KR20070065843A

KR20070065843A - 진자 및 활주 게이트 진공 밸브

Info

Publication number: KR20070065843A
Application number: KR1020060131116A
Authority: KR
Inventors: 프리드리히 가이저
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2005-12-20
Filing date: 2006-12-20
Publication date: 2007-06-25
Also published as: JP2007170666A; KR101323311B1; JP5108292B2

Abstract

본 발명은 밸브에 관한 것으로서, 특히, 유로(F)를 가스 기밀하게 폐쇄하는 진자 또는 활주 게이트 밸브에 관한 것이다. 밸브는 제1개구(3)와 제1밸브 시트(4)를 가진 제1벽(2)이 있는 밸브 하우징(1)과, 제1밀봉 링(7)이 있는 폐쇄 측(6)을 가진 밸브 평판(5) 및, 1개 이상의 구동부(8)를 포함한다. 구동부(8)에 의해서, 상기 밸브 평판(5)은 제1밸브 시트(4)에 대해 근본적으로 평행하게 개방 위치(A)에서 피벗동작 또는 위치 이동하며 그리고, 밸브 평판(5)과 제1밸브 시트(4)사이에 수직 거리는 폐쇄 위치(C)에서 유로(F)가 제1밀봉 링(7)과 제1밸브 시트(4) 사이에서 축선방향 밀봉 접촉에 의해 가스 기밀하게 폐쇄되도록 감소될 수 있다. 밸브 평판(5)은, 제1밸브 시트(4)에 대해 수직인 방향으로 제1밀봉 링(7)을 고정하고 구동부(8)에 연결된 지지 파트(9)와, 내부 원주부 영역(11)을 갖고 제1밸브 시트(4)에 대해 수직하는 방향(Z)으로 지지 파트(9)와 상관하여 이동되게 장착된 밀봉 파트(10)를 포함한다. 내부 원주부 영역(11)은 내부 밀봉으로 가스 기밀 방식으로 제1밀봉 링(7)을 에워싼다. 따라서, 폐쇄 위치(C)에서, 밸브 평판(5)에서의 압력차가 밀봉 파트(10) 상에서 작용하여, 지지 파트(9)와 결합해제된 밀봉 파트(10)가 밸브 하우징(1)의 섹션 상에서, 특히 제1밸브 시트(4) 또는 측면 요홈(27)에서 수직적인 지지를 받는다.

활주 게이트 밸브, 진자 밸브, 밸브 평판, 밀봉 파트, 지지 파트, 밀봉 링.

Description

진자 및 활주 게이트 진공 밸브{PENDULUM AND SLIDE GATE VACUUM VALVE}

도1은 횡단면으로 중간 위치에 있는 제2밀봉 링을 가진 본 발명에 따르는 밸브를 나타낸 도면이다.

도2는 횡단면으로 중간 위치에 있는 풀무를 가진 본 발명에 따르는 밸브를 나타낸 도면이다.

도3은 도1과 도2를 상세하게 나타낸 제1밀봉 링을 갖지 않은 오목부를 나타낸 도면이다.

도4는 중간 위치와 개방 위치에 있는 본 발명에 따르는 밸브의 평면도이다.

도5a는 중간 위치에 있는 본 발명에 따르는 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도5b는 폐쇄 측에서 부족한 압력의 경우에서 폐쇄 위치에 있는 본 발명에 따르는 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도5c는 폐쇄 측 상에 과잉 압력의 경우에 폐쇄 위치에 있는 본 발명에 따르는 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도6a는 중간 위치에 있는 본 발명에 따르는 다른 실시예의 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도6b는 폐쇄 측에서 부족한 압력의 경우에서 폐쇄 위치에 있는 본 발명에 따 르는 다른 실시예의 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도6c는 폐쇄 측 상에 과잉 압력의 경우에 폐쇄 위치에 있는 본 발명에 따르는 다른 실시예의 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도7은 제1 변경 제1밀봉 링을 가진 본 발명에 따르는 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도8은 제2 변경 제1밀봉 링을 가진 본 발명에 따르는 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도9는 제3 변경 제1밀봉 링을 가진 본 발명에 따르는 밸브를 상세하게 나타낸 도면이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 밸브 하우징 1a: 밸브 하우징(내부 측면 요홈(27)을 함유)

2: 제1벽 3: 제1개구 4: 제1밸브 시트

5: 밸브 평판 6: 폐쇄 측 7: 제1밀봉 링

8: 구동부 9: 지지 파트 10: 밀봉 파트

11: 내부 원주부 영역 12: 전방 영역 13: 오목부

14: 언더컷 15: 스프링

17: 폐쇄 측(6)과 마주하는 측 18: 제1개구(3)의 중앙 축선

19: 제2벽 20: 제2개구 21: 제2밸브 시트

22: 외부 환형상 섹션 23: 외부 측면 칼라 24: 아암

25: 부족한 압력 26: 과잉 압력 27: 내부 측면 요홈

28: 제1측면 영역 29: 제2측면 영역 30: 내부 평판-형상 섹션

31: 풀무 32: 제2밀봉 링 33: 샤프트

34: 관통 홀 A: 개방 위치 B: 중간 위치

C: 폐쇄 위치 F: 유로(flow path) M: 중앙 구역

O: 외부 구역 Z: 제1밸브 시트(4)에 수직적인 방향

본 발명은 개구(開口) 위에 밸브 평판을 선회 또는 이동시키어 상기 개구 둘레에 밸브 시트에 상기 밸브 평판을 압축하여 유로(流路)를 완전한 가스 기밀하게 폐쇄하는 진공 밸브에 관한 것이다. 특히 진공 기술분야에서 사용되는 상기 밸브는, 특정적으로 진자 밸브 또는 활주 게이트 밸브로서 알려져 있는 것이다.

상술된 타입의 밸브는 종래 기술에서 다른 실시예로 알려져 있는 것이며, 특히, 가능한 오염 입자가 없는 보호 분위기에서 작업이 이루어져야만 하는 IC 그리고 반도체 제조 지역에서 사용된다. 진자 밸브는 예를 들어, 공정실과 진공 펌프사이에 가스 흐름을 제어하는 역할을 한다. 활주 게이트 밸브는 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 액정 기판을 제조하는 생산 설비의 제조실 간에 연결 통로에 설치된다. 상기 활주 게이트 밸브에 의해, 일 제조실에서 다음 제조실로 고 민감 반도체 또는 액정 소자를 전달하기 위해 연결 통로를 개방할 수 있고 그리고 각각의 제 조 단계가 실시되어진 후에는 가스 기밀하게 폐쇄할 수 있다.

진자 밸브의 경우에서는, 제1단계에서, 대체로 둥근 밸브 평판 또는 밸브 디스크가, 개구를 막지 않는 위치에서 중간 위치로 대체로 유사한 둥근 개구 위를 회전식으로 선회한다. 활주 게이트 밸브의 경우에서는, 상기 개구와 같이, 밸브 평판 또는 밸브 디스크가 일반적으로 직사각형이고 그리고 제1단계에서 상기 개구를 막지 않는 위치에서 개구를 덮는 중간 위치로 직선적으로 이동하게 된다. 이러한 중간 위치에서, 진자 또는 활주 게이트 밸브의 밸브 평판은 상기 개구를 둘러싸는 밸브 시트와 마주하는 위치에서 밸브 시트로부터 이격진 거리에 있다. 제2단계에서, 밸브 평판과 밸브 시트 사이에 거리는 밸브 평판과 밸브 시트가 다른 하나쪽으로 균일하게 가압되고 그리고 상기 개구가 근본적으로 가스 기밀하게 폐쇄되도록 감소된다. 이러한 제2이동은 밸브 시트에 대해 수직하는 방향으로 실시된다. 2개 단계에서 일어나는 폐쇄 공정의 결과로, 밸브 평판과 밸브 시트 사이에 있는 밀봉 링이, 제2단계에서의 밸브 평판의 이동이 기본적으로 밸브 시트에 대해 직선적으로 수직하여 발생함으로, 상기 밀봉 링을 파괴할 수 있는 임의적인 전단력을 거의 받지 않게된다.

