KR200444515Y1 - 기판 감지 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 기판 이송 장치에 사용되는 기판 감지 장치에 관한 것으로서, 본 고안에 의한 기판 감지 장치는 구조가 간단하여 설치 환경에 영향을 현저히 받지 않는, 공정 처리 장치의 기판 감지 장치로 사용이 가능하다.

본 고안에 의한 기판감지 장치는 화학 약품이 사용되는 처리 공정에 사용 가능하며, 오동작과 교환 주기를 최소화할 수 있다.

기판이송장치, 기판감지장치, 기판감지센서, 진자 센서

Description

기판 감지 장치{Substrate Detect Apparatus}

도 1 은 본 고안의 설치 상태와 기판이 감지되었을 경우의 유체의 흐름의 개념을 나타낸 측면도

도 2 는 본 고안의 설치 상태와 기판이 감지되었을 경우의 정면도

도 3 은 본 고안의 설치 상태와 기판이 감지되지 않았을 경우의 유체의 흐름의 개념을 나타낸 측면도

도 4 는 도 1의 A부의 확대도.

도 5 는 도 2의 B부의 확대도.

도 6 은 도 3의 C부의 확대도.

도 7 는 유량 감지본체부의 평면도.

도 8 는 유량 감지본체부의 단면도.

도 9 은 센서에 기판이 감지되지 않았을 경우의 유량 감지본체부의 상태도.

도 10 는 센서에 기판이 감지되었을 경우의 유량 감지본체부의 상태도.

도 11 은 종래의 기판 감지 센서로서 기판이 감지되었을 경우의 측면도.

도 12 는 종래의 기판 감지 센서로서 기판이 감지되지 않았을 경우의 측면도.

본 고안은 기판 이송 장치에 사용되는 기판 감지 장치에 관한 것이다.

평판디스플레이(FPD;Flat Panel Display)산업 분야는 온도가 높고, 화학 약품의 사용을 필수적으로 요구하는 공정이 있다. 이와 같은 공정 환경은 장비를 구성하는 부품에도 많은 영향을 주어 기능의 저하나 수명의 단축을 초래한다. 그러나 이러한 기판 처리 공정 설비 또한 기판을 이송하고 제어하기 위해서 기판 감지 장치가 반드시 필요하다.

종래의 기판 감지 장치로서는 도 11, 도 12에 제시한 바와 같이 진자 센서(11)와 같은 기판 감지 장치를 이용하여, 기판을 제어하기 위한 신호를 발생시킴으로써 기판을 이송하고 제어하였다. 광센서 또는 기타 형태의 센서는 온도, 화학 약품, 이물질 등으로 인하여 처리 공정 설비 내부 환경에서 사용이 불가능 하지만, 진자 센서는 사용이 가능하다.

그러나, 진자 센서도 여러 가지 부품이 조립된 장치이기 때문에, 화학 약품, 온도, 이물질 등 기판 처리 공정 조건에 동일하게 노출되면서, 구성 부품의 변형 및 기능이 저하되어 기판의 감지 불량이 발생하거나 빈번한 교체가 요구되어, 생산품의 불량을 초래하는 경우가 자주 발생한다. 특히 진자센서의 동작에서, 기판이 감지되었을 경우에 진자가 일정 각도 회전되고, 기판의 이송이 완료되면 진자가 원래의 수직 상태로 복귀하여야하나, 처리공정에서 발생한 이물질이 회전축과 진자 사이의 마찰을 증가시켜, 진자의 자중으로 복귀가 불가능한 현상이 발생한다.

이러한 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 고안은 공정 설비 내부 환경에서도 설치 및 장시간 사용 가능하고, 동작이 원활한 기판 감지 장치를 제공하는 데 목적이 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 고안에 의한 기판 감지 장치는, 공정 처리조(10) 내부의 기판 이송용 롤러(12)에 의하여 이송되는 기판(B)에 대하여 일 측면에 근접하여 설치되면서 유체의 이동통로(101)를 가지는 유체분사구(100), 유체분사구(100)의 유체 분사 조절용 밸브 2(121), 유체의 유량, 유속, 압력에 따라서 위치가 이동되는 플로오트(132), 플로오트를 지지하는 지지축(131), 플로오트와 플로오트 지지축을 포함하는 감지본체부(130), 감지본체부의 유체 이동통로(133)(134), 플로오트의 위치에 따라 감지할 수 있는 센서(140)(141), 감지본체부(130)에 유체 공급 조절용 밸브 1(120), 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 압력 조절용 레귤레이터(122), 연결 튜브(110), 막음판 지지 부재(105), 지지 부재와 막음판을 연결하는 힌지(106), 유체분사구에서 유체의 분사를 방해하는 막음판(102),기판 접촉 시 기판의 손상을 방지하는 자유 롤러(103), 자유 롤러를 지지하는 샤프트(104)를 포함한다.

본 고안의 기판 감지 장치를 구현하기 위해서, 도 1, 도 3에 도시된 바와 같이 유체분사구(100)가 기판(B)에 대하여 일 측면에 근접하여 설치되고, 막음 판(102)이 도 6과 같이 분사되는 유체의 힘에 의해 움직일 수 있도록, 밸브 1(120), 밸브 2(121), 레귤레이터(122)를 조정한다.

조정이 완료된 기판 감지 장치는, 도 4와 같이 기판이 자유 롤러(103)을 누를 경우와 도 6과 같이 기판이 자유 롤러(103)를 누르지 않을 경우에 각각 플로오트(132)의 위치를 감지센서(141)(140)가 감지함으로써, 기판(B)의 유무를 이송 장치의 제어장치(도면 미도시)로 전달할 수 있다.

