KR20080054199A - 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법 - Google Patents

이미지형성체와 그 제조장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20080054199A
KR20080054199A KR1020060126475A KR20060126475A KR20080054199A KR 20080054199 A KR20080054199 A KR 20080054199A KR 1020060126475 A KR1020060126475 A KR 1020060126475A KR 20060126475 A KR20060126475 A KR 20060126475A KR 20080054199 A KR20080054199 A KR 20080054199A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
image drum
image
substrate
drum
insulating layer
Prior art date
Application number
KR1020060126475A
Other languages
English (en)
Inventor
최진승
백계동
문창렬
윤응률
신규호
신수호
권기환
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060126475A priority Critical patent/KR20080054199A/ko
Publication of KR20080054199A publication Critical patent/KR20080054199A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/05—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for imagewise charging, e.g. photoconductive control screen, optically activated charging means
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/22—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern involving the combination of more than one step according to groups G03G13/02 - G03G13/20
    • G03G15/34—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern involving the combination of more than one step according to groups G03G13/02 - G03G13/20 in which the powder image is formed directly on the recording material, e.g. by using a liquid toner
    • G03G15/344—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern involving the combination of more than one step according to groups G03G13/02 - G03G13/20 in which the powder image is formed directly on the recording material, e.g. by using a liquid toner by selectively transferring the powder to the recording medium, e.g. by using a LED array
    • G03G15/348—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern involving the combination of more than one step according to groups G03G13/02 - G03G13/20 in which the powder image is formed directly on the recording material, e.g. by using a liquid toner by selectively transferring the powder to the recording medium, e.g. by using a LED array using a stylus or a multi-styli array
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/75—Details relating to xerographic drum, band or plate, e.g. replacing, testing
    • G03G15/751—Details relating to xerographic drum, band or plate, e.g. replacing, testing relating to drum

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)

Abstract

제작공정을 간소화하여 원가를 절감하고 생산성을 향상 시킬 수 있는 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법이 개시된다. 이미지형성체는 이미지드럼, 미세 슬릿이 형성된 마스크부재 및 증착입자 소스를 차례로 배치하는 단계, 미세 슬릿을 이용하여 증착입자 소스로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계, 통과된 증착입자를 이용하여 이미지드럼 상에 링 전극을 형성하는 단계에 의해 제조될 수 있다.
이미지형성체, 이미지드럼, 마스크부재, 증착입자 소스, 링 전극

Description

이미지형성체와 그 제조장치 및 방법{IMAGE FORMING ELEMENT AND ITS MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD}
도 1은 종래 이미지형성장치의 구조를 도시한 측면도이다.
도 2는 종래 이미지형성체의 구조를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 이미지형성체의 외벽 일부를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 이미지형성체의 제조방법을 설명하기 위한 블록도이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 이미지형성체의 제조공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명에 따른 이미지형성체의 제조방법으로서, 절연층 및 기판의 제조공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체의 구조를 도시한 사시도 및 단면도이다.
도 14는 본 발명에 따른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체로서, 기판의 구조를 도시한 사시도이다.
도 15는 본 발명에 따른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체가 적용된 이미지형성장치의 구조를 도시한 측면도이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지형성체의 제조방법을 설명하기 위한 블록도이다.
도 17은 본 발명의 다른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체의 구조를 도시한 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
11 : 토너 100 : 이미지형성장치
110 : 이미지형성체 120 : 이미지드럼
121 : 절연층 122 : 링 전극
123 : 절연막 130 : 기판
132 : 연결패턴 140 : 토너공급부
150 : 마그네틱 커터 160 : 토너귀환부
170 : 이미지 전달부 200 : 마스크부재
210 : 슬릿 300 : 증착입자 소스
400 : 드럼구동부 500 : 진공챔버
본 발명은 이미지 형성을 위해 토너를 선택적으로 흡착하는 이미지형성체에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 제작공정을 간소화하여 원가를 절감하고 생산성을 향상 시킬 수 있는 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법에 관한 것이다.
도 1은 종래 링 컨덕터를 이용한 이미지형성장치의 구조를 도시한 측면도이고, 도 2는 종래 이미지형성장치의 구조를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 이미지형성체의 외벽 일부를 도시한 단면도이다. 도 2 및 도 3의 이미지형성체는 미국특허 제6,014,157호에 개시되어 있다.
도 1 내지 도 3에서 도시한 바와 같이, 종래 이미지형성장치는 토너공급부(40), 상기 토너공급부(40)로부터 정전력에 의해 토너(1)가 흡착되는 이미지형성체(10), 상기 이미지형성체(10)에 흡착된 토너(1) 중 일부를 분리시키는 마그네틱 커터(50), 상기 마그네틱 커터(50)에 의해 분리된 토너(1)를 상기 토너공급부(40)로 귀환시키는 토너귀환부(60)를 포함한다.
토너공급부(40)는 토너공급롤러(42)를 이용하여 토너저장부(41)로부터 토너(1)를 공급하며, 이미지형성체(10)는 이미지드럼(12) 및 그 표면에 형성된 복수개의 링 전극(14)을 포함한다. 또한, 상기 이미지드럼(12)의 내주면에는 각 링 전극(14)에 독립적으로 전압을 인가하기 위한 제어유닛(16)이 설치되고, 이미지드럼(12)의 외부로는 이미지형성체(10)에 흡착된 토너(1)를 분리시킬 수 있는 마그네틱 커터(50)가 제공된다.
이러한 구성에 의해 토너공급부(40)로부터 이미지형성체(10)로 전달된 토너 중 일부는 마그네틱 커터(50)를 통해 이미지형성체(10)로부터 분리될 수 있고, 이미지형성체(10) 상에 잔류된 토너는 이미지 전달부(70)를 거쳐 최종적으로 인쇄 용지로 전달될 수 있으며, 인쇄 용지가 열처리됨으로써 인쇄 용지에 고착될 수 있다.
