KR20070017504A - 스크린 인쇄장치 및 스크린 인쇄 방법 - Google Patents

Abstract

마스크 플레이트(12)의 관통 홀을 통해 기판(7) 상에 크림솔더를 인쇄하기 위한 스크린 인쇄에서, 마스크 플레이트(12)의 저면에서 기판(7)의 분리는 기판(7)의 분리가 시작된 상태에서 기판(7)의 상면과 마스크 플레이트(12)의 상면 사이의 거리가 마스크 플레이트(12) 두께의 1/2~2 배 크기의 범위의 설정된 소정 값에 도달하도록 마스크 플레이트(12)에서 기판이 분리되는 상태까지의 초기 스트로크(S1) 동안 저속인 제1 하강 속도(V1)로 하강하는 방법으로 수행되고, 초기 스트로크(S1) 후 상기 기판(7)은 고속의 제 2 하강 속도(V2)로 하강 된다.

따라서, 솔더가 시간의 경과에 따라 변하기 쉬운 경우에도 사용되고, 양호한 분리성과 안정된 인쇄품질을 확보할 수 있다.

인쇄장치, 인쇄방법, 크림솔더, 분리 방법

Description

스크린 인쇄장치 및 스크린 인쇄 방법{Screen Printing Apparatus and Screen Printing Method}

본 발명은 크림솔더(Cream-like solder)를 기판에 인쇄하기 위한 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법에 관한 것이다.

전자 부품을 기판에 솔더링(soldering)하기 위해 사용되는 솔더 공급방법으로서 스크린 인쇄를 사용하는 방법이 알려져 있다. 이 방법에서는, 마스크 플레이트(Mask plate)에 제공된 패턴 홀(patten hole)을 통해 크림상태의 솔더(크림솔더)가 기판(board)의 전극면에 인쇄되고, 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합시킨 상태로 마스크 플레이트의 상면에서 스퀴지(squeegee)를 슬라이드(slide)시킨 스크린 인쇄기구를 갖는 스크린 인쇄장치가 사용된다.(예를 들면, 일본공개특허 제 1998-011283호 참조)

스크린 인쇄에서 양호한 인쇄 품질을 확보하기 위해서는, 패턴 홀 내에서 확실하게 크림솔더를 충전시키는 양호한 충전성과 크림솔더를 충전한 후에 마스크 플레이트를 기판의 저면으로부터 분리할 때 크림솔더를 패턴 홀로부터 무너짐 없이 분리시키는 양호한 분리성이 요구된다. 이때문에, 스크린 인쇄 동작에 있어서는, 마스크 플레이트에서 기판을 분리시킬 때의 동작속도나 동작패턴을 사용되는 솔더 의 성상에 맞추어 최적으로 설정하는 다양한 시도들이 있어왔다. 예를 들어 일본공개특허 제 1996-011283에 따르면, 기판이 마스크 플레이트에서 충분히 분리될 때까지 기판을 저속으로 마스크 플레이트로부터 격리시키게 하고 있다.

전자부품의 용도의 다양화나 환경보호의 관점에서, 종래 일반적으로 사용되고 있던 솔더와는 다른 종류의 솔더가 최근에 전자부품의 솔더링에 사용되고 있다. 즉, 환경보호의 요구로 인해 유해한 솔더 성분이 거의 포함되지 않은 무연 솔더(lead-free solder)가 넓게 사용되고 있다. 한편 차량적재용 전자기기에는 아크릴계의 차량 적재용 솔더가 사용되고 있다.

이러한 솔더는 이전에 사용된 솔더와 비교하여 시간의 경과에 따른 열화의 진행이 빠르고 동일 포트에서 꺼낸 솔더를 연속해서 사용하는 동안에도 성상이 바뀐다. 이 때문에 미리 분리 동작 패턴을 솔더의 성상에 따라 최적으로 설정하고 있어도, 시간의 경과에 따른 열화로 인해 점도가 증가하는 등 성상의 변화가 있는 경우에는 이미 최적의 분리 동작 패턴에는 일치하지 않기 때문에 분리에서 불량을 만들어 내는 경우가 있었다.

