KR20070092114A - 유기용제 함유공기의 처리방법 - Google Patents

유기용제 함유공기의 처리방법 Download PDF

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KR20070092114A
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마사지 구로사와
가츠히로 야마시타
도모히로 데구치
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니치아스 가부시키가이샤
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Abstract

피처리공기 중의 유기용제의 농도의 급격한 변동에 대응 가능한 유기용제 함유공기의 처리방법을 제공하는 것, 즉 유기용제의 농도가 급격하게 변동해도 정화공기(대기 중으로 방출되는 처리 후의 공기) 중의 유기용제의 함유량이 늘어나는 일이 없는 유기용제 함유공기의 처리방법을 제공하는 데에 있다.
흡착제거공정, 재생공정 및 연소공정을 동시에 행하는 유기용제 함유공기의 처리방법으로서, 당해 흡착제거공정에 의해 생기는 흡착처리공기와, 당해 연소공정에 의해 생기는 연소로 배기가스를 혼합하여 혼합공기를 얻고, 다음에 당해 혼합공기 중의 당해 유기용제를 산화분해하는 것을 특징으로 하는 유기용제 함유공기의 처리방법.

Description

유기용제 함유공기의 처리방법{TREATING METHOD OF AIR CONTAINING ORGANIC SOLVENT}
도 1은 본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법의 실시예를 나타내는 흐름도이다.
도 2는 흡착장치의 내부에 설치되어 있는 흡착부재를 나타내는 모식도이다.
도 3은 본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에 있어서, 연소로 배기가스를 재생공기로서 반송하는 경우의 형태예를 나타내는 흐름도이다.
도 4는 종래의 유기용제 함유공기의 처리방법을 나타내는 흐름도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1, 41 흡착장치 2, 42 연소로
3 산화분해필터 4 제1 송기 팬
5 제2 송기 팬 6 제3 송기 팬
7 피처리공기 공급관 8 흡착처리공기 송기관
9 재생공기 공급관 10, 47 농축공기 송기관
11 연소로 배기가스 송기관 12 정화공기 방출관
13 퍼지공기 공급관 14 퍼지공기 배출관
20, 40, 50 유기용제 함유공기 처리시스템
21 흡착부재 22 구획판
23 재생 존 24 흡착 존
26 모터 27a, 27b 개구면
28 퍼지 존 31 연소로 배기가스 반송관
32 제2 밸브 33 외기 공급관
34 제1 밸브 A, I 피처리공기
B, J 재생공기 C 정화공기
D1, D2 외기 E, K 흡착처리공기
F 농축공기 G 퍼지 존의 배출공기
H, L 연소로 배기가스
본 발명은, 유기용제를 함유하는 피처리공기의 처리를 연속적으로 행하는 유기용제 함유공기의 처리방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 제올라이트 등의 흡착제가 담지되어 있는 흡착부재에 의해, 피처리공기 중의 유기용제를 흡착제거하는 흡착제거공정, 유기용제를 흡착한 당해 흡착부재의 재생을 행하는 재생공정 및 당해 흡착부재의 재생에 의해 생기는 고농도의 유기용제를 함유하는 공기 중의 유기용제를 연소시키는 연소공정을 동시에 연속적으로 행하는 유기용제 함유공기의 처리방법에 관한 것이다.
액정, 반도체, LED, 플라즈마 디스플레이, 수지 또는 도료 등의 생산공정 혹은 인쇄, 도장 또는 클리닝 등의 설비로부터는, 예를 들면 할로겐화 탄화수소, 톨루엔, 초산에틸 등의 유기용제를 함유하는 공기(이하, 유기용제 함유공기라고도 기재함)가 배출된다. 당해 유기용제는 유해하므로, 당해 생산공정 혹은 인쇄, 도장 또는 클리닝 등의 설비의 배출공기 중의 유기용제를 적절한 방법으로 제거할 필요가 있다.