그런데, 종래 이미지형성장치에 있어서는 이미지형성체(10)의 제조 및 보수 가 용이하지 못하고 막대한 비용이 발생되는 문제점이 있다. 특히, 이미지형성체(10)의 링 전극(14)은 요구되는 해상도 등에 따라 다양하게 설계될 수 있지만, 600dpi정도의 해상도를 구현하기 위한 링 전극을 형성하기 위해서는 정밀한 절삭기구를 이용하여 이미지드럼(12)의 표면에 대략 20㎛의 폭을 갖는 홈을 42.3㎛의 주기로 균일하게 형성하여야 한다. 하지만, 원통형 이미지드럼(12)의 표면에 미세 간격의 홈을 균일하게 형성하는 과정이 매우 어렵기 때문에 이미지형성체(10)를 제조하기 위한 비용이 증가하게 되며, 불량 발생률이 높아지는 문제점이 있다. 또한, 각 링 전극(14)과 내부의 제어유닛(16)을 전기적으로 연결하기 위해서는 이미지드럼(12)의 내부 및 외부에 서로 연통되는 홀을 각각 형성하고, 그 안에 일일이 도전성 물질을 충전하는 등 관련된 제조 공정이 매우 복잡하고 어려운 문제점이 있다. 이에 따른 제작공수의 증가로 많은 비용과 시간이 소모되는 문제점이 있고, 그 결과 이미지형성장치가 적용된 프린터는 너무 고가이어서 대중화되기 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출한 것으로서, 제작공정을 간소화하여 원가를 절감하고 생산성을 향상 시킬 수 있는 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
특히, 본 발명은 금속증착 방법에 의해 링 전극이 형성될 수 있게 함으로써, 마이크로미터 크기 단위의 링 전극을 용이하게 형성할 수 있는 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 제조원가를 낮출 수 있고, 대량생산이 가능하며 공정 수율을 향상 시킬 수 있는 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 링 전극의 정밀도를 향상 시킬 수 있으며, 불량 발생률을 저감시킬 수 있는 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 링 전극과 각 링 전극을 전기적으로 제어하기 위한 소자간의 전기적 연결 구조를 단순화할 수 있는 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 이미지형성체는 이미지드럼, 미세 슬릿이 형성된 마스크부재 및 증착입자 소스를 차례로 배치하는 단계, 미세 슬릿을 이용하여 증착입자 소스로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계, 통과된 증착입자를 이용하여 이미지드럼 상에 링 전극을 형성하는 단계에 의해 제조될 수 있다.
앞서 언급한 바와 같이, 종래 이미지드럼의 표면에 링 전극들을 형성하기 위해서는, 정밀한 절삭기구를 이용하여 홈을 촘촘히 형성하고, 이미지드럼의 내부 및 외부에서 관통 홀을 형성하여야 하며, 산화 피막을 형성한 뒤 홈 및 홀에 도전성 물질을 충전하여야 하는 등 복잡한 과정들을 거쳐야 한다. 특히, 원통형의 표면에 대략 20㎛의 홈을 대략 42.3㎛의 피치로 균일하게 형성하여야 하는 과정은 매우 어 렵기 때문에, 이미지형성체의 제조 비용이 크게 증가되고, 불량 발생율이 높아지는 등의 문제가 있다.
그러나, 본 발명에 따른 이미지형성체의 제조방법은 별도의 절삭가공을 배제하고 금속증착 공정에 의해 이미지드럼의 외주면에 증착입자가 증착되게 함으로써 마이크로미터 크기 단위의 링 전극들을 용이하게 형성할 수 있다.
마스크부재는 증착입자 소스로부터 분리된 증착입자가 이미지드럼 상에 일정 배열 형태로 증착될 수 있도록 가이드하기 위한 것으로, 마스크부재에는 증착입자가 통과되며 가이드될 수 있도록 미세 슬릿이 관통 형성된다. 일 예로 미세 슬릿은 라인 형상으로 일정 간격을 두고 이격되게 복수개가 형성될 수 있다.
본 발명에서 증착입자 소스라 함은 통상의 증발 또는 스퍼터링 방법에 의해 금속 재료로부터 금속 재질의 증착입자가 방출될 수 있도록 한 수단을 의미한다. 경우에 따라서는 증발 또는 스퍼터링 이외의 방법을 통해 금속 재료로부터 금속 재질의 증착입자를 방출할 수 있는 증착입자 소스를 본 발명에 적용할 수 있다.
증착입자가 미세 슬릿을 통과하는 단계에서 이미지드럼은 종축을 중심으로 회전할 수 있다. 이미지드럼이 종축을 중심으로 회전함에 따라 미세 슬릿을 통과한 증착입자가 이미지드럼의 외주면에 단계적으로 증착되며 연속적으로 이어진 링 형상의 링 전극이 형성될 수 있다. 경우에 따라서는 이미지드럼의 외주면에 링 형상의 링 전극이 한번에 형성되도록 구성할 수도 있다.
이미지드럼의 외주면에는 절연층이 형성될 수 있으며, 절연층은 요구되는 조건에 따라 다양한 재질 및 방법으로 형성될 수 있다. 경우에 따라서는 별도의 절연 층을 배제하고 이미지드럼 자체를 절연체로 형성할 수 있다.
또한, 이미지드럼은 연결패턴이 형성된 기판을 포함하여 제공될 수 있으며, 기판은 연결패턴의 일단이 이미지드럼의 외부로 노출되도록 이미지드럼 상에 설치된다. 기판은 플렉시블(flexible)한 재질로 형성될 수 있으며, 연결패턴은 미세한 간격을 두고 이격되게 미세 패턴 형태로 형성된다. 이러한 기판으로서는 통상의 연성회로기판(Flexible Printed Circuits Board ; FPCB)이 사용될 수 있으며, 경우에 따라서는 미세 패턴 형태의 연결패턴을 형성 가능한 경성 재질로도 기판을 형성할 수 있다. 또한, 기판에는 링 전극의 전기적 제어를 위한 제어소자가 간접 또는 직접적으로 제공될 수 있다.
증착입자 소스로부터 방출된 증착입자는 이미지드럼의 외주면에 증착되며 링 전극을 형성함과 동시에 이미지드럼의 외부로 노출되는 연결패턴에 전기적으로 연결된다. 이때, 연결패턴은 이미지드럼의 외주면에 형성된 링 전극과 동일한 폭을 가지며 동일한 주기로 이격되게 형성되어 각 링 전극과 일대일 대응되게 전기적으로 연결될 수 있다.
