KR20070052136A - 레이저 열 전사 장치 및 그 장치를 이용한 레이저 열전사법 - Google Patents
레이저 열 전사 장치 및 그 장치를 이용한 레이저 열전사법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (16)
- 레이저 발진기를 이용하여 도너필름의 전사층을 유기 전계 발광소자의 발광층으로 형성하는 레이저 열 전사 장치에 있어서,상기 레이저 열 전사 장치 내에 자성체를 포함하는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지 상부와 소정간격 이격되어 자석을 포함하는 밀착 프레임이 구비되는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자석과 상기 자성체 사이에는 자기력이 작용하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자석은 상기 밀착 프레임의 상, 하부 또는 상기 밀착 프레임의 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자석은 밀착 프레임 자체인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 밀착 프레임은 상기 도너필름의 전사될 부분에 대응하는 패턴의 개구부가 형성되는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자석은 전자석 또는 영구자석으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제6 항에 있어서, 상기 전자석은 전압을 인가하기 위한 전기배선이 포함되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제6 항에 있어서, 상기 영구자석은 적어도 하나의 막대 또는 원통형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제6 항에 있어서, 상기 영구자석은 자성 나노 파티클로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제9 항에 있어서, 상기 자성 나노 파티클은 스핀 코팅, E-Beam 증착 또는 잉크젯 공정을 이용하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자성체는 철, 니켈, 크롬 또는 자성을 갖는 유기물, 무기물 및 자성 나노 입자 중 적어도 하나의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제11 항에 있어서, 상기 자성체는 상기 기판 스테이지의 상, 하부 또는 상기 기판 스테이지의 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제11 항에 있어서, 상기 자성체는 상기 기판 스테이지 자체인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 기판 스테이지는 소정수의 관통 홀을 통해 상기 억셉터 기판을 상부 또는 하부로 이동시키는 기판 지지대를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사장치.
- 챔버 내에 자성체를 포함하는 기판 스테이지 상에 억셉터 기판을 위치시키는 단계,상기 억셉터 기판 상부에 적어도 기재기판, 광-열 변환층 및 전사층이 구비된 도너필름을 위치시키는 단계,상기 도너필름 상부에 자성이 구비된 밀착 프레임을 위치시키는 단계,상기 도너필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션 하는 단계,상기 도너필름 상에 레이저빔을 조사하여 상기 도너필름의 전사층 일부를 상기 억셉터 기판 상에 전사시키는 단계를 포함하는 레이저 열 전사 장치를 이용한 레이저 열 전사법.
- 제15 항에 있어서, 상기 챔버는 진공챔버인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치를 이용한 레이저 열 전사법.
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- 2005-11-16 KR KR1020050109816A patent/KR100745337B1/ko active IP Right Grant
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