KR20070114925A - 연결밸브용 밸브체 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 연결부재용 밸브체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 연결재 본체내의 유체 입구 및 유체 출구의 유통로를 개폐하여 유체가 유통될 수 있도록 구성된 연결부재용 밸브체에 있어서, 유체를 차단하며 유체 출구에 대향되는 위치에 배치된 차단 밸브부, 차단 밸브부에 구비되어 개폐를 행하는 제 1 구동부, 차단 밸브부에 구비되어 유체를 차단시키는 차단막대, 차단 밸브부에 구비되고 제 1 구동부와 차단막대 사이에 배치되며 밀봉하는 구실을 하는 제 1 벨로우즈, 유체를 연통하며 유체 입구에 대향되는 위치 및 차단 밸브부와 수직으로 배치된 연통 밸브부, 연통 밸브부에 구비되어 개폐를 행하는 제 2 구동부, 연통 밸브부에 구비되어 유체를 연통시키는 연통막대, 연통 밸브부에 구비되고 제 2 구동부와 연통막대 사이에 배치되며 밀봉하는 구실을 하는 제 2 벨로우즈 및 연통막대는 폐쇄되었을 때 유체 입구와 대응되는 면 및 유체 출구와 대응되는 면에 연통 공(孔)이 형성되어 유체가 유통되는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 연결부재용 밸브체에 관한 것이다.

Description

연결밸브용 밸브체{Valve for Toxic Plasma Gases}
도 1은 종래의 연결부재용 밸브체에 관한 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 연결부재용 밸브체의 폐쇄 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 연결부재용 밸브체의 연통 단면도이다.
본 발명은 연결부재용 밸브체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 차단밸브부와 연결밸브부가 구비된 연결부재용 밸브체에 관한 것이다.
종래의 연결부재용 밸브체의 일례는 도 1에 도시되어 있다.
도 1에 도시된 바와 같이 종래 연결부재용 밸브체는 유체 입구, 유체출구 및 밸브부로 구성된다.
유체 입구(1)는 유체 용기 또는 유체 반응기와 연결이 되며 유체가 반입된다.
유체 출구(2)는 반응용기 등과 연결이 되며 유체가 반출된다.
밸브부(3)는 구동부(4), 밸브막대(5) 및 벨로우즈(6)를 포함한다.
구동부(4)은 밸브막대(5)를 구동시킨다.
밸브막대(5)는 유체 입구(1)와 유체 출구(2)의 연통로를 개폐시키는 역할을 한다.
벨로우즈(6)는 구동부(4)와 밸브막대(5)의 사이에 위치하며 밀봉하는 역할을 한다.
그러나 구동부에 의해 구동된 밸브막대(5)가 유체 유통로를 개방하고 유체 입구(1)와 연결된 외부의 유체용기 및 유체 반응기로부터 반응성 강한 유체가 유입되게 되면, 밸브막대 하면(下面)에 설치된 밀폐용 소재가 반응성 강한 유체에 직접 노출되게 되어 이물질(파티클) 발생의 원인이 된다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해여 안출된 것으로서, 본 발명은 이물질 및 유체가 역류되는 것뿐만 아니라, 밀폐용 소재가 부식성 강한 유체에 의한 노출을 방지하며, 이물질(파티클) 발생을 최소한 하는 것을 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 연결부재용 밸브체는 연결재 본체내의 유체 입구 및 유체 출구의 유통로를 개폐하여 유체가 유통될 수 있도록 구성된 연결부재용 밸브체에 있어서, 유체를 차단하며 유체 출구에 대향되는 위치에 배치된 차단 밸브부, 차단 밸브부에 구비되어 개폐를 행하는 제 1 구동부, 차단 밸브부에 구비되어 유체를 차단시키는 차단막대, 차단 밸브부에 구비되고 제 1 구동부와 차단막대 사이에 배치되며 밀봉하는 구실을 하는 제 1 벨로우즈, 유체를 연통하며 유체 입구에 대향되는 위치 및 차단 밸브부와 수직으로 배치된 연통 밸브부, 연통 밸브부에 구비되어 개폐를 행하는 제 2 구동부, 연통 밸브부에 구비되어 유체를 연통시키는 연통막대, 연통 밸브부에 구비되고 제 2 구동부와 연통막대 사이에 배치되며 밀봉하는 구실을 하는 제 2 벨로우즈 및 연통막대는 폐쇄되었을 때 유체 입구와 대응되는 면 및 유체 출구와 대응되는 면에 연통 공(孔)이 형성되어 유체가 유통되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 연결부재용 밸브체는 유체 출구와 대향되는 차단막대 면에 밀폐용 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 연결부재용 밸브체는 유체 입구와 대향되는 연통막대 면에 밀폐용 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 연결부재용 밸브체의 개폐에 따른 단면도를 나타낸 것이다.