전술한 바와 같이 미세 슬릿을 통과한 증착입자는 이미지드럼의 외주면에 증착되며 링 전극을 형성할 수 있다. 경우에 따라서는 미세 슬릿을 통과한 증착입자가 이미지드럼에 증착되며 시드층을 형성할 수 있고, 링 전극은 시드층 상에 형성될 수 있다. 다시 말해 미세 슬릿을 통과한 증착입자는 이미지드럼에 증착되며 그 자체가 링 전극을 형성할 수 있고, 다르게는 미세 슬릿을 통과한 증착입자가 시드층을 형성하는데 이용될 수 있다.
본 발명의 따른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체는 토너공급부, 마그네틱 커터, 토너귀환부를 포함하는 이미지형성장치에 적용될 수 있으며, 경우에 따라서는 토너공급부, 마그네틱 커터, 토너귀환부 중 어느 하나가 배제되거나 다른 수단이 추가로 적용된 이미지형성장치에 본 발명에 따른 이미지형성체가 적용될 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 이미지형성체 제조장치는 진공챔버, 복수개의 미세 슬릿이 형성되며 진공챔버의 내부의 배치되는 마스크부재, 진공챔버의 내부 일측에 배치되는 증착입자 소스, 진공챔버의 내부 다른 일측에 배치되는 이미지드럼을 지지하며 선택적으로 이미지드럼을 회전시키는 드럼구동부를 포함한다.
본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따르면, 이미지형성체는 이미지드럼, 미세 슬릿이 형성된 마스크부재 및 증착입자 소스를 차례로 배치하는 단계, 미세 슬릿을 이용하여 증착입자 소스로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계, 통과된 증착입자를 이미지드럼에 증착시켜 시드층(seed layer)을 형성하는 단계, 도금방법을 이용하여 시드층 상에 링 전극을 형성하는 단계에 의해 제조될 수 있다. 본 발명에서는 시드층 상에 형성되는 링 전극이 도금방법에 의해 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 여타 다른 방법에 의해 시드층 상에 링 전극이 형성되도록 구성할 수 있다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다 른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 이미지형성체의 제조방법을 설명하기 위한 블록도이고, 도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 이미지형성체의 제조공정을 설명하기 위한 도면이다.
또한, 도 9 내지 도 11은 본 발명에 따른 이미지형성체의 제조방법으로서, 절연층 및 기판의 제조공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 4에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 이미지형성체는 이미지드럼, 미세 슬릿이 형성된 마스크부재 및 증착입자 소스를 차례로 배치하는 단계(S100), 상기 미세 슬릿을 이용하여 증착입자 소스로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계(S110), 통과된 상기 증착입자를 이용하여 이미지드럼 상에 링 전극을 형성하는 단계(S120)를 포함하는 공정에 의해 제조될 수 있다.
이미지드럼, 마스크부재, 증착입자 소스를 배치하는 단계(S100)에서는 먼저 도 5와 같이, 마스크부재(200)를 마련한다. 상기 마스크부재(200)는 소정 두께를 갖는 판 형태로 제공된다. 이러한 마스크부재(200)는 단단한 경성 재질로 형성될 수 있으며, 경우에 따라서는 변형 가능한 연성 재질로도 형성될 수 있다.
상기 마스크부재(200)는 증착입자 소스(300)로부터 분리된 증착입자가 이미지드럼 상에 일정 배열 형태로 증착될 수 있도록 가이드하기 위한 것으로, 마스크부재(200)에는 증착입자(310)가 통과되며 가이드될 수 있도록 미세 슬릿(210)이 관통 형성되어 있다. 아울러 상기 미세 슬릿(210)은 라인 형상으로 일정 간격을 두고 이격되게 복수개가 형성될 수 있다. 상기 미세 슬릿(210)은 후술할 링 전극(122)이 고해상도의 이미지를 현상 가능하게 형성될 수 있도록 미세 패턴 형태로 형성된다. 일 예로 상기 미세 슬릿(210)은 주기(P1)보다 작은 폭을 갖도록 형성될 수 있으며, 이러한 미세 슬릿(210)은 2 ~ 85㎛의 주기(P1)로 이격되며 평행하게 제공될 수 있다. 그리고, 상기 미세 슬릿(210)은 통상의 에칭(etching), 기계가공 및 도금공정 등의 통상의 가공방법에 의해 형성될 수 있다.
다음 도 6과 같이, 이미지드럼을 마련한다. 상기 이미지드럼(120)은 최초 알루미늄으로 이루어진 중공의 원통 형상으로 제공되며, 이미지드럼(120)의 외주면에는 절연층(121)이 형성될 수 있다. 이러한 절연층(121)은 파릴렌(parylene)과 같이 전기 절연성이 뛰어난 통상의 폴리머로 형성될 수 있다. 경우에 따라서는 상기 절연층이 아노다이징(Anodizing) 공정에 의한 산화피막층에 의해 형성되도록 구성할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 이미지드럼(120)의 외주면에 별도의 절연층(120)이 제공된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 이미지드럼 자체가 절연물질로 이루어질 수 있으며, 이 경우에는 별도의 절연층이 배제될 수 있다.
그리고, 상기 이미지드럼(120)은 연결패턴(132)이 형성된 기판(130)을 포함하여 제공될 수 있으며, 상기 기판(130)은 연결패턴(132)의 일단이 이미지드럼(120)의 외부로 노출되도록 이미지드럼(120) 상에 설치된다.
상기 연결패턴(132)은 일직선을 이루며 동일평면(coplanar) 상에 배치되도록 기판(130) 상에 서로 이격되게 형성된다. 본 발명에 따른 실시예에서는 연결패턴(132)이 절연성 재질로 이루어진 기판(130)의 내부에 수용된 형태로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 연결패턴(132)의 적어도 일측이 기판(130)의 측면 외부로 노출되도록 형성할 수 있다.
