KR20070098684A

KR20070098684A - 진공 밸브

Info

Publication number: KR20070098684A
Application number: KR1020070031062A
Authority: KR
Inventors: 프리드리히 가이저
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2006-03-31
Filing date: 2007-03-29
Publication date: 2007-10-05
Also published as: JP4979429B2; JP2007271080A; CN101046258B; US20070228314A1; CN101046258A; US7413162B2

Abstract

진공 밸브는, 입구 개구 및 출구 개구 (3) 를 갖는 밸브 하우징 (1) 과, 진공 밸브를 열고 닫기 위해 종축 (9) 둘레로 회전 가능하며 축방향에서 이동 가능한 샤프트 (8) 와 단단히 연결된 지지 아암 (7) 에 배치되며 밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 (10) 에 위치한 밸브 플레이트 (6) 와, 진공 밸브를 열고 닫기 위한 구동 장치를 포함하며, 이 구동 장치는 샤프트 (8) 를 회전하기 위한 회전 드라이브를 포함한다. 이 이외에, 상기 구동 장치는 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 에 배치된 구동 피스톤 (20) 을 포함하며, 이 구동 피스톤은 적어도 그 둘레의 섹션들에 걸쳐 출구 개구의 중심 종축 (22) 과 관련하여 출구 개구 (3) 보다 큰 방사상 연장부를 구비하고, 상기 구동 피스톤에는 출구 개구 (3) 를 향한 쪽에 태핏 (23) 들이 설치되며, 이 태핏들은 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 밖으로 안내되고, 밸브 플레이트 (6) 의 폐쇄 위치에서 출구 개구 (3) 옆의 영역에서 밸브 하우징 (1) 에 지지되며, 밸브 플레이트 (6) 를 밸브 시트 (13) 에 가압하고, 밸브 플레이트 (6) 를 그 폐쇄 위치로부터 그 중간 위치로 옮기기 위해 구동 피스톤 (20) 의 이동을 통해 밸브 하우징 (1) 으로부터 들어내질 수 있으며, 적어도 하나의 스프링 요소 (31) 가 밸브 플레이트 (6) 를 샤프트 (8) 의 축방향 이동을 통해 그 중간 위치로 옮긴다.

Description

진공 밸브{VACUUM VALVE}

도 1 은 밸브 하우징의 단면에서, 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서 본 발명에 따른 진공 밸브의 개략도;

도 2 는 (회전 드라이브 없이) 밸브 플레이트의 중간 위치에서 도 1 에 따른 단면도, 도 3 의 단면선 A-A;

도 3 은 도 2 의 선 B-B 을 따른 단면도;

도 4 는 밸브 플레이트의 열림 위치에서, 도 3 에 일치하는 단면도;

도 5 는 본 발명의 제 2 실시 변형에 따른 진공 밸브의 부품의 개략적인 단면도, 그리고

도 6 은 본 발명의 제 3 실시 변형에 따른 진공 밸브의 부품의 개략적인 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 밸브 하우징 2 : 입구 개구