종래 기술은, 개구 위에서 평행하게, 진자 밸브의 경우에 밸브 평판의 회전 운동 및 활주 게이트 밸브의 경우에 밸브 평판의 평행 운동과, 개구에 대해 수직적인 평행 운동과의 조합을 달성하는 다른 구동 시스템을 개시하였으며, 그 예로는 진자 밸브의 미국특허 6,089,537호(Olmsted)와 활주 게이트 밸브의 미국특허 6,416,037호(Geiser)가 있다.

밸브 시트 상에 밸브 평판을 가압하는 동작은, 전체 압력 영역 안에서 필요한 가스 기밀이 지켜지고 그리고 과도한 고압력을 가하여 특히 0-링 형태로 있는 밀봉 링과 같은 밀봉 매체에 손상이 가지 않게 하는 방식으로 실시되어야만 한다. 이러한 조건이 지켜지게 하기 위해서, 공지된 밸브는 압력 차가 2개 밸브 평판 사이를 능가하는 작용을 하는 밸브 평판의 제어 접촉압력 조절부를 제공한다. 특히, 부족한 압력(상대적 음압)으로부터 과잉 압력(상대적 양압)으로 또는, 그 역으로, 대형 압력 변화 또는 변경이 있는 경우에는, 밀봉 링의 전체 원주부를 따라서 이루어진 균일한 힘 분포가 항시 지켜질 수는 없다. 일반적으로, 상기 밸브에 가해진 압력으로 발생하는 지지 힘으로부터 상기 밀봉 링을 분리하려는 시도가 있어 왔다. 진공 밸브가 밀봉 링과 인접한 지지 링으로 구성된 밀봉 매체를 가지어서, 밀봉 링이 기본적으로 지지 힘으로부터 자유롭게 되는 구성을 미국특허 6,629,682호(Duelli)가 제안하였다.

필요한 가스 기밀성을 달성하기 위해서, 과잉 압력과 부족한 압력 양쪽용으로, 일부 공지된 진자 밸브 또는 활주 활주 게이트 밸브는 제2이동단계에 더하여 또는 선택적으로, 개구를 둘러싸고 밸브 평판에 대해 수직적으로 위치이동 하고 그리고 밸브의 가스 기밀한 폐쇄를 위해 밸브 평판에 가압되는 밸브 링을 제공하였다. 밸브 평판에 대해 능동적으로 위치 이동할 수 있는 밸브 링을 가진 그러한 밸브는 예를 들어 DE 1 264 191 B1, DE 34 47 008 C2, 미국특허 3,145,969호(von Zweck) 및DE 77 31 993 U에 기재되어 있다. 미국특허 5,577,707호(Brida)는 개구와 개구 위에서 평행하게 피벗운동하고 개구를 통해 흐르는 유량을 제어하는 역할 을 하는 밸브 하우징을 가진 진자 밸브를 개시하였다. 상기 개구를 둘러싸는 밸브 링은 복수의 스프링과 압축공기 실린더에 의하여 밸브 평판 쪽으로 수직적으로 활성적인 이동을 한다. 이러한 진자 밸브의 가능한 추가적인 개량은 미국 특허출원 2005/ 0067603A1(루카스 외)에 제시되어 있다.

미국특허 6,561,483호(나카가와)와 미국특허 6,561,484호(나카가와 외)는 2개로 분할된 밸브 평판을 함유한 다른 실시예에 진공 밸브를 개시하였다. 제1평판부는 개구를 갖는다. 제2평판부는 제1평판부에 연장체에 의해 연결된다. 2개 평판부가 서로를 향하는 방향으로 이격지게 이동할 수 있도록 제1 및 제2평판부 사이에 작동기가 설치된다. 상기 연장체는 풀무(bellows) 형태로 있다. 제1평판부는 작동기에 의해 밸브 시트에 대항하여 압축되고, 상기 제2평판부는 -특히 밸브 시트 측에서 과잉 압력인 경우- 밸브 하우징의 반대편 측에서 선택적으로 지지를 받는다. 상술된 진공 밸브의 설계는 특정적으로 제2평판부로부터 그리고 밸브 시트로부터 제1평판부를 밀봉하기 위해 풀무 또는 복수의 대형 밀봉 링을 사용할 필요가 있기 때문에 상당히 복잡하고 그리고 유지하는데 불리하며 쉽게 손상 당할 수 있는 것이다.

밸브 링을 가진 공지된 밸브를 가스 기밀하게 밀봉하기 위해서는 밸브 평판의 외부 영역에서, 특히 0-링 또는 추가 풀무에서 적어도 2개 밀봉 링이 필요하게 된다. 밸브 링, 특히, 밸브 평판과 밸브 링 또는 반대편 밸브 시트 사이에 배치된 축선방향 밀봉 링과, 이동 영역을 따라서 밸브 하우징과 밸브 링 사이에 가스 기밀한 밀봉을 지키는 -특히, 밸브 하우징의 개구의 엣지와 밸브 링과의 사이에 배치된 외적 밀봉 링- 반경방향 밀봉 링을 가진 밸브의 경우에 필요하게 된다. 밸브 평판의 외부 영역에서 대형 직경을 가진 밀봉 링은 손상 받기가 매우 쉬운 마모 부품이기 때문에, 복수개의 대형 밀봉 링의 사용은 결함인 것이다.

능동적으로 조정가능한 밸브 링을 가진 상기 밸브의 다른 결함은 밸브가 상당히 복잡하고 대형 부피로 설계되고, 접촉 압력의 복잡한 제어가 필요하며 그리고, 밸브의 관리 및 청소를 곤란하게 하는 유체 채널 내에 복수개의 가동 부품이 있는 것이다.

특히, 장길이 생산 플랜트에서 진공 펌프와 공정실 사이에 진자 밸브 및 활주 게이트 밸브를 사용하는 분야이기 때문에, 개구에서 개구까지의 거리에 대한 밸브의 설계를 가능한 납작하게 수평으로 하는 것이, 예를 들면, 부품 또는 가스의 이동로와 전체 내부 가스 용량을 가능한 작게 유지하기 위해서 그리고 생산 플랜트의 개별 성분을 가능한 함께 인접하게 배열하여 생산 플랜트의 조밀한 설계를 가능하게 하기 위해서, 필요하다. 능동적 조정식 밸브 링 또는 밸브 평판부를 가진 특정 밸브에서는 이러한 필요가 수 많은 것을 적용하기에는 충분하지 않은 정도로만 부합한다.

본 발명의 목적은 상술된 문제를 해결하고, 심플하고 콤팩트한 디자인으로 이루어지고, 용이하게 고압 로드 -양측부 상에 선택적으로 작용하는- 를 유지하고 견딜 수 있는 상술된 타입의 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 본원에 기재된 특징적인 기술구성에 의해 달성된다. 선택 적인 또는 유익한 방식으로 본 발명이 부가 개량시킨 특징에 대해서도 본원에 추가 기재한다.