상기 기판(130)은 플렉시블(flexible)한 재질로 형성될 수 있으며, 연결패턴(132)은 미세한 간격을 두고 이격되게 미세 패턴 형태로 형성된다. 일 예로 상기 연결패턴(132)은 미세 슬릿(210)과 대응되게 주기(P2)보다 작은 폭을 갖도록 형성될 수 있다. 상기와 같은 기판(130)으로서는 통상의 연성회로기판(Flexible Printed Circuits Board ; FPCB)이 사용될 수 있으며, 경우에 따라서는 미세 패턴 형태의 연결패턴을 형성 가능한 경성(rigid) 재질로도 기판을 형성할 수 있다.
상기와 같은 기판(130)은 이미지드럼(120)의 내부에 대략 직선상태로 배치될 수 있음은 물론 둥글게 말리며 권취(捲取)된 상태로 배치될 수 있으며, 다르게는 기판(130)이 소정 형태로 접히거나 절곡된 형태로도 배치될 수 있다.
아울러, 전술한 기판(130)은 이미지드럼(120)의 외주면에 형성되는 링 전극(122)과 이미지드럼(120)의 내부를 연결하는 연결매체의 역할을 수행할 수 있으며, 경우에 따라서는 기판(130) 상에 일체로 링 전극(122)의 전기적 제어를 위한 제어소자(도시하지 않음)가 제공될 수 있다. 제어소자가 일체로 구비된 기판(130)은 링 전극(122)과 이미지드럼(120)의 내부를 연결하는 연결매체의 역할을 수행함과 동시에 제어소자와 함께 링 전극(122)을 제어하기 위한 회로를 구성할 수 있다. 여기서 상기 제어소자는 각 링 전극(122)에 각각 독립적으로 전압이 인가될 수 있도록 하기 위한 복수개의 제어칩(예를 들어 주문형반도체(ASIC) 등이 사용될 수 있다)을 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같이 절연층(121) 및 기판(130)을 포함하는 이미지드럼(120)은 다양한 방법에 의해 제공될 수 있으며, 기판(130)의 일단은 이미지드럼(120)의 외부로 노출된 상태로 제공된다.
일 예로, 이미지드럼은 도 9에서 도시한 바와 같이, 이미지드럼(120)의 외주면에 절연층(120)을 형성하는 단계, 이미지드럼(120) 및 절연층(121)을 관통하도록 슬롯(120a)을 형성하는 단계, 슬롯(120a)에 기판(130)을 장착하는 단계에 의해 제공될 수 있다.
이때, 상기 기판(130)은 연결패턴(132)이 외부로 노출될 수 있도록 그 일단이 슬롯(120a)을 통해 외부로 노출되되, 기판(130)의 일단은 절연층(121)의 외주면과 동일 원주상에 배치될 수 있다. 기판(130)의 일단을 절연층(121)의 외주면과 동일 원주상에 배치하기 위한 방법으로서는, 기판(130)의 일단을 절연층(121)의 외주면과 동일 원주상에 정확하게 배치시키는 방법이 있고, 다르게는 기판(130)의 일부가 절연층(121)의 외부로 돌출되도록 배치시킨 후 절연층(121)의 외주면 외측으로 돌출된 부위를 제거하는 방법이 있다.
아울러 상기 슬롯(120a)은 통상의 에칭(etching), 기계가공 및 도금공정 등의 통상의 가공방법에 의해 형성될 수 있다. 상기 슬롯(120a)에 수용된 기판(130)의 배치상태는 기판(130) 및 슬롯(120a)의 사이에 개재되는 고정부재(도시하지 않음)를 통해 고정될 수 있으며, 상기 고정부재는 통상의 접착제에 의해 형성될 수 있다. 경우에 따라서는 별도의 고정부재를 배제하고 기판이 슬롯에 직접 압입 고정되도록 구성할 수도 있다.
다른 일 예로서, 이미지드럼은 도 10에서 도시한 바와 같이, 이미지드럼(120)을 관통하도록 슬롯(120a)을 형성하는 단계, 슬롯(120a)에 상기 기판(130)을 장착하는 단계, 기판(130)의 일단이 외부로 노출되도록 이미지드럼(120)의 외주면에 절연층(121)을 형성하는 단계에 의해 제공될 수 있다.
즉, 기판(130)이 먼저 이미지드럼(120)에 장착되는 바, 상기 기판(130)은 일부가 이미지드럼(120)의 외부로 돌출되도록 배치된다. 다음 이미지드럼(120)의 외주면에 절연층(121)을 형성하게 되는데 이때 역시 기판(130)의 일단이 외부로 노출될 수 있도록 기판(130)의 일단은 절연층(121)의 외부로 돌출된 상태로 배치된다. 그 후 절연층(121)의 외측으로 돌출된 기판(130)의 돌출 부위를 제거함으로써 기판(130)의 일단은 절연층(121)의 외주면과 동일 원주상에 배치될 수 있다.
또 다른 일 예로서, 이미지드럼은 도 11에서 도시한 바와 같이, 이미지드럼(120)을 관통하도록 슬롯(120a)을 형성하는 단계, 슬롯(120a)에 기판(130)을 장착하는 단계, 기판(130) 및 이미지드럼(120)의 외주면에 절연층(121)을 형성하는 단계, 기판(130)이 외부로 노출되도록 절연층(121)을 부분적으로 제거하는 단계에 의해 제공될 수 있다.
즉, 기판(130)이 먼저 이미지드럼(120)에 장착될 수 있으며, 이미지드럼(120)의 외주면에는 이미지드럼(120) 및 기판(130)을 함께 덮도록 절연층(121)이 형성된다. 그 후 절연층(121) 부위 중 기판에 해당되는 일부 부위를 제거함으로써 기판(130)의 일단이 외부로 노출될 수 있다. 이때, 상기 절연층(121)의 부분적인 제거는 통상의 에칭(etching) 또는 기계가공에 의해 이루어질 수 있다. 일 예로 O2 플라즈마 에칭을 통해 절연층을 부분적으로 제거할 수 있다.
