KR20070060287A - 어레이 기판 - Google Patents

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KR20070060287A
KR20070060287A KR1020050119531A KR20050119531A KR20070060287A KR 20070060287 A KR20070060287 A KR 20070060287A KR 1020050119531 A KR1020050119531 A KR 1020050119531A KR 20050119531 A KR20050119531 A KR 20050119531A KR 20070060287 A KR20070060287 A KR 20070060287A
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양용호
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삼성전자주식회사
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Abstract

어레이 기판에서, 화소부를 구동하기 위한 구동부는 베이스 기판의 주변영역에 화소부와 동일한 박막 공정을 통해서 형성된다. 구동부에 인접하여 구비되는 신호배선은 구동부와 전기적으로 연결되어 검사시간동안에는 검사패드를 통해 외부로부터 입력받은 검사신호를 구동부로 제공하고, 구동시간동안에는 입력패드를 통해 외부로부터 입력된 제어신호를 구동부로 제공한다. 여기서, 검사패드는 신호배선과 소정의 간격으로 이격되어 구비되고, 신호배선으로부터 분기된 연결배선을 통해서 신호배선과 전기적으로 연결된다. 따라서, 검사패드 부분에서 발생하는 부식으로 인한 신호배선의 단선을 방지하여 어레이 기판의 생산성을 향상시킬 수 있다.
검사패드, 신호배선, 게이트 구동부

Description

어레이 기판{ARRAY SUBSTRATE}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 게이트 구동부를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 제4 신호배선, 제4 연결배선, 제4 검사패드 및 제4 입력패드를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 절단선 I-I`에 따라 절단한 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 어레이 기판 110 : 제1 베이스 기판
121 : 제1 금속막 122 : 제2 금속막
131 : 게이트 절연막 132 : 보호막
180 : 게이트 구동부 200 : 컬러필터기판
300 : 액정표시패널 350 : 구동칩
370 : 연성회로기판 400 : 액정표시장치
본 발명은 어레이 기판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치에 이 용되는 어레이 기판에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 영상을 표시하기 위한 액정표시패널을 구비한다. 액정표시패널은 영상을 표시하는 표시영역 및 표시영역에 인접하는 주변영역으로 이루어진다. 표시영역에는 다수의 게이트 라인, 다수의 데이터 라인 및 다수의 화소가 구비된다. 화소 각각은 박막 트랜지스터 및 액정 커패시터로 이루어진다. 한편, 주변영역에는 게이트 라인들에 게이트 신호를 출력하는 게이트 구동회로 및 데이터 라인들에 데이터 신호를 출력하는 데이터 구동회로가 구비된다.
게이트 구동회로는 표시영역에 박막 트랜지스터를 형성하기 위한 박막 공정을 통해 동시에 액정표시패널의 주변영역에 형성된다. 한편, 데이터 구동회로는 구동칩에 내장되어 주변영역 상에 실장된다. 게이트 구동회로는 서로 종속적으로 연결된 다수의 스테이지로 이루어진 하나의 쉬프트 레지스터를 포함하고, 스테이지 각각은 대응하는 게이트 라인에 연결되어 게이트 신호를 출력한다.
게이트 구동회로를 구동시키기 위해 다수의 스테이지에 각종 제어신호를 제공하는 신호배선들은 게이트 구동회로에 인접하여 구비된다. 여기서, 신호배선들은 데이터 구동회로가 내장된 구동칩으로부터 제어신호를 입력받는다. 일반적으로, 비쥬얼 검사는 액정표시패널 상에 구동칩이 실장되기 이전에 수행되므로, 비쥬얼 검사 과정에서 신호배선들에 검사신호를 제공하기 위해서 외부로부터 검사신호를 입력받는 검사패드가 구비된다. 종래의 검사패드는 신호배선들로부터 분기된다. 그러나, 검사패드와 신호배선들이 이중막 구조를 가지는 경우 검사패드 부분에서 언더컷으로 인한 부식이 발생한다. 이러한 부식은 신호배선을 단선시키고, 그 결과 액 정표시장치가 오동작을 일으킨다.
따라서, 본 발명의 목적은 부식으로 인한 오동작을 방지하기 위한 어레이 기판을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 어레이 기판은 베이스 기판, 구동부, 신호배선, 검사패드, 연결배선 및 화소부를 포함한다.
