KR20080049646A

KR20080049646A - 이온화 장치

Info

Publication number: KR20080049646A
Application number: KR1020070122447A
Authority: KR
Inventors: 도모노리 시마다
Original assignee: 가부시키가이샤 키엔스
Priority date: 2006-11-30
Filing date: 2007-11-29
Publication date: 2008-06-04
Also published as: CN101192741B; US7995321B2; CN101192741A; US20080130190A1; JP4874771B2; JP2008140591A; KR101167351B1

Abstract

본 발명은 연결 부분의 강성을 높인 이온화 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 이온화 장치는, 고전압을 각각의 전극침(90)에 인가하는 케이싱 부재(40)와, 복수의 케이싱 부재(40)를 길이 방향으로 기계적으로 연결하고, 각 케이싱 부재(40)의 고전압 배전판(50)끼리를 전기적으로 접속하기 위한 연결 부재(60)와, 연결 부재(60)로 복수의 케이싱 부재(40)를 연결시킨 케이싱체(41) 및 전기 회로 유닛을 내부에 수납하는 가늘고 긴 형상의 본체 케이스(10)로서, 전극침(90)을 길이 방향으로 간격을 두고 외부로 돌출시키는 본체 케이스(10)를 포함한다. 본체 케이스(10)는 내부에 케이싱체(41)를 배치하기 위한 공간을 일체로 구획하고, 전기 회로 유닛을 배치하는 공간과 격리되어 있다. 이것에 의해, 고전압이 인가되는 케이싱체(41)를, 저전압의 부분을 포함하는 전기 회로 유닛과 격리해서 불필요한 방전을 회피할 수 있다.

Description

이온화 장치{IONIZATION DEVICE}

본 발명은 양 또는 음으로 대전되어 있는 대전체의 전하를 제전(除電)하기 위한 이온화 장치에 관한 것이다.

청정실에서의 청정화나 부유 입자의 대전 방지 등, 공기 중의 정전기 제어를 위하여 정전기를 제거(제전)하고 있는데, 이 비접촉의 제전에, 코로나 방전식의 이온화 장치가 많이 이용되고 있다.

코로나 방전식의 제전 장치는, 방전용 전극침에 고전압 전원으로부터의 직류 고전압 또는 교류 고전압을 인가하여 코로나 방전을 일으킨다. 도 23에 제전 장치의 개략도를 나타낸다. 이 도면에 나타내는 제전 장치는 코로나 방전을 일으키는 방전 전극(1)과, 교류 전원에 접속된 고압 전원부(2)와, 방전 전극(1)과 고압 전원부(2)를 접속하는 커플링 콘덴서(3)를 구비한다. 제전 장치는 교류 전원으로 고압 전원부(2)인 고압 변압기(2A)를 구동하고, 방전 전극(1)에 고전압을 인가하여 코로나 방전을 일으킨다. 코로나 방전에 의해 방전 전극(1)의 주변에 존재하는 공기는 전리되어, 플러스 또는 마이너스의 이온을 발생시킨다. 전리된 공기의 이온은 제전 장치에 설치된 팬 등으로 송풍되어서 대상물까지 반송된다. 플러스 이온이나 마이 너스 이온으로 대상물의 대전 전위가 중화됨으로써, 대상물에 축적되어 있는 대전 전하는 제로에 근접하여 제전된다.

제전 장치에서 발생되어 공기 중에 흐르는 플러스, 또는 마이너스의 이온 흐름은 고전압 전원과 접지 사이의 전류로서 생각할 수 있다. 즉, 고전압 전원으로부터 접지를 향하여 흐르는 전류는 마이너스의 이온 흐름에 상당하고, 접지로부터 고전압 발생부를 향하여 흐르는 전류는 플러스의 이온 흐름에 상당한다. 이러한 이온 흐름과 전류의 상호 관계에 의해, 제전 장치로부터 발생하고 있는 플러스, 마이너스의 이온량이 같아지면, 중화되어 전류는 제로가 된다. 따라서, 제전 장치는 발생되는 플러스, 마이너스의 이온량의 밸런스(이온 밸런스)를 유지함으로써 올바르게 제전을 실행할 수 있다.

예를 들면, 종래의 이온화 장치로서 도 24∼도 27에 나타내는 바와 같은 소위 바(bar) 타입의 제전기가 알려져 있다. 이들 도면에 있어서 도 24는 이온화 장치의 외관을 나타내는 사시도, 도 25는 분해 사시도, 도 26은 단면도, 도 27은 블록도를 각각 나타내고 있다. 이들 도면에 나타내는 이온화 장치는 방전 전극 바로 구성되며, 본체 케이스(10) 내의 상방 영역에, 고전압 유닛(213) 등이 배치되고, 하방 영역에 이온을 반송하는 공기를 공급하는 공기 공급 유닛(211)이 배치되어 있다. 전극 조립체(236)를 공기 공급 유닛(211)에 장착하면, 고전압 배전판(258)의 컷업 접촉편(259)과 전극침(212)의 상단면이 접촉한다. 전극침(212)과 컷업 접촉편(259)과의 접촉 부분을 포함하는 영역은, 지지 플레이트의 제1 슬리브(229) 안에 전극 조립체(236)의 소직경의 내부통 부분(240)의 선단 부분이 끼워 넣어짐으로써, 공기 공급 유닛(211)의 밀폐 공간 다시 말하면 주 공기 통로(S1) 및 원통 형상 분기 공기 통로(245)로부터 격절된 독립된 밀폐 공간(S2)이 된다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 2002-216996호 공보

제전 장치가 요구되는 환경에 따라, 요구되는 제전 능력은 다르다. 구체적으로는, 필요한 제전 영역에 따라 방전 전극의 수가 결정된다. 그러나, 요구되는 방전 전극의 수마다 개별적으로 방전 전극 바를 준비한다면, 각각 새로운 설계가 필요하게 되어 비용이 높아진다는 문제가 있다. 그래서, 수 개의 방전 전극을 갖는 방전 전극 바를 복수 개 연결하여, 원하는 수의 방전 전극을 구비하는 제전 장치를 실현하는 것이 행해지고 있다.

그러나, 종래의 방전 전극 바는 금속 부품을 많이 사용하고 있어 비교적 무겁기 때문에, 연결 부분에서의 강도를 유지하기 위해서는 어느 정도의 기계적 보강이 필요하게 된다. 강도를 유지하기 위해서는, 금속 부품 등으로 연결용 부재를 구성할 필요가 있기 때문에, 또한 장치 전체가 무겁고 대형화된다는 문제가 있었다.

이것에 대처하기 위해서, 연결 구조를 보강하는 것도 고려되지만, 본체 케이스 자체의 강성이 부족하면, 이 방법으로는 충분하지 않아, 본체 케이스 자체를 금속 등으로 강화할 필요가 있어, 케이스의 장대화, 중량 증가를 초래한다. 특히 최근에 와서는, 대형의 장치에도 대응할 수 있는 제전 능력이 높은, 보다 많은 방전 전극을 구비하는 이온화 장치가 요구되고 있다. 또한 이온화 장치가 길어지면, 대전한 이온을 반송하는 공기의 공급 경로가 길어지기 때문에, 길이 방향을 따라 각 방전 전극에 대하여 충분한 공기를 균일하게 공급하는 것도 곤란해진다. 또한, 안전성의 확보도 문제가 된다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이다. 본 발명의 주된 목적은 연결 부분의 강성을 높인 이온화 장치를 제공하는 데 있다.

이상의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제1 이온화 장치는, 고전압이 인가되어 선단으로부터 양과 음 중 어느 하나로 대전된 이온을 방출하기 위한 복수의 전극침과, 전극침에 고전압을 인가하기 위한 전기 회로 유닛과, 가늘고 긴 형상의 유닛 형상으로 구성되며, 전기 회로 유닛으로부터 전력 공급을 받기 위한 고전압 배전판을 구비하고, 복수의 전극침을 간격을 두고 장착할 수 있으며, 고전압 배전판을 통하여 전기 회로 유닛으로부터 공급된 고전압을 각각의 전극침에 인가하는 케이싱 부재와, 복수의 케이싱 부재를 길이 방향으로 기계적으로 연결하고, 각 케이싱 부재의 고전압 배전판끼리를 전기적으로 접속하기 위한 연결 부재와, 연결 부재로 복수의 케이싱 부재를 연결시킨 케이싱체 및 전기 회로 유닛을 내부에 수납하는 가늘고 긴 형상의 본체 케이스로서, 전극침을 길이 방향으로 간격을 두고 외부로 돌출시키는 본체 케이스를 포함하는 이온화 장치로서, 본체 케이스는 내부에 케이싱체를 배치하기 위한 공간을 일체로 구획하고, 전기 회로 유닛을 배치하는 공간과 격리되어 있다. 이것에 의해, 고전압이 인가되는 케이싱체를, 저전압의 부분을 포함하는 전기 회로 유닛과 격리해서 불필요한 방전을 회피할 수 있다.

제2 이온화 장치에 있어서, 본체 케이스는 제1 케이스와, 제2 케이스로 분할되며, 제1 케이스는 일체로 형성된 단면 コ자 형상 부분과, 단면 コ자 형상 부분의 배면의 일단으로부터 일체적으로 연장된 제1 벽면을 구비하고, 제2 케이스는 コ자 형상 부분의 배면과 접촉하며, 또한 제1 벽면의 선단과 접촉하는 제2 벽면을 구비하고, 제1 케이스와 제2 케이스를 끼워 맞춘 상태에서, 단면 コ자 형상 부분으로 형성된 제1 공간에 케이싱체를 배치하며, 단면 コ자 형상 부분의 배면과, 제1 벽면과, 제2 벽면의 내측으로 형성되는 제2 공간에 전기 회로 유닛을 배치하도록 구성할 수 있다. 이것에 의해, 일체로 형성된 단면 コ자 형상에 의해 길이 방향으로 연장된 이온화 장치의 길이 방향에서의 충분한 강성을 발휘할 수 있다. 또한, 단면 コ자 형상 부분으로 케이싱체를 구획함으로써, 고전압이 인가되는 케이싱체와, 저전압의 부분을 포함하는 전기 회로 유닛과의 전위차에 의한 연면(沿面) 방전 경로를 길게 하여, 연면 방전의 발생을 회피할 수 있다.

제3 이온화 장치에 있어서, 전극침으로부터 방출되는 이온을 반송하기 위한 반송 가스를 전극침 주위로부터 송출하기 위하여, 케이싱 부재는 반송 가스를 공급하기위한 반송 가스 경로를 구비하고 있고, 본체 케이스는 본체 케이스 내부의 중간에 위치하는 1 이상의 케이싱 부재에 대하여, 반송 가스를 공급하는 중간 반송 가스 배관을 구비하고 있으며, 본체 케이스 내부의 단부에 위치하는 케이싱 부재에 대해서는, 본체 케이스의 단부로부터 반송 가스 경로에 반송 가스가 공급되고, 본체 케이스 내부의 중간에 위치하는 케이싱 부재에 대해서는, 중간 반송 가스 배관을 통하여 반송 가스가 공급되도록 구성할 수 있다. 이것에 의해, 복수의 케이싱 부재를 연결해서 길이 방향으로 연장된 이온화 장치에 있어서, 중간에 위치하는 케이싱 부재로의 반송 가스 공급이 불충분해지는 사태를 회피하고, 각 케이싱 부재에 안정되게 반송 가스를 공급할 수 있다.

제4 이온화 장치는, 중간 반송 가스 배관을 경질제의 파이프로 구성할 수 있다. 이것에 의해, 강성이 높은 경질제의 파이프를 본체 케이스 내부에서 길이 방향으로 연장함으로써, 고무제의 파이프에 비하여 길이 방향의 강성 보강에 기여할 수 있다.

제5 이온화 장치는, 연결 부재를, 본체 케이스의 길이 방향을 따라 케이싱 부재를 꽂고 빼내서 연결하는 이음매로 할 수 있다. 이것에 의해, 케이싱 부재의 길이 방향의 치수 오차를, 이음매로의 삽입량에 의해 조정하는 것이 가능해진다.

제6 이온화 장치에서는, 이음매가 본체 케이스 내부의 중간에 위치하는 케이싱 부재끼리의 접속에 사용되고, 중간 반송 가스 배관을 접속하기 위한 반송 가스 공급용 이음매를 포함할 수 있다. 이것에 의해, 케이싱 부재끼리의 연결과, 중간 반송 가스 배관의 접속을 하나의 이음매로 행할 수 있어, 구성의 간소화 및 조립 공정의 성력화가 도모된다.

제7 이온화 장치에서는, 이음매가 전기 회로 유닛에서 생성되는 고전압을 케이싱 부재에 포함되는 고전압 배전판과 접속하기 위한 전력 공급용 이음매를 포함할 수 있다. 이것에 의해, 케이싱 부재끼리의 연결과, 고전압의 공급을 하나의 이음매로 행할 수 있어, 구성의 간소화 및 조립 공정의 생력화가 도모된다.