상기 설명한 바와 같이, 종래 기술에 따른 스크린 인쇄에서는 시간의 경과에 따라 변화하기 쉬운 솔더가 사용될 때 양호한 분리성을 확보하기 어려운 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 시간의 경과에 따라 변화하기 쉬운 솔더가 사용되는 경우에도 양호한 분리성과 안정된 인쇄품질을 보장할 수 있는 스크린 인쇄장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명에 따른 스크린 인쇄장치는 관통 홀이 형성된 마스크 플레이트 저면에 기판을 접합시키고 관통 홀을 통해 기판상에 크림솔더를 인쇄하기 위한 인쇄장치에 있어서, 상기 기판을 보유 지지하기 위한 기판 지지부, 상기 기판 지지부를 상하로 구동시킴으로서 상기 마스크 플레이트의 저면으로부터 상기 기판을 분리하기 위한 분리 수단(removing unit), 및 상기 분리 수단을 제어하기 위한 분리 제어 수단(removing control unit)을 포함하며, 상기 분리 제어 수단은, 상기 마스크 플레이트의 저면에 기판이 접합한 상태로부터, 상기 기판의 상면과 마스크 플레이트 저면 사이의 거리가 상기 마스크 플레이트의 두께의 1/2~2배 범위 사이로 설정된 소정 값에 도달하는 상태까지의 스트로크(stroke:행정) 동안 상기 기판 지지부가 제1 분리 속도(first removing velocity)로 하강되도록 하고, 상기 스트로크 후 상기 기판 지지부는 상기 제1 분리 속도보다도 고속의 제2 분리 속도(second removing velocity)로 하강되도록 상기 분리 수단을 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 상기 스크린 인쇄 방법은 관통 홀이 형성된 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합시키고, 상기 관통 홀을 통해 기판상에 크림솔더를 인쇄하기 위한 스크린 인쇄 방법에 있어서, 상기 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합시키는 마스크 장착 단계(mask mounting step); 상기의 장착된 마스크 플레이트 상에서스퀴지(squeegee)를 이동시키는 것에 의해 상기 관통 홀을 내에 솔더를 충전하는 충전 단계(packing step); 및 상기 마스크 플레이트의 저면으로부터 상기 기판을 분리시키는 분리 단계(removing step)의 단계들을 포함하며, 상기 분리 단계는 상기 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합한 상태로부터 기판의 상면과 마스크 플레이트의 저면 사이의 거리가 마스크 플레이트 두께의 1/2~2 배 크기의 범위 사이로 설정된 소정 값에 도달하는 상태까지의 스트로크 동안 상기 기판 지지부가 제1 분리 속도로 하강되도록 하고, 상기 스트로크 후 상기 기판 지지부가 제1 분리 속도보다 고속의 제2 분리 속도로 하강되도록 하는 방식으로 행해지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 상기 마스크 플레이트의 저면에 기판을 분리하기 위한 상기 분리 단계에서 상기 기판 지지부가 상기 마스크 플레이트의 저면에 기판이 접합된 상태로부터, 기판의 상면이 상기 마스크 플레이트의 저면으로부터 소정 거리, 이 거리가 상기 마스크 플레이트의 두께의 1/2~2 배 정도의 범위로 설정되는 값에 분리되는 상태까지의 스트로크 동안 제1 분리 속도로 하강되고, 상기 스트로크 후 상기 기판 지지부가 상기 제1 분리 속도보다 고속의 제2 분리 속도로 하강 되는 방식으로 실행된다. 따라서 시간이 경과함에 따라 변화하기 쉬운 솔더가 사용되는 경우에도 양호한 분리성과 안정된 인쇄 품질을 확보할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 인쇄장치의 측 단면도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 인쇄장치의 측 단면도.

도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 인쇄장치의 스크린 인쇄 동작을 설명하기 위한 도면.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예에 따른 스크린 인쇄 동작에 있어서 분 리 동작을 설명하기 위한 도면.