도 2에 도시된 바와같이, 본 실시 예의 연결부재용 밸브체는 유체 입구(1), 유체 출구(2), 차단밸브부(10) 및 연통밸브부(20)로 구성된다.
유체 입구(1)는 유체 용기 또는 유체 반응기와 연결이 되며 유체가 반입된다.
유체 출구(2)는 반응용기 등과 연결이 되며 유체가 반출된다.
차단밸브부(10)는 제 1 구동부(11), 차단막대(12) 및 제 1 벨로우즈(13)를 포함한다.
제 1 구동부(11)은 차단막대(12)를 구동시킨다.
차단막대(12)는 유체 입구(1)와 유체 출구(2)의 연통로를 개폐시키는 역할을 한다.
제 1 벨로우즈(13)는 제 1 구동부(11)와 차단막대(12)의 사이에 위치하며 밀봉하는 역할을 하며 외주면에 냉각팬(24)이 배치된다.
연통밸브부(20)는 제 2 구동부(21), 연통막대(22) 및 제 2 벨로우즈(13)을 포함한다.
제 2 구동부(21)은 연통막대(22)를 구동시키다.
연통막대(22)는 유체 입구(1)와 유체 출구(2)의 연통로를 개폐시키는 역할을 한다. 또한, 연통막대(22)가 폐쇄되었을 때, 연통막대(22)와 유체 입구(1)의 대향면 및 유체 출구(2)의 대향면에 연통공이 형성되어 유체가 유통될 수 있도록 한다.
제 2 벨로우즈(23)는 제 1 구동부(21)와 연통막대(22)의 사이에 위치하며 밀봉하는 역할을 하며 외주면에 냉각팬이 배치된다.
다음에서는 도2와 도3과 같이 구성된 본 발명의 연결부재용 밸브체의 동작상태를 실제 적용 예를 들며 설명하겠다.
반도체나 디스플레이 제조 공정에는 여러가지 물질을 증착하는 단계가 있다. 실리콘 산화(silicon dioxide)막, 실리콘 질화(silicon nitride)막, 실리콘 질산화(silicon oxynitride) 막 등과 같은 절연막과 텅스텐, 티타늄 질화(Titanium nitride)막, 텡스텐 질화막 등의 도체 및 비정질 및 다결정 실리콘과 같은 반도체등의 증착 공정 등이 존재하며, 계속적으로 하프늄 산화막, 루테늄 등의 물질도 반도체 소장 용 재료로 계속 개발되고 있다.
모든 증착 장비의 중요한 요소 중에 하나는 반응기 챔버를 자주 해체하지 않는 것이다. 이를 위해 누적된 막을 가스를 사용하여 세정을 하는 방법을 사용하고 있다. 주로 사용되는 가스는 증착된 막에 따라 달라진다. SiO2, Si3N4 막과 같은 절연막의 경우는 F 원소를 포함한 NF3, C3F8, F2 등이 주로 사용되고, TiN, TaN, Cu 막과 같은 금속 막은 Cl 원소를 포함한 CCl4, Cl2 등이 사용된다. 반응기 챔버로 유입 전 세정용 가스는 대개 리모트 플라즈마 발생기를 통하여 보다 세정을 효율적으로 해주는 역할을 한다.
이 때, 반응기 챔버(미도시)와 리모트 플라즈마 발생기(미도시)를 본 발명인 연결부재용 밸브체를 이용하여 연결한다.