그래서, 종래부터, 제올라이트 등의 흡착제가 담지되어 있는 흡착부재를 구비하는 흡착장치 및 산화촉매가 충전되어 있는 연소로를 가지는 유기용제 함유공기의 처리시스템을 이용하여, 유기용제를 함유하는 피처리공기를 흡착부재에 환기시켜 당해 피처리공기 중의 당해 유기용제를 흡착제거하는 흡착제거공정, 재생공기를 당해 유기용제를 흡착한 당해 흡착부재에 환기시켜 당해 흡착부재를 재생하는 재생공정 및 당해 재생공정에서 생기는 농축공기를 연소로에 공급하여, 당해 농축공기 중의 당해 유기용제를 연소시키는 연소공정을 동시에 연속적으로 행하는 유기용제 함유공기의 처리방법이 행해져 왔다.
종래의 유기용제 함유공기의 처리방법에 대해서, 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는, 종래의 유기용제 함유공기의 처리방법을 나타내는 흐름도이다. 도 4 중에서, 종래의 유기용제 함유공기 처리시스템(50)은, 흡착 존 및 재생 존에 분할되어 있는 흡착부재를 구비하는 흡착장치(41) 및 산화촉매가 충전되어 있는 연소로(42)를 가진다. 당해 흡착장치(41)에 있어서, 당해 흡착 존에 피처리공기(I)를 환기시킴으로써, 피처리공기(I) 중의 유기용제의 흡착제거를 행함과 동시에, 당해 재생 존에 재생공기(J)를 환기시킴으로써, 유기용제를 흡착한 흡착부재의 재생을 행한다. 당해 흡착부재의 재생에 사용된 재생공기(J)는, 고농도의 유기용제를 함유하는 농축공기로서 당해 흡착장치(41)로부터 배출되고, 당해 농축공기는, 농축공기 송기관(47)에 의해 연소로(42)에 공급된다. 그리고, 당해 연소로(42)에서, 당해 농축공기 중의 유기용제를 연소시켜 당해 농축공기 중의 유기용제를 제거하고, 연소로 배기가스(L)를 당해 연소로(42)로부터 배출시킨다.
이와 같이, 종래의 유기용제 함유공기의 처리방법에서는, 피처리공기(I)가 흡착장치(41)에서 처리되어 생기는 흡착처리공기(K) 및 당해 연소로 배기가스(L)가 대기로 방출된다.
당해 연소로에서는, 유기용제가 산화촉매에 의해 연소하므로, 매우 큰 발열이 일어나고, 당해 산화촉매는 고온에 노출된다. 통상, 당해 산화촉매로서는 백금촉매가 사용되고 있으므로, 당해 산화촉매의 사용온도의 상한은 500℃이고, 산화촉매의 온도가 500℃를 넘으면, 당해 촉매의 성능저하(열 열화)가 일어난다. 그 때문에, 당해 산화촉매의 온도가 50O℃를 넘지 않도록, 당해 산화촉매의 온도를 관리할 필요가 있다. 당해 산화촉매의 온도는, 당해 연소로의 배기가스의 온도를 측정하고, 당해 배기가스의 온도에 따라 당해 연소로에 공급되는 공기의 온도를 조절하며, 당해 산화촉매의 온도를 제어한다. 당해 연소로에 공급되는 공기의 온도는, 통상 250~300℃이다.
상기 종래의 유기용제의 처리방법에서는, 당해 연소로에 공급되는 공기 중의 유기용제의 농도가 너무 높아지면, 유기용제를 당해 연소로에서 완전히 연소시킬 수 없게 된다. 즉, 당해 연소로에서 처리할 수 있는 공기 중의 유기용제의 농도(함유량)에는 상한이 있다.