제8 이온화 장치는 본체 케이스의 외주를 피복하는 금속제의 커버부를 더 포함하고, 커버부는 단면 コ자 형상으로 본체 케이스의 길이 방향을 따라 일체로 연장해서 형성되며, コ자 형상의 개구부 사이에 본체 케이스를 삽입해서 본체 케이스를 탄성적으로 가압하여 협지(挾持)할 수 있다. 이것에 의해, 단면 コ자 형상의 금 속판으로 본체 케이스를 길이 방향으로 피복하여, 길이 방향으로 연장된 본체 케이스를 보강할 수 있다.

제9 이온화 장치는, 전기 회로 유닛을 본체 케이스 내부의 길이 방향에서 단부에 위치시킬 수 있다. 이것에 의해, 밸런스 좋게 배치하여 무용 공간(dead space)을 없앨 수 있다.

제10 이온화 장치는, 전기 회로 유닛이 외부 전원과 접속되어 전력을 받는 전원 회로를 구비하는 전원 유닛과, 제어 회로를 구비하는 제어 유닛과, 전압을 승압하기 위한 승압 회로를 구비하는 승압 유닛을, 각각 유닛 형상으로 구성할 수 있다. 이것에 의해, 유닛 형상의 전원 유닛, 제어 유닛, 승압 유닛으로서, 한정된 본체 케이스 내부 공간에 효율적으로 배치할 수 있다.

제11 이온화 장치는, 전기 회로 유닛이 본체 케이스 내부의 일단측에 배치되고, 타단측에 중간 반송 가스 배관을 배치하도록 구성할 수 있다. 이것에 의해, 본체 케이스의 내부 공간에 전기 회로 유닛과 중간 반송 가스 배관을 밸런스 좋게 배치할 수 있으며, 본체 케이스를 대형화하지 않고 한정된 공간을 효율적으로 이용할 수 있다.

제12 이온화 장치는 본체 케이스의 길이를 1.0m∼4.0m로 할 수 있다. 이것에 의해, 종래보다도 긴 바 형상의 이온화 장치를 구성할 수 있다.

제13 이온화 장치는, 고전압이 인가되어 선단으로부터 양과 음 중 어느 하나로 대전된 이온을 방출하기 위한 복수의 전극침과, 상기 전극침에 고전압을 인가하기 위한 전기 회로 유닛과, 가늘고 긴 형상의 유닛으로 형성되고, 길이 방향을 따 른 일단부로부터 타단부까지 배치되어 있으며 상기 전기 회로 유닛으로부터 전력 공급을 받기 위한 고전압 배전판을 구비하고, 길이 방향을 따른 일단부로부터 타단부까지 배치되어 있으며 상기 고전압 배전판과는 간격을 두고 연장되는 가스 배관을 구비하고, 상기 복수의 전극침을 길이 방향을 따라 간격을 두고 장착할 수 있으며, 상기 고전압 배전판을 통하여 상기 전기 회로 유닛으로부터 공급된 고전압을 각각의 전극침에 인가하는 케이싱 부재와, 길이 방향으로 2개의 상기 케이싱 부재의 가스 배관을 기계적으로 연결하고, 각 케이싱의 고전압 배전판을 전기적으로 접속하기 위한 연결 부재와, 제1 공간과 길이 방향을 따라 상기 제1 공간으로부터 이간된 제2 공간을 가지며, 상기 연결 부재로 복수의 상기 케이싱 부재를 연결시켜 구성되는 케이싱체 및 상기 전기 회로 유닛을 상기 제1 공간에 수납하고, 내부에 상기 케이싱체를 배치하기 위한 공간을 일체로 구획하며, 상기 전기 회로 유닛을 배치하는 공간과 격리되어 이루어지는 본체 케이스를 포함하고, 상기 연결 부재의 하나는 상기 본체 케이스의 중간부에 배치되며, 적어도 상기 케이싱 부재의 가스 배관에 접속하기 위한 개구부와, 상기 본체 케이스의 중간부에 배치된 케이싱 부재에 가스를 공급하기 위한 가스 공급 파이프를 갖고 있다.

제14 이온화 장치에서는, 본체 케이스의 중간부에 배치된 연결 부재가, 연결된 상기 케이싱 부재의 2개의 가스 배관을 연결하기 위한 개구부를 갖고 있다.

제15 이온화 장치에서는, 본체 케이스의 중간부에 배치된 연결 부재가, 연결된 상기 케이싱 부재의 가스 배관을 연결하기 위한 개구부를 하나만 갖고 있다.

제16 이온화 장치에서는, 본체 케이스의 중간부에 배치된 연결 부재가, 연결 된 상기 케이싱 부재의 2개의 가스 배관을 분리한다.

제17 이온화 장치는, 본체 케이스의 길이 방향을 따른 일단부에 배치되고, 상기 본체 케이스의 일단부에 인접한 상기 케이싱 부재의 가스 배관에 가스를 공급하는 제1 가스 공급 포트를 더 포함한다.

제18 이온화 장치는, 상기 본체 케이스의 길이 방향을 따른 타단부에 배치되고, 상기 본체 케이스의 타단부에 인접한 상기 케이싱 부재의 가스 배관에 가스를 공급하는 제2 가스 공급 포트를 더 포함한다.

제19 이온화 장치는, 가스 공급 파이프에 접속하기 위한 상기 본체 케이스의 일단부 또는 타단부 중 어느 한쪽에 배치된 제3 가스 공급 포트를 더 포함한다.

본 발명은 연결 부분의 강성을 높인 이온화 장치를 제공한다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 단, 이하에 나타내는 실시형태는 본 발명의 기술 사상을 구체화하기 위한 이온화 장치를 예시하는 것으로, 본 발명은 이온화 장치를 이하의 것으로 특정하지 않는다. 또한, 본 명세서는 특허청구의 범위에 나타나는 부재를, 실시형태의 부재로 특정하는 것은 결코 아니다. 특히 실시형태에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그 상대적 배치 등은 특별히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 그것에만 한정하는 취지가 아니라, 단순한 설명예에 불과하다. 또한, 각 도면이 나타내는 부재의 크기나 위치 관계 등은 설명을 명확하게 하기 위하여 과장하고 있는 경우가 있다. 또한 이하의 설명에 있어서, 동일한 명칭, 부호에 대해서는 동일 혹은 동질의 부재를 나타내고 있으며, 상세한 설명을 적절히 생략한다. 또한, 본 발명을 구성하는 각 요소는 복수의 요소를 동일한 부재로 구성하여 하나의 부재로 복수의 요소를 겸용하는 형태로 해도 좋고, 반대로 하나의 부재의 기능을 복수의 부재로 분담해서 실현할 수도 있다.

[실시형태 1]

도 1∼도 4에, 본 발명의 실시형태 1에 따른 이온화 장치(100)를 나타낸다. 도 1은 이온화 장치(100)의 외관을 비스듬하게 본 사시도, 도 2는 도 1에서 제2 케이스를 배제한 사시도, 도 3은 도 2에서 제1 케이스 및 커버부, 보강 부재(72)를 배제한 사시도, 도 4는 본체 케이스의 횡단면도를 각각 나타내고 있다. 또한 이들 도면에 있어서는, 설명을 위하여 본래의 사용 상태와는 반대로 전극침(90)이 위가 되는 자세로 표시하고 있다.

도 1에 나타내는 이온화 장치(100)는 컨트롤러를 내장한 바 타입의 제전기, 이른바 방전 전극 바를 구성하고 있다. 이 이온화 장치(100)는 가늘고 긴 형상으로 연장된 본체 케이스(10)와, 본체 케이스(10)의 양단면을 폐색하는 사이드 커버(20)를 구비한다. 본체 케이스(10)의 하면(도 1에 있어서 상면)에는, 개구부(31)가 형성되고, 이온을 방출하는 전극침(90)이 돌출된다. 또한 본체 케이스(10)의 하면은 커버부(30)로 피복되어 보강되어 있다.

[본체 케이스(10)]

본체 케이스(10)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 내부에 케이싱 부재(40)를 10개 연결한 케이싱체(41)를 수납하고 있다. 길이 방향의 강성을 확보하기 위하여, 도 1에 나타내는 본체 케이스(10)는 압출재에 의해 길이 방향으로 이음매 없이 일체로 형성된다. 이 예에서는, 사이드 커버(20)를 포함한 본체 케이스(10)의 길이는 1.0m∼4.0m로 할 수 있다. 본 실시형태에서는, 이온화 장치(100)의 전체 길이를 3m로 하고 있다.

본체 케이스(10)는 절연성을 갖게 하기 위하여, 금속 등의 도전성 부재보다도 수지 등의 절연재로 구성된다. 본 실시형태에서는, 수지 압출재로 형성된다. 이것에 의해, 절연성과 경량화가 도모된다. 한편으로, 본체 케이스(10)를 가늘고 긴 형상으로 연장하고 있기 때문에, 금속을 사용하지 않아도 충분한 강도가 얻어지도록, 본체 케이스(10)는 이음매 없이 길이 방향으로 일체로 형성하여, 후술하는 コ자 형상 단면을 형성하거나, 단면 コ자 형상의 금속제 커버부(30)를 피복하고 있다(상세한 것은 후술). 또한 본체 케이스(10)의 외형은 단면 형상이 단면 역 U자 형상이 되도록 형성하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 이온화 장치 주위의 분위기의 하방으로 흐르는 기류의 난류(turbulence) 발생을 억제할 수 있다.

[커버부(30)]

본체 케이스(10)의 하면에 금속제의 커버부(30)를 피복함으로써, 길이 방향의 강도를 보강한다. 커버부(30)는 도 2 및 후술하는 도 21에 나타내는 바와 같이 금속판으로 이루어지고, 단면 コ자 형상으로 본체 케이스(10)의 길이 방향을 따라 일체로 연장해서 형성되며, コ자 형상의 개구부 사이에 본체 케이스(10)를 삽입해서 본체 케이스(1O)를 탄성적으로 가압하여 협지한다. 또한 コ자 형상 개구부의 단 가장자리에 되접음편(fold-back piece; 32)을 형성하고, 본체 케이스(10)의 측면에 형성된 슬릿에 되접음편(32)을 삽입해서 끼워 맞춘다. 커버부(30)는 바람직하게는 스테인리스나 알루미늄, 티탄 등의 금속판으로 한다. 또한 커버부(30)는 전극침(90)을 외부로 돌출시키기 위하여 전극침(90)을 설치한 위치와 대응하는 부위를 개구한 개구부(31)를 형성하고 있다. 커버부(30)를 접지하여 접지판으로 함으로써, 개구부(31)로부터 돌출되는 전극침(90)의 대향 전극 플레이트를 구성한다.

[상방 공간, 하방 공간]

도 4에 본체 케이스(10)의 횡단면도를 나타낸다. 본체 케이스(10)의 내부는, 세로 방향으로 상하로 구분하는 베이스 플레이트(11)를 설치하고 있다. 베이스 플레이트(11)에 의해 본체 케이스(10) 내부가 제1 공간(SP1)과 제2 공간(SP2)으로 구분되며, 제1 공간(SP1), 즉 상방 공간에는 케이싱 부재(40)가 수납되고, 한편 제2 공간(SP2), 즉 하방 공간에는 열을 발생하는 전기 회로 유닛(80)이 수용된다. 이것에 의해, 본체 케이스(10) 내에서 예를 들면 보호재나 충전재가 가스화되어도 하방 공간으로 유출되는 것이 억제된다. 바람직하게는, 전기 회로 유닛(80)은 밀폐 공간 내에 봉입된다.

[우측 분할 케이스, 좌측 분할 케이스]

이온화 장치를 구성하는 본체 케이스는 전체로서 가늘고 긴 단면 역 U자형의 형상을 가지며, 상단(도면에서는 하단)은 그 단면이 비교적 매끄러운 만곡 형상을 갖고, 이 상단으로부터 거의 수직 방향으로 연장되는 측벽을 갖고 있다. 또한 도 4에 나타내는 바와 같이, 본체 케이스(10)는 길이 방향을 따라 제1 케이스인 우측 분할 케이스(10R)와, 제2 케이스인 좌측 분할 케이스(10L)로 2분할되어 있다. 우측 분할 케이스(10R)는 베이스 플레이트(11)의 양단으로부터 하방(도 4에 있어서 상방)으로 절곡한 수직 벽면(12)에서 단면을 コ자 형상으로 형성해서 개구하며, 베이스 플레이트(11)의 배면의 일단으로부터 직선 형상으로 연장되고, 선단을 절곡시킨 제1 벽면으로서 제1 절곡 벽면(14)을 일체로 형성하고 있다. 단면 コ자 형상 부분으로 구획된 제1 공간(SP1)에는, 후술하는 고전압 배전판(50)을 유지하는 유지판(55)을 인서트 성형한 케이싱 부재(40)를 수납한다. 이와 같이 고전압의 부재를 일체로 형성한 격벽으로 3방에서 둘러쌈으로써, 고전압 부재를 격리, 절연한다.

