프트 핀(Lift Pin), 즉 업/다운 핀(Up/Down Pin)을 이용하여 진공(Vacuum) 흡착을 실시함으로써, 상기 글래스 기판을 안착 및 고정시키게 된다. 이때, 러빙 유닛(30, 40) 내의 러빙 스테이지에 상기 글래스 기판을 안착시킬 때, 상기 리프트 핀에 의해 오차가 발생하거나, 또는 진공 상태를 해제할 때 정렬 오차가 발생하게 된다.
다시 말하면, 러빙 로딩 전까지 글래스 기판 틀어짐이 다양한 단위 공정 단계에서 발생할 수 있는데, 본 발명의 실시에에서는 배향막 광 축 관리를 위해서 상기 글래스 기판 틀어짐을 추가적으로 보정하게 된다. 즉, 러빙 스테이지에 정렬 핀을 설치하고, 글래스 기판을 정밀 정렬하게 된다.
한편, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지(140)는 복수의 정렬 핀이 형성되며, 도면부호 A로 도시된 바와 같이, 상기 정렬 핀은 러빙 스테이지(140) 상에 형성된 홀을 따라 종방향 또는 횡방향으로 이동하게 된다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치는, 글래스 기판(110), 러빙 스테이지(140), 정렬 핀(151) 및 구동 유닛(160)을 포함할 수 있다.
러빙 스테이지(140)는 글래스 기판(110)에 러빙을 실시하기 위해, 상기 글래스 기판(110)을 안착 및 고정시키게 된다.
정렬 핀(151)은 상기 러빙 스테이지(140) 상에 안착되는 상기 글래스 기판(110)의 위치를 정밀하게 정렬하게 된다.
여기서, 상기 정렬 핀(151)은 상기 러빙 스테이지(140) 상에 형성된 홀을 통해 종방향으로 상승하거나 또는 횡방향으로 이동하여 상기 글래스 기판(110)의 위치를 보정하게 된다. 이후, 상기 정렬 핀(151)은 상기 글래스 기판(110)의 위치를 보정한 후, 원래 위치로 복귀하게 된다.
또한, 상기 정렬 핀(151)은, 상기 구동 유닛(160)에 고정된 몸체, 및 상기 몸체 상에 형성되어 상기 글래스 기판에 접촉하는 베어링(Bearing)을 포함할 수 있고, 상기 정렬 핀(151)의 몸체 및 베어링은 PEEK(PolyEtherEtherKetone) 재질일 수 있다. 여기서, PEEK는 내열, 내화학 및 강성 재질이다.
구동 유닛(160)은 상기 러빙 스테이지(140) 하부에 설치되며, 상기 정렬 핀(151)과 결합하여 상기 정렬 핀(151)을 종방향 또는 횡방향으로 이동시키게 된다.
여기서, 구동 유닛(160)은 상기 고정된 정렬 핀(151)을 상기 러빙 스테이지(140)를 따라 종방향 또는 횡방향으로 이동시키는 고정도 가이드 부착 실린더일 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치는, 러빙 스테이지(140)에 정밀 정렬 핀(151)을 설치하여 글래스 기판(110)의 틀어짐을 보정함으로써, 배향막 광 축의 틀어짐에 의한 대비비 저하 발생을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 방법은, 글래스 기판의 러빙 방향을 맞추기 위해 글래스 기판을 정렬하고, 상기 글래스 기판을 러빙 스테이지 상으로 이동시키게 된다. 이후, 상기 러빙 스테이지에 형성된 리프트 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 흡착시키며, 상기 러빙 스테이지에 형성된 복수의 정렬 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 안착 및 고착시키게 된다.
도 4는 러빙 방향 정렬을 위한 턴 정렬 유닛의 동작을 나타내는 도면이고, 도 5는 이송 로봇이 글래스 기판을 러빙 유닛으로 이동시키는 것을 나타내는 도면이다. 또한, 도 6은 글래스 기판에 러빙을 실시하기 위해서 리프트 핀을 이용하여 글래스 기판을 안착 및 고정시키는 동작을 나타내는 도면이다.
먼저, 도 4를 참조하면, 러빙 방향을 맞추기 위하여 글래스 기판(110)을 회전시키거나, 또는 정렬 핀(120)을 이용하여 정렬을 실시하게 된다. 이러한 턴 정렬시 정렬 핀(120)에 기인하여 글래스 기판(110)의 틀어짐이 발생할 수 있다.
다음으로, 도 5를 참조하면, 턴(Turn)한 글래스 기판(110)을 러빙 유닛으로 이동시키게 되는데, 이때, 이송 로봇의 반복 정도와 진공 상태를 유지하는데 기인하여 정렬 오차가 발생할 수 있다. 여기서, 도면부호 130은 이송 로봇의 로봇 팔을 나타낸다.
또한, 도 6을 참조하면, 상기 글래스 기판(110)에 러빙을 하기 위해 리프트 핀(Lift Pin; 141), 즉 업/다운 핀(Up/Down Pin)을 이용하여 진공(Vacuum) 흡착을 실시함으로써, 상기 글래스 기판(110)을 안착 및 고정시키게 된다. 이때, 러빙 스테이지(140)에 상기 글래스 기판(110)를 안착시킬 때, 상기 리프트 핀(141)에 의해 정렬 오차가 발생하거나, 또는 진공 상태를 해제할 때 정렬 오차가 발생하게 된다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀이 형성된 러빙 스테이지의 평면도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀이 형성된 러빙 스테이지의 정면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀이 형성된 러빙 스테이지(140)는 복수의 정렬 핀(151, 152)을 이용하여 상기 글래스 기판(110)을 안착 및 고착시키게 된다.