당해 생산공정 등에서 배출되는 유기용제 함유공기, 즉 피처리공기 중의 유기용제의 농도가 변동하는 것은 당연하고, 당해 피처리공기 중의 유기용제의 농도가 높아지면, 연소로에서 처리되는 공기 중의 유기용제의 농도도 높아진다. 당해 연소로에 공급되는 공기 중의 유기용제의 농도 상승이 작은 경우는, 외기를 받아들여 유기용제의 농도를 내려 당해 연소로에서의 처리한계농도 이하로 하여 대응할 수 있다. 그러나, 공정 트러블이 원인이 되는 농도변동은, 농도의 상승이 현저하므로, 매우 많은 외기를 받아들여 희석해야만 하는데, 연소로의 처리량에는 제한이 있기 때문에, 받아들이는 외기의 양에는 제한이 있고, 외기를 받아들이는 것에 의한 희석으로는 대응할 수 없는 경우가 있었다.
이러한 경우, 당해 연소로의 처리한계농도를 넘는 유기용제 함유공기가 당해 연소로에 공급되므로, 당해 연소로에서 유기용제를 완전히 연소시킬 수 없고, 미연(未燃)의 유기용제가 당해 연소로의 배기가스 중에 혼입하게 된다. 그 때문에, 미연의 유기용제를 함유하는 연소로의 배기가스가 대기 중으로 방출된다는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 과제는, 피처리공기 중의 유기용제의 농도의 급격한 변동에 대응가능한 유기용제 함유공기의 처리방법을 제공하는 것, 즉 유기용제의 농도가 급격하게 변동해도 대기 중으로 방출되는 처리 후의 공기 중의 유기용제의 함유 량이 늘어나는 일이 없는 유기용제 함유공기의 처리방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명자들은, 상기 종래기술에서의 과제를 해결하기 위해 면밀히 연구를 거듭한 결과, 흡착장치에서 처리된 흡착처리공기 및 연소로에서 처리된 연소로 배기가스를 혼합하여 혼합공기를 얻고, 당해 혼합공기를 산화분해필터 등을 이용하여 산화분해를 행하면, 연소로의 배기가스 중의 유기용제의 함유량이 급격하게 변동해도 정화공기 중의 유기용제의 함유량이 늘어나지 않고 안정하여 처리를 행할 수 있음을 발견하여, 본 발명을 완성시키는 데에 이르렀다.
즉, 본 발명 (1)은, 유기용제를 함유하는 피처리공기를 흡착부재에 환기시켜 당해 피처리공기 중의 당해 유기용제를 흡착제거하는 흡착제거공정, 재생공기를 당해 유기용제를 흡착한 당해 흡착부재에 환기시켜 당해 흡착부재를 재생하는 재생공정 및 당해 재생공정에서 생기는 농축공기를 연소로에 공급하여, 당해 농축공기 중의 당해 유기용제를 연소시키는 연소공정을 가지고, 당해 흡착제거공정, 당해 재생공정 및 당해 연소공정을 동시에 행하는 유기용제 함유공기의 처리방법으로서, 당해 흡착제거공정에 의해 생기는 흡착처리공기와 당해 연소공정에 의해 생기는 연소로 배기가스를 혼합하여 혼합공기를 얻고, 다음에 당해 혼합공기 중의 당해 유기용제를 산화분해하는 유기용제 함유공기의 처리방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명 (2)는, 외기를 상기 연소로 배기가스에 유입시키고, 당해 외기 및 상기 연소로 배기가스를 혼합함과 동시에, 상기 연소로 배기가스의 일부를 뽑아내어, 상기 재생공기로서 반송하는 상기 본 발명 (1)에 기재된 유기용제 함유 공기의 처리방법을 제공하는 것이다.
(실시예)
본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법은, 유기용제를 함유하는 피처리공기를 흡착부재에 환기시켜 당해 피처리공기 중의 당해 유기용제를 흡착제거하는 흡착제거공정, 재생공기를 당해 유기용제를 흡착한 당해 흡착부재에 환기시켜 당해 흡착부재를 재생하는 재생공정 및 당해 재생공정에서 생기는 농축공기를 연소로에 공급하여, 당해 농축공기 중의 당해 유기용제를 연소시키는 연소공정을 가지고, 당해 흡착제거공정, 당해 재생공정 및 당해 연소공정을 동시에 행하는 유기용제 함유공기의 처리방법으로서, 당해 흡착제거공정에 의해 생기는 흡착처리공기와 당해 연소공정에 의해 생기는 연소로 배기가스를 혼합하여 혼합공기를 얻고, 다음에 당해 혼합공기 중의 당해 유기용제를 산화분해하는 유기용제 함유공기의 처리방법이다.
