KR20070040713A - 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 검사장치는, 공간절약화 및 작업효율을 향상시키기 위한 검사장치(1)를 제공하기 위한 것이다. 상기 검사장치(1)는 액정패널(7)의 처리공정 도중에 삽입되며, 상기 처리공정의 컨베이어 라인 위에 설치되어 액정패널(7)을 검사하는 프로버(4)와, 상기 컨베이어 라인 위에서 상기 프로버(4)까지 안내된 액정패널(7)을 상기 프로버(4) 내에 반입하는 반입기구(3)와, 상기 프로버(4)에서 검사가 종료된 액정패널(7)을 후공정측의 상기 컨베이어 라인 위로 반출하는 반출기구(5)를 구비한다. 하우징(41)과 이 하우징(41) 내에 수납되어 액정패널(7)이 놓여지는 워크 테이블(42)과, 이 워크테이블(42)에 놓여진 액정패널(7)을 조사(照射)하는 백라이트(43)와, 액정패널(7)의 시험을 행하는 프로브 유닛(45)과, 하우징(41)에 외부로부터 인식할 수 있도록 설치되어 액정패널(7)의 영상을 투영하는 스크린(46)을 구비하고 있다.

검사장치, 액정패널, 프로버, 컨베이어라인

Description

검사장치{Inspection Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 정면도이다.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 사시도이다.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 평면도이다.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 반입기구 및 프로버를 나타낸 정면도이다.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 반입기구를 나타낸 사시도이다.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 패널 클램프와 패널 리프터를 나타낸 사시도이다.

도7은 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 프로버를 나타낸 개략측면도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

1: 검사장치 2: 반입측 컨베이어

2A: 롤러 2B: 회전축

2C: 롤러가이드 3: 반입기구

4: 프로버(4) 5: 반출기구

6: 반출측 컨베이어 7: 액정패널

8: 패널 클램프 8A: X 패널 클램프부

8B: Y 패널 클램프부 9: 패널 리프터

12: 베이스 판 13: 안내레일

14: 슬라이더 15: 실린더

16: 클램프 편(片) 20: 베이스판

21: 안내레일 22: 슬라이더

23: 클램프편 24: 프레임

26: 베이스판 27: 가이드 부재

28: 구동모터 29: 지주(支柱)

30: 패드 32: 프레임

33: 가이드봉 34: 가이드판

37: 흡착부 38: 반송 암(arm)

41: 하우징 42: 워크테이블

43: 백라이트 44: Z스테이지

45: 프로브 유닛 46: 스크린

47: 광학계 48: 편광판

49: 미러 50: 셔터

발명의 분야

본 발명은 액정패널 등의 검사대상판을 시각적으로 확인해서 행하는 검사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

종래에 액정패널 등의 검사대상판의 시험을 행하는 경우에는, 검사대상판을 조명으로 비추고, 프로버로 통전시켜, 검사자가 그 화면을 시각적으로 확인했다. 그러나 이러한 경우, 검사자의 눈에 부담이 크다는 점과, 검사 시의 실수를 감소시키기까지 어느 정도의 숙련을 필요로 한다는 점 등의 문제가 있기 때문에, 검사면을 스크린에 투영해서 그 스크린 위에서 검사하는 것이 제안되어 왔다. 이에 대한 예로서, 일본 특개평 11-52317호 공보 및 일본 특개 2003-270608호 공보의 검사장치가 있다.

그러나, 상기 종래의 검사장치는 단일 장치로서 컨베이어 라인의 근방에 설치되며, 컨베이어 라인 위로 이송되는 검사대상판을 일단 컨베이어 라인로부터 취출하여 검사하고, 검사 종료 후에 다시 원래의 컨베이어 라인 위로 되돌려놓는다.

이렇게, 컨베이어 라인의 근방에 검사장치를 배치하면 그 검사장치를 위한 공간이 필요하게 되며, 또한 컨베이어 라인과 검사장치와의 사이에서 검사대상판을 이동시키는 이동기구를 설치하기 위한 공간도 필요하게 된다. 이 때문에, 장치의 규모나 부피가 커져버리는 문제점이 있다.

