KR20080042523A - 고정밀 수직이송유니트 - Google Patents

고정밀 수직이송유니트 Download PDF

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KR20080042523A
KR20080042523A KR1020060111086A KR20060111086A KR20080042523A KR 20080042523 A KR20080042523 A KR 20080042523A KR 1020060111086 A KR1020060111086 A KR 1020060111086A KR 20060111086 A KR20060111086 A KR 20060111086A KR 20080042523 A KR20080042523 A KR 20080042523A
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Abstract

본 발명은 고정밀 수직이송유니트에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 모터와 볼스크류 이송에 의한 초정밀 위치제어 및 이송이 이루어지는 상/하 이송유니트의 무게부하를 분산시켜 모터에 인가되는 부하를 줄임과 동시에 이송유니트의 가동 중 무 전원 상태에서도 높은 지지력을 유지해 유니트의 자연낙하를 방지할 수 있는 하중지지수단을 구비한 고정밀 수직이송유니트에 관한 것이다.
상기와 같은 본 발명인 고정밀 수직이송유니트는 척 테이블 상부에 고정되는 작업편에 대한 절삭(cutting)공정, 그라인딩(grinding)공정 또는 폴리싱(polishing)공정 등을 위한 고정밀 수직이송유니트를 포함하는 가공장치에 있어서, 상기 수직이송유니트는 상부 일측면에 상부볼스크류지지대가 형성되고, 하부 일측면에 상기 상부볼스크류지지대와 대응되게 하부볼스크류지지대가 형성된 유니트본체와; 상기 유니트본체의 상부 일측면에 결합하여 회전력을 제공하는 구동수단과; 상기 유니트본체의 상부 및 하부볼스크류지지대 사이에 수직방향으로 결합하고, 상기 구동수단의 회전력에 의해 회전운동하는 볼스크류부재; 및 상기 유니트본체에 결합하고, 상부 일측면에 볼스크류결합대가 형성되며, 상기 볼스크류결합대를 통해 상기 볼스크류부재와 결합하여 상기 볼스크류부재에 의해 상하 수직이송하는 Z축이송대를 포함하여 구성되되, 상기 구동수단의 가동 중 무 전원상태에서도 상기 Z축이송대의 자중에 의해 Z축이송대의 자연낙하를 방지할 수 있는 하중지지수단을 더 구비한 것을 특징으로 한다.
볼스크류, 웨이퍼, 커팅장치, 이송유니트, Z축이송대

Description

고정밀 수직이송유니트{Highly Precise Up-and-down Movement Unit}
도 1a는 종래 웨이퍼 커팅장치에 사용되는 수직이송유니트를 보여주는 사시도;
도 1b는 도 1a의 분해사시도;
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 수직이송유니트가 적용되는 웨이퍼 커팅장치를 보여주는 외관사시도;
도 2b은 도 2a의 'A'부분의 확대사시도;
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 고정밀 수직이송유니트의 구성을 보여주는 결합사시도;
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 고정밀 수직이동유니트의 Z축이송대의 분해사시도; 및
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 하부지지수단의 분해사시도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
100: 웨이퍼 커팅장치 110: 척 테이블
120: 웨이퍼 130: Y축 방향 LM가이드
140: X축 방향 LM가이드 200: 수직이송유니트
210: 유니트본체 211: 상부볼스크류지지대
212: 하부볼스크류지지대 220: 구동모터
230: 수직이송가이드부재 240: Z축이송대
250: 스핀들부재 260: 볼스크류부재
261: 볼스크류축 262: 볼스크류결합대
270: 하중지지수단 271: 상부탄성부재가이드
272: 하부탄성부재가이드 273: 탄성부재
280: 블레이드휠
본 발명은 고정밀 수직이송유니트에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 모터와 볼스크류 이송에 의한 초정밀 위치제어 및 이송이 이루어지는 상/하 이송유니트의 무게부하를 분산시켜 모터에 인가되는 부하를 줄임과 동시에 이송유니트의 가동 중 무 전원 상태에서도 높은 지지력을 유지해 유니트의 자연낙하를 방지할 수 있는 하중지지수단을 구비한 고정밀 수직이송유니트에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정은 크게 반도체 웨이퍼 가공(semiconductor wafer fabrication), 패키지 조립(package assembly) 및 테스트(test)로 구분할 수 있다. 상기 반도체 웨이퍼 가공 공정은 원자재 웨이퍼가 투입되어, 확산·사진·식각·박막공정을 여러 차례 반복하여 진행되면서 전기회로를 구성하여, 웨이퍼 상태에서 전기적으로 완전하게 동작하는 웨이퍼 상태의 반제품이 만들어지는 전 과정이 다. 이러한 반도체 웨이퍼 가공 공정을 거쳐 웨이퍼 위에 만들어진 각각의 칩이 양품인지 불량품인지 판정하는 전기적 특성 검사(EDS)를 거쳐 양품만을 선별하고 양품으로 선정된 웨이퍼 상의 수많은 칩을 각각의 칩으로 분리하기 위해 블레이드(Blade)라는 다이아몬드 절삭날을 사용하여 웨이퍼의 절단선(Scribe line)을 따라 절단하는 공정을 수행하게 된다.