당해 본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에 대해서, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법의 실시예를 나타내는 흐름도이다. 도 1 중에서, 유기용제 함유공기 처리시스템(20)은, 피처리공기(A) 중의 유기용제의 흡착제거 및 유기용제를 흡착한 흡착부재의 재생을 동시에 행하는 흡착장치(1), 산화촉매가 충전되어 있는 연소로(2), 산화분해필터(3), 당해 흡착장치(1)의 흡착 존에 피처리공기(A)를 공급하는 피처리공기 공급관(7), 당해 흡착장치(1)의 당해 흡착 존과 당해 산화분해필터(3)를 연결하는 흡착처리공기 송기관(8), 당해 흡착장치(1)의 퍼지 존에 외기(D1)를 공급하는 퍼지공기 공급관(13), 당해 흡착처리공기 송기관(8)으로부터 분기하고, 당해 흡착장치(1)의 퍼지 존에 연결 되는 퍼지공기 배출관(14), 당해 흡착장치(1)의 재생 존에 재생공기(B)를 공급하는 재생공기 공급관(9), 당해 흡착장치(1)의 재생 존과 당해 연소로(2)를 연결하는 농축공기 송기관(10), 당해 흡착처리공기 송기관(8)으로부터 분기하고 당해 연소로(2)에 연결되는 연소로 배기가스 송기관(11) 및 당해 산화분해필터(3)에서 정화공기(C)를 대기로 방출하는 정화공기 방출관(12)을 가진다. 또한, 당해 흡착처리공기 송기관(8)에는 제1 송기 팬(4)이, 당해 농축공기 송기관(10)에는 제2 송기 팬(5)이, 당해 연소로 배기가스 송기관(11)에는 제3 송기 팬(6)이 부설되어 있다.
당해 흡착장치(1)의 흡착 존에 당해 제1 송기 팬(4)에서 흡인하여 당해 피처리공기(A)를 공급하고, 당해 피처리공기(A) 중의 유기용제를 당해 흡착장치(1)의 흡착부재에 흡착시킴으로써, 당해 흡착제거공정을 행한다. 당해 피처리공기(A)는, 당해 흡착장치(1)를 통과할 때에 유기용제가 제거되고, 흡착처리공기(E)로서 당해 흡착장치(1)로부터 배출된다. 그리고, 당해 흡착처리공기를 당해 제1 송기 팬(4)에 의해 당해 산화분해필터(3)로 송기한다. 당해 흡착장치(1)에 공급될 때의 당해 피처리공기(A)의 온도는, 통상 0~50℃, 바람직하게는 20~30℃이고, 당해 흡착처리공기(E)의 온도는, 통상 20~60℃이다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 유기용제 함유공기 처리시스템(20)에서는, 당해 흡착장치(1)의 흡착부재에 퍼지 존을 설치하고, 당해 퍼지 존에 외기(D1)를 공급하여 재생 존에서 가열된 흡착부재를 냉각하며, 당해 퍼지 존의 배기공기(G)를 당해 퍼지공기 배기관(14)에 의해 당해 흡착처리공기에 혼합시키고 있는데, 당해 퍼지 존을 설치하고 퍼지를 행하는 것은 임의이다.