유로를 완전하게 가스 기밀하게 폐쇄하는 본 발명에 따르는 밸브는, 제1개구를 둘러싼 제1밸브 시트와 유로용 제1개구를 가진 제1벽이 있는 밸브 하우징을 구비한다. 제1개구는 예를 들어, 원형 횡단면 또는 둥근 모서리를 가진 직사각형 횡단면으로 이루어진다. 제1개구의 중앙축선은 예를 들어, 개구의 길이방향 통로에 의해, 개구 상에 배치된 연결부 통로에 의해, 제2개구와의 연결 라인에 의해, 또는 밸브 시트의 영역에 의해 형성된다. 밸브 시트는, 일반적인 기능을 나타내는 표현으로서, 벽에서 밀봉 영역 또는 지지 영역으로 동작하는 부분을 의미하는 것으로 이해하고, 그 위에 밀봉 영역 또는 지지 영역으로 동작하는 추가 영역이 위치할 수 있다. 또한, 밸브 하우징도 상기 벽에 의해 형성된다. 유로는 개구와 밸브를 통해 기체 또는 액체 매체가 균일하게, 폐색성으로 흐르는 유체통로이다.

또한, 밸브는 제1개구를 다시 개방 및 폐쇄할 수 있는 밸브 평판을 함유한다. 상기 밸브 평판 용어는 밸브 디스크 용어와 동일한 개념으로 이해하여야 한다. 밸브 평판은, 제1밸브 시트에 대응하고 가스 기밀하게 접촉 할 수 있는 제1밀봉 링이 배치된 1개 이상의 폐쇄 측을 갖는다. 제1밀봉 링은 특히, 유황처리와 같은 수단에 의한 접착력에 의한 폐쇄에 의해, 임의 적인 다른 적절한 접착-결합 조인트에 의해, 오목부와 같은 폐쇄 형태에 의해, 또는 강제방식 폐쇄에 의해, 폐쇄 측의 엣지 구역에 고정된다. 제1밀봉 링은 예를 들어 원형 횡단면을 가진 0-링 형태, 또는 다양한 종류의 횡단면, 예를 들면, 타원형, 정사각형, 다각형, 클럽 형상 또는 말굽형으로 이루어진 다른 적절한 밀봉 링의 형태로 이루어진다. 폐쇄 평판은 예를 들어 둥근 또는 직사각형 횡단면으로 이루어진다. 폐쇄 측의 치수는 제1개구와 겹치거나 그 위에 위치하여 제1개구를 폐쇄할 수 있는 크기이다.

상기 밸브는, 제1개구의 횡단면 위에 제1밸브 시트와 평행하게 선회 또는 이동되어 유로를 막지 않는 개방 위치에서 중간 위치으로 -그리고, 역으로- 전해지는 밸브 평판을 구동하는 1개 이상의 구동부를 갖는다. 이러한 중간 위치에서, 밸브 평판의 폐쇄 측은, 접촉부로부터 이격지거나 완만한 접촉을 이루게 하는 거리인, 제1밸브 시트와 마주하는 위치에 있다. 만일, 밸브가 진자 밸브이면, 상기 구동부는 밸브 평판이 개구 축선에 대해 특정적으로 평행하게 있는 조정 축선에 대하여 제1개구의 횡단면 위로 평행하게 회전식으로 피벗운동 할 수 있는 방식으로 형성되고 반면에, 활주 게이트 밸브인 경우에 구동부는 제1개구의 횡단면 위로 직선적으로 위치 이동하는 형태로 병진운동식으로 평행하게 밸브 평판을 이동한다. 특정적으로 결합된 운동에서, 중간 위치에 밸브 평판을 위치설정하기 위한 변형은 종래 기술에서 알려진 것으로서, 마찬가지로 가능한 것이다.

구동부에 의하거나 또는 추가 구동부에 의해서, 중간 위치에서 출발하는, 제1밸브 시트와 밸브 평판과의 사이에 수직 거리가 감소되어, 폐쇄 위치에서, 유로가 제1밀봉 링과 제1밸브 시트와의 사이에 축선방향 밀봉 접착에 의해 완전한 가스 기밀상태로 폐쇄된다. 이러한 사실은 특히, 밸브 시트에서 폐쇄 측을 갖는 밸브 평판의 수직 이동에 의해 초래된다. 제1밀봉 링이 밸브 시트에서 압축될 때에 전단력을 피하기 위해서는, 상기 운동이 밸브 시트에 대해 가능한 직선적 및 수직적인 방향으로 실시되어야 한다. 피벗운동에 의한 압축 동작도 가능하며, 상기 피벗 축선은 밸브 평판 상에 준(quasi)-직선 운동이 압축 동작 중에 발생하도록 개구로부터 이격져 있다. 선택적으로 또는 부가적으로, 밸브 평판의 폐쇄 측을 향하는 방향으로 밸브 시트를 이동하여 제1밸브 시트와 밸브 평판과의 사이에 거리를 감소시킬 수 있다. 이러한 실시예에서는, 밸브 시트에 대해 수직적으로 있는 밸브 평판의 운동이 생략된다. 상술된 적어도 2단계 운동을 달성하기 위한 다른 구동부 변경에 대해서는 종래 기술에서 알려진 것이기에 더 이상 설명하지 않는다. 또한, 평행 운동에서 수직 운동으로, 및/또는 그 역으로, 약하게 하여 2개 운동을 결합할 수도 있다. 이러한 경우, 중간 위치는 밸브 평판의 평행운동이 정지할 때에 또는 전단력이 제1밀봉 링이 밸브 시트에 압축될 때에 발생하지 않게 작을 때에 도달하게 된다.

구동부로의 밸브 평판의 운동학적인 연결은 예를 들어 아암 또는 커넥팅 로드와 같은 수단으로 실시된다.

반경 축선방향과 밀봉 효과가 본 발명에서 밸브 평판과 관련하여 기재되었지만, 이러한 사실은 해당 부분을 구비하는 밸브 평판 또는 개구의 원형 횡단면 만이 아니라, 예를 들어, 다른 직사각형 횡단면에도 관련된 것이다. 다른 횡단면인 경우에, 반경(radial)은 내측에서 외측으로 향하는 방향을 의미하는 것으로 이해하며, 반대로, 전방면에 대해 평행, 평판 또는 디스크의 평면 또는 밸브 시트의 평면, 및 축선은 수직하는 방향을 의미하는 것으로 이해되어야 한다.

본 발명에 따라서, 밸브 평판은 적어도 2개 부분으로, 즉 지지 파트와 밀봉 파트로 나누어진다.

지지 파트는 구동부와 결합하고 그리고 수직방향으로 제1밀봉 링을 제1밸브 시트에 고정하여 상기 제1밀봉 링이 밸브 평판이 밸브 시트에 압축될 때 또는, 그 역으로 될 때에 2개 부분 사이에서 수직적으로 축선방향 밀봉방식으로 제공되며, 그리고 나머지는 연결을 해제할 때에 밸브 평판과 함께 동작한다. 밸브의 폐쇄 위치에서, 지지 파트는 특별하게, 제1밸브 시트와 완전히 평행하게 있는 전방 영역을 갖는다.