특히, 상기 웨이퍼 절삭 공정은 척 테이블(chuck table) 위에 탑재된 웨이퍼를 다이아몬드 절삭날로 절삭하는 방식으로 이루어지는데, 이를 위해 사용되는 기구는 웨이퍼 커팅장치로서, 이는 웨이퍼 커팅장치를 구성하는 수직이송유니트에 구비되는 스핀들(spindle)의 일단에 다이아몬드 절삭날인 블레이드를 장착하여 웨이퍼를 절삭하는 장치이다.
한편, 수직이송유니트는 초정밀, 고부하 이송장치로서, 상술한 바와 같이 웨이퍼 절삭 공정뿐만 아니라, 그라인딩(grinding) 공정, 폴리싱(polishing) 공정 등을 필요로 하는 장치에서도 사용되는 Z축 방향 이송유니트이다.
예컨대, 도 1a는 종래 웨이퍼 커팅장치에 사용되는 수직이송유니트를 보여주는 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 분해사시도로서, 상기 수직이송유니트(10)는 Y축 방향 직선운동을 가이드 하기 위한 LM가이드(미도시) 상에 구비되는 유니트본체(10)의 상부에 구비되어 타이밍벨트(11)에 의해 볼스크류(12)를 구동시키는 모터(13)와, 상기 유니트본체(10)의 일 측면에 결합되는 Z축 방향 LM가이드(14)와, 상기 Z축 방향 LM가이드(14)에 결합하여 상기 볼스크류(12)의 수직 구동에 의해 상기 Z축 방향 LM가이드(14) 상에서 수직 정밀 구동을 하는 Z축이송대(20), 상기 Z축 이송대(20)의 전면에 구비되는 스핀들부(21) 및 상기 스핀들부(21)의 끝단에 결합하여 작업편(미도시)을 가공하는 가공부(22)를 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성된 수직이송유니트(10)는 상기 모터(13)의 구동에 의해 상기 Z축 방향 LM가이드(14)를 따라서 Z축이송대(20)가 수직 직선운동(Z축방향)을 하는데, 이러한 모터(13)와 Z축이송대(20) 사이에는 볼스크류(12)가 구비되어 볼스크류(12)가 회전운동함에 따라 볼스크류(12)와 결합한 Z축이송대(20)가 상하 수직운동을 하는 구조이다.
그러나, 상기와 같은 종래의 수직이송유니트는 다음과 같은 몇 가지 문제점이 있었다.
첫째, 상기 Z축이송대의 Z축 방향 구동시 모터에 의한 토오크(Torque)만을 이용하여 Z축이송대를 지지할 수 있는 별도의 수단이 없기 때문에 무 전원상태와 같은 비상상황이 발생할 경우, 볼스크류와 결합한 Z축이송대가 볼스크류 축을 따라 자연낙하하게 되며, 따라서 Z축이송대의 자연낙하에 의해 가공장치의 파손, 작업편의 파손 및 인명피해가 발생하는 문제점이 있었다.
