KR20080004741U - 기판 감지 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 기판 이송 장치에 사용되는 기판 감지 장치에 관한 것으로서, 본 고안에 의한 기판 감지 장치는 기판과 비접촉이면서 기계적 동작이 없고, 구조가 간단하여 설치 환경에 영향을 현저히 받지 않는, 공정 처리 장치의 기판 감지 장치로 사용이 가능하다.

본 고안에 의한 기판감지 장치는, 화학 약품이 사용되는 처리 공정에 사용 가능하며, 제품의 오동작과 교환 주기를 최소화할 수 있고, 청정 공정에 적합한 기판 감지 장치를 제공한다.

기판이송장치, 기판감지장치, 기판감지센서, 진자센서

Description

기판 감지 장치{Substrate Detect Apparatus}

도 1 은 본 고안의 설치 상태와 기판이 감지되지 않았을 경우의 유체 흐름 상태를 나타낸 측면도.

도 2 는 본 고안의 설치 상태와 기판이 감지되었을 경우의 유체 흐름 상태를 나타낸 정면도.

도 3 은 본 고안의 설치 상태와 기판이 감지되었을 경우의 유체 흐름 상태를 나타낸 측면도.

도 4 는 도 1의 A부의 확대도.

도 5 는 도 3의 B부의 확대도.

도 6 는 유량 감지본체부의 평면도.

도 7 는 유량 감지본체부의 단면도.

도 8 은 센서에 기판이 감지되었을 경우의 유량 감지본체부의 상태 단면도.

도 9 는 센서에 기판이 감지되지 않았을 경우의 유량 감지본체부의 상태 단면도.

도 10 은 종래의 기판 감지 센서로서 기판이 감지되었을 경우의 측면도.

도 11 는 종래의 기판 감지 센서로서 기판이 감지되지 않았을 경우의 측면도.

도 12 는 튜브 형태의 유체분사구가 설치되었을 경우의 상태도.

본 고안은 기판 이송 장치에 사용되는 기판 감지 장치에 관한 것이다.

평판디스플레이(FPD;Flat Panel Display)산업 분야는 온도가 높고, 화학 약품의 사용을 필수적으로 요구하는 공정이 있다. 이와 같은 공정 환경은 장비를 구성하는 부품에도 많은 영향을 주어 기능의 저하나 수명의 단축을 초래한다. 그러나 이러한 기판 처리 공정 설비 또한 기판을 이송하고 제어하기 위해서 기판 감지 장치가 반드시 필요하다.

종래의 기판 감지 장치로서는 도 10, 도 11에 제시한 바와 같이 진자 센서(11)와 같은 기판 감지 장치를 이용하여, 기판을 제어하기 위한 신호를 발생시킴으로써 기판을 이송하고 제어하였다. 광센서 또는 기타 형태의 센서는 온도, 화학 약품, 이물질 등으로 인하여 처리 공정 설비 내부 환경에서 사용이 불가능 하지만, 진자 센서는 사용이 가능하다.

그러나, 진자 센서도 여러 가지 부품이 조립된 장치이기 때문에, 화학 약품, 온도, 이물질 등 기판 처리 공정 조건에 동일하게 노출되면서, 구성 부품의 변형 및 기능이 저하되어 기판의 감지 불량이 발생하거나 빈번한 교체가 요구되어, 생산품의 불량을 초래하는 경우가 자주 발생한다.

또한, 진자 센서는 기판의 감지를 위해서 기판 표면과 물리적인 접촉이 발생 하기 때문에 청정 공정이 요구되는 조건에 있어서도 부합하지 못하는 단점이 있다.

