KR20070043979A - 투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 제 1 면의 이미지를 제 2 면 상에서 광축으로부터 떨어진 소정 영역에 형성하는 반사형의 투영 광학계에 있어서,상기 투영 광학계의 개구수를 규정하기 위한 개구 조리개를 구비하고,상기 개구 조리개는, 직교하는 두 방향에 관한 치수가 서로 다른 개구부를 갖는것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 면의 상기 소정 영역 상의 복수의 이미지점을, A1, A2, A3,…, An으로 하고,상기 복수의 이미지점은, 상기 제 2 면의 상기 소정 영역 상에서, 대략 등 간격으로 다수 샘플링되는 것으로 하며,상기 복수의 이미지점 중 임의의 하나를 Ai라고 칭하는 것으로 하고,상기 개구 조리개를 포함하는 평면에 평행한 평면에서 직교하는 2개의 좌표 x, y를 상정하고, 상기 개구 조리개 에지 중, 좌표 x가 최대로 되는 점을 Pxu로 하며, 좌표 x가 최소로 되는 점을 Pxb로 하고, 좌표 y가 최대로 되는 점을 Pyu로 하며, 좌표 y가 최소로 되는 점을 Pyb로 하고,상기 이미지점 Ai를 중심으로 하는 반경1인 구면 Si를 상정하여, 상기 점 Pxu를 통과하여 상기 이미지점 Ai에 도달하는 광선이 상기 구면 Si와 교차하는 좌표를 (Xixu, Yixu)로 하고, 상기 점 Pxb를 통과하여 상기 이미지점 Ai에 도달하는 광선이 상기 구면 Si와 교차하는 좌표를 (Xixb, Yixb)로 하며, 상기 점 Pyu를 통과하여 상기 이미지점 Ai에 도달하는 광선이 상기 구면 Si와 교차하는 좌표를 (Xiyu, Yiyu)로 하고, 상기 점 Pyb를 통과하여 상기 이미지점 Ai에 도달하는 광선이 상기 구면 Si와 교차하는 좌표를 (Xiyb, Yiyb)로 하며,상기 이미지점 Ai에 대응하는 2개의 변수 NAxi 및 NAyi를 각각,라고 규정할 때,상기 개구부의 소정 형상은,을 대략 만족하는것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 개구부의 상기 소정 형상은, 상기 개구 조리개와 상기 제 2 면 사이에 배치된 부분 광학계가 소망의 사영 관계를 만족하지 않는 것이 상기 소정 영역 내 의 각 점에 도달하는 광속의 개구수의 불균일성에 미치는 영향을 보상하도록 규정되어 있는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 3 항에 있어서,상기 개구 조리개를 통과하는 주 광선이 광축과 이루는 각도를 θ로 하고, 해당 주 광선이 상기 제 2 면에 도달하는 점의 상기 광축으로부터의 거리를 h로 하며, 상기 부분 광학계의 초점 거리를 F로 하고, 상기 부분 광학계의 사영 관계가 θ를 변수로 하는 함수 g(θ)을 이용하여 h=F·g(θ)로 표시될 때,상기 개구부의 상기 소정 형상은, 긴 직경과 짧은 직경의 비율이, tanθ:g(θ)/(dg(θ)/dθ)의 타원인 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개구부의 상기 소정 형상은, 상기 개구 조리개와 상기 제 2 면의 사이에 배치된 부분 광학계가 정현(正弦) 조건을 만족하지 않는 것이 상기 소정 영역 내의 각 점에 도달하는 광속의 개구수의 불균일성에 미치는 영향을 보상하도록 규정되어 있는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개구부의 상기 소정 형상은, 대략 타원 형상인 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개구부의 상기 소정 형상은, 자오선 방향으로 긴 직경을 갖는 타원 형상인 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개구 조리개는, 개구 형상이 다른 별도의 개구 조리개와 교환 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 제 1 면의 이미지를 제 2 면 상에서 광축으로부터 떨어진 소정 영역에 형성하는 반사형의 투영 광학계에 있어서,상기 투영 광학계의 개구수를 규정하기 위한 개구 조리개를 구비하고,상기 개구 조리개는, 개구 형상이 다른 별도의 개구 조리개와 교환 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
- 상기 제 1 면에 설정된 마스크를 조명하기 위한 조명계와, 상기 마스크에 형성된 패턴의 이미지를 상기 제 2 면에 설정된 감광성 기판 상에 형성하기 위한 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 투영 광학계를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 조명계는 노광광으로서 EUV 광을 공급하기 위한 광원을 갖고,상기 투영 광학계에 대하여 상기 마스크 및 상기 감광성 기판을 상대 이동시켜, 상기 마스크의 패턴을 상기 감광성 기판 상으로 투영 노광하는것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 상기 제 1 면에 설정된 마스크를 조명하는 조명 공정과, 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 투영 광학계를 거쳐 상기 마스크에 형성된 패턴의 이미지를 상기 제 2 면에 설정된 감광성 기판 상에 투영 노광하는 노광 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
- 제 1 면에 설정되는 마스크를 조명하기 위한 조명 광학계와, 상기 마스크에 형성된 패턴의 이미지를 제 2 면에 설정되는 감광성 기판 상에서 광축으로부터 떨어진 원호 영역에 형성하기 위한 반사형의 투영 광학계와, 상기 마스크와 상기 감광성 기판을 상대적으로 주사 이동 가능하게 유지하는 스테이지를 갖는 투영 노광 장치에 있어서,상기 원호 영역은 상기 주사 이동 방향의 폭이 상기 주사 이동 방향에 대해 수직인 방향의 폭에 대하여 상대적으로 좁고,상기 투영 광학계는 개구수를 규정하기 위한 개구 조리개를 구비하고, 이 개구 조리개의 개구 형상은, 상기 주사 이동 방향에 대응하는 방향의 직경이 상기 주사 이동 방향에 수직인 방향에 대응하는 방향의 직경보다 큰 형상인것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 개구 조리개의 형상은, 상기 주사 이동 방향에 대응하는 방향으로 긴 직경을 갖는 타원 형상인 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 개구 조리개는, 개구 형상 또는 크기가 다른 별도의 개구 조리개와 교환 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
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