KR20070040627A - 웨이퍼 식별번호를 확인할 수 있는 웨이퍼 정렬장치 - Google Patents

웨이퍼 식별번호를 확인할 수 있는 웨이퍼 정렬장치 Download PDF

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Abstract

웨이퍼 정렬장치 내부에 카세트 내의 웨이퍼를 계단형으로 높이가 다르게 들어올려 각 웨이퍼의 식별번호를 확인할 수 있는 계단형 웨이퍼 지지대를 구비한다. 식별번호 확인용 웨이퍼 지지대는 웨이퍼의 식별번호를 확인하지 않을 때에는 웨이퍼 정렬용 롤러 아래에 위치하며, 웨이퍼의 식별번호를 확인하는 경우에 롤러 위로 움직인다. 웨이퍼 정렬장치에서 웨이퍼를 정렬한 후 웨이퍼 식별번호 확인장치에서 웨이퍼의 식별번호를 확인하는 작업과정을 웨이퍼 정렬장치에서 모두 이루어지도록 함으로써 작업능률을 향상시키고 작업과정 중간에 일어날 수 있는 웨이퍼의 손실을 예방할 수 있다.

Description

웨이퍼 식별번호를 확인할 수 있는 웨이퍼 정렬장치{Wafer aligning apparatus which is able to check wafer identification number}
도 1은 종래의 웨이퍼 정렬장치의 사진이다.
도 2는 웨이퍼의 식별번호를 눈으로 확인할 수 있는 종래의 식별번호 확인장치의 사진이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 정렬장치를 보여주는 부분 절개 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 웨이퍼를 정렬하거나 웨이퍼의 식별번호를 확인하는 경우의 웨이퍼 지지대의 상대적인 위치와 웨이퍼를 보여주는 사시도이다.
도 5는 웨이퍼 식별번호를 확인하기 위한 웨이퍼 지지대를 상하로 구동시키는 지지대 구동 블록의 구성도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 웨이퍼 100 : 몸체
110 : 롤러 120 : 웨이퍼 지지대
130 : 리드 스크류 140 : 모터
150 : 연결 벨트 160 : 센싱바
162, 164 : 센서
본 발명은 반도체 소자의 제조 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼의 정렬 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장비에는 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 매엽식 장비와 한 랏(lot) 또는 여러 랏의 웨이퍼를 한꺼번에 처리하는 배치식 장비가 있다. 이들 장비에서는 공정의 안정성을 위하여 웨이퍼의 플랫존이 일정한 방향을 향하도록 하여 공정이 진행된다. 따라서 원활하게 공정이 진행되도록 하기 위하여 장비에 웨이퍼를 로드하기 전에 웨이퍼의 플랫존을 얼라인하는 작업을 거치는 것이 일반적이다.
도 1은 종래의 웨이퍼 정렬장치의 사진이다. 도 1의 사진에서 보이는 바와 같이 웨이퍼 정렬장치는 두 개의 롤러를 구비하고 있다. 웨이퍼 정렬장치에 웨이퍼가 담긴 카세트를 올려놓고 웨이퍼 정렬장치를 작동시키면 카세트 내의 웨이퍼의 플랫존이 모두 한 방향으로 정렬될 때까지 웨이퍼 아래에서 두 개의 롤러가 회전한다. 웨이퍼는 플랫존이 위 또는 아래로 향하도록 정렬될 수 있다.
한편, 하나의 랏을 구성하는 카세트 안의 웨이퍼는 서로 구별되도록 웨이퍼에 식별번호가 새겨져 있다. 이러한 식별번호는 보통 웨이퍼의 플랫존 바로 위에 위치하는데 도 2는 웨이퍼의 식별번호를 눈으로 확인할 수 있는 식별번호 확인장치이다. 도 2의 사진에 보이는 바와 같이 식별번호 확인장치에는 경사진 웨이퍼 지지대가 마련되어 있다. 카세트가 식별번호 확인장치에 올려지면 경사진 지지대에 각 웨이퍼들이 높이가 다르게 계단형으로 놓여지므로 웨이퍼를 꺼내지 않고도 웨이퍼 의 식별번호를 확인할 수 있다.
그런데 식별번호 확인장치에서 웨이퍼의 식별번호를 읽으려면 먼저 웨이퍼 정렬장치에서 웨이퍼의 플랫존을 맞춘 후 웨이퍼를 다시 식별번호 확인장치로 옮겨야 한다. 따라서 웨이퍼의 식별번호 확인을 하기 위하여 두 번의 작업을 하는 것은 불편을 초래하며 또한 웨이퍼 핸들링 작업 중에 웨이퍼 손실이 발생할 수 있다.
본 발명의 기술적 과제는 웨이퍼 정렬을 한 후 웨이퍼의 식별번호를 확인하기 위하여 웨이퍼 식별번호 확인장치를 거쳐야하는 번거로움을 피하고 웨이퍼 핸들링 작업을 단순화할 수 있는 웨이퍼 식별번호를 확인할 수 있는 웨이퍼 정렬장치를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 정렬장치는 웨이퍼들이 담긴 케리어가 상기 웨이퍼들이 수직이 되도록 놓여지는 몸통; 상기 몸통 안의 공간에서 일정 거리를 두고 같은 높이에서 수평으로 위치하고 상기 케리어의 개방된 하부를 통해 상기 웨이퍼들의 측면과 닿는 두 개의 롤러; 상기 몸통 안의 공간에서 상하운동을 하며 상기 웨이퍼들의 높이가 계단형으로 배열되도록 상기 웨이퍼들을 들어올릴 수 있는 계단형 지지대를 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 정렬장치에서 상기 계단형 지지대는 일정한 거리를 갖고 같은 높이에서 평행하게 배치되고 상기 웨이퍼들이 놓여지는 동일한 계단형 상부를 갖는 둘 이상의 판으로 구성되고 상기 판은 상기 롤러와 상기 몸통 사이에 위치한 다.