그 다음, 통상의 증착입자 소스(300)를 마련한다. 일반적으로 금속물질은 이들 입자끼리의 강한 결합을 끊을 수 있을 정도의 큰 에너지를 외부에서 가해주면 금속물질은 금속입자로 기화 또는 승화하여 주위분위기로 방출될 수 있다. 또 이와 같이 방출된 금속입자들은 피증착면에 닿아 다시 고체로 환원될 수 있으며, 이와 같은 과정을 이용하여 피증착면에 금속물질을 증착하는 방법을 금속증착이라 한다. 통상적인 금속증착 방법(Metal Deposition Method)으로서는 크게 증발에 의한 증착방법(Evaporation Method)과 스퍼터링에 의한 증착방법 (Sputtering Method)이 있다.
본 발명에서 증착입자 소스(300)라 함은 통상의 증발 또는 스퍼터링 방법에 의해 금속 재료로부터 금속 재질의 증착입자(310)가 방출될 수 있도록 한 수단을 의미한다. 물론 경우에 따라서는 증발 또는 스퍼터링 이외의 방법을 통해 금속 재료로부터 금속 재질의 증착입자를 방출할 수 있는 증착입자 소스를 본 발명에 적용할 수 있다.
그 후, 상기와 같이 마련된 이미지드럼(120), 마스크부재(200) 및 증착입자 소스(300)를 위치가 고정되도록 차례대로 배치한다. 이하에서는 도 7 및 도 8과 같이, 일정한 내부 압력을 유지하도록 형성된 통상의 진공챔버(500)의 내부에 마스크부재(200)가 진공챔버(500)의 내부공간을 분할하도록 설치되고, 마스크부재(200)의 상부에는 이미지드럼(120)이 배치되며, 마스크부재(200)의 하부에는 증착입자 소스(300)가 배치된 예를 들어 설명하기로 한다. 경우에 따라서는 마스크부재(200)의 상부에 증착입자 소스(300)가 배치되고 마스크부재(200)의 하부에 이미지드럼(120)이 배치될 수도 있다.
다음, 증착입자가 미세 슬릿을 통과하는 단계(S110)에서는 증발 또는 스퍼터링 방법에 의해 증착입자 소스(300)로부터 분리되어 방출된 증착입자(310)가 마스크부재(200)의 미세 슬릿(210)을 통과하며 일정 배열 형태로 마스크부재(200)의 상부로 배출될 수 있다.
그 후, 링 전극을 형성하는 단계(S120)에서는 마스크부재(200)의 각 미세 슬릿(210)을 통과한 증착입자(310)가 이미지드럼(120)의 외주면에 증착되며 이미지드럼(120) 상에 각각 독립적으로 배치되는 복수개의 링 전극(122)을 형성하게 된다.
아울러 상기 증착입자가 미세 슬릿을 통과하는 단계(S110)에서는 이미지드럼(120)이 종축을 중심으로 회전될 수 있다. 이미지드럼(120)이 종축을 중심으로 회전함에 따라 미세 슬릿(210)을 통과한 증착입자(310)가 이미지드럼(120)의 외주면에 연속적으로 이어지도록 증착되며 최종적으로 링 형상의 링 전극(122)을 형성하게 된다.
전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 상기 이미지드럼(120)이 종축을 중심으로 회전함에 따라 미세 슬릿(210)을 통과한 증착입자(310)가 이미지드럼(120)의 외주면에 단계적으로 증착되며 연속적으로 이어진 링 형상의 링 전극(122)이 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 이미지드럼의 외주면에 링 형상 의 링 전극이 한번에 형성되도록 구성할 수 있다. 일 예로, 마스크부재의 내부에 이미지드럼이 수용될 수 있도록 마스크부재를 대략 중공의 원통 형상으로 형성하고, 원통형 마스크부재의 주벽에 링 형상의 미세 슬릿을 형성할 수 있다. 따라서 링 형상의 미세 슬릿을 통과한 증착입자는 이미지드럼의 외주면에 동시에 증착되며 링 전극을 형성할 수 있다.
한편, 상기와 같이 이미지드럼(120)의 외주면에 증착입자(310)가 증착되며 링 전극(122)이 형성됨과 동시에 상기 링 전극(122)은 이미지드럼(120)의 외부로 노출되는 기판(130)의 연결패턴(132)에 전기적으로 연결된다. 이때, 상기 연결패턴(132)은 이미지드럼(120)의 외주면에 형성되는 링 전극(122)과 동일한 폭을 가지며 동일한 주기로 이격되게 형성되어 각 링 전극(122)과 일대일 대응되게 전기적으로 연결될 수 있다.
그 후, 상기 각 링 전극(122)의 외주면에 통상의 유전 물질(예를 들어 SiOx)로 이루어진 절연막(123)을 형성함으로써 이미지형성체의 제조가 완료될 수 있다.
아울러, 전술한 제조방법은 진공챔버(500), 마스크부재(200), 증착입자 소스(300), 드럼구동부(400)를 포함하는 이미지형성체 제조장치를 통해 구현될 수 있다. 즉, 도 7 및 도 8과 같이, 이미지형성체 제조장치는 일정한 내부 압력을 유지하도록 형성된 진공챔버(500), 복수개의 미세 슬릿(210)이 형성되며 진공챔버(500)의 내부의 배치되는 마스크부재(200), 상기 진공챔버(500)의 내부 일측에 배치되는 증착입자 소스(300), 상기 진공챔버(500)의 내부 다른 일측에 배치되는 이미지드럼(120)을 지지하며 선택적으로 이미지드럼(120)을 회전시키는 드럼구동부(400)를 포함한다.