또한, 당해 흡착제거공정과 동시에, 당해 흡착장치(1)의 재생 존에 당해 제2 송기 팬(5)에서 흡인하여 당해 재생공기(B)를 공급하고, 당해 흡착장치(1)의 흡착부재가 흡착한 유기용제를 당해 재생공기로 이동시킴으로써, 당해 흡착부재를 재생하는 재생공정을 행한다. 당해 재생공기(B)는, 당해 흡착장치(1)를 통과할 때에 당해 흡착부재로부터 유기용제를 받고, 유기용제를 함유하는 농축공기(F)로서 당해 흡착장치(1)로부터 배출된다. 그리고, 당해 농축공기(F)를 당해 제2 송기 팬(5)에 의해 당해 연소로(2)에 송기한다. 당해 흡착장치(1)에 공급될 때의 당해 재생공기의 온도는, 통상 120~300℃, 바람직하게는 180~200℃이다.
다음에, 당해 농축공기(F)를 당해 연소로(2)에 공급하고, 당해 농축공기(F) 중의 유기용제를 연소시키는 연소공정을 행한다. 당해 연소공정을 행함으로써, 당해 농축공기(F) 중의 유기용제가 제거된다. 당해 연소로(2)에 공급될 때의 당해 농축공기(F)의 온도는 통상 30~70℃이고, 당해 연소로 배기가스(H)의 온도는 통상 300~600℃이다.
본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에서는, 당해 흡착제거공정, 당해 재생공정 및 당해 연소공정을 동시에 행하고, 당해 연소공정에 의해 생기는 연소로 배기가스(H)를 제3 송기 팬(6)에 의해 당해 흡착처리공기 송기관(8) 중으로 송기하며, 당해 흡착처리공기(E)에 혼합시켜 혼합공기를 얻고, 그리고, 당해 혼합공기를 당해 산화분해필터(3)로 산화분해하며, 당해 혼합공기 중의 유기용제를 제거한다. 당해 산화분해필터(3)를 통과한 혼합공기는, 정화공기(C)가 되고, 당해 정화공기 방출관(12)에서 대기 중으로 방출된다. 당해 산화분해필터(3)에 공급될 때의 당해 혼합공기의 온도는, 통상 100~150℃이다. 또, 당해 흡착처리공기와 당해 연소로 배기가스를 혼합함으로써, 당해 혼합공기를 소정의 온도로 할 수도 있고, 외기를 더 혼합시켜 당해 혼합공기의 온도를 조절할 수도 있다.
본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에서는, 유기용제의 함유량이 적은 당해 흡착처리공기에 당해 연소로 배기가스를 혼합하기 때문에, 공정 트러블 등에 의해 당해 연소로 배기가스 중의 유기용제의 함유량이 급격하게 높아져도, 당해 혼합공기 중의 유기용제의 함유량의 변화는 적다. 그 때문에, 공정 트러블 시에서도, 당해 혼합공기 중의 유기용제의 함유량이 당해 산화분해필터의 처리능력을 넘지 않으므로, 당해 산화분해필터로 적절한 처리가 가능하고, 당해 정화공기 중의 유기용제의 함유량이 높아지지 않는다. 따라서, 본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에서는, 대기 중으로 방출되는 정화공기 중의 유기용제의 함유량이 매우 적고, 또한 그 변동이 적다.
또한, 당해 산화분해필터에 공급할 때의 당해 혼합공기의 온도는 통상 100~150℃정도, 당해 흡착처리공기의 온도는 통상 30~50℃정도, 당해 연소로 배기가스의 온도는 통상 300~600℃정도이므로, 당해 혼합공기를 가열하지 않아도 당해 혼합공기를 소정의 온도로 할 수 있으므로 열효율이 높아진다.
또한, 당해 흡착처리공기도 당해 산화분해필터에서 처리되므로, 종래의 유기용제 함유공기 처리시스템에 비해, 정화공기 중의 유기용제의 함유량을 적게 할 수 있다.