상기 밀봉 파트는 개구 축선에 대해 완전하게 평행하고 제1밸브 시트에 대해 완전하게 수직인 방향으로 지지 파트와 상관하여 동작하도록 지지 파트에 가동식으로 장착되어서, 개구 축선의 방향으로 임의 운동 범위 내에서 지지 파트와 결합 해제된다. 밀봉 파트는 밸브 개방 중앙 축선에 특히 인접하여 있는 중앙 구역에서 지지 파트에 가스 기밀한 방식으로 연결된다.

밀봉 파트는 밸브 평판의 외부 구역에 내부방향-대면 내부 원주부 영역을 갖는다. 내부 원주부 영역은 반경방향 밀봉 접착에 의해 또는 내부 밀봉부와 완전하게 가스 기밀한 지지 파트의 제1밀봉 링을 에워싼다. 따라서, 제1밀봉 링은 2개 밀봉 기능을 수행한다. 첫째, 밸브의 폐쇄 위치에서 축선방향으로 제1밀봉 링과 제1밸브 시트 사이에 연결부를 밀봉한다. 둘째, 반경방향으로 밀봉 파트와 제1밀봉 링과의 사이에 연결부를 밀봉한다. 단일 밀봉 링이 2개 밀봉 링의 기능을 수행하는 상기 기술내용은 밸브의 유지능력과 복잡한 설계의 면에서 상당히 유익한 것이다.

상기 지지 파트와 상기 밀봉 파트는 함께 완전한 가스 기밀 밸브 평판을 형성하며, 상기 가스 기밀은 특히, 첫째, 제1밀봉 링과 밀봉 파트 사이에 가스 기밀한 연결에 의해, 둘째, 중앙 구역에 지지 파트에 가스 기밀한 연결부와 제1밀봉 링과의 사이에 섹션에 밀봉 파트를 가스-기밀하게 하여, 세째, 예를 들어 제2밀봉 링 또는 1개 이상의 풀무에 의한 지지 파트의 중앙 구역과 밀봉 파트와의 사이에 연결을 가스 기밀하게 하는 방식으로, 그리고 네째, 중앙 구역에 지지 파트를 가스-기밀하게 하여 이루어진다.

본 발명의 실시예에서, 지지 파트는 폐쇄 측 상에서, 오목부를 내부 원주부 구역을 에워싼 엣지 구역에서 가지며, 상기 오목부는 외부 둘레로 이어지고, 제1밀봉 링을 보유하고 그리고 제1밸브 시트에 대해 수직하는 방향으로 제1밀봉 링을 고정하는 언더컷을 갖는다. 상기 언더컷은 형상 포위체(form closure)에 의해서 밸브 시트에 대해 수직하여 있는 지지 파트 상에서 제1밀봉 링의 고정이 지켜지게 한다. 추가적으로, 예를 들어 가황에 의한 접착력으로 지지 파트와 제1밀봉 링과의 사이에 강력한 연결부를 생성할 수 있다. 본 발명의 다른 예에서, 제1밀봉 링은 예를 들어, 가황에 의한 접착력에 의해 지지 파트의 폐쇄 측의 엣지 구역에 고정된다. 부가적으로 또는 선택적으로, 강제 포위체(force closure)에 의해 제1밀봉 링을 고정할 수도 있다.

지지 파트는 특징적으로, 제1밀봉 링을 지지하는 기능과, 일정한 힘으로 밸브의 폐쇄 위치에서의 제1밸브 시트 위로 제1밀봉 링을 압축하는 기능 및, 밀봉 파트를 가동식으로 지지하는 기능을 갖는다.

폐쇄 위치에서, 밸브 평판에서의 압력차가 밀봉 파트 상에서 작용하고, 그리고 밀봉 파트는 밸브 하우징에 있는 지지 파트에서 결합해제 하는 방식으로 수직적으로 지지를 받고 있다. 따라서, 상대적으로 부족한 압력(상대적 음압)이 폐쇄 측 상에서 작용하고 그리고 상대적 과잉 압력(상대적 양압)은 밀봉 파트 상에서 밸브 평판의 반대편 측에서 작용하여, 상기 지지부로부터 밀봉 파트의 수직방향으로 결합해제를 초래한다. 따라서, 상기 밀봉 파트는 수직적으로 지지되고 그리고, 밸브 하우징 섹션 상에서, 특히 제1벽, 특정적으론 제1밸브 시트 상에서, 그리고/또는 밸브 하우징의 요홈에 있는, 예를 들어, 밸브 하우징에 형성된 요홈과 결합하는 칼라 또는 지지 프레임에 의해, 지지 파트에서 결합해제되는 방식으로 있다.

2개 평판 부분의 이러한 결합해제 동작은 밀봉 행위, 최대 로드 캐퍼서티, 디자인, 치수 및 밸브의 마모에 유익한 것이다. 압력차를 가지어서, 임의 적인 힘이 제1밀봉 링을 가진 지지 파트 상에서 거의 작용하지 않기 때문에, 밸브 하우징에서 지지되는 결합해제된 밀봉 파트에서만 아니라, 구동부에 결합된 지지 파트도 대형 압력차인 경우에 로드 전달 기능을 거의 실시하지 않고 주로 제1밸브 시트 상에 제1밀봉 링의 일정한 압력을 달성하는 기능을 실시한다. 따라서, 제1밀봉 링과 밸브 평판의 구동부는 밸브 평판에서 작용하는 압력을 경감한다. 상기 밸브에 보급된 압력차의 기능으로 조절되는 밸브 평판의 일정한 압력 조절은, 접촉 압력이 축선방향 밀봉을 달성하는데 필요한 밀봉력에만 대응할 필요가 있으므로 생략된다.

본 발명의 부가적인 개발에서, 밸브 평판은 적어도 1개 스프링인 탄성수단을 함유하고, 상기 탄성수단은 상기 방식으로 배치되어, 밀봉 파트가 제1밸브 시트와 폐쇄 측의 방향으로 개시 위치에서 운동 범위 내에서 밀봉 파트를 압축하는 방식으로 밀봉 파트와 지지 파트와의 사이에서 동작하며, 그리고 밸브에서와 동일한 상대적 압력으로 폐쇄 위치에서, 밸브 하우징 상에서, 특히 요홈의 측면 또는 제1밸브 시트 상에서 직접 또는 간접적으로 위치한다. 만일, 폐쇄 측 상에서 동일한 압력 상태로부터 부족한 압력 또는 과잉 압력으로 변한다면, 밸브 하우징 상에 이미 위치한 밀봉 파트가 이동없이 남아 있어서, 과잉 기계적 로드가 피해지게 된다.