한편, 좌측 분할 케이스(10L)는 도 4에 나타내는 바와 같이 베이스 플레이트(11)의 배면에서 제1 절곡 벽면(14)을 형성한 측과 반대 측에 접촉하며, 또한 제1 절곡 벽면(14)의 선단과 접촉하는 제2 벽면으로서 제2 절곡 벽면에 형성된다. 좌측 분할 케이스(10L)의 형상은 수직 벽면(12)을 형성한 우측 분할 케이스(10R)에 따라, 도 4에 나타내는 바와 같이 우측 분할 케이스(10R)의 베이스 플레이트(11) 배면으로부터 연장되도록, 수직 벽면(12)의 길이 분만큼 짧게 형성한다. 이 좌측 분할 케이스(10L)와, 제1 절곡 벽면(14)과, 베이스 플레이트(11)의 배면에 의해 제2 공간(SP2)이 형성된다. 제2 공간(SP2)에는, 후술하는 전기 회로 유닛(80)을 배치한다. 전기 회로 유닛(80)은 저전압의 부재를 포함하기 때문에, 고전압 배전판(50)과의 사이에서 높은 전위차가 발생한다. 이 때문에, 베이스 플레이트(11)로 공간적으로 격리하여 절연을 도모한다. 또한, 베이스 플레이트(11)로 제1 공간(SP1)을 구획함으로써, 고전압 배전판(50)과 전기 회로 유닛(80)과의 연면 거리를 길게 할 수 있으며, 연면 방전을 회피할 수 있다.

여기에서, 종래의 제전 장치의 분해 사시도를 도 28∼도 31에 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 도 28은 제전 장치를 비스듬히 하방에서 본 분해 사시도, 도 29는 도 28 중, 우측 분할 케이스부(101R)를 나타내는 분해 사시도, 도 30은 우측 분할 케이스부(101R)를 비스듬히 상방에서 본 분해 사시도, 도 31은 케이스의 단면도를 각각 나타내고 있다. 우측 분할 케이스부(101R)와 좌측 분할 케이스부(101L)는 단면 형상이 다르며, 도 31의 단면도에 나타내는 바와 같이 우측 분할 케이스부(101R)는 단면 ヒ자 형상으로 형성되어, 역 し자 형상의 좌측 분할 케이스부(101L)와 걸어 맞춰진다. 이 때문에 우측 분할 케이스부(101R)는 도 29에 나타내는 바와 같이, 그 측벽 부분에, 가로 방향 다시 말하면 수평 방향으로 연장되는 베이스 플레이트(109)가 우측 분할 케이스부(101R)의 전체 길이에 걸쳐 일체로 형성되어 있다. 베이스 플레이트(109)의 폭 방향의 자유단 다시 말하면 측면 가장자리에는 90도로 상방(도 29, 도 30에서는 하방)을 향하여 굴곡한 굴곡부(110)가 형성되어 있다. 한편, 좌측 분할 케이스부(101L)는 그 측벽 부분에 L자 형상 부분(111)이 형성되고, 이 L자 형상 부분(111)은 좌측 분할 케이스부(101L)의 전체 길이에 걸쳐 연장되어 있다. 또한 좌우의 분할 케이스부(101L, 101R)의 상단(도면에서는 하단)은 슬라이드 끼워 맞춤 가능하게 되어 있다. 즉, 도시하는 케이스에서는, 우측 분할 케이스부(101R)의 상단(도면에서는 하단)에, 가로 방향으로 돌출한 확대 헤드(107)가 형성되고, 이 확대 헤드(107)는 우측 분할 케이스부(101R)의 상단 가장자리를 따라 우측 분할 케이스부(101R)의 전체 길이에 걸쳐 연장되어 있다. 좌측 분할 케이스부(101L)의 상단(도면에서는 하단)은 그 상단(도면에서는 하단)에, 확대 헤드(107)의 윤곽과 상보적인 형상을 갖는 홈(108)이 형성되고, 이 홈(108)은 좌측 분할 케이스부(101L)의 상단 가장자리를 따라 길이 방향으로 연장되어 있으며, 홈(108)의 양단은 모두 개방되어 있다. 홈(108)은 그 어떠한 단으로부터도 확대 헤드(107)를 받아들일 수 있으며, 예를 들면 홈(108)의 일단측으로부터 확대 헤드(107)를 삽입하고, 좌우의 분할 케이스부(101L, 101R)를, 상대적으로, 그 길이 방향으로 슬라이드시킴으로써, 좌우의 분할 케이스부(101L, 101R)는 이탈 불가능한 상태가 되어, 하단(도면에서는 상단)을 향하여 개방한 역 U자 형상의 단면 형상을 만든다.

이 구조에서는, 우측 분할 케이스부(101R)의 단면 ヒ자 형상의, T자 형상 부분에서 강도가 보강되지만, 한편 좌측 분할 케이스부(101L)와의 접합 부분이 약해진다는 문제가 있었다. 그래서, 본 실시형태에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 우측 분할 케이스(101R)의 T자 형상을 구성하는 베이스 플레이트(11)의 선단을, 더욱 굴곡시켜서 상방으로 돌출시킨 수직 벽면(12)으로 コ자 형상으로 형성하고 있다. 우측 분할 케이스(10R)의 전체 길이에 걸쳐 수직 벽면(12)을 형성한 베이스 플레이트(11)를 구성함으로써, 케이스의 길이 방향 전체에 걸쳐 더욱 강성을 증가시켜서, 케이스의 전체 길이를 길게 해도 충분한 강도를 유지할 수 있다. 특히 본 실시형태에서는, 단면 コ자 형상의 배면의 일단을 연장해서 역 h 형상으로 하고 있기 때문에, 단면 T자 형상의 구조 이상의 강도를 발휘할 수 있다.

또한, 이 구성에 의해 연면 방전의 우려도 저감할 수 있다. 즉, 베이스 플레 이트(11)에 의해 본체 케이스(10) 내부가 구획되고, 도 4에 있어서 상측의 제1 공간(SP1)에 고전압 경로(VP)가 배치되며, 하측의 제2 공간(SP2)에는 전자 회로 등이 배치된다. 종래의 구성에서는 도 31에 나타내는 바와 같이, 베이스 플레이트(109)의 단 가장자리가 좌측 분할 케이스부(101L)에 접촉하는 부분에서 간극이 생기기 때문에, 이 간극으로부터 상측의 제1 공간(SP1)에 배치된 방전 회로의 고전압과, 하측의 제2 공간(SP2)의 저전압 부분 사이의 방전 경로가 될 수 있다. 특히 상측에 배치된 방전 회로의 고전압과, 하측 부분의 저전압 부분 사이에서 큰 전위차가 발생하기 때문에, 연면 거리를 충분히 크게 하지 않으면 연면 방전이 생길 우려가 있었다. 이에 비해서 본 실시형태에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이 상측의 제1 공간(SP1)이 완전히 단면 コ자 형상으로 구획되어 간극이 없어지는 결과, 연면 방전을 발생시키기 위해서는, 수직 벽면(12)을 타고 넘어서 하측 부분으로 침입할 필요가 있어, 연면 방전 경로를 매우 길게 함으로써 안전성이 높아진다.

이와 같이, 일체로 형성된 단면 コ자 형상에 의해 길이 방향으로 연장된 이온화 장치의 길이 방향에서의 충분한 강성을 발휘할 수 있다. 또한, 베이스 플레이트로 케이싱체를 구획함으로써, 고전압이 인가되는 케이싱체와, 저전압의 부분을 포함하는 전기 회로 유닛(80)과의 전위차에 의한 연면 방전 경로를 길게 하여, 연면 방전의 발생을 회피할 수 있다.

덧붙여, 도 31에 나타내는 종래의 제전기에서는, L자 형상 부분(111)과 굴곡부(110)가 완전히 밀착되어 있지 않기 때문에, 간극으로부터 고전압 배전판이 방전해 버려서, 내부의 전원 회로나 제어 회로 등의 파손 가능성이 있었다. 이것을 회 피하기 위하여, 종래는 접합 부분을 테이프 등으로 덮을 필요가 있었다.

또한 제전기를 장대화하면, 길이 방향으로 휘어짐이 발생하고, 또한 L자 형상 부분(111)과 굴곡부(110)와의 밀착성이 저하되어, 방전이 발생할 가능성이 더욱 높아진다. 또한 휘어짐이 발생하면, 전극침과 고전압 배전판과의 접점을 확보할 수 없다는 문제도 발생한다. 또한, 제전 대상물과의 거리가 제전기의 지지 부분과 그 중간 부분에서 다르게 되어, 최악의 경우에는 전극침으로부터 직접 방전이 생길 가능성이 생긴다.

이들을 방지하기 위해서는, 제전기의 양단부 외에도, 중간 부분을 별도로 지지하는 구조를 형성할 필요가 있다. 설치 장소에 제약이 있는 경우, 예를 들면 천장에 2개소밖에 지지 부재를 고정할 장소가 없는 경우에는, 새로이 지지 부재의 고정 개소를 형성할 필요가 있다는 문제도 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위해서도, 도 4에 나타내는 바와 같이 베이스 플레이트(11)의 단 가장자리로부터 수직 벽면(12)을 연장해서 단면 コ자 형상 부분을 일체로 형성함으로써, 베이스 플레이트(11)의 상하를 완전히 구획하여, 연면 거리를 길게 하고 강성을 높여서, 이 결과 제전 장치를 장대화시켜도 중간 지지 부재 등의 새로운 지지 부재를 필요로 하지 않고, 안정되게 사용할 수 있게 되었다.

[케이싱 부재(40)]

본체 케이스(10) 내부의 베이스 플레이트(11)로 구획된 제1 공간(SP1)에는 케이싱 부재(40)가 배치된다. 케이싱 부재(40)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 10개의 케이싱 부재(40)를 연결 부재(60)로 연결하여 하나의 케이싱체(41)를 구성하 고 있다. 케이싱 부재(40)의 사시도를 도 5에 나타낸다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 각 케이싱 부재(40)는 4개의 전극침(90)을 구비하고 있다. 따라서 도 3의 이온화 장치(100)는 합계 40개의 전극침(90)을 갖는다. 이와 같이 이온화 장치(100)의 본체 케이스(10) 내부에서는 복수의 케이싱 부재(40)를 연장식으로 연결하고, 외측의 본체 케이스(10)는 케이싱 부재(40)의 수에 따른 길이로 일체물로 형성함으로써, 케이싱 부재(40)끼리의 연결 부분의 강도를 유지하면서, 본체 케이스(10) 내부에 배치하는 케이싱 부재(40)를 공통화하여 전극침 수나 길이가 다른 이온화 장치를 용이하게 구성할 수 있다.

케이싱 부재(40)는 내압성이나 내트래킹성, 유전율 등의 전기 특성이 우수한 수지로 구성한다. 또한 케이싱 부재(40)의 단 가장자리로부터는, 반송 가스 경로(GP)와 연통(連通)된 내부 가스 포트(43), 및 고전압 포트(44)로서 고전압 배전판(50)이 설치된 삽입부(57)가 돌출되어 있다.

도 6∼도 8에, 이온화 장치(100)의 단부 근방의 단면도를 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 도 6은 단부 가스 포트(22)를 형성한 측, 도 7은 단부 가스 포트(22)와 중간 가스 포트(21)를 형성한 측, 도 8은 반송 가스 공급용 이음매(64)로 케이싱 부재(40)를 연결하는 부분의 단면도를 각각 나타내고 있다. 한편, 도 9에, 전력 공급용 이음매(65)로 케이싱 부재(40)를 연결하는 부분의 단면도를 나타낸다.

[내부 접속 포트(42)]

각 케이싱 부재(40)는 길이 방향으로 다른 케이싱 부재(40)를 연결하기 위하여, 양단면에 내부 접속 포트(42)를 형성한다. 내부 접속 포트(42)는, 도 5∼도 7 에 나타내는 바와 같이 반송 가스로서 공기를 사용한 반송 공기용 내부 가스 포트(43)와 고전압 경로(VP)용 고전압 포트(44)를 구비하고, 이들을 물리적으로 분리된 상태로 연결한다. 이것에 의해, 반송 가스 경로(GP)와 고전압 경로(VP)가 물리적으로 격리되기 때문에, 양자간의 절연이 확실하게 유지된다. 내부 가스 포트(43)와 고전압 포트(44)는, 연결 부재(60)의 연결 가스 포트(61)와 연결 고전압 포트(62)에 각각 연결된다(후술하는 도 16 참조). 특히 내부 가스 포트(43)와 연결 가스 포트(61)는 O링(87A)을 통하여 이음매와 연결된다. O링을 사용함으로써 기밀 접속 상태를 용이하게 실현할 수 있으며, 연결 부분으로부터의 절연이나 공기 누설, 이들의 간섭 등이 방지된다.