3 : 출구 개구 4 : 벽

5 : 벽 6 : 밸브 플레이트

7 : 지지 아암 8: 샤프트

9 : 종축 10 : 내부 공간

11 : 밀봉링 12 : 밀봉링

13 : 밸브 시트 14 : 밀봉링

15 : 회전 드라이브 16 : 구동 모터

17 : 기어휠 18 : 외부 기어

19 : 내부 중공 공간 20 : 구동 피스톤

21 : 중심 종축 22 : 중심 종축

23 : 태핏 24 : 자유 단부

25 : 밀봉링 26 : 스프링

27 : 채널 28 : 융기부

29 : 밀봉링 30 : 채널

31 : 스프링 요소 32 : 링

33 : 스톱 34 : 볼트

35 : 하부 부품 36 : 뚜껑

본 발명은, 밸브 하우징의 마주하여 놓인 벽들을 관통하는 입구 개구와 출구 개구 및 상기 입구 개구를 둘러싸는 밸브 시트를 구비하는 밸브 하우징과, 진공 밸브를 열고 닫기 위해 종축 둘레로 회전 가능하며 축방향에서 이동 가능한 샤프트와 단단히 연결된 지지 아암에 배치되며 밸브 하우징의 내부 공간에 위치한 밸브 플레 이트와, 밸브 플레이트가 밸브 시트에 눌려지는 폐쇄 위치로부터 밸브 플레이트가 밸브 시트로부터 샤프트의 축방향 이동에 의해 들어내지는 중간 위치를 거쳐 밸브 플레이트가 출구 개구를 해제하는 열림 위치로 조정될 수 있게 하는 구동 장치를 포함하며, 상기 구동 장치는 샤프트의 회전을 위한 회전 드라이브를 포함하는, 진공 밸브에 관한 것이다.

이와 같은 진공 밸브는 진자 밸브로도 불리우며, 상이한 실시형태로 알려져 있다. 전술된 유형의 진자 밸브는 예컨대 US 6,776,394 B2 에 알려져 있다. 밸브 플레이트를 지지하는 지지 아암이 설치되어 있으며 회전 가능하고 축방향에서 이동 가능한 샤프트는 연결링크 가이드부를 통해 밸브 하우징과 연결되고, 샤프트의 외부 나사산은 샤프트의 축방향에서 연장되는 샤트프의 내부 나사산 내로 돌려 끼워 넣어진다. 밸브를 열고 닫기 위해, 축의 회전을 통해 샤프트는 연결링크 가이드부와 상호 작용하면서 축방향에서 이동되고 회전된다. 이 이외에, 출구 개구 둘레에 놓여 있는 밸브 하우징의 실린더 공간에는 피스톤이 배치되며, 이 피스톤의 피스톤 로드는 밸브의 진공 영역 내로 가이드되고 태핏을 형성하며, 이 태핏들은 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서 밸브 플레이트를 밸브 시트에 가압한다. 이로 인해, 제공 가능한 폐쇄력이 상승된다. 하지만 이 피스톤에 의해 제공 가능한 폐쇄력은 그 작은 치수로 인해 제한된다. 밸브 플레이트에 작용하는 차이 압력 및 밸브 플레이트의 크기에 따라 비교적 큰 폐쇄력이 필요할 수 있으며, 이 폐쇄력은 이러한 구조시 경우에 따라 달성될 수 없다.

US 2004/0079915 A1 에는 특히 진자 밸브의 형태로 진공 밸브가 기술되어 있 다. 선회 가능한 지지 아암에는 지지 플레이트가 설치되며, 이 지지 플레이트는 밸브 플레이트와 받침 플레이트를 지지한다. 밸브 플레이트와 받침 플레이트는 피스톤-실린더-유닛을 매개로 지지 플레이트의 맞은 편에서 밸브 하우징의 입구 개구 또는 출구 개구의 축방향에서 조정 가능하다. 입구 개구를 둘러싸는 밸브 시트에 밸브 플레이트를 누름으로써, 그리고 출구 개구의 영역에서 밸브 하우징에 지지 플레이트를 누름으로써, 진공 밸브의 밀봉된 상태가 형성된다. 지지 플레이트의 맞은 편에서 밸브 플레이트를 이동하기 위해, 다수의 피스톤이 지지 플레이트의 피스톤 공간에 마련된다. 이 진공 밸브의 형성은 통틀어 비교적 많은 비용이 든다. 지지 플레이트가 누락되고, 밸브 시트에 밸브 플레이트를 누르기 위한 폐쇄력이 이 경우 밸브 플레이트의 지지 아암을 통해 전달되어야 하는 실시 변형도 언급된다. 이로 인해, 제공 가능한 폐쇄력이 제한되거나 또는 지지 아암은 상응하여 견고하게 형성되어야 한다.