게다가, 이동기구로 검사대상판을 컨베이어 라인과 검사장치와의 사이에서 이동시키게 되면 작업효율이 악화되는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제에 착안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 공간절약화 및 작업효율의 향상을 목표로 하는 검사장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

본 발명은 공간절약화 및 작업효율의 향상을 목표로 하는 검사장치를 제공하는 데 있다. 보다 상세하게는, 검사대상판의 처리공정의 도중에 삽입되는 검사장치로, 상기 처리공정의 컨베이어 라인 위에 설치되어 상기 검사대상판을 검사하는 프로버와, 상기 컨베이어 라인 위를 상기 프로버까지 안내된 상기 검사대상판을 상기 프로버내에 반입하는 반입기구와, 상기 프로버에서 검사가 종료된 검사대상판을 후공정측의 상기 컨베이어 라인 위에 반출하는 반출기구를 구비하며, 상기 프로버가 외곽을 구성하는 하우징과, 상기 하우징내에 수납되어 상기 검사대상판이 놓여지는 워크테이블과, 상기 워크테이블에 놓여진 상기 검사대상판을 조사(照射)하는 광(光)과, 상기 검사대상판의 시험을 행하는 프로브 유닛과, 상기 하우징에 외부로부터 인식할 수 있도록 설치되어 상기 광에 의해 조사된 상기 검사대상판의 영상을 투영해내는 스크린을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 상기 처리공정의 컨베이어 라인 위에서 이송된 상기 검사대상판을 그 컨베이어 라인 위에서 검사하고, 그대로 컨베이어 라인 위로 이송되도록 할 수 있다.

상기 프로버의 반입측에는 상기 컨베이어 라인 위에 출몰(出沒)가능하도록 배치되어 상기 컨베이어 라인 위를 이송되어 온 검사대상판을 위치결정하고 지지하는 클램프와, 상기 클램프로 지지한 검사대상판을 위쪽으로 들어올려서 상기 반입기구에 전달하는 리프터를 구비하는 것이 바람직하다.

이에 따라, 클램프로 위치결정되어 리프터에 의해 위쪽으로 들어올려진 검사대상판을 반입기구가 잡아서 프로버 내에 정확하게 반입하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 프로버의 하우징은 그 반입측 및 반출측에 셔터를 구비하는 것이 바람직하다.

이에 따라, 셔터가 닫혀지는 것으로 차광이 되며, 스크린 위에 선명한 영상을 투영할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치에 대해서, 첨부도면을 참조하면서 설명하도록 하겠다.

도1은 본 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 정면도, 도2는 본 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 사시도, 도3은 본 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 평면도, 도4는 본 실시형태에 따른 검사장치의 반입기구 및 프로버를 나타낸 정면도, 도5는 본 실시형태에 따른 검사장치의 반입기구를 나타낸 사시도, 도6은 본 실시형태에 따른 검사장치의 패널 클램프와 패널 리프터를 나타낸 사시도, 도7은 본 실시형태에 따른 검사장치의 프로버를 나타낸 개략측면도이다. 아울러, 여기에서는 검사대상판으로서 액정패널을 예로 들어 설명한다.

본 실시형태에 따른 검사장치(1)는, 도1 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 액정패널의 제조처리공정의 도중에 삽입되어, 액정패널의 점등검사를 행하는 장치이다. 이 검사장치(1)는, 예를 들면 액정패널의 셀 공정과 모듈 공정과의 사이에 장착되며, 전(前)공정인 셀 공정을 마친 액정패널이 검사장치(1)에서 점등검사되고, 후(後)공정인 모듈공정으로 이송된다.

검사장치(1)는 주로, 반입측 컨베이어(2)와, 반입기구(3)와, 프로버(4)와, 반출기구(5)와, 반출측 컨베이어(6)로 구성된다.