상기 베이스 기판은 표시영역 및 상기 표시영역에 인접한 주변영역으로 이루어진다. 상기 구동부는 상기 베이스 기판의 상기 주변영역에 구비되고, 검사시간동안 검사신호에 응답하여 제1 구동신호를 출력하며, 구동시간동안 제어신호에 응답하여 제2 구동신호를 출력한다. 상기 신호배선은 상기 구동부와 전기적으로 연결되어 상기 검사신호와 상기 제어신호를 상기 구동부로 제공한다. 상기 검사패드는 외부로부터 상기 검사신호를 입력받고, 상기 신호배선과 소정의 간격으로 이격된다. 상기 연결배선은 상기 신호배선으로부터 분기되어 상기 신호배선과 상기 검사패드를 전기적으로 연결시킨다. 상기 화소부는 상기 베이스 기판의 상기 표시영역에 구비되고, 상기 구동부로부터 상기 제1 및 제2 구동신호를 입력받는 다수의 화소로 이루어진다.
이러한 어레이 기판에 따르면, 검사패드는 신호배선과 소정의 간격으로 이격되어 구비되고, 신호배선으로부터 분기된 연결배선을 통해서 신호배선과 전기적으로 연결된다. 따라서, 검사패드 부분에서 발생하는 부식으로 인한 신호배선의 단선 을 방지할 수 있고, 그 결과 어레이 기판의 오동작을 방지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치(400)는 영상을 표시하는 액정표시패널(300)을 포함한다. 상기 액정표시패널(300)은 어레이 기판(100), 상기 어레이 기판(100)과 마주하는 컬러필터기판(200) 및 상기 어레이 기판(100)과 상기 컬러필터기판(200)과의 사이에 개재되는 액정층(미도시)으로 이루어진다.
상기 어레이 기판(100)은 제1 베이스 기판, 화소 어레이 및 게이트 구동부(180)를 포함한다.
상기 제1 베이스 기판은 표시영역(DA), 상기 표시영역(DA)을 감싸는 제1 주변영역(PA1) 및 상기 제1 주변영역(PA1)에 인접하는 제2 주변영역(PA2)으로 구분된다. 상기 화소 어레이는 상기 표시영역(DA)에 대응하여 상기 제1 베이스 기판 상에 구비된다.
상기 화소 어레이는 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn), 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm), 다수의 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하, TFT)(Tr) 및 다수의 화소전극을 포함한다. 상기 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn)은 제1 방향(D1)으로 연장되고, 상기 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)은 상기 제1 방향(D1)과 직교하는 제2 방향(D2)으로 연장되어 상기 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn)과 전기적으 로 절연되게 교차한다. 여기서, m과 n은 1 이상의 자연수이고, 특히 n은 짝수이다.
상기 다수의 TFT(Tr)와 상기 다수의 화소전극은 매트릭스 형태로 상기 제1 베이스 기판 상에 배치된다. 상기 각 TFT(Tr)의 게이트 전극은 대응하는 게이트 라인에 전기적으로 연결되고, 소오스 전극은 대응하는 데이터 라인에 전기적으로 연결되며, 드레인 전극은 대응하는 화소전극에 전기적으로 연결된다.
상기 게이트 구동부(180)는 상기 제1 주변영역(PA1) 중 상기 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn)의 일단부에 인접하여 구비된다. 상기 게이트 구동부(180)는 상기 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn)의 일단부에 전기적으로 연결되고, 상기 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn)에 순차적으로 게이트 신호를 출력한다. 여기서, 상기 게이트 구동부(180)는 상기 화소 어레이와 동일한 박막 공정을 통해 함께 상기 제1 베이스 기판 상에 형성된다.
한편, 상기 컬러필터기판(200)은 제2 베이스 기판, 컬러필터층 및 공통전극을 포함한다. 도면에 도시하지는 않았지만, 상기 컬러필터층은 레드, 그린 및 블루 색화소로 이루어져 상기 표시영역(DA)에 대응하여 상기 제2 베이스 기판 상에 형성된다. 상기 공통전극은 상기 컬러필터층 상에 구비되어 상기 액정층을 사이에 두고 상기 다수의 화소전극과 마주한다. 따라서, 상기 공통전극과 상기 다수의 화소전극에 의해서 액정 커패시터(Clc)가 형성된다.
상기 표시장치(400)는 상기 어레이 기판(100)에 실장되는 구동칩(350) 및 상기 어레이 기판(100)에 부착된 연성회로기판(370)을 더 포함한다. 상기 연성회로기판(370)은 상기 어레이 기판(100)의 제2 주변영역(PA2)에 부착되어, 외부 장치로부 터의 각종 제어신호를 상기 구동칩(350)으로 제공한다. 상기 구동칩(350)은 상기 제2 주변영역(PA2)에 실장되고, 상기 어레이 기판(100)에 형성된 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)과 전기적으로 연결된다. 따라서, 상기 구동칩(350)은 상기 각종 제어신호에 응답하여 상기 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)에 데이터 신호를 제공한다.