다음의 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다. 먼저 도 1 및 도 2를 참조하여 스크린 인쇄장치의 구조를 설명한다. 상기 스크린 인쇄장치는 관통 홀이 형성된 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합시키고, 상기 관통 홀을 통해 기판상에 크림솔더를 인쇄하는 기능을 가지고 있다. 도 1에서 기판 위치결정부(board positioning portion:1)는 Y축 테이블(Y-axis table:2)과 X축 테이블(X-axis table:3), θ축 테이블(θ-axis table:4) 및 Z축 테이블(Z-axis table:5)이 적층된 구성으로 되어 있다. Z축 테이블(5) 상에는 인쇄 대상인 기판(7)을 지지하고 유지하기 위한 기판 지지부(6)가 구비된다. 기판 지지부(6)상의 기판(7)은 클램퍼(clamper:8)에 의해 고정된다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 θ축 테이블(4)은 축부(shaft portion:16)의 수직축 주위를 θ 회전하는 회전플레이트(rotation plate:4a)를 구비한다. θ모터(15)가 벨트(17)를 이용하여 축부(16)를 회전 구동할 때, 회전플레이트(4a)는 수직축의 주위를 θ 회전한다. Z축 테이블(5)은 슬라이드 축(slide shaft:18)에 의해 가이드되는 동안 상하로 구동하는 승강 플레이트(elevating plate:5a)를 구비한다. 수직인 피드 스크류(feed screw:21)에는 승강 플레이트(5a)에 고정된 너트(22)가 나사결합되어 있다. 상기 피드 스크류(21)는 웜 기구(worm mechanism:20)를 통해 상기 Z 모터(19)에 따라서 회전 구동된다. Z 모터(19)가 구동될 때, 승강플레이트(5a)가 상하로 승강 구동하고, 이것에 의해 상기 기판 지지부(6) 상의 기판(7)이 상하로 승강한다.

Z 모터(19)는 Z축 구동부(23)에 의해 구동된다. Z축 구동부(23)는 제어부(24)에 의해 제어된다. 후술할 분리 동작 패턴(removing operation pattern)은 분리 패턴 기억부(removal pattern storage:25)에 기억된다. 스크린 인쇄동작에서 상기 제어부(24)가 분리 동작 패턴에 기초하여 Z축 구동부(23)를 제어할 때, 마스크 플레이트(12)로부터 기판(7)을 분리시키기 위한 분리 동작은 소정의 동작패턴으로 실행될 수 있다. 따라서, Z 모터(19), 피드스크류(21), 너트(22) 및 Z축 구동부(23)는 기판 지지부(6)를 상하로 승강시키는 것에 의해 마스크 플레이트의 전면으로부터 기판(7)을 분리시키기 위한 분리 수단을 구성하고, 제어부(24)는 상기 분리 수단을 제어하기 위해 분리 제어 수단을 구성한다.

기판위치결정부(1)의 상부에는 스크린 인쇄부(10)가 설치되어 있다. 스크린 인쇄부(10)는 프레임 형상의 홀더(holder:11)로 유지되는 마스크 플레이트(12)를 구비하고 있다. 마스크 플레이트(12)의 상부에는 스퀴지 부재(squeegee unit:13)가 스퀴지 이동 테이블(squeegee moving table:미도시)에 의해 Y 방향으로 이동 자유롭게 설치되어 있다. 도 1에서 보는 바와 같이, 스퀴지 부재(13)는 실린더(15)에 따라서 상하로 움직이는 한 쌍의 스퀴지(14)를 구비하고 있다. 마스크 플레이트(12)의 저면에 기판(7)을 접합시킨 상태로 실린더(15)가 구동될 때, 스퀴지(14)는 하강하고, 그 하단부가 마스크 플레이트(12)의 상면에 접합한다.

도 3a 내지 3e를 참조하여, 스크린 인쇄 동작을 설명한다.

여기서 행해지는 스크린 인쇄는 기판(7)상에 솔더 범프(solder bumps)를 형 성하기 위해 크림솔더로 인쇄하는 것이다. 고밀도로 형성된 패턴 홀(관통 홀:12a)을 갖는 박형의 마스크 플레이트(12)가 사용된다. 이런 타입의 마스크 플레이트에 의한 인쇄는 난이도가 높다. 특히 스퀴징 후의 분리 동작에 있어 기판의 전체 범위에 걸쳐 균일한 분리를 행하는 것이 어렵다.

다시 말해, 패턴 홀이 고밀도로 형성되기 때문에 분리시의 점착성(tackiness)이 큰 한편, 마스크 플레이트 자체는 얇아서 휘어지기 쉽기 때문에 기판을 하강시키는 분리 동작시에는 하방으로 끌려가기가 쉽다. 이 결과, 기판의 외주부와 기판의 중심부 간에 분리의 타이밍(removal timing)에 차이가 생기고, 균일한 분리 조건을 최적화하는 것을 어렵게 한다.

본 실시예에서 보이는 스크린 인쇄에 있어서는, 이와 같은 난이도가 높은 솔더 범프(solder bumps) 형성을 위한 스크린 인쇄를 대상으로서, 아래의 방법에 따라서 양호한 균일성과 그리고 분리성의 확보가 실현된다.

