KR100211664B1 - 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼를 일방향성을 가지도록 얼라인 시킬 수 있고, 웨이퍼를 단차지게 배열하여 웨이퍼 상에 형성된 고유번호를 확인할 수 있는 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 웨이퍼 캐리어가 거치되는 벽체, 상기 캐리어가 상기 벽체에 거치될 때 내부에 적재된 웨이퍼 주변부가 닿으면서 회전하여 플랫존이 얼라인되도록 상기 벽체 내측에 설치되는 복수개의 롤러핀, 상기 벽체의 내측에서 상하운동하며, 상사점에서 상기 캐리어에 적재된 웨이퍼들을 단차지게 배열시켜 웨이퍼의 고유번호를 확인할 수 있도록 한 파인더 부재 및 상기 파인더 부재를 상하로 움직여 주는 파인더 구동부를 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 클린룸 내부에서 얼라이너와 고유번호확인 장치를 하나의 기구로 통합할 수 있으므로 클린룸 내부의 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 일방향성을 가지도록 얼라인 시킬 수 있고, 웨이퍼를 단차지게 배열하여 웨이퍼 상에 형성된 고유번호를 확인할 수 있는 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치에 관한 것이다.
통상, 식각공정 등의 반도체 소자 제조공정이 공정챔버에서 수행되면, 웨이퍼 표면과 반응가스가 반응하여 폴리머(Polymer)가 발생하며, 이러한 폴리머는 공정챔버 내의 스테이지(Stage) 상에 도포된다.
따라서, 식각공정 등이 계속하여 반복적으로 수행되면, 스테이지 상의 웨이퍼가 놓이는 부분을 제외한 영역에는 폴리머가 계속 적층되어 스테이지 상에 단차가 형성되므로 스테이지 상의 웨이퍼가 놓이는 부위에 정확하게 웨이퍼가 놓이지 못하면 식각공정불량을 유발한다.
그러므로, 반도체 소자 제조공정에 사용되는 웨이퍼는 얼라이너(Aligner)에서 일방향성을 가지도록 얼라인된 후, 공정챔버의 스테이지로 이동되어 반도체 소자 제조공정이 진행된다.
또한, 반도체 소자 제조공정은, 로트(Lot) 단위의 웨이퍼가 캐리어(Carrier)에 적재되어 연속되는 반도체 소자 제조설비로 이동되며 진행된다.
따라서, 고유번호확인 장치에서 웨이퍼 상에 형성된 고유번호를 확인하여 공정진행정도를 확인하고 있다.
전술한 바와 같이 종래의 웨이퍼 얼라이너와 고유번호확인 장치는 클린룸 내부에서 개별적으로 구성되어 있었다.
따라서, 클린룸 내부에서 웨이퍼 얼라이너와 웨이퍼 고유번호확인 장치를 위해서 공간을 확보하기가 어려운점이 있었다.
본 발명의 목적은, 웨이퍼 얼라이너와 웨이퍼 고유번호확인 장치의 공간확보의 어려움을 해결할 수 있는 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치를 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치의 일 실시예를 나타내는 부분절단 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치의 일 실시예를 나타내는 평면도이다.
도3 및 도4는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치의 측면도로서, 도3은 파인더 부재의 하강상태 도4는 상승상태를 나타내는 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 벽체 12 : 제 1 롤러핀
14 : 제 2 롤러핀 16 : 제 1 판재
18 : 제 2 판재 20 : 제 3 판재
22 : 가이드 레일 24 : 돌출부위
26 : 래크 28 : 피니언
30 : 모터 32 : 웨이퍼
34 : 캐리어
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치는, 웨이퍼 캐리어가 거치되는 벽체, 상기 캐리어가 상기 벽체에 거치될 때 내부에 적재된 웨이퍼 주변부가 닿으면서 회전하여 플랫존이 얼라인되도록 상기 벽체 내측에 설치되는 복수개의 롤러핀, 상기 벽체의 내측에서 상하운동하며, 상사점에서 상기 캐리어에 적재된 웨이퍼들을 단차지게 배열시켜 웨이퍼의 고유번호를 확인할 수 있도록 한 파인더 부재 및 상기 파인더 부재를 상하로 움직여 주는 파인더 구동부를 구비하여 이루어진다.