본 발명의 실시예에서, 정렬 핀(151, 152)은 16개가 사용되는 것을 나타내고 있지만, 이에 국한되는 것은 아니다. 또한, 정렬 핀(151, 152)은 종방향 또는 횡방향으로 글래스 기판(110)의 위치를 개별 제어하게 된다.
즉, 러빙 스테이지(140)에 글래스 기판(110)를 로딩할 때, 8개의 정렬 핀(151)은 Z축으로 상승하여 상기 글래스 기판(110)의 수직 위치를 정렬하고, 이후, 8개의 정렬 핀(152)은 X축 및 Y축으로 수평 이동하여 상기 글래스 기판(110)의 수평 위치를 정렬하게 되며, 이후 상기 정렬 핀(151, 152)은 모두 원래 위치로 복귀하게 된다. 즉, 상기 글래스 기판(110)의 틀어짐을 보정하도록 상기 정렬 핀(151, 152)을 종방향으로 상승시키거나 또는 횡방향으로 이동시켜 상기 글래스 기판(110)의 위치를 보정한 후, 원래 위치로 복귀하게 된다.
도 8에서, 상기 정렬 핀(151, 152)은 상기 고정도 구동실린더(160, 170)에 고정된 몸체(151a), 및 상기 몸체(151a) 상에 형성되어 상기 글래스 기판(110)에 접촉하는 베어링(Bearing: 151b)을 포함할 수 있고, 상기 몸체(151a) 및 베어링(151b)은 내열, 내화학 및 강성 재질의 PEEK(PolyEtherEtherKetone)일 수 있다.
한편, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀의 구동을 나타내는 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 정렬 핀(151)은 고정도 가이드 부착 실린더(160)와 결합하고, 상기 고정도 가이드 부착 실린더(160) 의 구동에 의해 종방향으로 상승하거나 횡방향으로 이동하게 된다. 즉, 본 발명의 실시예에서는, 고정도 구동실린더(160)를 사용하여 상기 정렬 핀(151, 152)을 X축, Y축 및 Z축으로 각각 이동시킴으로써, 상기 글래스 기판(110)의 틀어짐을 보정하게 된다. 상기 종방향은 Z축으로 상승 및 하강하는 방향이고, 상기 횡방향은 X축 및 Y축으로 수평 이동하는 방향이다.
여기서, 상기 정렬 핀(151)을 X축, Y축 및 Z축으로 각각 이동시키는 구동 유닛으로서, 고정도 구동실린더(160)를 사용하지만, 이에 국한 되는 것은 아니다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 액정 표시장치용 러빙 공정에서 글래스 기판의 틀어짐을 정밀하게 정렬함으로써, 배향막의 광축 틀어짐을 방지하고, 대비비(CR) 저하에 의한 불량을 방지할 수 있다. 또한, 글래스 기판 정렬 오류를 방지함으로써 러빙 유닛의 가동률 및 생산성을 향상시킬 수 있다.

Claims (11)

  1. 글래스 기판에 러빙을 실시하기 위해, 상기 글래스 기판을 안착 및 고정시키는 러빙 스테이지(Rubbing Stage);
    상기 러빙 스테이지 상에 안착되는 상기 글래스 기판의 위치를 정렬하는 정렬 핀; 및
    상기 러빙 스테이지 하부에 설치되며, 상기 정렬 핀과 결합하여 상기 정렬 핀을 종방향 또는 횡방향으로 이동시키는 구동 유닛
    을 포함하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정렬 핀은 상기 러빙 스테이지 상에 형성된 홀을 통해 종방향으로 상승하거나 또는 횡방향으로 이동하여 상기 글래스 기판의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 정렬 핀은 상기 글래스 기판의 위치를 보정한 후, 원래 위치로 복귀시키는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 구동 유닛은 상기 고정된 정렬 핀을 상기 러빙 스테이지를 따라 종방향 또는 횡방향으로 이동시키는 고정도 가이드 부착 실린더인 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 정렬 핀은,
    상기 구동 유닛에 고정된 몸체, 및
    상기 몸체 상에 형성되어 상기 글래스 기판에 접촉하는 베어링(Bearing)
    을 포함하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 정렬 핀의 몸체 및 베어링은 PEEK(PolyEtherEtherKetone) 재질인 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 장치.
  7. 글래스 기판의 러빙 방향을 맞추기 위해 글래스 기판을 정렬하는 단계;
    상기 글래스 기판을 러빙 스테이지 상으로 이동시키는 단계;
    상기 러빙 스테이지에 형성된 리프트 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 흡착시키는 단계; 및
    상기 러빙 스테이지에 형성된 복수의 정렬 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 안착 및 고착시키는 단계
    를 포함하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 정렬 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 안착 및 고착시키는 단계는, 상기 글래스 기판의 틀어짐을 보정하도록 상기 정렬 핀을 종방향으로 상승시키거나 또는 횡방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 정렬 핀을 이용하여 상기 글래스 기판을 안착 및 고착시키는 단계는, 상기 글래스 기판의 위치를 보정한 후, 원래 위치로 복귀시키는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 종방향은 Z축으로 상승 및 하강하는 방향이고, 상기 횡방향은 X축 및 Y축으로 수평 이동하는 방향인 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 정렬 핀은 고정도 가이드 부착 실린더와 결합하고, 상기 고정도 가이드 부착 실린더의 구동에 의해 종방향으로 상승하거나 횡방향으로 이동하는 것을 특징 으로 하는 러빙 스테이지의 글래스 기판 정렬 방법.
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