우선 도 3a에 도시된 바와 같이, 기판 지지부(6) 상의 기판(7)은 클램퍼(8)에 의해 고정되도록 하여 유지시킨다. Z축 테이블(5)은 기판 지지부(6)가 상승되도록 구동된다. 결과적으로, 기판(7)이 상승하고 마스크 플레이트(12)의 저면에 접합한다(마스크 장착 단계). 이때, 상기 기판의 상면이 마스크 플레이트의 저면의 정상적인 높이 위치보다 소정의 토스 여유(toss margin:h)만큼 높은 위치까지 상승하게되고, 기판(7)과 마스크 플레이트(12) 사이에 접합상태는 상기 기판의 상면이 상승된 정도에 맞추어지게 된다.

다음에 도 3b에 도시된 바와 같이, 스퀴지(14)가 마스크 플레이트(12)에 접 합 된다. 스퀴지(14)는 크림솔더(9)가 마스크 플레이트(12) 상에 공급되는 상태에서 수평이동하게 된다. 이 스퀴징 동작에 의해 솔더(9)가 도 3c에서 도시된 바와 같이 각 패턴 홀(12a) 내에 충전된다(충전단계).

뒤이어 분리 동작이 수행된다. 즉, Z축 테이블(5)은 기판 지지부(6)가 하강되도록 구동된다. 기판(7)은 패턴 홀(12a) 내에 충전된 솔더(9)가 기판(7) 상에 증착되어 지는 동안 마스크 플레이트(12)의 저면으로부터 분리된다. 이때, 도 3d에서 보는 바와 같이, 기판(7)과 마스크 플레이트(12) 사이의 분리는 기판(7)의 외주연부에서 부터 시작한다. 외주연부의 분리가 시작되는 상태에서, 기판(7)의 중앙부는 여전히 마스크 플레이트(12)에 부착되어 있다.

기판 지지부(6)가 더 하강하게 될 때, 도 3e에 도시된 바와 같이 기판(7)의 전 범위에 있어서 분리가 행해진다. 즉, 마스크 플레이트(12)가 기판(7)의 상면에서 부터 단계적으로 분리된다(분리 단계). 이로 인해 패턴 홀(12a)을 통해 기판(7) 의 상면에 솔더(9)를 인쇄하는 스크린 인쇄 동작이 완료된다.

다음 도면 4a 내지 4d를 참조하면, 스크린 인쇄 동작에 포함되는 분리동작의 동작 패턴이 설명된다. 도 4a는 분리 동작에서 Z 모터(19)에 의해 구동되는 기판 지지부(6)의 속도 패턴을 도시한다. 도 4a에서, 분리 동작 패턴은 기판 지지부(6)가 하강하게 될 때의 하강 량을 나타내는 하강 스트로크(S)와 하강 속도(분리 속도:V) 사이의 관계에 따라서 규정된다.

분리 동작 패턴에 도시된 바와 같이, 스크린 인쇄 방법의 분리 단계에 있어서, 하강 속도는 분리 동작이 시작된 후부터 하강 스트로크가 후술하는 최초 스트 로크(S1)에 도착할 때까지 기판 지지부(6)가 천천히 하강되게 저속(예를 들어 0.1mm/s)의 제1 하강 속도(제1 분리 속도:V1)로 설정된다. 하강 스트로크가 초기 스트로크(S1)에 도달하면, 일단 하강 속도가 0으로 되돌려진 다음 다시 증가되고, 기판 지지부(6)는 제1 하강 속도보다 높은 제2 하강 속도(제2 분리 속도:V2, 예를 들어 5mm/s)로 하강하게 된다. 이에 따라 기판지지부(6)는 후기 스트로크(S2)까지 하강하고 하강위치에 정지한다.

즉, 솔더(9)는 도 4b에서 도시된 바와 같이 그 자체가 패턴 홀(12a)에 충전되는 상태에서부터, 도 4c에 도시된 바와 같이 기판(7)의 상면이 초기 스트로크(S1)에 의해 마스크 플레이트(12)의 저면으로부터 분리되는 상태까지의 스트로크 동안 저속(제1 하강 속도:V1)으로 하강한다. 이때, 초기 스트로크(S1)는 마스크 플레이트(12)의 두께 t 에 따라 정해진다. 이 실시예에서, 초기 스트로크(S1)는 두께 t에 따라 1/2 배~ 2배 범위(바람직하게는 두께 t의 1/2배~ 9/10 범위, 더욱 바람직하게는 2/3~ 3/4배의 범위)에서 설정된다.