상세하게는, 기판이 감지되었을 경우, 즉 자유 롤러(103)가 기판에 의해 눌려질 경우에는 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 유량, 유속이 감소하여 플로오트(132)가 감지센서 1(141)에 감지되고, 기판이 감지되지 않았을 경우, 즉 기판이 자유 롤러(103)를 누르지 않을 경우에는 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 유량, 유속이 증가하여 플로오트(132)가 감지센서 2(140)에 감지된다.

본 고안에 의한 실시 예의 구성 및 작용을 도면을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

유량, 유속의 증가 또는 감소에 따라서 플로오트(132)가 위, 아래로 이동하는 것은 다음과 같이 가능하다.

플로오트(132)의 외경은 감지본체부(130)의 유체통로(142)의 지름보다 작고, 구경은 지지축(131)의 지름보다 크기 때문에 마찰력이 거의 작용하지 않는다. 따라서 외부에서 힘이 작용할 경우 플로오트(132)는 자연스럽게 이동할 수 있다.

감지본체부(130)에서는 유체가 흐르는 방향으로 유속에 비례하여 플로오트(132)를 미는 힘이 발생한다. 즉 유량이 많이 흐르는 경우에는 유속이 증가하여 플로오트(132)를 미는 힘이 강하고, 유량이 적을 경우에는 유속이 감소하여 플로오 트(132)를 미는 힘이 약하게 된다.

본 고안에서는 유체가 플로오트(132)를 미는 힘이 강할 경우에는 플로오트(132)가 위쪽 방향으로 밀리게 되고, 이와 반대로 유체가 플로오트(132)를 미는 힘이 약할 경우에는 플로오트(132)가 자중에 의하여 아래 방향으로 이동하게 된다.

즉, 이송 장치에 기판(B)이 있을 경우에는, 도 4에 도시한 바와 같이 막음판(102)가 유체분사구(100)에서 유체가 분사되는 것을 방해하는 역할을 함으로써, 유체분사구(100)에서 유체가 분사되지 않게 하거나, 유속이나 유량을 현저히 감소시키게 된다. 유체분사구(100)에서의 분사 유체의 유량이 감소하게 되면, 플로오트 이동통로(142)를 통과하는 공기의 유속, 유량이 감소하게 되므로 유체가 플로오트(132)를 밀어올리는 힘이 약하게 되고, 그에 따라 플로오트(132)는 자중에 의하여 아래 방향으로 이동하게 되어, 도 10과 같이 감지센서 1(141)에 감지된다.

한편, 이송 장치에 기판(B)이 없을 경우에는, 도 6에 도시한 바와 같이 막음판((102)이 유체분사구(100)에서 분사되는 유체의 힘에 의해 밀려 움직이게 되므로, 유체분사구(100)에서는 유체가 정상적으로 분사되어, 도 9과 같이 플로오트(132)는 유체입구(133)에서 유체출구(134)로 흐르는 유체의 힘에 의하여 위쪽 방향으로 이동하게 되어 감지센서 2(140)에 감지된다.

상기 기술 내용에서, 플로오트(132)의 형태는 원형, 각형 등 여러 형태로 제작될 수 있음은 물론이고, 지지축(131) 또한 플로오트의 형태에 따라서 설치하지 않을 수 있음도 물론이다.

또한, 플로오트(132) 및 감지센서(140)(141)은 기존의 센서를 이용하는 것도 가능하나, 플로오트(132)는 자성을 가지는 재료를 사용하고, 감지센서(140)(141)는 자성을 가지는 물질을 감지할 수 있는 특성이 있는 것을 사용하는 것도 바람직하다.

상기와 같이, 본 고안은 막음판이 유체의 힘 및 기판의 무게에 의하여 강제적으로 동작을 하므로, 기판 처리 공정 시 발생하는 이물질에 영향을 현저히 받지 않는 기판 감지 장치로 사용이 가능하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 기판 감지 장치는, 공정 설비 내부 환경에서도 설치 및 사용 가능하고, 동작이 원활한 기판 감지 장치를 제공할 수 있다.

Claims (1)

1. 이송되는 기판의 일 측면에 근접하여 설치되는 유체분사구와,

   감지본체부의 유체의 흐름을 조정하는 입구 밸브와,

   감지본체부의 유체의 흐름을 조정하는 출구 밸브와,

   감지본체부에 공급되는 유체의 압력을 조정하는 레귤레이터와,

   유체의 흐름에 따라서 위치가 변하는 플로오트와,

   플로오트를 지지하는 축과,

   플로오트의 위치에 따라 감지할 수 있는 센서와,

   플로오트와 플로오트 지지축과 센서를 포함하는 감지본체부와,

   지지 부재와 막음판을 연결하는 힌지와,

   유체의 분사를 방해하는 막음판과,

   기판의 손상을 방지하는 자유 롤러와,

   자유 롤러를 지지하는 샤프트를 포함하며,

   유체분사구(100)가 기판(B)에 대하여 일 측면에 근접하여 설치되고, 밸브 1(120)·밸브 2(121)·레귤레이터(122)에 의해서 조정되어 분사되는 유체의 힘에 의해 움직일 수 있도록 힌지(106)에 고정되어 있는 막음 판(102)이 기판을 감지하였을 경우, 즉 자유 롤러(103)가 기판에 의해 눌려질 경우에는 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 유량, 유속이 감소하여 플로오트(132)가 감지센서 1(141)에 감지되고, 기판을 감지하지 않았을 경우, 즉 기판이 자유 롤러(103)를 누르지 않을 경우에는 감지본체부(130)에 흐르는 유체의 유량, 유속이 증가하여 플로오트(132)가 감지센서 2(140)에 감지되는 것을 특징으로하는 기판 감지 장치.

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