KR20070079559A - 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법 및 그레이 톤 마스크 - Google Patents

그레이 톤 마스크의 결함 수정방법 및 그레이 톤 마스크 Download PDF

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KR20070079559A
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Abstract

본 발명에 의한 결함 수정방법은, 노광광을 차광하는 차광부와, 노광광을 투과시키는 투광부와, 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 피전사체 위에 막 두께가 단계적 또는 연속적으로 다른 레지스트 패턴을 형성하기 위한 그레이 톤 마스크에 적용된다. 본 결함 수정방법에 있어서는, 상기 그레이 톤부가 반투광막으로 형성된다. 본 결함 수정방법은, 상기 그레이 톤부에 있어서 결핍 결함이 발생한 피수정 영역을 특정하는 공정과, 그 피수정 영역에, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 미세 패턴형 수정용 차광막을 형성하는 공정을 포함한다.
노광, 차광, 그레이 톤, 패턴, 마스크

Description

그레이 톤 마스크의 결함 수정방법 및 그레이 톤 마스크{METHOD OF MODIFYING DEFECT IN GRAY TONE MASK AND GRAY TONE MASK}
도 1a ~ 도 1c는 그레이 톤 마스크를 사용한 종래의 TFT기판의 제조 공정을 나타내는 공정도이며,
도 2a ~ 도 2c는 도 1a ~ 도 1c에 이어지는 제조 공정을 나타내는 공정도이며,
도 3은 노광기의 해상 한계 이하의 차광 패턴이 형성되어 이루어진 그레이 톤부를 가지는 일반적인 그레이 톤 마스크를 나타내는 평면도이며,
도 4a, 도 4b는 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제1 실시예를 나타내는 공정도이며,
도 5a ~ 도 5c는 본 발명의 제1 실시예에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 의해 수정된 그레이 톤 마스크를 나타내며, 특히 도 5a는 그레이 톤 마스크의 평면도, 도 5b는 그레이 톤 마스크를 피전사체와 함께 나타내는 측단면도, 도 5c는 도 5b에 표시된 그레이 톤 마스크와는 다른 타입의 그레이 톤 마스크의 측단면도이며,
도 6a ~ 도 6c는 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제2 실시예를 나타내는 공정도이며,
도 7a ~ 도 7d는 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제3 실시예를 나타내는 공정도이며,
도 8a ~ 도 8c는 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제4 실시예를 나타내는 공정도이며,
도 9a ~ 도 9e는 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제5 실시예를 나타내는 공정도이며,
도 10은 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 사용되는 FIB장치의 구조를 나타내는 개략적인 측면도다.
본 발명은 액정표시장치(이하, LCD라고 칭한다)의 박막 트랜지스터(이하, TFT라고 칭한다) 등의 제조에 사용되는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법, 및 그레이 톤 마스크에 관한 것이다.
TFT를 구비한 LCD는 CRT(음극선관)에 비해, 박형으로 하기 쉽고 소비 전력이 낮은 이점으로, 상품화가 급속히 진행되고 있다. LCD는 매트릭스형으로 배열된 각 화소에 TFT가 배열된 구조의 TFT기판과, 각 화소에 대응해서 레드, 그린, 및 블루의 화소 패턴이 배열된 컬러필터가 액정상의 개재 하에 중합된 구조를 가진다. 이 런 종류의 LCD에서는 제조 공정 수가 많고, TFT기판만으로도 5 ~ 6장의 포토마스크를 사용해서 제조되고 있다.
이러한 상황 하에, TFT기판의 제조를 4장의 포토마스크를 사용해서 행하는 방법이 제안되었다. 이 방법은, 차광부와 투광부와 그레이 톤부를 가지는 포토마스크(이하, 그레이 톤 마스크라고 칭한다)를 사용함으로써, 사용하는 마스크의 매수를 저감하는 것이다.
도 1, 도 2를 참조하여, 그레이 톤 마스크를 사용한 TFT기판의 제조 공정의 종래 예에 관하여 설명한다.
처음에, 유리 기판(1) 위에 게이트 전극용 금속막이 형성된다. 계속해서, 게이트 전극용 금속막에 포토마스크를 사용한 포토리소그래피 공정을 실시함으로써 유리 기판(1) 위에 게이트 전극(2)이 형성된다. 그 후에 게이트 절연막(3), 제1 반도체막(a-Si)(4), 제2 반도체막(N+a-Si)(5), 소스-드레인용 금속막(6), 및 포지티브형 포토레지스트 막(7)이 형성된다(도 1a).
다음으로 차광부(101)와 투광부(102)와 그레이 톤부(103)를 가지는 그레이 톤 마스크(100)를 사용하여, 포토레지스트 막(7)을 노광하고, 현상한다. 이에 따라, 도 1b에 나타낸 바와 같이 제1 레지스트 패턴(7A)이 형성된다. 제1 레지스트 패턴(7A)은, TFT채널부 형성 영역 및 소스-드레인 형성 영역과 데이터 라인 형성 영역을 덮고, TFT채널부 형성 영역을 덮는 포토레지스트 막의 막 두께가 소스-드레인 형성 영역을 덮는 포토레지스트 막의 막 두께보다 얇다.
다음으로 제1 레지스트 패턴(7A)을 마스크로 해서, 소스-드레인용 금속막(6) 및 제2, 제1 반도체막(5, 4)을 에칭한다(도 1c).
다음으로 제1 레지스트 패턴(7A)을 형성하고 있는 포토레지스트 막(7)을 산소에 의한 애싱에 의해 전체적으로 감소시켜서, TFT채널부 형성 영역을 덮고 있는 얇은 포토레지스트 막 부분을 제거하고, 제2 레지스트 패턴(7B)을 형성한다(도 2a). 그 후, 제2 레지스트 패턴(7B)을 마스크로 해서, 소스-드레인용 금속막(6)에 대한 에칭을 함으로써 소스/드레인(6A/6B)을 형성하고, 이어서 TFT채널부 형성 영역의 제2 반도체막(5)을 에칭에 의해 제거한다(도 2b). 마지막으로, 잔존한 제2 레지스트 패턴(7B)의 포토레지스트 막을 박리한다(도 2c).