US 6,561,484 B2 에는 마찬가지로 특히 진자 밸브의 형태로 실시 변형이 기술되어 있다. 이 경우, 또다시 밸브 플레이트는 지지 아암에 고정된 지지 플레이트에 의해 유지되며, 상기 지지 플레이트에는 피스톤-실린더-유닛이 마련되고, 이 피스톤-실린더-유닛의 피스톤 로드에는 밸브 플레이트가 설치된다. 이 피스톤을 매개로 밸브 플레이트는 밸브 시트에 가압될 수 있다. 밸브 플레이트와 지지 플레이트 사이에는 밀봉 벨로우즈가 배치되며, 밸브 플레이트 내에는 밸브 플레이트와 지지 플레이트 사이의 공간에 이르는 개구들이 존재하며, 이 개구들을 통해 밸브 플레이트의 양쪽 사이에 압력 보정이 가능해진다. 이 밸브의 형성은 비용이 많이 들며, 밸브 개구의 축방향에서 전체 높이가 비교적 크다. 이 이외에, 이 공개에는 슬라이드 밸브의 형태로 실시 형태가 기술되어 있으며, 이 실시형태에서 밸브 플레이트에는 피스톤-실린더-유닛을 매개로 받침 플레이트가 유지된다. 밸브의 밀봉된 상태에서, 받침 플레이트는 밸브 하우징의 스톱에 눌려지며, 이 스톱은 출구 개구를 둘러싸는 영역에 배치된다. 이로 인해 밸브 플레이트는 밸브 시트에 가압된다. 밸브 플레이트의 운동은 밸브 로드의 충분한 탄력성을 통해 수용되어야 한다. 또한, 제공 가능한 폐쇄력이 비교적 적으며, 차이 압력은 또다시 받침 플레이트와 상기 받침 플레이트와 밸브 플레이트 사이의 공간에 이르는 개구들 사이에서 벨로우즈 밀봉에 의해 보정된다.

본 발명의 목적은, 간단한 형성을 구비하며, 높은 폐쇄력 (=접촉 압력) 이 제공 가능한, 전술된 유형의 진공 밸브를 제공하는 것이다.

상기 목적은 본 발명에 따르면 청구범위 제 1 항의 특징을 갖는 진공 밸브에 의해 달성된다.

큰 확장부를 구비하며 밸브 플레이트 내에 배치된 구동 피스톤을 통해 높은 폐쇄력이 달성될 수 있으며, 상기 폐쇄력은 직접적인 경로에서 태핏을 통해 밸브 하우징에 전달된다. 이로 인해, 간단한 형성 및 효과적인 힘 전달이 생긴다.

구동 피스톤은 태핏이 밸브 하우징에 가압되는 방향으로 스프링의 작용을 받을 수 있으며, 이로 인해 구동 피스톤이 압력 매개물의 작용을 받지 않고도 폐쇄력 이 제공된다. 태핏이 밸브 하우징으로부터 들어내지는 방향으로 구동 피스톤에 스프링의 작용을 받게 하는 것도 마련될 수 있다. 이 이외에, 이중으로 작용하는, 즉 양쪽으로 압력 매개물의 작용을 받을 수 있는 구동 피스톤이 마련될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시형태에서, 입구 개구와 출구 개구는 원형으로 형성되며 서로 동축으로 배치된다. 밸브 플레이트와 구동 피스톤도 바람직하게는 마찬가지로 도면에서 볼 때 원형으로 형성될 수 있으며, 입구 개구와 출구 개구에 대해 동축으로 놓여 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점 및 상세 내용을 첨부된 도면을 참조로 설명한다.

본 발명의 제 1 실시 형태는 도 1 내지 도 4 에 개략적으로 도시되어 있다. 진공 밸브는 밸브 하우징 (1) 을 포함하며, 이 밸브 하우징에는 입구 개구 (2) 와 출구 개구 (3) 가 마련되고, 상기 입구 개구와 출구 개구는 밸브 하우징의 마주하여 놓인 벽 (4, 5) 을 관통한다. 입구 개구 (2) 와 출구 개구 (3) 의 중심 종축 (21, 22) 은 서로 평행하게 놓여 있다. 도시되어 있는 실시예에서, 입구 개구 (2) 와 출구 개구 (3) 는 원형 형태를 구비하며, 바람직하게는 서로 동축으로 (coaxially) 놓이고 동일한 직경을 갖는다.

밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 (10) 에는 밸브 플레이트 (6) 가 위치하며, 이 밸브 플레이트는 선회 가능한 지지 아암 (7) 과 단단히 (rigidly) 연결된다. 지지 아암 (7) 은 그의 측에서 샤프트 (shaft) (8) 와 단단히 연결되고, 이 샤프 트는 그 종축 (9) 둘레로 회전 가능하며 축방향에서 이동 가능하게 장착된다. 샤프트 (8) 의 종축 (9) 은 입구 개구 (2) 와 출구 개구 (3) 의 중심 종축 (21, 22) 에 대해 평행하게 놓여 있다.

샤프트 (8) 는 회전-밀기-실행부를 통해 밸브 하우징의 내부 공간 (10) 밖으로 안내된다. 이 회전-밀기-실행부는 예컨대 샤프트 (8) 의 외부 밀봉면 (sealing surface) 에 인접한 2개의 밀봉링 (sealing ring) (11, 12) 을 통해 형성된다.

진공 밸브의 밀봉된 상태에서, 밸브 플레이트 (6) 는 입구 개구 (2) 를 에워싸는 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시트 (valve seat) (13) 에 눌려진다. 도시되어 있는 실시예에서, 밸브 시트 (13) 는 밸브 하우징 (1) 의 벽 (4) 의 내부 표면에서 밀봉면에 의해 형성되며, 밸브 플레이트 (6) 에는 이 밀봉면과 상호 작용하는 밀봉링 (14) 이 배치된다. 또한, 밀봉링을 밸브 시트 (13) 에 배치하고, 밸브 플레이트 (6) 에는 상기 밀봉링과 상호 작용하는 밀봉면을 마련하는 것이 가능할 것이다.

이하 보다 상세히 설명되는 구동 장치를 수단으로 진공 밸브는 열리고 닫힐 수 있다. 진공 밸브의 닫혀진 또는 밀봉된 상태에서 밸브 플레이트 (6) 는 그 폐쇄 위치에 위치하며, 이 패쇄 위치에서 밸브 플레이트는 구동 장치에 의해 폐쇄력 (접촉 압력) 과 함께 밸브 시트 (3) 에 눌려진다 (도 1 참조). 진공 밸브를 열기 위해, 밸브 플레이트 (6) 는 먼저 밸브 시트 (13) 로부터 입구 개구 (2) 또는 샤프트 (8) 의 축방향에서 들어내진다. 밸브 플레이트 (6) 가 밸브 시트 (13) 로부터 들어내지며, 하지만 입구 개구 (2) 를 여전히 덮는 (입구 개구 (2) 의 축방향에서 볼 때) 이 중간 위치는 도 2 및 도 3 에 도시되어 있다. 잇달아 밸브 플레이트 (6) 는 샤프트 (8) 의 그 종축 (9) 둘레로의 회전에 의해 열림 위치로 선회되며, 이 열림 위치에서 밸브 플레이트는 입구 개구 (2) 를 해제한다 (도 4 참조). 밸브를 닫기 위해 이 과정은 정반대의 순서로 실행된다.

진공 밸브를 열고 닫기 위한 구동 장치는 샤프트 (8) 의 회전을 위한 회전 드라이브 (15) 를 포함하며, 상기 회전 드라이브는 도 1 에만 개략적으로 도시되어 있다. 개략적으로 도시되어 있는 이 실시형태에서, 회전 드라이브 (15) 는 구동 모터 (16) 를 구비하며, 이 구동 모터에 의해 기어휠 (gear wheel) (17) 이 회전가능하고, 이 기어휠은 샤프트 (8) 의 외부 기어 (18) 와 맞물린다. 진자 밸브 (pendulum valve) 의 샤프트를 회전하기 위한 회전 드라이브들은 상이한 실시 형태들에서 알려져 있다.