[유지판(55)]

유지판(55)은 고전압 배전판(50)을 유지한다. 유지판(55)의 외관을 도 10에 나타낸다. 도 10의 (a)는 비스듬히 상방에서 본 사시도를, (b)는 비스듬히 하방에서 본 사시도를, (c)는 하측 케이스에 세트해서 충전 수지(JJ)로 피복한 상태에서의 유지판(55)을 비스듬히 하방에서 본 사시도를 각각 나타내고 있다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이, 유지판(55)은 상면에 고전압 배전판(50)을 표출시키고, 측면의 엣지 부분 및 하면[접촉편(59)을 형성한 부분을 제외함]을 피복 수지로 피복하고 있다. 또한 유지판(55)은 삽입처인 케이싱 부재(40)의 하측 케이스(45)와 동축으로 전극침(90)을 세트하기 위한 제1 슬리브(56)를 형성하고 있다. 도 10의 예에서는, 유지판(55)에 4개의 전극침(90)을 장착 가능하게 구성하고 있다. 또한, 3개 이하, 또는 5개 이하의 전극침을 장착할 수 있는 케이싱 부재를 구성하는 것도 가 능하다. 또한, 다른 전극 수의 케이싱 부재를 혼재시켜서 케이싱체를 구성하는 것도 가능하다. 또한 유지판(55)의 단 가장자리에는 고전압 배전판(50) 주위를 피복한 삽입부(57)가 형성되고, 고전압 배전판(50)의 단 가장자리에 형성된 접속 단자(51)는 삽입부(57)로부터 더욱 돌출되어 있다.

유지판(55)은 고전압 배전판(50)을 유지할 때에, 공기 경로측, 즉 하면측에 있어서, 전극 조립체(92)의 전극침(90)이 삽입되는 부분을 제외하고, 고전압 배전판(50)이 공기 경로에 표출되지 않도록 하기 위하여, 고전압 배전판(50)을 덮는 구조로 하고 있다. 반대로 말하자면, 고전압 배전판(50)은 공기 경로측에서 표출하지 않도록 피복하면 충분하고, 상면측, 즉 고전압 경로(VP)측에서는 표출하고 있어도 상관없다. 고전압 배전판(50)의 공기 경로측에서는, 전극침(90)이 접촉하는 부분만, 접촉편(59)을 형성하여 공기 경로측의 표면에서 노출하고 있으며, 그 노출 부분을 둘러싸도록 제1 슬리브(56)가 형성되어 있다.

[하측 케이스(45)]

케이싱 부재(40)를 구성하는 하측 케이스(45)의 외관을 도 11에 나타낸다. 도 11의 (a)는 비스듬히 상방에서 본 사시도, (b)는 비스듬히 하방에서 본 사시도를 각각 나타내고 있다. 이 하측 케이스(45)는 거의 평행하게 이간된 2개의 측벽과, 이것에 연결되는 2개의 단벽(端壁)과, 저벽을 갖는 상방을 개구한 직사각형 형상의 상자형으로 형성된다. 하측 케이스 개구부(46)측에는 유지판(55)이 삽입된다. 유지판(55)은 상하에 리브(rib)를 설치하고 있으며, 또한 하측 케이스 개구부(46)에 삽입할 수 있는 크기 및 형상으로 형성된다. 도 12에, 하측 케이스 개구부(46) 에 세트된 유지판(55)을 수지로 피복한 케이싱 부재(40)의 단면도를 나타낸다. 이 예에서, 하측 케이스 개구부(46)는 하방의 내부 직경을 유지판(55)의 폭보다도 좁게 형성하고, 개구부의 단 가장자리에 단차부(47)를 형성하여, 유지판(55)을 단차부(47)로 지지하여 폐색할 수 있도록 설계되어 있다.

하측 케이스 개구부(46)를 유지판(55)으로 폐색함으로써, 직선 형상의 반송 가스 경로(GP)를 구성하는 밀폐 공간이 형성된다. 이것에 의해, 도 4, 도 15[전력 공급용 이음매(65)의 단면도] 등에 나타내는 바와 같이, 유지판(55)의 하면과 전극 조립체(92)(후술) 사이에서, 가스 경로의 일부를 구성하는 반송 가스 경로(GP)가 구성된다.

하측 케이스(45)는, 그 저벽에, 유지판(55)에 형성된 비교적 짧은 제1 슬리브(56)와 동축의 비교적 긴 원통 형상의 제2 슬리브(48)를 구비하고 있다. 이 제2 슬리브(48)는 하측 케이스(45)의 저벽으로부터 하방으로 연장되며, 그 양단을 개방하고 있다. 즉, 제2 슬리브(48)는 상하로 연장되는 관통 홀을 구성하고 있으며, 이 제2 슬리브(48)는 제1 슬리브(56)보다도 큰 직경을 갖고 있는 것이 바람직하다. 제2 슬리브(48)의 외주면에는, 제2 슬리브(48)의 기단 부분에, 연면 거리를 확대하기 위한 2개의 원주 플랜지(49)가 형성되어 있다.

[고전압 배전판(50)]

고전압 배전판(50)은 케이싱 부재(40)와 마찬가지로 길이 방향으로 연장된 판 형상으로 형성되고, 도전성이 우수한 물질로 구성된다. 예를 들면 스테인리스강 등으로 고전압 배전판(50)을 형성함으로써, 도전성을 유지하면서 이온화 장치의 길 이 방향에 대해서 보강판의 역할을 수행하여, 강성을 향상시킬 수 있다. 이 고전압 배전판(50)은 전력 공급용 이음매(65)를 통하여 전기 회로 유닛(80)을 구성하는 양측 승압 회로(83A)와, 음측 승압 회로(83B)에 접속되어 있다. 이 고전압 배전판(50)은 유지판(55)의 일단으로부터 타단까지 직선 형상으로 연장된 형상을 갖고 있다. 또한, 고전압 배전판(50)의 일단은 전기 회로 유닛(80)으로부터의 고전압 에너지를 받아들이는 접속 단자(51)를 구성하고 있으며, 접속 단자(51)를 유지판(55)의 단면에서 돌출시켜서 전력 공급용 이음매(65)에 전기 접속된다.

[접속 단자(51)]

접속 단자(51)는 케이싱 부재(40)의 양단으로부터 돌출되는 삽입부(57)로부터 더욱 돌출되어 있다. 도 13에, 전력 공급용 이음매(65)로 케이싱 부재(40)끼리를 접속하는 부분의 확대도를 나타낸다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 접속 단자(51)는 만곡되어서 거의 U자 형상으로 되접혀서 U자편을 형성하고 있다. 또한 U자편은 도 14(표준 이음매(63)의 종단면도)에 나타내는 바와 같이 두 갈래로 분기되어 있다. 이것에 의해, 후술하는 전극 연결 파이프(67)의 내부 곡면을 따라, 두 갈래의 각 U자편을 각각 탄성 변형하여 접촉하기 쉽게 할 수 있다.

고전압 배전판(50)은 인서트 성형에 의해 유지판(55)에 일체적으로 개재된다. 이것에 의해 고전압 배전판(50)은 유지판(55)에 확실하게 고정되며, 불필요한 부분을 본체 케이스(10) 내부에 노출시키지 않고, 연면 경로를 배제할 수 있다. 유지판(55)은 수지 성형 재료 등으로 구성되고, 도 10의 (a)에 나타내는 바와 같이 상방을 개구한 바닥이 있는 프레임 형상으로 형성되며, 이 프레임 형상의 상면에 고전압 배전판(50)이 표출하도록 인서트 성형되어 있다. 또한 프레임 형상의 개구는 고전압 배전판(50)의 형상을 거의 따르도록 가늘고 긴 직사각형 형상으로 형성된다. 또한 프레임 형상의 개구 면적은 고전압 배전판(50)보다도 다소 작게 함으로써, 고전압 배전판(50) 주위를 유지판(55)으로 덮고, 엣지 부분을 확실하게 피복하여 불필요한 방전을 회피한다. 상면에 표출된 고전압 배전판(50)은 후술하는 바와 같이 고정 플레이트(54)로 피복된다. 이 고전압 배전판(50)은 단부의 접속 단자(51)를 표출시키면서, 도 6, 도 15 등에 나타내는 바와 같이 단부 근방을 절곡하고 있으며, 절곡 부분으로부터 선단을 향하여 피복 수지로 피복해서 유지판(55) 단부의 삽입부(57)를 형성하고 있다. 이와 같이 절곡 부분을 형성하고, 절곡 부분 주위를 피복 수지로 피복함으로써, 이 부분에서 고전압 배전판(50)과 피복 수지와의 접합성을 높일 수 있다.

또한 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이, 유지판(55)의 하면도 프레임 형상으로 형성하고, 프레임 형상의 중간에 제1 슬리브(56)를 형성하며, 제1 슬리브(56)가 없는 부분에는 리브(58)를 걸쳐서 보강하고 있다. 유지판(55)의 하면에서는, 제1 슬리브(56)의 부분을 제외하고 고전압 배전판(50)이 표출하지 않도록 완전히 덮어, 연면 경로의 형성을 저지하고 있다. 한편, 제1 슬리브(56)의 부분에서는, 원통형의 제1 슬리브(56)의 저면에 고전압 배전판(50)을 표출시켜서, 전극침(90)과의 접촉편(59)을 구성하고 있다.

[접촉편(59)]

고전압 배전판(50)에는, 유지판(55)의 제1 슬리브(56)에 대응하는 부분에, 전극침(90)과 전기 접속하기 위한 접촉편(59)이 형성되어 있다. 접촉편(59)은 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 접촉면을 대향시키고 있으며, 이 사이에 전극침(90)의 상단면을 삽입하여 협지한다. 접촉편(59)의 선단은 만곡시켜서 접촉면끼리의 간격을 좁게 하도록 하고, 이 사이에서 탄성적으로 전극침(90)을 유지하여 확실하게 전기 접속을 얻는다. 접촉편(59)은 바람직하게는 고전압 배전판(50)과 동일한 부재로 구성하고, 예를 들면 스테인리스판을 コ자 형상으로 접촉하여 고전압 배전판(50)과 고정한다. 또는, 고전압 배전판을 잘라 올려서 접촉편을 형성하여도 좋다.

[수지 2단계 충전]

도 12에 나타내는 케이싱 부재(40)의 횡단면도로부터 명백하듯이, 고전압 배전판(50)은 피복 수지(HJ)와 충전 수지(JJ)로 피복되어 있다. 종래, 고전압 배전판의 엣지 부분이 표출되어 방전을 발생시키지 않도록, 수지 등으로 피복하는 것이 행해지고 있었다. 도 32에, 종래의 고전압 배전판을 피복하는 구성을 나타낸다. 도 32의 (a)에 있어서는, 주 공기 통로(S1)와 고전압 경로(S3)를 분리하기 위하여, 고정 플레이트(257)와 지지 플레이트(225)로 고전압 배전판(258)을 협지한 상태에서, 도 32의 (a)에 나타내는 A의 부분에서 초음파 용착으로 접착한 후, 또한 이 지지 플레이트(225)와 박스 형상 부재를 B의 부분에서 초음파 용착 등으로 기밀하게 연결하고 있었다. 이 구성에서는, 4개의 부재를 조립할 필요가 있으며, 특히 초음파 용착 등의 공정에 시간이 걸리고, 조립 비용이 든다는 문제가 있었다.

한편, 도 32의 (b)에 나타내는 구성에서는, 미리 고전압 배전판(258)을 유지 판(55)에 인서트 성형하고, 유지판(55)과 케이싱 부재(40)를 O링(286)으로 기밀하게 연결함으로써, 주 공기 통로(S1)와 고전압 경로(S3)를 격리하고 있다. 이 구성에 따르면, 초음파 용착 작업을 불필요하게 할 수 있으며, 또한 리브나 홈 등의 초음파 용착 여유(welding margin)도 불필요하게 할 수 있다. 그러나 이 방법에서는 O링(286)을 사용해서 주 공기 통로(S1)를 기밀하게 밀봉하고 있었기 때문에, O링(286)의 면적 분만큼 통로가 좁아진다는 문제가 있었다.

이에 비해서 본 실시형태에서는, 도 12에 나타내는 바와 같이 우선 고전압 배전판(50)의 상면(도 12에 있어서 하면)을 표출시키고, 측면의 엣지 부분 및 하면[접촉편(59)을 형성한 부분을 제외함]을 피복 수지(HJ)로 피복한 유지판(55)을 형성한다. 유지판(55)의 수지 형성은 인서트 성형에 의해 행해진다. 또한 트랜스퍼 성형이나 사출 성형을 이용할 수도 있다.