리모트 플라즈마 발생기는 연결부재용 밸브체의 유체 입구(1)와 연결되어 있으며, 차단막대(12)는 제 1 구동부(11)에 의하여 유체 유통로를 폐쇄하고 있다.
또한, 반응기 챔버는 유체 출구(2)와 연결되어 있다.
차단막대(12)가 유체 유통로를 폐쇄하고 있으므로 반응기 챔버로부터 유체(반응가스) 및 이물질의 역류를 막을 수 있다.
반응기 챔버를 세정하기 시작되면 외부 용기로부터 유입된 유체가 반입되기 시작을 하고, 동시에 제 1 구동부(11)에 의해 차단막대(12)는 개방되며 제 2 구동부(21)에 의하여 연통막대(22)가 폐쇄되되, 연통막대(22)에 형성되어 있는 연통공에 의하여 리모트 플라즈마 발생기에서 발생된 반응성 강한 가스(유체)가 반응기 챔버로 유출될 수 있도록 연통된다.
연통막대(22)가 폐쇄되며 유체의 유통로를 확보함으로써, 유체 출구(2)와 대 향된 면에 배치되어 있는 차단막대(12)의 밀폐용 소재를 NF3, C3F8, F2, CCl4 및 Cl2와 같은 부식성이 강한 가스(유체)로부터 노출되는 것을 막아 밸브의 부식을 막을 수 있으며, 이물질(파티클)의 발생을 최소화한다.
반응기 챔버의 세정이 끝나면 반응기 챔버에 설치된 펌프에 의해 잔류가스가 제거되며 연통막대(22)는 개방되고 차단막대(12)가 유체 유통로를 폐쇄한다.
본 발명의 연결부재용 밸브체는 차단밸브부를 사용하여 유체 출구와 연결된 용기로부터 이물질 및 유체의 역류를 막는 효과가 있다.
또한, 부식성이 강한 유체를 유통시킬 경우, 차단밸브부가 열리는 동시에 연통밸브부가 폐쇄되되 연통막대에 형성된 연통공(孔)에 의해 유체 입구와 유체 출구의 유통로를 확보하여, 차단밸브부의 밀폐용 소재가 부식성이 강한 유체로부터 노출되지 않아 이물질 발생을 최소화하는 효과가 있다.
이상에서 연결부재용 밸브체에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 가장 양호한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.

Claims (3)

  1. 연결재 본체내의 유체 입구 및 유체 출구의 유통로를 개폐하여 유체가 유통될 수 있도록 구성된 연결부재용 밸브체에 있어서,
    상기 유체를 차단하며 상기 유체 출구에 대향되는 위치에 배치된 차단 밸브부;
    상기 차단 밸브부에 구비되어 개폐를 행하는 제 1 구동부;
    상기 차단 밸브부에 구비되어 상기 유체를 차단시키는 차단막대;
    상기 차단 밸브부에 구비되고 상기 제 1 구동부와 상기 차단막대 사이에 배치되며 밀봉하는 구실을 하는 제 1 벨로우즈;
    상기 유체를 연통하며 상기 유체 입구에 대향되는 위치 및 상기 차단 밸브부와 수직으로 배치된 연통 밸브부;
    상기 연통 밸브부에 구비되어 개폐를 행하는 제 2 구동부;
    상기 연통 밸브부에 구비되어 상기 유체를 연통시키는 연통막대;
    상기 연통 밸브부에 구비되고 상기 제 2 구동부와 상기 연통막대 사이에 배치되며 밀봉하는 구실을 하는 제 2 벨로우즈; 및
    상기 연통막대는 폐쇄되었을 때 상기 유체 입구와 대응되는 면 및 상기 유체 출구와 대응되는 면에 연통 공(孔)이 형성되어 상기 유체가 유통되는 것을 특징으로 하는 연결부재용 밸브체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체 출구와 대향되는 상기 차단막대 면에 밀폐용 소재를 구비하는 것을 특징으로 하는 연결부재용 밸브체
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체 입구와 대향되는 상기 연통막대 면에 밀폐용 소재를 구비하는 것을 특징으로 하는 연결부재용 밸브체
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