본 발명의 웨이퍼 정렬장치에서 상기 계단형 지지대는 식별 블록을 구성하며, 상기 식별 블록은 상기 계단형 지지대를 구성하는 상기 둘 이상의 판 중 하나의 하단이 맞물려 상기 계단형 지지대가 상하 운동을 할 수 있도록 수직으로 배치된 리드 스크류; 상기 리드 스크류가 회전할 수 있는 힘을 제공하는 구동 모터; 상기 리드 스크류에 상기 구동 모터의 힘을 전달하는 연결 벨트를 더 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 정렬장치에서 상기 식별 블록은 상기 계단형 지지대의 하부에 연결된 센싱바와 상기 센싱바를 감지하여 상기 계단형 지지대의 상하 움직임을 제어할 수 있도록 하는 센서를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 정렬장치를 보여주는 부분 절개 사시도이다. 도 3을 참조하면, 웨이퍼 정렬장치는 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는데 사용되는 한 쌍의 롤러(110)와 카세트 안의 웨이퍼의 식별번호를 확인할 수 있도록 웨이퍼를 계단형으로 높이를 다르게 하여 들어올리는 웨이퍼 지지대(120)를 구비한다. 따라서 본 발명의 웨이퍼 정렬장치는 카세트 안의 웨이퍼의 방향을 플랫존을 기준으로 정렬하거나 정렬된 웨이퍼의 식별번호를 확인하는데 사용될 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 웨이퍼를 정렬하거나 웨이퍼의 식별번호를 확인하는 경우 본 발명의 장치(100)에서 웨이퍼 지지대(120)의 상대적인 위치를 보여준다. 도 4a 및 도 4b에서 장치내의 롤러(110)와 웨이퍼 지지대(120)를 보이기 위하여 실제로는 카세트에 담긴 채 웨이퍼 정렬장치에 놓여진 웨이퍼(10)를 편의상 카세트를 생략하고 정렬장치에서 분리하여 위쪽으로 도시하였다.
도 4a를 참조하면, 웨이퍼(10)를 정렬하는 경우에는 웨이퍼 지지대(120)는 롤러(110)보다 낮게 위치한다. 따라서 웨이퍼(10)는 웨이퍼 지지대(120)에 닿지 않고 두 롤러(110) 위에 얹혀져 축을 중심으로 회전하는 롤러에 의해 같이 회전되면서 웨이퍼(10)의 플랫존이 모두 같은 방향으로 맞추어 진다. 도 4a의 웨이퍼(10)는 정렬이 끝난 상태의 웨이퍼(10)이다.
도 4b를 참조하면, 웨이퍼(10)의 식별번호를 확인하는 경우에는 웨이퍼 지지대(120)는 롤러(110)보다 높게 올라온다. 롤러(110)에 걸쳐져 있던 카세트 안의 웨이퍼(10)는 계단형으로 경사진 웨이퍼 지지대(120)에 의하여 들어 올려진다. 웨이퍼 지지대(120)는 업, 다운 스위치에 의해 위, 아래로 동작하며 이때 웨이퍼 지지대(120)는 카세트보다 높게 올라오지는 않는다. 업, 다운 스위치는 한번 누르면 웨이퍼 지지대(120)가 움직이고 다시 한번 누르면 웨이퍼 지지대(120)가 멈추도록 한다.
웨이퍼 지지대(120)가 계단형으로 경사져 있으므로 웨이퍼(10)들의 상대적인 높이도 계단형을 이루며 따라서 웨이퍼(10)의 플랫존 위에 새겨진 식별번호를 웨이퍼(10)를 일일이 꺼내지 않고도 용이하게 확인할 수 있다. 이때 웨이퍼 지지대 (120)에 웨이퍼(10)가 얹혀지는 부분에는 웨이퍼(10)가 미끄러지지 않고 안정되게 고정될 수 있도록 홈(121)이 파여져 있다. 도 4b의 웨이퍼(10)는 정렬된 후 웨이퍼 지지대(120)에 의해 각 웨이퍼(10)의 높이가 다르게 들어 올려진 상태를 편의상 웨이퍼 지지대(120)에서 분리하여 나타내었다.
도 5는 웨이퍼 식별번호를 확인하기 위한 웨이퍼 지지대(120)를 상하로 구동시키는 지지대 구동 블록의 구성도이다. 도 5를 참조하면, 웨이퍼 지지대(120)의 하단부가 리드 스크류(130)에 맞물려있다. 리드 스크류(130)는 연결 벨트(150)에 의하여 모터(140)에 연결되어 회전한다. 리드 스크류(130)는 모터에 의하여 시계방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있으며, 회전방향에 따라 웨이퍼 지지대(120)가 위 또는 아래로 움직일 수 있다. 한편, 웨이퍼 지지대(120)에 센싱바(160)가 부착되어 있고, 본 발명에 의한 웨이퍼 정렬장치의 몸체(100)에는 센서(162,164)가 일정한 간격을 두고 아래 위로 구비되어 있다. 웨이퍼 지지대(120)가 아래 위로 움직임에 따라 웨이퍼 지지대(120)와 함께 움직이는 센싱바(160)를 센서(162,164)가 감지함으로써 웨이퍼 지지대(120)가 최대로 움직이는 높낮이를 적절히 조절할 수 있다.
도 5에는 센싱바(160)가 웨이퍼 지지대(120)의 아래에 부착되어 있으나 웨이퍼 지지대(120)의 다양한 위치에 구비될 수 있다. 센서(162,164)는 포토센서인 것이 바람직하나 이외에도 근접센서 등 다양한 방식의 센서를 사용할 수 있다.
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 그 변형이나 개량이 가능하다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼 정렬장치 내부에 웨이퍼 식별번호를 확인할 수 있도록 상하로 움직일 수 있는 계단형 웨이퍼 지지대를 구비함으로써 웨이퍼의 플랫존의 정렬과 웨이퍼의 식별번호를 확인하는 작업을 하나의 장치에서 동시에 할 수 있다. 따라서 웨이퍼 정렬장치에서 웨이퍼를 정렬한 후 웨이퍼 식별번호 확인장치에서 웨이퍼의 식별번호를 확인하는 작업과정을 줄임으로써 작업능률을 향상시키고 과정 중간에 일어날 수 있는 웨이퍼의 손실을 예방할 수 있다.