반입측 컨베이어(2)는 전 공정에서 반송되어 온 액정패널(7)을 프로버(4)의 반입구까지 안내하기 위한 컨베이어이다. 이 반입측 컨베이어(2)는 롤러 컨베이어로 구성된다. 반입측 컨베이어(2)는 구체적으로는 롤러(2A)와 이 롤러(2A)를 회전가능하도록 지지하는 회전축(2B)과 이 회전축(2B)의 양 끝을 지지하는 롤러가이드(2C)로 구성된다. 아울러 롤러(2A)는 자유롭게 회전할 수 있도록 하는 것도 바람직하며, 구동모터(도시 생략)에 연결해서 구동모터로 회전구동시키는 것도 바람직 하다.

이 반입측 컨베이어(2) 내에는, 도5 및 도6에 나타낸 바와 같이, 패널 클램프(8)와 패널 리프터(9)가 설치된다. 이들 패널 클램프(8)와 패널 리프터(9)는 액정패널(7)이 이송되는 컨베이어 라인 위에 위치하며, 반입측 컨베이어(2) 내에 출몰(出沒) 가능하도록 삽입된다.

패널 클램프(8)는 반입측 컨베이어(2)로 안내되어 온 액정패널(7)을 위치결정하고 지지하기 위한 기구이다. 이 패널 클램프(8)는 X 패널 클램프부(8A)와 Y 패널 클램프부(8B)로 구성된다. X 패널 클램프부(8A)는 X방향(컨베이어 라인을 따르는 방향이다. 액정패널(7)이 이송되는 방향)에 설치되고, 액정패널(7)의 X방향의 위치를 조정하기 위한 기구이다. X 패널 클램프(8A)는 베이스 판(12)과 안내레일(13)과 슬라이더(14)와 실린더(15)와 클램프 편(片)(16)과 이동기구(도시 생략)로 구성된다. 베이스판(12)은 반입측 컨베이어(2) 측에 고정되어 안내레일(13)을 지지하기 위한 판 재료이다. 안내레일(13)은 두개의 슬라이더(14)를 슬라이드 가능하도록 지지하기 위한 레일이다. 이 안내레일(13)은 베이스판(12)에 일체로 고정되며 상기 X축 방향을 따라 설치된다. 슬라이더(14)는 안내레일(13)에 슬라이드 가능하도록 설치된다. 슬라이더(14)는 마주보도록 2개가 설치되며, 안내레일(13)에 안내되어 서로 근접하게 이격되어 형성된다. 실린더(15)는 클램프편(16)을 상하로 이동시키기 위한 기구이다. 실린더(15)는 신축방향을 수직으로 향한 상태로 슬라이더(14)에 일체로 고정되어 있다. 실린더(15)는 전동이나 유압 등에 의해 신축되도록 구성된다. 이에 따라, 실린더(15)는 클램프편(16)을 반입측 컨베이어(2)의 반송 면(반송되는 액정패널(7)이 위치하는 면)으로부터 출몰시키도록 형성된다. 이 실린더(15)는 통상적으로는 수축하여 대기상태가 되며, 반입측 컨베이어(2)로 반송되어 온 액정패널(7)을 설정위치로 위치 결정할 때 연장되어 클램프편(16)이 상기 반송면으로부터 연장되도록 형성된다. 클램프편(16)은 액정패널에 직접 접촉하여 액정패널(7)의 위치결정을 행하기 위한 부재이다. 이 클램프편(16)은 탄성을 갖는 원통형상의 합성수지를 두개 나열해서 구성된다.