이어서, 이 유지판(55)을 도 11에 나타내는 하측 케이스(45)에 삽입한다. 하측 케이스(45)는 단면을 거의 コ자 형상으로 해서 상방을 개구하고 있으며, 이 하측 케이스 개구부(46)가 케이싱 부재(40) 내의 반송 가스 경로(GP)를 구성한다. 하측 케이스 개구부(46)에 유지판(55)을 삽입하고, 단차부(47)로 유지판(55)을 지지하여 하측 케이스 개구부(46)를 폐색하며, 내부 공간을 반송 가스 경로(GP)로 한다. 이때, 유지판(55)은 고전압 배전판(50)의 표출면이 상방을 향하는 자세로 하측 케이스 개구부(46)에 삽입된다. 이 상태에서 하측 케이스 개구부(46)에 또한 충전 수지(JJ)를 충전하여 고정 플레이트(54)를 형성하고, 고전압 배전판(50)의 표출면을 포함하여, 유지판(55)을 고정 플레이트(54)로 완전히 하측 케이스(45)에 매설한 다. 피복 수지(HJ)를 충전 수지(JJ)와 동일한 재질로 함으로써, 2단계의 수지 성형에 의해서도 계면에서 강고하게 고정되어, 유지판(55)과 하측 케이스(45)를 일체로 한 케이싱 부재(40)를 형성할 수 있다.

하측 케이스(45)의 측면에는, 도 12에 나타내는 바와 같이 유지판(55)을 하측 케이스 개구부(46)에 세트한 상태에서 외부에 연통한 슬릿(53)을 형성하고 있다. 이것에 의해, 2회째의 수지 성형시에 충전 수지(JJ)가 슬릿(53)에 충전된 상태에서 고화되어 돌기(57b)를 형성하고, 고정 플레이트(54)는 하측 케이스 개구부(46)에서 확실히 고정된다.

이 방법이면 고전압 배전판(50) 주위를 완전히 피복할 수 있고, 공기의 개재에 의한 방전이 효과적으로 저지되며, 또한 수지 중에 매몰시킴으로써 연면 방전 경로도 형성되지 않는다. 덧붙여, 고전압 배전판(50)의 하측 케이스(45)에의 고정도 동시에 행할 수 있기 때문에, 초음파 용착 등의 접착 공정이 불필요하여 조립의 작업성을 개선할 수 있다. 또한 초음파 용착 여유를 형성할 필요도 없기 때문에, 한층 더 소형화를 실현할 수 있다. 또한 초음파 용착에 의한 더스트 발생으로부터도 자유로우며, 또한 O링 등에 의한 기밀 밀봉도 불필요하다. 덧붙여, 2회째의 수지 성형시에는 도 12에 나타내는 바와 같이, 유지판(55)이 하측 케이스 개구부(46)의 단차부(47)로 유지되어서 폐색되기 때문에, 충전 수지(JJ)가 반송 가스 경로(GP)에 유입하는 일도 없고, 또한 수지 성형시의 압력으로 반송 가스 경로(GP)가 좁아지는 일도 없다.

또한, 이들 수지에 의한 피복은 고전압 배전판(50)의 단 가장자리를 제외한 부분에서 행한다. 즉, 케이싱 부재(40)의 완성체에 있어서, 전기 접속을 위한 고전압 배전판(50)의 접속 단자(51)는 도 5에 나타내는 바와 같이 돌출시키고 있다.

[연결 부재(60)]

케이싱 부재(40)끼리의 연결에는 연결 부재(60)가 사용된다. 도 6∼도 9, 도 13 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 연결 부재(60)는 케이싱 부재(40)의 가스 포트(43)를 연결하는 연결 가스 포트(61) 및 고전압 포트(44)를 연결하는 연결 고전압 포트(62)를 구비한다. 2개의 케이싱 부재(40) 사이에 연결 부재(60)를 배치하고, 연결 부재(60)의 양측으로부터 케이싱 부재(40)를 삽입하여, 이들 케이싱 부재(40)의 가스 포트(43) 및 고전압 포트(44)끼리가 연통된다. 본 실시형태에서는, 연결 부재(60)로서 본체 케이스(10)의 길이 방향을 따라 케이싱 부재(40)를 꽂고 빼내서 연결하는 이음매를 사용하고 있다. 이것에 의해, 케이싱 부재(40)의 길이 방향의 치수 오차를 이음매에의 삽입량에 의해 조정하는 것이 가능해진다.

종래의 이온화 장치에서는, 도 33에 나타내는 바와 같이, 케이싱 부재(40B)끼리를 직접 연결하고 있었기 때문에, 케이싱 부재(40B)를 연결한 케이싱체의 전체 길이가 고정된다. 이 때문에, 케이싱체를 수납하는 본체 케이스와의 치수 오차에 의해, 덜거덕거림이 발생하거나 수납할 수 없는 사태가 발생할 우려가 있었다. 특히 다수의 케이싱 부재(40B)를 연결하는 구조에서는, 치수 오차가 누적되어 크기의 불일치가 발생하기 쉬워진다. 이에 비해서, 본 실시형태에서는 연결 부재(60)를 개재시켜서, 연결 부재(60)에의 케이싱 부재(40)의 삽입량을 조정 가능하게 함으로써, 이러한 치수 오차의 조정을 가능하게 하고 있다.

연결 고전압 포트(62) 및 연결 가스 포트(61)는, 도 13, 도 16 등에 나타내는 바와 같이 전극침으로부터 이온이 방출되는 방향에 대하여, 연결 고전압 포트(62), 연결 가스 포트(61) 순으로 형성된다. 이 배치에 의해, 케이싱 부재(40)의 고전압 경로(VP), 반송 가스 경로(GP)의 배치와 일치시켜서, 케이싱체(41) 내부에서 거의 직선 형상으로 각 경로를 삽입 관통시킬 수 있다. 또한, 연결 고전압 포트(62) 및 연결 가스 포트(61)는 일체로 형성하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 각 포트를 용이하면서 저렴하게 형성하며, 연결 부재의 강도를 높여 이온화 장치의 강성 향상에 기여할 수 있다.

[이음매]

본 실시형태에서는, 연결 부재(60)를 구성하는 이음매로서, 표준 이음매(63) 외에, 중간 반송 가스 배관(71)을 접속하기 위한 반송 가스 공급용 이음매(64), 전기 회로 유닛(80)에서 생성되는 고전압을 케이싱 부재(40)의 고전압 배전판(50)과 접속하기 위한 전력 공급용 이음매(65)의 3종류를 사용하고 있다. 도 16에 표준 이음매(63), 도 17에 전력 공급용 이음매(65), 도 18에 반송 가스 공급용 이음매(64)를 각각 나타낸다. 또한 도 14는 표준 이음매(63), 도 15는 전력 공급용 이음매(65)의 접속 부분의 단면도를 나타내고 있다.

각 이음매는 도 6∼도 9, 도 16에 나타내는 바와 같이 반송 가스를 통과시키는 연결 가스 포트(61)와, 고전압 배전판(50)끼리를 연결하기 위한 연결 고전압 포트(62)를 개별적으로 형성하고 있다. 도 16에 나타내는 예에서는, 하방(도 16에 있어서 상방)에 중공 원통 형상의 연결 가스 포트(61), 상방에 이것보다도 작은, 연 결 고전압 포트(62)를 개구하고 있다. 이들은 관통구이며, 어떠한 개구면으로부터도 케이싱 부재(40)를 삽입 가능하게 하고 있다.

연결 가스 포트(61)는 반송 가스를 각 전극침(90)에 반송하기 위하여 내면을 모따기하여 곡면 형상으로 함으로써, 가스 흐름이 원활하게 흐르도록 하고 있다. 이 예에서는 충분한 반송 가스를 반송할 수 있도록, 연결 고전압 포트(62)보다도 개구 면적을 크게 하고 있다. 연결 가스 포트(61)끼리의 접속에는, 종래는 도 28, 도 29에 나타내는 바와 같이 고무관 등의 가요성 튜브(135)가 이용되고 있었으나, 본 실시형태에 있어서는 강성이 높은 이음매로 구성함으로써, 연결 부분에 있어서도 강성 향상에 기여할 수 있다. 또한 연결 고전압 포트(62)에 케이싱 부재(40)의 내부 가스 포트(43)를 접속하는 접속 부분에서 가스 누설을 발생시키지 않도록, 기밀하게 접속한다. 도 15의 예에서는, 내부 가스 포트(43)의 외주에 O링(66)을 배치해서 밀봉하고 있다.

[전극 연결 파이프(67)]

연결 고전압 포트(62)는 개구단을 거의 직사각형 형상으로 하여 케이싱 부재(40)의 삽입부(57)를 삽입할 수 있는 크기 및 형상으로 형성된다. 또한 연결 고전압 포트(62)의 내부에는, 도 13∼도 15에 나타내는 바와 같이, 직사각형 형상의 개구단보다도 직경이 작은, 중공 원통 형상의 전극 연결 파이프(67)를 설치하고 있다. 전극 연결 파이프(67)는 도전성이 우수한 물질로 구성되며, 원통 내면에서 고전압 배전판(50)의 단 가장자리에 형성된 접속 단자(51)인 U자편(후술)을 접촉시켜서 전기적으로 접속한다. 또한 이음매는 전극 연결 파이프(67)를 인서트 성형 등에 의해 연결 고전압 포트(62) 내부에 개구 부분을 일치시켜서 매설하고 있다. 또한 전극 연결 파이프(67)는 중공 형상의 개구를 가지면 되고, 내면 및 외관을 원통 형상으로 할 필요는 없으며, 예를 들면 직사각형 형상으로 할 수도 있다. 예를 들면 외형을 블록 형상으로 함으로써 전극 연결 파이프(67)의 설치를 용이하게 할 수 있기 때문에, 블록 형상의 금속에 관통 홀을 형성한 전극 연결 파이프(67)를 사용할 수 있다. 한편, 전극 연결 파이프(67)의 내면을 원통 형상으로 함으로써, 엣지를 저감하여 방전의 우려를 한층 더 저감할 수 있다.

전극 연결 파이프(67)에는, 케이싱 부재(40)의 단 가장자리로부터 돌출한 접속 단자(51)가 삽입된다. 상술한 바와 같이, 접속 단자(51)는 거의 U자 형상으로 되접혀서 U자편을 형성하고 있으며, 도 13, 도 15에 나타내는 바와 같이 접속 단자(51)의 저면 및 U자편의 되접힘 부분의 2개소에서, 전극 연결 파이프(67) 내면에 접촉하여 전기적으로 접속하고 있다. 이와 같이 접속 단자(51)끼리를 엣지면에서 직접 대향시키지 않고, R 형상으로 절곡시킨 상태로 대향시킴으로써 엣지 부분을 저감하여 불필요한 방전을 방지할 수 있다. 또한 이 예에서는, 대향하는 U자편의 배면끼리는 의도적으로 이간시킴으로써, 이 부분의 접촉 불량을 회피하고, 보다 확실한 접촉이 얻어지는 전극 연결 파이프(67) 내면과의 도통을 이용하고 있다. 특히 접속 단자(51)의 U자편은 도 14에 나타내는 바와 같이 두 갈래로 분기되어 있기 때문에, 전극 연결 파이프(67) 내부의 곡면을 따라, 두 갈래의 각 U자편이 각각 탄성 변형하여 확실하게 접속하여 접촉 불량을 해소할 수 있다.

[반송 가스 공급용 이음매(64)]

표준 이음매(63)는 상술한 바와 같이 인접하는 케이싱 부재(40)끼리를 접속하고, 반송 가스 경로(GP)와 고전압 경로(VP)를 접속한다. 한편, 반송 가스 공급용 이음매(64)는 도 3, 도 8에 나타내는 바와 같이 본체 케이스(10)의 중간에서, 케이싱 부재(40)끼리를 접속하고, 이 위치로부터 양단에 접속된 케이싱 부재(40)에 대하여 반송 가스를 공급한다. 이것에 의해, 반송 가스는 반송 가스 공급용 이음매(64)를 통하여 케이싱체(41)의 양단 및 중간으로부터 공급된다.