또한, 상기 구동칩(350)은 상기 액정표시장치(400)의 구동시간 동안 상기 게이트 구동부(180)에 게이트 제어신호를 제공한다. 여기서, 상기 어레이 기판(100)의 제1 베이스 기판 상에는 상기 구동칩(350)과 상기 게이트 구동부(180)를 연결하는 신호배선(SL)이 구비된다. 도면에 도시하지는 않았지만, 상기 신호배선(SL)의 일단부에는 상기 구동칩(350)으로부터 상기 게이트 제어신호를 입력받기 위한 입력패드가 더 구비된다.
한편, 상기 액정표시패널(300)을 검사하는 비쥬얼 검사공정은 상기 어레이 기판(100) 상에 상기 구동칩(350)이 실장되기 이전에 수행되므로, 검사시간 동안에는 상기 게이트 구동부(180)를 구동시키기 위한 별도의 검사신호가 필요하다. 따라서, 상기 액정표시패널(300)의 검사시간동안 상기 신호배선(SL)에 검사신호를 제공하기 위한 검사패드(VIP)가 구비된다. 상기 검사패드(VIP)는 상기 신호배선(SL)으로부터 소정의 간격으로 이격되어 구비되고, 상기 검사패드(VIP)와 상기 신호배선(SL)과의 사이에는 연결배선(CL)이 더 구비된다. 상기 연결배선(CL)은 상기 신호배선(SL)으로부터 분기된 배선이고, 상기 검사패드(VIP)와 상기 신호배선(SL)은 상기 연결배선(CL)에 의해서 서로 전기적으로 연결된다.
도 2는 도 1에 도시된 게이트 구동부를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 게이트 구동부(180)는 서로 종속적으로 연결된 제1 내지 제n+1 스테이지(SRC1 ~ SRCn+1)로 이루어져 제1 내지 제n 게이트 라인(GL1 ~ GLn)d에 게이트 신호를 순차적으로 출력하는 하나의 쉬프트 레지스터로 이루어진다.
상기 제1 내지 제n+1 스테이지(SRC1 ~ SRCn+1) 각각은 제1 클럭단자(CK1), 제2 클럭단자(CK2), 입력단자(IN), 제어단자(CT), 접지전압단자(V1), 캐리단자(CR) 및 출력단자(OUT)를 포함한다. 여기서, 현재단 스테이지의 입력단자(IN)는 이전 스테이지의 출력단자(OUT)에 전기적으로 연결된다. 따라서, 현재단 스테이지는 전단 게이트 신호에 응답하여 턴온된다. 또한, 현재단 스테이지의 제어단자(CT)는 다음 스테이지의 캐리단자(CR)에 전기적으로 연결된다. 따라서, 현재단 스테이지는 후단 캐리신호에 응답하여 턴오프된다. 여기서, 상기 제n+1 스테이지(SRCn+1)는 상기 제n 스테이지(SRCn)의 제어단자(CT)에 캐리신호를 제공하기 위한 더미 스테이지이다. 이와 같이, 상기 제1 내지 제n+1 스테이지(SRC1 ~ SRCn+1)가 서로 종속적으로 연결되므로 상기 제1 내지 제n+1 스테이지(SRC1 ~ SRCn+1)가 순차적으로 턴온되면서 게이트 신호를 순차적으로 출력할 수 있다.
한편, 상기 게이트 구동부(180)에 인접해서 제1 신호배선(SL1), 제2 신호배선(SL2), 제3 신호배선(SL3) 및 제4 신호배선(SL4)이 구비된다. 상기 제1 내지 제4 신호배선들(SL1 ~ SL4)은 상기 게이트 구동부(180)를 동작을 제어하기 위해서 필요한 각종 신호들을 제공한다.
구체적으로, 상기 제1 스테이지(SRC1)의 이전 스테이지가 존재하지 않으므 로, 상기 제1 신호배선(SL1)은 상기 게이트 구동부(180)의 구동을 개시하기 위한 개시신호(STV)를 상기 제1 스테이지(SRC1)의 입력단자(IN)로 제공한다. 또한, 상기 제n+1 스테이지(SRCn+1)의 다음 스테이지가 존재하지 않으므로, 상기 제n+1 스테이지(SRCn+1)의 제어단자(CT)에는 다음 스테이지의 후단 캐리신호 대신에 상기 개시신호(STV)가 제공된다.