Y패널 클램프부(8B)는 Y방향에 배치되며, 액정패널(7)의 Y방향의 위치를 조정하기 위한 기구이다. Y패널 클램프부(8B)는 베이스판(20)과 안내레일(21)과 슬라이더(22)와 클램프편(23)과 이동기구(도시 생략)로 구성된다. 베이스판(20)은 반입측 컨베이어(2)측에 고정되어 안내레일(21)을 지지하기 위한 판재이다. 안내레일(21)은 두개의 슬라이더(22)를 슬라이드 가능하도록 지지하기 위한 레일이다. 이 안내레일(21)은 베이스판(20)에 일체로 고정되며, 상기 Y축방향을 따라 배치된다. 슬라이더(22)는 안내레일(21)에 슬라이드 가능하도록 설치된다. 슬라이더(22)는 마주보도록 2개가 설치되며, 안내 레일(21)에 안내되어 서로 근접하게 이격되도록 형성된다. 각 슬라이더(22)는 도시하지 않는 이동기구에 지지되며, 서로 근접하게 이격되도록 형성된다. 클램프편(23)은 액정패널(7)에 직접 접촉하여 액정패널(7)의 위치결정을 행하기 위한 부재이다. 이 클램프편(23)은 탄성을 갖는 원통형상의 합성수지를 두개로 나열해서 구성된다. 각 클램프편(23)은 거의 U자형으로 형성된 프레임(24)의 앞쪽 끝에 설치된다. 이 프레임(24)의 높이는 클램프편(23)이 반송면으로부터 위쪽으로 연장하여 액정패널(7)의 가장자리에 접촉할 수 있는 높이로 설정 된다. 각 클램프편(23)은 상기 이동기구에 의해 통상적으로 반입측 컨베이어(2)의 폭방향의 가장 바깥쪽에 위치한 대기상태로 놓여지며, X패널 클램프부(8A)로 액정패널(7)이 위치결정될 때 서로 근접하도록 제어된다. 이에 따라 이 X패널 클램프부(8A)와 연동해서 액정패널(7)을 XY방향으로 정확하게 위치결정하도록 형성된다. 이 X패널 클램프부(8A)와 Y패널 클램프부(8B)로 정확하게 위치결정된 액정패널(7)은 패널 리프터(9)에 전달된다. 아울러, 패널 클램프(8)에는 필요에 따라 액정패널(7)의 위치를 검출하는 센서를 구비해도 좋다. 이 센서에 의해 액정패널(7)이 X패널 클램프부(8A)와 Y패널 클램프부(8B)로 위치결정이 가능한 위치에 있는 것을 검출한 후 패널 클램프(8)를 작동시키게 한다.

패널 리프터(9)는 패널 클램프(8)로 위치결정해서 지지된 액정패널(7)을 위쪽으로 들어올려서 반입기구(3)에 전달하기 위한 장치이다. 패널 리프터(9)는 베이스판(26)과 가이드부재(27)와 구동모터(28)와 지주(支柱)(29)와 패드(30)로 구성된다. 베이스판(26)은 패널 리프터(9) 전체를 지지하기 위한 판재이다. 베이스판(26)은 반입측 컨베이어(2)의 프레임(32)에 고정된다. 가이드부재(27)는 베이스판(26)에 슬라이드 가능하도록 지지되며, 상하 방향으로 이동하는 부재이다. 가이드 부재(27)는 베이스판(26)에 슬라이드 가능하도록 지지된 4개의 가이드봉(33)과 각 가이드봉(33)을 일체로 지지하는 가이드판(34)으로 구성된다. 구동모터(28)는 가이드부재(27)를 상하로 이동시키기 위한 모터이다. 구동모터(28)는 볼 나사 등을 통해서 가이드부재(27)에 연결되며 구동모터(28)의 회전에 의해 가이드부재(27)가 상하로 승강하도록 형성된다. 지주(29)는 패드(30)를 지지하기 위한 부재이며, 가이드 부재(27)의 가이드판(34)에 4개가 설치된다. 패드(30)는 액정패널(7)의 아랫면에 접촉하여 액정패널(7)을 지지하기 위한 부재이며, 탄성을 갖는 합성수지로 이루어지고, 역원추형으로 형성된다.

반입기구(3)는 도1 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 액정패널(7)을 프로버(4) 내에 반입하기 위한 기구이다. 반입기구(3)는 흡착부(37)와 반송 암(arm)(38)과, 이동기구(도시 생략)로 구성된다. 흡착부(37)는 액정패널(7)의 표면에 흡착해서 액정패널(7)을 지지하기 위한 부분이다. 반송 암(arm)(38)은 그 선단부의 흡착부(37)를 통해서 액정패널(7)을 지지하고, 프로버(4) 내로 운반하기 위한 부재이다. 반송 암(38)은 수평방향으로 길게 연장해서 형성되며 액정패널(7)을 프로버(4) 내의 중심부까지 삽입할 수 있도록 형성된다. 이동기구는 반송 암(38)을 지지하여 이 반송 암(38)으로 지지된 액정패널(7)을 프로버(4) 내의 중심부까지 삽입하기 위한 기구이다. 이동기구는 반송 암(38)을 수평방향으로 이동시키는 장치(도시 생략)를 구비하여 구성된다.