기판(7)의 하강 속도는 초기 스트로크(S1) 동안 0.1mm/s 정도의 저속이기 때문에, 패턴 홀(12a)의 측벽 면에 접합하는 위치에 있는 솔더(9) 부분은 도 4c에서 보는 바와 같이 기판(7)의 하강이 시작된 후, 패턴 홀(12a)의 측벽 면에 부착되어진 상태로 패턴 홀(12a) 내에 잔류하고자 하는 경향이 강하다. 솔더(9)의 잔류 부분은 늘어뜨려진 상태로 신장된 크림솔더(9)에 의해 기판(7)의 상부 표면상에 인쇄되고 기판(7)과 동시에 하강하는 솔더(9) 부분에 연결된다. 이러한 경향은 솔더(9)의 특성에 영향을 거의 없이, 넓은 점성 범위에 걸쳐 동일한 경향을 나타낸다.

도 4d는 후기 스트로크(S2)에서의 솔더(9)의 상태를 나타낸다. 즉 도 4a에 도시된 타이밍에 있어서 하강속도는 저속의 제 1 하강 속도(V1)에서 제 2 하강 속도(V2)로 급격하게 증가되기 때문에, 도 4c에서 패턴 홀(12a)의 측벽 면 상에 부착되고 기판(7)상의 솔더(9) 부분과 연결되어진 솔더(9)는 속도 증가 시의 충격적인 인장력에 의해 마구 찢어지게 된다. 그 결과, 도 4b에 있어서 패턴 홀(12a) 내에 충전되어 있던 솔더(9)는 그 일부분을 패턴 홀(12a)의 측벽 면 상에 잔류시킨 상태로 남아있는 동안 대부분이 그 외의 솔더(9) 부분이 기판(7)과 동시에 하강하도록 분리가 이루어진다.

즉, 분리 작동 패턴에 있어서는 기판 지지부(6)가 마스크 플레이트(12) 저면에 기판(7)이 접합된 상태로부터, 기판(7)의 상면이 마스크 플레이트(12) 저면으로부터 소정 거리(마스크 플레이트(12)의 두께의 1/2~2배 정도의 범위로 설정되는)만큼 분리되는 상태까지의 스트로크 동안 제1 분리 속도로 하강되고, 그 후 기판 지지부(6)는 제1 분리 속도보다 높은 제2 분리 속도로 하강되도록 분리 수단을 제어하게 된다.

그에 따라, 인쇄에 사용되는 솔더(9)의 점도가 시간이 경과함에 따라 바뀌는 경우에도, 분리성은 점도의 상태에 따라 영향을 받는 일이 거의 없게 된다. 어떠한 경우에도 분리성은 허용범위 내에서 유지될 수 있다. 따라서, 무연 솔더(lead free solder)나 아크릴계 솔더처럼 시간의 경과에 따라 변화하기 쉬운 솔더가 사용되는 경우에도 양호한 분리성과 안정된 인쇄 품질이 보장될 수 있다.

비록 초기 스트로크(S1)는 가능한 한 작게 설정하는 것이 택트 타임(tact time) 관점에서 유리하다지만, 전술한 바와 같이 연결상태의 솔더(9)의 찢어짐으로 인한 인쇄된 솔더(9)의 무너짐을 방지하기 위해 기판(7)과 마스크 플레이트(12)의 저면 간의 거리는 소정치 이상인 것이 바람직하다. 그러므로, 실제로 초기 스트로크(S1)는 허용된 택트 타임과 요구되는 인쇄품질을 서로 비교 고찰한 후에 결정된다.

본 출원은 2004년 2월 20일 출원된 일본 특허출원 제2004-044275호에 기초하고 우선권의 이익을 주장하며, 상기 특허출원의 내용의 전체가 참고적으로 본 출원에 포함되어 있다.

본 발명에 따른 스크린 인쇄 장치와 스크린 인쇄 방법은 양호한 분리성과 안정된 인쇄품질이 확보되는 효과를 갖는다. 본 발명에 따른 스크린 인쇄 장치와 스크린 인쇄 방법은 시간의 경과에 따라 변화하기 쉬운 솔더를 기판상에 인쇄하기 위한 용도로 유용하다.