종래의 바 타입의 이온화 장치에서는, 길이 방향으로 연장하면, 양단으로부터 공급되는 반송 가스가 중앙의 전극침까지 반송되기 어려워져서, 가스압이 저하하여 충분한 이온의 비상(飛翔)이 얻어지지 않거나, 또는 전극침의 위치마다 이온의 비상 거리가 달라 제전 효과가 불균일하게 된다는 문제가 있었다. 이에 비해서 본 실시형태에서는, 중앙 근방의 케이싱 부재(40)에 대해서, 이음매를 통하여 반송 가스를 직접 공급할 수 있기 때문에, 바 타입의 이온화 장치를 길이 방향으로 연장해도 반송 가스 부족, 불균일의 문제를 해소할 수 있다. 특히, 반송 가스를 공급하기 위한 전용 부재를 설치하지 않고, 이음매에 반송 가스 공급 기구를 부가함으로써, 이음매를 변경하는 것만으로 원하는 위치에 반송 가스를 공급할 수 있게 되어, 구성의 간소화나 조립 작업의 향상면에도 기여한다. 도 3에 나타내는 예에서는, 10개의 케이싱 부재(40)를 연결한 케이싱체(41)를 수납하는 전체 길이 3m의 이온화 장치(100)의 중심인, 단면으로부터 1.5m의 위치, 즉 단부로부터 세어서 5개째의 케이싱 부재(40)와 6개째의 케이싱 부재(40)를 접속하는 이음매에, 반송 가스 공급용 이음매(64)를 사용하고 있다. 또한 본 명세서에 있어서 중간에 위치하는 케이싱 부 재(40)란, 케이싱체(41)를 구성하는 복수의 케이싱 부재(40) 중, 단부에 위치하는 케이싱 부재(40)를 제외한다는 의미이다.

도 19에, 도 18의 반송 가스 공급용 이음매(64)의 A-A선에 있어서의 단면도를 나타낸다. 반송 가스 공급용 이음매(64)는 도 18의 사시도 및 도 19의 단면도에 나타내는 바와 같이, 반송 가스 경로(GP) 및 고전압 경로(VP)를 격리해서 형성하고, 도면에 있어서 하방으로 반송 가스 공급구(68)를 개구하고 있다. 반송 가스 공급구(68)는 도 19의 단면도에 나타내는 바와 같이 반송 가스 경로(GP)와 연통하고 있다. 이때, 반송 가스 공급구(68)와 반송 가스 경로(GP) 사이에 위치하는 고전압 경로(VP)에서 반송 가스 흐름이 저해되지 않도록, 반송 가스 공급구(68)의 내부에서 고전압 경로(VP)의 하면으로부터 하방을 향하여 반송 가스 안내편(69)이 연장되어 있다. 반송 가스 안내편(69)은 반송 가스 공급구(68)로부터 돌출하고, 선단을 향하여 가늘어지도록 테이퍼 형상으로 형성된다. 이것에 의해, 도 19의 단면도에 있어서 하방으로부터 공급되는 반송 가스 흐름이 테이퍼 형상의 반송 가스 안내편(69)으로 이분되어 반송 가스 경로(GP)로 도입된다. 이것에 의해, 고전압 경로(VP)가 장해가 되어 난류가 발생하는 것을 해소하고, 압력 손실을 저감하여 원활하게 반송 가스를 반송 가스 경로(GP)로 도입하여, 반송 가스 경로(GP)에 연통된 각 전극침(90) 주위로부터 방출한다.

반송 가스 공급구(68)에는, 중간 반송 가스 배관(71)을 접속하기 위한 반송 가스 공급용 접속 부재로서, 반송 가스 밸브(70)가 접속된다. 반송 가스 밸브(70)는 연결 가스 포트(61)와 삽입 관통되어 있으며, 도 3에 나타내는 바와 같이 중간 반송 가스 배관(71)과 접속함으로써, 연결 가스 포트(61)를 통하여 반송 가스 경로(GP)와 삽입 관통된다. 중간 반송 가스 배관(71)은 본체 케이스(10) 내부의 제2 공간(SP2)에 배치되어, 도 7에 나타내는 사이드 커버(20)에 형성된 중간 가스 포트(21)에 접속된다. 도 20에, 반송 가스의 배관과 반송 가스가 반송되는 경로를 나타낸다. 이와 같이, 한쪽 사이드 커버(20)에는 단부 가스 포트(22)가, 다른쪽 사이드 커버(20)에는 단부 가스 포트(22)와 함께 중간 가스 포트(21)가 형성된다. 반송 가스는 외부에 접속되는 공기 공급 유닛으로부터 케이블을 통하여 반송된다. 케이블과 연결 포트의 접합 부분, 즉 단부 가스 포트(22) 및 중간 가스 포트(21)는 O링 등을 사용하여 기밀하게 연결된다. 단부 가스 포트(22) 및 중간 가스 포트(21)를 통하여, 외부로부터 공기 등의 반송 가스가 공급되고, 이온화 장치의 양단 및 중간으로부터, 반송 가스가 반송 가스 경로(GP)로 도입된다. 이것에 의해, 중간의 케이싱 부재(40)에도 안정되게 반송 가스가 공급된다.

또한, 반송 가스의 압력을 단부 가스 포트(22)와 중간 가스 포트(21)로 조정할 수도 있다. 예를 들면, 중간 가스 포트(21)로부터 도입되는 반송 가스는 배관 경로가 길어 압력 손실이 발생하는 것을 고려하여, 압력을 약간 높게 설정해도 좋다. 또는 파이프 직경을 변경하여 유속을 빠르게 할 수도 있다.

중간 반송 가스 배관(71)은 경질의 수지제 파이프 등을 이용할 수 있다. 본체 케이스(10)의 길이 방향을 따라 중앙 부근까지 경질제의 중간 반송 가스 배관(71)으로 배관함으로써도, 길이 방향의 강성의 향상에 기여할 수 있다. 또한 중간 반송 가스 배관(71) 주위를, 도 2에 나타내는 바와 같이 보강 부재(72)로 보호 한다. 보강 부재(72)는 단면을 コ자 형상으로 하고, コ자 형상의 개구 부분에 중간 반송 가스 배관(71)을 삽입하여 이것을 보호하며, 길이 방향으로 일체의 수지 등의 압출재로 성형한 경질재로 함으로써, 본체 케이스(10)의 강성의 향상에 더욱 이바지한다. 도 2의 예에서는, 보강 부재(72)가 도면에 있어서 본체 케이스(10)의 우측 단면으로부터 중간 반송 가스 배관(71)을 설치한 중앙 부분뿐만 아니라, 더욱 연장해서 승압 유닛(83) 부근까지 배치된다. 이와 같이, 본체 케이스(10) 내의 무용 공간에 보강 부재(72)를 삽입하여 강성의 향상을 도모할 수 있다.

[전력 공급용 이음매(65)]

전력 공급용 이음매(65)는 도 9, 도 17에 나타내는 바와 같이 본체 케이스(10) 중간에서, 케이싱 부재(40)끼리를 접속하고, 전기 회로 유닛(80)에서 생성되는 고전압을 고전압 배전판(50)에 공급하기 위한 전압 입력부가 된다. 이 때문에 전력 공급용 이음매(65)는 전기 회로 유닛(80)의 출력 단자와, 케이싱 부재에 포함되는 고전압 배전판을 연결 고전압 포트를 통하여 접속하기 위한 전력 공급용 접속 부재(65b)를 구비한다. 이것에 의해, 전기 회로 유닛(80)에서 생성된 고전압을 케이싱 부재(40)의 고전압 배전판(50)에 공급하기 위한 배선이나 다른 부재를 별도로 준비하지 않고, 하나의 이음매로 케이싱 부재(40)끼리의 연결과, 고전압의 공급을 실현할 수 있어, 구성의 간소화 및 조립 공정의 생력화가 도모된다.

[전기 회로 유닛(80)]

전기 회로 유닛(80)은 전극침(90)에 인가하는 고전압을 생성하기 위한 회로이다. 또한 본 명세서에 있어서 고전압이란, ±2㎸∼7㎸의 전위차를 갖는 것을 나 타낸다. 이 전위차는 너무 높으면 제전기 내부에서 절연 파괴를 일으키거나, 워크(work)로 방전해 버리는 경우가 있고, 한편 너무 낮으면 제전할 수 없게 되는 경우가 있기 때문에, 적절한 범위로 설정된다. 전기 회로 유닛(80)은 전원 유닛(81)과, 제어 유닛(82)과, 승압 유닛(83)을 포함한다. 전원 유닛(81)은 외부 전원과 접속되어 전력을 받는 전원 회로를 구비한다. 제어 유닛(82)은 전원 유닛(81)에서 받은 전력으로 구동되어, 각 전극침(90)의 동작을 제어하는 제어 회로를 구비한다. 승압 유닛(83)은 전원 회로에서 받은 전압을 승압하여, 고전압을 생성하는 승압 회로를 구비한다. 도 2의 예에서는, 양의 고전압을 생성하는 양측 승압 회로(83A)와, 음의 고전압을 생성하는 음측 승압 회로(83B)를 갖는다. 또한 이들 양측 승압 회로(83A), 음측 승압 회로(83B) 사이에 전력 공급용 이음매(65)가 위치하도록 배치되며, 이것에 의해 도 17에 나타내는 바와 같이 전력 공급용 이음매(65)의 양측으로부터 양과 음의 고전압이 전환해서 공급되어, 케이싱 부재(40)의 고전압 배전판(50)에 공급된다. 이 때문에 전력 공급용 이음매(65)는 양과 음의 고전압을 전환할 수 있는 전자 릴레이를 내장할 수도 있다.

이들 기판은 도 2에 나타내는 바와 같이 각각 유닛 형상으로 구성된다. 이와 같이 기판을 기능별, 용도별로 한데 모으고, 복수의 기판으로 분할함으로써 각 기판을 소형화할 수 있으며, 공간 절약적인 배치가 용이해진다. 도 2의 예에서는, 본체 케이스(10)의 제2 공간(SP2) 내에, 유닛 형상의 전원 유닛(81), 제어 유닛(82), 승압 유닛(83)을 배치하고 있어, 본체 케이스(10) 내부의 한정된 공간에 효율적으로 수납할 수 있다. 전원 유닛(81)을 포함한 전기 회로 유닛(80)은 본체 케이 스(10) 내부의 길이 방향에서 단부에 위치시키는 것이 바람직하다. 이것에 의해 모멘트를 다소 향상시켜서 밸런스 좋게 배치할 수 있으며, 또한 무용 공간을 없앨 수 있다. 또한, 한쪽 단부에 전기 회로 유닛(80)을 배치하고, 다른쪽 단부, 즉 중간 가스 포트(21)를 구비한 사이드 커버(20)로부터는 중간 반송 가스 배관(71)을 배치함으로써, 본체 케이스(10) 내의 공간을 효율적으로 이용할 수 있다. 덧붙여, 중간 가스 포트(21)를 구비한 사이드 커버(20)측으로부터 보강 부재(72)를 연장하고, 전기 회로 유닛(80)이 배치되어 있지 않은 무용 공간을 보강 부재(72)로 메워서, 가능한 한 강성 향상을 도모할 수 있다.

본체 케이스(10) 내부에서 유지판(55)의 상방 공간을 이용하여, 여기에 유닛 형상으로 해서 배치하기 쉽게 한 전기 회로 부재를 배치함으로써, 필요한 부재를 본체 케이스(10) 내에 효율적으로 편입시킬 수 있다. 또한 누전 대책을 위하여, 고압 전원 회로 등을 편입시킨 제어 유닛(82)을 구성한 후, 실리콘 수지 등의 충전재로 충전할 수도 있다.

이음매(63 및 64, 65)의 상기 실시예에 따르면, 이음매(63, 64 혹은 65)의 일단부에 연결되는 케이싱 부재(40)의 반송 가스 경로(GP)는 이음매의 타단에 연결되는 다른 케이싱 부재(40)의 반송 가스 경로(GP)와 연결되어 있다.

그러나, 더욱 바람직하게는, 반송 가스 공급용 이음매(64)가 본체 케이스(10)의 중간부에 배치되어 있을 때, 반송 가스 공급용 이음매(64)는 2개의 케이싱 부재(40)를 연결하고 있는 반송 가스 경로(GP) 사이에 블록부를 가져도 좋다. 더욱 상세하게는, 복수의 케이싱 부재(40)가 연결되어 구성된 본체 케이스(10)에 는, 장치(100)의 우측에 배치된 단부 가스 포트(22)로부터, 장치(100)의 우측에 배치된 케이싱 부재에 가스가 공급되고, 본체 케이스(10)의 중간부에 배치된 반송 가스 공급용 이음매(64)로부터, 장치(100)의 좌측에 배치된 케이싱 부재(40)에 가스가 공급된다.

이 경우, 반송 가스 공급용 이음매(64)는 장치(100)의 우측과 좌측의 압력이 동일한 압력으로 유지되도록, 케이싱 부재(40)의 반송 가스 경로(GP) 사이에 블록부를 갖게 된다.

[전극침(90)]

도 21에, 이온화 장치의 전극침(90)을 설치한 부분의 단면도를 나타낸다. 전극침(90)은 이것을 보호하기 위한 보호 부재(91)와 일체화되어 전극 조립체(92)를 구성하고, 이 전극 조립체(92)는 케이싱 부재(40)의 제2 슬리브(48) 및 유지판(55)의 제1 슬리브(56)에 의해 착탈 자유롭게 유지된다. 그리고, 케이싱 부재(40)에 장착된 전극 조립체(92)는 케이싱 부재(40)로부터 하방을 향하여 수하(垂下)하고, 전극 조립체(92)의 하단 부분이 대향 전극 플레이트인 커버부(30)로부터 외부로 노출된 상태가 된다.