추가의 다른 실시예에서, 상기 밸브 하우징은 추가하여, 평행한 반대측 위치에서 제1벽과 제1개구에 대해 이격진 거리와, 유로용 제2개구를 가진 제2벽 및 제2개구를 둘러싼 제2밸브 시트를 구비한다. 밸브 평판은 제1개구와 제2개구 사이에서 피벗동작 또는 위치이동 하며, 중간 위치와 폐쇄 위치에서, 상기 밸브 평판은 제1개구와 제2개구와의 사이에서 피벗되거나 위치이동 한다. 제1개구의 개폐동작과 밸브 평판의 구동은 상술한 바와 같이 실시된다. 밸브 폐쇄 위치에서, 제2개구는 폐쇄 측과 마주하고 있는 밸브 평판의 측부 상에 주어진다. 이러한 실시예에서, 상기 밀봉 파트는, 밸브 평판의 폐쇄 측 상에 과잉 압력을 갖는 폐쇄 위치에서, 밀봉 파트가 제2밸브 시트 상에서 지지 파트와 결합해제되는 수직적으로 지지를 받는 방식으로 형성된다. 이러한 목적으로 또는 일반적으로, 밀봉 파트는 예를 들어 외부 환형상 섹션과 내부 평판형 섹션을 갖는다. 상기 외부 환형상 섹션은 적어도 부분적으로 지지 파트와, 제1밀봉 링과 내부 평판형 섹션을 에워싼다. 특정적으로 중공-원통형으로 있는 외부 환형상 섹션은 공축선적으로 제1밸브 시트와 제2밸브 시트와의 사이에서 수직적으로 있는 제1개구의 중앙 축선에 대해 공축선으 로 평행하게 연장 형성된다. 외부 환형상 섹션에 의해, 제2밸브 시트 상에서의 지지가 과잉 압력의 경우에 발생한다. 결과적으로, 폐쇄 위치에서, 밀봉 파트의 가능한 상대적인 운동 범위는, 제1밸브 시트 상에 환형상 섹션의 전방 영역의 지지에 의해 밸브 평판의 일 측에서 제한을 받고 그리고 제2밸브 시트 상에 환형상 섹션의 후방 영역의 지지에 의해 밸브 평판의 다른 측에서 제한을 받는다. 이러한 결과로, 밸브는 양 측 상에서 높은 로드 캐퍼서티를 갖는다. 부족한 압력에서 과잉 압력으로의 변이(transition) 및 그 역의 변이는 그 작용을 받는 제1밸브 시트 상에서 제1밀봉 링을 가진 지지 파트의 접촉 압력 없이 밀봉 파트의 지지 영역의 변화를 초래한다. 따라서, 본 발명에 따르는 밸브는 상당한 구동부의 로딩 또는 밀봉 영역의 로딩 없이 양측부 상에 높은 로드 캐퍼서티를 갖는다.

내부 평판형 섹션은 지지 파트의 중앙 구역과 외부 환형상 섹션과의 사이에서, 가스 및/또는 유체가 통과할 수 있는 관통 홀을 가지지 않는 가스 기밀한 방식으로 반경방향으로 연장 형성되고 그리고, 중앙 구역에 있는 지지 파트에 가스 기밀한 방식으로 연결된다.

밀봉 파트는 적어도 1개 제2밀봉 링 및/또는 적어도 1개 풀무에 의해 중앙 구역에서 지지 파트에 가스 기밀한 방식으로 연결된다. 임의적인 다른 종류의 가스 기밀과 특히, 지지 파트와 밀봉 파트와의 사이에서의 이동을 허용하는 가요성 연결을 할 수 있다.

다른 부가의 실시예에서, 상기 지지 파트는 폐쇄 위치에 있는 제1개구의 중앙 축선에 인접하여 위치한 중앙 구역에 폐쇄 측과 마주하는 측 상에, 샤프트, 특 히 원통형 샤프트를 갖는다. 상기 샤프트는 상기 구동부에 연결된다. 제2밀봉 링은 반경방향 밀봉 접착에 의한 가스 기밀 방식으로 샤프트를 에워싼다.

밀봉 파트를 지지하는 유사한 작용이 또한 밸브 하우징에 있는 내부 측면 요홈에 의해 달성되며, 상기 요홈은 밀봉 파트 상에 배치된 적어도 밀봉 파트의 일부 섹션, 특히 적어도 1개 외부 측면 칼라가 폐쇄 위치에서, 특히 중간 위치에서, 측면 요홈 안으로 돌출하는 방식으로 형성 및 배치되며, 그리고 상기 밸브 평판에서 압력차가 있는 경우에는, 밀봉 파트가 측면 요홈의 측면 영역 상에서 -특히 선택적으로 양쪽이 마주하는 측면 영역- 밸브 하우징 상에 지지를 받는다. 물론, 밀봉 파트를 밸브 하우징 위에서 지지하기 위한 추후 개발이 가능하다.

본 발명에 따르는 밸브를 도면에 개략적으로 도시된 특정 작업 예들을 참조하여 아래에서 더 자세하게 설명하며, 본 발명의 다른 잇점들 또한 논의된다. 어떤 경우에서는, 이미 위에서 설명된 도면의 참조번호가 개별 도면의 설명에 사용되며 개별적인 도면들이 서로 관계하여 설명된다.

도1은 진자 밸브의 형태로 본 발명에 따르는 밸브의 실시 가능한 예를 나타낸 도면이다. 제1벽(2)과 제2벽(19)인, 일정한 이격 거리로 서로 마주하고 있는 2개 벽을 가진 밸브 하우징(1)에, 제1개구(3)와 제2개구(20)인, 둥근 횡단면을 가지고 서로 마주하고 있는 2개 개구가 형성된다. 상기 개구는 가스 또는 유체를 밸브 통해 인도하는 유로(F)를 형성한다. 상기 2개 개구(3, 20)는 제1개구(3)의 중앙 축선(18)인, 공통 개구 축선을 갖는다. 제1개구(3)를 둘러싸고 납작하게 수평으로 형성된 제1밸브 시트(4)는, 제1벽(2)의 영역을 형성하고 그리고 중앙 축선(18)이 수직적으로 지나가는 평면을 가진 면을 통해서 제1벽(2)의 내부 영역 상에 형성된다. 또한, 제2밸브 시트(21)는 제1밸브 시트(4)와 평행하게 제2벽(19)의 내부 영역 상에 설치된다. 아암(23)에 의해 밸브 평판(5)에 연결된 구동부(8)는 밸브 하우징(1) 상에 정렬 배치된다. 밸브 평판(5)은 도4에서 쇄선으로 나타낸 바와 같이 개방 위치(A)와 중간 위치(B)와의 사이에서 구동부(8)에 의해 피벗 동작하며, 유사하게 도4 및 도1과 도2에서 벽(2, 19)과 밸브 시트(4, 21)에 평행하게 있다. 개방 위치(A)에서, 제1개구(3)를 덮을 수 있는 횡단면을 가진 밸브 평판(5)은 유로(F)를 개방하고 그리고 상기 밸브가 완전하게 또는 다른 실시예에서 부분적으로, 개방된다. 도1에 도시한 바와 같이 중간 위치(B)에서, 밸브 평판(5)은 제1개구(3)를 덮고, 따라서 제1개구(3)와 제2개구(20) 사이에 있으며, 상기 밸브 평판(5)에는 제1밸브 시트(4)와 마주하는 폐쇄 측(6)이 일정거리 이격되어 설치된다.