프로버(4)는 액정패널(7)의 점등검사를 행하기 위한 장치이다. 프로버(4)는 액정패널(7)의 제조처리공정의 컨베이어 라인 위에 배치된다. 프로버(4)는 도1 및 도7에 나타낸 바와 같이, 하우징(41), 워크테이블(42), 백라이트(43), Z스테이지(44), 프로브 유닛(45), 스크린(46), 광학계(47), 편광판(48), 미러(49), 셔터(50)로 구성된다.

하우징(41)은 프로버(4)의 외곽을 구성하기 위한 부재이다. 이 하우징(41) 안은 차광되어 암실로 형성되며, 이 암실 내에서 액정패널(7)의 검사대상면의 영상 을 스크린(46) 위에 효율적으로 투영하도록 형성된다.

워크테이블(42)은 점등검사를 위한 액정패널(7)이 놓여지는 부재이다. 워크테이블(42)은 하우징(41)내의 상기 컨베이어 라인 위에 배치된다. 이에 따라 워크테이블(42)을 상기 컨베이어 라인 위에서 벗어난 위치에 배치됨으로써 생기는 액정패널(7)의 반송시의 불필요한 작동을 억제한다.

백라이트(43)는 액정패널(7)을 그 뒷면측에서 조사하여 그 액정패널(7)의 영상을 스크린(46) 위에 투영하기 위한 광원이다. 백라이트(43)는 워크테이블(42)과 Z스테이지(44)의 사이에 설치되며 워크테이블(42)에 놓여진 액정패널(7)을 그 뒷면에서 조사하도록 된다.

Z스테이지(44)는 워크테이블(42)을 지지해서 상하방향으로 이동시키기 위한 장치이다. 이 Z스테이지(44)는 워크테이블(42)을 상승시키는 것으로 반송 암(38)에 지지되어 Z 스테이지(44)의 바로 위까지 이동된 액정패널(7)을 수용하도록 된다. 게다가, Z 스테이지(44)는 워크테이블(42) 위에 놓여진 액정패널(7)에 프로브 유닛(45)의 프로브 침(도시 생략)을 접촉시킬 때 워크테이블(42)을 상하로 이동시켜서 조정한다.

프로브 유닛(45)은 액정패널(7)의 점등시험을 행하기 위한 부재이다. 프로브 유닛(45)은 그 선단부에 프로브 침(도시 생략)을 구비하며, 이 프로브 침이 액정패널(7)의 단자부(도시 생략)에 접촉하여 점등시험이 행해진다.

스크린(46)은 액정패널(7)의 표면의 영상을 투영하기 위한 부재이다. 이 스크린(46)은 투과형이며, 백라이트(43)로 뒷면에서 조사된 상태에서 점등시험을 행 하고 있는 액정패널(7)의 표면의 영상을 확대축소해서 선명하게 투영하도록 형성된다. 스크린(46)은 하우징(41) 내에 상기 컨베이어 라인과 직교하는 벽면에 외부로부터 인식할 수 있도록 설치된다. 이에 따라, 프로젝션 텔레비전과 마찬가지로 점등시험을 행하고 있는 액정패널(7)의 표면의 영상을 확대축소해서 선명하게 투영할 수 있도록 형성된다.

광학계(47)는 스크린(46) 위에 초점을 좁히기 위한 부재로, 한개 또는 복수개의 렌즈로 구성된다. 이 광학계(47)로 점등시험을 행하고 있는 액정패널(7)의 표면의 영상을 스크린(46) 위에 확대해서 선명하게 투영하도록 형성되어 있다.