[전극 조립체(92)]

전극 조립체(92)의 전극침(90)은, 예를 들면 텅스텐 등으로 만들어져 있으며, 전극침(90)은 그 선단부 및 후단부 다시 말하면 상단부를 제외한 본체 부분이 보호 부재(91)로 피복되어 있다. 보호 부재(91)는 전극침(90)을 따라 연장되는 소직경의 내부통 부분(93)과, 소직경의 내부통 부분(93)의 하단 다시 말하면 전극 침(90)의 선단 부분으로부터 직경 방향 외방으로 넓어지는 원형 부분(94)과, 원형 부분(94)의 외주 가장자리로부터 위쪽 방향으로 연장되는 대직경의 외부통 부분(95)을 갖는다. 대직경의 외부통 부분(95)은 원통 부분(94)으로부터 상방으로 연장되며, 제2 슬리브(48)의 외주면을 따라 이 제2 슬리브(48)의 기단 부분까지 연장되고, 상단에는 연면 거리를 확대하기 위하여 플랜지(96)가 형성되어 있다.

전극 조립체(92)를 케이싱 부재(40)에 장착하면, 각 전극침(90)이 위치 결정되고, 케이싱 부재(40)의 제2 슬리브(48)의 내주면과, 보호 부재(91)의 소직경의 내부통 부분(93)의 외주면으로, 케이싱 부재(40)의 반송 가스 경로(GP)에 연결되며 또한 반송 가스 경로(GP)에 직교해서 하방으로 연장되는 각 전극침(90)마다의 원통 형상 분기 공기 통로(97)가 형성되고, 이 원통 형상 분기 공기 통로(97)는 전극침(90)의 주위면을 따라 형성된 관통 홀(98)을 통하여 외부와 연통하고 있다. 즉, 케이싱 부재(40) 내의 반송 가스 경로(GP)를 지나는 공기는 본체 케이스(10)의 길이 방향을 따라 가로 방향으로 연장되는 반송 가스 경로(GP)에 직교해서 분기한 각 원통 형상 분기 공기 통로(97) 및 관통 홀(98)을 통하여, 각각의 전극침(90)의 선단 주위로부터 외부로 토출된다.

전극 조립체(92)를 케이싱 부재(40)에 장착할 때에, 케이싱 부재(40)의 제2 슬리브(48)의 외주면에는 도 5에 나타내는 바와 같이 돌기(52)를 형성하고, 한편 전극 조립체(92)의 대직경의 외부통 부분(95)에는, 도 21에 나타내는 바와 같이 돌기(52)를 받아들이는 사행(斜行) 슬릿(99)을 형성하는 것이 바람직하다. 돌기(52)를 사행 슬릿(99) 안에 넣은 상태에서 전극 조립체(92)를 밀어 넣음으로써, 전극 조립체(92) 및 전극침(90)을 위치 결정하면서, 케이싱 부재(40)에 맞붙일 수 있다.

이상의 구성에 의해, 전극 조립체(92)를 케이싱 부재(40)에 장착하면, 고전압 배전판(50)의 접촉편(59)은 전극침(90)의 상단면과 압접해서 도통 상태가 된다. 이 전극침(90)과 접촉편(59)과의 접촉 부분을 포함하는 영역은, 유지판(55)의 제1 슬리브(56) 안에 전극 조립체(92)의 소직경의 내부통 부분(93)의 선단 부분이 끼워 넣어짐으로써, 케이싱 부재(40)의 반송 가스 경로(GP) 및 원통 형상 분기 공기 통로(97)와 연통된 공간을 형성한다.

전극 조립체(92)는 전극침(90)을 유지하고 있고, 전극침(90)의 후단부는 전극 조립체(92)의 후단부보다 돌출해서 고전압 배전판(50)과 접촉하고 있다. 한편으로 반송 가스는 반송 가스 경로(GP)로부터 원통 형상 분기 공기 통로(97), 관통 홀(98)을 통하여, 전극침(90) 선단이 배치되어 있는 전극 조립체(92)의 선단부에 송출되고, 여기에서 외부로 방출된다.

또한, 반송 가스를 방출하는 공기 방출구는 전극침(90)을 소직경의 내부통 부분으로 밀폐하고, 그 주위에 개구한 관통 홀로부터 공기를 방출할 수도 있다. 이 경우, 전극침(90)의 선단부가 외부 공기에 접촉하는 부분과는 개별적으로 관통 홀을 형성하고, 전극침(90)의 선단부를 중심으로 하는 직경 형상으로 간격을 둔 위치에 관통 홀을 형성한다. 단, 이 예에 한정되지 않으며, 전극침 주위를 밀폐하지 않고, 전극침을 따라 반송 가스를 송출하는 구성으로 할 수도 있다.

전극침(90)은 텅스텐으로 구성된다. 전극침(90)은 사용과 함께 마모되고, 마모된 미세한 분말이 공중에 비산된다. 그러나, 이온화 장치를 실리콘 웨이퍼 등을 제조하는 청정실에서 사용할 때, 실리콘 웨이퍼 상에 텅스텐 등의 이질의 미세 입자가 부착되는 것은 웨이퍼의 특성상 바람직하지 않다. 그래서, 전극침을 실리콘제로 함으로써, 마모해서 비산했다고 해도, 실리콘 웨이퍼에 대하여 실리콘 입자라고 하는 동질의 물질로 함으로써, 이러한 문제를 해소할 수 있다. 단, 실리콘제의 전극침은 단단한 반면, 깨지기 쉽다는 문제가 있다. 이 때문에 전극침을 전극 조립체에 고정할 때에 파손할 우려가 있다. 이것을 회피하기 위해서, 전극침의 선단을 실리콘제로 하고, 후단의 전극 조립체와 고정하는 부분을 스테인리스제로 하며, 이들을 전기적으로 접속함으로써, 코로나 방전에는 실리콘제의 전극침을 사용하면서, 고정에는 스테인리스제의 전극침을 이용할 수 있다.

[블록도]

제어 회로를 포함하는 제어 유닛(82)은 이온화 장치 본체에 내장되어 있다. 이온화 장치의 제어 회로를 도 22의 블록도에 나타낸다. 도 22는 이온화 장치의 제어 회로의 개요를 나타내는 것이다. 이온화 장치는 동일한 전극침(90)으로부터 플러스 이온과 마이너스 이온이 번갈아 발생하는 펄스 AC식 이온 발생 방식을 채용하고 있다. 이온화 장치는 플러스측 고전압 발생 회로(160)와 마이너스측 고전압 발생 회로(161)를 가지며, 이들 고전압 발생 회로(160, 161)로 전원 유닛(81)이 구성되어 있고, 이 전원 유닛(81)은 밀폐 박스 안에 수용되어 있다. 플러스측 고전압 발생 회로(160)와 마이너스측 고전압 발생 회로(161)는 모두 변압기(162, 163)의 1차측 코일에 접속된 자려 발진 회로(164, 165)와, 2차측 코일에 접속된, 예를 들면 배정류(倍整流) 회로로 이루어지는 승압 회로(166, 167)를 포함한다. 고전압 발생 회로(160, 161)와 전극침(90) 사이에는 보호 저항 다시 말하면 제1 저항(R1)이 설치되어 있다. 변압기(162, 163)의 2차 코일의 접지단(GND)과, 필드 그라운드(FG) 사이에는, 제2 저항(R2)과 제3 저항(R3)이 직렬로 접속되고, 또한, 대향 전극 플레이트를 구성하는 커버부(30)와 필드 그라운드(FG) 사이에는, 제4 저항(R4)과 상술한 제3 저항(R3)이 직렬로 접속되어 있다.

제4 저항(R4)에 흐르는 전류를 이온 전류 검지 회로(168)로 검출함으로써, 전극침(90) 근방의 이온 밸런스를 알 수 있다. 또한 제3 저항(R3)에 흐르는 전류를 이온 전류 검지 회로(168)로 검출함으로써, 워크 근방의 이온 밸런스를 알 수 있다. 또한 제2 저항(R2)에 흐르는 전류를 이상 방전 전류 검지 회로(169)로 검출함으로써, 전극침(90)과 대향 전극 플레이트를 구성하는 커버부(30) 또는 필드 그라운드(FG) 사이의 이상 방전을 검출할 수 있으며, CPU(114)에서 이상 방전이라고 판별했을 때에는, 알람 수단인 표시 LED(170)를 점등하는 등의 방식으로 조작자에게 이상을 알릴 수 있다. 또한 이 예에서는, 플러스측 고전압 발생 회로(160)와 마이너스측 고전압 발생 회로(161)의 한쪽의 전압값을 고정하고, 다른쪽을 가변으로 하거나, 양방을 가변으로 해도 좋다.

이상, 펄스 AC식 이온화 장치의 회로를 설명하였으나, 이온화 장치의 급전은 AC여도 DC여도 좋다. 예를 들면, 플러스 이온과 마이너스 이온이 동시에 발생하는 SSDC식이어도 좋고, 플러스 이온과 마이너스 이온이 번갈아 발생하는 펄스 DC식이어도 좋다.

또한 이온화 장치끼리를, 케이블 등을 통하여 복수 개를 연결해서 사용할 수 도 있다. 사이드 커버(20)에는 다른 이온화 장치와 연결하기 위한 연결 포트가 형성되어 있으며, 연결 포트에 케이블 등을 통하여 다른 이온화 장치를 접속하고, 복수의 이온화 장치를 동기시켜서 사용할 수도 있다. 이 경우, 제어 유닛(82)은 복수의 이온화 장치가 접속된 것을 검출하고, 이들을 연동해서 제어할 수 있다. 또한 연결되는 이온화 장치는 동일한 타입의 것으로 하는 것 외에, 길이가 다른 것, 전극침의 수가 다른 것 등, 다른 타입의 이온화 장치를 연결할 수도 있다.

이상의 이온화 장치는 컨트롤러로서 제어 유닛(82)을 내장하는 구성을 채용하였으나, 제어 유닛을 외부에 장착하는 구성으로 해도 좋다. 즉, 제어 유닛을 내장하는 컨트롤러를 이온화 장치와는 다른 부재의 외부 유닛으로서 구성하고, 케이블에 의해 접속하는 형태로 해도 좋다.

이 이온화 장치(100)는 전원 유닛(81)에서 발생된 고전압을 고전압 배전판(50)을 통하여 이온화 장치(100)의 각 전극침(90)에 공급하고, 코로나 방전에 의해 공기를 이온화해서 침 선단으로부터 방출한다. 또한 이 이온화 장치(100)는 전극침(90)에서 발생되는 이온을 먼 곳까지 운반하기 위하여 반송 가스를 전극침(90) 주위로부터 방출한다. 반송 가스를 각 전극침(90) 주위로부터 외부로 방출함으로써, 전극침(90)의 선단 주위에서 이온화한 공기가 제전 대상물(워크)을 향하여 하방으로 강제적으로 보내져서 워크를 제전한다. 이와 같이 이온화 장치는 공기를 이용한 다운플로우 기구에 의해, 이온을 확실하게 송출하여 제전 성능을 발휘할 수 있다.

본 발명의 이온화 장치는, 공기 중의 정전기 제어 또는 대전한 워크의 제전(除電)을 행하는 이온화 장치(ionizer) 등의 제전기로서 매우 적합하게 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 따른 이온화 장치를 비스듬히 하방에서 본 사시도이다.

도 2는 도 1에서 제2 케이스를 배제한 상태를 나타내는 사시도이다.

도 3은 도 2에서 제1 케이스 및 커버부, 보강 부재를 배제한 상태를 나타내는 사시도이다.

도 4는 본체 케이스의 횡단면도를 나타낸다.

도 5는 케이싱 부재를 나타내는 사시도이다.

도 6은 이온화 장치의 한쪽 단부 근방을 나타내는 단면도이다.

도 7은 이온화 장치의 다른쪽 단부 근방을 나타내는 단면도이다.

도 8은 이온화 장치의 중간에서 반송 가스 공급용 이음매 근방을 나타내는 단면도이다.

도 9는 이온화 장치의 중간에서 전력 공급용 이음매 근방을 나타내는 단면도이다.

도 10은 유지판의 사시도로서, (a)는 비스듬히 상방에서 본 사시도, (b)는 비스듬히 하방에서 본 사시도, (c)는 하측 케이스에 세트해서 충전 수지로 피복한 상태에서의 비스듬히 하방에서 본 사시도이다

도 11은 하측 케이스의 사시도로서, (a)는 비스듬히 상방에서 본 사시도, (b)는 비스듬히 하방에서 본 사시도이다.

도 12는 케이싱 부재의 횡단면도이다.

도 13은 전력 공급용 이음매로 케이싱 부재끼리를 접속하는 접속 부분을 나타내는 일부를 단면으로 한 사시도이다.

