KR20080001649A - 볼 커플링을 구비한 밸브 도어 - Google Patents

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Abstract

챔버 내의 기판 이송 통로를 밀봉하기 위한 장치의 실시예들이 제공된다. 일 실시예에서, 챔버 내의 기판 이송 통로를 밀봉하기 위한 장치는 볼 조인트에 의해 액츄에이터로 결합되는 긴 도어 부재를 포함한다. 볼 조인트는 볼 조인트의 중앙 둘레의 레버 아암에 대한 도어 부재의 운동을 허용한다. 일 실시예에서, 긴 도어의 밀봉면은 만곡된다. 또 다른 실시예에서, 챔버는 화학적 증착 챔버, 로드 락 챔버, 도량형 챔버, 열 처리 챔버, 또는 물리적 증착 챔버, 로드 락 챔버, 기판 이송 챔버 또는 진공 챔버 중 하나이다.

Description

볼 커플링을 구비한 밸브 도어 {VALVE DOOR WITH BALL COUPLING}
도 1a는 종래의 슬릿 밸브 도어에 의해 선택적으로 밀봉되는 기판 통로를 가지는 챔버 바디의 부분 단면도.
도 1b는 도 1a의 도어 액츄에이터 및 종래의 슬릿 밸브 도어의 측면도로서, 챔버 바디가 제거된 도면.
도 2는 본 발명의 로드 락 챔버를 가지는 대면적 기판을 처리하기 위한 처리 시스템의 일 실시예의 평면도.
도 3은 도 2의 단면선 3-3을 따른 로드 락 챔버의 단면도.
도 4는 도 3의 단면선 4-4를 따른 로드 락 챔버의 단면도.
도 5a는 가요성 커플링 조립체의 일 실시예의 부분 단면도.
도 5b는 가요성 커플링 조립체의 또 다른 실시예의 부분 단면도.
도 6은 만곡형 슬릿 밸브 도어의 일 실시예의 단면도로서, 도 6a는 개방 위치에 있는 만곡형 슬릿 밸브 도어의 일 실시예의 단면도.
도 6b는 회전하여 폐쇄되는 만곡된 슬릿 밸브 도어의 일 실시예의 단면도.
도 7은 도 4의 단면선 5-5를 따른 밀봉 팩 조립체의 일 실시예의 단면도.
도 8은 도 2의 로드 락 챔버의 일 실시예의 일부 절개 측면도.
도 9 내지 도 10은 도어 부재의 일 실시예의 정면도 및 평면도.
도 11은 도어 부재 상의 밀봉면의 개략도.
도 12는 로드 락 챔버의 또 다른 실시예의 부분 단면도.
*본 발명의 주요 구성의 도면부호의 간단한 설명*
312 : 챔버 바디 316 : 통로
402 : 도어 부재 406 : 제 2 샤프트
410 : 벨 볼트 411: 부싱
413 : 레버 아암 415 : 너트
419 : 가요성 커플링 조립체 421 : 트러스트 와셔
423 : 스페이서 450 : 링킹 부재
460 : 볼 조인트 502 : 헤드
504, 532, 542, 562 : 구멍 564 : 캐리어
590, 592 : 피봇점
본 발명의 실시예는 일반적으로 진공 처리 시스템에서 기판 통로를 밀봉하기 위한 슬릿 밸브 도어에 관한 것이다.
필름 트랜지스터(TFT)는 통상적으로 컴퓨터 및 텔레비젼 모니터와 같은 활성 매트릭스 디스플레이, 핸드폰 디스플레이, 개인 휴대 정보 단말기(PDA), 및 다수의 다른 장치에 이용된다. 일반적으로, 평판은 그 사이에 끼워지는 액정 재료 층을 가지는 두 개의 유리판을 포함한다. 하나 이상의 유리판은 동력원에 결합되고 유리판 위에 배치되는 하나의 전도성 막을 포함한다. 동력원으로부터 전도성 막으로 공급되는 동력은 결정 재료의 배향을 변화시켜, 패턴 디스플레이를 형성한다.
평패널 기술의 시장 수용으로, 대형 디스플레이, 증가된 생산량 및 낮은 제조 비용에 대한 요구에 의해 장비 제조자가 평판 디스플레이 제작자를 위한 대형 크기의 유리 기판을 수용하는 새로운 시스템을 개발하게 하였다. 현 유리 기판 처리 장비는 일반적으로 약 5 평방 미터 까지 기판을 수용하도록 구성된다. 5평방 미터를 초과하는 기판 크기를 수용하는 처리 장비는 가까운 미래에 계획되고 있다.
유리 기판 프로세싱은 통상적으로 기판 상에 장치, 컨덕터 및 절연체를 형성하기 위해 기판에 다수의 연속 공정으로 처리함으로써 클러스터 툴에서 수행된다. 이러한 공정들 각각은 일반적으로 제조 공정의 단일 단계를 수행하는 공정 챔버 내에서 수행된다. 처리 단계의 전체 순서를 효율적으로 완료하기 위해, 클러스터 툴은 중앙 이송 챔버에 결합되는 다수의 공정 챔버를 포함한다. 로봇은 이송 챔버 내에 수용되어 공정 챔버와 로드 락 챔버 사이의 기판의 이송을 용이하게 한다. 로드 락 챔버는 기판이 클러스터 툴의 진공 환경과 공장 인터페이스의 대기 환경 사이로 전달되도록 한다. 유리 기판 처리를 위한 이 같은 클러스터 툴은 미국 캘리포니아 산타 클라라의 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드가 완전히 소유한 자회사인, 에이케이티, 인코포레이티드(AKT, Inc.)로부터 이용가능하다.
평판 디스플레이를 제조하기 위한 기판 크기가 성장할 때, 이러한 기판을 위한 제조 장비도 크기가 커지게 된다. 따라서, 두 개의 챔버들 사이의 슬롯 개구가 슬롯 개구를 통과하는 기판의 대형 폭을 수용하기 위해 폭이 더 넓어지기 때문에, 다른 챔버들로부터 하나의 진공 챔버(또는 로드 락 챔버)를 격리하는 도어 또는 게이트도 커지거나 특히 길어지게 된다. 도어의 증가된 길이는 두 개의 챔버들 사이의 유용하게 격리하는 밀봉을 얻기 위한 기술적인 도전이 필요하며, 이러한 밀봉은 도어와 챔버 벽 사이의 슬롯 개구 주위에 배치되는 일래스토머의 밀봉부에 의해 유지된다.