그레이 톤 마스크(100)는, 도 3에 나타낸 바와 같이 소스-드레인 형성 영역에 대응하는 차광부(101A, 101B)와, 투광부(102)와, TFT채널부 형성 영역에 대응하는 그레이 톤부(103)를 가진다. 그레이 톤부(103)는, 그레이 톤 마스크(100)를 사용하는 대형 LCD용 노광기의 해상 한계 이하의 미세 패턴으로 이루어진 차광 패턴(103A)을 형성한 영역이다. 통상, 차광부(101A, 101B)와 차광 패턴(103A)은 모두 크롬이나 크롬화합물 등의 동일한 재료로서 동일한 두께의 막으로 형성되어 있다. 이 종류의 그레이 톤 마스크를 사용하는 대형 LCD용 노광기의 해상 한계는, 스테퍼 방식의 노광기로 약 3μm, 미러 프로젝션 방식의 노광기로 약 4μm이다. 이 때문에, 예를 들면 도 3에서 그레이 톤부(103)에 있어서의 투과부(103B)의 스페이스 폭을 3μm 미만, 차광 패턴(103A)의 라인 폭을 노광기의 해상 한계 이하인 3μm 미만으로 한다.
상기 미세 패턴 타입의 그레이 톤부(103)에서는, 그 설계, 구체적으로는 차 광부(101A, 101B)와 투광부(102)의 중간적인 하프톤 효과를 갖게 하기 위한 미세 패턴을, 라인 앤드 스페이스 타입으로 할지, 닷(망점) 타입으로 할지, 또는 그 외의 패턴으로 할지 선택한다. 또한 라인 앤드 스페이스 타입의 경우, 선 폭을 어느 정도로 할지, 빛이 투과하는 부분과 차광되는 부분의 비율을 어떻게 할지, 전체의 투과율을 어느 정도로 할지 등, 상당히 많은 것을 고려해서 설계해야 한다. 또한 그레이 톤 마스크의 제조에 있어서도, 선 폭의 중심값의 관리, 및 마스크 내의 선 폭의 편차 관리 등, 상당히 어려운 생산 기술이 요구되고 있었다.
이에 따라, 그레이 톤부를 광반투과성의 반투광막(하프톤 막)으로 하는 것이 제안되었다(예를 들면 특허문헌 1: 일본국 공개특허공보 특개 2002-189280호). 반투광막을 사용함으로써 노광량을 적게 해서 하프톤 노광을 실시할 수 있다. 반투광막을 사용함으로써, 설계에 있어서는, 전체의 투과율이 어느 정도 필요할지를 검토하는 것만으로 충분하다. 그레이 톤 마스크의 제조에 있어서도, 반투광막의 막 종류(막 재료)나 막 두께를 선택하는 것만으로 그레이 톤 마스크의 생산이 가능해 진다. 따라서, 그레이 톤 마스크의 제조에서는, 반투광막의 막 두께를 제어하는 것만으로 충분하여, 비교적 관리가 용이하다. 또한 TFT채널부를 그레이 톤 마스크의 그레이 톤부에서 형성할 경우, 반투광막이면 포토리소그래피 공정에 의해 용이하게 패터닝을 실시할 수 있으므로, TFT채널부의 형상도 복잡한 형상으로 할 수 있게 된다.
그런데, 특허문헌 1에 기재된 그레이 톤 마스크에 있어서는, 반투광막으로 이루어진 그레이 톤부에 결핍 결함 등의 백결함이 발생한 경우, 이하와 같은 문제 가 있다. 백결함이 발생한 경우에, 일반적인 포토마스크의 차광막의 결함 수정에 사용되는 수정방법, 즉 결함부분에 차광막을 매립하는 것 뿐인 방법을 이용하면, 차광막을 매립한 부분만이 낮은 투과율이 되어, 다른 종류의 결함을 발생시킨다.
한편, 결함부분에 막 두께 제어에 의해 수정용 반투광막을 매립하는 방법도 고려할 수 있다. 그러나, 이 경우, 수정용 반투광막의 얼라인먼트가 어렵고, 더욱 결함부분이 작은 경우에는, 수정용 반투광막이 결함부분으로부터 밀려나오는 등의 문제가 있다.
또한 그레이 톤 마스크에 있어서, 반투광막으로 이루어진 그레이 톤부에 차광막재료나 이물질에 의한 흑결함이 발생한 경우, 결함부분을 제거해서 수정용 반투광막을 매립하는 것에는, 상기와 같은 문제점이 있다.
또한, 반투광막은, 소정의 막 두께 범위 내에서 적절한 노광 광투과율을 가질 필요성이 있으므로, 그 조성에는 제약이 있어, 국소적인 성막에 적용할 수 있는 레이저 CVD장치에 있어서도 제어가 어려우며, 수정용 반투광막을 매립할 때의 막 두께도 정밀하게 제어할 필요가 있게 된다. 예를 들면 그레이 톤 마스크 제조시에 사용한 반투광막과 같은 소재의 막은, 국소적인 성막 방법에 적합하지 않을 경우에는, 다른 소재(다른 투과율을 가지는 소재)를 사용해서 결함 수정이 가능하면, 상당히 유용하다.
[발명의 개요]
본 발명의 목적은, 그레이 톤부에 발생한 결함을 적절히 수정할 수 있는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 그레이 톤부에 발생한 결함이 적절히 수정된 그레이 톤 마스크를 제공하는 것에 있다.