둘째, 상기 Z축이송대의 결합위치가 유니트본체의 일측에 결합되어 하중이 편심되게 작용하기 때문에, 가공장치의 장시간 가동시에는 수직이송유니트의 무게중심이 변하여 웨이퍼와 같은 정밀가공을 요하는 작업편 가공의 정밀도가 떨어지고, 수직이송유니트의 전체적인 무게중심이 맞지 않아 구조적으로 불안정한 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 볼스크류부재에 하중지지수단인 탄성부재를 구비하여 무 전원상태와 같은 비상상황에서도 Z축이송대의 하중을 지지하여 Z축이송대가 볼스크류 축을 따라 자연낙하하는 것을 방지할 수 있는 구조를 갖는 고정밀 수직이송유니트를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 수직이송유니트의 전면에 Z축이송대를 결합하고, 이 Z축이송대의 전면 중앙에 스핀들부재를 결합함으로써, 가동시 하중의 편심을 없애고 구조적으로 안정화시켜 작업편의 정밀가공을 할 수 있는 고정밀 수직이송유니트를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 고정밀 수직이송유니트는 척 테이블 상부에 고정되는 작업편에 대한 절삭(cutting)공정, 그라인딩(grinding)공정 또는 폴리싱(polishing)공정 등을 위한 고정밀 수직이송유니트를 포함하는 가공장치에 있어서, 상기 수직이송유니트는 상부 일측면에 상부볼스크류지지대가 형성되고, 하부 일측면에 상기 상부볼스크류지지대와 대응되게 하부볼스크류지지대가 형성된 유니트본체와; 상기 유니트본체의 상부 일측면에 결합하여 회전력을 제공하는 구동수단과; 상기 유니트본체의 상부 및 하부볼스크류지지대 사이에 수직방향으로 결합하고, 상기 구동수단의 회전력에 의해 회전운동하는 볼스크류부재; 및 상기 유니트본체에 결합하고, 상부 일측면에 볼스크류결합대가 형성되며, 상기 볼스크류결합대를 통해 상기 볼스크류부재와 결합하여 상기 볼스크류부재에 의해 상하 수직이송하는 Z축이송대를 포함하여 구성되되, 상기 구동수단의 가동 중 무 전원상태에 서도 상기 Z축이송대의 자중에 의해 Z축이송대의 자연낙하를 방지할 수 있는 하중지지수단을 더 구비한 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 수직이송유니트는 상기 유니트본체의 전면에 수직이송가이드부재가 결합하고, 상기 수직이송가이드부재의 전면에 상기 Z축이송대가 결합하며, 상기 Z축이송대의 전면 중앙에 상기 작업편을 가공하기 위한 회전력을 제공하는 스핀들부재가 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하중지지수단은 상기 볼스크류부재가 내삽되도록 결합하되, 상기 Z축이송대의 볼스크류결합대 및 상기 유니트본체의 하부볼스크류지지대 사이에 결합한 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 하중지지수단은 상기 Z축이송대의 볼스크류결합대측에 구비되는 상부탄성부재가이드와, 상기 하부볼스크류지지대측에 구비되는 하부탄성부재가이드, 및 상기 상부탄성부재가이드와 하부탄성부재가이드 사이에 결합함과 동시에 상기 볼스크류부재의 외주에 삽입되는 탄성부재로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명인 고정밀 수직이송유니트는 척 테이블 상부에 고정되는 작업편에 대한 절삭(cutting)공정, 그라인딩(grinding)공정 또는 폴리싱(polishing)공정 등을 위한 가공장치에 결합하여 사용하는 유니트이다. 이는 초정밀, 고부하의 작업조건에서 사용되는 이송장치이며, 상기 가공장치에 결합하여 Z축방향 이송을 한다. 본 발명의 실시 예에서는 상술한 바와 같은 공정 가운데 웨이퍼 절삭공정에 결합하여 사용되는 수직이송유니트에 대해서 설명하고자 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하고자 한 다. 첨부 도면 중, 도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 수직이송유니트가 적용되는 웨이퍼 커팅장치를 보여주는 외관사시도이고, 도 2b은 도 2a의 'A'부분의 확대사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 고정밀 수직이송유니트의 구성을 보여주는 결합사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 고정밀 수직이동유니트의 Z축이송대의 분해사시도, 및 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 하부지지수단의 분해사시도이다.
도 2a 및 도 2b을 참조하여 설명하면, 본 발명인 고정밀 수직이송유니트(200)가 결합하여 웨이퍼 절삭 공정이 이루어지는 웨이퍼 커팅장치(100)는 척 테이블(110) 위에 탑재된 웨이퍼(120)를 다이아몬드 절삭날로 절삭하는 방식으로 이루어지는데, 이는 수직이송유니트(200)에 구비되는 스핀들(spindle)의 일단에 다이아몬드 절삭날인 블레이드휠(280)을 장착하여 웨이퍼(120)를 절삭하는 장치이다.