이 이외에, 구동 장치는, 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (hollow space) (19) 에 배치되며 바람직하게는 공기로 (pneumatically) 가동 가능한 구동 피스톤 (20) 을 포함한다. 이 구동 피스톤은 내부 중공 공간 (19) 에서 입구 개구 또는 출구 개구 또는 샤트프 (8) 의 축방향에서 이동 가능하다. 구동 피스톤 (20) 은 도시되어 있는 실시예에서 도면에서 볼 때 (입구 개구 (2) 또는 출구 개구 (3) 의 축방향에서 또는 샤프트 (8) 의 축방향에서) 원형으로 형성되며, 출구 개구 (3) 대해 동축으로 배치된다. 이 경우, 구동 피스톤은 출구 개구 (3) 보다 큰 직경을 구비한다. 그러므로, 구동 피스톤 (20) 은 도시되어 있는 실시예 에서 그 전체 둘레에 걸쳐 출구 개구 (3) 의 중심 종축 (22) 과 관련하여 출구 개구 (3) 보다 큰 방사상 연장부를 (중심 종축 (22) 으로부터 떨어져) 갖는다. 출구 개구 (3) 보다 방사상 멀리 바깥으로 연장되는 구동 피스톤 (20) 의 영역에서, 출구 개구 (3) 를 향한 쪽에서 구동 피스톤 (20) 에는 태핏 (23) 들이 설치된다. 이 경우, 구동 피스톤 (20) 의 둘레 가장자리의 영역에 배치되며 구동 피스톤 (20) 의 둘레 방향으로 서로 간격을 두고 있는, 바람직하게는 균일하게 간격을 두고 있는 여러 개의 태핏 (23) 이 존재한다.

출구 개구 (3) 의 중심 종축 (22) 에 대해 평행하게 또는 샤프트 (8) 의 종축 (9) 에 대해 평행하게 놓여 있는 이 태핏 (23) 들은 개구들을 통해 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 밖으로 안내되며, 폐쇄 위치에서 그 자유 단부 (24) 와 함께 출구 개구 (3) 옆의 영역에서 밸브 하우징 (1) 의 벽 (5) 에 지지된다.

예컨대, 태핏 (23) 은 외부 나사산을 갖는 단부 영역을 구비하며, 구동 피스톤 (20) 의 내부 나사산 (나사 보어 (threaded bore)) 을 갖는 블라인드 홀 (blind hole) 내로 돌려 끼워 넣어진다.

바람직하게는, 태핏 (23) 은 밀봉되어 내부 중공 공간 (19) 밖으로 안내된다. 이 목적을 위해, 예컨대 태핏 (23) 을 밖으로 안내하는 개구들에 배치된 밀봉링 (25) 들이 존재할 수 있으며, 이 밀봉링은 태핏 (23) 의 외부 밀봉면과 상호 작용한다.

금속-금속-접촉을 피하기 위해, 태핏의 자유 단부 (24) 및/또는 태핏 (23) 의 자유 단부 (24) 가 접촉되는 밸브 하우징 (1) 의 영역들에는 플라스틱 부분이 마련될 수 있다.

구동 피스톤 (20) 과 밸브 플레이트 (6) 사이에는 스프링 (26) 이 배치되며, 이 스프링은 구동 피스톤 (20) 을 그 마지막 위치들 (end positions) 중 하나의 방향으로 프리텐션한다. 구동 피스톤 (20) 을 스프링 (26) 의 힘에 대항하여 다른 마지막 위치로 옮기기 위해, 구동 피스톤 (20) 은 압축 공기의 작용을 받을 수 있다.

구동 피스톤 (20) 에 작용하기 위한 압축 공기 공급은, 샤프트 (8) 와 지지 아암 (7) 을 통해 연장되며 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 안에 이르는 채널 (27) 을 통해 행해진다. 채널 (27) 이 이르는 내부 중공 공간 (19) 의 섹션은, 구동 피스톤 (20) 의 마주하여 놓인 쪽에 놓인 그 밖의 섹션에 의해 밀봉된다. 이를 위해, 본 실시예에서 내부 중공 공간 (19) 에는 환형 그루브 (annular groove) 가 형성되며, 이 환형 그루브 내로 구동 피스톤 (20) 의 링 모양 융기부 (28) 가 돌출하고, 상기 환형 그루브의 벽의 영역에는 밀봉링 (29) 이 배치되며, 이 밀봉링은 융기부 (28) 의 벽과 상호 작용한다.

밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 의 그 밖의 섹션 안으로 채널 (30) 이 이르며, 이 채널은 지지 아암 (7) 과 샤프트 (8) 를 통해 연장된다. 이 채널 (30) 은 대기와 연결된다. 펌프에 채널 (30) 의 연결도 가능하다. 따라서, 기압에 위치하거나 또는 펌프 아웃된 (pumped out) 내부 중공 공간 (19) 의 이 섹션은, 압축 공기가 밀봉링 (29) 을 통해 들어가면, 밸브 플레이트 (6) 에 마주하여 태핏 (23) 을 밀봉하는 밀봉링 (25) 이 과중 압력의 작용을 받는 것을 저지한다.

밸브 플레이트 (6) 가 그 폐쇄 위치에 위치하면, 진공 밸브가 완전히 닫혀진 상태에서, 태핏 (23) 은 스프링 (26) 의 힘을 통해 출구 개구 (3) 옆의 영역에서 밸브 하우징 (1) 에 눌려지며, 이로 인해 밸브 플레이트 (6) 는 밸브 시트 (13) 에 가압된다. 그러므로, 폐쇄력은 스프링 (26) 을 통해 제공되며, 이 스프링은 이에 상응하여 강하게 디자인되어야 한다.

도시되어 있는 실시예에서, 스프링 (26) 은, 스프링 (26) 의 힘에 반대하여 작용하는 스프링 힘을 갖고 축 (8) 및 따라서 밸브 플레이트 (6) 에 작용하는 스프링 요소 (31) 의 힘도 극복해야 한다.

채널 (27) 을 통해 압축 공기가 유입되면, 이로 인해 구동 피스톤 (20) 은 스프링 (26) 의 힘에 대항하여 이동되고, 따라서 태핏 (23) 은 계속해서 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 쪽의 방향으로 물러난다. 그러므로, 본 실시예에서, 밸브 하우징 (1) 과, 샤프트 (8) 에 의해 관통되며 회전 가능하나 축방향으로 이동하지 못하게 상기 샤프트와 연결된 링 (32) 사이에 작용하는 스프링 요소 (31) 는 샤프트 (8) 의 축방향 이동을 야기하며, 상기 이동을 통해 밸브 플레이트 (6) 는 샤프트 (8) 또는 입구 개구 (2) 의 축방향에서 밸브 시트로부터 들어내진다. 이는 링 (32) 이 스톱 (33) 에 접촉할 때까지 그러하며, 상기 스톱은 볼트 (34) 의 확대된 헤드에 의해 형성되고, 상기 볼트는 밸브 하우징 (1) 에 설치되며, 상기 볼트는 링 (32) 이 볼트 (34) 의 맞은 편에서 축방향으로 이동 가능한 식으로 개구들을 통해 링 (32) 을 관통한다. 스프링 요소 (31) 는 볼트 (34) 상에 배치된 코일 스프링의 형태로 형성된다.

밸브 플레이트가 밸브 시트 (13) 로부터 들어내지는 밸브 플레이트 (6) 의 중간 위치는 도 2 및 도 3 에 도시되어 있다. 이 경우, 태핏 (23) 은 밸브 하우징 (1) 으로부터 들어내진다.

잇달아, 밸브 플레이트 (6) 를 그 열림 위치로 선회하기 위해, 샤프트 (8) 는 회전 드라이브 (15) 에 의해 회전된다. 밸브를 닫기 위해, 과정은 정반대로 실행된다.

샤프트 (8) 의 축방향 이동시, 각각 기어휠 (17) 은 외부 기어 (18) 에서 옮겨진다.