또한 본 발명은, 미세 패턴에 의한 그레이 톤부를 가지는 그레이 톤 마스크를 제공하는 것도 목적으로 한다.
본 발명은, 이하의 형태에 의해 실시될 수 있다.
(제1 형태)
노광광을 차광하는 차광부와, 노광광을 투과시키는 투광부와, 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 피전사체 위에 막 두께가 단계적 또는 연속적으로 다른 레지스트 패턴을 형성하기 위한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법으로서, 상기 그레이 톤부가 반투광막으로 형성되고, 상기 그레이 톤부에 있어서 결함이 발생한 피수정 영역을 특정하는 공정과, 그 피수정 영역에, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 미세 패턴을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
(제2 형태)
상기 제1 형태에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 있어서, 상기 피 수정 영역은, 상기 그레이 톤 마스크의 제조 후, 상기 그레이 톤부에서 발생한 결핍 결함영역, 또는 상기 그레이 톤부에서 발생한 상기 차광부의 형성 재료 또는 이물질로 된 잉여결함을 포함한 영역을 제거해서 형성된 결핍 결함영역, 혹은 상기 그레이 톤부에서 발생한 상기 차광부의 형성 재료 또는 이물질로 된 잉여결함을 포함한 영역을 제거해서 형성된 결핍 결함영역에, 수정용 반투광막을 부분적으로 성막한 후에 더 잔류하는 결핍 결함영역이다.
(제3 형태)
상기 제1 형태에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 있어서, 상기 피수정 영역은, 상기 그레이 톤 마스크의 제조 후, 상기 그레이 톤부에서 발생한 결핍 결함영역에, 수정용 반투광막을 부분적으로 성막했을 때에 생긴 그 반투광막의 중첩 부분을 포함한 영역, 또는 상기 그레이 톤부에서 발생한 상기 차광부의 형성 재료 또는 이물질로 된 잉여결함을 포함한 영역을 제거해서 형성된 결핍 결함영역에, 수정용 반투광막을 부분적으로 성막했을 때에 생긴 그 반투광막의 중첩 부분을 포함한 영역이다.
(제4 형태)
상기 제1 또는 제2 형태에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 있어서, 상기 미세 패턴을 형성하는 공정은, 상기 그레이 톤부에 있어서의 결핍 결함으로 이루어진 피수정 영역에, 미세 패턴 형상으로 수정용 차광막을 형성하는 공정을 포함한다.
(제5 형태)
상기 제1 또는 제2 형태에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 있어서, 상기 미세 패턴을 형성하는 공정은, 상기 그레이 톤부에 있어서의 결핍 결함으로 이루어진 피수정 영역에, 수정용 차광막을 형성하는 공정과, 그 수정용 차광막을, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 미세 패턴 형상으로 가공하는 공정을 포함한다.
(제6 형태)
상기 제4 또는 제5 형태에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 있어서, 상기 수정용 차광막은, 상기 차광부의 형성 재료와 동일한 재료로 된다.
(제7 형태)
상기 제3 형태에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 있어서, 상기 미세 패턴을 형성하는 공정은, 상기 그레이 톤부의 피수정 영역에 있어서의 상기 반투광막의 중첩 부분을, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 미세 패턴 형상으로 가공하는 공정을 포함한다.
(제8 형태)
상기 제1 ~ 제3, 제6, 제7 형태의 결함 수정방법에 의한 수정 공정을 포함하는 그레이 톤 마스크의 제조 방법.
(제9 형태)
본 발명에 의하면, 노광광을 차광하는 차광부와, 노광광을 투과시키는 투광부와, 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 피전사체 위에 막 두께 가 단계적 또는 연속적으로 다른 레지스트 패턴을 형성하기 위한 그레이 톤 마스크로서, 상기 그레이 톤부가 반투광막으로 형성되고, 상기 그레이 톤부에, 결함이 수정된 피수정 영역을 가지고, 그 피수정 영역은, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 미세 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크가 제공된다.
(제10 형태)
상기 제9 형태에 의한 그레이 톤 마스크에 있어서, 상기 차광부가 차광막으로 형성되고, 상기 피수정 영역에는, 상기 차광막과 동일한 재료로 이루어진 막에 미세 패턴이 형성된 것.
(제11 형태)
차광부와, 투광부와, 마스크 사용시에 사용되는 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 상기 그레이 톤부는, 투명기판 위에, 반투광막이 형성되어 이루어진 반투막 부분과, 미세 패턴이 형성된 차광막으로 이루어진 차광 미세 패턴부를 가지는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
(제12 형태)
상기 제11 형태에 의한 그레이 톤 마스크에 있어서, 상기 차광 미세 패턴부의 패턴은, 동일 형상의 단위 패턴을 규칙적으로 배열한 것이다.
(제13 형태)
차광부와, 투광부와, 마스크 사용시에 사용되는 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 상기 그레이 톤부는, 투명기판 위에, 미세 패턴이 형성된 반투광막으로 이루어진 반투광 미세 패턴부를 가지는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
(제14 형태)
상기 제13 형태에 의한 그레이 톤 마스크에 있어서, 상기 그레이 톤부는, 투명기판 위에, 미세 패턴이 형성된 반투광막으로 이루어진 반투광 미세 패턴부와, 미세 패턴이 형성되지 않은 반투광막으로 이루어진 부분을 가지고, 상기 반투광 미세 패턴부의 막 두께는, 미세 패턴이 형성되지 않은 반투광막보다 크다.
(제15 형태)
상기 제14 형태에 의한 그레이 톤 마스크에 있어서, 상기 반투광 미세 패턴부에는, 반투광막이 적층된 부분을 가진다.