도 1a는 챔버 바디(106)를 통하여 형성되고 종래의 슬릿 밸브 도어(110)에 의해 선택적으로 밀봉되는 기판 통로(108)의 부분 단면도이다. 종래의 슬릿 밸브 도어는 통상적으로 긴 측방향 스팬을 가지는 알루미늄의 평평한 부재를 포함한다. 폐쇄력은 도 1a 내지 도 1b에 도시된 바와 같이 강성 회전 샤프트(104)에 부착되는 브래킷(102)에 의해 도어(110)의 중앙을 향하여 인가된다. 도어(110)는 샤프트(104)에 결합되는 액츄에이터(118)에 의해 통로가 열린 위치와 통로 밀봉 위치(108)(도 1a에 도시됨) 사이에서 회전한다. 밀봉부(116)는 도어(110)와 챔버 바디(106) 사이에 배치된다.
유용한 챔버 격리를 얻기 위하여 밀봉부(116)를 로딩하기 위하여 요구되는 힘은 크다. 도어(110)의 중앙 근처에 인가되는 큰 로드는 힘의 화살표(112)에 의해 표시되는 바와 같이, 도어(10)의 거의 중앙의 큰 로딩력 및 도어의 단부 근처의 실질적으로 낮은 밀봉력을 초래한다. 도어(110)가 챔버 바디(106)의 벽에 배치되는 베어링 지지부(14)와 도어(110)의 중앙에 결합되는 브래킷(102) 사이에 긴 스팬을 가지기 때문에, 샤프트(104)는 점선 샤프트(112)로 표시되는 바와 같이, 로드 하에 있는 동안 변형될 수 있다. 도어(110)가 폐쇄 위치에 있는 동안 샤프트(104)의 변형은 도어의 단부에서 밀봉부의 낮은 로딩 상태를 더 악화시킨다. 도어의 에지에서 낮은 밀봉력은 통로(108)를 통한 바람직하지 않은 누출을 초래할 수 있다.
더욱 균일한 밀봉 로딩을 위한 강성 도어를 제공하기 위하여, 도어 및/또는 샤프트는 더 두꺼운 재료 또는 더 높은 모듈을 가지는 재료로 제조될 수 있다. 그러나, 높은 강도 재료는 통상적으로 고가이고, 더 큰 로드 락 챔버는 작동 동안 적절한 허용 오차를 가지며 더 크고, 높은 강도의 도어를 수용할 것을 요구하기 때문에, 이러한 출입은 로드 락 챔버의 비용을 증가시킨다. 더 큰 로드 락 챔버는 더 큰 로드 락 용적을 펌프 다운(pump down)하기 위해 요구되는 증가된 펌프 성능에 따라, 챔버 자체의 증가된 재료 및 제조 비용 때문에 바람직하지 않다. 더욱이, 증가된 로드 락 용적은 통상적으로 시스템 작업 처리량에 부작용을 일으키는 증가된 펌프 시간을 요구한다.
만곡형 슬릿 밸브의 이용은 이러한 관계를 처리하기 위하여 제안되었으며 일반 양도되고 2004년 6월 14일에 출원되고 발명의 명칭이 "만곡형 슬릿 밸브 도어(curved slit valve door)"인 미국 특허 출원 제 10,867,100호에 기재되어 있다. 만곡형 슬릿 밸브 도어의 실시는 새로운 공학적 도전을 제시한다. 예를 들면, 슬릿 밸브 통로를 밀봉하기 위하여 평평한 챔버 벽을 가압할 때, 도어 밀봉면은 평평하게 되고, 만곡형 슬릿 밸브 도어의 돌출된 길이 내의 변화는 도어 작동 기구의 과도한 마모를 방지하기 위하여 수용되어야 한다. 더욱이, 슬릿 밸브 도어가 도어 밀봉면에 대해 회전할 때, 슬릿 밸브 도어와 도어 밀봉면 사이의 어떠한 비 평형은 이러한 표면들 사이의 측방향 운동을 초래한다. 측방향 운동은 밀봉 마모 및 입자 발생을 초래하여, 극한적인 예에서, 밀봉 마개에서 밀봉이 어렵게 될 수 있으며 이는 추가로 때 이른 밀봉 고장을 일으킬 수 있다.
따라서, 개선된 슬릿 밸브 도어에 대한 요구가 있었다.
챔버 내의 기판 이송 통로를 밀봉하기 위한 장치의 실시예가 제공된다. 일 실시예에서, 챔버 내의 기판 이송 통로를 밀봉하기 위한 장치는 볼 조인트에 의해 액츄에이터에 결합되는 밀봉면을 가지는 긴 도어 부재를 포함한다. 챔버는 화학적 증착 챔버, 로드 락 챔버, 도량형(metrology) 챔버, 열 처리 챔버, 물리적 증착 챔버, 로드 락 챔버, 기판 이송 챔버 또는 진공 챔버, 등일 수 있다.
또 다른 실시예에서, 진공 챔버 내의 기판 이송 통로를 밀봉하기 위한 장치는 볼 조인트에 의해 레버 아암에 결합되는 오목한 밀봉면을 가지는 긴 도어 부재를 포함한다. 볼 조인트는 볼 조인트의 중앙을 중심으로 레버 아암에 대해 도어 부재의 이동을 허용하도록 구성된다.
또 다른 실시예에서, 로드 락 챔버 내의 기판 이송 통로를 밀봉하기 위한 장치는 볼 조인트에 의해 액츄에이터에 결합되는 긴 도어 부재를 포함한다. 볼 조인트는 볼 조인트의 중앙 주위의 레버 아암에 대해 도어 부재의 운동을 허용하도록 구성된다. 일 실시예에서, 긴 도어의 밀봉면은 만곡된다.
본 발명의 상술된 특징이 달성되고 상세하게 이해될 수 있도록, 위에서 간단하게 요약된 본 발명은 첨부된 도면에서 설명되는 본 발명의 실시예를 참조하여 더 욱 특별하고 상세하게 설명될 수 있다.
이해를 용이하게 하기 위해, 가능하게는 도면들에 공통하는 동일한 구성을 표시하기 위하여 동일한 도면부호가 사용된다. 일 실시예의 구성 및 특징은 추가의 인용 없이 다른 실시예에 유용하게 결합된다.