편광판(48)은 액정패널(7)로부터의 영상광을 편광시키기 위한 부재이다. 이 편광판(48)은 본래 액정패널(7)에 삽입되어 있는 편광판 대신에 설치된다. 즉, 액정패널(7)이 제조 도중에, 아직 편광판이 삽입되어 있지 않은 상태로 점등검사를 행하기 때문에, 액정패널(7)에 삽입되는 편광판 대신 상기 편광판(48)이 광학계(47)의 광원 측(아래쪽)에 설치된다.

미러(49)는 액정패널(7)로부터의 영상광을 스크린(46) 쪽으로 반사시키기 위한 미러이다.

셔터(50)는 하우징(41)에 액정패널(7)이 출입될 때 개폐하기 위한 부재이다. 하우징(41) 안은 스크린(46) 위에 선명한 영상을 투영하기 위해 암실로 되어 있으며, 액정패널(7)의 출입구를 차광하기 위해 셔터(50)가 반입측 및 반출측의 각각에 설치되어 있다.

반출기구(5)는 프로버(4)에서 검사가 종료된 액정패널(7)을 후공정측의 상기 컨베이어 라인 위에 반출하기 위한 기구이다. 이 반출기구(5)는 상기 반입기구(3)와 같은 구성을 갖고 있다.

반출측 컨베이어(6)는 반출기구(5)로부터 액정패널(7)을 수용하여 후공정으로 보내기 위한 장치이다. 이 반출측 컨베이어(6)는 상기 반입측 컨베이어(2)와 같은 구성을 갖고 있다. 반출측 컨베이어(6)에는 반입측 컨베이어(2)의 패널 클램프(8) 및 패널 리프터(9)와 같은 구성의 패널 클램프(8) 및 패널 리프터(9)가 설치되어 있다.

상기 각 장치는 제어부(도시 생략)에 접속되어 있다. 이 제어부에는 뒤에 설명하는 동작을 제어하는 제어프로그램이 내장되어 있다.

이상에서와 같이 구성된 검사장치(1)는 다음과 같이 동작한다.

전공정으로부터 이송된 액정패널(7)은 검사장치(1)의 반입측 컨베이어(2)에 유입되며, 이 반입측 컨베이어(2)에 안내되어 프로버(4)의 반입구까지 이동한다. 이어서, 패널 클램프(8)의 X패널 클램프부(8A)가 작동하고 각 클램프편(16)이 상승되며, X방향 전후에서 액정패널(7)을 집어서 고정함으로써 X방향의 위치를 결정한다. 이와 동시에 Y 패널 클램프부(8B)도 작동하여, Y방향의 위치를 결정한다. 이에 따라 액정패널(7)이 그 XY방향으로 정확하게 위치가 결정된다.

다음에, X패널 클램프부(8A) 및 Y패널 클램프부(8B)의 클램프편(16, 23)이 조금 열리고, 패널 리프터(9)가 작동하여 가이드부재(27)가 상승된다. 이에 따라 패드(30)가 액정패널(7)의 아래쪽 면에 접촉하여 액정패널(7)을 들어올린다. 패널 리프터(9)로 들어올려진 액정패널(7)은 반입기구(3)의 흡착부(37)에 접촉되며, 이 흡착부(37)로 흡착하여 지지된다. 이어서, 상류측의 셔터(50)가 개방되어 반입기구(3)의 반송 암(38)이 컨베이어 라인방향으로 수평이동해서 액정패널(7)을 프로버(4)의 하우징(41) 내에 삽입한다. 구체적으로는 하우징(41) 내의 워크테이블(42)의 바로 위까지 이동되며, Z스테이지(44)에서 워크테이블(42)이 상승하여 액정패널(7)이 워크테이블(42) 위에 놓여진다. 그리고, 반입기구(3)는 하우징(41)으로부터 꺼내지며 셔터(50)가 닫힌다.

이어서, Z스테이지(44)가 상승하여 프로브유닛(45)의 각 프로브 침이 액정패널(7)의 각 전극에 접촉된다. 그리고, 액정패널(7)에 통전됨과 동시에 백라이트(43)가 점등된다. 이에 따라, 액정패널(7)의 표면의 영상은 편광판(48)을 통해서 광학계(47)로 초점이 모아지며, 미러(49)로 반사되어 스크린(46)에 확대되어 선명하게 투영된다. 검사자는 이 스크린(46)을 보면서 검사를 행한다.