상기 롤러핀은 소정의 간격을 유지하며 동일 높이로 형성된 제 1 롤러핀 및 제 2 롤러핀으로 구성되고, 상기 파인더 부재는 상기 벽체, 상기 제 1 롤러핀, 제 2 롤러핀 사이를 통과하여 수직상승할 수 있도록 제 1 판재, 제 2 판재, 제 3 판재로 서로 분리되어 하부에서 합쳐지도록 이루어짐이 바람직하다.
또한, 상기 파인더 부재의 상기 판재 상부에는 복수의 산 및 골의 형상이 형성되거나, 복수의 계단상이 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 벽체 내측벽쪽에 위치하는 상기 제 1 판재 및 제 3 판재의 상부는 상기 벽체 내부중앙을 향하여 경사커팅처리됨이 바람직하다.
또한, 상기 제 1 판재 및 제 3 판재 외측벽에는 가이드 레일이 형성되고, 상기 본체 내측벽쪽에는 돌출부위가 형성되어 상기 가이드 레일과 상기 돌출부위가 결합되도록 구성됨이 바람직하다.
또한, 상기 파인더 부재 일측에는 래크와 피니언이 형성되어 상기 벽체 일측에 형성된 모터에 의해서 구동됨이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치의 일 실시예를 나타내는 부분절단 사시도이고, 도2는 평면도이다.
도1 및 도2를 참조하면, 웨이퍼 캐리어가 거치되는 상면이 개방된 입방체 형상의 벽체(10)가 위치하여 있다.
상기 벽체(10) 내부 일측에는 소정의 간격을 유지하며 동일 높이로 형성된 제 1 롤러핀(12) 및 제 2 롤러핀(14)이 설치되어 구동원(도시되지 않음)의 구동에 의해서 회전운동을 수행할 수 있도록 되어 있다.
또한, 상기 제 1 롤러핀(12) 및 제 2 롤러핀(14) 하부에는 단차진 상변에 산과 골이 복수개 형성된 제 1 판재(16), 제 2 판재(18), 제 3 판재(20)가 형성되어 있다.
제작자의 의도에 따라서 상기 판재(16, 18, 20) 상변에 계단형상을 형성할 수 있다.
또한, 상기 제 1 판재(16) 및 제 2 판재(18)와 제 3 판재(20)는, 하부에서 연결되어 하나의 파인더(Finder) 부재를 형성하고 있으며, 제 1 판재(16) 및 제 3 판재(20)는 내부중앙을 향하여 경사커팅처리되어 있고, 외측벽에는 가이드 레일(22)이 형성되어 있다.
또한, 벽체(10) 양 내측벽에는 상기 가이드 레일(22)과 결합되는 돌출부위(24)가 형성되어 있고, 제 1 판재(16) 측벽에는 래크(26)와 피니언(28)이 설치되어 모터(30)의 구동에 의해서 판재(16, 18, 20)가 상승운동 및 하강운동을 할 수 있도록 되어 있다.
도3 및 도4는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치의 측면도로서, 도3은 파인더 부재의 하강상태 도4는 상승상태를 나타내는 도면이다.
도3 및 도4를 참조하여 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치의 작용을 설명하면, 복수의 웨이퍼(32)가 슬롯에 삽입되고, 하부가 개방된 캐리어(34)가 벽체(10) 상부에 거치되면, 벽체(10) 상부에 위치한 제 1 롤러핀(12) 및 제 2 롤러핀(14)은 회전한다.
제 1 롤러핀(12) 및 제 2 롤러핀(14)이 회전하게 되면, 캐리어(34) 슬롯에 삽입된 웨이퍼(32)는 제 1 롤러핀(12) 및 제 2 롤러핀(14)의 회전력이 전달되어 회전하게 된다.
이어서, 상기 제 1 롤러핀(12) 및 제 2 롤러핀(14)이 웨이퍼(32) 플랫존영역 하부에 위치하게 되면, 제 1 롤러핀(12) 및 제 2 롤러핀(14)의 회전력은 상기 웨이퍼(32)에 전달되지 않아 웨이퍼(32)는 일방향성을 가지면서 정렬된다.