그러나, 첨부된 도면은 본 발명의 전형적인 실시예만 도시하고 있으며 따라서 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 고려되지 않으며, 본 발명을 위해, 다른 동일하게 효과적인 실시예가 인정될 수 있다.
본 발명은 특히 일반적으로 대면적 기판 처리 챔버에서 이용하기에 적절한 개선된 슬릿 밸브 도어를 제공한다. 슬릿 밸브 도어는 만곡형 밀봉면 및 가요성 커플링을 포함하며 가요성 커플링은 도어의 돌출된 길이에서의 변화를 수용하여, 회전하느 부품의 구속과 관련하여 원하지 않는 입자 발생을 최소화하면서 도어 작동 기구의 수명을 연장한다. 본 발명은 미국의 캘리포니아 산타 클라라의 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드의 자회사인 에이케이티로부터 입수가능한, 평판 처리 시스템에서 이용되는 것으로서 후술된다. 본 발명은 상이한 구성을 가지는 다른 타입의 처리 장비에서의 기판 이송 통로를 밀봉하기 위해 이용된다.
도 2는 대면적 기판(예를 들면, 약 0.16 평방 미터 보다 큰 평면적을 가지는 유리 또는 폴리머 기판)을 처리하기에 적절한 공정 시스템(250)의 일 실시예의 평면도이다. 처리 시스템(250)은 통상적으로 로드 락 챔버(200)에 의해 공장 인터페이스(212)에 결합되는 이송 챔버(208)를 포함한다. 이송 챔버(208)는 그 안에 배 치되는 하나 이상의 진공 로봇(234)를 가지며 하나 이상의 진공 챔버는 다수의 원주방향으로 배치되는 공정 챔버(232)와 로드 락 챔버(200) 사이에서 기판을 이송하도록 한다. 공정 챔버(232)는 화학적 증착 챔버, 물리적 증착 챔버, 도량형 챔버 또는 열 처리 챔버 등일 수 있다. 통상적으로, 이송 챔버(208)는 각각의 기판 이송 후 개별 공정 챔버(232)와 이송 챔버(208) 사이의 압력을 조절할 필요성을 제거하기 위하여 진공 상태로 유지된다.
공장 인터페이스(212)는 일반적으로 다수의 기판 저장 카세트(238)와 하나 이상의 대기중의 로봇(atmospheric robot; 236)을 포함한다. 카세트(238)는 일반적으로 공장 인터페이스(212)의 일 측부 상에 형성된 다수의 베이(240)에 제거가능하게 배치된다. 대기중의 로봇(236)은 카세트(238)와 로드 락 챔버(200) 사이에서 기판(210)을 이송하도록 한다. 통상적으로, 공장 인터페이스(212)는 대기 압력 또는 대기 압력 약간 위의 압력으로 유지된다.
도 3은 도 2의 로드 락 챔버(200)의 일 실시예의 단면도이다. 로드 락 챔버(200)는 공장 인터페이스(212)와 이송 챔버(208) 사이의 통로(기판 출입 부분)(316)를 밀봉하도록 하는 슬릿 밸브 도어 조립체(300)를 포함한다. 본 발명에 유익하게 적용될 수 있는 로드 락 챔버의 일 실시예는 쿠리타(Kurita) 등에 의한, 2003년 10월 20일에 출원되고 발명의 명칭이 "대면적 기판 처리 시스템용 로드 락 챔버(LOAD LOCK CHAMBER FOR LARGE AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM)"인 미국 가출원 제 60/512,727호, 및 쿠리타(Kurita) 등에 의한, 1999년 12월 15일에 출원되고 발명의 명칭이 "이중 기판 로드락 공정 장비(DUAL SUBSTRATE LOADLOCK PROCESS EQUIPMENT)"인 미국 특허 출원 제 09/464,362호에 기재되어 있다. 본 발명의 슬릿 밸브 도어 조립체(300)는 대안적인 구성을 가지는 로드 락 챔버로 이용될 수 있다는 것이 고려된다. 또는 슬릿 밸브 조립체(300)가 이송 챔버(208), 처리 챔버(232) 또는 다른 진공 챔버에 형성된 기판 포트를 선택적으로 밀봉하기 위해 이용할 수도 있다는 것이 고려된다.
도 3에 도시된 실시예에서, 로드 락 챔버(200)는 진공 타이트인 수평 내부 벽(314)에 의해 분리되는 다수의 수직으로 적층되는 분위기와 격리되는 기판 이송 챔버를 포함하는 챔버 바디(312)를 가진다. 비록 3개의 기판 이송 챔버(320, 322, 324)가 도 3에 도시된 실시예에 도시되어 있지만, 로드 락 챔버(200)의 챔버 바디(312)는 두 개 또는 그 이상의 수직으로 적층되는 기판 이송 챔버를 포함할 수 있다. 예를 들면, 로드 락 챔버(200)는 N-1개의 수평 내부 벽(314)에 의해 분리되는 N개의 기판 이송 챔버를 포함할 수 있는데, 여기서, N은 하나 이상의 정수이다.
기판 이송 챔버(320, 322, 324)는 각각 단일 대면적 기판(210)을 수용하도록 구성될 수 있어, 각각의 챔버의 용적은 신속한 펌핑 및 벤팅 사이클을 강화하기 위해 최소화될 수 있다. 도 3에 도시된 실시예에서, 각각의 기판 이송 챔버(320, 322, 324)는 약 2000 리터 보다 적은 내부 용적을 가지며, 예를 들면 약 1400 리터의 내부 용적을 가져서 5 평방 미터 보다 크거나 5 평방 미터와 같은 약 3.7 평방 미터 보다 큰 평면적을 가지는 기판을 수용하도록 한다. 다른 폭, 길이 및/또는 높이를 가지는 본 발명의 기판 이송 챔버는 상이한 크기의 기판을 수용하도록 구성되는 것이 고려된다.
챔버 바디(312)는 제 1 측벽(302), 제 2 측벽(304), 제 3 측벽(306), 바닥(308) 및 상부(310)를 포함한다. 제 4 측벽(318)(도 3에 부분적으로 도시됨)은 제 3 측벽(306)에 대향된다. 바디(312)는 진공 상태에서 이용하기에 적절한 강성 재료로부터 제조된다. 챔버 바디(312)는 알루미늄 또는 다른 적절한 재료의 단일 블록(예를 들면, 하나의 피스)으로부터 제조되거나 모듈 섹션으로 제조된다.