상기 마스크부재(200)는 소정 두께를 갖는 판 형태로 제공될 수 있으며, 진공챔버(500)의 내부공간을 분할하도록 대략 진공챔버(500)의 중앙부에 설치된다. 이러한 마스크부재(200)는 단단한 경성 재질 또는 변형 가능한 연성 재질로 형성될 수 있다. 상기 마스크부재(200)는 증착입자 소스(300)로부터 분리된 증착입자(310)가 이미지드럼(120) 상에 일정 배열 형태로 증착될 수 있도록 가이드하기 위한 것으로, 마스크부재(200)에는 증착입자(310)가 통과되며 가이드될 수 있도록 미세 슬릿(210)이 관통 형성되어 있다. 아울러 상기 미세 슬릿(210)은 링 전극이 고해상도의 이미지를 현상 가능하게 형성될 수 있도록 미세 패턴 형태로 형성된다. 일 예로 상기 미세 슬릿(210)은 주기(P1)보다 작은 폭을 갖도록 형성될 수 있으며, 이러한 미세 슬릿(210)은 2 ~ 85㎛의 주기(P1)로 이격되며 평행하게 제공될 수 있다.
상기 증착입자 소스(300)는 마스크부재(200)의 하부에 배치되며, 증착입자 소스(300)로부터는 통상의 증발 또는 스퍼터링 방법에 의해 증착입자(310)가 분리되어 방출될 수 있다.
상기 드럼구동부(400)는 마스크부재(200)의 상부에 배치되며, 통상의 회전축, 구동력을 발생시키는 구동모터 및 구동모터를 제어하기 위한 제어유닛을 포함할 수 있다. 상기 드럼구동부(400)에 의해 이미지드럼(120)이 회전됨에 따라 이미지드럼(120)의 외주면에는 미세 슬릿(210)을 통과한 증착입자(310)가 단계적으로 증착되며 연속적으로 이어진 링 형상의 링 전극(122)이 형성될 수 있다.
한편, 도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성 체의 구조를 도시한 사시도 및 단면도이고, 도 14는 본 발명에 따른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체로서, 기판의 구조를 도시한 사시도이다.
이와 같은 제조방법 및 제조장치에 의해 제조된 이미지형성체(110)는 도 12 내지 도 14에서 확인할 수 있으며, 이와 같이 형성된 이미지형성체(110)는 이미지형성장치에서 토너를 선택적으로 흡착하기 위한 수단으로 사용될 수 있다.
한편, 도 15는 본 발명에 따른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체가 적용된 이미지형성장치의 구조를 도시한 측면도이다.
도 15에서 도시한 바와 같이, 이하에서는 전술한 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체(110)가 토너공급부(140), 마그네틱 커터(150), 토너귀환부(160)를 포함하는 이미지형성장치(100)에 적용된 예를 들어 설명하기로 한다. 물론 경우에 따라서는 토너공급부, 마그네틱 커터, 토너귀환부 중 어느 하나가 배제되거나 다른 수단이 추가로 적용된 이미지형성장치에 본 발명에 따른 이미지형성체가 적용될 수 있다.
상기 토너공급부(140)는 토너공급롤러(142)를 이용하여 토너저장부(141)로부터 토너(11)를 공급하며, 상기 이미지형성체(110)에는 토너공급부(140)로부터 정전력에 의해 토너(11)가 흡착될 수 있다. 토너공급부(140)로부터 이미지형성체(110)로 전달된 토너 중 일부는 마그네틱 커터(150)를 통해 이미지형성체(110)로부터 분리될 수 있고, 이미지형성체(110) 상에 잔류된 토너는 이미지 전달부(170)를 거쳐 최종적으로 인쇄 용지로 전달될 수 있으며, 그 후 인쇄 용지가 열처리됨으로써 인쇄 용지에 고착될 수 있다. 그리고, 마그네틱 커터(150)에 의해 분리된 토너는 토 너귀환부(160)를 통해 다시 토너공급부(140)로 귀환될 수 있다.
한편, 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지형성체의 제조방법을 설명하기 위한 블록도이고, 도 17은 본 발명의 다른 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체의 구조를 도시한 단면도이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 이미지드럼의 외주면에 직접 증착입자가 증착되며 링 전극이 형성되도록 구성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 이미지드럼의 외주면에 증착입자를 증착시켜 시드층을 형성한 후, 금속 증착방법에 비해 상대적으로 성막속도(deposition rate)가 빠른 도금방법에 의해 시드층 상에 링 전극이 형성되도록 구성할 수 있다.
즉, 도 16 및 도 17에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지형성체는 이미지드럼(120), 미세 슬릿(210)이 형성된 마스크부재(200) 및 증착입자 소스(300)를 차례로 배치하는 단계(S100), 미세 슬릿(210)을 이용하여 증착입자 소스(300)로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계(S110), 통과된 증착입자를 이미지드럼(120)에 증착시켜 시드층(seed layer)(222)을 형성하는 단계(S120'), 도금방법을 이용하여 시드층(222) 상에 링 전극(322)을 형성하는 단계(S130)를 포함하는 공정에 의해 제조될 수 있다.
이미지드럼, 마스크부재, 증착입자 소스를 배치하는 단계(S100)에서는 이미지드럼(120), 마스크부재(200) 및 증착입자 소스(300)가 전술한 실시예와 동일 또 는 유사하게 제공 및 배치될 수 있다.
증착입자가 미세 슬릿(210)을 통과하는 단계(S110)에서는 증발 또는 스퍼터링 방법에 의해 증착입자 소스(300)로부터 분리되어 방출된 증착입자(310)가 마스크부재(200)의 미세 슬릿(210)을 따라 통과하며 가이드될 수 있다. 즉, 증착입자 소스(300)로부터 분리되어 방출된 증착입자(310)는 마스크부재(200)의 미세 슬릿(210)을 통과하며 일정 배열 형태로 마스크부재(200)의 상부로 배출될 수 있다.(도 7 참조)
다음, 시드층을 형성하는 단계(S120')에서는 마스크부재(200)의 각 미세 슬릿(210)을 통과한 증착입자(310)가 이미지드럼(120)의 외주면에 증착되며 이미지드럼(120) 상에 각각 독립적으로 배치되는 복수개의 시드층(222)을 형성하게 된다.
아울러 상기 증착입자(310)가 미세 슬릿(210)을 통과하는 단계(S110)에서는 이미지드럼(120)이 종축을 중심으로 회전될 수 있다. 이미지드럼(120)이 종축을 중심으로 회전함에 따라 미세 슬릿(210)을 통과한 증착입자(310)가 이미지드럼(120)의 외주면에 단계적으로 증착되며 연속적으로 이어진 링 형상의 시드층(222)을 형성하게 된다.