이러한 웨이퍼 커팅장치(100)는 크게 Y축 방향 LM가이드(130)와, 상기 Y축 방향 LM가이드(130) 상부에 결합하여 Z축 방향 수직운동을 통해 웨이퍼(120)를 절삭하는 수직이송유니트(200), 및 작업편인 웨이퍼(120)가 놓이는 곳으로 볼스크류 방식에 의해 X축 방향 이동을 하여 가공위치를 결정하는 척 테이블(110)로 구성된다.
이와 같이 구성된 웨이퍼 커팅장치(100)는 X축 방향으로는 상기 척 테이블(110) 위에 웨이퍼(120)가 놓인 상태에서 척 테이블(110)이 X축 방향 LM가이드(140) 상에서 X축 방향 이동을 하면서 가공위치를 결정하고, Y축 방향으로는 상기 Y축 방향 LM가이드(130) 상에서 수직이송유니트(200)가 Y축 방향 이동을 하면서 가공위치를 결정하며, Z축 방향으로는 상기 수직이송유니트(200)를 구성하는 Z축이송대(240)가 Z축 방향 LM가이드(230) 상에서 Z축 방향 이동을 하여 상기 웨이퍼(120)의 절삭공정이 이루어진다.
이러한 웨이퍼 커팅장치(100)에 의한 모든 이송 및 절삭 공정은 제어부(미도시)에 의해 제어되며 작업이 수행된다.
한편, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명인 상기 수직이송유니트(200)는 유니트본체(210), 구동모터(220), 볼스크류부재(260), Z축이송대(240), 및 하중지지수단(270)를 포함하여 구성된다.
-유니트본체(210)
상기 유니트본체(210)는 상부 일측면에 상부볼스크류지지대(211)가 형성되고, 하부 일측면에는 상기 상부볼스크류지지대(211)와 대응되게 하부볼스크류지지대(212)가 형성된다. 그리고, 상기 유니트본체(210)의 전면에는 수직이송가이드부재(230)가 결합하고, 다시 상기 수직이송가이드부재(230)의 전면에 하술할 Z축이송대(240)가 결합하며, 상기 Z축이송대(240)의 전면 중앙에 상기 웨이퍼(120)를 가공하기 위한 회전력을 제공하는 스핀들부재(250)가 결합하는 구조를 갖는다.
-구동모터(220)
상기 구동모터(220)는 상기 유니트본체(210)의 상부 일측에 구비되어 타이밍벨트(221)에 의해 하술할 볼스크류부재(260)를 구동시키는 것으로, 상기 Z축이송대(240)의 Z축 방향 이송을 위한 회전력을 발생시킨다.
-볼스크류부재(260)
상기 볼스크류부재(260)는 상기 유니트본체(210)의 상부 및 상기 유니트본체(210)의 하부 일측면에 형성되는 하부볼스크류지지대(212) 사이에 수직방향으로 결합하여, 상기 구동모터(220)의 회전력에 의해 회전운동하는 부재로서, 이는 하술할 Z축이송대(240)가 Z축 방향 수직운동하게 한다. 즉, 상기 볼스크류부재(260)는 볼스크류축(261)의 회전운동을 통해 상기 Z축이송대(240)를 상하 수직이송시키며, 이로 인해 상기 Z축이송대(240)의 전면 중앙에 구비되는 스핀들부재(250)에 의해 웨이퍼(120)의 가공 작업이 이루어질 수 있도록 Z축 방향 가공위치를 결정하게 한다.
상기 볼스크류축(261)에는 볼스크류축(261)과 결합하는 볼스크류너트 부분인 상기 Z축이송대(240)의 볼스크류결합대(262)가 결합하며, 상기 볼스크류축(261)이 회전운동을 하면 상기 볼스크류결합대(262)가 볼스크류축(261) 상을 상하 이동하면서 상기 Z축이송대(240)가 상하 수직운동을 할 수 있게 한다.
-Z축이송대(240)
도 5를 참조하면, 상기 Z축이송대(240)는 상기 유니트본체(210)의 전면에 결합하는 수직이송가이드부재(230)의 전면에 결합하여, 상기 수직이송가이드부재(230) 상에서 상기 볼스크류부재(260)의 수직운동에 의해 상하 수직이송을 한다. 이러한 Z축이송대(240)의 상부 일측면에는 볼스크류결합대(262)가 형성되고, 상기 볼스크류결합대(262)를 통해 상기 볼스크류부재(260)와 결합하여 상기 볼스크류부재(260)에 의해 상하 수직이송을 하게 된다.