기판(210)은 제 2 및 제 3 기판 이송 챔버(322, 324)의 바닥의 경계부를 형성하는 내부 벽(314) 및 제 1 기판 이송 챔버(320)의 바닥(308) 위의 다수의 기판 지지부(344)에 의해 지지된다. 기판 지지부(344)는 기판의 스크래칭 및 오염을 최소화하도록 구성된다. 도 3에 도시된 실시예에서, 기판 지지부(344)는 원형 상단부(346)를 가지는 스테인레스 핀이다. 다른 적절한 기판 지지부는 2003년 3월 5일에 출원된 미국 특허 제 6,528,767호, 2001년 10월 27일에 출원된 미국 특허 출원 제 09/982,406호, 및 2003년 2월 27일에 출원된 미국 특허 출원 제 60/376,857호에 기재되어 있다.
하나 이상의 측벽의 각각의 기판 이송 챔버(320, 322, 324)는 이를 통과하여 형성되고 펌핑 시스템(342)에 결합되는 하나 이상의 포트(340)를 포함하여 각각의 챔버의 내부 용적 내의 압력 제어를 용이하게 한다. 펌핑 시스템(342)은 벤트, 펌프 및 유동 제어를 포함하여 펌핑 시스템(342)이 기판 이송 챔버(320, 322, 324)들 중 미리결정된 하나를 선택적으로 벤트 또는 펌프 다운한다. 본 발명에 유용하게 적용될 수 있는 펌핑 시스템의 일 예가 쿠리타 등에 의한, 2003년 10월 20일에 출원되고 발명의 명칭이 "대면적 기판 처리 시스템용 로드 락 챔버(LOAD LOCK CHAMBER FOR LARGE AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM}"인 미국 특허 출원 제 60/512,727호에 기재되어 있다.
챔버 바디(312)에 형성된 각각의 기판 이송 챔버(320, 322, 324)는 두 개의 기판 출입 포트(316)를 포함한다. 포트(316)는 로드 락 챔버(200)로부터 대면적 기판(210)의 유입 및 유출을 용이하게 하도록 구성된다. 도 3에 도시된 실시예에서, 각각의 기판 이송 챔버(320, 322, 324)의 기판 출입 통로(316)는 챔버 바디(312)의 마주하는 측부들 상에 배치되지만, 포트(316)는 대안적으로 바디(312)의 인접한 벽 상에 위치 설정될 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 및 제 2 기판 출입 포트(316)의 폭은 적어도 1365 mm이지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
각각의 기판 출입 포트(316)는 각각의 슬릿 밸브 도어 조립체(300)에 의해 선택적으로 밀봉되어 이송 챔버(208) 및 공장 인터페이스(212)의 환경으로부터 제 1 기판 이송 챔버(320)를 선택적으로 격리하도록 한다. 각각의 슬릿 밸브 도어 조립체(300)는 하나 이상의 액츄에이터(330)에 의해 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동한다(하나의 액츄에이터(330)는 도 3의 제 4 벽(318) 상의 챔버 바디(312) 외부에 정상적으로 위치 설정된다).
도 4는 슬릿 밸브 도어 조립체(300)들 중 하나를 통한 로드 락 챔버(200)의 수평방향 단면도이다. 슬릿 밸브 도어 조립체(300)는 레버 아암(413)에 의한 적어도 제 1 샤프트(404)에 결합되는 도어 부재(402)를 포함한다. 제 1 샤프트(404) 및 레버 아암(413)은 개방 위치와 폐쇄 위치 사이로 도어 부재(402)를 이동시키기 위해 액츄에이터(330)에 의해 회전된다. 도 4에 도시된 실시예에서, 슬릿 밸브 도 어 조립체(300)는 제 2 레버 아암(413)에 의해 도어 부재(402)에 결합되는 제 2 샤프트(406)를 포함한다. 챔버 바디(312)의 제 3 벽(306)의 외부에 결합되는 것으로 도시되는 제 2 액츄에이터(430)는 도어 부재(402)를 이동시키기 위해 액츄에이터(330)와 연결하여 이용된다. 제 2 액츄에이터(403)는 도어 부재(402)를 회전하도록 액츄에이터(330)와 협동한다. 제 1 및 제 2 액츄에이터(330, 430)는 유압 실린더, 공기압 실린더, 모터 또는 샤프트(404, 406)를 회전시키기에 적절한 다른 액츄에이터일 수 있다.
각각의 샤프트(404, 406)에 결합되는 레버 아암(413)은 가요성 커플링 조립체(419)에 의해 도어 부재(402)로 연결된다. 가요성 커플링 조립체(419)는 볼 조인트(46) 및 링킹 부재(450)를 포함하여 도어 부재(402)가 샤프트(404, 406) 또는 도어 부재(402)를 이동시키기 위해 이용되는 다른 부품과 결합하지 않고 구부러지고, 길이 변화, 피봇 및 벤딩되도록 한다. 볼 조인트(460)는 레버 아암(413)에 대해 적어도 두 개의 평면 내에서 도어 부재(402)의 회전을 용이하게 한다.
도 5a에 도시된 실시예를 참조하면, 가요성 커플링 조립체(419)는 링킹 부재(450), 볼 조인트(460), 하나 이상의 탄성 부싱(411), 트러스트 와셔(421), 스페이서(423) 및 리테이너(580)를 포함한다. 링킹 부재(450)는 도어 부재(402)를 레버 아암(413)에 고정하기에 소정의 적절한 구조물일 수 있으며 도 5a에 도시된 실시예와 같이, 벨 볼(410) 및 너트(415)이다. 너트(415)는 세트 스크류, 록킹 접착제, 와이어, 플라스틱 삽입물, 스프링, 리테이닝 링 또는 다른 적절한 록킹 기구와 같은 록킹 기구에 의해 고정될 수 있다. 도 5a에 도시된 실시예에서, 록킹 기구는 너트(415)의 역 회전을 방지하기 위하여 벨 볼트(410) 상에 가압되는 리테이닝 링(582)이다.