도 14는 표준 이음매를 나타내는 종단면도이다.

도 15는 전력 공급용 이음매의 접속 부분을 나타내는 횡단면도이다.

도 16은 표준 이음매를 나타내는 사시도이다.

도 17은 전력 공급용 이음매를 나타내는 사시도이다.

도 18은 반송 가스 공급용 이음매를 나타내는 사시도이다.

도 19는 도 18의 반송 가스 공급용 이음매의 A-A선에 있어서의 단면도이다.

도 20은 반송 가스의 배관과 반송 가스가 반송되는 경로를 나타내는 모식도이다.

도 21은 이온화 장치의 전극침을 설치한 부분의 횡단면도이다.

도 22는 이온화 장치의 제어 회로를 나타내는 블록도이다.

도 23은 제전 장치의 구성을 나타내는 회로도이다.

도 24는 종래의 이온화 장치의 외관을 나타내는 사시도이다.

도 25는 도 2의 이온화 장치의 분해 사시도이다.

도 26은 도 2의 이온화 장치의 단면도이다.

도 27은 도 2의 이온화 장치의 내부 구성을 나타내는 블록도이다.

도 28은 종래의 제전기를 비스듬히 하방에서 본 분해 사시도이다.

도 29는 도 28의 우측 분할 케이스부를 비스듬히 하방에서 본 분해 사시도이다.

도 30은 도 28의 우측 분할 케이스부를 비스듬히 상방에서 본 분해 사시도이다.

도 31은 도 28의 케이스의 단면도이다.

도 32는 종래의 고전압 배전판을 피복하는 구성을 나타내는 모식 단면도이다.

도 33은 종래의 제전기의 케이싱 부재끼리의 연결 부분을 나타내는 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명>

100: 이온화 장치 1: 방전 전극

2: 고압 전원부 2A: 고압 변압기

3: 커플링 콘덴서 10: 본체 케이스

10R: 우측 분할 케이스 10L: 좌측 분할 케이스

11: 베이스 플레이트 12: 수직 벽면

14: 제1 절곡 벽면 20: 사이드 커버

21: 중간 가스 포트 22: 단부 가스 포트

30: 커버부 31: 개구부

32: 되접음편 40, 40B: 케이싱 부재

41: 케이싱체 42: 내부 접속 포트

43: 내부 가스 포트 44: 고전압 포트

45: 하측 케이스 46: 하측 케이스 개구부

47: 단차부 48: 제2 슬리브

49: 원주 플랜지 50: 고전압 배전판

51: 접속 단자 52: 돌기

53: 슬릿 54: 고정 플레이트

55: 유지판 56: 제1 슬리브

57: 삽입부 57b: 돌기

58: 리브 59: 접촉편

60: 연결 부재 61: 연결 가스 포트

62: 연결 고전압 포트 63: 표준 이음매

64: 반송 가스 공급용 이음매 65: 전력 공급용 이음매

65b: 전력 공급용 접속 부재 66: O링

67: 전극 연결 파이프 68: 반송 가스 공급구

69: 반송 가스 안내편 70: 반송 가스 밸브

71: 중간 반송 가스 배관 72: 보강 부재

80: 전기 회로 유닛 81: 전원 유닛

82: 제어 유닛 83: 승압 유닛

83A: 양측 승압 회로 83B: 음측 승압 회로

87A: O링 90: 전극침

91: 보호 부재 92: 전극 조립체

93: 소직경의 내부통 부분 94: 원형 부분

95: 대직경의 외부통 부분 96: 플랜지

97: 원통 형상 분기 공기 통로 98: 관통 홀

99: 사행 슬릿 10lL: 좌측 분할 케이스부

10lR: 우측 분할 케이스부 107: 확대 헤드

108: 홈 109: 베이스 플레이트

110: 굴곡부 111: L자 형상 부분

114: CPU 135: 가요성 튜브

160: 플러스측 고전압 발생 회로 161: 마이너스측 고전압 발생 회로

162, 163: 변압기 164, 165: 자려 발진 회로

166, 167: 승압 회로 168: 이온 전류 검지 회로

169: 이상 방전 전류 검지 회로 170: 표시 LED

200: 방전 전극 바 210: 본체 케이스

211: 공기 공급 유닛 212: 전극침

213: 고전압 유닛 225: 지지 플레이트

229: 제1 슬리브 236: 전극 조립체

240: 소직경의 내부통 부분 245: 원통 형상 분기 공기 통로

258: 고전압 배전판 257: 고정 플레이트

259: 컷업 접촉편 286: O링

SP1: 제1 공간 SP2: 제2 공간

GP: 반송 가스 경로 VP: 고전압 경로

HJ: 피복 수지 JJ: 충전 수지

S1: 주 공기 통로 S2: 밀폐 공간

S3: 고전압 경로

Claims

고전압이 인가되어 선단으로부터 양과 음 중 어느 하나로 대전된 이온을 방출하기 위한 복수의 전극침과,

상기 전극침에 고전압을 인가하기 위한 전기 회로 유닛과,

가늘고 긴 형상의 유닛 형상으로 구성되고, 상기 전기 회로 유닛으로부터 전력 공급을 받기 위한 고전압 배전판을 구비하며, 상기 복수의 전극침을 간격을 두고 장착할 수 있고, 상기 고전압 배전판을 통하여 상기 전기 회로 유닛으로부터 공급된 고전압을 각각의 전극침에 인가하는 케이싱 부재와,

복수의 케이싱 부재를 길이 방향으로 기계적으로 연결하며, 각 케이싱 부재의 고전압 배전판끼리를 전기적으로 접속하기 위한 연결 부재와,

상기 연결 부재로 복수의 케이싱 부재를 연결시킨 케이싱체 및 상기 전기 회로 유닛을 내부에 수납하는 가늘고 긴 형상의 본체 케이스로서, 상기 전극침을 길이 방향으로 간격을 두고 외부로 돌출시키는 본체 케이스

를 포함하는 이온화 장치로서,

상기 본체 케이스는 내부에 상기 케이싱체를 배치하기 위한 공간을 일체로 구획하고, 상기 전기 회로 유닛을 배치하는 공간과 격리되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제1항에 있어서, 상기 본체 케이스는 제1 케이스와, 제2 케이스로 분할되고,

상기 제1 케이스는 일체로 형성된 단면 コ자 형상 부분과, 상기 단면 コ자 형상 부분의 배면의 일단으로부터 일체적으로 연장된 제1 벽면을 구비하며,

상기 제2 케이스는 상기 コ자 형상 부분의 배면과 접촉하고, 상기 제1 벽면의 선단과 접촉하는 제2 벽면을 구비하며,

상기 제1 케이스와 제2 케이스를 끼워 맞춘 상태에서, 상기 단면 コ자 형상 부분으로 형성되는 제1 공간에 상기 케이싱체를 배치하고, 상기 단면 コ자 형상 부분의 배면과, 상기 제1 벽면과, 제2 벽면의 내측으로 형성되는 제2 공간에 상기 전기 회로 유닛을 배치하도록 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전극침으로부터 방출되는 이온을 반송하기 위한 반송 가스를 상기 전극침 주위로부터 송출하기 위하여, 상기 케이싱 부재는 반송 가스를 공급하기 위한 반송 가스 경로를 구비하고,

상기 본체 케이스는 본체 케이스 내부의 중간에 위치하는 1 이상의 케이싱 부재에 대하여, 반송 가스를 공급하는 중간 반송 가스 배관을 구비하며,

상기 본체 케이스 내부의 단부에 위치하는 케이싱 부재에 대해서는, 상기 본체 케이스의 단부로부터 반송 가스 경로에 반송 가스가 공급되고,

상기 본체 케이스 내부의 중간에 위치하는 케이싱 부재에 대해서는, 중간 반송 가스 배관을 통하여 반송 가스가 공급되도록 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제3항에 있어서, 상기 중간 반송 가스 배관은 경질제의 파이프로 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 연결 부재는 상기 본체 케이스의 길이 방향을 따라 상기 케이싱 부재를 꽂고 빼내서 연결하는 이음매인 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제5항에 있어서, 상기 이음매는 상기 본체 케이스 내부의 중간에 위치하는 케이싱 부재끼리의 접속에 사용되고, 상기 중간 반송 가스 배관을 접속하기 위한 반송 가스 공급용 이음매를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제5항에 있어서, 상기 이음매는 상기 전기 회로 유닛에서 생성되는 고전압을 상기 케이싱 부재에 포함되는 고전압 배전판과 접속하기 위한 전력 공급용 이음매를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 본체 케이스의 외주를 피복하는 금속제의 커버부를 더 포함하고,

상기 커버부는 단면 コ자 형상으로 상기 본체 케이스의 길이 방향을 따라 일체로 연장해서 형성되며, コ자 형상의 개구부 사이에 상기 본체 케이스를 삽입해서 본체 케이스를 탄성적으로 가압하여 협지(挾持)하는 것을 특징으로 하는 이온화 장 치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전기 회로 유닛을 상기 본체 케이스 내부의 길이 방향에서 단부에 위치시켜서 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전기 회로 유닛이, 외부 전원과 접속되어 전력을 받는 전원 회로를 구비하는 전원 유닛과, 제어 회로를 구비하는 제어 유닛과, 전압을 승압하기 위한 승압 회로를 구비하는 승압 유닛을, 각각 유닛 형상으로 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전기 회로 유닛이 상기 본체 케이스 내부의 일단측에 배치되고, 타단측에 상기 중간 반송 가스 배관을 배치해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 본체 케이스의 길이는 1.0m∼4.0m인 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
이온화 장치로서,

고전압이 인가되어 선단으로부터 양과 음 중 어느 하나로 대전된 이온을 방출하기 위한 복수의 전극침과,

상기 전극침에 고전압을 인가하기 위한 전기 회로 유닛과,

가늘고 긴 형상의 유닛으로 형성되고, 길이 방향을 따른 일단부로부터 타단부까지 배치되어 있으며 상기 전기 회로 유닛으로부터 전력 공급을 받기 위한 고전압 배전판을 구비하고, 길이 방향을 따른 일단부로부터 타단부까지 배치되어 있으며 상기 고전압 배전판과는 간격을 두고 연장되는 가스 배관을 구비하고, 상기 복수의 전극침을 길이 방향을 따라 간격을 두고 장착할 수 있으며, 상기 고전압 배전판을 통하여 상기 전기 회로 유닛으로부터 공급된 고전압을 각각의 전극침에 인가하는 케이싱 부재와,

길이 방향으로 2개의 상기 케이싱 부재의 가스 배관을 기계적으로 연결하고, 각 케이싱의 고전압 배전판을 전기적으로 접속하기 위한 연결 부재와,

제1 공간과 길이 방향을 따라 상기 제1 공간으로부터 이간된 제2 공간을 가지며, 상기 연결 부재로 복수의 상기 케이싱 부재를 연결시켜 구성되는 케이싱체 및 상기 전기 회로 유닛을 상기 제1 공간에 수납하고, 내부에 상기 케이싱체를 배치하기 위한 공간을 일체로 구획하며, 상기 전기 회로 유닛을 배치하는 공간과 격리되어 이루어지는 본체 케이스

를 포함하고,

상기 연결 부재의 하나는 상기 본체 케이스의 중간부에 배치되며, 적어도 상기 케이싱 부재의 가스 배관에 접속하기 위한 개구부와, 상기 본체 케이스의 중간부에 배치된 케이싱 부재에 가스를 공급하기 위한 가스 공급 파이프를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제13항에 있어서, 상기 본체 케이스의 중간부에 배치된 연결 부재는, 연결된 상기 케이싱 부재의 2개의 가스 배관을 연결하기 위한 개구부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제13항에 있어서, 상기 본체 케이스의 중간부에 배치된 연결 부재는, 연결된 상기 케이싱 부재의 가스 배관을 연결하기 위한 개구부를 하나만 갖고 있는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제14항에 있어서, 상기 본체 케이스의 중간부에 배치된 연결 부재는, 연결된 상기 케이싱 부재의 2개의 가스 배관을 분리하는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제13항에 있어서, 상기 본체 케이스의 길이 방향을 따른 일단부에 배치되고, 상기 본체 케이스의 일단부에 인접한 상기 케이싱 부재의 가스 배관에 가스를 공급하는 제1 가스 공급 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제17항에 있어서, 상기 본체 케이스의 길이 방향을 따른 타단부에 배치되고, 상기 본체 케이스의 타단부에 인접한 상기 케이싱 부재의 가스 배관에 가스를 공급하는 제2 가스 공급 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온화 장치.
제13항에 있어서, 상기 가스 공급 파이프에 접속하기 위한 상기 본체 케이스의 일단부 또는 타단부 중 어느 한쪽에 배치된 제3 가스 공급 포트를 더 포함하는 특징으로 하는 이온화 장치.