그리고, 상기와 같이 이미지드럼(120)의 외주면에 증착입자(310)가 증착되며 시드층(222)이 형성됨과 동시에 상기 시드층(222)은 이미지드럼(120)의 외부로 노출되는 기판(130)의 연결패턴(132)에 전기적으로 연결된다. 이때, 상기 연결패턴(132)은 이미지드럼(120)의 외주면에 형성되는 시드층(222)과 동일한 폭을 가지며 동일한 주기로 이격되게 형성되어 각 시드층(222)과 일대일 대응되게 전기적으 로 연결될 수 있다.
다음, 링 전극을 형성하는 단계(S130)에서는 도금방법에 의해 각 시드층(222) 상에 링 전극(322)을 형성하게 된다. 각 링 전극(322)은 각 시드층(222)에 대응되게 형성되며 각 시드층(222)과 전기적으로 연결된다. 일 예로 링 전극(322)은 전해(electro) 또는 무전해(electroless) 도금(plating)방법과 같은 통상의 도금방법에 의해 형성될 수 있으며, 이와 같은 도금방법은 금속증착 방법에 비해 성막속도가 매우 빠른 장점이 있다.
본 발명의 실시예에서는 이미지드럼의 외주면에 증착입자가 증착됨에 따라 형성된 시드층 상에 도금방법에 의해 링 전극이 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 여타 방법에 의해 시드층 상에 링 전극이 형성되도록 구성할 수 있다.
그 후, 상기 각 링 전극(322)의 외주면에 통상의 유전 물질로 이루어진 절연막(123)을 형성함으로써 이미지형성체(110')의 제조가 완료될 수 있다.
이와 같은 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체(110')는 도 17에서 확인할 수 있으며, 이와 같이 형성된 이미지형성체(110')는 전술한 실시예와 마찬가지로 이미지형성장치에서 토너를 선택적으로 흡착하기 위한 수단으로 사용될 수 있다.
이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 이미지형성장치 및 그 제조방법에 의하면 구조 및 제작공정을 간소화하여 원가를 절감하고 생산성을 향상 시킬 수 있는 효과가 있다.
특히, 본 발명은 별도의 기계가공이나 리소그래피(Lithography) 공정을 배제하고 금속증착 방법을 통해 링 전극이 이미지드럼 상에 직접 형성될 수 있게 함으로써, 마이크로미터 크기 단위의 링 전극을 용이하게 형성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 제조원가를 낮출 수 있고, 대량생산이 가능하며 공정 수율을 향상 시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 링 전극의 정밀도를 향상 시킬 수 있으며, 불량 발생률을 저감시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 링 전극과 각 링 전극을 전기적으로 제어하기 위한 소자간의 전기적 연결 구조를 단순화할 수 있는 효과가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (30)

  1. 이미지드럼, 미세 슬릿이 형성된 마스크부재 및 증착입자 소스를 차례로 배치하는 단계;
    상기 미세 슬릿을 이용하여 상기 증착입자 소스로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계; 및
    통과된 상기 증착입자를 이용하여 상기 이미지드럼 상에 링 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 이미지형성체의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 링 전극은 상기 증착입자가 상기 이미지드럼에 증착되어 형성된 것을 이미지형성체의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 증착입자는 상기 이미지드럼에 증착되어 시드층을 형성하고, 상기 링 전극은 상기 시드층 상에 형성된 것을 이미지형성체의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 증착입자는 증발(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering)에 의해 상기 증착입자 소스로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 미세 슬릿은 라인 형상으로 이격되게 복수개가 제공된 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 증착입자가 미세 슬릿을 통과하는 단계에서 상기 이미지드럼은 종축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 이미지드럼은 외주면에 형성되는 절연층, 연결패턴이 형성되며 일단이 상기 절연층의 외부로 노출되도록 설치되는 기판을 포함하여 제공되며, 상기 링 전극을 형성하는 단계에서 상기 링 전극은 상기 연결패턴에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이미지드럼은,
    상기 이미지드럼의 외주면에 상기 절연층을 형성하는 단계;
    상기 이미지드럼 및 상기 절연층을 관통하도록 슬롯을 형성하는 단계; 및
    상기 슬롯에 상기 기판을 장착하는 단계;에 의해 제공되는 것을 특징으로 하 는 이미지형성체의 제조방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 이미지드럼은,
    상기 이미지드럼을 관통하도록 슬롯을 형성하는 단계;
    상기 슬롯에 상기 기판을 장착하는 단계; 및
    상기 기판의 일단이 외부로 노출되도록 상기 이미지드럼의 외주면에 상기 절연층을 형성하는 단계;에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 이미지드럼은,
    상기 이미지드럼을 관통하도록 슬롯을 형성하는 단계;
    상기 슬롯에 기판을 장착하는 단계;
    상기 기판 및 상기 이미지드럼의 외주면에 상기 절연층을 형성하는 단계; 및
    상기 기판이 외부로 노출되도록 상기 절연층을 부분적으로 제거하는 단계;에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 기판은 연성회로기판(FPCB)인 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조 방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 링 전극의 외주면에 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  13. 이미지드럼, 상기 이미지 드럼의 종축에 수직한 방향으로 균일하게 형성되는 복수개의 미세 슬릿을 포함하는 마스크부재, 증착입자 소스를 위치가 고정되도록 차례로 배치하는 단계;
    상기 이미지 드럼을 종축을 중심으로 회전시키는 단계;
    상기 미세 슬릿을 이용하여 상기 증착입자 소스로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계; 및
    상기 통과한 증착입자를 이용하여 상기 이미지드럼 상에 링 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 이미지형성체의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 링 전극은 상기 증착입자가 상기 이미지드럼에 증착되어 형성된 것을 이미지형성체의 제조방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 증착입자는 상기 이미지드럼에 증착되어 시드층을 형성하고, 상기 링 전극은 상기 시드층 상에 형성된 것을 이미지형성체의 제조방법.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 증착입자는 증발(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering)에 의해 상기 증착입자 소스로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 이미지드럼은 외주면에 형성되는 절연층, 연결패턴이 형성되며 일단이 상기 절연층의 외부로 노출되도록 설치되는 기판을 포함하여 제공되며, 상기 링 전극을 형성하는 단계에서 상기 링 전극은 상기 연결패턴에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  18. 이미지드럼, 미세 슬릿이 형성된 마스크부재 및 증착입자 소스를 차례로 배치하는 단계;