상술한 바와 같이, 상기 Z축이송대(240)는 유니트본체(210)의 전면에 구비되 는 수직이송가이드부재(230)에 결합하고, 이 Z축이송대(240)의 전면 중앙에 스핀들부재(250)가 결합하며, 상기 구동모터(220)의 구동에 유니트본체(210)의 일측에 구비되는 볼스크류부재(260)가 회전하게 되고, 이 볼스크류부재(260)의 회전에 의해 상기 Z축이송대(240)가 상기 수직이송가이드부재(230)의 가이드면(B)을 따라 Z축 방향 수직 이송을 하면서, 웨이퍼(120)의 커팅(Cutting) 공정이 이루어지는 구조를 가짐으로써, 종래의 유니트본체의 일측에 구비되어 하중분포가 일측에 편중됨으로써 발생하는 문제점들을 현저히 해결할 수 있게 된다.
-하중지지수단(270)
한편, 본 발명에 의한 수직이송유니트(200)는 상기 볼스크류부재(260)에 결합하여 상기 Z축이송대(240)의 하중을 지지할 수 있는 하중지지수단(270)을 더 구비한다.
상기 하중지지수단(270)은 상부탄성부재가이드(271)와, 하부탄성부재가이드(272) 및 탄성부재(273)로 구성되어, 상기 구동모터(220)의 가동중에 무 전원상태가 될 경우에도 상기 Z축이송대(240)의 자중에 의해 Z축이송대(240)가 자연낙하하는 것을 방지할 수 있는 수단이다.
이러한 하중지지수단(270)은 상기 Z축이송대(240)의 볼스크류결합대(262)측에 상기 상부탄성부재가이드(271)가 구비되고, 상기 Z축이송대(240)의 하부볼스크류지지대(212)측에 하부탄성부재가이드(272)가 구비되며, 상기 상부탄성부재가이드(271) 및 하부탄성부재가이드(272) 사이에 결합함과 동시에 상기 볼스크류부재(260)의 외주에 삽입되는 구조로 탄성부재(273)가 결합한다.
종래 기술에서 언급한 바와 같이, 종래의 수직이송유니트의 경우에, 상하 수직운동하는 Z축이송대가 구동모터에 의해 회전운동하는 볼스크류부재에 볼스크류결합대를 통해 연결되어, 상기 볼스크류부재의 회전에 의해 Z축이송대가 상하 이송하게 되는데, 웨이퍼와 같은 작업편에 대한 가공 공정이 이루어지고 있는 상태에서 무 전원상태와 같은 비상상황이 발생할 경우에 상기 Z축이송대는 볼스크류부재를 따라 수직이송유니트의 베이스부재까지 자연낙하하게 된다.
이 경우 상기 Z축이송대의 자연낙하에 의해 가공 중인 웨이퍼(작업편)의 파손, 인명피해 및 가공장치의 파손이 발생할 수가 있다. 따라서, 본 발명인 하중지지수단(270)이 구비됨으로써, 상기와 같은 비상상황이 발생할지라도, 상기 탄성부재(273)가 Z축이송대(240)의 하중을 지지함으로써 상기 Z축이송대(240)의 자연낙하를 방지할 수 있게 되는 것이다.
예컨대, 본 발명의 실시 예에서 상기 탄성부재(273)는 선경 4.5㎜, 내경 35㎜, 외경 25㎜, 중심경 30㎜, 총 권수 15, 탄성계수 7000(스테인레스계), 및 하중 100㎏／㎠ 의 설계치로 실시하여 실험한 결과, 무 전원상태가 될 경우 상기 Z축이송대(240)의 낙하거리는 약 1㎜내외로서, 상기 탄성부재(273)는 Z축이송대(240)를 충분히 지지할 수 있음을 알 수 있었다. 한편, 웨이퍼 커팅장치에 의한 커팅 공정시에 Z축이송대(240)가 이송하는 수직거리는 보통 약 5㎜ 내외로서, 상기와 같은 탄성부재(273)의 탄성계수는 Z축이송대(240)의 수직이송거리를 충분히 보장해줄 수 있는 값이다.
상술한 바와 같은 하중지지수단이 구비된 수직이송유니트는 반도체 장비, 정 밀 계측장비, 고 하중 이송장비 또는 무진동시스템 등의 산업분야 전반에 적용될 수 있는 유니트임을 밝혀둔다.