(제16 형태)
상기 제13 ~ 제15 중 어느 하나의 형태에 의한 그레이 톤 마스크에 있어서, 상기 반투광 미세 패턴부의 패턴은, 동일 형상의 단위 패턴을 규칙적으로 배열한 것이다.
[실시예]
이하, 본 발명의 몇 개의 실시예에 관하여 설명한다.
[제1 실시예] (도 4a, 도 4b, 도 5a ~ 도 5c)
도 4a, 도 4b는, 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제1 실시예를 나타내는 공정도다. 도 5a는, 도 4a, 도 4b의 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에 의해 수정된 그레이 톤 마스크를 나타낸다. 도 5b는 그레이 톤 마스크를 피전사체와 함께 나타내고, 도 5c는 도 5b에 나타낸 그레이 톤 마스크와는 다른 타입의 그레이 톤 마스크를 나타낸다.
도 5a ~ 도 5c에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)는, 예를 들면 액정표시장치(LCD)의 박막 트랜지스터(TFT)나 컬러필터, 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등을 제조하기 위해 사용된다. 간단히 말하면, 그레이 톤 마스크(10)는, 도 5b에 나타낸 바와 같이 피전사체(11) 위에, 막 두께가 단계적으로 다른 레지스트 패턴(12)을 형성하기 위해서 사용된다. 한편, 레지스트 패턴은 막 두께가 연속적으로 달라지도록 형성되는 경우도 있다. 또한 도 5b 중에서 부호 19A, 19B는, 피전사체(11)에 있어서 투광성 기판(16) 위에 적층된 막을 나타낸다.
그레이 톤 마스크(10)는, 구체적으로는, 상기 그레이 톤 마스크(10)의 사용시에 노광광을 차광(투과율이 대략 0％)하는 차광부(13)와, 노광광을 대략 100％ 투과시키는 투광부(14)와, 노광광의 투과율을 20 ~ 50％ 정도로 저감시키는 그레이 톤부(15)를 가진다. 그레이 톤부(15)는, 유리 기판 등의 투광성 기판(16) 위에, 광반투과성의 반투광막(17)이 형성되어 구성된다. 또한 차광부(13)는, 투광성 기판(16) 위에, 반투광막(17)과 차광성의 차광막(18)이 적층되어서 구성된다. 차광부(13)에는, 투광성 기판(16) 위에 반투광막(17), 차광막(18)이 순차적으로 형성되는 경우(도 5b)와, 투광성 기판(16) 위에 차광막(18), 반투광막(17)이 순차적으로 형성되는 경우(도 5c)가 있다.
반투광막(17)의 재료로는, 크롬화합물, MoSi, Si, W, Al을 들 수 있다. 이 중, 크롬화합물에는, 산화크롬(CrOx), 질화크롬(CrNx), 산질화크롬(CrOxN), 불화크롬(CrFx)이나, 이것들에 탄소나 수소를 포함한 것이 있다. 한편, 차광막(18)의 재료로는, Cr, Si, W, Al 등을 들 수 있다. 차광부(13)의 투과율은, 반투광막(17), 차광막(18)의 막 재질과 막 두께의 선정에 따라 설정된다. 또한 그레이 톤부(15)의 투과율은, 반투광막(17)의 막 재질과 막 두께의 선정에 따라 설정된다.
전술한 바와 같은 그레이 톤 마스크(10)를 사용했을 때에, 차광부(13)에서는 노광광이 투과하지 않고, 그레이 톤부(15)에서는 노광광이 저감된다. 그 결과, 피전사체(11) 위에 부착된 포토레지스트 막(포지티브형 포토레지스트 막)은, 차광부(13)에 대응하는 부분에서 막 두께가 두꺼워지고, 그레이 톤부(15)에 대응하는 부분에서 막 두께가 얇아지고, 투광부(14)에 대응하는 부분에서는 막이 없는 레지스트 패턴(12)이 된다(도 5b). 이 레지스트 패턴(12)에 있어서, 그레이 톤부(15)에 대응하는 부분에서 막 두께가 얇아지는 효과를 그레이 톤 효과라고 한다.
그리고, 레지스트 패턴(12) 중 포토레지스트 막이 없는 부분에서, 피전사체(11)에 있어서의 예를 들면 막(19A 및 19B)에 제1 에칭을 실시하는 것과 함께, 레지스트 패턴(12) 중 포토레지스트 막이 얇은 부분을 애싱 등에 의해 제거하고, 제거한 부분에서, 피전사체(11)에 있어서의 예를 들면 막(19B)에 제2 에칭을 실시한다. 이렇게 하여, 1장의 그레이 톤 마스크(10)를 사용해서 종래의 포토마스크 2장만큼의 공정이 실시되게 되어, 마스크 매수가 삭감된다.
그런데, 전술한 바와 같은 그레이 톤 마스크(10)의 그레이 톤부(15)에, 도 4a에 나타낸 바와 같은 결핍 결함(백결함)(20)이 발생한 경우의 결함 수정방법을, 이하에 설명한다.
그레이 톤 마스크(10)의 제조 후에 그레이 톤부(15)에 결핍 결함(20)이 발생한 경우에는, 우선, 이 결핍 결함(20)이 발생한 영역을 피수정 영역(21)으로서 특정한다(도 4a). 다음으로 이 피수정 영역(21)에, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록, 복수의 수정용 차광막(22)을 미세 패턴 형상으로 형성한다(도 4b).
수정용 차광막(22)은, 예를 들면 레이저 CVD장치 등에 의해, 성막 가능한 최소 사이즈로 스폿 형상으로 배치되어 형성된다. 이 경우, 스폿 형상으로 형성되는 수정용 차광막(22)의 형상이나 위치는, 엄밀성이 요구되지 않으므로, 레이저 CVD장치에 있어서의 엄격한 얼라인먼트 조작 등이 불필요해진다. 수정용 차광막(22)의 치수나 피치는, 미리 고정해서 실시되는 것이 바람직하다. 이에 따라 복수의 수정용 차광막(22) 중 2번째 이후를 형성할 때에, 엄밀한 얼라인먼트가 불필요해지고, 작업성이 향상된다.