탄성 부시(411)는 도어 부재(402)에 형성되는 리세스(530) 내에 배치된다. 리세스(530)는 벨 볼트(410)가 도어 부재(402)를 통과하도록 하는 구멍(532)을 포함한다. 벨 볼트(410)는 또한 부싱(411)의 구멍(504)을 통과한다. 벨 볼트(410)의 헤드(502)는 볼 볼트(410)가 탄성 부싱(411)을 통과하는 것을 방지한다. 탄성 부싱(411)의 탄성은 벨 볼트(410)가 도어 부재(402)에 대해 자유로운 피봇(즉, 피봇 지점(590)에 대한 예를 들면 x 및 y 축선에 대한 두 개 이상의 평면의 회전)을 허용한다.
탄성 부싱(411)은 폴리머와 같은 탄성 재료, 또는 스프링 형태로 제조될 수 있다. 적절한 폴리머 재료의 예는 일래스토머 및 폴리우레탄, 폴리아미드-이미드, 토론(TORLON)(등록상표), 비톤(VITON)(등록상표)과 같은 연성 플라스틱, 다른 적절한 탄성 재료를 포함한다. 부싱(411)을 포함할 수 있는 다른 탄성 재료의 예는 금속 또는 다른 적절한 스프링 재료로 제조되는 벨레빌 스프링(Belleville spring)과 같은 스프링 형태를 포함한다.
일 실시예에서, 탄성 부싱(411)의 홀(504)은 벨 볼트(410)의 직경(506) 보다 큰 내부 직경을 가진다. 따라서, 벨 볼트(410)는 탄성 부싱(411) 내에서 측방향으로 이동할 수 있어, 레버 아암(413)에 대해 도어 부재(402)의 측방향 이동을 수용한다.
트러스트 와셔(421)는 레버 아암(413)과 도어 부재(402) 사이에 배치된다. 트러스트 와셔(421)는 도어 부재(402)와 레버 아암(413) 사이의 마찰 저항을 증가시키기 위해 순응 부재(compliant member)를 제공하여, 강도 및 도어 부재(402)의 연속적인 개방 및 폐쇄 사이클 사이의 챔버 밀봉면에 대한 도어 부재(402)의 배향을 실질적으로 유지하는 메모리를 추가한다. 트러스트 와셔(421)는 폴리머와 같은 일반적인 비 금속 재료이어서 레버 아암(413)과 도어 부재(402) 사이의 금속 대 금속 접촉을 방지한다. 일 실시예에서, 트러스트 와셔(421)는 PEEK로부터 제조된다.
볼 조인트(460)는 레버 아암(413) 내에 형성되는 리세스(540) 내에 배치된다. 스페이서(423)는 금속 대 금속 접촉을 방지하기 위하여 볼 조인트(460)와 레버 아암(413) 사이에 배치된다. 일 실시예에서, 스페이서(423)는 PEEK와 같은 폴리머로 제조된다.
볼 조인트(460)는 캐리어(564) 내에 포획되는 볼(562)을 포함한다. 볼(562) 및 캐리어(564)는 입자 발생 또는 벗겨짐 없이 캐리어(564) 내에서 볼(562)의 회전을 허용하는 소정의 적절한 재료로 제조될 수 있다. 일 실시예에서, 볼(562) 및 캐리어(564)는 스테인레스 강으로 제조된다.
벨 볼트(410)는 볼(562)에 형성된 홀(566) 및 리세스(540) 내에 형성된 홀(542)을 통과한다. 너트(415)는 벨 볼트(410) 상에 나사결합되어 볼(562)의 중앙에 형성된 피봇 지점(592)을 중심으로 레버 아암(413)에 대해 자유롭게 회전하도록 하는 방식으로 레버 아암(413) 및 볼 조인트(460)가 도어 부재(402)에 포획된다.
리테이너(430)는 볼 조인트(460)를 레버 아암으로 고정하기 위하여 레버 아암(413)으로 결합된다. 일 실시예에서, 리테이너(48)는 리세스(540) 내에 형성된 웅형 나사부와 결합하는 나사형성부를 포함한다. 리테이너(480)는 리테이너(480)의 회전을 용이하게 하기 위해 스패너 키이 또는 슬롯과 같은 구동 특징물을 포함할 수 있다.
볼 조인트(460)는 근처 또는 도어 부재(402) 또는 레버 아암(413) 내에 위치할 수 있다. 그러나, 기판 출입 포트(316)를 둘러싸는 챔버 바디(312)의 밀봉면에 대해 도어 부재(402)의 밀봉면의 운동을 최소화하기 위해, 볼(562)의 중앙에서 피봇 지점(590)은 기판 출입 포트(316)를 둘러싸는 밀봉면에 대해 근접하게 되도록 배치되어야 한다. 따라서, 도어 부재(402)의 밀봉면이 레버 아암(413)에 대향되는 도어 부재(402)의 측부 상에 있는 실시예에서, 볼 조인트(460)는 도 5b에 도시된 바와 같이 도어 부재(402)에 배치될 수 있다. 역으로, 도어 부재(402)의 밀봉면이 레버 아암(413)과 동일한 도어 부재(402)의 측부 상에 있는 실시예에서, 볼 조인트(460)는 도 5b에 도시된 바와 같이 레버 아암(413)에 배치될 수 있다. 더욱이, 볼 조인트(460)가 도어 부재(402)와 챔버 바디(316)의 밀봉면 사이의 유용한 평행성을 유지할 때, 볼 조인트(460)의 이용은 또한 밀봉 수명을 최대화하고 밀봉 마모를 최소화하기 위해 평평한 밀봉면을 구비하는 도어 부재를 가지는 장치에서 유용하다.
도 4를 참조하면, 측벽(306, 318)은 리세스(416)가 형성되고 리세스는 레버 아암(413)의 적어도 일 부분을 수용하여, 챔버 바디(316)의 내부 용적 및 폭이 최소화될 수 있다. 각각의 샤프트(404, 406)는 또한 외부 액츄에이터 아암(414)에 의해 액츄에이터(330, 430)로 각각 결합된다. 각각의 외부 액츄에이터 아암(414) 및 샤프트(404, 406)는 스플라인형(splined) 키이형(keyed), 또는 그 사이의 회전 미끄러짐을 방지하도록 구성되는 다른 부재일 수 있다.
각각의 샤프트(404, 406)는 챔버 바디(312)의 용적 무결성(vacuum integrity)을 유지하는 동안 샤프트의 회전을 허용하는 밀봉 팩 조립체(408)를 통과한다. 밀봉 팩 조립체(408)는 일반적으로 챔버 바디(312)의 내부 용적 및 폭을 최소화하도록 챔버 바디(312)의 외부에 장착된다.