액정패널(7)의 검사가 종료하면, 하류측의 셔터(50)가 개방되고, 반출기구(5)의 반송 암(38)이 하우징(41)내에 삽입되고, 흡착부(37)가 워크테이블(42)의 바로 위까지 이동된다. 이어서, 워크테이블(42)이 상승되고, 이에 따라 워크테이블(42) 위의 액정패널(7)을 흡착부(37)에 접촉해서 이 흡착부(37)로 흡착하여 지지되며, 하우징(41)의 외부로 배출된다. 외부에 반출된 액정패널(7)은 반출측 컨베이어(6) 위에 놓여져서 하류측의 컨베이어 라인으로 이송된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명에 따른 검사장치(1)는 상기와 같이 작동함으로써 다음과 같은 효과를 갖는다. 검사장치(1)의 프로버(4)를 액정채널(7)의 제조처리공정의 컨베이어 라인 위에 설치하기 때문에, 검사장치(1)를 위한 특별 공간이 불필요하게 되며, 이에 따라 공간 절약화를 달성할 수 있다.

또한, 컨베이어 라인 위를 이송해 온 액정패널(7)을 그 컨베이어 라인 위에서 검사하여 그대로 컨베이어 라인 위에서 이송되기 때문에 불필요한 작업이 없어지며 작업효율이 향상될 수 있다.

프로버(4)를 하우징(41), 워크테이블(42), 백라이트(43), Z스테이지(44), 프로브유닛(45), 스크린(46), 광학계(47), 편광판(48), 미러(49), 셔터(50)를 구비하며, 액정패널(7)을 컨베이어 라인 위에서 정확하게 위치결정하여 반송하기 때문에 불필요한 작업이 없어지고 작업효율이 향상될 수 있다.

게다가, 하우징(41) 및 셔터(50)로 하우징(41) 내를 암실로 형성하여 광학계(47) 등으로 스크린(46)에 확대된(액정패널(7)이 스크린(46)보다 큰 경우는 축소된) 선명한 화상을 투영하도록 했기 때문에 검사정밀도를 향상 시킬 수 있다.

상기 패널클램프(8)로 위치결정되어 패널 리프터(9)에서 위쪽으로 들어올려진 액정패널(7)을 반입기구(3)가 집어서 프로버(4) 내에 정확하게 반입할 수 있기 때문에 불필요한 작업이 없어지고 작업효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의 하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims (3)

1. 검사대상판의 처리공정의 도중에 삽입되는 검사장치로,

   상기 처리공정의 컨베이어 라인 위에 설치되어 상기 검사대상판을 검사하는 프로버와, 상기 컨베이어 라인 위를 상기 프로버까지 안내된 상기 검사대상판을 상기 프로버 내에 반입하는 반입기구와, 상기 프로버에서 검사가 종료된 검사대상판을 후공정측의 상기 컨베이어 라인 위에 반출하는 반출기구를 구비하며,

   상기 프로버가 외곽을 구성하는 하우징과 이 하우징 내에 수납되어 상기 검사대상판이 놓여진 워크테이블과, 이 워크테이블에 놓여진 상기 검사대상판을 조사하는 광(光)과, 상기 검사대상판의 시험을 행하는 프로브유닛과, 상기 하우징에 외부로부터 인식할 수 있도록 설치되고 상기 광으로 조사된 상기 검사대상판의 영상을 투영하는 스크린을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 프로버의 반입측에 상기 컨베이어 라인 위에 출몰가능하도록 설치되어 상기 컨베이어 라인 위를 이송되어 온 검사대상판을 위치결정하고 지지하는 클램프와, 이 클램프로 지지된 검사대상판을 위쪽으로 들어올려서 상기 반입기구에 전달하는 리프터를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 프로버의 하우징이 그 반입측 및 반출측에 셔터를 구비한 것을 특징으로 하는 검사장치.

Images