한편, 이때, 미세 패턴형 수정막용 차광막은, 동일 형상의 단위 패턴이 규칙적으로 배열된 것이 바람직하고, 개개의 단위 패턴의 외주는, 그레이 톤부와 상기 차광부의 경계에 접하지 않는 것이 바람직하다. 이는, 그레이 톤부를 일정 범위의 투과율 범위 내로 하기 쉽기 때문이다.
또한 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 수정용 차광막(22)의 미세 패턴은, 아래와 같이 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 그 미세 패턴을 가지는 피수정 영역(21)의 투과율은, 그 레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분을 통해 얻어진 피전사체 위의 레지스트 패턴의 레지스트 잔막치(殘膜値)에 대해 ±15％ 이내, 더 나아가 ±10％ 이내의 잔막이 얻어지도록 설정되는 것이 바람직하다.
그레이 톤부(15)에 결핍 결함을 가지는 그레이 톤 마스크(10)는, 전술한 바와 같이 해서 결핍 결함이 수정된 피수정 영역(21)(도 5a)을 가진다. 따라서, 결핍 결함이 수정된 피수정 영역(21)은, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지고, 도 4b에 나타낸 바와 같은 미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 구비하는 것으로 되어 있다.
제1 실시예에 의한 그레이 톤 마스크는, 이상과 같이 구성된 것으로부터, 다음 효과 (1) ~ (3)을 가져온다.
(1) 그레이 톤 마스크(10)의 결함 수정방법에 의하면, 그레이 톤부(15)에 있어서 결핍 결함(20)이 발생한 피수정 영역(21)에, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 형성해서 결함을 수정한다. 이로써, 수정된 피수정 영역(21)은, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 투과율이 되고, 그레이 톤부(15)에 발생한 결핍 결함(20)을 적절히 수정할 수 있다.
(2) 그레이 톤부(15)에 있어서 결핍 결함(20)이 발생한 피수정 영역(21)에, 미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 형성함으로써 결핍 결함(20)을 수정한다. 이에 따라 예를 들면 결핍 결함(20)에 수정막을 매립할 경우 등에 생기는 얼라이먼트 등의 번잡한 작업이 불필요해지고, 단시간 또한 고정밀도로 결핍 결함(20)을 수정할 수 있다.
(3) 그레이 톤 마스크(10)는, 반투광막(17)으로 형성된 그레이 톤부(15)에, 결핍 결함(20)이 수정된 피수정 영역(21)을 가진다. 그리고, 수정된 피수정 영역(21)은, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 가진다. 따라서, 수정된 피수정 영역(21)이, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 투과율이 되므로, 그레이 톤부(15)에 발생한 결핍 결함(20)이 적절히 수정된 그레이 톤 마스크(10)를 제공할 수 있다.
[제2 실시예] (도 6a ~ 도 6c)
도 6a ~ 도 6c는, 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제2 실시예를 나타내는 공정도다. 이 제2 실시예에 있어서, 제1 실시예와 동일한 부분에는, 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략한다.
제2 실시예에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에서는, 그레이 톤 마스크(10)의 제조 후, 그레이 톤부(15)에 있어서 발생한 결핍 결함(20)의 영역을, 피수정 영역(21)으로서 특정한다(도 6a). 다음으로 이 피수정 영역(21)의 전체에, 예를 들면 레이저 CVD장치 등을 사용해서 수정용 차광막(23)을 성막한다(도 6B). 그 후에 이 수정용 차광막(23)을, 그레이 톤부(15)의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록, 예를 들면 레이저 리페어 장치 등을 사용해서 미세 패턴 형상으로 절제 가공한다(도 6C). 부호 23A는, 미세 패턴형 절제 가공부를 나타낸다.
한편, 레이저 리페어 장치 등에 의한 미세 패턴의 절제 가공도, 절제 부분의 치수 및 피치를 고정해서 실시하는 것이 바람직하다. 또한 수정용 차광막(23)에 형성된 미세 패턴을 가지는 피수정 영역(21)(수정된 피수정 영역)의 투과율도, 제1 실시예(미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 가지는 피수정 영역(21)의 투과율)와 동등한 범위가 되는 것이 바람직하다.
그레이 톤부(15)에 결핍 결함(20)을 갖는 도 6a에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)는, 전술한 바와 같이 해서 결핍 결함(20)이 수정된 피수정 영역(21)을 갖는 도 6c에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)가 된다. 수정된 피수정 영역(21)은, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지는 미세 패턴을 구비한다.
따라서, 제2 실시예에 있어서도, 상기 제1 실시예의 효과 (1) ~ (3)과 동등한 효과를 나타낸다.
[제3 실시예] (도 7a ~ 도 7d)
도 7a ~ 도 7d는, 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제3 실시예를 나타내는 공정도다. 이 제3 실시예에 있어서, 제1 실시예와 동일한 부분에는, 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략한다.
제3 실시예에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법은, 그레이 톤 마스크(10)의 그레이 톤부(15)에 있어서 발생한 차광부(13)를 형성하는 재료(특히 차광막(18)을 형성하는 재료) 혹은 이물질로 이루어진 잉여결함(흑결함)(24)(도 7a)을 대상으로 한다. 우선, 레이저 리페어 장치 등을 사용해서 잉여결함(흑결함)(24)을 포함한 영역을 제거해서 결핍 결함(25)을 형성하고, 형성한 결핍 결함(25)의 영역을 피수정 영역(26)으로서 특정한다(도 7b).