상기 제2 신호배선(SL2)은 제1 클럭(CKV)을 홀수번째 스테이지(SRC1,..., SRCn+1)의 제1 클럭단자(CK1) 및 짝수번째 스테이지(SRC2,..., SRCn)의 제2 클럭단자(CK2)로 제공한다. 상기 제3 신호배선(SL3)은 제2 클럭(CKVB)을 짝수번째 스테이지(SRC2,..., SRCn)의 제1 클럭단자(CK1) 및 홀수번째 스테이지(SRC1,..., SRCn+1)의 제2 클럭단자(CK2)로 제공한다. 여기서, 상기 제1 및 제2 클럭(CKV, CKVB)은 서로 반전된 위상을 갖는다.
상기 제4 신호배선(SL4)은 오프전압(Voff)을 상기 제1 내지 제n+1 스테이지(SRC1 ~ SRCn+1)의 오프전압단자(V1)로 제공한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 내지 제4 신호배선(SL1 ~ SL4)의 일단부에는 외부로부터 개시신호(STV), 제1 및 제2 클럭(CKV, CKVB), 오프전압(Voff)을 입력받기 위한 제1 내지 제4 입력패드(IP1, IP2, IP3, IP4)가 구비된다. 상기 제1 내지 제4 입력패드(IP1 ~ IP4)는 도 1에 도시된 구동칩(350)과 전기적으로 연결되어 개시신호(STV), 제1 및 제2 클럭(CKV, CKVB), 오프전압(Voff)을 입력받는다. 그러나, 본 발명의 다른 일 예로 상기 제1 내지 제4 입력패드(IP1 ~ IP4)는 도 1에 도시된 연성회로기판(370)에 전기적으로 연결되어 외부 장치로부터 출력된 신호를 입력받을 수 있다.
또한, 제1 내지 제4 검사패드(VIP1, VIP2, VIP3, VIP4)는 인접하는 상기 제1 내지 제4 신호배선(SL1 ~ SL4)과 소정의 간격으로 이격하여 구비된다. 상기 제1 내지 제4 신호배선(SL1 ~ SL4)으로부터 분기되어 상기 제1 내지 제4 검사패드(VIP1 ~ VIP4)와 상기 제1 내지 제4 신호배선(SL1 ~ SL4)을 전기적으로 연결시키는 제1 내지 제4 연결배선(CL1, CL2, CL3, CL4)이 더 구비된다.
비쥬얼 검사시간 동안 상기 개시신호(STV), 제1 및 제2 클럭(CKV, CKVB), 오프전압(Voff)는 상기 제1 내지 제4 검사패드(VIP1 ~ VIP4)로 입력된 후, 상기 제1 내지 제4 연결배선(CL1 ~ CL4)을 경유하여 상기 제1 내지 제4 신호배선(SL1 ~ SL4)으로 제공된다.
도 3은 제4 신호배선, 제4 연결배선, 제4 검사패드 및 제4 입력패드를 나타낸 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 절단선 I-I`에 따라 절단한 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 어레이 기판의 제1 베이스 기판(110) 상에는 제4 신호배선(SL4)이 구비되고, 상기 제4 입력패드(IP4)는 상기 제4 신호배선(SL4)의 일단부로부터 연장된다. 또한, 상기 제4 연결배선(CL4)은 상기 제4 신호배선(SL4)으로부터 분기되고, 상기 제4 검사패드(VIP4)는 상기 제4 연결배선(CL4)의 일단부로 연장된다. 여기서, 상기 제4 검사패드(VIP4)는 상기 제4 신호배선(SL4)과 소정의 간격으로 이격된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제4 연결배선(CL4)은 제1 금속막(121) 및 상기 제1 금속막(121) 상에 구비되는 제2 금속막(122)으로 이루어져 이중막 구조를 갖는다. 본 발명의 일 예로, 상기 제1 금속막(121)은 크롬(Cr) 또는 산화 크롬(Cr2O3)으로 이루어지고, 상기 제2 금속막(122)은 알루미늄 네오디뮴(AlNd)으로 이루어진다. 한편, 상기 제4 검사패드(VIP4)는 상기 제1 금속막(121) 만으로 이루어진 단일막 구조를 갖는다.
상기 제4 신호배선(SL4), 제4 연결배선(CL4), 제4 검사패드(VIP4) 및 제4 입력패드(IP4)가 형성된상기 제1 베이스 기판(110) 상에는 게이트 절연막(131) 및 보호막(132)이 순차적으로 적층된다. 본 발명의 일 예로, 상기 게이트 절연막(131)과 보호막(132)은 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiOx)으로 이루어질 수 있다.