도 6a 내지 도 6b는 개방 및 폐쇄 위치에 있는 도어 부재(402)의 단면도이다. 도 6a는 개방 위치에서 만곡형 슬릿 밸브 도어를 도시한다. 개방 위치에서, 도어 부재(402)는 만곡되고, 탄성 부싱(411)의 변형 및 볼 조인트(460) 내의 볼(562)의 회전은 레버 아암(413)과 도어 부재(402) 사이의 제 1 배향으로 벨 볼트(410)를 수용한다. 레버 아암(413)에 결합된 액츄에이터(330, 430)가 폐쇄 위치로 도어 부재(402)를 회전할 때, 슬릿 밸브 통로(316)를 폐쇄하기 위하여 챔버 바디에 대해 가압될 때 도어 부재(402)는 평평하게 된다. 도어 부재(402)가 평평하게 될 때, 레버 아암(413)으로 가요성 커플링 조립체(419)에 의해 결합되는 단부가 외측으로 이동한다. 개방 및 폐쇄 위치에서(예를 들면, 만곡 및 평평하게 되는) 도어 부재(402)의 돌출된 길이 사이의 차이는 도 6a 내지 도 6b에 도시된 도어 부재(402)의 단부로부터 연장하는 가상선(600, 602)의 오프셋에 의해 도시된다. 도어 부재(402)의 팽창은 벨 볼트(410)가 배향이 변화되어 레버 아암(413)에 대해 일정한 각도로 경사지도록 한다. 부싱(411)은 또한 벨 볼트(410)의 측방향 운동을 허용하여 도어 부재의 길이에서의 변화를 수용하여 보상하도록 하며 볼 조인트(460)는 벨 볼트(410)의 각도 배향에서의 변화를 수용한다. 가요성 커플링 조립체(419) 는 또한 레버 아암(413)이 챔버 바디(316)를 통과하여 샤프트(404, 406)에 대한 배향을 실질적으로 변화시키지 않도록 한다. 만곡형 도어 부재(402)의 직선화에 의해 유발되는 운동에 부가하여, 도어 부재(402)의 정면이 접촉시 챔버 벽과 정렬하도록 피봇될 때 제 2 평면에서의 회전은 또한 가요성 커플링 조립체(419)의 볼 조인트(460)에 의해 수용된다.
도 7은 밀봉 팩 조립체(408)의 일 실시예의 단면도이다. 밀봉 팩 조립체(408)는 하우징(702), 내부 베어링(704), 외부 베어링(706) 및 하나 또는 그 이상의 샤프트 밀봉부(708)를 포함한다. 하우징(702)은 일반적으로 다수의 패스너(710)에 의해 챔버 바디(312)에 결합한다. O-링(712)은 하우징(702)과 챔버 바디(312) 사이에 배치되어 그 사이에 진공 밀봉부를 제공한다.
하우징(702)은 샤프트(406)가 하우징(702)을 통과하도록 하는 관통공(714)을 포함한다. 관통공(714)은 각각의 단부에 내부 및 외부 베어링(704, 706)수용하는 카운터보어를 가진다. 리테이닝 링(718)은 베어링(704, 706)이 관통공(714)으로부터 이동하는 것을 방지한다. 베어링(704, 706)은 회전이 용이하도록 샤프트(406) 주위에 가압 조립된다. 도 7에 도시된 실시예에서, 베어링(704, 706)은 크로스 롤러 베어링이다.
하나 또는 그 이상의 샤프트 밀봉부(708)는 관통공(714)에 배치되어 제 2 샤프트(406)와 하우징(702) 사이의 동적 진공 밀봉부를 제공한다. 도 7에 도시된 실시예에서, 다수의 샤프트 밀봉부(708)는 스페이서(716)에 의해 분리되어 도시된다.
제 2 샤프트(406)의 내측 단부(720)는 샤프트(406)로부터 아암(413)으로 회 전 운동의 전달을 보장하는 방식으로 레버 아암(413)으로 결합된다. 예를 들면, 레버 아암(413)은 샤프트(406)와 정합될 수 있거나 회전을 보장하기 위하여 키이를 포함한다. 대안적으로, 레버 아암(413)은 샤프트(406)로 클램핑, 핀 결합, 가압 조립, 용접, 또는 본딩될 수 있다.
도 8은 레버 아암(413)의 일 실시에의 사시도이며, 제 1 샤프트(404)의 외측 단부(740)는 제 1 샤프트(404)에 대한 회전 운동으로서 외부 액츄에이터 아암(414)의 운동의 전달을 보장하는 방식으로 외부 액츄에이터 아암(414)으로 결합된다. 제 2 샤프트(406)는 유사하게 부착된다. 예를 들면, 외부 액츄에이터 아암(414)은 샤프트(404)와 정합할 수 있거나 회전을 보장하도록 키이(802)를 포함한다. 대안적으로, 외부 액츄에이터 아암(414)은 샤프트(404)로 클램핑, 핀 결합, 가압 조립, 용접, 또는 본딩될 수 있다.
도 9 내지 도 10은 도어 부재(402)의 일 실시예의 정면도 및 평면도이다. 도어 부재(402)는 일반적으로 긴 형상이고 알루미늄 또는 다른 적절한 재료로 제조된다. 도어 부재(402)는 넓은 측부(902, 904), 좁은 측부(906, 908), 밀봉면(910) 및 후면(912)을 포함한다. 각각 하나의 레버 아암(413)은 좁은 측부(906, 908)에 근접한, 가요성 커플링 조립체(419)에 의해 도어 부재(402)의 후면(419)의 마주하는 단부에 결합된다. 일 실시예에서, 도어 부재(402)는 직사각형이고 좁은 측부(906, 908) 사이에 1260 밀리미터 이상의 폭을 가진다. 도어 부재(402)는 상이한 크기의 기판을 수용하기 위해 폭이 더 길거나 짧을 수 있다.