당해 흡착장치(1)의 내부에는, 도 2에 도시한 흡착부재(21)가 장착되어 있 다. 당해 흡착부재(21)는, 피처리공기(A), 재생공기(B) 및 퍼지용의 외기(D1)를 통과시키기 위한 환기 공동(空洞)을 가진다. 또한, 당해 흡착부재(21)에는, 제올라이트 등의 흡착제가 담지되어 있다. 그리고, 당해 흡착부재(21)는, 피처리공기(A)의 공급측의 개구면(27a)이 구획판(22)에 의해 흡착 존(24), 재생 존(23) 및 퍼지 존(28)으로 분할되어 있고, 재생공기(D1)의 공급측의 개구면(27b)도 구획판에 의해 흡착 존(24), 재생 존(23) 및 퍼지 존(28)으로 분할되어 있다. 또한, 당해 흡착부재는, 모터(26)로 회전가능하도록, 도시하지 않은 로터 축에 의해 흡착장치(1)에 장착되어 있다.
당해 흡착 존(24)에 당해 개구면(27a) 측에서 당해 피처리공기(A)를 환기함으로써, 당해 피처리공기(A) 중의 유기용제가 당해 흡착부재(21)에 담지되어 있는 흡착제에 흡착되고, 유기용제가 흡착제거된 흡착처리공기(E)가 개구면(27b)으로부터 배출된다. 다음에, 당해 흡착부재(21)를 모터(26)에 의해 회전시킴으로써, 당해 흡착 존(24)에서 유기용제를 흡착한 흡착제는 당해 재생 존(23)으로 이동한다. 그리고, 가열된 당해 재생공기(B)를 당해 개구면(27b) 측에서 당해 재생 존(23)으로 환기함으로써, 유기용제가 당해 흡착제로부터 당해 재생공기(B)로 이동하고, 당해 흡착제는 재생되며, 유기용제를 함유하는 농축공기(F)가 당해 개구면(27a)으로부터 배출된다. 다음에, 당해 흡착부재(21)를 모터(26)에 의해 회전시키고, 재생된 흡착제는 퍼지 존(28)으로 이동하며, 외기(D1)에 의해 냉각된다. 다음에, 냉각된 당해 흡착부재는 다시 당해 흡착 존(24)으로 이동한다.
당해 흡착부재(21)로서는 특히 제한되지 않고, 예를 들면 세라믹 섬유, 유리 섬유 등의 섬유의 직포 또는 부직포를 콜게이트형상 허니콤 구조로 성형하여 얻어지는, 다공질의 섬유질 담체에 흡착제가 담지되어 있는 흡착부재, 혹은, 알루미늄박 등의 금속박을 콜게이트형상 허니콤 구조로 성형하여 얻어지는, 금속 허니콤 담체에 흡착제가 담지되어 있는 흡착부재 등을 들 수 있다. 또한, 당해 흡착제로서는 특히 제한되지 않고, 예를 들면 제올라이트, 활성탄, 실리카겔, 활성알루미나 등을 들 수 있다.
당해 연소로(2)에 충전되는 산화촉매로서는 특히 제한되지 않고, 예를 들면 코제라이트 담체에 백금, 팔라듐, 망간, 철 등이 담지되어 있는 촉매를 들 수 있다.
또한, 도 1에 도시한 유기용제 함유공기 처리시스템(20)에서는, 당해 혼합공기 중의 유기용제의 산화분해에 산화필터가 사용되고 있는데, 당해 산화필터로서는, 알루미나, 실리카 등의 다공질 세라믹, 카본 파이버, 카본 페이퍼 등의 담체에 금속촉매로서 백금 등의 귀금속 또는 팔라듐, 망간, 니켈 등의 천이금속을 단독 또는 조합하여 담지한 것을 들 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 그 밖에는 활성탄, 제올라이트, 실리카겔, 활성알루미나 등을 들 수 있다.
당해 재생공기(B)의 공급량에 대한 당해 피처리공기(A)의 공급량의 비(피처리공기(A)/재생공기(B))는, 바람직하게는 3~15, 특히 바람직하게는 5~10이다. 당해 재생공기(B)의 공급량에 대한 당해 피처리공기(A)의 공급량의 비가 상기 범위에 있음으로써, 피처리공기 중의 유기용제의 함유량이 변동해도 정화공기 중의 유기용제의 함유량의 변화가 적다는 본 발명의 효과가 높아진다.