상기 밸브 평판(5)은 2개 섹션, 즉 지지 파트(9)와 밀봉 파트(10)로 분할된다. 상기 지지 파트(9)는 제1개구(3)의 중앙 축선(18)에 근접하여 위치한 중앙 구역에 폐쇄 측(6)과 마주하는 측(17) 상에서, 아암(23)에 지지 파트(9)를 연결한 원통형 샤프트(33)를 구비하고, 상기 아암은 구동부(8)에 연결된다. 샤프트(33)는 복수개의 관통 홀(34)을 가진, 지지 파트(9)의 디스크-형상 섹션에 인접하여 있어서, 가스가 지지 파트(9)의 디스크-형상 섹션을 통해 지나갈 수 있다. 디스크-형상 섹션, 샤프트(33) 및 아암(23)이 단일체로서 도시되었을 지라도, 상기 부분들은 서로 연결된 다수 피스로 분할될 수 있는 것이다. 디스크-형상 섹션은 관통 홀(34)을 가지고 폐쇄 측(6) 상에 제1밸브 시트(4)와 평행하게 있는 전방 영역(12)을 가진 둥근 디스크 형태로 이루어진 것이다. 지지 파트(9)의 디스크-형상 섹션은 도1과 도5a에 도시한 바와 같이, 원형 횡단면을 가진 0-링 형태의 전체가 둥근 제1밀봉 링(7)이 설치되고 외측부 주위로 이어진 오목부(13)를 엣지 구역에 있는 폐쇄 측(6) 상에서 구비한다. 설명을 위해, 상기 오목부(13)는 도2에서 제1밀봉 링(7) 없이 나타내었다. 제1밀봉 링(7)은 도3에 도시한 바와 같이 오목부(13)에서 제1밀봉 링(7)을 유지하는 언더컷(14)을 형성하여서 중앙 축선(18)에 대해 평행하거나 또는 제1밸브 시트(4)에 대해 수직하는 방향으로 지지 파트(9) 상에 고정된다. 따라서, 제1밀봉 링(7)은 언더컷(14)에 의해 초래되는 형상 포위체에 의해 유지된다. 상기 오목부(13)는 밀봉 파트(10)의 내부 원주부 영역(11)에 의해 반경 외부방향으로 경계를 이루어서, 내부 원주부 영역(11)이 외부 밀봉을 하는 가스 기밀한 방식으로 제1밀봉 링을 에워싼다. 밀봉 파트(10)는 제1밸브 시트(4)에 대해 수직적인 방향(Z)으로 지지 파트(9)에 대해 운동하도록 지지 파트(9) 상에 가동식으로 장착된다. 지지 파트(9)와 협력동작하는 아암(23)과 밀봉 파트(10)와의 사이에 복수개의 스프링(15)은, 중간 위치(B)에 있는 밸브 평판(5)을 나타낸, 도5a에서 상세 도시한 바와 같이, 제1밸브 시트(4)를 향하여 수직 방향으로 개시 단계에서 밀봉 파트(10)가 압축되게 한다.

밀봉 파트(10)는 외부 환형상 섹션(22)과 내부 평판-형상 섹션(30)을 구비한다. 외부 환형상 섹션(22)은 가스 기밀 방식으로 내부 원주부 영역(11)에 의해 제1밀봉 링(7)을 에워싸서 지지 파트(9)를 둘러싼다. 환형상 섹션(22)은 중공-원통 형 모양을 갖고 그리고 제1밸브 시트(4)와 제2밸브 시트(21) 사이에서 수직적으로 연장 형성된다. 내부 평판-형상 섹션(30)은 반경방향으로 연장 형성되고 그리고 지지 파트(9)의 샤프트(33)와 외부 환형상 섹션(22)과의 사이에 이러한 영역에서는 가스의 삼투성이 없다. 내부 평판-형상 섹션(30)은 도1에 도시한 바와 같이 요홈에 배치되고 가스 기밀 방식으로 샤프트(33)를 둘러싸는 제2밀봉 링(32)에 의해 중앙 구역(M)에서 지지 파트(9)의 샤프트(33)에 가스 기밀 방식으로 연결된다. 부가 실시예에서, 이러한 연결은 도2에 도시한 바와 같이, 중앙 구역(M)에서 지지 파트(9)와 밀봉 파트(10)와의 사이에 배치된 가스 기밀한 가요성 풀무(31)에 의해 달성된다.

밸브를 폐쇄하기 위해서, 밸브 평판(5)은 제1밸브 시트(4)를 향하는 방향으로 중간 위치(B)로부터 구동부(8)에 의해 이동되고, 밸브 평판(5)과 제1밸브 시트(4)와의 사이에 수직거리는 제1밸브 시트(4)에 제1밀봉 링(7)이 압축되는 방식으로 감소되어 제1밀봉 링(7)과 제1밸브 시트(4) 사이에 축선방향 밀봉 접촉을 초래한다. 밀봉 파트(10)가 제2밀봉 링(32)에 의해 샤프트(33)에 대해 밀봉되고 그리고 제1밀봉 링(7)에 의해 제1밸브 시트(4)에 대해 밀봉됨으로, 유로(F)는 가스 기밀하게 폐쇄된다. 밸브 평판(5)은 이제는 도5b 및 도5c에 도시한 바와 같이 폐쇄 위치(C)에 있다.

제1개구(3)와 제2개구(20) 사이에 균일한 상대적 압력 상태에서, 밀봉 파트(10)는 스프링(15)의 탄력으로 인해서 제1밸브 시트(4) 상에 놓여 있다.(도5b참고)

제1개구(3)와 제2개구(20) 사이에 압력차가 있는 경우에, 상기 압력은 근본적으로 밀봉 파트(10) 상에 작용하며, 수직 방향(Z)을 따라서 로드 없이 있는 구동부(8)와 아암(23)과 마찬가지로 지지 파트(9)도 가동한다.

만일, 도5b에서 화살표로 나타낸 바와 같이 상대적으로 부족한 압력(25)(상대적 음압)이 밸브 평판(5)의 폐쇄 측(6) 상에 보급되었다면, 밀봉 파트(10)는 제1밸브 시트(4) 상에서 지지 파트(9)로부터 결합해제되며 수직적으로 지지를 받게 된다. 압력차로 인한 힘은 주로 높은 로드 캐퍼서티를 가진 제1밸브 시트(4)와 밀봉 파트(10) 상에서 작용한다. 밸브의 구동 성분은 로드 없이 있기 때문에, 상기 밸브는 대형 압력차를 견딜 수 있다.

만일, 도5c에서 화살표로 지시한 바와 같이 상대적인 과잉 압력(26)(상대적 양압)이 밸브 평판(5)의 폐쇄 측(6) 상에 있다면, 지지 파트(9)와 결합해제된 밀봉 파트(10)는 반대편 제2밸브 시트(21)에 대해 수직하는 방향으로 제1밸브 시트(4) 상에 놓여지는 위치로부터 밀봉 파트(10)의 외부 환형상 섹션까지 이동하고, 상기 환형상 섹션은 제2밸브 시트(21)에 대해 수직적으로 연장 형성되어 제2밸브 시트(21)상에 놓여져서 제2밸브 시트(21) 상에서 밀봉 파트(10)를 지지한다.

2개로 분할된 밸브 평판(5)의 이러한 개량의 결과로서, 상기 밸브는 흐름 방향으로 밸브 평판을 지지하도록 대형 치수를 가진 유지 시스템과 구동부를 갖지 않은 양측부 상에 높은 로드 캐퍼서티를 갖는다. 압력 역전인 경우에서 소량으로 밀봉 파트(10)의 수직적 통로와 제1밸브 시트(4)에서 제2밸브 시트(21)로의 지지 영역의 필연적인 변화를 유지하기 위해서, 2개 밸브 시트(4, 21) 사이에서 소량으로 플레이를 유지하는 이점이 있다.

도면으로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 밀봉 링의 사용에 의해 소량을 유지하는 마모 파트의 수와 같지 않다. 또한, 개구에서 개구로의 짧은 거리와 밸브의 소형 치수도 가능하다.

도6a 내지 도6c는 본 발명에 따르는 밸브의 다른 실시예를 설명하는 도면이다. 이 실시예에서의 많은 성분이 상술된 제1실시예의 성분과 동일한 것이고 그리고 도5a 내지 도5c에서 사용된 것과 대응하기 때문에, 이미 상술된 성분에 대한 설명은 부분적으로 하지 않으며 상술된 도면에서의 도면번호는 일부 경우에서는 이용될 것이다.