밀봉 마개(914)는 측부(902, 904, 906, 908)의 내측으로 밀봉면(910)에 형성 된다. 밀봉 마개(914)는 챔버 바디(312)를 통하여 기판 출입 포트(316)를 덮는 도어 부재(402)의 중앙부분의 주위를 둘러싼다. 밀봉부(916)는 밀봉 마개(914)에 배치되어 챔버 바디(316)로 도어 부재(402)를 밀봉한다. 밀봉부(916)는 일반적으로 액츄에이터(330, 430)에 의해 압축될 때 챔버 바디(316)와 도어 부재(402) 사이의 접촉을 방지하도록 구성된다. 일 실시예에서, 밀봉부(916)는 플루오르폴리머 또는 다른 적절한 재료로 제조되는 O-링으로 이루어진다. 다른 밀봉 재료의 예는 플루오르카본(fkm) 또는 퍼플루오르일래스토머(ffkm), 니트릴 러버(nbr) 및 실리콘을 포함한다. 밀봉부(916) 및 밀봉 마개(914)는 대안적으로 챔버 바디(316)에 배치될 수 있다.
적어도 도어 부재(402)의 밀봉면(910)은 좁은 측부(906, 908)를 연결하는 주 축선(1002)에 대해 만곡된다. 주 축선(1002)은 챔버 바디(316)의 밀봉면(1012)에 의해 형성되는 가상선(1000)에 대해 평행하며 챔버 바디로 도어 부재(402)가 밀봉된다. 밀봉면(1012) 및 도어 부재(402)는 명료성을 위해 도 10에 과장되게 공간이 이격된 관계로 도시된다. 가상선(1000)은 또한 샤프트(404, 406)에 대해 평행하고 좁은 측부(906, 908)에 대해 수직할 수 있다. 도 10에 도시된 실시예에서, 밀봉면(910)은 가상선(1000)에 대해 오목하여, 도어 부재(402)가 폐쇄될 때 밀봉면(910)의 중앙이 1차로 챔버 바디(312)와 접촉하도록 하여, 도어 부재(402) 내에 스프링력을 형성한다.
작동 중, 좁은 측부(906, 908)에 배치되는 레버 아암(413)에 결합되는 액츄에이터(330, 430)는 도어 부재(402)가 회전하여 폐쇄되도록 한다. 액츄에이터 (330, 430)에 의해 만곡된 도어 상의 로딩력은 도 11에 화살표(1102)에 의해 도시된다. 도어가 회전하여 폐쇄될 때, 벨 볼트(410)의 측방향 운동은 탄성 부싱(411)에 의해 발생하여 수용되어, 레버 아암(413)에 대해 종방향으로의 이동을 허용한다. 도어 부재(402)의 곡률에 의해, 도어 부재(402)의 중앙은 1차로 챔버 바디(312)와 접촉한다. 액츄에이터(330, 430)의 힘이 도어 부재(402)를 평평하게 하기 때문에, 도어 부재(402)의 곡률은 도어 부재(402)의 중앙 영역내의 밀봉(916)을 증가시키는 스프링력이 발생한다. 도어 부재(402)의 스프링력에 의한 로딩력은 도 11에 화살표(1104)에 의해 도시된다. 액츄에이터(330, 430)를 경유하여 로딩되는 높은 도어 단부의 조합은 기판 출입 포트(316) 주위의 밀봉부(916)를 균일하게 압축하여 로딩하도록 도어 부재(402)의 중앙 스프링력에 의해 오프셋된다. 조합된 로딩력(1102, 1104)의 합은 도 11에서 화살표(1106)에 의해 도시된다. 도어 부재(402)에 의해 형성되는 액츄에이터 및 스프링력의 조합력 하에서, 평평하게된 밀봉면(910)은 챔버 바디(312)를 통과하는 통로 주위의 밀봉부(916)의 균일한 로딩을 제공하여, 통로의 주변 주의의 균일하고 확실한 진공 밀봉을 보장하면서 밀봉 수명을 증가시킨다. 밀봉면(910)의 곡률의 양은 결정된 도어 형상 및 원하는 진공 상태를 위한 비임 변형 분석에 의해 결정될 수 있다.
더욱이, 제 1 및 제 2 샤프트(404, 406)는 도어 부재(402) 및 로드 락 챔버(200)의 폭에 대해 짧아질 때, 샤프트의 변형이 적어서 액츄에이터(330, 430)로부터 도어 부재(402)로의 힘의 더욱 효율적인 전달을 허용한다. 짧은 샤프트(404, 406)는 또한 더 작은 샤프트 직경이 이용되도록 하여, 더 큰 크기의 관련된 하드웨 어 및 강성을 위해 더 큰 직경을 요구하는 긴 샤프트와 관련된 비용을 감소시킨다. 부가적으로, 내부 액츄에이터 아암(412)은 챔버 바디(316)에 형성된 리세스(416)에 배치될 때, 로드 락 챔버(200)의 폭 및 내부 용적은 미리한정된 기판 출입 포트 폭을 최소화할 수 있으며, 이는 로드 락 챔버(200) 제조 비용을 감소시키며 작동 동안 벤팅 및 펌프 다운을 위해요구되는 로드 락 챔버(200)의 용적을 감소시킴으로써 작업 처리량을 증가시킨다.
도 12는 로드 락 챔버(1200)의 또 다른 실시예의 부분 단면도이다. 로드 락 챔버(1200)는 도어 부재(402)의 마주하는 단부들에 결합되는 액츄에이터(1202, 1204)가 챔버 바디(1212)의 내부에 배치되는 것을 제외하고 상술된 로드 락 챔버와 실질적으로 유사하다.
본 발명의 바람직한 실시예 관하여 전술되었지만, 본 발명의 다른 및 추가 실시예가 본 발명의 기본적인 범위로부터 이탈하지 않고 발명될 수 있으며, 본 발명의 범위는 후술되는 청구범위에 의해 결정된다.
본 발명은 특히 일반적으로 대면적 기판 처리 챔버에서 이용하기에 적절한 개선된 슬릿 밸브 도어를 제공한다. 슬릿 밸브 도어는 만곡형 밀봉면 및 가요성 커플링을 포함하며 가요성 커플링은 도어의 돌출된 길이에서의 변화를 수용하여, 회전하는 부품의 구속과 관련하여 원하지 않는 입자 발생을 최소화하면서 도어 작동 기구의 수명을 연장한다.