이러한 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 고안은 공정 설비 내부 환경에서도 설치 및 장시간 사용 가능하고, 비접촉으로 기판을 감지함으로써 청정 공정에 부합하는 기판 감지 장치를 제공하는 데 목적이 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 고안에 의한 기판 감지 장치는, 공정 처리조(10) 내부의 기판 이송용 롤러(12)에 의하여 이송되는 기판(B)에 대하여 일 측면에 근접하여 설치되면서 유체의 이동통로(101)를 가지는 유체분사구 1(100), 기판(B)의 다른 일 측면에 근접하여 설치되면서 유체의 이동통로(201)를 가지는 유체분사구 2(200), 유체분사구 1(100)의 유체 분사 조절용 밸브 2(121), 유체의 유량, 유속, 압력에 따라서 위치가 이동되는 플로오트(132), 플로오트를 지지하는 지지축(131), 플로오트와 플로오트 지지축을 포함하는 감지본체부(130), 감지본체부의 유체 이동통로(133)(134), 플로오트의 위치에 따라 감지할 수 있는 센서(140)(141), 감지본체부(130)에 유체 공급 조절용 밸브 1(120), 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 압력 조절용 레귤레이터 1(122), 유체분사구 2(200)의 유체 분사 조절용 밸브 3(220), 유체분사구 2에 흐르는 유체의 압력 조절용 레귤레이터 2(230), 연결 튜브(110)(210)를 포함한다.

본 고안의 기판 감지 장치를 구현하기 위해서, 도 1에 도시된 바와 같이 유체분사구 1(100), 유체분사구 2(200)가 기판(B)에 근접하여 설치되고, 유체분사구 2(200)에서는 유체분사구 1(100)보다 유속이 높고 유량이 많은 유체가 분사될 수 있도록 밸브 1(120), 밸브 2(121), 밸브 3(220), 레귤레이터 1(122), 레귤레이터 2(230)를 조정한다.

조정이 완료된 기판 감지 장치는, 기판이 유체분사구 1(100)과 유체분사구 2(200) 사이에 기판(B)이 있을 경우와 없을 경우에 각각 플로오트(132)의 위치를 감지센서(140)(141)가 감지함으로써, 기판(B)의 유무를 이송 장치의 제어장치(도면 미도시)로 전달할 수 있다.

상세하게는, 유체분사구 1(100)과 유체분사구 2(200) 사이에 기판(B)이 있을 경우, 즉 기판이 감지되었을 경우에는 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 유량, 유속이 증가하여 플로오트(132)가 감지센서 2(140)에 감지되고, 유체분사구 1(100)과 유체분사구 2(200) 사이에 기판(B)이 없을 경우, 즉 기판이 감지되지 않았을 경우에는 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 유량, 유속이 감소하여 플로오트(132)가 감지센서 1(141)에 감지된다.

본 고안에 의한 실시 예의 구성 및 작용을 도면을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

유량, 유속의 증가 또는 감소에 따라서 플로오트(132)가 위, 아래로 이동하는 것은 다음과 같이 가능하다.

플로오트(132)의 외경은 감지본체부(130)의 유체통로(142)의 지름보다 작고, 구경은 지지축(131)의 지름보다 크기 때문에 마찰력이 거의 작용하지 않는다. 따라서 외부에서 힘이 작용할 경우 플로오트(132)는 자연스럽게 이동할 수 있다.

감지본체부(130)에서는 유체가 흐르는 방향으로 유속에 비례하여 플로오트(132)를 미는 힘이 발생한다. 즉 유량이 많이 흐르는 경우에는 유속이 증가하여 플로오트(132)를 미는 힘이 강하고, 유량이 적을 경우에는 유속이 감소하여 플로오트(132)를 미는 힘이 약하게 된다.

본 고안에서는 유체가 플로오트(132)를 미는 힘이 강할 경우에는 플로오트(132)가 위쪽 방향으로 밀리게 되고, 이와 반대로 유체가 플로오트(132)를 미는 힘이 약할 경우에는 플로오트(132)가 자중에 의하여 아래 방향으로 이동하게 된다.

