KR20080053705A - 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 오토 프로브 장치에서 발생하는 정전기 측정장치를 설치하는 것에 의해, 정전기 발생을 사전에 측정하여 액정패널의 불량발생을 방지하는 액정패널의 오토 프로브 장치에 관한 것으로, 상기 액정패널을 검사하기 위한 관측부; 상기 액정패널을 상기 서브 테이블에서 상기 관측부로 이동시키는 이동수단; 상기 액정패널을 검사하기 위한 검사수단; 상기 관측부를 포함한 상기 액정패널과의 접촉부위에 설치되는 다수의 정전기 측정장치; 상기 다수의 정전기 측정장치에서 측정된 측정 정전기량을 전송받는 모니터링 장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

오토 프로브, 정전기, 모니터링,

Description

액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치{Auto probe inspection appratus for inspecting LCD panel}

도 1은 종래기술에 따른 액정패널을 검사하는 오토 프로브 장치

도 2는 종래기술에 따른 오토 프로브 장치의 정전기를 측정하는 측정기의 간략도

도 3은 종래기술에 따른 오토 프로브 장치의 정전기 측정방법

도 4은 본 발명의 실시예에 따른 정전기 측정장치를 설치한 오토 프로브 장치의 간략도

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 오토 프로브 장치에 설치되는 정전기 측정장치의 시스템에 대한 간략도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 오토 프로브 장치 110 : 지지 프레임

111 : 액정패널 112 : 관측부

117 : 카메라 120 : 현미경

150 : 정전기 측정장치 130 : 모니터링 장치

본 발명은 액정패널의 오토 프로브 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 오토 프로브 장치에서 발생하는 정전기 측정장치를 설치하는 것에 의해, 정전기 발생을 사전에 측정하여 액정패널의 불량발생을 방지하는 액정패널의 오토 프로브 장치에 관한 것이다.

액정패널의 셀을 검사하기 위해, 오토 프로브가 사용되며, 일반적으로 액정패널은 박막 트랜지스터의 공정, 셀 공정, 및 모듈공정으로 나누어진다. 박막 트랜지스터의 공정은 유리 기판 상에 박막의 증착 및 식각을 반복하여 다수의 트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정으로서, 박막의 증착은 진공장비의 내부에 증착에 필요한 가스를 주입하여 압력과 기판 온도가 설정되면 RF(Radio Frequency)전력을 이용하여 주입된 가스를 플라즈마 상태로 분해하여 기판 위에 증착하는 화학기상증착법(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 과정, RF 전력이나 DC 전력에 의해 형성된 플라즈마 내에서 높은 에너지를 갖고 있는 기체이온이 타겟표면과 충돌하여 증착하고자 하는 타겟 입자들이 튀어나와 기판에 증착되는 스퍼터링(Sputtering) 과정과 박막을 식각하여 패터닝하는 공정은 감광성 화학약품(PR: Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여 얻고자 하는 패턴의 마스크를 사용하여 빛을 선택적으로 감광막에 조사함으로써 마스크의 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 현상 과정과 기체 플라즈마로부터 만들어진 원자나 자유기(radical)와 같은 반응성 물질과 기판에 증착된 물질이 반응하여 휘발성 물질로 변하는 현상을 이용한 식각 과정으로 이루어진다.

그리고, 셀(Cell) 공정은 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 하부기판과 컬러필터가 형성된 상부기판에 배향막을 형성하는 배향막 도포과정, 배향막에 액정이 잘 정렬할 수 있도록 하는 러빙(rubbing) 과정, 스페이서(spacer)를 산포하는 스페이서 과정, 상판과 하판을 합착한 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후, 주입구를 봉지하는 액정주입과정으로 이루어진다.

모듈(Module) 공정은 최종적으로 사용자에게 전해지는 제품 품질을 결정하는 단계로서, 완성된 패널에 편광판을 부착하고 드라이버 칩를 실장한 후 PCB(printed circuit board)를 조립하여 최종적으로 백라이트 유닛(backlight unit)과 기구물을 조립하게 된다. 여기서, 상기 셀 공정에서는 액정주입 과정 후에 오토 프로브(auto probe) 검사과정을 추가로 진행하게 되는데, 오토 프로브 검사 과정에서는 일종의 전자현미경인 오토 프로브 장치를 이용하여 검사자가 액정주입상태를 관측 검사하게 된다.