Claims (20)

  1. 제 1 기판 이송 포트를 가지는 챔버 바디,
    상기 제 1 기판 이송 포트를 선택적으로 밀봉하도록 위치설정가능한 밀봉면을 가지는 도어 부재,
    레버 아암, 및
    상기 레버 아암을 슬릿 밸브 도어로 연결하며 두 개 이상의 축선 주위로 상기 레버 아암을 회전시키는 볼 조인트를 포함하는,
    챔버.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제 2 볼 조인트, 및
    상기 챔버 바디를 통하여 배치되는 제 2 샤프트에 결합되는 제 1 단부, 및 상기 제 2 볼 조인트에 의해 슬릿 밸브 도어 부재의 제 2 단부에 결합되는 제 2 단부를 가지는 제 2 레버 아암을 더 포함하는,
    챔버.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버 바디는 다수의 적층된 단일 기판 이송 챔버를 더 포함하는,
    챔버.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀봉면은 볼록 곡률을 가지는,
    챔버.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버는 화학적 증착 챔버, 로드 락 챔버, 도량형 챔버, 열 처리 챔버, 또는 물리적 증착 챔버, 로드 락 챔버, 기판 이송 챔버 또는 진공 챔버 중 하나인,
    챔버.
  6. 다수의 기판 이송 포트를 가지는 이송 챔버로서, 기판 이송 포트들 중 하나 이상이 실질적으로 평평한 밀봉면을 가지는, 이송 챔버,
    상기 이송 챔버에 결합되는 로드 락 챔버로서, 상기 로드 락 챔버는 제 1 기판 이송 포트 및 적어도 제 2 기판 이송 포트를 가지는 챔버 바디,
    상기 제 1 기판 이송 포트를 선택적으로 밀봉하도록 상기 이송 챔버의 평평 한 밀봉면에 대해 위치설정가능한 만곡된 밀봉면을 가지는 도어 부재,
    레버 아암, 및
    가압되어 상기 이송 챔버의 평평한 밀봉면과 접촉할 때 상기 도어 부재의 밀봉면이 평평해질 때 상기 도어 부재가 상기 볼 조인트의 중앙 주위의 상기 레버 아암에 대해 회전하도록 하는 방식으로 상기 레버 아암을 상기 도어 부재로 연결하는 볼 조인트를 포함하는,
    처리 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 로드 락 챔버의 볼 조인트는,
    볼,
    상기 볼을 포착하고 내부에서 상기 볼의 회전을 허용하는 캐리어, 및
    상기 볼 및 캐리어를 통하여 연장하고 상기 도어 부재를 상기 레버 아암으로 결합하는 샤프트를 더 포함하는,
    처리 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 로드 락 챔버의 레버 아암은 내부에 배치되는 상기 볼 및 캐리어를 가 지는 리세스를 더 포함하는,
    처리 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 로드 락 챔버의 도어 부재는 내부에 배치되는 탄성 부싱을 가지는 리세스를 더 포함하고, 상기 샤프트가 상기 도어 부재에 대해 측방향으로 이동하도록 상기 샤프트가 상기 탄성 부싱을 관통하여 형성된 클리어런스 홀을 통하여 연장하는,
    처리 시스템.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 로드 락 챔버의 도어 부재는 내부에 배치되는 상기 볼 및 캐리어를 가지는 리세스를 더 포함하는,
    처리 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 도어 부재의 리세스는 밀봉 마개의 외측 밀봉면에 형성되는,
    처리 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 로드 락 챔버의 레버 아암은 내부에 배치되는 탄성 부싱을 가지는 리세스를 더 포함하며, 상기 샤프트가 상기 레버 아암에 대해 측방향으로 이동하도록 상기 샤프트가 상기 탄성 부싱을 관통하여 형성되는 클리어런스 홀을 통하여 연장하는,
    처리 시스템.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 볼 및 캐리어는 스테인레스 강으로 제조되는,
    처리 시스템.
  14. 기판 출입 포트를 밀봉하기 위한 방법으로서,
    도어 부재의 만곡된 밀봉면이 회전하여 평평한 밀봉면과 접촉하도록 제 1 레버 아암 및 제 2 레버 아암을 작동시키는 단계, 및
    로드 락 챔버와 이송 챔버 사이에 형성된 기판 출입 포트를 밀봉하도록 상기 평평한 밀봉면에 대해 상기 도어 부재의 만곡된 밀봉면을 평평하게 하는 단계를 포함하며,
    상기 평평하게 하는 단계는 상기 도어의 단부가 상기 볼 조인트를 중심으로 회전하도록 하는 ,
    기판 출입 포트 밀봉 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 평평하게 하는 단계가 상기 면과 상기 밀봉면을 실질적으로 정렬하도록 상기 볼 조인트를 통하여 형성되는 제 1 축선을 중심으로 상기 도어 부재를 회전시키는 단계, 및
    상기 도어를 평평하게 할 때 각각의 볼 조인트를 통하여 형성되는 제 2 및 제 3 축선을 중심으로 상기 도어 부재의 단부를 회전시키는 단계를 더 포함하는,
    기판 출입 포트 밀봉 방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 평평하게 하는 단계는 상기 도어 부재의 단부를 측방향 외측으로 이동시키는 단계를 더 포함하는,
    기판 출입 포트 밀봉 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 볼 조인트는 볼을 통하여 연장하는 샤프트를 포함하며,
    상기 도어 부재의 단부를 측방향 외측으로 이동시키는 단계는 상기 샤프트의 단부를 외측으로 이동시키는 단계를 더 포함하며,
    상기 샤프트의 외측 이동은 볼을 회전시키는,
    기판 출입 포트 밀봉 방법.
  18. 제 14 항에 있어서,
    상기 평평하게 하는 단계는 상기 도어 부재의 리세스 내에 배치되는 볼을 회전시키는 단계를 더 포함하는,
    기판 출입 포트 밀봉 방법.
  19. 제 14 항에 있어서,
    상기 평평하게 하는 단계는 상기 도어 부재의 리세스에 배치되는 볼을 회전시키는 단계를 더 포함하는,
    기판 출입 포트 밀봉 방법.
  20. 제 14 항에 있어서,
    상기 도어 부재의 만곡된 밀봉면을 회전하여 상기 평평한 밀봉면과 접촉하는 단계는 상기 도어 부재의 단부가 상기 평평한 밀봉면에 접촉하기 전에 상기 도어 부재의 중앙부를 상기 평평한 밀봉면으로 접촉하는 단계를 더 포함하며,
    상기 볼 조인트는 상기 도어 부재의 단부를 상기 레버 아암으로 결합하는,
    기판 출입 포트 밀봉 방법.
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