Claims (9)

  1. 웨이퍼들이 담긴 케리어가 상기 웨이퍼들이 수직이 되도록 놓여지는 몸통;
    상기 몸통 안의 공간에서 일정 거리를 두고 같은 높이에서 수평으로 위치하고 상기 케리어의 개방된 하부를 통해 상기 웨이퍼들의 측면과 닿는 두 개의 롤러;
    상기 몸통 안의 공간에서 상하운동을 하며 상기 웨이퍼들의 높이가 계단형으로 배열되도록 상기 웨이퍼들을 들어올릴 수 있는 계단형 지지대를 포함하는 웨이퍼 정렬장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 롤러는 상기 롤러의 축을 중심으로 회전하면서 맞닿는 상기 웨이퍼들을 회전시키면서 정렬하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 계단형 지지대는 일정한 거리를 갖고 같은 높이에서 평행하게 배치되고 상기 웨이퍼들이 놓여지는 동일한 계단형 상부를 갖는 둘 이상의 판으로 구성되고 상기 판은 상기 롤러와 상기 몸통 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 계단형 지지대를 구성하는 상기 둘 이상의 판은 하부가 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 계단형 지지대를 구성하는 상기 둘 이상의 판은 상기 웨이퍼들이 안정적으로 놓여질 수 있는 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 계단형 지지대는 식별 블록을 구성하며,
    상기 식별 블록은 상기 계단형 지지대를 구성하는 상기 둘 이상의 판 중 하나의 하단이 맞물려 상기 계단형 지지대가 상하 운동을 할 수 있도록 수직으로 배치된 리드 스크류;
    상기 리드 스크류가 회전할 수 있는 힘을 제공하는 구동 모터;
    상기 리드 스크류에 상기 구동 모터의 힘을 전달하는 연결 벨트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 식별 블록은 상기 계단형 지지대의 하부에 연결된 센싱바와 상기 센싱바를 감지하여 상기 계단형 지지대의 상하 움직임을 제어할 수 있도록 하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 센서는 빛을 감지하는 포토센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
  9. 제 6항에 있어서, 상기 식별 블록은 상기 식별 블록이 작동하지 않을 때에는 상기 계단형 지지대의 상부가 상기 롤러보다 아래에 위치하며, 상기 식별 블록이 작동하는 경우에 상기 모터에 의하여 상기 계단형 지지대가 상기 롤러보다 위로 움직이는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101363568B1 (ko) * 2013-10-10 2014-02-19 유니온테크 주식회사 웨이퍼의 계단형 정렬장치
KR101425865B1 (ko) * 2012-12-06 2014-08-20 노한우 경사 정렬형 아이디 체크 보조기능이 구비된 웨이퍼 플랫존 얼라이너

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