태핏 (23) 을 위한 밀봉부 (25) 들에서의 서비스 작업은, 태핏 (23) 이 밸브 플레이트 (6) 의 나사 보어 (threaded bore) 밖으로 돌려 빼짐으로써 간단한 방식으로 실행될 수 있다.

밸브 플레이트 (6) 가 그 중간 위치에서 도시되어 있는 도 5 에 따른 실시예에서, 스프링 (26) 은 태핏 (23) 의 끌어넣기의 의미에서 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 의 방향으로 작용한다. 밸브 플레이트 (6) 를 그 폐쇄 위치로 옮기기 위해 채널 (27) 은 압축 공기의 작용을 받아야 하며, 이로 인해 밸브 플레이트 (6) 는 스프링 (26) 의 힘에 대항하여 옮겨지고, 따라서 태핏 (23) 은 뻗어지며, 출구 개구 (3) 를 둘러싸는 영역에서 밸브 하우징 (1) 의 내부 표면에 대해 기대고, 밸브 플레이트를 밸브 시트 (13) 쪽 방향으로 및 이에 대해 누른다 (또다 시 샤프트 (8) 에 작용하는 스프링 요소 (31) 의 힘에 대항하여; 도 5 에 도시되어 있지 않음).

밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 의 섹션과 태핏 (23) 의 실행을 위한 밀봉부들 사이에는, 또다시 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 의 섹션이 설치되며, 이 섹션은 채널 (30) 을 통해 대기와 연결되거나 또는 펌프 아웃된다.

도 6 에 따른 실시예에서, 구동 피스톤 (20) 은 이중으로 작용하도록 형성된다. 폐쇄 위치와 중간 위치 사이에서 이동을 위해, 각각 구동 피스톤 (20) 을 위한 양 실린더 공간들의 하나에 이르는 상응하는 채널 (27, 30) 은 압축 공기의 작용을 받는다.

도시된 실시예들에서, 밸브 플레이트 (6) 는 2개의 부품, 즉 냄비 모양의 하부 부품 (35) 및 뚜껑 (36) 으로 형성되며, 상기 양 부품은 예컨대 서로 용접된다. 다른 연결, 예컨대 나사 고정도 가능하며, 이때 밀봉링은 하부 부품 (35) 과 뚜껑 (36) 사이에 배치된다.

지지 아암 (7) 과 밸브 플레이트 (6) 의 부품, 예컨대 밸브 플레이트 (6) 의 냄비 모양의 하부 부품 (35) 은 도면들에 도시된 바와 같이 일체로 형성될 수 있다. 지지 아암 (7) 과 샤프트 (8) 의 일체적인 형성도 가능하다.

본 발명의 범위를 벗어나지 않으며, 도시되어 있는 실시예들의 상이한 그 밖의 변경도 가능하다. 즉, 예컨대 입구 개구 (2) 와 출구 개구 (3) 는 원형 형태와는 다른 형태를 구비할 수 있다. 그러면 밸브 플레이트 (6) 및 그 안에 배 치된 구동 피스톤 (20) 은 상응하여 맞춰진 둘레 윤곽과 함께 형성될 수 있을 것이다.

또한, 구동 피스톤 (20) 은 출구 개구 (3) 와는 다른 윤곽을 구비하며, 단지 그 둘레의 섹션들에만 걸쳐 출구 개구 (3) 의 중심 종축 (22) 으로부터 떨어져 출구 개구 (3) 의 경우인 것보다 큰 방사상 연장부를 구비하는 것이 가능하다. 그러면 태핏 (23) 들은 구동 피스톤 (20) 의 이 섹션들에 설치되어야 할 것이고, 상기 섹션들에서 구동 피스톤은 출구 개구 (3) 의 축방향에서 볼 때 출구 개구 (3) 에 이어지는 밸브 하우징 (1) 의 벽 (5) 과 겹친다.

본 발명으로 간단한 형성을 구비하며, 높은 폐쇄력 (=접촉 압력) 이 제공 가능한, 전술된 유형의 진공 밸브를 제공할 수 있다.