이하, 본 발명인 고정밀 수직이송유니트를 구비한 웨이퍼 커팅장치의 작동상태를 설명하면, 먼저 X축 이송하며 회전할 수 있는 회전축을 구비한 척 테이블(Chuck Table)(110)에 웨이퍼(작업편)(120)를 셋팅(Setting)하면, 상기 척 테이블(110)은 X축 방향 LM가이드(140) 상에서 좌,우로 움직이고, 수직이송유니트(200)는 Y축 방향 LM가이드(130) 상에서 앞,뒤로 움직여 가공 위치를 결정하게 된다.
그리고, Z축이송대(240)는 수직이송가이드부재(230) 상에서 Z축 방향 이송을 하여 상기 웨이퍼(작업편,120)가 커팅(Cutting)될 수 있도록 상하 가공 위치를 결정하게 된다.
다시 말하면, 웨이퍼(120)를 커팅(Cutting)하기 위해서 Y축 방향 가공 위치를 결정하여 이송한 후 고정된 상태에서 Z축 방향 이송을 하여 가공 위치가 결정되고, 최종적으로 X축 방향 이송을 하여 웨이퍼(120)를 커팅(Cutting)하게 된다. 그런 다음, 커팅(Cutting)이 완료되면 Z축 방향 이송하여 위쪽으로 올라가고 Y축 방향 이송하여 웨이퍼(120)의 다음 커팅라인(Cutting Line)으로 이동하며, 이와 같은 연속적인 제어방식에 의해 웨이퍼(120)의 커팅 공정이 이루어지게 되는 것이다.
상기와 같은 본 발명인 고정밀 수직이송유니트에 의하면, 볼스크류부재에 하중지지수단인 탄성부재를 구비하여 무 전원상태와 같은 비상상황에서도 Z축이송대의 하중을 지지하여 Z축이송대가 볼스크류 축을 따라 자연낙하하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 수직이송유니트의 전면에 Z축이송대를 결합하고, 이 Z축이송대의 전면 중앙에 스핀들부재를 결합함으로써, 가동시 하중의 편심을 없애고 구조적으로 안정화시켜 작업편을 정밀하게 가공할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 특정한 실시 예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자는 용이하게 알 수 있음을 밝혀두고자 한다.

Claims (4)

  1. 척 테이블 상부에 고정되는 작업편에 대한 절삭(cutting)공정, 그라인딩(grinding)공정 또는 폴리싱(polishing)공정 등을 위한 고정밀 수직이송유니트를 포함하는 가공장치에 있어서,
    상기 수직이송유니트는 상부 일측면에 상부볼스크류지지대가 형성되고, 하부 일측면에 상기 상부볼스크류지지대와 대응되게 하부볼스크류지지대가 형성된 유니트본체와; 상기 유니트본체의 상부 일측면에 결합하여 회전력을 제공하는 구동수단과; 상기 유니트본체의 상부 및 하부볼스크류지지대 사이에 수직방향으로 결합하고, 상기 구동수단의 회전력에 의해 회전운동하는 볼스크류부재; 및 상기 유니트본체에 결합하고, 상부 일측면에 볼스크류결합대가 형성되며, 상기 볼스크류결합대를 통해 상기 볼스크류부재와 결합하여 상기 볼스크류부재에 의해 상하 수직이송하는 Z축이송대를 포함하여 구성되되,
    상기 구동수단의 가동 중 무 전원상태에서도 상기 Z축이송대의 자중에 의해 Z축이송대의 자연낙하를 방지할 수 있는 하중지지수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 고정밀 수직이송유니트.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 수직이송유니트는 상기 유니트본체의 전면에 수직이송가이드부재가 결 합하고, 상기 수직이송가이드부재의 전면에 상기 Z축이송대가 결합하며, 상기 Z축이송대의 전면 중앙에 상기 작업편을 가공하기 위한 회전력을 제공하는 스핀들부재가 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고정밀 수직이송유니트.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 하중지지수단은 상기 볼스크류부재가 내삽되도록 결합하되, 상기 Z축이송대의 볼스크류결합대 및 상기 유니트본체의 하부볼스크류지지대 사이에 결합한 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고정밀 수직이송유니트.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 하중지지수단은 상기 Z축이송대의 볼스크류결합대측에 구비되는 상부탄성부재가이드와, 상기 하부볼스크류지지대측에 구비되는 하부탄성부재가이드, 및 상기 상부탄성부재가이드와 하부탄성부재가이드 사이에 결합함과 동시에 상기 볼스크류부재의 외주에 삽입되는 탄성부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 고정밀 수직이송유니트.
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