이하에서는 도면을 참조하여 종래기술에 따른 오토 프로브 과정을 설명하기로 한다.

도 1은 종래기술에 따른 액정패널을 검사하는 오토 프로브 장치이고, 도 2는 종래기술에 따른 오토 프로브 장치의 정전기를 측정하는 측정기의 간략도이고, 도 3은 종래기술에 따른 오토 프로브 장치의 정전기 측정방법이다.

도 1 내지는 도 3을 참조하여 종래기술의 오토 프로브 장치에 대하여 설명하면, 오토 프로브 장치는 검사대상의 액정패널(11)을 지지하는 지지프레임(10)과, 액정패널(11)의 주변부에 설치되어 있는 패드(도시하지 않음)에 구동신호를 인가하기 위한 지그(30)를 설치하는 지그 설치대(도시하지 않음)과, 액정패널(11)의 위치를 감지하여 정상적으로 지그 설치대와 정렬시키기 위한 카메라(17)와, 액정패널(11)의 패드를 접촉시켜 전기적 신호를 인가하기 위한 지그(30)와, 지지프레임(10)에 수직 및 수평으로 이동 가능하게 설치되는 현미경(20)과, 현미경(20)의 위치를 조절하기 위한 위치 콘트롤 수단(도시하지 않음)으로 이루어진다. 지지프레임(10)은 중간부위에 관측부(12)를 형성하는 구조로 이루어져 있으며, 콘트롤 수단은 지지프레임(10)의 좌우단에 장착된 한 쌍의 세로 스크류바(13)와, 세로 스크류바(13)에 각각 볼스크류 방식으로 연결된 한 쌍의 이동 브라켓(도시하지 않음)과, 이동 브라켓에 양단이 회전 가능하게 지지되는 가로 스크류바(16)와, 가로 스크류바(16)에 볼스크류 연결되며 현미경(20)을 지지하게 되는 현미경 장착 브라켓(22)으로 구성되어 있고, 가로 스크류바(16)과 세로 스크류바(13)의 선단에는 각각 조작 핸들(도시하지 않음)이 부착되어 있다.

상기와 같은 오토 프로브 장치를 이용하여, 종래기술에서는 지지 프레임(10)에 검사대상 액정패널(11)을 관측부(12)에 안착시키고, 카메라(17)를 통하여 지그 설치대(15)와 연결되는 지그(30)에 액정패널(11)의 패드가 접촉될 수 있도록 정렬시키고, 관측부(12)에 설치되어 있는 진공흡입 장치(도시하지 않음)에 의해 고정시 킨다. 그리고, 지그 설치대(15)에 액정패널(11)의 패드와 전기적으로 연결시키는 지그(30)를 고정시키고, 액정패널(11)의 패드에 전기적 신호를 인가하여, 검사자가 현미경(20)을 통해 액정패널(11)을 관측하여 검사를 행하게 되며, 현미경(20)의 위치를 이동시키면서 액정패널(11)의 각 부위를 골고루 검사하게 된다.

도 2와 같은 종래기술에 따른 오토 프로브 장치의 정전기를 측정하기 위한 정전기 측정기(50)는 대전량을 측정하는 센서부(51)와, 측정된 대전량을 표시하는 엘시디(LCD) 화면(52)과, 정전기 측정기(50)의 실행시키는 실행버튼(53)과, 종료시키는 종료버튼(54)로 구성된다. 그리고, 도 2의 정전기 측정기(50)를 이용하여, 도 3과 같이 오토 프로브 장치에 대전되어 있는 정전기를 수동으로 측정한다.

그러나, 오토 프로브 장치에 대하여 부분적이고 산발적인 정전기의 측정을 통해서, 오토 프로브 장치에 대전되어 있는 정전기의 대전량과 영역을 정확하게 파악하기 어렵다. 또한 오토 프로브 장치에 정전기가 대전되어 있다면, 검사하려는 액정패널에 순간적인 과전류가 인가되어, 액정패널의 딤(dim) 불량을 야기할 수 있다. 액정패널의 검사에서 발생하는 정전기에 의한 불량은 액정패널의 장시간의 이동 후에 발견되므로, 액정패널에 대한 신뢰성이 저하되고, 또한 장시간의 경과되어 있는 상태로, 불량의 원인을 발견하기 어렵게 된다.