다음으로 이 피수정 영역(26) 전체에, 레이저 CVD장치 등을 사용해서 수정용 차광막(27)을 성막한다(도 7c). 그 후에 이 수정용 차광막(27)을, 그레이 톤부(15)의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록, 레이저 리페어 장치 등을 사용해서 미세 패턴 형상으로 절제 가공한다(도 7d). 부호 27A는, 미세 패턴형 절제 가공부를 나타낸다.
수정용 차광막(27)은, 전술한 수정용 차광막(22)과 마찬가지로, 차광부(13)의 차광막(18)과 동일한 재료를 사용해도 되고, 다른 재료를 사용해도 된다. 또한 반투광막으로는 상기 반투광막(17)과는 투과율이 다른, 또 다른 반투광막을 사용해도 된다. 또한 레이저 리페어 장치 등에 의한 미세 패턴의 절제 가공은, 절제 부분의 치수 및 피치를 미리 산정하고, 고정해서 실시하는 것이 바람직하다. 또한 수정용 차광막(27)에 형성된 미세 패턴을 가지는 피수정 영역(26)(수정된 피수정 영역)의 투과율도, 제1 실시예(미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 가지는 피수정 영역(21)의 투과율)와 동등한 범위가 되는 것이 바람직하다.
그레이 톤부(15)에 잉여결함(흑결함)(24)을 갖는 도 7a에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)는, 전술한 바와 같이 해서 잉여결함(24)이 수정된 피수정 영역(26)을 갖는 도 7d(도 5a)에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)가 된다. 수정된 피수정 영역(26)은, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지는 미세 패턴을 구비한다.
따라서, 제3 실시예에 있어서도, 상기 제1 실시예의 효과 (1) ~ (3)과 동등한 효과를 나타낸다.
[제4 실시예] (도 8a ~ 도 8c)
도 8a ~ 도 8c는, 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제4 실시예를 나타내는 공정도다. 이 제4 실시예에 있어서, 제1 실시예와 동일한 부분에는, 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략한다.
제4 실시예에 있어서의 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에서는, 우선, 그레이 톤 마스크(10)의 제조 후, 그레이 톤부(15)에 발생한 결핍 결함(20)의 영역(도 8a)에, 도 8b에 나타낸 바와 같이 수정용 반투광막(28)을 부분적으로 성막한다. 그리고, 수정용 반투광막(28)의 성막시에 발생한, 그레이 톤부(15)의 정상적인 그레이 톤 부분의 반투광막(17)(도 5b 또는 도 5c)과 수정용 반투광막(28)의 중첩 부분(29)을 포함한 영역을 피수정 영역(30)으로서 특정한다. 다음으로 상기 중첩 부분(29)을, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록, 레이저 리페어 장치 등을 사용해서 미세 패턴 형상으로 절제 가공한다(도 8c). 부호 29A는, 미세 패턴형 절제 가공부를 나타낸다.
한편, 레이저 리페어 장치 등에 의한 미세 패턴의 절제 가공은, 절제 부분의 치수 및 피치를 미리 산정하고, 고정해서 실시하는 것이 바람직하다. 또한 반투광막의 중첩 부분(29)에 형성되는 미세 패턴을 가지는 피수정 영역(30)의 투과율은, 제1 실시예(미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 가지는 피수정 영역(21)의 투과율)와 동등한 범위가 되는 것이 바람직하다.
그레이 톤부(15)에 결핍 결함(20)을 갖는 도 8a에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)는, 전술한 바와 같이 해서 결핍 결함(20)이 수정된 피수정 영역(30)을 갖는 도 8c(도 5a)에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)가 된다. 수정된 피수정 영역(30)은, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지는 미세 패턴을 가진다.
따라서, 제4 실시예에 있어서도, 상기 제1 실시예의 효과 (1) ~ (3)과 동등한 효과를 나타낸다.
[제5 실시예] (도 9a ~ 도 9e)
도 9a ~ 도 9e는, 본 발명에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법의 제5 실시예를 나타내는 공정도다. 이 제5 실시예에 있어서, 제3 실시예(도 7a ~ 도 7d)와 동일한 부분에는, 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략한다.
제5 실시예에 의한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법에서는, 우선, 제3 실시예와 같은 방법으로, 차광부(13)를 형성하는 재료(특히 차광막(18)을 형성하는 재료) 혹은 이물질로 이루어진 잉여결함(흑결함)(24)을 포함한 영역을, 레이저 리페어 장치 등을 사용해서 제거해서 결핍 결함(25)을 형성한다(도 9a, 도 9b). 계속해서, 이 결핍 결함(25)의 영역에 수정용 반투광막(31)을 성막한다. 그리고, 수정용 반투광막(31)의 성막시에 발생한, 그레이 톤부(15)의 정상적인 그레이 톤 부분의 반투광막(17)(도 5b 또는 도 5c)과 수정용 반투광막(31)의 중첩 부분(32)과, 더 잔류하는 결핍 결함(33)을 포함한 영역을 피수정 영역(34)으로서 특정한다(도 9c).
다음으로 결핍 결함(33)의 부분에, 예를 들면 레이저 CVD장치 등을 사용해서 수정용 차광막(35)을 성막한다(도 9d). 그리고, 이 수정용 차광막부분(35)과 상기 반투광막의 중첩 부분(32)을, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록, 각각 적합한 치수 및 피치를 적용하고, 레이저 리페어 장치 등을 사용해서 미세 패턴 형상으로 절제 가공한다(도 9e). 부호 32A는, 반투광막의 중첩 부분(32)에 설치된 미세 패턴형 절제 가공부를, 부호 35A는, 수정용 차광막(35)에 설치된 미세 패턴형 절제 가공부를 각각 나타낸다.