중간 위치(B) 또는 폐쇄 위치(C)에서 밸브 평판(5)의 부분 섹션 전체 둘레로 연장된 내부 측면 요홈(27)은 밸브 하우징(1a)에 형성된다. 이러한 내부 부분 원주부 요홈(27)은, 제1개구(3)를 향하는 방향으로 폐쇄 측(6)의 방향으로 제1측면 영역(28)이 있고 그리고 제2개구(20)를 향하는 방향으로 폐쇄 측과 마주하는 측(17)의 방향으로 제2측면 영역(29)이 있는 직사각형 횡단면을 갖는다.(도6b, 도6c 참고) 요홈(27)은, 유로(F)를 막지 않고 있는 개방 위치(A)로부터 중간 위치(B)로 밸브 평판(5)을 피벗동작 또는 위치 이동할 때에, 밀봉 파트(10)의 환형상 섹션(22) 둘레에 배치된 측면 칼라(22a)가, 중간 위치(B)에서, 도6a에 도시한 바와 같이, 제1측면 영역(28)과 제2측면 영역(29)에 대해, 접촉 없이 일정 거리 이격되어, 요홈(27) 안으로 인도되는 방식으로 형성되어 배치된다. 따라서, 지지 파트(9)가 제1밸브 시트에 압축되는 폐쇄 위치(C)(도6b 및 도6c 참고)에서, 밀봉 파 트(10)의 적어도 부분 섹션은 측면 요홈(27) 안으로 돌출된다. 만일, 폐쇄 위치(C)에서, 밸브 평판(5)의 폐쇄 측(6) 상에 도6b에서 화살표로 지시된 바와 같이 상대적으로 부족한 압력(25)이면, 밀봉 파트(10)는 밀봉 파트(10)와 제1밸브 시트(4) 사이에 임의적인 접촉 없이 밸브 하우징(1a)의 요홈(27)의 제1측면 영역(28) 상에서 측면 칼라(22a)에 의해 지지 파트(9)에서 결합해제되어 수직적으로 지지된다. 압력차로 인한 힘은 주로 요홈(27)의 제1측면 영역(28)과 밀봉 파트(10) 상에 작용하고, 측면 영역은 높은 로드 캐퍼서티를 갖는다. 밸브 구동 성분이 로드 없이 있음으로, 밸브는 대형 압력차를 견딜 수 있다.

만일 다른 편에서, 밸브 평판(5)의 폐쇄 측(6) 상에서, 도6c에서 화살표(26)로 나타낸 바와 같이 상대적 과잉 압력이 있으면, 지지 파트(9)에서 결합해제된 밀봉 파트(10)는 제1밸브 시트로부터 이격지는 수직방향으로 제1측면 영역(28) 상에 측면 칼라(22a)의 대기(resting)에 의해 결정되는 위치로부터 측면 칼라(22a)까지 이동하고, 상기 측면 칼라는 밀봉 파트(10)와 협력 동작하고, 요홈(27)의 제2측면 영역(29) 상에 놓여져서, 밸브 하우징(1a) 상에 밀봉 파트(10)를 지지한다.(도6c 참고)

도7 내지 도9에서, 제1(도7), 제2(도8), 및 제3(도9) 변경예의 제1밀봉 링(7a, 7b, 또는 7c)가 각각 개략적으로 설명된다. 도7 내지 도9는 중간 위치에 있는 밸브를 나타낸다. 변경 실시예의 많은 성분들이 상술된 제1실시예의 성분들과 동일하고 그리고 도5a에 대응하여 도시하였기 때문에, 상기 도면에서 사용된 도면번호를 이용하여 기재한다.

도7 내지 도9를 참고로 기재하면, 지지 파트(9)는 밀봉 파트(10)에 의해 둘러싸여진 엣지 구역에 폐쇄 측(6) 상에서(도5a 참고) 오목부(13)를 갖고(도3 참고), 상기 오목부는 외측 둘레로 이어지고 그리고 제1변경 제1밀봉 링(7a)(도7) 또는 제2변경 제1밀봉 링(7b)(도8)이 설치된다. 제1 및 제2변경 제1밀봉 링(7a, 7b)은 비-원형 자유형태 횡단면을 갖는다. 도1 내지 도6c의 제1밀봉 링(7)과 유사하게, 제1 또는 제2변경 제1밀봉 링(7a 또는 7b)은, 오목부(13) 내에(도3 참고) 제1변경 제1밀봉 링(7a)(도7 참고) 또는 제2변경 제1밀봉 링(도8 참고)을 유지하는 언더컷(14)(도3 참고)을 형성하여 중앙 축선(18)에 대해 평행하거나(도1 참고) 제1밸브 시트(4)에 대해 수직인 방향으로(도3 참고) 지지 파트(9) 상에 고정된다. 형상 포위체에 의한 상기 고정에 더하여, 접착력에 의한, 예를 들면, 가황에 의한 또는 임의의 다른 적절한 접착-결합 조인트에 의해 제1변경 제1밀봉 링(7a) 또는 제2변경 제1밀봉 링(7b)을 고정할 수도 있다.

도9의 제3변경 제1밀봉 링(7c)은, 접착력에 의해, 예를 들어 밀봉 파트(10)에 의해 둘러싸인, 지지 파트의 원형 외부방향 면에 제3변경 제1밀봉 링(7c)을 유황처리하여, 지지 파트(9)의 폐쇄 측(6)의 엣지 구역에 고정된다(도3 참고). 도1 내지 도8에 도시된 실시예의 지지 파트(9)와 대비하여, 도9의 지지 파트(9)의 오목부는 중앙 축선(18)에 대해 평행하거나(도1 참고) 또는 제1밸브 시트(4)에 대해 수직인 방향으로(도3 참고) 임의의 언더컷을 포함하지 않아서, 제3변경 제1밀봉 링이 접착력에 의해 주로 고정된다.

물론, 변경예로 기술된 밸브가 1개 이상의 개구와 직사각형 또는 다른 횡단 면의 밸브 평판을 가진 활주 게이트 밸브의 형태로 있을 수 있다. 또한, 밸브가 일 측 상에서 작용하고, 제1밀봉 링이 위치하게 되는 밸브 시트와, 동일 측 또는 반대 측 상에 위치한 밀봉 파트를 지지하는 밸브 하우징 영역을 이루도록 설계할 수도 있다.

심플하고 콤팩트한 디자인으로 이루어지고, 용이하게 고압 로드 -양측부 상에 선택적으로 작용하는- 를 유지하고 견딜 수 있는 상술된 타입의 밸브를 제공한다.