본 발명은 오토 프로브 장치에서 발생하는 정전기 측정장치를 설치하는 것에 의해, 정전기 발생을 사전에 측정하여 액정패널의 불량발생을 방지하는 액정패널의 오토 프로브 장치를 제공하는 것을 목적으로 있다.

특히, 오토 프로브 장치의 정전기 발생 영역에 다수의 정전기 측정장치를 설치하고, 이를 모니터링하는 시스템을 구축하여, 오토 프로브에서 정전기 발생을 사전에 측정하여 액정패널의 불량 발생을 방지하는 오토 프로브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 액정패널의 오토 프로브 장치는, 상기 액정패널을 검사하기 위한 관측부; 상기 액정패널을 상기 서브 테이블에서 상기 관측부로 이동시키는 이동수단; 상기 액정패널을 검사하기 위한 검사수단; 상기 관측부를 포함한 상기 액정패널과의 접촉부위에 설치되는 다수의 정전기 측정장치; 상기 다수의 정전기 측정장치에서 측정된 측정 정전기량을 전송받는 모니터링 장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치에 있어서, 상기 모니터링 장치에는 상기 액정패널에 영향을 주지 않는 기준 정전기량이 입력되어 있고, 상기 모니터링 장치에서 상기 다수의 정전기 측정장치에서 입력받은 상기 측정 정전기량과 상기 기준 정전기량을 비교하여, 표시하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치에 있어서, 상기 다 수의 정전기 측정장치는 상기 액정패널을 적재시키는 서브 테이블에 설치되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치에 있어서, 상기 모니터링 장치에서 상기 측정 정전기량이 기준치를 초과하는 경우 경보를 울리는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 4은 본 발명의 실시예에 따른 정전기 측정장치를 설치한 오토 프로브 장치의 간략도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 오토 프로브 장치에 설치되는 정전기 측정장치의 시스템에 대한 간략도이다.

도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 정전기 측정장치를 설치한 오토 프로브 장치(100)를 설명하면 다음과 같다. 오토 프로브 장치(100)는 검사대상의 액정패널(111)을 지지하는 지지프레임(110)과, 액정패널(111)의 주변부에 설치되어 있는 패드(도시하지 않음)에 구동신호를 인가하기 위한 지그(130)를 설치하는 지그 설치대(도시하지 않음)과, 액정패널(111)의 위치를 감지하여 정상적으로 지그 설치대와 정렬시키기 위한 카메라(117)와, 액정패널(111)의 패드를 접촉시켜 전기적 신호를 인가하기 위한 지그(130)와, 지지프레임(110)에 수직 및 수평으로 이동 가능하게 설치되는 현미경(120)과, 현미경(120)의 위치를 조절하기 위한 위치 콘트롤 수단(도시하지 않음)으로 이루어진다. 지지프레임(110)은 중간부위에 관측부(112) 를 형성하는 구조로 이루어져 있으며, 콘트롤 수단은 지지프레임(110)의 좌우단에 장착된 한 쌍의 세로 스크류바(113)와, 세로 스크류바(113)에 각각 볼스크류 방식으로 연결된 한 쌍의 이동 브라켓(도시하지 않음)과, 이동 브라켓에 양단이 회전 가능하게 지지되는 가로 스크류바(116)와, 가로 스크류바(116)에 볼스크류 연결되며 현미경(120)을 지지하게 되는 현미경 장착 브라켓(122)으로 구성되어 있고, 가로 스크류바(116)과 세로 스크류바(113)의 선단에는 각각 조작 핸들(도시하지 않음)이 부착되어 있다. 그리고, 액정패널(111)이 운반 및 검사를 위하여 오토 프로브 장치(100)와 접촉하는 지점에 도 5와 같이 다수의 정전기 측정장치(150)를 설치하고, 다수의 정전기 측정장치(150)로부터 측정되는 측정 정전기량을 모니터링 장치(150)에 입력한다.

상기와 같은 오토 프로브 장치(100)를 이용하여, 액정패널(111)을 검사하기 위해, 지지 프레임(110)에 검사대상 액정패널(111)을 관측부(112)에 안착시키고, 카메라(117)를 통하여 지그 설치대와 연결되는 지그(130)에 액정패널(111)의 패드가 접촉될 수 있도록 정렬시키고, 관측부(112)에 설치되어 있는 진공흡입 장치(도시하지 않음)에 의해 고정시킨다. 그리고, 지그 설치대에 액정패널(111)의 패드와 전기적으로 연결시키는 지그(130)를 고정시키고, 액정패널(111)의 패드에 전기적 신호를 인가하여, 검사자가 현미경(120)을 통해 액정패널(111)을 관측하여 검사를 행하게 되며, 현미경(120)의 위치를 이동시키면서 액정패널(111)의 각 부위를 골고루 검사하게 된다.