또한, 본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 외기를 당해 연소로 배기가스에 유입시키고, 당해 외기 및 당해 연소로 배기가스를 혼합함과 동시에, 당해 연소로 배기가스의 일부를 뽑아내어 당해 재생공기로서 반송할 수 있다. 도 3은, 본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에 있어서, 연소로 배기가스를 재생공기로서 반송하는 경우의 형태예를 나타내는 흐름도이다. 유기용제 함유공기 처리시스템(4O)은, 당해 연소로(2)의 후단에서, 연소로 배기가스 송기관(11)으로부터 분기하는 외기 공급관(33)과, 당해 외기 공급관(33)의 분기점보다 후단에서, 당해 연소로 배기가스 송기관(11)으로부터 분기하고, 흡착장치(1)의 재생 존에 연결되는 연소로 배기가스 반송관(31)을 가지는 것 이외에는, 상기 유기용제 함유공기 처리시스템(20)과 동일하다. 또, 당해 외기 공급관(33)에는 제1 밸브(34)가, 당해 연소로 배기가스 반송관(31)에는 제2 밸브(32)가 부설되어 있다.
그리고, 당해 제2 밸브(32)를 조절하여, 당해 연소로 배기가스의 일부(이하, 반송 연소로 배기가스(B2)라고도 기재함)를 당해 연소로 배기가스 송기관(11)으로부터 뽑아내고, 당해 연소로 배기가스 반송관(31)에 의해 재생공기로서 당해 흡착장치(1)의 재생 존으로 반송하며, 당해 흡착제거공정, 당해 재생공정, 당해 연소공정 및 당해 산화필터(3)에서의 혼합공기의 산화분해를 행한다. 또한, 당해 연소로 배기가스의 반송과 동시에, 당해 제1 밸브(34)를 조절하여, 당해 연소로 배기가스의 반송량과 같은 정도의 양의 외기(D2)를 당해 외기 공급관(33)으로부터 받아들여 당해 연소로 배기가스에 혼합시킨다.
공정 트러블 등으로, 당해 피처리공기 중의 유기용제의 농도가 급격하게 높아지면, 당해 연소로 배기가스 중의 유기용제의 농도도 높아져 버리는데, 그 때의 당해 연소로 배기가스 중의 유기용제의 농도는, 당해 흡착부재의 당해 재생공기로서는 문제가 없는 정도의 농도이므로, 당해 연소로 배기가스(당해 반송 연소로 배기가스(B2))를 당해 재생공기로서 사용할 수 있다.
당해 흡착장치(1)의 흡착부재를 재생하기 위한 재생공기는 통상 180~300℃이기 때문에, 외기를 당해 재생공기로서 사용하는 경우는, 당해 흡착장치(1)에 공급하기 전에 당해 외기를 가열할 필요가 있다. 그런데, 당해 연소로 배기가스를 반송하여 재생공기로서 사용하는 경우는, 300~600℃의 당해 연소로 배기가스를 외기에서 온도를 내리고, 온도 조절하여 사용하므로, 가열할 필요가 없다. 따라서, 당해 연소로 배기가스의 일부를 당해 재생공기로서 반송하는 것이 열효율이 높은 점에서 바람직하다.
다음에, 실시예를 들어 본 발명을 더 구체적으로 설명하는데, 이는 단지 예시로서, 본 발명을 제한하는 것은 아니다.
(실시예 1)
도 3에 도시한 유기용제 함유공기 처리시스템을 이용하여, 표 1에 나타내는 조건으로 유기용제 함유공기의 처리를 행하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다.
·흡착장치(1)
담체; 실리카 알루미나 섬유제의 종이(두께 0.2mm, 공극률 90%)로 이루어진 직경 400mm, 환기방향길이 400mm의 로터형상의 허니콤 구조 담체를 준비하였다.