Claims

유로(F)를 가스 기밀하게 폐쇄하는 밸브는:

●유로(F)용 제1개구와 상기 제1개구(3)를 둘러싸는 제1밸브 시트(4)를 가진, 제1벽(2)을 갖춘 밸브 하우징(1)과;

●상기 제1밸브 시트(4)와 대응하는 제1밀봉 링(7)이 배치된 폐쇄 측(6)을 가진 밸브 평판(5) 및;

●1개 이상의 구동부(8)를 포함하며;

상기 구동부는:

-유로(F)가 막히지 않는 개방 위치(A)에서, 제1개구(3)의 횡단면 위에 제1밸브 시트(4)에 대해 평행하게 있는 중간 위치(B)로, 밸브 평판을 피벗동작 또는 위치 이동시키고, 그리고;

-유로(F)가 제1밀봉 링(7)과 제1밸브 시트(4)간에 축선방향 밀봉 접촉으로 가스 기밀하게 폐쇄하는 방식으로, 밸브 평판(5)과 제1밸브 시트(4) 사이에 수직 거리를 중간 위치(B)에서 폐쇄 위치(C)로 감소시키며;

●상기 밸브 평판(5)은, 지지 파트(9)와 밀봉 파트(10)가 함께 가스 기밀 밸브 평판(5)을 형성하도록, 지지 파트(9)와 밀봉 파트(10)를 구비하며;

상기 지지 파트는:

-구동부(8)에 연결되고 그리고,

-제1밸브 시트(4)에 대해 수직인 방향으로 제1밀봉 링(7)을 고정하고;

상기 밀봉 파트는:

-제1밸브 시트(4)에 대해 수직적인 방향(Z)으로 지지 파트(9)에 대해 동작할 수 있도록 지지 파트(9) 상에 가동식으로 장착되고,

-중앙 구역(M)에서 지지 파트(9)에 가스 기밀한 방식으로 연결되고, 그리고

-반경방향으로 밀봉 접촉하여 가스 기밀한 방식으로 지지 파트(9)의 제1밀봉 링(7)을 에워싸는 외부 구역(0)에서 내부 원주부 영역(11)을 가지며,

●폐쇄 위치(C)에서, 밸브 평판(5)에서의 압력차가 밀봉 파트(10) 상에서 작용하고 그리고 밀봉 파트(10)는 밸브 하우징(1) 상에 지지 파트(9)로부터 결합해제되는 방식으로 수직적으로 지지되는, 밸브.
제1항에 있어서,

상기 지지 파트(9)는 밀봉 파트(10)의 내부 원주부 영역(11)에 의해 둘러싸여진 엣지 구역에 폐쇄 측(6) 상에서 오목부(13)를 갖고, 상기 오목부는 외측 주위로 이어지고, 제1밀봉 링(7)을 유지하고 그리고 제1밸브 시트(4)에 대해 수직인 방향으로 제1밀봉 링(7)을 고정하는 언더컷(14)을 갖는, 밸브.
제1항에 있어서,

상기 제1밀봉 링(7)은 접착력에 의해 지지 파트(9)의 폐쇄 측(6)의 엣지 구역에 고정되는, 밸브.
제3항에 있어서,

상기 제1밀봉 링(7)은 가황에 의해 지지 파트(9)의 폐쇄 측(6)의 엣지 구역에 고정되는, 밸브.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제1밀봉 링(7)은 0-링의 형태인, 밸브.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 밸브 평판(5)의 폐쇄 측(6) 상에 부족한 압력(25)인 경우에, 상기 밀봉 파트(10)는 밸브 하우징(1)의 제1밀봉 시트(4) 상에서 지지되는, 밸브.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

●밸브 하우징(1)은, 제1벽(2) 및 제1개구(3)와 마주하는 평행한 위치에서 이격져서, 유로(F)용 제2개구(20)와 상기 제2개구(20)를 둘러싸는 제2밸브 시트(21)를 가진 제2벽(19)을 구비하고;

●중간 위치(B)와 폐쇄 위치(C)에서, 상기 밸브 평판(5)은 제1개구(3)와 제2개구(20)와의 사이에서 피벗되거나 위치 이동되고 그리고,

●상기 밀봉 파트(10)는, 밸브 평판(5)의 폐쇄 측(6) 상에서 과잉 압력을 받는 폐쇄 위치(C)에서, 밀봉 파트(10)가 제2밸브 시트(21) 상에서 지지 파트(9)와 결합해제되며 수직적으로 지지되는, 밸브.
제7항에 있어서,

상기 밀봉 파트(10)는 외부 환형상 섹션(22)과 내부 평판-형상 섹션(30)을 구비하고,

●상기 외부 환형상 섹션(22)은:

-적어도 부분적으로, 지지 파트(9)와, 제1밀봉 링(7) 및 내부 평판-형상 섹션(30)을 둘러싸고, 그리고;

-제1밸브 시트(4)와 제2밸브 시트(21)사이에서 수직적으로 연장되고;

●상기 내부 평판-형상 섹션(30)은:

-지지 파트(9)의 중앙 구역(M)과 외부 환형상 섹션(22)과의 사이가 가스 기밀한 방식으로 반경방향으로 연장 형성되고, 그리고;

-중앙 구역(M)에서 지지 파트(9)에 가스 기밀한 방식으로 연결되며;

●외부 환형상 섹션(22)에 의해, 제2밸브 시트(21) 상에서의 지지가 폐쇄 측(6) 상에 과잉 압력(26)의 경우에 제공되는, 밸브.
제8항에 있어서,

상기 외부 환형상 섹션(22)은 중공-원통형인, 밸브.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 밸브는 밸브 하우징(1a)에서 내부 측면 요홈(27)을 포함하며, 상기 측 면 요홈(27)은 다음과 같은 방식으로 형성 및 배치되며, 다음의 방식은:

-상기 밀봉 파트(10)의 적어도 일 부분이, 중간 위치(B)에서 그리고 폐쇄 위치(C)에서, 측면 요홈(27) 안으로 돌출 형성되는 방식, 및;

-폐쇄 위치(C)에서 그리고 밸브 평판(5)에서 압력차가 있는 경우에서, 상기 밀봉 파트(10)가 측면 요홈(27)의 측면 영역(28; 29) 상에서 밸브 하우징(1a)에 지지되는 방식인, 밸브.
제10항에 있어서,

상기 밀봉 파트(10)의 부분은 상기 밀봉 파트(10) 상에 배치된 외부 측면 칼라(22a)로서 형성되는, 밸브.
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 밸브는, 밸브에서 상대적으로 동일한 압력을 가진 폐쇄 위치(C)에서 밀봉 파트(10)가 폐쇄 측(6)의 방향으로 밸브 하우징(1, 1a) 상에 놓이어, 지지 파트(9)와 밀봉 파트(10)와의 사이에서 작용하는 방식으로 배치된 탄성 수단을 포함하는, 밸브.
제12항에 있어서,

상기 탄성 수단은 1개 이상의 스프링(15)으로 형성되는, 밸브.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 밀봉 파트(10)는 제2밀봉 링(32)에 의해 중앙 구역(M)에서 지지 파트(9)에 가스 기밀한 방식으로 연결되는, 밸브.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 밀봉 파트(10)는 풀무(31)에 의해 중앙 구역(M)에서 지지 파트(9)에 가스 기밀한 방식으로 연결되는, 밸브.
제14항에 있어서,

●상기 지지 파트(9)는, 폐쇄 위치(C)에서 제1개구(3)의 중앙 축선(18)에 인접하여 위치한 중앙 구역에 폐쇄 측(6)과 마주하는 측부(17) 상에서, 구동부(8)에 연결된 아암(23)에 상기 지지 파트(9)를 연결하는 샤프트(33)를 구비하고, 그리고;

●상기 제2밀봉 링은 반경방향 밀봉 접촉에 의한 가스 기밀한 방식으로 샤프트(33)를 에워싸는, 밸브.
제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,

●상기 밸브는 진자 밸브의 형태로 있으며, 그리고;

●상기 구동부(8)는 밸브 평판(5)이 제1개구(3)의 횡단면 위로 평행하게 피벗동작하는 방식으로 형성되는, 밸브.
제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,

●상기 밸브는 활주 게이트 밸브의 형태로 있으며, 그리고;

●상기 구동부(8)는 밸브 평판(5)이 제1개구(3)의 횡단면 위로 평행하게 위치 이동하는 방식으로 형성되는, 밸브.