Claims

- 밸브 하우징 (1) 의 마주하여 놓여 있는 벽 (4, 5) 을 관통하는 입구 개구 (2) 와 출구 개구 (3) 및 상기 입구 개구 (2) 를 에워싸는 밸브 시트 (13) 를 구비하는 밸브 하우징 (1) 과,

- 진공 밸브를 열고 닫기 위해 종축 (9) 둘레로 회전 가능하며 축방향에서 이동 가능한 샤프트 (8) 와 단단히 연결된 지지 아암 (7) 에 배치되며, 밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 (10) 에 위치하는 밸브 플레이트 (6) 와,

- 밸브 플레이트 (6) 가 밸브 시트 (13) 에 눌려지는 폐쇄 위치로부터, 밸브 플레이트가 밸브 시트 (13) 로부터 샤프트 (8) 의 축방향 이동에 의해 들어내지는 중간 위치를 거쳐, 밸브 플레이트가 입구 개구 (2) 를 해제하는 열림 위치로 조정될 수 있게 하는 구동 장치를 포함하며,

- 상기 구동 장치는 샤프트 (8) 의 회전을 위한 회전 드라이브를 포함하는, 진공 밸브에 있어서,

- 이 이외에, 상기 구동 장치는 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 에 배치된 구동 피스톤 (20) 을 포함하며, 이 구동 피스톤은 적어도 그 둘레의 섹션들에 걸쳐 출구 개구의 중심 종축 (22) 과 관련하여 출구 개구 (3) 보다 큰 방사상 연장부를 구비하고, 상기 구동 피스톤에는 출구 개구 (3) 를 향한 쪽에 태핏 (23) 들이 설치되며, 이 태핏들은 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 밖으로 안내되고, 밸브 플레이트 (6) 의 폐쇄 위치에서 출구 개구 (3) 옆의 영역에서 밸브 하우징 (1) 에 지지되며, 밸브 플레이트 (6) 를 밸브 시트 (13) 에 가압하고, 밸브 플레이트 (6) 를 그 폐쇄 위치로부터 그 중간 위치로 옮기기 위해 구동 피스톤 (20) 의 이동을 통해 밸브 하우징 (1) 으로부터 들어내질 수 있으며, 적어도 하나의 스프링 요소 (31) 가 밸브 플레이트 (6) 를 샤프트 (8) 의 축방향 이동을 통해 그 중간 위치로 옮기는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 입구 개구 (2) 와 출구 개구 (3) 는 원형으로 형성되며, 서로 동축으로 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 2 항에 있어서, 밸브 플레이트 (6) 는 입구 개구 (2) 의 축방향에서 볼 때 원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 3 항에 있어서, 구동 피스톤 (20) 은 출구 개구 (3) 의 축방향에서 볼 때 원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 태핏 (23) 들은 구동 피스톤 (20) 의 둘레 가장자리의 영역에 배치되며, 구동 피스톤 (20) 의 둘레 방향으로 서로 간격을 두고 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 태핏 (23) 들은 외부 나사산 을 구비하며, 이 외부 나사산과 함께 상기 태핏들은 구동 피스톤 (20) 의 나사 보어 (threaded bore) 내로 돌려 끼워 넣어지는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 구동 피스톤 (20) 은 공기로 (pneumatically) 가동 가능한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 7 항에 있어서, 상기 구동 피스톤은 그 마지막 위치들 중 하나의 방향으로 스프링 (26) 에 의해 프리텐션되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 8 항에 있어서, 적어도 하나의 스프링 (26) 의 힘에 대항하여 구동 피스톤 (20) 의 이동을 위해 압축 공기의 작용을 받을 수 있는 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 의 섹션과, 태핏 (23) 들을 밸브 플레이트 (6) 의 내부 중공 공간 (19) 밖으로 안내하기 위한 밀봉된 실행부들 사이에는, 압력의 작용을 받은 내부 중공 공간 (19) 의 섹션의 맞은 편에서 내부 중공 공간 (19) 의 밀봉된 섹션이 놓이고, 이 섹션은 채널 (30) 을 통해 대기와 연결되거나 또는 진공화되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.