이 상태의 웨이퍼는 반도체 소자 제조공정이 진행되는 공정챔버의 스테이지로 이동되어 반도체 소자 제조공정이 진행된다.
또한, 모터(30)의 구동에 의해서 가이드 레일(22)을 타고 판재(16, 18, 20)로 상부가 분리된 파인더 부재가 상부로 이동하게 되면, 도4에 도시된 바와 같이, 각 캐리어(34)에 적재된 웨이퍼(32)는 판재(16, 18, 20)에 형성된 복수의 산 및 골에 삽입되어 상부로 돌출하게 된다.
이때, 제 1 판재(16) 및 제 3 판재(20)는 내부중앙을 향해서 경사커팅처리되어 있으므로 인해서 웨이퍼(32)는 판재(16, 18, 20)에 안정되게 고정된다.
또한, 작업자는 단차진 웨이퍼(32) 가장자리에 형성된 고유번호를 용이하게 확인할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 클린룸 내부에서 얼라이너와 고유번호확인 장치를 하나의 기구로 통합할 수 있으므로 클린룸 내부의 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (9)
- 웨이퍼 캐리어가 거치되는 벽체;상기 캐리어가 상기 벽체에 거치될 때 내부에 적재된 웨이퍼 주변부가 닿으면서 회전하여 플랫존이 얼라인되도록 상기 벽체 내측에 설치되는 복수개의 롤러핀;상기 벽체의 내측에서 상하운동하며, 상사점에서 상기 캐리어에 적재된 웨이퍼들을 단차지게 배열시켜 웨이퍼의 고유번호를 확인할 수 있도록 한 파인더부재; 및상기 파인더 부재를 상하로 움직여 주는 파인더 구동부;를 구비하여 이루어 지는 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 롤러핀은 소정의 간격을 유지하며 동일 높이로 형성된 제 1 롤러핀 및 제 2 롤러핀으로 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 파인더 부재는 상기 벽체, 상기 제 1 롤러핀, 제 2 롤러핀 사이를 통과하여 수직상승할 수 있도록 제 1 판재, 제 2 판재, 제 3 판재로 서로 분리되어 하부에서 합쳐지도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 파인더 부재의 상기 판재 상부에는 복수의 산 및 골의 형상이 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 파인더 부재의 상기 판재 상부에는 복수의 계단상이 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 벽체 내측벽쪽에 위치하는 상기 제 1 판재 및 제 3 판재의 상부는 상기 벽체 내부중앙을 향하여 경사커팅처리됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 1 판재 및 제 3 판재 외측벽에는 가이드 레일이 형성되고, 상기 본체 내측벽쪽에는 돌출부위가 형성되어 상기 가이드 레일과 상기 돌출부위가 결합되도록 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 파인더 부재 일측에는 래크와 피니언이 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 래크와 피니언을 구동시키는 모터가 상기 벽체 일측에 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019960043981A KR100211664B1 (ko) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치 |
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| KR1019960043981A KR100211664B1 (ko) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치 |
Publications (2)
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| KR100211664B1 true KR100211664B1 (ko) | 1999-08-02 |
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ID=19476235
Family Applications (1)
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| KR1019960043981A KR100211664B1 (ko) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | 반도체 웨이퍼 얼라인 및 고유번호확인 장치 |
Country Status (1)
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|---|---|
| KR (1) | KR100211664B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11282604B2 (en) | 2019-10-03 | 2022-03-22 | Rom Technologies, Inc. | Method and system for use of telemedicine-enabled rehabilitative equipment for prediction of secondary disease |
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| KR101381296B1 (ko) * | 2013-11-21 | 2014-04-04 | 유니온테크 주식회사 | 카세트 세팅 유닛을 갖는 웨이퍼의 계단형 정렬장치 |
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1996
- 1996-10-04 KR KR1019960043981A patent/KR100211664B1/ko not_active IP Right Cessation
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| US11282604B2 (en) | 2019-10-03 | 2022-03-22 | Rom Technologies, Inc. | Method and system for use of telemedicine-enabled rehabilitative equipment for prediction of secondary disease |
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| KR19980025741A (ko) | 1998-07-15 |
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