한편, 수정용 차광막(35)은, 차광부(13)의 차광막(18)과 동일한 재료로 해도 되고, 다른 재료를 사용해도 된다. 또한 수정용 반투광막을 사용해도 된다. 또한 레이저 리페어 장치 등에 의한 미세 패턴의 절제 가공은, 절제 부분의 치수 및 피치를 미리 산정하고, 각각의 막질에 알맞은 값을 고정해서 적용하는 것이 바람직하다. 즉, 반투광막의 중첩 부분(32) 및 수정용 차광막(35)에 형성되는 미세 패터닝을 가지는 피수정 영역(34)의 투과율은, 제1 실시예(미세 패턴형 수정용 차광막(22)을 가지는 피수정 영역(21)의 투과율)와 동등한 범위가 되는 것이 바람직하다.
그레이 톤부(15)에 잉여결함(24)을 갖는 도 9a에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)는, 전술한 바와 같이 해서 잉여결함(24)이 수정된 피수정 영역(34)을 갖는 도 9e(도 5a)에 나타내는 그레이 톤 마스크(10)가 된다. 수정된 피수정 영역(34)은, 그레이 톤부(15)에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지는 미세 패턴을 가진다.
따라서, 제5 실시예에 있어서도, 상기 제1 실시예의 효과 (1) ~ (3)과 같은 효과를 나타낸다.
이상, 본 발명을 몇 개의 실시예에 기초하여 설명했지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되지 않는다.
예를 들면 상기 각 실시예에서는 수정용 차광막(22, 23, 27 혹은 35), 또는 수정용 반투광막(28 혹은 31)의 성막을, 레이저 CVD장치를 사용해서 실시하고, 이들 수정용 막에 레이저 리페어 장치를 사용해서 미세 패턴을 절제 가공하는 경우에 관하여 설명했다. 그러나, 상기 수정용 차광막(22, 23, 27, 35), 또는 수정용 반투광막(28, 31)의 성막과, 이들 막의 절제 가공을, FIB(Focused Ion Beam) 장치를 사용해서 실시해도 된다.
즉, 도 10에 나타낸 바와 같이 FIB 장치(40)는, Ga+이온을 발생시키는 이온원(41)과, 전자광학계(42)와, Ga+이온을 중화하기 위한 전자를 방출하는 전자총(43)과, α가스(요오드 가스)를 방출시키는 에칭용 가스총(49)과, 피렌가스를 방출시키는 가스총(44)을 가지고 구성된다. 전자광학계(42)는, 이온원(41)으로부터 발생한 Ga+이온을 이온빔(47)으로 하는 것이다. 스캔 앰프(50)는, 피수정 대상물을 이온빔(47)으로 주사한다.
그리고, X-Y스테이지(45) 위에, 피수정 대상물인 그레이 톤 마스크(10)를 얹어놓고, X-Y스테이지(45)를 이동시킴으로써, 전술한 그레이 톤 마스크(10)의 피수정 영역(21)(26, 30, 34)을 이온빔 조사 영역으로 이동한다. 다음으로 피수정 영역(21)(26, 30, 34)을 이온빔(47)으로 주사하고, 이때에 발생하는 2차이온(Cr, Si) 을 검출하는 2차이온 검출기(48)의 작용으로, 피수정 영역(21)(26, 30, 34)의 위치를 검출한다. 이온빔(47)이 광학계(42)를 통해, 그레이 톤 마스크(10)의 피수정 영역(21)(26, 30, 34)에 조사됨으로써, 수정용 차광막(22)(23, 27, 35) 또는 수정용 반투광막(28)(31)의 성막이나, 미세 패턴의 절제 가공이 실시된다. 이때, 이온빔의 빔 지름은, 0.1μmφ 이하다.
수정용 차광막(22, 23, 27, 35) 또는 수정용 반투광막(28, 31)을 성막할 경우에는, 광학계(42)를 통해 이온빔(47)을 방출시키면서, 피렌가스를 가스총(44)으로 방출시킨다. 이에 따라 피렌가스가 이온빔(47)에 접촉해서 중합(화학반응)하고, 이온빔(47)의 조사 영역에, 수정용 차광막(22, 23, 27, 35) 또는 수정용 반투광막(28, 31)이 퇴적해서 성막된다.
또한 피수정 영역(21, 26, 30, 34)에 있어서 미세 패턴을 절제 가공할 경우에는, 에칭용 가스총(49)으로 α가스(요오드 가스)를 방출시키고, 이 상태에서 광학계(42)를 통해 이온빔(47)을 조사함으로써, 미세 패턴의 절제 가공이 실시되고, 그레이 톤 마스크(10)의 투광성 기판(16)에의 데미지가 완화된다.
본 발명의 상기 제1 ~ 제7 형태에 의하면, 그레이 톤부에 있어서 결함이 발생한 피수정 영역에, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 미세 패턴을 형성해서 결함을 수정함으로써, 수정된 피수정 영역은, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동 등한 투과율이 되므로, 그레이 톤부에 발생한 결함을 적절히 수정할 수 있다.
또한 그레이 톤부에 있어서 결함이 발생한 피수정 영역에, 미세 패턴을 형성하여 결함을 수정함으로써, 예를 들면 결핍 결함에 수정막을 매립할 경우 등에 일으키는 얼라인먼트 등의 번잡한 작업이 불필요해지고, 단시간에 또한 고정밀도로 상기 결함을 수정할 수 있다.
본 발명의 상기 제9 ~ 제16 형태에 의하면, 반투광막으로 형성된 그레이 톤부에, 결함이 수정된 피수정 영역을 가지고, 이 피수정 영역은, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 미세 패턴을 가진다. 따라서, 상기 피수정 영역이, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 투과율이 되므로, 그레이 톤부에 발생한 결함이 적절히 수정된 그레이 톤 마스크를 제공할 수 있다.