즉, 이송 장치에 기판(B)이 없을 경우에는, 도 4에 도시한 바와 같이 유체분사구 2(200)에서 분사되는 유체가 유체분사구 1(100)에서 유체가 분사되는 것을 방해하는 역할을 함으로써, 유체분사구 1(100)에서 유체가 분사되지 않게 하거나, 유속이나 유량을 현저히 감소시키게 된다. 유체분사구 1(100)에서의 분사 유체의 유량이 감소하게 되면, 플로오트 이동통로(142)를 통과하는 공기의 유속, 유량이 감소하게 되므로 유체가 플로오트(132)를 밀어올리는 힘이 약하게 되고, 그에 따라 플로오트(132)는 자중에 의하여 아래 방향으로 이동하게 되어, 도 9와 같이 감지센서 1(141)에 감지된다.

한편, 이송 장치에 기판(B)이 있을 경우에는, 도 5에 도시한 바와 같이 기판이 유체분사구 1(100)과 유체분사구 2(200) 사이의 유체의 흐름을 분리하는 역할을 함으로써, 유체분사구 2(200)에서 분사된 유체가 유체분사구 1(100)에서 분사되는 유체의 흐름을 방해하지 않게 되므로, 유체분사구 1(100)에서는 유체가 정상적으로 분사되어, 도 8과 같이 플로오트(132)는 유체입구(133)에서 유체출구(134)로 흐르 는 유체의 힘에 의하여 위쪽 방향으로 이동하게 되어 감지센서 2(140)에 감지된다.

상기 기술 내용에서, 플로오트(132)의 형태는 원형, 각형 등 여러 형태로 제작될 수 있음은 물론이고, 지지축(131) 또한 플로오트의 형태에 따라서 설치하지 않을 수 있음도 물론이다.

유체분사구(100)(200)의 위치는 사용 조건에 따라서 기판의 각각의 측면에서 0 ~ 100mm 이내에 위치하는 것이 바람직하다.

또한, 유체분사구 1,2의 형상은 여러 가지 형상으로 제작 가능하며, 사용 환경에 따라서 도 12와 같이 연결 튜브를 튜브형 유체분사구(400)(410)로 사용하는 것도 바람직하다.

또한, 플로오트(132) 및 감지센서(140)(141)은 기존의 센서를 이용하는 것도 가능하나, 플로오트(132)는 자성을 가지는 재료를 사용하고, 감지센서(140)(141)는 자성을 가지는 물질을 감지할 수 있는 특성이 있는 것을 사용하는 것도 바람직하다.

상기와 같이, 본 고안의 기판감지 장치는 기판과 비접촉이면서 기계적인 동작이 없고, 구조가 간단하여 환경에 영향을 현저히 받지 않는 구조이므로 공정 처리 장치의 기판 감지 장치로 사용이 가능하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 기판 감지 장치는, 기판 이송 장치의 공정 환경에서도 설치 및 사용 가능하고, 청정 공정에 부합하는 기판 감지 장치를 제공할 수 있다.

Claims (4)

1. 이송되는 기판의 일 측면에 근접하여 설치되는 유체분사구와,

   감지본체부의 유체의 흐름을 조정하는 입구 밸브와,

   감지본체부의 유체의 흐름을 조정하는 출구 밸브와,

   감지본체부에 공급되는 유체의 압력을 조정하는 레귤레이터와,

   유체의 흐름에 따라서 위치가 변하는 플로오트와,

   플로오트를 지지하는 축과,

   플로오트의 위치에 따라 감지할 수 있는 센서와,

   플로오트와 플로오트 지지축과 센서를 포함하는 감지본체부와,

   이송되는 기판의 다른 일 측면에 근접하여 설치되는 유체분사구와,

   유체의 흐름을 조정하는 밸브와,

   유체의 압력을 조정하는 레귤레이터

   를 포함하는 기판 감지 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 기판 양 측면에 설치된 유체분사구는,

   기판의 양 측면에서 0 ~ 100mm 이내에 근접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 유체분사구는,

   튜브가 유체분사구의 기능을 하는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 플로오트는 ,

   자성을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.

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