상기 게이트 절연막(131)과 상기 보호막(132)에는 상기 제4 입력패드(IP4)와 상기 제4 검사패드(VIP4)를 각각 노출시키기 위한 제1 콘택홀(미도시)과 제2 콘택홀(135)이 형성된다.
상기 보호막(132)과 상기 제1 콘택홀을 통해 노출된 상기 제4 입력패드(IP4) 상에는 제1 콘택전극(CE1)이 형성되고, 상기 보호막(132)과 상기 제2 콘택홀(135)을 통해 노출된 상기 제4 검사패드(VIP4) 상에는 제2 콘택전극(CE2)이 형성된다. 여기서, 상기 제1 및 제2 콘택전극(CE1, CE2)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide)로 이루어진다.
도 3 및 도 4에서는 상기 제4 신호배선(SL4), 제4 연결배선(CL4), 제4 검사패드(VIP4) 및 제4 입력패드(IP4) 만을 도시하였으나, 나머지 신호배선들, 연결배 선들 및 검사패드들은 상기 제4 신호배선(SL4), 제4 연결배선(CL4), 제4 검사패드(VIP4) 및 제4 입력패드(IP4)와 동일한 구조를 가지므로, 구체적인 설명은 생략한다.
이와 같은 어레이 기판에 따르면, 비쥬얼 검사과정에서 이용되는 검사패드는 신호배선과 소정의 간격으로 이격되고, 신호배선으로부터 분기된 연결배선을 통해서 신호배선과 전기적으로 연결된다.
따라서, 검사패드 부분에서 부식이 발생하여도 신호배선은 검사패드와 이격되어 있으므로, 신호배선이 부식으로 인해서 단선되는 현상을 방지할 수 있다. 그 결과, 게이트 구동부의 오동작을 방지할 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (9)

  1. 표시영역 및 상기 표시영역에 인접한 주변영역으로 이루어진 베이스 기판;
    상기 베이스 기판의 상기 주변영역에 구비되고, 검사시간동안 검사신호에 응답하여 제1 구동신호를 출력하고, 구동시간동안 제어신호에 응답하여 제2 구동신호를 출력하는 구동부;
    상기 구동부와 전기적으로 연결되어 상기 검사신호와 상기 제어신호를 상기 구동부로 제공하는 신호배선;
    외부로부터 상기 검사신호를 입력받고, 상기 신호배선과 소정의 간격으로 이격된 검사패드;
    상기 신호배선으로부터 분기되어 상기 신호배선과 상기 검사패드를 전기적으로 연결시키는 연결배선; 및
    상기 베이스 기판의 상기 표시영역에 구비되고, 상기 구동부로부터 상기 제1 및 제2 구동신호를 입력받는 다수의 화소로 이루어진 화소부를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 신호배선의 일단부로부터 연장되고, 외부로부터 상기 제어신호를 입력받는 입력패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 신호배선과 상기 연결배선은 제1 금속막 및 상기 제1 금속막 상에 구비된 제2 금속막으로 이루어진 이중막 구조를 갖고,
    상기 검사패드는 상기 제1 금속막으로 이루어진 단일막 구조를 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 금속막은 크롬 또는 산화크롬으로 이루어지고,
    상기 제2 금속막은 알루미늄 네오디뮴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  5. 제1항에 있어서, 상기 신호배선과 상기 연결배선을 커버하고, 상기 검사패드를 부분적으로 노출시키는 콘택홀이 형성된 보호막; 및
    상기 보호막 상에 구비되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 검사패드와 전기적으로 연결된 패드전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  6. 제5항에 있어서, 상기 패드전극은 인듐 틴 옥사이드 또는 인듐 징크 옥사이드로 이루어진 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  7. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 서로 종속적으로 연결된 다수의 스테이지로 이루어진 쉬프트 레지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  8. 제7항에 있어서, 상기 신호배선은,
    상기 다수의 스테이지 중 첫번째 스테이지에 상기 쉬프트 레지스터의 동작을 개시하기 위한 개시신호를 제공하는 개시신호배선,
    상기 다수의 스테이지에 클럭을 제공하는 클럭배선; 및
    상기 다수의 스테이지에 오프전압을 제공하는 오프전압배선을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  9. 제8항에 있어서, 상기 검사패드는,
    상기 개시신호배선에 전기적으로 연결된 제1 검사패드;
    상기 클럭배선에 전기적으로 연결된 제2 검사패드; 및
    상기 구동전압배선에 전기적으로 연결된 제3 검사패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
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