또한 그레이 톤부의 구성이 반투광막일 경우, 미세 패턴의 형성된 차광막일 경우, 혹은 미세 패턴의 형성된 반투광막일 경우가 포함되어 있어도, 동등한 그레이 톤 효과를 얻을 수 있고, 수율이 향상되는 등의 이점이 있다.
한편, 본 발명에서는, 미세 패턴에 의해 그레이 톤부의 국소적인 수정을 행할 수 있고, 수정된 부분의 광투과율은 미세 패턴의 치수나 형상에 따라 미리 결정할 수 있으므로, 그레이 톤부의 광투과율에는 자유도가 생기고, 피수정 부분에 차광막을 적용할 수도 있게 된다. 따라서, 반투광막을 국소적으로 성막할 경우에 비교하여, 막 두께 정밀도 등의 성막시의 제어가 용이해진다.

Claims (17)

  1. 노광광을 차광하는 차광부와, 노광광을 투과시키는 투광부와, 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 피전사체 위에 막 두께가 단계적 또는 연속적으로 다른 레지스트 패턴을 형성하기 위한 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법으로서,
    상기 그레이 톤부가 반투광막으로 형성되고,
    상기 그레이 톤부에 있어서 결함이 발생한 피수정 영역을 특정하는 공정과,
    상기 피수정 영역에, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 미세 패턴을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 피수정 영역은,
    상기 그레이 톤 마스크의 제조 후, 상기 그레이 톤부에서 발생한 결핍 결함영역,
    또는 상기 그레이 톤부에서 발생한 상기 차광부의 형성 재료 또는 이물질로 된 잉여결함을 포함한 영역을 제거해서 형성된 결핍 결함영역,
    혹은 상기 그레이 톤부에서 발생한 상기 차광부의 형성 재료 또는 이물질로 된 잉여결함을 포함한 영역을 제거해서 형성된 결핍 결함영역에, 수정용 반투광막을 부분적으로 성막한 후에 더 잔류하는 결핍 결함영역인 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 피수정 영역은,
    상기 그레이 톤 마스크의 제조 후, 상기 그레이 톤부에서 발생한 결핍 결함영역에, 수정용 반투광막을 부분적으로 성막했을 때에 생긴 그 반투광막의 중첩 부분을 포함한 영역,
    또는 상기 그레이 톤부에서 발생한 상기 차광부의 형성 재료 또는 이물질로 된 잉여결함을 포함한 영역을 제거해서 형성된 결핍 결함영역에, 수정용 반투광막을 부분적으로 성막했을 때에 생긴 상기 반투광막의 중첩 부분을 포함한 영역인 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 미세 패턴을 형성하는 공정은, 상기 그레이 톤부에 있어서의 결핍 결함으로 된 피수정 영역에, 미세 패턴 형상으로 수정용 차광막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 미세 패턴을 형성하는 공정은,
    상기 그레이 톤부에 있어서의 결핍 결함으로 이루어진 피수정 영역에, 수정용 차광막을 형성하는 공정과,
    그 수정용 차광막을, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 미세 패턴 형상으로 가공하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 수정용 차광막은, 상기 차광부의 형성 재료와 동일한 재료로 된 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 수정용 차광막은, 상기 차광부의 형성 재료와 동일한 재료로 된 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  8. 제 3항에 있어서,
    상기 미세 패턴을 형성하는 공정은,
    상기 그레이 톤부의 피수정 영역에 있어서의 상기 반투광막의 중첩 부분을, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 미세 패턴 형상으로 가공하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크의 결함 수정방법.
  9. 제 1항, 제2항, 제 3항, 제 6항, 제 7항 또는 제 8항 중 어느 한 항의 결함 수정방법에 의한 수정 공정을 포함하는 그레이 톤 마스크의 제조 방법.
  10. 노광광을 차광하는 차광부와, 노광광을 투과시키는 투광부와, 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 피전사체 위에 막 두께가 단계적 또는 연속적으로 다른 레지스트 패턴을 형성하기 위한 그레이 톤 마스크로서,
    상기 그레이 톤부가 반투광막으로 형성되고,
    상기 그레이 톤부에, 결함이 수정된 피수정 영역을 가지고,
    상기 피수정 영역은, 상기 그레이 톤부에 있어서의 정상적인 그레이 톤 부분과 동등한 그레이 톤 효과가 얻어지도록 하는 미세 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 차광부가 차광막으로 형성되고, 상기 피수정 영역에는, 상기 차광막과 동일한 재료로 이루어진 막에 미세 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
  12. 차광부와, 투광부와, 마스크 사용시에 사용되는 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 상기 그레이 톤부는, 투명기판 위에, 반투광막이 형성되어 이루어진 반투막 부분과, 미세 패턴이 형성된 차광막으로 이루어진 차광 미세 패턴부를 가지는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 차광 미세 패턴부의 패턴은, 동일 형상의 단위 패턴을 규칙적으로 배열한 것인 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
  14. 차광부와, 투광부와, 마스크 사용시에 사용되는 노광광의 투과량을 저감하는 그레이 톤부를 가지고, 상기 그레이 톤부는, 투명기판 위에, 미세 패턴이 형성된 반투광막으로 이루어진 반투광 미세 패턴부를 가지는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 그레이 톤부는, 투명기판 위에, 미세 패턴이 형성된 반투광막으로 이루어진 반투광 미세 패턴부와, 미세 패턴이 형성되지 않은 반투광막으로 이루어진 부분을 가지고, 상기 반투광 미세 패턴부의 막 두께는, 미세 패턴이 형성되지 않은 반투광막보다 큰 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 반투광 미세 패턴부에는, 반투광막이 적층된 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
  17. 제 14항 내지 제 16항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 반투광 미세 패턴부의 패턴은, 동일 형상의 단위 패턴을 규칙적으로 배열한 것인 것을 특징으로 하는 그레이 톤 마스크.
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