    상기 미세 슬릿을 이용하여 상기 증착입자 소스로부터 증착입자를 선택적으로 통과시키는 단계;
    통과된 상기 증착입자를 상기 이미지드럼에 증착시켜 시드층(seed layer)을 형성하는 단계; 및
    도금방법을 이용하여 상기 시드층 상에 링 전극을 형성하는 단계;를 포함하 는 이미지형성체의 제조방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 증착입자는 증발(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering)에 의해 상기 증착입자 소스로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 미세 슬릿은 라인 형상으로 이격되게 복수개가 제공된 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  21. 제18항에 있어서,
    상기 증착입자가 미세 슬릿을 통과하는 단계에서 상기 이미지드럼은 종축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  22. 제18항에 있어서,
    상기 이미지드럼은 외주면에 형성되는 절연층, 연결패턴이 형성되며 일단이 상기 절연층의 외부로 노출되도록 설치되는 기판을 포함하여 제공되며, 상기 시드층을 형성하는 단계에서 상기 시드층은 상기 연결패턴에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 이미지드럼은,
    상기 이미지드럼의 외주면에 상기 절연층을 형성하는 단계;
    상기 이미지드럼 및 상기 절연층을 관통하도록 슬롯을 형성하는 단계; 및
    상기 슬롯에 상기 기판을 장착하는 단계;에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  24. 제22항에 있어서,
    상기 이미지드럼은,
    상기 이미지드럼을 관통하도록 슬롯을 형성하는 단계;
    상기 슬롯에 상기 기판을 장착하는 단계; 및
    상기 기판의 일단이 외부로 노출되도록 상기 이미지드럼의 외주면에 상기 절연층을 형성하는 단계;에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  25. 제22항에 있어서,
    상기 이미지드럼은,
    상기 이미지드럼을 관통하도록 슬롯을 형성하는 단계;
    상기 슬롯에 기판을 장착하는 단계;
    상기 기판을 상기 이미지드럼의 외주면에 상기 절연층을 형성하는 단계; 및
    상기 기판이 외부로 노출되도록 상기 절연층을 부분적으로 제거하는 단계;에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  26. 제22항에 있어서,
    상기 기판은 연성회로기판(FPCB)인 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  27. 제18항에 있어서,
    상기 링 전극의 외주면에 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지형성체의 제조방법.
  28. 제1항 내지 제27항 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 이미지형성체.
  29. 진공챔버;
    복수개의 미세 슬릿이 형성되며 상기 진공챔버의 내부의 배치되는 마스크부재;
    상기 진공챔버의 내부 일측에 배치되는 증착입자 소스; 및
    상기 진공챔버의 내부 다른 일측에 배치되는 이미지드럼을 지지하며, 선택적으로 상기 이미지드럼을 회전시키는 드럼구동부;를 포함하는 이미지형성체 제조장치.
  30. 제29항에 있어서,
    상기 증착입자 소스에서는 증발(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering)에 의해 증착입자가 분리되는 것을 특징으로 하는 이미지형성체 제조장치.
KR1020060126475A 2006-12-12 2006-12-12 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법 KR20080054199A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060126475A KR20080054199A (ko) 2006-12-12 2006-12-12 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060126475A KR20080054199A (ko) 2006-12-12 2006-12-12 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080054199A true KR20080054199A (ko) 2008-06-17

Family

ID=39801251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060126475A KR20080054199A (ko) 2006-12-12 2006-12-12 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080054199A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101360357B1 (ko) * 2008-08-06 2014-02-10 삼성전자주식회사 토너 공급 롤러와 이를 이용한 화상 형성 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101360357B1 (ko) * 2008-08-06 2014-02-10 삼성전자주식회사 토너 공급 롤러와 이를 이용한 화상 형성 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7784177B2 (en) Method of manufacturing an image drum
KR100578440B1 (ko) 배선 기판, 배선 기판의 제조 장치 및 배선 기판의 제조방법
US7828707B2 (en) Image drum for selectively absorbing toner thereon
US20070138018A1 (en) Image drum and method for manufacturing the image drum
KR100850716B1 (ko) 이미지형성체 및 그 제조방법
US8366944B2 (en) Image drum and fabricating method thereof
KR20080054199A (ko) 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법
KR100653201B1 (ko) 이미지 드럼 및 이미지 드럼의 제조방법
JPH1044495A (ja) 画像形成要素およびその製造方法
JP3697271B2 (ja) 回路基板の製造方法
JP4782810B2 (ja) イメージ形成体およびその製造方法
US7489327B2 (en) Toner adsorption image forming apparatus
KR20080051739A (ko) 이미지형성체와 그 제조장치 및 방법
US20100020153A1 (en) Image drum and method of manufacturing the same
JPWO2006120997A1 (ja) 円筒状コイル及びそれを用いた円筒型マイクロモータ
KR100727899B1 (ko) 이미지 드럼의 제조방법 및 이미지 드럼
US8269806B2 (en) Method of manufacturing image forming element, image forming element, and image forming apparatus having the same
JP2011180364A (ja) 現像剤担持体の製造方法、現像剤担持体、現像装置及び画像形成装置
JP3263541B2 (ja) 記録用電極の製造方法
JP2007221934A (ja) 電極板製造方法、電極板及び静電モータ
KR101465155B1 (ko) 임프린팅 공정을 이용한 이미지형성체 제조방법 및 이방법에 의해 제조된 이미지형성체와, 임프린팅 시스템
JP2015026636A (ja) プリント配線板の製造方法及びプリント配線板
JPS62299346A (ja) 静電プリントヘツドの製造方法
JPH03120054A (ja) 電荷移動像形成プリントカートリッジ
JPH1058678A (ja) インクジェットヘッドおよびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application