담지되어 있는 흡착제; ZSM-5형 제올라이트(조성 Al0 .64Si95 .36O192)
흡착 존, 재생 존 및 퍼지 존의 비율; 3:1:1
·연소로(2)
충전촉매; 코제라이트담지 백금촉매
충전층; 직경 0.5m×길이 1m
·산화분해필터(3)
니켈담지 다공질 세라믹
직경 0.5m, 두께 100mm
흡착장치(1)
피처리공기(A)(흡착 존)
함유하고 있는 유기용제 하기1)
유기용제 함유량(g/㎥) 0.0021
공급온도(℃) 30
공급량(㎥/분) 50
반송 연소로 배기가스(B2)(재생 존)
공급온도(℃) 180
공급량(반송량)(㎥/분) 5
연소로(2)
농축공기의 공급온도(℃) 50
농축공기의 공급량(㎥/분) 5
촉매층의 온도(℃) 300
산화분해필터(3)
혼합공기의 공급온도(℃) 100~150
혼합공기의 공급량(㎥/분) 60
외기(D1)(퍼지 존)
외기(D1)의 공급온도(℃) 30
외기(D1)의 공급량(㎥/분) 5
외기(D2)(외기 공급관(33))
외기(D2)의 공급온도(℃) 30
외기(D2)의 공급량(㎥/분) 5
1) 함유하고 있는 유기용제: 톨루엔, 이소프로필아민, 메틸에틸케톤 및 초산에틸
흡착처리공기(E)
유기용제의 함유량(g/㎥) 0
온도(℃) 30
반송 연소로 배기가스(B2)(재생공기)
유기용제의 함유량(g/㎥) 0
온도(℃) 180
흡착장치(1) 배출측의 농축공기(F)
유기용제의 함유량(g/㎥) 0.176
온도(℃) 50
연소로(2) 배출측의 연소로 배기가스(H)
유기용제의 함유량(g/㎥) 0
온도(℃) 300~600
정화공기(C)(산화필터(3) 배출측)
유기용제의 함유량(g/㎥) 0
온도(℃) 50
본 발명의 유기용제 함유공기의 처리방법에 의하면, 처리공기 중의 유기용제의 농도의 급격한 변동에 대응가능한 유기용제 함유공기의 처리방법, 즉 유기용제의 농도가 급격하게 변동해도 대기 중으로 방출되는 처리 후의 공기 중의 유기용제의 함유량이 늘어나는 일이 없는 유기용제 함유공기의 처리방법을 제공할 수 있다.

Claims (2)

  1. 유기용제를 함유하는 피처리공기를 흡착부재에 환기시켜 당해 피처리공기 중의 당해 유기용제를 흡착제거하는 흡착제거공정, 재생공기를 당해 유기용제를 흡착한 당해 흡착부재에 환기시켜 당해 흡착부재를 재생하는 재생공정, 및 당해 재생공정에서 생기는 농축공기를 연소로에 공급하여, 당해 농축공기 중의 당해 유기용제를 연소시키는 연소공정을 가지고, 당해 흡착제거공정, 당해 재생공정 및 당해 연소공정을 동시에 행하는 유기용제 함유공기의 처리방법으로서, 당해 흡착제거공정에 의해 생기는 흡착처리공기와, 당해 연소공정에 의해 생기는 연소로 배기가스를 혼합하여 혼합공기를 얻고, 다음에 당해 혼합공기 중의 당해 유기용제를 산화분해하는 것을 특징으로 하는 유기용제 함유공기의 처리방법.
  2. 제1항에 있어서, 외기를 상기 연소로 배기가스에 유입시키고, 당해 외기 및 상기 연소로 배기가스를 혼합함과 동시에, 상기 연소로 배기가스의 일부를 뽑아내어 상기 재생공기로서 반송하는 것을 특징으로 하는 유기용제 함유공기의 처리방법.
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