Claims (15)

1. 관통 홀이 형성된 마스크 플레이트 저면에 기판을 접합시키고, 관통 홀을 통해 기판상에 크림솔더를 인쇄하기 위한 스크린 인쇄장치에 있어서,

   상기 기판을 보유 지지하기 위한 기판 지지부;

   상기 기판 지지부를 상하로 구동시킴으로써 마스크 플레이트의 저면으로 부터 기판을 분리하기 위한 분리 수단; 및

   상기 분리 수단을 제어하기 위한 분리 제어 수단을 포함하며,

   상기 분리 제어 수단은, 상기 마스크 플레이트의 저면에 기판이 접합한 상태로부터 기판의 상면과 마스크 플레이트의 저면 사이의 거리가 상기 마스크 플레이트 두께의 1/2~2배 크기의 범위 사이로 설정된 소정 값에 도달하는 상태까지의 스트로크 동안 상기 기판 지지부가 제1 분리 속도로 하강되도록 하고, 상기 스트로크 후 기판 지지부가 제1 분리 속도보다도 고속의 제2 분리 속도로 하강되도록 상기 분리 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 분리 속도는 기판의 상면과 마스크 플레이트의 저면 사이의 거리가 상기 설정 값에 도달한 후 일단 0으로 되돌려 지는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 솔더는 시간의 경과에 따라 변화하기 쉬운 무연 솔더 및 아크릴 솔더 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
4. 관통 홀이 형성된 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합시키고, 관통 홀을 통해 기판상에 크림솔더를 인쇄하기 위한 스크린 인쇄방법에 있어서,

   상기 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합시키는 마스크 장착 단계;

   상기 장착된 마스크 플레이트 상에서 스퀴지를 이동시키는 것에 의해 관통 홀 내에 솔더를 충전하는 충전단계; 및

   상기 마스크 플레이트의 저면으로부터 기판을 분리하는 분리 단계를 포함하며,

   상기 분리 단계는, 마스크 플레이트의 저면에 기판을 접합한 상태로부터, 기판의 상면과 마스크 플레이트의 저면 사이의 거리가 마스크 플레이트 두께의 1/2~2배 크기의 범위 사이로 설정된 소정 값에 도달하는 상태까지의 스트로크 동안 상기 기판 지지부가 제1 분리 속도로 하강되도록 하고, 상기 스트로크 후 상기 기판 지지부가 제1 분리 속도보다 고속의 제2 분리 속도로 하강되도록 하는 방식으로 행해지는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 분리 속도는 기판의 상면과 마스크 플레이트의 저면 사이의 거리가 상 기 설정 값에 도달한 후 0으로 일단 되돌려 지는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
6. 제 4항에 있어서,

   상기 마스크 플레이트의 상기 관통 홀의 측벽 면에 접합되도록 위치된 솔더의 부분과 기판의 상면 상에 인쇄되고 기판과 함께 하강하는 솔더의 부분이, 기판의 상면과 마스크 플레이트의 저면 사이의 거리가 상기 설정 값에 도달할 때까지 늘어뜨려진 상태로 신장된 솔더에 의해 서로 연결되고,

   상기 연결된 솔더는 분리 속도가 제2 분리속도로 증속될 때 찢어지게 되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
7. 제 4항에 있어서,

   상기 솔더는 시간의 경과에 따라 변하기 쉬운 무연 솔더 및 아크릴 솔더 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 설정 값은 상기 마스크 플레이트의 두께의 1/2~9/10배 크기의 범위 내에 설정되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 설정 값은 상기 마스크 플레이트의 두께의 2/3~3/4 배 크기의 범위 내에 설정되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
10. 제 1항에 있어서,

    상기 제1 분리 속도는 약 0.1mm/s인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
11. 제 1항에 있어서,

    상기 제2 분리 속도는 약 5mm/s인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
12. 제 4항에 있어서,

    상기 설정 값은 상기 마스크 플레이트의 두께의 1/2~9/10 배 크기의 범위 내에 설정되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
13. 제 4항에 있어서,

    상기 설정 값은 상기 마스크 플레이트의 두께의 2/3~3/4 배 크기의 범위 내에 설정되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
14. 제 4항에 있어서,

    상기 제1 분리 속도는 약 0.1mm/s 인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.
15. 제 4항에 있어서,

    상기 제2 분리 속도는 약 5mm/s 인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.

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