그런데, 오토 프로브 장치(100)를 통하여 액정패널(111)을 검사하기 전에, 오토 프로브 장치(100)에 대하여 수작업으로 정전기를 측정하지만, 일반적으로 부분적이고, 산발적으로 행해지므로, 정확한 정전기의 측정이 어렵고, 오토 프로브 장치(100)에 대전되어 있는 정전기로 인해 검사대상인 액정패널(111)에 순간적인 과전류의 인가로 인해 딤(dim) 불량을 발생시킬 수 있다.

따라서, 액정패널(111)이 오토 프로브 장치(100)와 접촉하는 다수의 부분에, 정전기 측정장치(150)를 설치한다. 정전기 측정장치(150)가 설치되는 영역은, 오토 프로브 장치(100)에 액정패널(111)이 검사를 위해 처음 적재되는 서브 테이블(sun table)(140)과 액정패널(111)이 안치되어 검사를 실행하는 관측부(112)에 설치되고, 또한 필요하다면 액정패널(111)의 운반 및 검사를 위하여 접촉하는 모든 부분에 정전기 측정장치(150)를 설치한다.

정전기 측정장치(150)는 오토 프로브 장치(100)에 액정패널(111)과 접촉하는 지점에 다수로 설치하며, 각각의 정전기 측정장치(150)로부터 측정되는 측정 정전기량은 유선 또는 무선으로 연결되어 있는 모니터 장치(151)에 전달된다. 모니터 장치(151)에는 정전기 측정장치(150)가 설치되어 있는 오토 프로브 장치(100)의 각각의 지점에서 액정패널(111)에 영향을 주지 않는 기준 정전기량과, 기준 정전기량과 측정 정전기량을 비교하는 프로그램이 입력되어 있어, 측정 정전기량과 정전기 측정장치(150)로부터 입력되는 기준 정전기량과 비교하여, 기준 정전기량을 초과하면 경보를 울려, 작업자에게 알리고 작업을 중단시키고, 정전기 초과의 원인을 찾고, 이를 해결한 후에 작업을 진행하게 한다. 이러한 정전기 측정장치(150)은 정전기에 감응하는 센서부와, 정전기량을 모니터 장치(151)에 발송하는 발신장치로 구 성된다.

상기와 같이 본 발명에 의해, 액정패널(111)에 접촉하는 지점에서 대전되어 있는 정전기량을 정확하게 모니터링하여, 오토 프로브 장치(100)에 검사하려는 액정패널에 순간적인 과전류가 인가되어, 액정패널의 딤(dim) 불량을 방지할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치는 다음과 같은 효과가 있다.

오토 프로브 장치에서 액정패널과 접촉하는 지점에 다수의 정전기 측정장치를 설치하고, 이를 전송받는 모니터링 장치에 의해, 오토 프로브 장치에 대전되어 있는 정전기량을 파악하여, 액정패널의 딤 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 상기 액정패널을 검사하기 위한 관측부;

   상기 액정패널을 상기 서브 테이블에서 상기 관측부로 이동시키는 이동수단;

   상기 액정패널을 검사하기 위한 검사수단;

   상기 관측부를 포함한 상기 액정패널과의 접촉부위에 설치되는 다수의 정전기 측정장치;

   상기 다수의 정전기 측정장치에서 측정된 측정 정전기량을 전송받는 모니터링 장치;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 모니터링 장치에는 상기 액정패널에 영향을 주지 않는 기준 정전기량이 입력되어 있고, 상기 모니터링 장치에서 상기 다수의 정전기 측정장치에서 입력받은 상기 측정 정전기량과 상기 기준 정전기량을 비교하여, 표시하는 것을 특징으로 하는 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 다수의 정전기 측정장치는 상기 액정패널을 적재시키는 서브 테이블에 설치되는 것을 특징으로 하는 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.
4. 제 1 항 내지는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 모니터링 장치에서 상기 측정 정전기량이 기준치를 초과하는 경우 경보를 울리는 것을 특징으로 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.

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